JPS5983828A - 磁気軸受 - Google Patents
磁気軸受Info
- Publication number
- JPS5983828A JPS5983828A JP19322282A JP19322282A JPS5983828A JP S5983828 A JPS5983828 A JP S5983828A JP 19322282 A JP19322282 A JP 19322282A JP 19322282 A JP19322282 A JP 19322282A JP S5983828 A JPS5983828 A JP S5983828A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- radial
- bearing
- axial
- freedom
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0459—Details of the magnetic circuit
- F16C32/0461—Details of the magnetic circuit of stationary parts of the magnetic circuit
- F16C32/0465—Details of the magnetic circuit of stationary parts of the magnetic circuit with permanent magnets provided in the magnetic circuit of the electromagnets
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0474—Active magnetic bearings for rotary movement
- F16C32/0485—Active magnetic bearings for rotary movement with active support of three degrees of freedom
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、電磁石、永久磁石を利用して回転体を無接触
支持する磁気軸受に関するものである。
支持する磁気軸受に関するものである。
従来から提案さ肚ている磁気Ｖｌｎｌ＋受に５軸制御型
磁気軸受と１軸制御型磁気軸受がある。
磁気軸受と１軸制御型磁気軸受がある。
５軸制御型磁気軸受は、回転体の回転軸回りの回転以外
の５自由度す、べてを能動的に制御拘束する軸受で、１
回転、外乱に対する安定性、共賑点通過時の減衰率など
性能においては非常にすぐ肚ている。しかしながら、５
自由度すべてを制御する事から、センサー、電磁石、制
御回路、電磁石駆動回路などが多数になり、構造におい
ては複雑になり、回路においては素子数が多くなるなど
によって、信頼性の低下、軸受部分の大型化、コスト高
となる欠点を有している。
の５自由度す、べてを能動的に制御拘束する軸受で、１
回転、外乱に対する安定性、共賑点通過時の減衰率など
性能においては非常にすぐ肚ている。しかしながら、５
自由度すべてを制御する事から、センサー、電磁石、制
御回路、電磁石駆動回路などが多数になり、構造におい
ては複雑になり、回路においては素子数が多くなるなど
によって、信頼性の低下、軸受部分の大型化、コスト高
となる欠点を有している。
一方１軸制御型軸受は、回転体の回転軸回りの回転以外
の５自由度の内で、回転軸方間のみを能動的に制御拘束
し、他の４自由度は受動的に拘束する軸受である。この
タイプの軸受は非常に構造も回路も簡単なので、小型、
低コスト、高信頼性などの点においてすぐれている。し
かしながら、径方向を能動的に制御していないために、
系の共振点を通過させて更に高速で回転させようとする
場合、径方向の減衰がほとんどかからないため、共振点
の通過が困難な事と、回転、外乱に対する安定性に欠け
るという欠点がある。
の５自由度の内で、回転軸方間のみを能動的に制御拘束
し、他の４自由度は受動的に拘束する軸受である。この
タイプの軸受は非常に構造も回路も簡単なので、小型、
低コスト、高信頼性などの点においてすぐれている。し
かしながら、径方向を能動的に制御していないために、
系の共振点を通過させて更に高速で回転させようとする
場合、径方向の減衰がほとんどかからないため、共振点
の通過が困難な事と、回転、外乱に対する安定性に欠け
るという欠点がある。
本発明は、上記欠点を考慮して、能動的に制御する自由
度を３自由度に減少させて、高信頼性、軸受の小型化、
低コスト化を実現する一方、系の共振点通過、安定な回
転、外乱に対する十分な減衰も同時に実現する事を目的
としたものである。
度を３自由度に減少させて、高信頼性、軸受の小型化、
低コスト化を実現する一方、系の共振点通過、安定な回
転、外乱に対する十分な減衰も同時に実現する事を目的
としたものである。
第１図は、本発明の構造例の断面図である。部分１が、
径方向軸受部でおり、部分２が、軸方向軸受部である。
