JP2008159445A - 有機電界発光表示装置及びその製造方法 - Google Patents
有機電界発光表示装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008159445A JP2008159445A JP2006348007A JP2006348007A JP2008159445A JP 2008159445 A JP2008159445 A JP 2008159445A JP 2006348007 A JP2006348007 A JP 2006348007A JP 2006348007 A JP2006348007 A JP 2006348007A JP 2008159445 A JP2008159445 A JP 2008159445A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light emitting
- organic light
- organic
- display device
- vapor deposition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 63
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims abstract description 45
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 30
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 35
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 27
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims description 15
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 15
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 17
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 5
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 150000003384 small molecules Chemical class 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/12—Organic material
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/12—Passive devices, e.g. 2 terminal devices
- H01L2924/1204—Optical Diode
- H01L2924/12044—OLED
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
【課題】メタルマスクを使用せずに、発光材料蒸着補助物体を利用することにより、安価で、高性能で、かつ高い歩留まりで多色カラー表示を実現することができる有機電界発光表示装置及びその製造方法を得る。
【解決手段】ゲート線と信号線の交差地点に形成された有機電界発光ダイオードを設けた有機電界発光表示装置であって、基板10上に形成され、前記有機電界発光ダイオードの有機発光層を蒸着して形成するための、複数の三角形の開口部20a、及び前記開口部20aに連なる複数の多角錐状の穴を有する発光材料蒸着補助物体20と、前記基板10かつ前記発光材料蒸着補助物体20の多角錐状の穴内に形成された前記有機電界発光ダイオードの有機発光層とを設けた。
【選択図】図1
【解決手段】ゲート線と信号線の交差地点に形成された有機電界発光ダイオードを設けた有機電界発光表示装置であって、基板10上に形成され、前記有機電界発光ダイオードの有機発光層を蒸着して形成するための、複数の三角形の開口部20a、及び前記開口部20aに連なる複数の多角錐状の穴を有する発光材料蒸着補助物体20と、前記基板10かつ前記発光材料蒸着補助物体20の多角錐状の穴内に形成された前記有機電界発光ダイオードの有機発光層とを設けた。
【選択図】図1
Description
この発明は、有機電界発光表示装置(OELD:Organic Electroluminescent Display Device)に関し、特に、発光材料蒸着補助物体を利用して有機電界発光ダイオードELD(Electro−Luminescent Diode)の有機発光層を形成した有機電界発光表示装置及びその製造方法に関するものである。
新しいフラットパネルディスプレイ(FPD:Flat Panel Display Device)の一つである有機電界発光表示装置は、自発光型であるため、液晶表示装置に比べて、視野角、コントラストなどが優れている。また、バックライトが必要でないため、軽量薄形化が可能であり、消費電力でも有利である。さらに、直流低電圧駆動が可能で、応答速度が速く、全部固体であるため外部衝撃に強くて使用温度範囲も広く、特に製造費用が安価であるという長所を有している。
アクティブマトリックス型有機電界発光表示装置の基本的な構造及び動作特性について図面を参照しながら説明する。図7は、一般的なアクティブマトリックス型有機電界発光表示装置の基本的な画素領域の構成を示す回路図である。
図7に示すように、横方向にゲート線GLが形成され、このゲート線GLと直交する縦方向に、信号線SLが形成されるとともに、この信号線SLに一定間隔離れた電源線PSL(Power Supply Line)が形成されている。ここで、相互に直交するゲート線GLと信号線SLにより画素領域Pが定義されている。
