KR20080059511A - 유기 전계 발광 표시장치 및 그의 제조 방법 - Google Patents

유기 전계 발광 표시장치 및 그의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 메탈 마스크를 사용하지 않고, 발광재료 증착 보조 물체를 이용하여 저렴하고 고성능이면서도 또한 높은 수율로 다색 칼라의 표시를 실현하는 것이 가능한 유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조 방법을 제공한다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명에 따른 유기 전계 발광 표시장치는,
게이트 배선 및 신호 배선이 교차하여 정의되는 화소 영역에 형성된 유기 전계 발광 다이오드를 구비한 유기 전계 발광 표시장치에 있어서, 기판 상에 형성되어 상기 유기 전계 발광 다이오드의 유기 발광층을 증착하여 형성하기 위하여 복수의 삼각형 형태의 개구부 및 상기 개구부에 연속하는 복수의 다각뿔대 모양의 홀을 가지는 발광재료 증착 보조 물체와, 상기 기판 상에 상기 발광재료 증착 보조 물체의 다각뿔대 모양의 홀 내부에 형성된 유기 전계 발광 다이오드의 유기 발광층을 구비한다
유기 전계 발광 표시장치, 발광재료 증착 보조 물체, 증착원

Description

유기 전계 발광 표시장치 및 그의 제조 방법{Organic Electroluminescent Display Device and Method For Fabricating the Same}
본 발명은, 유기 전계 발광 표시장치(OELD: Organic Electroluminescent Display Device)에 관한 것으로, 특히, 발광재료 증착 보조 물체를 이용해 유기 전계 발광 다이오드(ELD : Electro-Luminescent Diode)의 유기발광층을 형성하는 유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
새로운 평판 패널 디스플레이(FPD: Flat Panel Display Device)의 하나인 유기 전계 발광 표시장치는 스스로 발광하는 자발광형이기 때문에, 액정표시장치에 비하여 시야각과 콘트라스트(contrast)비 등의 특성이 우수하다. 게다가, 백라이트가 필요하지 않으므로 경량박형화가 가능하고 소비전력에도 유리하다. 또한, 직류 저전압구동이 가능하여 응답속도가 빠르고, 고체로 이루어져서 외부충격에 강하고 사용온도범위가 넓으며 특히 제조비용이 저렴한 장점을 가진다.
다음에서, 도면을 참조하여 종래의 액티브 매트릭스형 유기 전계 발광 표시장치의 기본적 구조 및 동작 원리에 관하여 설명하기로 한다.
도7은, 일반적인 액티브 매트릭스형 유기전계 발광 표시장치의 기본적 화소 영역의 구성을 나타낸 회로도이다.
도7에 도시된 바와 같이, 액티브 매트릭스형 유기 전계 발광 표시장치는 기판 상에 횡방향으로 형성된 게이트 배선(GL) 및 상기 게이트 배선(GL)과 직교하도록 종방향으로 형성된 신호 배선(SL)이 형성되고, 상기 신호 배선(SL)으로부터 일정한 간격으로 이격되어 형성된 전원 배선(PSL: Power Supply Line)이 형성된다.
이 때, 상호간에 직교하는 게이트 배선(GL) 및 신호 배선(SL)에 의하여 화소영역(P)이 정의된다.
또한, 게이트 배선(GL)과 신호 배선(SL)의 교차지점에는 스위칭 소자로 스위칭 박막 트랜지스터(STr)가 형성된다. 상기 스위칭 박막 트랜지스터(STr)와 전원 배선(PSL) 사이에는 양자에 접속된 스토리지 캐패시터(Cst)가 형성된다. 또한, 상기 스토리지 캐패시터(Cst)와 전원 배선(PSL)에 접속되는 구동 박막 트랜지스터(DTr)가 형성되고, 상기 구동 박막 트랜지스터(DTr)에 접속되는 유기 전계 발광 다이오드(ELD)가 화소 영역에 형성된다.
상기 유기 전계 발광 다이오드(ELD)는, 유기 발광물질에 순방향으로 전류를 공급하여 정공 제공층인 양극(anode electrode)과 전자 제공층인 음극(cathode electrode) 사이의 P-N접합(positive-negative junction) 부분을 통해 정공 및 전자가 이동하면서 서로 재결합(recombination)하여 보다 낮은 에너지를 가지는 상태가 되고, 재결합 전후의 에너지의 차이에 해당하는 빛이 방출되는 원리를 이용하는 것이다.