径方向軸受部でおり、部分２が、軸方向軸受部である。
径方向軸受１は、まず径方回変位センザー３によｐ１０
−タ７の径方向の平衡点からの変位量を検出し、その信
号を制御回路４、電磁石駆動回路５、を通して径方向電
磁石６を駆動する眉■によって、安定にロータを径方向
平衡点に引き戻し保持するようになっている。径方向は
、２自由度であるので、上記閉ループが２個、即ちある
方向とそｎに線型独立なもう１つの方向の２方回に必要
である。軸方向軸受１は、軸方同変位センサー８により
、ロータ７の軸方向の平衡点からの変位量を検出し、そ
の信号を制御回路９、電磁石駆動回路１０、を通して軸
方同電磁石１１を駆動する事によって、安定にロータを
軸方向平衡点に引き戻し保持するようにガっている。こ
の場合、自由度は軸方向のみなので、閉ル−プは１個で
ある。以上３個の閉ループによｆ）３自由度を能動的に
制御拘束する。残りの２自由度は、軸方向電磁石１１が
平衡状態においても、了−マチュアディスク［２を軸方
向に互いに等しい反対方向の力で吸引するようにし、そ
の力によって、受動的にＢ点付近の径方向を平衡点に拘
束する。この原理はアーマチュアディスク［２が、径方
向に平衡点より変位した場合、電磁石１１とアーマチュ
アディスク１２間の磁気抵抗が増加する事を利用したも
のである。
−タ７の径方向の平衡点からの変位量を検出し、その信
号を制御回路４、電磁石駆動回路５、を通して径方向電
磁石６を駆動する眉■によって、安定にロータを径方向
平衡点に引き戻し保持するようになっている。径方向は
、２自由度であるので、上記閉ループが２個、即ちある
方向とそｎに線型独立なもう１つの方向の２方回に必要
である。軸方向軸受１は、軸方同変位センサー８により
、ロータ７の軸方向の平衡点からの変位量を検出し、そ
の信号を制御回路９、電磁石駆動回路１０、を通して軸
方同電磁石１１を駆動する事によって、安定にロータを
軸方向平衡点に引き戻し保持するようにガっている。こ
の場合、自由度は軸方向のみなので、閉ル−プは１個で
ある。以上３個の閉ループによｆ）３自由度を能動的に
制御拘束する。残りの２自由度は、軸方向電磁石１１が
平衡状態においても、了−マチュアディスク［２を軸方
向に互いに等しい反対方向の力で吸引するようにし、そ
の力によって、受動的にＢ点付近の径方向を平衡点に拘
束する。この原理はアーマチュアディスク［２が、径方
向に平衡点より変位した場合、電磁石１１とアーマチュ
アディスク１２間の磁気抵抗が増加する事を利用したも
のである。
この軸方同軸受部分２は、第３図、第４図、第５図に示
すように、永久磁石１３を利用してバイアス吸引力を発
生させ、１個または２個のコイル１４により匍制御する
事も可能である。
すように、永久磁石１３を利用してバイアス吸引力を発
生させ、１個または２個のコイル１４により匍制御する
事も可能である。
この様にする事により能動的に制御する制御ループが３
個になるため、５軸制御型磁気軸受に比べて、構造が簡
単になり、回路素子数も３７５８度になるので、軸受の
小型化、低コスト化、高信頼性をワに現できる。
個になるため、５軸制御型磁気軸受に比べて、構造が簡
単になり、回路素子数も３７５８度になるので、軸受の
小型化、低コスト化、高信頼性をワに現できる。
系の共」Ｄ点通過、安定な回転、外乱に対する十分外減
衰等も、能動的に制御する自由度を３にしても実現でき
る沖を第２図を使って以下に説明する。
衰等も、能動的に制御する自由度を３にしても実現でき
る沖を第２図を使って以下に説明する。
汀ｊ：２１鍾ｔＪ： 、！１１＋受部をバネとダンパー
を用い°Ｃ模式的に示したものである。径方向軸受部１
は、バネ足４′文に１ と減衰定数ｄ１が２絹で表現さ
扛る。
を用い°Ｃ模式的に示したものである。径方向軸受部１
は、バネ足４′文に１ と減衰定数ｄ１が２絹で表現さ
扛る。
軸方向軸受部２は、能動的な軸方向制御ループが１バネ
定数に、と減衰定数ｄ８で、受動的な径方向が２絹のバ
ネ定数に２と減衰定数ｄ、で表現さオする。ここで従来
の５軸制御型磁気軸受の場合は、５自由度ずぺてを能動
的に制御するため、ｄｌｍｄＲｅ（ＬＭを十分な値にで
き、１軸制御型磁気軸受の場合は、ｄ８は十分なイ直に
できるが、ｄｌ、ｄ２はほとんど零（ｄＢ −ｄｌ
＜ｄａ ）となる。このため１ ｎｌｌ＋ｌｌ型磁気軸
受の場合、系の径方向の共振点の通過が困難であり、回
転、外乱に対する安定性が欠けるのである。−力木発明
の場合は、６重はｔ’ｓ、とんど零であるが、ｄ、、ｄ
、、は十分な値にできる。ロータの運動は軸方向と径方
向の運動に分Ｐｉｌｌでき、軸方向は完全に伸動的に制
御１しているので、径方向の運動のみを問題にする。
定数に、と減衰定数ｄ８で、受動的な径方向が２絹のバ
ネ定数に２と減衰定数ｄ、で表現さオする。ここで従来
の５軸制御型磁気軸受の場合は、５自由度ずぺてを能動
的に制御するため、ｄｌｍｄＲｅ（ＬＭを十分な値にで
き、１軸制御型磁気軸受の場合は、ｄ８は十分なイ直に
できるが、ｄｌ、ｄ２はほとんど零（ｄＢ −ｄｌ
＜ｄａ ）となる。このため１ ｎｌｌ＋ｌｌ型磁気軸
受の場合、系の径方向の共振点の通過が困難であり、回
転、外乱に対する安定性が欠けるのである。−力木発明
