JP2008166073A - フィラメントランプ及び光照射式加熱装置 - Google Patents

Abstract

【課題】フィラメントランプの端部から導出された導電性部材に接続される複数本のリード線を効率良く配線することにより、フィラメントランプをより一層近接配置する。
【解決手段】フィラメントランプ１内の複数のフィラメント体に個別に電力を供給する光照射式加熱装置において、フィラメントランプ１の外部リード１８、２０の各々に電気的に接続された複数の第１の給電コネクタが所定の間隔で順次並列配置されるように保持するプラグハウジングとからなるプラグＰ１、Ｐ２と、前記第１の給電コネクタとそれぞれ接続される複数の第２の給電コネクタが前記第１の給電コネクタの配置間隔と対応するように所定の間隔で順次並列配置されるように保持するレセプタクルハウジングとからなるレセプタクルＲ１、Ｒ２を具備しており、プラグＰ１、Ｐ２とレセプタクルＲ１、Ｒ２が接続され一体のコネクタが構成される。
【選択図】図１

Description

本発明は、フィラメントランプ及び光照射式加熱装置に係わり、特に、工業用の加熱装置、例えば、半導体の加熱処理に利用されるフィラメントランプ及び光照射式加熱装置に関する。

半導体製造工程における、例えば、成膜、酸化、不純物拡散、窒化、膜安定化、シリサイド化、結晶化、イオン注入活性化等の様々なプロセスを行うに際しては、加熱処理が利用されており、特に、例えば、半導体ウエハ等の被処理体の温度を急速に上昇させたり、下降させたりする急速熱処理（以降、「ＲＴＰ：Ｒａｐｉｄ Ｔｈｅｒｍａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ」ともいう）は、歩留まりや品質を向上させることができることから、好ましく利用されている。
ＲＴＰにおいて用いられる加熱処理装置としては、例えば、光透過性材料からなる発光管の内部にフィラメントが配設されてなる白熱ランプ等の光源からの光照射によって、被処理体を接触することなく加熱することのできる光照射式の加熱処理装置が広く利用されている。

このような光照射式の加熱処理装置によれば、例えば、被処理体を１０００℃以上の温度にまで、数秒から十数秒間で昇温させることが可能であると共に、光照射を停止することにより、被処理体を急速に冷却（降温）させることが可能である。
このような光照射式の加熱処理装置を用いて、例えば、半導体ウエハのＲＴＰを行う場合には、半導体ウエハを１０５０°以上に加熱する際に半導体ウエハに温度分布の不均一が生じると、半導体ウエハに「スリップ」と呼ばれる現象、すなわち、結晶転移の欠陥が発生し不良品となるおそれがあるため、半導体ウエハの全面の温度分布が均一になるように、加熱、高温保持、冷却を行うことが必要とされている。すなわち、ＲＴＰにおいては、被処理物の高精度な温度均一性が求められている。

このような加熱処理に利用される従来の光照射式加熱装置としては、長い直管のバルブからなり、その両端から給電するダブルエンドタイプのハロゲンランプを複数本使用する装置が知られている。このような装置としては、例えば、特開平１０−２４１８４４号公報等が知られている。同公報によれば、長い直管状のダブルエンドタイプハロゲンランプを複数本、並列配置することにより、大きな面積に光照射できることが記載されている。また、各々のハロゲンランプに、そのランプ管軸方向に直交するランプ断面の少なくとも１８０度以上の角度に亘って反射ミラーが取りつけられていることが記載されている。

しかし、前記公報に記載されている装置では、フィラメントランプ毎に反射ミラーが配置されているので、該フィラメントランプ間の距離が大きくなってしまい、被照射面上での光の均一度が不十分になる、といった問題があった。また、前記フィラメントランプ毎に配置される反射ミラーのために、該フィラメントランプ同士は近接できないので、被加熱物側での単位面積当たりの投入エネルギーが十分取れず、昇温速度の改善にも限界があり、市場の要求を十分に満たせない、といった問題があった。

一方、特開平６−２８３５０３号公報に開示されている光照射式加熱装置によれば、平面状の反射鏡上に複数本のフィラメントランプを配列した加熱ランプ機構を持ち、加熱機構自身を平行に移動、または回転させることによりシリコンウエハの均一加熱を図っている。同公報によれば、平面反射鏡上にフィラメントランプを配列しているため、各フィラメントランプからの放射光が干渉しあい、照射面での光分布は均一化されると共に、フィラメントランプが配置された加熱ランプ機構を平行移動、または回転させることにより、更に被加熱物であるウエハに照射される光の均一度を上げることができる。

図８は従来の光照射式加熱装置の概略構成を示す図である。同図に示す光照射式加熱装置は、半導体基板を加熱する光照射式加熱装置３０１であって、光照射式加熱装置３０１に配置されたフィラメントランプ３０２の管軸方向に直交する面で切った断面図である。光照射式加熱装置３０１には直管型のフィラメントランプ３０２が複数本並列配置され、フィラメントランプ３０２から放射された光を被加熱物である半導体ウエハ３１２側に反射する平面反射鏡３０３が設けられており、平面反射鏡３０３とフィラメントランプ３０２からなる加熱機構部３０４が連結棒３０５を介して駆動機構３０６に連結されており、加熱機構３０４を回転させることができる。また、フィラメントランプ３０２から放射される光を照射する半導体ウエハ３１２は、石英ガラスからなる基板支持機構３０７上に載置され、半導体ウエハ３１２及び基板支持機構３０７は、熱処理容器３０８内に配置されている。熱処理容器３０８には、雰囲気ガス導入孔３０９、排気機構３１０、測温機構３１１が設けられている。熱処理容器３０８内に導入された半導体ウエハ３１２を加熱処理する前に、排気機構３１０によって熱処理容器３０８内の空気を排気し、必要に応じて雰囲気ガス導入孔３０９より雰囲気ガスを導入する。また、半導体ウエハ３１２は加熱機構部３０４に配置されたフィラメントランプ３０２によって加熱される。その加熱時の温度を計測するために熱処理容器３０８に測温機構３１１が設けられ、半導体ウエハ３１２の温度を測定している。

このような従来技術に係る光照射式加熱装置の課題は、昇温速度を高めた状態で、半導体ウエハ全体に亘って均等に加熱するために、複数本並列配置されるフィラメントランプの配置間隔を短くして、半導体ウエハの光照射面上の照度を高い精度で平均化することであった。

特開平１０−２４１８４４号公報 特開平６−２８３５０３号公報 特開２００６−２７９００８号公報

本件出願人は、先に、特開２００６−２７９００８号公報に示すように、半導体ウエハを全面に渡ってより高精度な温度制御を可能とするため、発光管の内部に複数のフィラメントを管軸方向に順次に並んで配設し、各々のフィラメントに対してそれぞれ独立に電気を給電し制御できるフィラメントランプと、このフィラメントランプの複数本を適宜に配列し、半導体ウエハの温度分布を高精度に均一化できることが可能で、且つ狭小な特定領域に対する放射照度のみを制御することが可能な光照射式加熱装置を提案した。
このようなフィラメントランプを用いた光照射式加熱装置は、半導体の加熱処理において、均熱度が高く、温度制御性に優れている。すなわち、このフィラメントランプを利用して半導体ウエハを加熱する場合、フィラメントランプ内のフィラメントの分割数を増やすことによって高い照射精度で温度制御することが可能となる。

しかし、半導体ウエハの加熱時に高い昇温速度を確保するためには、フィラメントランプ間をより一層近接配置する必要がある。一方、フィラメントランプの端部からは複数本の外部リード線が導出されており、その各々にリード線が接続され、各々のリード線に個別に電力が供給されている。すなわち、１本のフィラメントランプの端部から複数本のリード線が出ており、それがフィラメントランプの本数分並んで配置され、加熱装置全体では相当数のリード線が出ている状態になる。これらのリード線を、例えば、端子台を用いて個々に固定しようとすると、作業が煩雑であるばかりでなく、端子台のために非常に大きなスペースが必要となり、装置が大型化してしまうという問題がある。また、従来からある真空管に用いられるような多極ソケットを用いた場合は、ソケットの外径がランプの発光管の外径より大きいため隣接するフィラメントランプ間でソケットの干渉が起き、ソケットの外径よりもフィラメントランプの配置間隔（ピッチ）を狭くできず、かつソケットに大きな設置スペースが必要となるため装置が大型化するという問題があった。