상기 유기 전계 발광 표시장치는, 통상적으로 스위칭 박막 트랜지스터(STr) 및 구동 박막 트랜지스터(DTr)를 포함하는 어레이 소자와, 유기 전계 발광 다이오드(ELD)가 동일한 기판 상에 적층되어 형성된다.
상기 기판 상에는, 유기 전계 발광 다이오드(ELD)의 제 1 전극(양극 또는 음극)이 형성되고, 또한 각 화소영역(P) 마다 독립된 형태로 유기 발광층 및 제 2 전극(음극 또는 양극)이 상기 제 1 전극의 상부에 순차적으로 형성된다.
이 때, 제 1 전극과, 제 2 전극 및 유기 발광층은 유기 전계 발광 다이오드(ELD)를 형성한다.
다음에서, 도면을 참조하여 종래의 유기 전계 발광 디이오드(ELD)의 유기발광층의 형성 공정에 대하여 설명하기로 한다.(일본 특허공개번호 제2000-182767호 참조)
도8은 종래의 유기 전계 발광 표시장치에서 유기 전계 발광 다이오드의 유기 발광층 형성 공정을 나타낸 도면이다.
도9는 도8에서 메탈 마스크의 평면을 나타낸 도면이며, 도10은 종래의 유기 전계 발광 표시장치에서 각 화소의 평면을 나타낸 도면이다.
또한, 도8에서 유기 전계 발광 다이오드(ELD)를 구성하는 제 1 전극 및 제 2 전극의 도시가 생략되었다.
종래의 유기 전계 발광 표시장치에서 유기 전계 발광 다이오드의 유기 발광층의 형성 공정은, 도8에 도시된 바와 같이, 증착원(1)으로부터 저분자의 유기 전계 발광재료(R,G,B)를 증발시키고, 메탈 마스크(2)를 사용해 유기 발광층(R,G,B)을 글래스 기판(10)에 증착시킨다.
상기 증착 공정은, 도8에 나타낸 바와 같이, 증착원(1)에서 저분자 유기전계 발광재료를 증발시켜 기판(10)의 면에 부착시킨다. 이 때, 상기 메탈 마스크(2)와 글래스 기판(10)의 거리가 멀거나 메탈마스크가 두꺼우면 소위 증착결함이 발생한다.
따라서, 도9에 나타낸 바와 같이, 크고 얇으면서도 왜곡되지 않고 글래스 기판에 접근할 수 있는 고정세도의 홀(2a)을 구비한 메탈 마스크(2)가 요구된다.
상기 홀(2a) 사이 거리(L)는 3화소의 거리를 가진다.
도9와 같이, 얇은 메탈마스크(2)는 한 가지 색의 화소에 대응되도록 형성된 홀(2a)을 가진다.
텔레비전용 화면에서의 상기 홀(2a)은 수백㎛의 직경을 가져도 좋으나, OA용이나 휴대 전화용 화면 등의 소형에서는 수십㎛의 직경을 가지도록 형성하여야 한다.
또한, OA용이나 휴대 전화용 등의 소형의 화면은, 치수는 작지만 생산 비용을 절감하기 위해서 마더 글래스에 다수의 화면을 형성하여야 하지 않으면 코스트(cost)가 증가하기 때문에,
텔레비전용과 같은 대형의 화면이나 OA용 또는 휴대전화용과 같은 소형의 화면이나 모두 유기 발광층을 증착하기 위해서는, 대형의 메탈 마스크(2)를 사용하여야 한다.
그러나, 증착 패턴의 정밀도가 개구율에 영향을 주기 때문에, 대형의 메탈마스크를 사용하더라도 정밀한 패턴을 형성하여야 하는 어려움이 있다.
이와 같이, 마스크 증착에서는 도10에 도시된 바와 같이, 마스크를 이용하여 글래스 기판(10)에 3색(R,G,B)의 유기 발광층이 형성된다.
이들 R,G,B 의 유기발광층은, 각각이 서브픽셀이라 불리며 3개의 서브픽셀(R,G,B)로부터 1개의 화소가 구성된다.