の場合は、６重はｔ’ｓ、とんど零であるが、ｄ、、ｄ
、、は十分な値にできる。ロータの運動は軸方向と径方
向の運動に分Ｐｉｌｌでき、軸方向は完全に伸動的に制
御１しているので、径方向の運動のみを問題にする。
ロータの重心Ｇから、バネ定数に８０作用点Ａまでの距
離をｔｌ、バネ定数に、の作用点Ｂまでの距ＷＥをＡ、
とし、適邑な直交座標ｉｌｌ Ｚ ｙ ｚをＩＩＶ。
離をｔｌ、バネ定数に、の作用点Ｂまでの距ＷＥをＡ、
とし、適邑な直交座標ｉｌｌ Ｚ ｙ ｚをＩＩＶ。
’） ’Ｃ＊ Ｖ ｖ ｚｒ方回の回転をθｄ、θｂ、
θ２とし、ロータ重心Ｇの平衡点からの変位量をπｌｙ
、ロータ軸の傾きをθτ、θｙ、ロータ回転速度をω、
ロータ質、叶をｍｌ ロータの半径方向の慣性モーメン
トを１？’ 、ロータの軸方向の慣性モーメントを工α
とするとロータの径方向の運動方程式は（１）式のよう
になる。
θ２とし、ロータ重心Ｇの平衡点からの変位量をπｌｙ
、ロータ軸の傾きをθτ、θｙ、ロータ回転速度をω、
ロータ質、叶をｍｌ ロータの半径方向の慣性モーメン
トを１？’ 、ロータの軸方向の慣性モーメントを工α
とするとロータの径方向の運動方程式は（１）式のよう
になる。
ここで−（ｋ１＋ ｋｔ ）／−と−（ｄｔ＋ｄｔ）７
ｍが重心の運動に対するバネ定数と減衰定数に対応し、
（ｋｓ Ｌｔ”＋に＊ Ｌｍ”）／工γと−（
ｄｘ ｔｌ”＋ｄｔ ｔｍ”） ／工ｒ−１工ａ ω／
工Ｔが回転運動に対するバネ定数と減衰定数に対応する
。 ｉｆｃ ｊ ＣｌＣｓ Ａｔ ｋｓ Ｌｍ
） ／ｍｅ ｊＣｋｓｔｌ−１ｃ、ｔｌ ）／工ｒｅ
ｊ Ｃｄｓ ｔｌ ｄａｔａ ） ７ｍ 、 ｊ
（（Ｌｔ ｉｔ ｄａ Ａｘ ） ／工ｒは、重心
の運動と回転運動との相互昨月に関係する項である。
ｍが重心の運動に対するバネ定数と減衰定数に対応し、
（ｋｓ Ｌｔ”＋に＊ Ｌｍ”）／工γと−（
ｄｘ ｔｌ”＋ｄｔ ｔｍ”） ／工ｒ−１工ａ ω／
工Ｔが回転運動に対するバネ定数と減衰定数に対応する
。 ｉｆｃ ｊ ＣｌＣｓ Ａｔ ｋｓ Ｌｍ
） ／ｍｅ ｊＣｋｓｔｌ−１ｃ、ｔｌ ）／工ｒｅ
ｊ Ｃｄｓ ｔｌ ｄａｔａ ） ７ｍ 、 ｊ
（（Ｌｔ ｉｔ ｄａ Ａｘ ） ／工ｒは、重心
の運動と回転運動との相互昨月に関係する項である。
重心の運動と回転運動の減衰定数がｄ、とｄ。
あるいはｄｌ ｔ、”とｄ、を−の和に関係する事がら
、ｄ２がほとんど零であってもｄ、にょって、そｒらを
十分な値にする事ができる。この事がら自由度のみを能
動的に制御する事で、系の共振点通過、外乱に対する十
分な減衰を実現できる事がわかるであろう。また、式が
複雑になるのでここでは省略するが、（１）式の係数マ
） ＩＪソックス固有方程式から系の安定性を調べる真
により、安定な回転（系の安定〕も実現できる事がわか
る。
、ｄ２がほとんど零であってもｄ、にょって、そｒらを
十分な値にする事ができる。この事がら自由度のみを能
動的に制御する事で、系の共振点通過、外乱に対する十
分な減衰を実現できる事がわかるであろう。また、式が
複雑になるのでここでは省略するが、（１）式の係数マ
） ＩＪソックス固有方程式から系の安定性を調べる真
により、安定な回転（系の安定〕も実現できる事がわか
る。
更にに、ｔ、−４−に、ｔ、 、即ち径方向軸受の径方
回バネ足数ｋｌ と軸方向軸受の受動的径方向バネ定数
に、との比を重心からそ扛ぞ几の作用点までの距離ｔ１
＊ｔ１の比のほぼ逆比間係になるようにすると、減衰定
数ｄｌ 、ｄ、が零の場合を考えるとわかるように、重
心の運動と回転運動が分離さｎ相互作用による振動がな
くなり、系の共振点の通過が一層容易になる。この８■
はまた、（１）式Ｊ：り求まる系の２つの共振点が、ｋ
Ｉ Ｌｌ ＝に＊Ｌ！の時にもつとも近づく事からも
理解さｎるであろう。
回バネ足数ｋｌ と軸方向軸受の受動的径方向バネ定数
に、との比を重心からそ扛ぞ几の作用点までの距離ｔ１
＊ｔ１の比のほぼ逆比間係になるようにすると、減衰定
数ｄｌ 、ｄ、が零の場合を考えるとわかるように、重
心の運動と回転運動が分離さｎ相互作用による振動がな
くなり、系の共振点の通過が一層容易になる。この８■
はまた、（１）式Ｊ：り求まる系の２つの共振点が、ｋ
Ｉ Ｌｌ ＝に＊Ｌ！の時にもつとも近づく事からも
理解さｎるであろう。
以上により、高信頼性、軸受の小型化、低コスト化、系
の共振点通過、安定な回転、外乱に対する十分な減衰等
を同時に実現する事ができる。この方式の磁気軸受は、
將に大きな負荷がかからず、ただ高速で安定な回転を必
要とするもの、たとえば、軸流分子ポンプ等などに適し
ている。
の共振点通過、安定な回転、外乱に対する十分な減衰等
を同時に実現する事ができる。この方式の磁気軸受は、
將に大きな負荷がかからず、ただ高速で安定な回転を必
要とするもの、たとえば、軸流分子ポンプ等などに適し
ている。
Ｎ’Ｅ １図は、本発明の一実施例の構造の断面図で、
第２図は、本発明の磁気軸受システムを模式的に表現し
た図で、第３図、第４図、第５図は、本発明の実施例の
軸方向軸受部の構造の断面図である。 符号の説明 工。、径方向軸受部、２．。軸方同軸受部、３０．径方