また、ゲート線GLと信号線SLの交差地点には、スイッチング素子であるスイッチング薄膜トランジスタSTrが形成されている。このスイッチング薄膜トランジスタSTrと電源線PSLの間に、両者に接続されたストレージキャパシタCSTが形成されている。また、このストレージキャパシタCSTと電源線PSLに接続された駆動薄膜トランジスタDTrが形成され、この駆動薄膜トランジスタDTrに接続された有機電界発光ダイオードELDが形成されている。
この有機電界発光ダイオードELDは、有機発光物質に順方向に電流を供給すると、正孔提供層である陽極(anode electrode)と電子提供層である陰極(cathode electrode)間のP(positive)―N(negative)接合(Junction)部分を介して電子と正孔が移動しながら相互に再結合して、電子と正孔が離れている時より小さいエネルギーを有するようになるので、この時発生するエネルギー差によって光を放出する原理を利用するものである。
上述したような有機電界発光表示装置は、通常、スイッチング薄膜トランジスタSTr及び駆動薄膜トランジスタDTrを含むアレイ素子と、有機電界発光ダイオードELDが同一基板上に積層された構造で形成されている。
基板上には、有機電界発光ダイオードELDの第1の電極(陽極あるはい陰極)が形成され、さらに、画素領域P毎に独立した形態で有機発光層及び第2の電極(陰極あるはい陽極が第1の電極の上部に順次形成され、このとき、第1の電極、第2の電極及び有機発光層は有機電界発光ダイオードELDを形成している。
従来の有機電界発光ダイオードELDの有機発光層の形成工程について図面を参照しながら説明する(例えば、特許文献1参照)。図8は、従来の有機電界発光表示装置の有機電界発光ダイオードの有機発光層の形成工程を示す図である。図9は、図8のメタルマスクの平面を示す図である。図10は、従来の有機電界発光表示装置の画素の平面を示す図である。なお、図8では、有機電界発光ダイオードELDを構成する第1及び第2の電極の図示を省略している。
図8に示すように、蒸着源1から低分子の有機電界発光材料(R、G、B)を蒸発させ、メタルマスク2を介して有機発光層(R、G、B)をガラス基板10に蒸着させる。
この蒸着は、図8に示すように、離れた蒸着源1から低分子の有機電界発光材料を蒸発させて基板10面に付着させる。このメタルマスク2とガラス基板10の距離が離れたり、メタルマスク2が厚かったりすると所謂蒸着ボケが生ずる。
従って、図9に示すように、大きくて、薄い、また、歪まずにガラス基板10に接近できる高精細度の穴2aがあいたメタルマスク2が要求される。穴2a同士の距離Lは、3画素である。図9のように、薄いメタルマスク2に1色の画素に対応した穴2aをもつ。画素はテレビ応用だと数百μmの穴2aでよいが、OA用途や携帯電話などでは数十μmの穴2aを作らなければならない。また、その大きさは、OA用には10型以上、携帯などの小型には画面寸法は小さいがマザーガラスに多面付けをしなければコスト的に困難があるので、結局、どの応用においても大型のメタルマスク2を使わなければならない。さらに、蒸着パターンの精度は開口率に影響するので、厳しい。
上記のマスク蒸着によって、図10に示すように、ガラス基板10に3原色(R、G、B)の有機発光層を形成している。これらR、G、Bの有機発光層は、それぞれサブピクセルと呼び、3つのサブピクセル(R、G、B)から1つの画素が構成されている。
従来の有機電界発光ダイオードELDの有機発光層の別の形成工程について図面を参照しながら説明する。図11は、従来の有機電界発光表示装置の有機電界発光ダイオードの有機発光層の別の形成工程を平面で示す図である。また、図12は、従来の有機電界発光表示装置の有機電界発光ダイオードの有機発光層の別の形成工程を側面で示す図である。なお、図12では、有機電界発光ダイオードELDを構成する第1及び第2の電極の図示を省略している。
図11及び図12に示すように、高分子の有機電界発光材料(R、G、B)をスピンコートなどでガラス基板10の全面に塗布する。その後、理想的な方法としてはフォトレジスト11を塗布して、これを感光によってパターニングしてそこを取り去り、むき出しになった高分子の有機電界発光材料を溶剤で溶かすか、ドライエッチングなどで除去する。
あるいは、フォトレジストを使わずに有機電界発光材料そのものに感光性を持たせて、不要な部分を専用の溶剤で除去する方法も提案されている。
現状の問題点の一つは、低分子が積層構造による機能分離によって高性能化してきたのに対して、塗布、剥離を繰り返すプロセスでは界面に不純物が混入することが避けられず積層が難しい。そのような問題から、このような試作発表があるものの性能的には低分子に対して劣っている。
上述したような従来の有機発光層の形成工程では、マスク蒸着で使用するメタルマスクの歪のために歩留まりが悪いという問題点があった。
また、上述したような従来の有機発光層の別の形成工程では、高分子材料を塗布してフォトレジスト等でパターニングを繰り返すことが多く、溶剤を使うことや、大気中でプロセスを進めることなどで水分の混入がさけられないこと、また、高分子材料の性能が蒸着で使用される低分子材料に比べて著しく性能が劣るという問題点があった。
この発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は、メタルマスクを使用せずに、発光材料蒸着補助物体を利用することにより、安価で、高性能で、かつ高い歩留まりで多色カラー表示を実現することができる有機電界発光表示装置及びその製造方法を得るものである。
この発明に係る有機電界発光表示装置は、ゲート線と信号線の交差地点に形成された有機電界発光ダイオードを設けた有機電界発光表示装置であって、基板上に形成され、前記有機電界発光ダイオードの有機発光層を蒸着して形成するための、複数の多角形の開口部、及び前記開口部に連なる複数の多角錐状の穴を有する発光材料蒸着補助物体と、前記基板かつ前記発光材料蒸着補助物体の多角錐状の穴内に形成された前記有機電界発光ダイオードの有機発光層とを設けたものである。
この発明に係る有機電界発光表示装置は、安価で、高性能で、かつ高い歩留まりで多色カラー表示を実現することができるという効果を奏する。
実施の形態1.