다음으로, 종래의 유기 전계 발광 다이오드(ELD)의 유기 발광층의 다른 형성 공정에 대하여 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
도11은, 종래의 유기 전계 발광 표시장치에서 유기 전계 발광 다이오드의 유기 발광층의 형성 공정을 스텝별로 나타낸 평면도이다. 또한, 도12는 종래의 유기 전계 발광 표시장치에서 유기 전계 발광 다이오드의 유기 발광층별 형성 공정을 측면에서 나타내 보인 도면이다. 역시, 도12에서는, 유기 전계 발광 다이오드(ELD)를 구성하는 제 1 및 제 2 전극의 도시를 생략하였다.
도11 및 도12에 나타낸 바와 같이, 고분자 유기 전계 발광재료(R,G,B)를 스핀 코터(spin coater)등으로 글래스 기판(10)의 전면에 도포한다.
다음으로, 바람직하게는, 포토레지스트(photoresist)(11)를 상기 기판의 전면에 도포한 후 노광하여 상기 포토레지스트를 패터닝하여 제거하고, 노출된 고분자 유기 전계 발광재료를 습식식각 또는 건식식각의 방법으로 제거하여 유기 발광층을 형성하거나,
또는 포토레지스트를 사용하지 않고 유기 전계 발광재료 자체가 감광성을 가지도록 하여, 상기 유기 전계 발광재료를 기판의 전면에 도포한 후 노광한 다음, 선택적으로 전용용제를 이용하여 제거하여 패터닝하는 방법도 제안되고 있다.
그러나, 이와 같이 화학물질을 도포하고 제거하는 과정을 반복하는 프로세스에서는, 계면에 불순물이 혼입되는 것이 불가피하고 적층이 어려운 문제점이 있다.
이와 같은 문제점으로 인해 고분자 유기전계 발광재료를 사용한 유기 전계 발광 표시장치는,
적층구조를 통한 기능 분리에 의하여 고성능화된 저분자 유기 전계 발광 재료를 이용한 유기 전계 발광 표시장치에 비하여 성능적으로 뒤떨어지고 있다.
상술한 것과 같은 종래의 저분자 유기 발광재료를 이용한 유기 발광층의 형성 공정에서는, 마스크를 이용한 증착 공정에 사용되는 메탈 마스크의 왜곡 등으로 인하여 제품의 수율이 나빠지는 문제점이 있었다.
또한, 상술한 것과 같은 종래의 고분자 유기 발광재료를 이용한 유기 발광층의 형성 공정에서는, 고분자 재료를 도포한 후 포토레지스트 등을 이용하여 패터닝하는 공정을 반복적으로 수행함으로써, 용제를 사용할 때 또는 대기 중에서 프로세스가 진행되는 것 등에 의하여 수분이 혼입되는 것을 막을 수 없는 문제점이 있었다.
또한, 고분자 유기 발광재료의 성능에 비하여, 증착되어 사용되는 저분자 유기 발광재료의 성능(예를 들면, 기계적 성질)이 현저히 떨어지는 문제점이 있었다.
본 발명은, 상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위한 것으로, 그 목적은, 메탈 마스크를 사용하지 않고, 발광재료 증착 보조 물체를 이용하는 것에 의하여, 저렴하고, 고성능이며, 또한 높은 수율로 다색 컬러 표시 장치를 실현하는 것이 가능한 유기 전계 발광 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 유기 전계 발광 표시 장치는, 게이트 배선 및 신호 배선의 교차 지점에 형성된 유기 전계 발광 다이오드를 구비한 유기 전계 발광 표시 장치에 있어서, 기판 상에 형성된, 상기 유기 전계 발광 다이오드의 유기 발광층을 증 착해 형성하기 위하여, 복수의 다각형 개구부 및 상기 개구부에 연속하는 복수의 다각형대의 홀을 가지는 발광재료 증착 보조 물체와, 상기 기판과 아울러 발광 재료 증착 보조 물체의 다각형대의 홀 내부에 형성된 상기 유기 전계 발광 다이오드의 유기 발광층을 구비한다.
본 발명에 따른 유기 전계 발광 표시장치는, 저렴하고 고성능을 가지면서 아울러 높은 수율로 다색 칼라 표시를 실현할 수 있는 효과를 제공한다.