本発明の目的は、上記の問題点に鑑み、フィラメントランプの端部から導出された外部リードに接続される複数本のリード線を効率良く配線することにより、フィラメントランプをより一層近接配置することを可能にした光照射式加熱装置を提供することにある。

本発明は、上記の課題を解決するために、次のような手段を採用した。
第１の手段は、発光管の管軸方向に沿って順次に配置された複数のフィラメント、及び該複数のフィラメントの各々に連結され個別に電力を供給するためのリードを有する複数のフィラメント体と、前記リードの各々に電気的に接続された複数の導電性部材と、該複数の導電性部材が配置され前記発光管の端部に設けられた封止部と、前記複数の導電性部材の各々に電気的に接続された外部リードと、を具備するフィラメントランプにおいて、前記複数の外部リードの各々に電気的に接続された給電コネクタと該給電コネクタが所定の間隔で順次並列配置されるように保持するプラグハウジングとからなるプラグを具備してなることを特徴とするフィラメントランプである。
第２の手段は、発光管の管軸方向に沿って順次に配置された複数のフィラメント、及び該複数のフィラメントの各々に連結され個別に電力を供給するためのリードを有する複数のフィラメント体と、前記リードの各々に電気的に接続された複数の導電性部材と、該複数の導電性部材が配置され前記発光管の端部に設けられた封止部と、前記複数の導電性部材の各々に電気的に接続された外部リードと、を具備するフィラメントランプが複数本並列配置されたランプユニットと、前記複数のフィラメント体に個別に電力を供給する電源部とを有する光照射式加熱装置において、前記フィラメントランプは、前記複数の外部リードの各々に電気的に接続された複数の第１の給電コネクタと該複数の第１の給電コネクタが所定の間隔で順次並列配置されるように保持するプラグハウジングとからなるプラグを具備すると共に、前記電源部は、前記プラグを保持する複数の第１の給電コネクタとそれぞれ接続される複数の第２の給電コネクタと該複数の第２の給電コネクタが前記複数の第１の給電コネクタの配置間隔と対応するように所定の間隔で順次並列配置されるように保持するレセプタクルハウジングとからなるレセプタクルを具備しており、前記プラグと前記レセプタクルが接続され一体のコネクタが構成された際、接続される第１の給電コネクタと第２の給電コネクタが、前記発光管の管軸を含む同一鉛直平面上に順次並列配置されるように前記一体のコネクタが配置されていることを特徴とする光照射式加熱装置である。
第３の手段は、第２の手段において、前記一体のコネクタの各々は、前記ランプユニットにおいて複数本並列配置されたフィラメントランプに対応して、並列配置されていることを特徴とする光照射式加熱装置である。
第４の手段は、第２の手段または第３の手段において、前記プラグと、前記レセプタクルには、所定のプラグが所定のレセプタクルにのみ接続されるように、誤接続防止機構がそれぞれ設けられていることを特徴とする光照射式加熱装置である。

請求項１に記載の発明によれば、フィラメントランプ間の距離を近接することができ、半導体ウエハ等の加熱時に精度良く昇温速度の速い加熱が可能となる。また、各フィラメントランプから引き出されるリード線がコネクタハウジングに保持された給電コネクタに順次接続されているので、結線時の作業が複雑にならず、フィラメントランプの交換を円滑に行うことができる。
請求項２に記載の発明によれば、並列配置されたフィラメントランプ間の距離を近接することができ、半導体ウエハ等の加熱時に精度良く昇温速度の速い加熱を行うことができる。また、各フィラメントランプから引き出されるリード線がコネクタハウジングに保持された給電コネクタに順次接続されているので、結線時の作業が複雑にならず、フィラメントランプの交換を円滑に行うことができる。
請求項３に記載の発明によれば、並列配置されたコネクタハウジング間に隙間を設けることができ、この隙間を通して冷却風を流すことができるので、コネクタハウジングの冷却を容易に行うことができる。これにより、給電コネクタの接点部が高温になって酸化されることにより接触不良が起こり、コネクタの過熱やフィラメントランプへ供給する電力が適正に供給されない等の不具合を解消することができる。
請求項４に記載の発明によれば、所定のプラグを所定のレセプタクルに間違いなく確実にかつ機械的に短時間で装着することができ、誤結線を確実に防止することができる。

以下に、本発明の実施形態を図１ないし図７を用いて説明する。
図１及び図２は、本発明に係るフィラメントランプ１を搭載した光照射式加熱装置を説明するための図である。
図１は、本発明の光照射式加熱装置の構成を示す断面図、図２は図１に示す光照射式加熱装置をＡ−Ａ方向から見た断面図である。なお、理解を容易にするために、図２では図１に示す構成要素の一部を省略している。
図１及び図２に示すように、この光照射式加熱装置１００は、チャンバ６を有する。チャンバ６の内部は、光透過性窓部材である石英窓部２によりランプユニット収容空間Ｓ１と加熱処理空間Ｓ２とに分割される。ランプユニット収容空間Ｓ１に収容されるランプユニット３から放射される光を、石英窓部２を介して加熱処理空間Ｓ２に配置されるワーク４（例えば、半導体ウエハ）に照射することにより、ワーク４の加熱処理を行う。

図２に示すように、ランプユニット収容空間Ｓ１に収容されるランプユニット３は、例えば、１１本のフィラメントランプ１を所定の間隔を置いて、並列に配置した構成である。ランプユニット３の各フィラメントランプ１内には、複数のフィラメントがほぼ発光管の管軸上に順次に配置されている。例えば、図１には、７個のフィラメントが模式的に示されている。これらの各フィラメントへの供給電力を個別に制御することにより、ワーク４上の光強度分布を任意に、かつ高精度に設定することが可能となる。

ランプユニット３の上方には、反射鏡５が配置されている。反射鏡５はランプユニット３から上方に向けて照射された光をワーク４側へ反射する。すなわち、光照射式加熱装置１００において、ランプユニット３から放出された光は、直接または反射鏡５で反射されて、ワーク４に照射される。
なお、本光照射式加熱装置１００は、加熱時のワークの昇温速度を高速にするために、上記したランプユニット３とワーク４との距離ができるだけ短くなるように設定されている。

ランプユニット収容空間Ｓ１には、冷却風ユニット８からの冷却風がチャンバ６に設けられた冷却風供給ノズル８１ａ、８１ｂ、８１ｃの各吹出し口８２ａ、８２ｂ、８２ｃから導入される。

冷却風供給ノズル８１ａは、吹出し口８２ａからの冷却風がフィラメントランプ１に吹きつけられるように設けられる。すなわち、冷却風供給ノズル８１ａを介してランプユニット収容空間Ｓ１に導入された冷却風は、ランプユニット３における各フィラメントランプ１に吹きつけられ、各フィラメントランプ１を構成する発光管１１を冷却する。ここで、各フィラメントランプ１の封止部１２ａ、１２ｂは他の箇所に比して耐熱性が低い。そのため、冷却風供給ノズル８１ａの吹出し口８２ａは各フィラメントランプ１の封止部１２ａ、１２ｂに対向して配置し、各フィラメントランプ１の封止部１２ａ、１２ｂを優先的に冷却するように構成することが望ましい。各フィラメントランプ１に吹きつけられ、熱交換により高温になった冷却風は、チャンバ６に設けられ、ガス排気ユニット８１０に接続された冷却風排出口８３ａから排出される。なお、冷却風の流れは、熱交換されて高温になった冷却風が逆に各フィラメントランプ１を加熱しないように考慮されている。
また、上記冷却風は、反射鏡５も同時に冷却する風の流れが設定される。なお、反射鏡５が図示を省略した水冷機構により水冷されているような場合は、必ずしも反射鏡５も同時に冷却するように風の流れを設定しなくてもよい。