この発明の実施の形態1に係る有機電界発光表示装置について図1から図4までを参照しながら説明する。図1は、この発明の実施の形態1に係る有機電界発光表示装置の発光材料蒸着補助物体の断面を示す図である。なお、以降では、各図中、同一符号は同一又は相当部分を示す。また、図1〜図4では、有機電界発光ダイオードELDを構成する第1及び第2の電極の図示を省略している。
この発明の実施の形態1に係る有機電界発光表示装置について図1から図4までを参照しながら説明する。図1は、この発明の実施の形態1に係る有機電界発光表示装置の発光材料蒸着補助物体の断面を示す図である。なお、以降では、各図中、同一符号は同一又は相当部分を示す。また、図1〜図4では、有機電界発光ダイオードELDを構成する第1及び第2の電極の図示を省略している。
図1において、この実施の形態1に係る有機電界発光表示装置は、有機電界発光ダイオードELDの有機発光層を蒸着して形成するための発光材料蒸着補助物体20を、予めガラス基板10に設けておく。この発光材料蒸着補助物体20は、三角形の開口部20aと、三角錐状の穴の三角形の底面部20bを持つ。
有機電界発光ダイオードELDの有機発光層の形成は、ガラス基板10上に形成された発光材料蒸着補助物体20に対して斜め方向の蒸着源1(図示せず)から低分子の有機電界発光材料(R、G、B)を蒸着することによって、有機発光層(R、G、B)を選択的に成膜する。
つぎに、この発明の実施の形態1に係る有機電界発光表示装置の発光材料蒸着補助物体の製造方法について図面を参照しながら説明する。図2は、この発明の実施の形態1に係る有機電界発光表示装置の発光材料蒸着補助物体の製造工程を示す断面図である。
この発光材料蒸着補助物体20は、有機電界発光ダイオードELDの有機発光層を成膜する以前に形成しておく必要がある。
まず、図2(a)に示すように、ガラス基板10上の全面に、透明な有機材料12を塗布する。
次に、図2(b)に示すように、マスク13を利用して、最終的に光材料蒸着補助物体20として残す部分(有機材料12)に光(紫外線)を当ててその部分を固める。このマスク13は、光を遮断する複数の遮光部13aと、この遮光部13a以外の領域で光を透過する透過部(点線部)13bとで構成されている。遮光部13aは、上から見た(平面上の)形状が三角形で縦横に格子状に配列されている。つまり、透過部(点線部)13bに対応する有機材料12は、光(紫外線)によりテーパー状に固まる。一方、遮光部13aに対応する有機材料12は、光(紫外線)が遮られて生のままの状態である。その後、遮光部13aに対応する有機材料12を、溶剤で溶かして三角錐状の穴を形成する。
そして、図2(c)に示すように、遮光部13aに対応する有機材料12の部分を取り去った後の構造物体が、発光材料蒸着補助物体20となる。この発光材料蒸着補助物体20には、遮光部13aに対応して、複数の三角錐状の穴20cが形成されている。
つづいて、この発明の実施の形態1に係る有機電界発光表示装置の有機電界発光ダイオードELDの有機発光層の形成工程について図面を参照しながら説明する。図3は、この発明の実施の形態1に係る有機電界発光表示装置の有機電界発光ダイオードの有機発光層の形成工程を示す図である。また、図4は、この発明の実施の形態1に係る有機電界発光表示装置の有機電界発光ダイオードの有機発光層を形成するための蒸着装置を示す図である。
図3に示すように、ガラス基板10(図示せず)上に、発光材料蒸着補助物体20を利用して、斜め方向の蒸着源1(図示せず)から低分子の有機電界発光材料(R、G、B)を蒸着することによって、それぞれがサブピクセルに相当するR、G、Bの3つの有機発光層を選択的に形成する。3つのサブピクセル(R、G、B)から1つの画素が構成されている。また、発光材料蒸着補助物体20は、三角形の開口部20aと、三角錐状の穴の三角形の底面部20bを持つ。
図4に示すように、蒸着装置30は、回転軸Aの周りと回転軸Bの周りに回転するステージ31を持つ。回転軸Bは、回転軸Aに対して60度傾いている。発光材料蒸着補助物体20が形成されたガラス基板10を、このステージ31に蒸着方向が回転軸Aと平行になるように斜めに設置する。有機発光層を形成するときには、回転軸Aの周りにステージ31を回転させ、金属電極を形成するときには、回転軸Bの周りにステージ31を回転させる。有機発光層の色を変更するときは、回転軸Aの周りを色毎に120度ずつ回転させる。
以上説明した通り、この実施の形態1では、メタルマスク2、高分子の有機電界発光材料を使用しないので、高性能、かつ高歩留まりで3色の有機電界発光表示装置を生産することができる。