다음으로, 본 발명의 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치에 대하여 보다 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치에 관해 도1 내지 도4를 참조로 하여 설명한다.
도1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시장치에서 발광재료 증착 보조 물체의 단면을 도시한 도면이다. 또한, 이하에서 각 도면 가운데 동일한 부호는 동일 또는 동등한 구성요소를 지칭한다.
또한, 도1 내지 도4에서는, 유기전계 발광 다이오드를 구성하는 제 1 및 제 2 전극의 도시를 생략하였다.
도1에서와 같이, 본 발명의 제 1 실시 형태에 따른 유기 전계 발광 표시장치는,
유기 전계 발광 다이오드(ELD)의 유기 발광층을 증착하여 형성하기 위한 발 광재료 증착 보조 물체(20)를, 미리 글래스 기판(10)상부에 형성한다.
상기 발광재료 증착 보조 물체(20)는, 삼각뿔대 형태의 홀을 가지며, 상기 홀은 삼각형의 개구부(20a) 및 저면부(20b)를 가진다.
유기 전계 발광 다이오드(ELD)의 유기 발광층의 형성은, 상기 글래스 기판(10) 상에 형성된 발광 재료 증착 보조 물체(20)에 대해 비스듬한 방향에 위치한 증착원(1)(도시하지 않음)으로부터 저분자의 유기 전계 발광재료(R,G,B)를 선택적으로 상기 기판에 증착시켜 성막한다.
다음으로, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시장치에서 발광재료 증착 보조 물체의 제조방법에 관하여 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
도2a 내지 도2c는, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시장치의 발광재료 증착 보조 물체의 제조 공정을 나타낸 단면도이다.
상기 발광재료 증착 보조 물체(20)는, 유기 전계 발광 다이오드(ELD)의 유기 발광층을 성막하기 이전에 형성하도록 한다.
우선, 도2a에서와 같이, 글래스 기판(10) 전면에 감광성을 가지는 투명한 유기재료를 도포한다.
다음으로, 도2b에서와 같이, 마스크(13)를 이용하여 최종적으로 발광재료 증착 보조 물체(20)로 패터닝될 부분에 빛, 예를 들면 자외선이 닿도록 하여, 빛이 닿은 부분을 경화시킨다.
상기 마스크(13)는, 빛을 차단하는 복수의 차광부(13a) 및 상기 차광부(13a) 이외의 영역에서 빛을 투과하는 투과부(점선부)(13b)로 구성되고 있다.
상기 투과부(점선부)(13b)는 위에서 볼 때 삼각형이 종횡의 격자형태로 배열되도록 형성된다.
즉, 투과부(점선부)(13b)에 대응하는 유기재료(12)는 투과된 빛에 의하여 경화된다.
한편, 상기 차광부(13a)에 대응되는 유기재료(12)는 상기 차광부에 의해 빛, 예를 들면 자외선이 차단되어 경화되지 않은 상태로 남게 된다.
다음으로, 상기 차광부(13a)에 대응하는 유기재료(12)를 용제로 녹여 삼각뿔대 형태의 홀을 형성한다.
다음으로, 도2c에서와 같이, 차광부(13a)에 대응하는 유기재료(12)를 제거한 후 남게 되는 부분이 발광재료 증착 보조 물체(20)가 된다.
상기 발광재료 증착 보조 물체(20)에는, 상기 차광부(13a)에 대응해서 복수의 삼각뿔대 형태의 홀(20c)이 형성된다.
다음으로 첨부된 도면을 참조로 하여, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시장치에서 유기 전계 발광 다이오드(ELD)의 유기 발광층 형성 공정에 대하여 설명하기로 한다.
도3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시장치에서 유기전계 발광 다이오드의 유기 발광층 형성 공정을 나타낸 평면도이고,
도4는, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시장치에서 유기전계 발광 다이오드의 유기 발광층을 형성하기 위한 증착장치를 측면에서 나타낸 도면이다.
도3에서와 같이, 글래스 기판(미도시)에는, 발광재료 증착 보조 물체(20)에 대하여 비스듬한 방향에 위치한 증착원(미도시)으로부터 선택적으로 증착된 저분자의 유기전계 발광재료(R,G,B)에 의하여 유기 발광층이 형성된다.