冷却風供給ノズル８１ｂは、吹出し口８２ｂからの冷却風が、各フィラメントランプ１内の複数のフィラメントと電気的に接続されるプラグＰ１、Ｐ２と電源部２８と電気的に接続されるレセプタクルＲ１、Ｒ２とが連結される部分に対して吹きつけられるように設けられる。
これにより、プラグＰ１、Ｐ２、レセプタクルＲ１、Ｒ２（以降、これらを総称してコネクタと呼ぶこともある）の通電時の温度上昇を抑制することが可能となる。

ところで、ワーク４の加熱時、加熱されるワーク４からの輻射熱により石英窓部２における蓄熱が発生する。そして蓄熱された石英窓部２から２次的に放射される熱線により、ワーク４は不所望な加熱作用を受けることがある。
この場合、被処理物の温度制御性の冗長化（例えば、設定温度より被処理物の温度が高温になるオーバーシュート）や蓄熱される石英窓部２自体の温度ばらつきに起因するワーク４における温度均一性の低下等の不具合が発生する。また、ワーク４の降温速度の向上が難しくなる。
よって、これらの不具合を抑制するために、冷却風供給ノズル８１ｃの吹出し口８２ｃを石英窓部２の近傍に設け、冷却風ユニット８からの冷却風により石英窓部２を冷却するようにすることが望ましい。

一方、加熱処理空間Ｓ２には、ワーク４が固定される処理台が設けられる。例えば、ワーク４が半導体ウエハ（シリコンウエハ）である場合、処理台は、モリブデンやタングステン、タンタルのような高融点金属材料やシリコンカーバイド（ＳｉＣ）等のセラミック材料、または石英、シリコン（Ｓｉ）からなる薄板の環状体（以降ガードリングとも呼ぶ）であり、その円形開口部の内周部にワーク４（半導体ウエハ）を支持する段差部が形成されている構造のガードリング１０であることが好ましい。

ワーク４（半導体ウエハ）は、上記した円環状のガードリング１０の円形開口部に填め込むように配置され、上記段差部で支持される。ガードリング１０は、自らも光照射によって高温となり対面するワーク４（半導体ウエハ）の外周縁を補助的に放射加熱し、半導体ウエハの外周縁からの熱放射を補償する。これにより、ワーク４（半導体ウエハ）の外周縁からの熱放射等に起因するワーク４（半導体ウエハ）の周縁部の温度低下が抑制される。

ガードリング１０に設置されるワーク４（半導体ウエハ）の光照射面の裏面側には、温度測定部９１がワーク４（半導体ウエハ）に接触または近接して設けられる。温度測定部９１は、ワーク４（半導体ウエハ）の温度分布をモニタするためのものであり、ワーク４（半導体ウエハ）の寸法に応じて個数、配置が設定される。温度測定部９１は、例えば、熱電対や光ファイバ式非接触温度計が使用される。温度測定部９１によりモニタされた温度情報は、温度計９に送出される。温度計９は、各温度測定部９１から送出された温度情報に基づき、各温度測定部９１の測定地点における温度を算出する。

なお、加熱処理の種類に応じて、加熱処理空間Ｓ２には、プロセスガス、パージガスを導入するプロセスガスユニット８００を接続してもよい。例えば、熱酸化プロセスを行う場合は加熱処理空間Ｓ２に酸素ガスを、または加熱処理空間Ｓ２をパージする場合はパージガス（例えば、窒素ガス）を導入するプロセスガスユニット８００を加熱処理空間Ｓ２に接続する。これらのガスは、チャンバ６に設けられるプロセスガスユニット８００に接続されたプロセスガス供給ノズル８４の吹出し口８５から加熱処理空間Ｓ２に導入される。
上記したプロセスガス、パージガスは、チャンバ６に設けられるガス排気ユニット８１０に接続されたガス排出口８３ｂから排出される。

本発明の光照射式加熱装置においては、ランプユニット３を構成する各フィラメントランプ１において、発光管１１の内部のフィラメントを複数に分割し、各フィラメントそれぞれを独立に給電可能に構成としている。そのため、各フィラメントを所定のゾーンにグループ分けし、各フィラメントへの供給電力を個別に調整することが可能となる。すなわち、ワーク４上の２次元方向に対して高精度に光強度分布を設定することができるので、光照射中、ワーク４（半導体ウエハ）を回転させる必要がない。

図３は、図１及び図２に示したフィラメントランプ１の一例を示す斜視図である。
同図に示すように、このフィラメントランプ１は、例えば、石英ガラス等の光透過性材料からなる発光管１１を備え、発光管１１の内部にはハロゲンガスが封入されている。発光管１１の両端部の封止部１２ａ、１２ｂは、例えば、金属箔１３ａ、１３ｂ、１３ｃ及び１３ｄ、１３ｅ、１３ｆでピンチシールされ、内部が気密に保持されている。

発光管１１の内部には、フィラメント体１４、１５、１６が設置されている。フィラメント体１４は、同図の左側から順にリード１４ａ、フィラメント１４ｂ、リード１４ｃが連結されて構成される。またフィラメント体１５は、同図の左側から順にリード１５ａ、フィラメント１５ｂ、リード１５ｃが連結されて構成される。さらに、フィラメント体１６は、同図の左側から順にリード１６ａ、フィラメント１６ｂ、リード１６ｃが連結されて構成される。

フィラメント１４ｂ、１５ｂ、１６ｂはコイル状に形成され、電力が供給されることにより発光する。一方、リード１４ａ、１４ｃはフィラメント１４ｂに電力を供給するための給電線である。同様に、リード１５ａ、１５ｃはフィラメント１５ｂに電力を供給するための給電線であり、リード１６ａ、１６ｃはフィラメント１６ｂに電力を供給するための給電線である。

フィラメント体１４は、リード１４ａの鉤状部が支持部材１９ａにより位置決めされ、ランプ軸の周方向への移動が規制される。また、リード１４ｃの鉤状部が支持部材１９ｂにより位置決めされ、ランプ軸の周方向への移動が規制される。一方、フィラメント１４ｂは、リード１４ａ、１４ｃの鉤状部の略中心位置に溶接等によって連結される。連結作業は、フィラメント体１４を発光管１１に挿入する前に行われる。そのため、フィラメント１４ｂとリード１４ａ、１４ｃの連結は比較的容易かつ高精度に行うことができる。すなわち、リード１４ａ、１４ｃが支持部材１９ａ、１９ｂにより位置決めされた際、フィラメント１４ｂを所望の位置に高精度に配置することができる。その結果、フィラメント１４ｂは、支持部材１９ａ、１９ｂにより所望の位置に位置決めされ、ランプ軸の周方向へ移動することがない。

同様に、フィラメント体１５は、リード１５ａの鉤状部が支持部材１９ｂにより位置決めされ、ランプ軸の周方向への移動が規制される。また、リード１５ｃの鉤状部が支持部材１９ｃにより位置決めされ、ランプ軸の周方向への移動が規制される。一方、フィラメント１５ｂは、リード１５ａ、１５ｃの鉤状部の略中心位置に溶接等によって連結される。連結作業は、フィラメント体１５を発光管１１に挿入する前に行われる。そのため、フィラメント１５ｂとリード１５ａ、１５ｃの連結は、比較的容易かつ高精度に行うことができる。すなわち、リード１５ａ、１５ｃが支持部材１９ｂ、１９ｃにより位置決めされた際、フィラメント１５ｂを所望の位置に高精度に配置することができる。その結果、フィラメント１５ｂは、支持部材１９ｂ、１９ｃにより所望の位置に位置決めされ、ランプ軸の周方向へは移動することがない。