向変位センサー、４０．制御回路、５゜。電磁石駆動回
路、６．。径方向電磁石、７．。 ロータ、８０．軸方同変位センサー、９６．制御回路、
１０゜、電磁石駆動回路、１１．、軸方同電磁石、［２
，。了−マチュアディスク、１３’、 、永久磁石、１
４ 、 、コイル。 以上 出願人 株式会社第二精工合 第１１．Ｘ１ 第５１１
第２図は、本発明の磁気軸受システムを模式的に表現し
た図で、第３図、第４図、第５図は、本発明の実施例の
軸方向軸受部の構造の断面図である。 符号の説明 工。、径方向軸受部、２．。軸方同軸受部、３０．径方
向変位センサー、４０．制御回路、５゜。電磁石駆動回
路、６．。径方向電磁石、７．。 ロータ、８０．軸方同変位センサー、９６．制御回路、
１０゜、電磁石駆動回路、１１．、軸方同電磁石、［２
，。了−マチュアディスク、１３’、 、永久磁石、１
４ 、 、コイル。 以上 出願人 株式会社第二精工合 第１１．Ｘ１ 第５１１
Claims (2)
- （１）１組の磁気的な径方向軸受と、１組の磁気的な軸
方同軸受と、３絹の制御回路と電磁石駆動回路によって
、回転体の回転軸回りの回転以外の５自由度の内で、３
自由度を能動的に制御拘束し、残りの２自由度を受動的
に拘束する事を特徴とする磁気軸受。 - （２）径方向軸受の径方向バネ定数と軸方同軸受の受動
的径方向バネ定数との比を磁気軸受に支持さｎる物体の
重心から、そｎぞｇの軸受の作用点までの距離の比のほ
ぼ逆比関係になるように、距離と径方向バネ定数を設定
する事を特徴とする特許請求範囲第１項記載の磁気軸受
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19322282A JPS5983828A (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | 磁気軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19322282A JPS5983828A (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | 磁気軸受 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5983828A true JPS5983828A (ja) | 1984-05-15 |
| JPS6220407B2 JPS6220407B2 (ja) | 1987-05-07 |
Family
ID=16304340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19322282A Granted JPS5983828A (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | 磁気軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5983828A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0344596A2 (en) * | 1988-06-02 | 1989-12-06 | The Glacier Metal Company Limited | Magnetic thrust bearings |
| EP0355796A2 (en) * | 1988-08-22 | 1990-02-28 | Ebara Corporation | Centrifugal pump having magnetic bearing |
| EP0362881A2 (en) * | 1988-10-07 | 1990-04-11 | Nippon Ferrofluidics Corporation | Magnetic bearing device |
| EP0362882A2 (en) * | 1988-10-07 | 1990-04-11 | Nippon Ferrofluidics Corporation | Magnetic bearing device |
| JP2008169965A (ja) * | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気軸受装置 |
| WO2018193944A1 (ja) | 2017-04-20 | 2018-10-25 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、磁気軸受装置及びロータ |
-
1982
- 1982-11-02 JP JP19322282A patent/JPS5983828A/ja active Granted
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0344596A2 (en) * | 1988-06-02 | 1989-12-06 | The Glacier Metal Company Limited | Magnetic thrust bearings |