상기 유기 발광층 각각은 하나의 서브픽셀에 대응하며, 3개의 서브픽셀(R,G,B)로부터 1개의 픽셀이 구성된다
또한, 상기 발광재료 증착 보조 물체(20)는, 삼각뿔대 형태의 홀과, 삼각형의 개구부(20a) 및 삼각형의 저면부(20b)를 가진다.
도4에 나타낸바와 같이, 상기 증착장치(30)는 제 1 회전축(A)의 둘레와 제 2 회전축(B)의 둘레를 회전하는 스테이지(31)를 가지며, 상기 제 2 회전축(B)은 상기 제 1 회전축(A)에 대하여 60도 기울어지도록 구비된다.
또한, 상기 스테이지(31)에 증착방향이 제 1 회전축(A)과 평행이 되도록 발광재료 증착 보조 물체(20)가 형성된 글래스 기판(10)을 비스듬히 설치한다.
유기 발광층을 형성할 때에는 제 1 회전축(A)의 둘레에 스테이지(31)를 회전시킨다.
보다 자세히는, R,G,B 3색의 유기 발광층을 형성함에 있어서, 한 색의 유기 발광층을 형성한 후 다른 색의 유기 발광층을 형성할 때에는, 제 1 회전축(A)의 둘레를 따라 상기 스테이지(31)을 색마다 120도씩 회전시킨다.
또한, 금속 전극을 증착하여 형성할 때에는 상기 제 2 회전축(B)의 둘레를 따라 스테이지(31)를 회전시킨다.
이상에서 설명한 것과 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시장치 및 제조 방법은,
메탈 마스크 및 고분자의 유기 전계 발광재료를 사용하지 않고, 고성능이면서 높은 수율의 다색 칼라 표시를 실현할 수 있는 유기 전계 발광 표시장치를 생산할 수 있다.
다음으로, 도5 및 도6을 참조하여 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시장치에 대하여 설명하기로 한다.
도5 및 도6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시장치에서 유기 전계 발광 다이오드의 유기 발광층 형성 공정을 나타낸 도면이다.
참고로, 도5 및 도6은 상기 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시장치를 설명한 도면 가운데 도3에 대응한다.
도5에서와 같이, 글래스 기판(미도시)에는, 발광재료 증착 보조 물체(20)에 대하여 비스듬한 방향에 위치한 증착원(미도시)으로부터 선택적으로 증착된 저분자의 유기 전계 발광재료(R,G,B,W(백색))에 의하여 유기 발광층이 형성된다.
상기 유기발광층 각각은 하나의 서브픽셀에 대응하며, 4개의 서브픽셀(R,G,B,W) 로부터 1개의 픽셀이 구성된다
또한, 상기 발광재료 증착 보조 물체(20)는, 사각뿔대 형태의 홀과, 사각형 또는 정방형의 개구부(20a) 및 사각형 또는 정방형의 저면부(20b)를 가진다.
도6에서와 같이, 글래스 기판(미도시)에는, 발광재료 증착 보조 물체(20)에 대하여 비스듬한 방향에 위치한 증착원(미도시)으로부터 선택적으로 증착된 저분자의 유기전계 발광재료(R,G,B,Y(황색))에 의하여 유기발광층이 형성된다.
상기 유기발광층 각각은 하나의 서브픽셀에 대응하며, 4개의 서브픽셀(R,G,B,Y) 로부터 1개의 픽셀이 구성된다.
또한, 상기 발광재료 증착 보조 물체(20)는, 사각뿔대 형태의 홀과, 사각형(정방형)의 개구부(20a) 및 사각형(정방형)의 저면부(20b)를 가진다.
즉, R,G,B의 3색과 아울러 W(백색) 또는 Y(황색)의 한 색을 더하여 4색의 서브픽셀을 가지는 픽셀을 구성할 수 있다.
다음으로, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시장치에서 발광재료 증착 보조 물체의 제조 방법에 대하여 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
기본적으로는, 상기 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시장치에서 발광재료 증착 보조 물체의 제조 방법과 동일한 구성을 가진다.
참고로, 상기 발광재료 증착 보조 물체(20)는 유기 전계 발광 다이오드(ELD)의 유기 발광층을 성막하기 이전에 형성하는 것이 바람직하다.