同様に、フィラメント体１６は、リード１６ａの鉤状部が支持部材１９ｃにより位置決めされ、ランプ軸の周方向への移動が規制される。また、リード１６ｃの鉤状部が支持部材１９ｄにより位置決めされ、ランプ軸の周方向への移動が規制される。一方、フィラメント１６ｂは、リード１６ａ、１６ｃの鉤状部の略中心位置に溶接等によって連結される。連結作業は、フィラメント体１６を発光管１１に挿入する前に行われる。そのため、フィラメント１６ｂとリード１６ａ、１６ｃの連結は、比較的容易かつ高精度に行うことができる。すなわち、リード１６ａ、１６ｃが支持部材１９ｃ、１９ｄにより位置決めされた際、フィラメント１６ｂを所望の位置に高精度に配置することができる。その結果、フィラメント１６ｂは、支持部材１９ｃ、１９ｄにより所望の位置に位置決めされ、ランプ軸の周方向へは移動することがない。

このように、支持部材１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄを用いることにより、発光管１１内において、フィラメント１４ｂ、１５ｂ、１６ｂを所望の位置、例えば、略同一軸上に位置決めすることができ、ランプ軸の周方向へは移動しないようにすることができる。

なお、支持部材１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄにおいて、リードの鉤状部の位置決めに寄与しない切欠き部の一部は、他のリードの通過部として機能する。すなわち、支持部材１９ａの位置決め部である切欠き部のうち２つの切欠き部は、リード１４ａの位置決めとして機能し、残りの切欠き部は、リード１５ａ、１６ａの通過部として機能している。また、支持部材１９ｂの位置決め部である切欠き部のうち２つの切欠き部は、リード１４ｃの位置決めとして機能し、他の２つの切欠き部は、リード１５ａの位置決めとして機能し、残りの切欠き部は、リード１６ａの通過部として機能している。また、支持部材１９ｃの位置決め部である切欠き部のうち２つの切欠き部は、リード１５ｃの位置決めとして機能し、他の２つの切欠き部は、リード１６ａの位置決めとして機能し、残りの切欠き部は、リード１４ｃの通過部として機能している。さらに、支持部材１９ｄの位置決め部である切欠き部のうちの２つの切欠き部は、リード１６ｃの位置決めとして機能し、残りの切欠き部は、リード１４ｃ、１５ｃの通過部として機能している。

各フィラメント体のリードには、他のフィラメント体のフィラメントと対向する箇所の外側が不図示の石英等からなる絶縁管によって包囲されている。すなわち、フィラメント体１４のフィラメント１４ｂは、フィラメント体１５のリード１５ａ、フィラメント体１６のリード１６ａと対向しているので、リード１５ａ、１６ａは、フィラメント１４ｂと対向する外側が不図示の絶縁管によって包囲される。このように絶縁管を設けるのは、フィラメント１４ｂに取りつけられたアンカー１７とリード１５ａ、１６ａとが接触して電気的に短絡することを確実に防止するためである。また、フィラメント体１５のフィラメント１５ｂは、フィラメント体１４のリード１４ｃ、フィラメント体１６のリード１６ａと対向しているので、リード１４ｃ、１６ａは、フィラメント１５ｂと対向する外側が不図示の絶縁管によって包囲される。このように構成することによりフィラメント１５ｂに取りつけられたアンカー１７とリード１４ｃ、１６ａとが接触して電気的に短絡することを確実に防止することができる。さらに、フィラメント体１６のフィラメント１６ｂは、フィラメント体１４のリード１４ｃ、フィラメント体１５のリード１５ｃと対向しているので、リード１４ｃ、１５ｃは、フィラメント１６ｂと対向する外側が不図示の絶縁管によって包囲される。このように構成することによりフィラメント１６ｂに取りつけられたアンカー１７とリード１４ｃ、１５ｃとが接触して電気的に短絡することを確実に防止することができる。

また、このフィラメントランプ１は、各フィラメント体の両端部が封止部に配置されたタングステン棒等からなる内部リード及び外部リードとモリブデン等の金属箔とで構成された導電性部材の一端と接続される。すなわち、フィラメント体１４については、リード１４ａ及びリード１４ｃの鉤状部とは反対側の端部が、各々封止部１２ａの内部リード１８ｄ及び封止部１２ｂの内部リード１８ｇと接続される。同様に、フィラメント体１５については、リード１５ａ及びリード１５ｃの鉤状部とは反対側の端部が、各々封止部１２ａの内部リード１８ｆ及び封止部１２ｂの内部リード１８ｉと接続される。同様に、フィラメント体１６については、リード１６ａ及びリード１６ｃの鉤状部とは反対側の端部が、各々封止部１２ａの内部リード１８ｅ及び封止部１２ｂの内部リード１８ｈと接続される。

なお、図３においては、フィラメントランプ１は、３個のフィラメント体１４、１５、１６を使用する例を示したが、これに限られず、４個以上のフィラメント体を使用することも可能である。この場合、被処理物上の放射照度をフィラメント体の数の分だけ細かく制御することが可能となる。

次に、本発明の光照射式加熱装置において、フィラメントランプ１へ給電するために設けられるコネクタ（図１のプラグＰ１、Ｐ２、レセプタクルＲ１、Ｒ２）について詳細に説明する。

図４はフィラメントランプ１の端部に設けられるプラグＰ１、Ｐ２の構成を説明するための図であり、図４はプラグＰ１、Ｐ２の構成を示す断面図である。
同図に示すように、フィラメントランプ１の一端部からはフィラメントランプ１内部の各フィラメント体に電気的に接続されている複数の外部リード２０（同図右側）が突出している。これらの複数の外部リード２０にはリード線２１が個々に接続される。
一方、プラグＰ１は、ピン状の給電コネクタ２２ａと、この給電コネクタ２２ａを保持するプラグハウジング２３とから構成される。給電コネクタ２２ａは、上記した複数のリード線２１に対応して個々に接続される。すなわち、給電コネクタ２２ａの個数は、複数のリード線２１の個数と同数となる。プラグハウジング２３は、材質が電気絶縁性樹脂であり、その形状は、例えば、直方体形状である。

プラグハウジング２３には、長手方向に略等間隔に設けられた貫通孔状の給電コネクタ保持部２３ａが複数設けられる。複数の給電コネクタ２２ａはそれぞれ、貫通孔状の給電コネクタ保持部２３ａ個々に挿入される。そして、各給電コネクタ２２ａの突出部２２１がプラグハウジング２３から突出するように、給電コネクタ２２ａは、それぞれ、給電コネクタ保持部２３ａにより保持される。すなわち、複数の給電コネクタ２２ａ及びその突出部２２１は、所定の間隔離間して、プラグハウジング２３の長手方向に順次並列配置されるように、プラグハウジング２３により保持される。なお、各給電コネクタ２２ａ間の離間距離は、各フィラメント体に印加される電圧、各フィラメント体を流れる電流、及び、プラグハウジング２３の材質等に基づいて、適宜決定される。

一方、プラグハウジング２３の側面（給電コネクタ保持部２３ａが設けられていない面）には、把手部２２ｙが設けられる。作業者は、プラグＰ１の把手部２２ｙを持って、プラグＰ１を後述するレセプタクルＲ１に接続する。

同様に、フィラメントランプ１の他端部にはプラグＰ２が設けられる。図４に示すように、フィラメントランプ１の他端部からは、フィラメントランプ１内部の各フィラメント体に電気的に接続されている複数の外部リード１８（同図左側）が突出している。これらの複数の外部リード１８には、リード線２４が個々に接続される。
一方、プラグＰ２は、ピン状の給電コネクタ２２ｂと、この給電コネクタ２２ｂを保持するプラグハウジング２５とから構成される。給電コネクタ２２ｂは、上記した複数のリード線２４に対応して個々に接続される。すなわち、給電コネクタ２２ｂの個数は、複数のリード線２４の個数と同数となる。プラグハウジング２５は、プラグハウジング２３と同様、材質が電気絶縁性樹脂であり、その形状は例えば直方体形状である。