| EP0344596A3 (en) * | 1988-06-02 | 1990-10-10 | The Glacier Metal Company Limited | Magnetic thrust bearings |
| EP0355796A2 (en) * | 1988-08-22 | 1990-02-28 | Ebara Corporation | Centrifugal pump having magnetic bearing |
| EP0362881A2 (en) * | 1988-10-07 | 1990-04-11 | Nippon Ferrofluidics Corporation | Magnetic bearing device |
| EP0362882A2 (en) * | 1988-10-07 | 1990-04-11 | Nippon Ferrofluidics Corporation | Magnetic bearing device |
| JP2008169965A (ja) * | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気軸受装置 |
| WO2018193944A1 (ja) | 2017-04-20 | 2018-10-25 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、磁気軸受装置及びロータ |
| KR20190141134A (ko) | 2017-04-20 | 2019-12-23 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 진공 펌프, 자기 베어링 장치 및 로터 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6220407B2 (ja) | 1987-05-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0646036B2 (ja) | 軸流分子ポンプ | |
| JP3046533B2 (ja) | 軸受ユニット | |
| US5894181A (en) | Passive magnetic bearing system | |
| JP4045466B2 (ja) | 遠心機ローターを安定化するための装置および方法 | |
| US3934950A (en) | Bearing for high speed rotary shafts | |
| US5155402A (en) | Bearing radially and axially supporting rotor of large radial dimensions | |
| US5782134A (en) | Electromagnetically actuated thrust generator | |
| JPS5993995A (ja) | ポンプ | |
| JP4352170B2 (ja) | 排気ガスターボチャージャ | |
| JPS5983828A (ja) | 磁気軸受 | |
| Sugimoto et al. | Stability consideration of magnetic suspension in two-axis actively positioned bearingless motor with collocation problem | |
| JP2000507335A (ja) | スピンドルモーター用の能動電磁減衰システム | |
| JPH0414A (ja) | 真空ポンプ | |
| JPS60256620A (ja) | 剛性可変機構を有する磁気軸受 | |
| US3058357A (en) | Rate gyroscope | |
| JP2684882B2 (ja) | 回転体の振動抑制装置 | |
| JPH0749805B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
| Yeh | Design, analysis and control of a semi-active magnetic bearing system for rotating machine applications | |
| KOMORI et al. | Prototype of Cryogenic Pump Working in Liquid Nitrogen | |
| JP2601658B2 (ja) | 三軸制御磁気軸受装置 | |
| RU1778884C (ru) | Инерционный демпфер | |
| KR100508599B1 (ko) | 초전도 베어링용 수동형 댐퍼 | |
| JPH03255220A (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JPS5839251B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JPH03255219A (ja) | 磁気軸受装置 |