実施の形態2.
この発明の実施の形態2に係る有機電界発光表示装置について図5及び図6を参照しながら説明する。図5及び図6は、この発明の実施の形態2に係る有機電界発光表示装置の有機電界発光ダイオードの有機発光層の形成工程を示す図である。なお、図5及び図6は、上記の実施の形態1の図3に相当する。
この発明の実施の形態2に係る有機電界発光表示装置について図5及び図6を参照しながら説明する。図5及び図6は、この発明の実施の形態2に係る有機電界発光表示装置の有機電界発光ダイオードの有機発光層の形成工程を示す図である。なお、図5及び図6は、上記の実施の形態1の図3に相当する。
図5に示すように、ガラス基板10(図示せず)上に、発光材料蒸着補助物体20を利用して、蒸着方向の蒸着源1(図示せず)から低分子の有機電界発光材料(R、G、B、W(白色))を蒸着することによって、それぞれがサブピクセルに相当するR、G、B、Wの有機発光層を選択的に形成する。4つのサブピクセル(R、G、B、W)から1つの画素が構成されている。また、発光材料蒸着補助物体20は、四角形(正方形)の開口部20aと、四角錐状の穴の四角形(正方形)の底面部20bを持つ。
図6に示すように、ガラス基板10(図示せず)上に、発光材料蒸着補助物体20を利用して、蒸着方向の蒸着源1(図示せず)から低分子の有機電界発光材料(R、G、B、Y(黄色))を蒸着することによって、それぞれがサブピクセルに相当するR、G、B、Yの有機発光層を選択的に形成する。4つのサブピクセル(R、G、B、Y)から1つの画素が構成されている。また、発光材料蒸着補助物体20は、四角形(正方形)の開口部20aと、四角錐状の穴の四角形(正方形)の底面部20bを持つ。
つぎに、この発明の実施の形態2に係る有機電界発光表示装置の発光材料蒸着補助物体の製造方法について図面を参照しながら説明する。基本的には、上記の実施の形態1と同様である。
発光材料蒸着補助物体20は、有機電界発光ダイオードELDの有機発光層を成膜する以前に形成しておく必要がある。
まず、図2(a)に示すように、ガラス基板10上の全面に、透明な有機材料12を塗布する。
次に、図2(b)に示すように、マスク13を利用して、最終的に光材料蒸着補助物体20として残す部分(有機材料12)に光(紫外線)を当ててその部分を固める。このマスク13は、光を遮断する複数の遮光部13aと、この遮光部13a以外の領域で光を透過する透過部(点線部)13bとで構成されている。遮光部13aは、上から見た(平面上の)形状が四角形で縦横に格子状に配列されている。つまり、透過部(点線部)13bに対応する有機材料12は、光(紫外線)によりテーパー状に固まる。一方、遮光部13aに対応する有機材料12は、光(紫外線)が遮られて生のままの状態である。その後、遮光部13aに対応する有機材料12を、溶剤で溶かして四角錐状の穴を形成する。
そして、図2(c)に示すように、遮光部13aに対応する有機材料12の部分を取り去った後の構造物体が、発光材料蒸着補助物体20となる。この発光材料蒸着補助物体20には、遮光部13aに対応して、複数の四角錐状の穴が形成されている。
つづいて、この発明の実施の形態2に係る有機電界発光表示装置の有機電界発光ダイオードELDの有機発光層の形成工程について図面を参照しながら説明する。基本的には、上記の実施の形態1と同様である。
図5及び図6に示すように、ガラス基板10(図示せず)上に、発光材料蒸着補助物体20を利用して、蒸着方向の蒸着源1(図示せず)から低分子の有機電界発光材料(R、G、B、W)あるいは(R、G、B、Y)を蒸着することによって、それぞれがサブピクセルに相当するR、G、B、WあるいはR、G、B、Yの4つの有機発光層を選択的に形成する。4つのサブピクセル(R、G、B、W)あるいは(R、G、B、Y)から1つの画素が構成されている。また、発光材料蒸着補助物体20は、四角形の開口部20aと、四角錐状の穴の四角形の底面部20bを持つ。
図4に示すように、蒸着装置30は、回転軸Aの周りと回転軸Bの周りに回転するステージ31を持つ。回転軸Bは、回転軸Aに対して60度傾いている。発光材料蒸着補助物体20が形成されたガラス基板10を、このステージ31に蒸着方向が回転軸Aと平行になるように斜めに設置する。有機発光層を形成するときには、回転軸Aの周りにステージ31を回転させ、金属電極を形成するときには、回転軸Bの周りにステージ31を回転させる。有機発光層の色を変更するときは、回転軸Aの周りを色毎に90度ずつ回転させる。