プラグハウジング２５には、長手方向に略等間隔に設けられた貫通孔状の給電コネクタ保持部２５ａが複数設けられる。複数の給電コネクタ２２ｂはそれぞれ、貫通孔状の給電コネクタ保持部２５ａ個々に挿入される。そして、各給電コネクタ２２ｂの突出部２２２がプラグハウジング２５から突出するように、給電コネクタ２２ｂは、それぞれ、給電コネクタ保持部２５ａにより保持される。すなわち、複数の給電コネクタ２２ｂ及びその突出部２２２は、所定の間隔で離間して、プラグハウジング２５の長手方向に順次並列配置されるように、プラグハウジング２５により保持される。なお、各給電コネクタ２２ｂ間の離間距離は、各フィラメント体に印加される電圧、各フィラメント体を流れる電流、及び、プラグハウジング２５の材質に基づいて、適宜決定される。

一方、プラグハウジング２５の側面（給電コネクタ保持部２５ａが設けられていない面）には、把手部２２ｘが設けられる。作業者は、プラグＰ２の把手部２２ｘを持って、プラグＰ２を後述するレセプタクルＲ２に接続する。

なお、図３においては、理解を容易にするために、フィラメントランプ１の封止部１２ｂから導出される外部リード１８ｊ、１８ｌ、１８ｋは、３個のフィラメント体１４、１５、１６に対応して３本の場合を示している。一方、図４は、図１に模式的に例示した７個のフィラメントを内部に有するフィラメントランプ１に対応している。すなわち、図４において、フィラメントランプ１の封止部１２ｂから突出している外部リード２０及び封止部１２ａから突出している外部リード１８は、７本全ては図示されていないが、フィラメントランプ１内の７個のフィラメントに対応して７本の場合を示している。

図５は上記したプラグＰ１、Ｐ２がそれぞれ接続されるレセプタクルＲ１、Ｒ２の構成を説明するための図であり、図５はレセプタクルＲ１、Ｒ２の構成を示す断面図である。
同図に示すように、プラグＰ１が接続されるレセプタクルＲ１は、端部に凹部２２３を有するピン状の給電コネクタ２２ｃと、この給電コネクタ２２ｃを保持するレセプタクルハウジング２６とから構成される。給電コネクタ２２ｃは、図４に示したプラグＰ１が備える複数の給電コネクタ２２ａに対応して、個々に接続可能に構成される。よって、給電コネクタ２２ｃの個数は、複数の給電コネクタ２２ａの個数と同数となる。また、凹部２２３の形状は、図４に示した給電コネクタ２２ａの突出部２２１を差し込むことが可能な形状である。

レセプタクルハウジング２６は、材質が電気絶縁性樹脂であり、その形状は、例えば、直方体形状である。図５に示すように、レセプタクルハウジング２６には、長手方向に略等間隔に設けられた貫通孔状の給電コネクタ保持部２６ａが複数設けられる。複数の給電コネクタ２２ｃはそれぞれ、貫通孔状の給電コネクタ保持部２６ａ個々に挿入される。そして、各給電コネクタ２２ｃの凹部２２３の端部がレセプタクルハウジング２６から露出するように、給電コネクタ２２ｃは、それぞれ、給電コネクタ保持部２６ａにより保持される。すなわち、凹部２２３を備える複数の給電コネクタ２２ｃは、所定の間隔離間して、レセプタクルハウジング２６の長手方向に順次並列配置されるように、レセプタクルハウジング２６により保持される。
なお、各給電コネクタ２２ｃ間の離間距離は、各フィラメント体に印加される電圧、各フィラメント体を流れる電流、及びレセプタクルハウジング２６の材質等に基づいて、適宜決定される。当然ながら、各給電コネクタ２２ｃ間の離間距離は、図４に示したプラグハウジング２３が保持する各給電コネクタ２２ａ間の離間距離と等しくなる。

複数の給電コネクタ２２ｃは、それぞれリード線２１１の一端側に接続される。一方、リード線２１１の他端側は、電源供給ポート２９に接続される。電源供給ポート２９において、複数のリード線２１１は、給電線２１２の一端部と個別に電気的に接続される。更に、リード線２１２の他端側は電源部２８と接続される。すなわち、レセプタクルＲ１が備える複数の給電コネクタ２２ｃは、リード線２１１、電源供給ポート２９、給電線２１２を介して電源部２８と電気的に接続される。

同様に、プラグＰ２が接続されるレセプタクルＲ２は、端部に凹部２２４を有するピン状の給電コネクタ２２ｄと、この給電コネクタ２２ｄを保持するレセプタクルハウジング２７とから構成される。給電コネクタ２２ｄは、図４に示したプラグＰ２が備える複数の給電コネクタ２２ｂに対応して、個々に接続可能に構成される。よって、給電コネクタ２２ｄの個数は、複数の給電コネクタ２２ｂの個数と同数となる。また、凹部２２４の形状は、図４に示した給電コネクタ２２ｂの突出部２２２を差し込むことが可能な形状である。

レセプタクルハウジング２７は、材質が電気絶縁性樹脂であり、その形状は、例えば、直方体形状である。図５に示すように、レセプタクルハウジング２７には、長手方向に略等間隔に設けられた貫通孔状の給電コネクタ保持部２７ａが複数設けられる。複数の給電コネクタ２２ｄはそれぞれ、貫通孔状の給電コネクタ保持部２７ａ個々に挿入される。そして、各給電コネクタ２２ｄの凹部２２４の端部がレセプタクルハウジング２７から露出するように、給電コネクタ２２ｄは、それぞれ、給電コネクタ保持部２７ａにより保持される。すなわち、凹部２２４を備える複数の給電コネクタ２２ｄは、所定の間隔離間して、レセプタクルハウジング２７の長手方向に順次並列配置されるように、レセプタクルハウジング２７により保持される。
なお、各給電コネクタ２２ｄ間の離間距離は、各フィラメント体に印加される電圧、各フィラメント体を流れる電流、及びレセプタクルハウジング２７の材質等に基づいて、適宜決定される。当然ながら、各給電コネクタ２２ｄ間の離間距離は、図４に示したプラグハウジング２５が保持する各給電コネクタ２２ａ間の離間距離と等しくなる。

複数の給電コネクタ２２ｄは、それぞれリード線２４１の一端側に接続される。一方、リード線２４１の他端側は、電源供給ポート３０に接続される。電源供給ポート３０において、複数のリード線２４１は、給電線２４２の一端部と個別に電気的に接続される。更に、リード線２４２の他端側は電源部２８と接続される。すなわち、レセプタクルＲ２が備える複数の給電コネクタ２２ｄは、リード線２４１、電源供給ポート３０、給電線２４２を介して電源部２８と電気的に接続される。

プラグＰ１とレセプタクルＲ１とが接続される際、プラグＰ１が保持する複数の給電コネクタ２２ａの突出部２２１は、レセプタクルＲ１が保持する複数の給電コネクタ２２ｃの凹部２２３に個々に差し込まれる。また、プラグＰ２とレセプタクルＲ２とが接続される際、プラグＰ２が保持する複数の給電コネクタ２２ｂの突出部２２２は、レセプタクルＲ２が保持する複数の給電コネクタ２２ｄの凹部２２４に個々に差し込まれる。すなわち、図４に示すプラグＰ１と図５に示すレセプタクルＲ１とが接続されると、図４に示したフィラメントランプ１の一端部から突出している複数の外部リード２０は、それぞれに対応するリード線２１、プラグＰ１と接続され、図５に示したレセプタクルＲ１、リード線２１１、電源供給ポート２９、給電線２１２を介して、電源部２８に電気的に接続される。また、同様に、プラグＰ２とレセプタクルＲ２とが接続されると、フィラメントランプ１の他端部から突出している複数の外部リード１８は、それぞれに対応するリード線２４、プラグＰ２、レセプタクルＲ２、リード線２４１、電源供給ポート３０、給電線２４２を介して、電源部２８に電気的に接続される。

よって、プラグＰ１とレセプタクルＲ１、プラグＰ２とレセプタクルＲ２とがそれぞれ接続されると、フィラメントランプ１の内部の各フィラメント体は、それぞれ独立に、電源部２８に電気的に接続される。すなわち、プラグＰ１とレセプタクルＲ１、プラグＰ２とレセプタクルＲ２とがそれぞれ接続されることにより、電源部２８からフィラメントランプ１内に設けられた各フィラメントに対して個別に給電することが可能となる。