먼저, 도2a에 나타낸 바와 같이, 글래스 기판(10) 전면에 감광성을 가지는 투명한 유기 재료를 도포한다.
다음으로, 도2b에 나타낸 바와 같이, 마스크(13)를 이용하여 상기 유기재료(12)를 선택적으로 빛, 예를 들면 자외선을 이용하여 노광하고, 노광된 부분이 경화되어 최종적으로 발광재료 증착 보조 물체(20)로 남도록 한다.
상기 마스크(13)는, 빛을 차단하는 복수의 차광부(13a) 및 상기 차광부(13a) 이외의 영역에서 빛을 투과하는 투과부(점선부)(13b)로 구성되고, 상기 차광부(13a)는 위에서 내려다 본 평면상의 형상은 사각형이 종횡의 격자모양으로 배열 된 형상이 되도록 형성한다.
즉, 투과부(점선부)(13b)에 대응하는 유기재료(12)는 빛에 의해 경화되고, 차광부(13a)에 대응하는 유기재료(12)는 빛이 차단되어 경화되지 않는 상태가 되므로 용제에 의해 녹여져 제거된다.
이와 같이, 차광부(13a)에 대응하는 유기재료(12)가 제거되면, 사각뿔대의 홀이 형성되고, 도2c에 나타낸바와 같이, 차광부(13a)에 대응하는 유기 재료(12)의 부분을 제거한 후 남는 부분이 발광재료 증착 보조 물체(20)가 된다.
즉, 상기 발광재료 증착 보조 물체(20)는, 상기 차광부(13a)에 대응하는 영역에 복수의 사각뿔대 형태의 홀이 형성되어 있다.
다음으로, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시장치에서 유기 전계 발광 다이오드(ELD)의 유기발광층 형성 공정에 대하여 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
기본적으로는, 앞서 설명한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시장치에서 유기 전계 발광 다이오드(ELD)의 유기 발광층 형성 공정과 동일한 구성을 가진다.
도5 및 도6에서와 같이, 글래스 기판(미도시)에는, 발광재료 증착 보조 물체(20)에 대하여 비스듬한 방향에 위치한 증착원(미도시)으로부터 선택적으로 증착된 저분자의 유기 전계 발광재료((R,G,B,W) 또는 (R,G,B,Y))에 의하여 유기 발광층이 형성된다.
상기 4색의 유기 발광층 각각은 하나의 서브픽셀에 대응하며, 4개의 서브픽 셀, 즉 (R,G,B,W) 또는 (R,G,B,Y),로부터 1개의 픽셀이 구성된다
또한, 상기 발광재료 증착 보조 물체(20)는, 사각뿔대 형태의 홀과, 사각형의 개구부(20a) 및 사각형의 저면부(20b)를 가진다.
상기 사각형은 정방형의 형태인 것 또한 가능하다.
도4에 나타낸바와 같이, 증착장치(30)는, 제 1 회전축(A)의 둘레와 제 2 회전축(B)의 둘레를 회전하는 스테이지(31)를 가지고, 상기 제 2 회전축(B)은 상기 제 1 회전축(A)에 대하여 60도 기울어지도록 구비된다.
상기 스테이지(31)에 증착방향이 제 1 회전축(A)와 평행이 되도록 발광재료 증착 보조 물체(20)가 형성된 글래스 기판(10)을 비스듬히 설치한다.
유기 발광층을 형성할 때에는 제 1 회전축(A)의 둘레에 스테이지(31)를 회전시킨다.
보다 자세히는, R,G,B,W 또는 R,G,B,Y 4색의 유기 발광층을 형성함에 있어서, 한 색의 유기 발광층을 형성한 후 다른 색의 유기 발광층을 형성할 때에는, 제 1 회전축(A)의 둘레를 따라 상기 스테이지(31)을 색마다 90도씩 회전시킨다.
이상에서 설명한 대로, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기 전계 발광소자는 메탈 마스크 및 고분자 유기전계 발광 재료를 사용하지 않고서도, 고성능이면서도 높은 수율의 다색 칼라 표시가 가능한 유기 전계 발광 표시장치를 생산하는 것이 가능하다.
한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
도1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시장치의 발광재료 증착 보조 물체의 단면을 나타낸 도면이다.