以上説明した通り、この実施の形態2では、メタルマスク2、高分子の有機電界発光材料を使用しないので、高性能、かつ高歩留まりで4色の有機電界発光表示装置を生産することができる。
1 蒸着源、10 ガラス基板、12 有機材料、13 マスク、13a 遮光部、13b 透過部、20 発光材料蒸着補助物体、20a 開口部、20b 底面部、20c 穴、30 蒸着装置、31 ステージ。
Claims (12)
- ゲート線と信号線の交差地点に形成された有機電界発光ダイオードを備えた有機電界発光表示装置であって、
基板上に形成され、前記有機電界発光ダイオードの有機発光層を蒸着して形成するための、複数の多角形の開口部、及び前記開口部に連なる複数の多角錐状の穴を有する発光材料蒸着補助物体と、
前記基板かつ前記発光材料蒸着補助物体の多角錐状の穴内に形成された前記有機電界発光ダイオードの有機発光層と
を備えたことを特徴とする有機電界発光表示装置。 - 前記発光材料蒸着補助物体は、透明の有機材料から構成される
ことを特徴とする請求項1記載の有機電界発光表示装置。 - 前記発光材料蒸着補助物体は、複数の三角形の開口部を有し、前記三角形の開口部を通じて3色の有機発光層を前記基板上に蒸着して形成する
ことを特徴とする請求項2記載の有機電界発光表示装置。 - 前記発光材料蒸着補助物体は、複数の四角形の開口部を有し、前記四角形の開口部を通じて4色の有機発光層を前記基板上に蒸着して形成する
ことを特徴とする請求項2記載の有機電界発光表示装置。 - 前記発光材料蒸着補助物体は、前記三角形の開口部に連なる三角錐状の穴を有する
ことを特徴とする請求項3記載の有機電界発光表示装置。 - 前記発光材料蒸着補助物体は、前記四角形の開口部に連なる四角錐状の穴を有する
ことを特徴とする請求項4記載の有機電界発光表示装置。 - ゲート線と信号線の交差地点に形成された有機電界発光ダイオードを備えた有機電界発光表示装置の製造方法であって、
前記有機電界発光ダイオードの有機発光層を蒸着して形成するための、複数の多角形の開口部、及び前記開口部に連なる複数の多角錐状の穴を有する発光材料蒸着補助物体を基板上に形成する工程と、
前記有機電界発光ダイオードの有機発光層を前記基板かつ前記発光材料蒸着補助物体の多角錐状の穴内に形成する工程と
を含むことを特徴とする有機電界発光表示装置の製造方法。 - 前記発光材料蒸着補助物体は、透明の有機材料から構成される
ことを特徴とする請求項7記載の有機電界発光表示装置の製造方法。 - 前記発光材料蒸着補助物体は、複数の三角形の開口部を有し、前記三角形の開口部を通じて3色の有機発光層を前記基板上に蒸着して形成する
ことを特徴とする請求項8記載の有機電界発光表示装置の製造方法。 - 前記発光材料蒸着補助物体は、複数の四角形の開口部を有し、前記四角形の開口部を通じて4色の有機発光層を前記基板上に蒸着して形成する
ことを特徴とする請求項8記載の有機電界発光表示装置の製造方法。 - 前記発光材料蒸着補助物体は、前記三角形の開口部に連なる三角錐状の穴を有する
ことを特徴とする請求項9記載の有機電界発光表示装置の製造方法。 - 前記発光材料蒸着補助物体は、前記四角形の開口部に連なる四角錐状の穴を有する
ことを特徴とする請求項10記載の有機電界発光表示装置の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006348007A JP2008159445A (ja) | 2006-12-25 | 2006-12-25 | 有機電界発光表示装置及びその製造方法 |
KR1020070135276A KR20080059511A (ko) | 2006-12-25 | 2007-12-21 | 유기 전계 발광 표시장치 및 그의 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006348007A JP2008159445A (ja) | 2006-12-25 | 2006-12-25 | 有機電界発光表示装置及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008159445A true JP2008159445A (ja) | 2008-07-10 |
Family
ID=39660117
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006348007A Pending JP2008159445A (ja) | 2006-12-25 | 2006-12-25 | 有機電界発光表示装置及びその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008159445A (ja) |