次に、コネクタ（プラグＰ１、Ｐ２、レセプタクルＲ１、Ｒ２）の光照射式加熱装置内における配置について説明する。
図１に示すように、本発明の光照射式加熱装置において、チャンバ６内部には、保持手段７が設けられる。保持手段７の形状はチャンネル形状であり、ランプユニット３の上方に面するチャンバ６内面に取りつけられる。ここで、保持手段７の両側面部は、ランプユニット３を構成する複数のフィラメントランプ１の端部側にそれぞれ位置するように配置される。保持手段７の両側面部には、レセプタクルＲ１、Ｒ２がそれぞれ取りつけられる。また、保持手段７の底面には、反射鏡５が取りつけられる。

上記したように、保持手段７はランプユニット３の上方に設けられる。よって、図２に示すように、保持手段７の側面部に取りつけられたレセプタクルＲ２は、各フィラメントランプ１の上方に配置される。よって、複数のプラグＰ２は、それぞれ接続されているフィラメントランプ１の端部の上方に位置するようにして、レセプタクルＲ２と接続される。
一方、上記したように、ランプユニット３は、複数のフィラメントランプ１を所定の間隔を置いて、並列に配置した構成である。よって、並列配置されたフィラメントランプ１に対して各プラグＰ２もランプ配置と同様にレセプタクルＲ２に対して並列配置されるように接続される。

ここで、レセプタクルＲ２には、各プラグＰ２が接続された際、各プラグＰ２の長手方向がフィラメントランプ１の発光管の管軸方向に対して略鉛直となるように、複数の給電コネクタ２２ｄ（図２参照）が設けられる。
このように構成することにより、コネクタの接続時、各プラグＰ２を、その長手方向がフィラメントランプ１の発光管の管軸方向に対して略鉛直となる姿勢で並列に配置することが可能となる。

同様に、レセプタクルＲ１においても、各プラグＰ１が接続された際、各プラグＰ１の長手方向がフィラメントランプ１の発光管の管軸方向に対して略鉛直となるように、複数の給電コネクタ２２ｃ（図６参照）が設けられる。
このように構成することにより、上記と同様に、コネクタの接続時、各プラグＰ１を、その長手方向がフィラメントランプ１の発光管の管軸方向に対して略鉛直となる姿勢で並列に配置することが可能となる。

図６はフィラメントランプ１に接続されたプラグＰ１、Ｐ２とプラグＰ１、Ｐ２に接続されるレセプタクルＲ１，Ｒ２の構成を示す斜視図である。
同図に示すように、フィラメントランプ１の一端部から突出する複数の外部リード２０とプラグＰ１のプラグハウジング２３に保持される給電コネクタ２２ａとを電気的に接続するリード線２１には、略直角の折り曲げ部２１ａ、２１ｂが設けられる。同様に、フィラメントランプ１の他端部から突出する複数の外部リード１８とプラグＰ２のプラグハウジング２５に保持される給電コネクタ２２ｂとを電気的に接続するリード線２４には、略直角の折り曲げ部２４ａ、２４ｂが設けられる。
このように、折り曲げ部２１ａ、２１ｂ、２４ａ、２４ｂを設けることにより、プラグＰ１、Ｐ２の長手方向とフィラメントランプ１の発光管の管軸方向とが略直交するように、フィラメントランプ１とプラグＰ１、Ｐ２を配置することが可能となる。
すなわち、上記したように、各プラグＰ１をレセプタクルＲ１に接続した際、及び各プラグＰ２をレセプタクルＲ２に接続した際、各プラグＰ１及び各プラグＰ２の長手方向がフィラメントランプ１の発光管の管軸方向に対して略鉛直となる姿勢で、各プラグＰ１及び各プラグＰ２は、レセプタクルＲ１、Ｒ２に対してそれぞれ並列に配置される。

以上のように、本発明の光照射式加熱装置は、フィラメントランプ１内に配置される複数のフィラメント体の外部リード１８、２０に対して、それぞれ給電コネクタ２２ａ、２２ｂが個別に電気的に接続される。

プラグＰ１において、複数の給電コネクタ２２ａは、所定の間隔離間して、例えば、直方体形状のプラグハウジング２３の長手方向に順次並列配置されるように、プラグハウジング２３により保持される。
また、プラグＰ２において、複数の給電コネクタ２２ｂは、所定の間隔離間して、例えば、直方体形状のプラグハウジング２５の長手方向に順次並列配置されるように、プラグハウジング２５により保持される。
一方、レセプタクルＲ１において、上記した複数の給電コネクタ２２ａに個別に接続される複数の給電コネクタ２２ｃは、所定の間隔離間して、例えば、直方体形状のレセプタクルハウジング２６の長手方向に順次並列配置されるように、レセプタクルハウジング２６により保持される。
また、レセプタクルＲ２において、上記した複数の給電コネクタ２２ｂに個別に接続される複数の給電コネクタ２２ｄは、所定の間隔離間して、例えば、直方体形状のレセプタクルハウジング２７の長手方向に順次並列配置されるように、レセプタクルハウジング２７により保持される。

そして、このように構成したプラグＰ１とレセプタクルＲ１の配置は以下のように設定する。すなわち、両者が接続された際、各プラグＰ１がその長手方向がフィラメントランプ１の発光管の管軸方向に対して略鉛直となる姿勢で並列に配置されるように、両者の配置を設定する。
同様に、上記のように構成したプラグＰ２とレセプタクルＲ２の配置は以下のように設定する。すなわち、両者が接続された際、各プラグＰ２がその長手方向がフィラメントランプ１の発光管の管軸方向に対して略鉛直となる姿勢で並列に配置されるように、両者の配置を設定する。
すなわち、プラグＰ１、Ｐ２が保持する並列配置された給電コネクタ２２ａ、２２ｂが、図６に示すように、発光管の管軸を含む同一鉛直平面上に位置するように設定する。当然ながら、プラグＰ１、Ｐ２とレセプタクルＲ１、Ｒ２との接続時には、レセプタクルＲ１、Ｒ２が保持する並列配置された給電コネクタ２２ｃ、２２ｄは、図６に示す発光管の管軸を含む鉛直平面上に位置するように設定される。

上記のように構成することにより、図１及び図２に示したランプユニット３において、並列配置された複数のフィラメントランプ１に対応して、各フィラメントランプ１と電気的に接続されるコネクタ（プラグＰ１、Ｐ２、レセプタクルＲ１、Ｒ２）を並列配置することが可能となる。

また、コネクタ（プラグＰ１、Ｐ２、レセプタクルＲ１、Ｒ２）は、図４及び図５に示すように、それぞれ、例えば、直方体形状であって、各フィラメントランプ１に対応する複数の給電コネクタ２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄをコネクタの長手方向に順次並列配置されるようにコネクタを構成し、かつ、図２に示すように、各コネクタの長手方向がフィラメントランプの発光管の管軸方向に対して略鉛直となる姿勢となるように各コネクタを並列配置したので、各コネクタ間の間隔を狭くすることが可能となる。
言い換えると、プラグＰ１、Ｐ２が保持する並列配置された給電コネクタ２２ａ、２２ｂとレセプタクルＲ１、Ｒ２が保持する給電コネクタ２２ｃ、２２ｄとを接続する際、接続された各給電コネクタが、図６に示すように、発光管の管軸を含む同一鉛直平面上に並列配置されるようにコネクタを構成し、かつ、配置したので、各コネクタ間の間隔を狭くすることが可能となる。