KR (1) | KR20080059511A (ja) |
-
2006
- 2006-12-25 JP JP2006348007A patent/JP2008159445A/ja active Pending
-
2007
- 2007-12-21 KR KR1020070135276A patent/KR20080059511A/ko not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20080059511A (ko) | 2008-06-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10547017B2 (en) | Organic light emitting diode display device and method of fabricating the same | |
US9653526B2 (en) | Pixel defining layer and manufacturing method thereof, display panel and display device | |
KR100698033B1 (ko) | 유기 전계발광소자 및 그 제조 방법 | |
KR101322310B1 (ko) | 유기전기발광소자 및 그 제조방법 | |
KR100473591B1 (ko) | 듀얼패널타입 유기전계발광 소자 및 그의 제조방법 | |
US20160035802A1 (en) | Light-emitting device, array substrate, display device and manufacturing method of light-emitting device | |
US10305049B2 (en) | OLED substrate and manufacture method thereof | |
WO2020233284A1 (zh) | 显示面板及其制作方法、显示装置 | |
US20140070174A1 (en) | Organic light emitting diode device and method for fabricating the same | |
JP2018515901A (ja) | 大面積oledマイクロディスプレイおよびその製造方法 | |
WO2020224010A1 (zh) | Oled 显示面板及其制备方法 | |
KR20140115840A (ko) | 유기발광소자, 이를 포함하는 유기발광 표시패널 및 유기발광 표시패널의 제조방법 | |
JP2007184229A (ja) | 有機電界発光表示素子の製造方法及び有機電界発光表示素子 | |
JP2009170115A (ja) | 表示装置およびその製造方法 | |
KR100899428B1 (ko) | 유기전계발광표시장치 및 그의 제조 방법 | |
KR20080003079A (ko) | 유기발광소자 및 그 제조방법 | |
KR100830321B1 (ko) | 증착용 메탈 마스크 및 증착용 메탈 마스크를 이용한표시장치용 화소 증착 방법 | |
JP2007018775A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置及びその製造方法 | |
KR20150075135A (ko) | 유기전계발광 표시장치 및 그 제조 방법 | |
KR20080001137A (ko) | 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법 | |
JP2008159445A (ja) | 有機電界発光表示装置及びその製造方法 | |
US20080067929A1 (en) | Organic electroluminescent device and fabrication method thereof | |
CN111584553A (zh) | Oled像素排布结构、oled显示面板及显示面板的制作方法 | |
KR101274791B1 (ko) | 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법 | |
KR101096719B1 (ko) | 유기 전계발광소자 및 그 제조방법 |