よって、本発明によれば、ランプユニット３において、並列配置される複数のフィラメントランプ１間の間隔を狭くすることが可能となるので、ワーク４（半導体ウエハ）の加熱時に高い昇温速度を確保することが可能となる。
また、本発明によれば、フィラメントランプ１と電源部２８との接続において、コネクタを用いているので、ランプユニット３を構成する複数のフィラメントランプ１からの多数のリード線を、端子台を用いて個々に固定する場合と比較して、電気的接続作業が簡単であり、また、多数のリード線に対応する大型の端子台を使用しないので、装置の小型化を実現できる。
また、本発明によれば、コネクタを上記のように構成したので、外径がランプの発光管の外径より大きい多極ソケットをコネクタとして用いた場合と比較して、フィラメントランプの配置間隔を狭くすることができる。また、多極ソケットの場合と異なり、コネクタに対して大きな設置スペースが必要とならず、装置の小型化を実現できる。
さらに、本発明によれば、並列配置されたコネクタ間の隙間を通して冷却風供給ノズル８１ｂの吹出し口８２ｂからの冷却風を流すことが可能となるので、各コネクタを効果的に冷却することが可能となる。よって、各コネクタ（プラグＰ１、Ｐ２、レセプタクルＲ１、Ｒ２）の通電時の温度上昇を抑制することが可能となる。

なお、上記した例においては、１つのレセプタクルＲ１に対して、複数のプラグＰ１と接続可能となるようにコネクタが構成されている場合を示したが、これに限られるものではない。各プラグＰ１に対応して、個別にレセプタクルＲ１を設けることも可能である。同様に、上記した例においては、１つのレセプタクルＲ２に対して、複数のプラグＰ２と接続可能となるようにコネクタが構成されている場合を示したが、これに限られるものではない。各プラグＰ２に対応して、個別にレセプタクルＲ２を設けることも可能である。

また、図４及び図５において、複数の給電コネクタ２２ａ、２２ｂ 、２２ｃ、２２ｄの間隔は、所定の間隔で等間隔に配置されているがこれに限られるものではない。例えば、プラグＰ１において、プラグハウジング２３における複数の給電コネクタ２２ａの間隔は等間隔である必要はなく、各フィラメント体に印加される電圧、各フィラメント体を流れる電流、及びプラグハウジング２３の材質等に基づいて、非等間隔に設定してもよい。なお、この場合、プラグＰ１が接続されるレセプタクルＲ１における複数の給電コネクタ２２ｃの間隔は、上記給電コネクタ２２ａの間隔に対応して設定される。

また、給電コネクタ２２ａ、２２ｂと給電コネクタ２２ｃ、２２ｄとがそれぞれ接続される際、接続された各給電コネクタが、図６に示すように、発光管の管軸を含む同一鉛直平面上に並列配置されるようにコネクタ（プラグＰ１、Ｐ２、レセプタクルＲ１、Ｒ２）を構成し、かつ配置するとしたが、前記した接続された各給電コネクタ２２ａは必ずしも同一鉛直平面上に並列配置する必要はない。並列配置される各コネクタ（プラグＰ１、Ｐ２、レセプタクルＲ１、Ｒ２）間の距離がある程度狭く構成できるのであれば、接続された各給電コネクタは、同一鉛直平面近傍に並列配置されるようにしてもよい。

ところで、本発明の光照射式加熱装置においては、各フィラメントランプ１に対応して設けられる各プラグＰ１、Ｐ２は、所定のレセプタクルＲ１、Ｒ２に誤りなく嵌合保持させ、正しく電気的接続を図るようにする必要がある。よって、コネクタ（プラグＰ１、Ｐ２、レセプタクルＲ１、Ｒ２）の誤接続を確実に防止するために、コネクタに誤接続防止機構を設けてもよい。

図７は、コネクタの誤接続防止機構を設けたコネクタ（プラグＰ１、レセプタクルＲ１）の構成例を示す図である。
同図において、５本のフィラメントランプ１の一端側にそれぞれ接続されるプラグＰ１（１）、Ｐ１（２）、Ｐ１（３）、Ｐ１（４）、Ｐ１（５）と、これらが接続されるレセプタクルＲ１を示す。レセプタクルＲ１において、各プラグＰ１が接続される部分には、段差Ｒｃ（１）、Ｒｃ（２）、Ｒｃ（３）、Ｒｃ（４）、Ｒｃ（５）が形成されている。上記した各段差Ｒｃ（１）、Ｒｃ（２）、Ｒｃ（３）、Ｒｃ（４）、Ｒｃ（５）に、それぞれ、プラグＰ１（１）、Ｐ１（２）、Ｐ１（３）、Ｐ１（４）、Ｐ１（５）が差し込まれて、プラグＰ１とレセプタクルＲ１との接続が行われる。なお、段差Ｒｃに各プラグＰ１が確実に差し込まれるように、段差Ｒｃ（１）、Ｒｃ（２）、Ｒｃ（３）、Ｒｃ（４）、Ｒｃ（５）の幅ｒは、プラグＰ１（１）、Ｐ１（２）、Ｐ１（３）、Ｐ１（４）、Ｐ１（５）の幅ｐより僅かに大きい。
各段差Ｒｃには、それぞれ、各プラグＰ１の複数の給電コネクタ２２ａが接続される複数の給電コネクタ２２ｃが設けられる。なお、各プラグＰ１における複数の給電コネクタ２２ａの保持構造、レセプタクルＲ１における複数の給電コネクタ２２ｃの保持構造は、それぞれ図４及び図５に示したものと同じである。

各プラグＰ１（１）、Ｐ１（２）、Ｐ１（３）、Ｐ１（４）、Ｐ１（５）の側面の互いに異なる位置に凹部Ｐａ（１）、Ｐａ（２）、Ｐａ（３）、Ｐａ（４）、Ｐａ（５）を設ける。ここで、互いに異なる位置とは、上記側面において、プラグＰ１の端面Ｐｓからの距離ｄが互いに異なる位置を意味する。
一方、レセプタクルＲ１の各段差Ｒｃ（１）、Ｒｃ（２）、Ｒｃ（３）、Ｒｃ（４）、Ｒｃ（５）の側面に凸部Ｒａ（１）、Ｒａ（２）、Ｒａ（３）、Ｒａ（４）、Ｒａ（５）を設ける。凸部Ｒａが設けられる各段差Ｒｃの側面は、プラグＰ１とレセプタクルＲ１の接続時、凹部Ｐａが設けられた各プラグＰ１の側面と対応する面である。また、凸部Ｒａと凹部Ｐａの形状は、両者が嵌合可能な形状にする。

ここで、凸部Ｒａの各段差Ｒｃの側面における位置を、プラグＰ１とレセプタクルＲ１の接続時、各プラグＰ１（１）、Ｐ１（２）、Ｐ１（３）、Ｐ１（４）、Ｐ１（５）の側面の互いに異なる位置に設けられた凹部Ｐａ（１）、Ｐａ（２）、Ｐａ（３）、Ｐａ（４）、Ｐａ（５）と嵌合可能な位置となるようにする。
すなわち、プラグＰ１（１）が接続されるレセプタクルＲ１の段差Ｒｃ（１）においては、段差Ｒｃ（１）の側面に設ける凸部Ｒａ（１）の位置をプラグＰ１（１）の側面に設けられた凹部Ｐａ（１）と嵌合可能な位置となるようにする。
また、段差Ｒｃ（２）においては、段差Ｒｃ（２）の側面に設ける凸部Ｒａ（２）の位置は、プラグＰ１（２）の側面に設けられた凹部Ｐａ（２）と嵌合可能な位置となる。
以下同様に、段差Ｒｃ（３）、段差Ｒｃ（４）、段差Ｒｃ（５）の側面にそれぞれ設ける凸部Ｒａ（３）、凸部Ｒａ（４）、凸部Ｒａ（５）の位置は、プラグＰ１（３）、プラグＰ１（４）、プラグＰ１（５）の側面に設けられた凹部Ｐａ（３）、凹部Ｐａ（４）、凹部Ｐａ（５）と嵌合可能な位置となる。

このように、誤接続防止機構として、凸部Ｒａ、凹部Ｐａを設けることにより、所定のプラグＰ１をレセプタクルＲ１における所定の段差Ｒｃに誤り無く差し込むことができる。例えば、段差Ｒｃ（１）に設けられた複数の給電コネクタ２２ｃの正しい接続相手がプラグＰ１（１）が保持する各給電コネクタ２２ａとする。ここで、段差Ｒｃ（１）にプラグＰ１（１）を差し込もうとすると、段差Ｒｃ（１）の凸部Ｒａ（１）とプラグＰ１（１）の凹部Ｐａ（１）は、嵌合可能な位置に設けられているので、段差Ｒｃ（１）とプラグＰ１（１）は接続することができる。すなわち、段差Ｒｃ（１）に設けられた複数の給電コネクタ２２ｃとプラグＰ１（１）が保持する各給電コネクタ２２ａとを正しく接続することが可能となる。

一方、段差Ｒｃ（１）に設けられた複数の給電コネクタ２２ｃに対して、例えば、プラグＰ１（２）を差し込もうとすると、段差Ｒｃ（１）の凸部Ｒａ（１）に対してプラグＰ１（２）の凹部Ｐａ（２）は、勘合可能な位置に設けられていないので、段差Ｒｃ（１）とプラグＰ１（２）は接続することができない。よって、段差Ｒｃ（１）に設けられた複数の給電コネクタ２２ｃが誤ってプラグＰ１（２）が保持する各給電コネクタ２２ａと接続されることを確実に防止することができる。

以上のごとく、誤接続防止機構として凸部Ｒａ、凹部Ｐａを設けることにより、複数の給電コネクタ２２ａと複数の給電コネクタ２２ｃとの接続を正しく行うことが可能となる。
同様に、プラグＰ２とレセプタクルＲ２についても上記したような誤接続防止機構を設けることが可能である。

なお、誤接続防止機構の構成は、上記の例に限られるものではない。例えば、凸部Ｒａの代わりにピンを設けてもよい。当然ながら、ピンは凹部Ｐａの位置に対応し、凹部Ｐａと嵌合可能に構成される。また、ピンを用いる場合、レセプタクルＲ１において、段差Ｒｃを設けなくてもよい。

本発明に係る光照射式加熱装置の構成を示す断面図である。 図１のＡ−Ａから見た本発明に係る光照射式加熱装置の構成を示す断面図であフィラメントランプ１に接続されたる。 図１及び図２に示したフィラメントランプ１の一例を示す斜視図である。 フィラメントランプ１の端部に設けられるプラグＰ１、Ｐ２の構成示す断面図である。 プラグＰ１、Ｐ２がそれぞれ接続されるレセプタクルＲ１、Ｒ２の構成を示す断面図である。 フィラメントランプ１に接続されたプラグＰ１、Ｐ２とプラグＰ１、Ｐ２に接続されたレセプタクルＲ１、Ｒ２の構成を示す斜視図である。 誤接続防止機構を設けたコネクタ（プラグＰ１、レセプタクルＲ１）の構成を示す斜視図である。 従来技術に係る光照射式加熱装置の構成を示す断面図である。

符号の説明

１ フィラメントランプ
２ 石英窓部
３ ランプユニット
４ ワーク（例えば、半導体ウエハ）
５ 反射鏡
６ チャンバ
７ 保持手段
８ 冷却風ユニット
８１ａ、８１ｂ、８１ｃ 冷却風供給ノズル
８２ａ、８２ｂ、８２ｃ 吹出し口
８３ａ 冷却風排出口
８３ｂ ガス排出口
８４ プロセスガス供給ノズル
８５ 吹出し口
８００ プロセスガスユニット
８１０ ガス排気ユニット
９ 温度計
９１ 温度測定部
１０ ガードリング
１１ 発光管
１２ａ、１２ｂ 封止部
１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ、１３ｅ、１３ｆ 金属箔
１４、１５、１６ フィラメント体
１４ａ、１５ａ、１６ａ、１４ｃ、１５ｃ、１６ｃ リード
１４ｂ、１５ｂ、１６ｂ フィラメント
１７ アンカー
１８、２０ 外部リード
１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｊ、１８ｋ、１８ｌ 外部リード
１８ｄ、１８ｅ、１８ｆ、１８ｇ、１８ｈ、１８ｉ 内部リード
１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ 支持部材
２１、２４ リード線
２１ａ、２１ｂ、２４ａ、２４ｂ 折り曲げ部
２１１、２４１ リード線
２１２、２４２ 給電線
２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ 給電コネクタ
２２１、２２２ 突出部
２２３、２２４ 凹部
２２ｘ、２２ｙ 把手部
２３、２５ プラグハウジング
２３ａ、２５ａ 給電コネクタ保持部
２６、２７ レセプタクルハウジング
２６ａ、２７ａ 給電コネクタ保持部
２８ 電源部
２９、３０ 電源供給ポート
１００ 光照射式加熱装置
Ｓ１ ランプユニット収容空間
Ｓ２ 加熱処理空間
Ｐ１、Ｐ２ プラグ
Ｒ１、Ｒ２ レセプタクル
Ｐ１（１）、Ｐ１（２）、Ｐ１（３）、Ｐ１（４）、Ｐ１（５） プラグ
Ｒｃ（１）、Ｒｃ（２）、Ｒｃ（３）、Ｒｃ（４）、Ｒｃ（５） 段差
Ｐａ（１）、Ｐａ（２）、Ｐａ（３）、Ｐａ（４）、Ｐａ（５） 凹部
Ｒａ（１）、Ｒａ（２）、Ｒａ（３）、Ｒａ（４）、Ｒａ（５） 凸部
Ｐｓ 端面

Claims (4)

1. 発光管の管軸方向に沿って順次に配置された複数のフィラメント、及び該複数のフィラメントの各々に連結され個別に電力を供給するためのリードを有する複数のフィラメント体と、
   前記リードの各々に電気的に接続された複数の導電性部材と、
   該複数の導電性部材が配置され前記発光管の端部に設けられた封止部と、
   前記複数の導電性部材の各々に電気的に接続された外部リードと、
   を具備するフィラメントランプにおいて、
   前記複数の外部リードの各々に電気的に接続された給電コネクタと該給電コネクタが所定の間隔で順次並列配置されるように保持するプラグハウジングとからなるプラグを具備してなる
   ことを特徴とするフィラメントランプ。
2. 発光管の管軸方向に沿って順次に配置された複数のフィラメント、及び該複数のフィラメントの各々に連結され個別に電力を供給するためのリードを有する複数のフィラメント体と、
   前記リードの各々に電気的に接続された複数の導電性部材と、
   該複数の導電性部材が配置され前記発光管の端部に設けられた封止部と、
   前記複数の導電性部材の各々に電気的に接続された外部リードと、
   を具備するフィラメントランプが複数本並列配置されたランプユニットと、
   前記複数のフィラメント体に個別に電力を供給する電源部とを有する光照射式加熱装置において、
   前記フィラメントランプは、前記複数の外部リードの各々に電気的に接続された複数の第１の給電コネクタと該複数の第１の給電コネクタが所定の間隔で順次並列配置されるように保持するプラグハウジングとからなるプラグを具備すると共に、
   前記電源部は、前記複数の第１の給電コネクタとそれぞれ接続される複数の第２の給電コネクタと該複数の第２の給電コネクタが前記複数の第１の給電コネクタの配置間隔と対応するように所定の間隔で順次並列配置されるように保持するレセプタクルハウジングとからなるレセプタクルを具備しており、
   前記プラグと前記レセプタクルが接続され一体のコネクタが構成された際、接続される第１の給電コネクタと第２の給電コネクタが、前記発光管の管軸を含む同一鉛直平面上に順次並列配置されるように前記一体のコネクタが配置される
   ことを特徴とする光照射式加熱装置。
3. 前記一体のコネクタの各々は、前記ランプユニットにおいて複数本並列配置されたフィラメントランプに対応して、並列配置されていることを特徴とする請求項２に記載の光照射式加熱装置。
4. 前記プラグと、前記レセプタクルには、所定のプラグが所定のレセプタクルにのみ接続されるように、誤接続防止機構がそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項２または請求項３に記載の光照射式加熱装置。

Images