도2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시장치에서 발광재료 증착 보조 물체의 제조 공정을 나타낸 단면도이다.
도3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시장치에서 유기 전계 발광 다이오드의 유기 발광층 형성 공정을 나타낸 도면이다.
도4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광 표시장치에서 유기전계 발광 다이오드의 유기 발광층을 형성하기 위한 증착장치를 나타낸 도면이다.
도5 및 도6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시장치에서 유기 전계 발광 다이오드의 유기 발광층 형성 공정을 나타낸 도면이다.
도7은 일반적인 액티브 매트릭스형 유기전계 발광 표시장치에서 기본적인 화소영역의 구성을 나타낸 회로도이다.
도8은 종래의 유기 전계 발광 표시장치에서 유기 전계 발광 다이오드의 유기 발광층 형성공정을 나타낸 도면이다.
도9는 도8의 메탈 마스크의 평면을 나타낸 도면이다.
도10 종래의 유기 전계 발광 표시장치의 화소의 평면을 나타낸 도면이다.
도11은 종래의 유기 전계 발광 표시장치에서 유기 전계 발광 다이오드의 유기 발광층의 다른 형성 공정을 평면에 나타낸 도면이다.
도12는 종래의 유기 전계 발광 표시장치에서 유기 전계 발광 다이오드의 유 기 발광층의 다른 형성 공정을 측면에 나타낸 도면이다.

Claims (12)

  1. 게이트 배선과 신호 배선의 교차영역에 형성된 유기 전계 발광 다이오드를 구비한 유기 전계 발광 표시장치에 있어서,
    기판 상에 형성되어 상기 유기 전계 발광 다이오드의 유기 발광층을 증착하여 형성하기 위한 복수의 다각형 개구부 및 상기 개구부에 연속하는 복수의 다각뿔대 홀(hole)을 가지는 발광재료 증착 보조 물체와,
    상기 기판 상에 상기 발광재료 증착 보조 물체의 다각뿔대 홀 내부에 형성된 상기 유기 전계 발광 다이오드의 유기 발광층을 구비한 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 발광재료 증착 보조 물체는, 투명한 감광성 유기재료로 구성된 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 발광재료 보조 증착 물체는, 복수의 삼각형의 개구부를 가지고 상기 개구부를 통해 3색의 유기발광층을 상기 기판 상에 형성한 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 발광재료 증착 보조 물체는, 복수의 사각형의 개구부를 가지고 상기 개구부를 통해 4색의 유기발광층을 상기 기판 상에 형성한 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 발광재료 증착 보조 물체는, 상기 삼각형의 개구부에 연속하는 삼각뿔대 형태의 홀을 가지는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시장치.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 발광재료 증착 보조 물체는, 상기 사각형의 개구부에 연속하는 사각뿔대 형태의 홀을 가지는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시장치.
  7. 게이트 배선과 신호 배선의 교차영역에 형성된 유기전계 발광 다이오드를 구비한 유기 전계 발광 표시장치의 제조 방법에 있어서,
    상기 유기 전계 발광 다이오드의 유기 발광층을 증착해 형성하기 위한, 복수의 다각형의 개구부 및 상기 개구부와 연속하는 복수의 다각뿔대 형태의 홀을 가지는 발광재료 증착 보조 물체를 기판 상에 형성하는 공정과,
    상기 유기 전계 발광 다이오드의 유기 발광층을 상기 기판 상에 상기 발광재료 증착 보조 물체의 다각뿔대 형태의 홀 내에 형성하는 공정을 포함하는 것을 특 징으로 하는 유기전계 발광 표시장치의 제조 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 발광재료 증착 보조 물체는, 투명한 유기재료로 구성된 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시장치의 제조 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 발광재료 증착 보조 물체는, 복수의 삼각형의 개구부를 가지고, 상기 개구부를 통해 3색의 유기발광층을 상기 기판 상에 증착하여 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시장치의 제조 방법.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 발광재료 증착 보조 물체는, 복수의 사각형의 개구부를 가지고, 상기 개구부를 통해 4색의 유기발광층을 상기 기판 상에 증착하여 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시장치의 제조 방법.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 발광재료 증착 보조 물체는, 상기 삼각형의 개구부에 연속하는 삼각뿔대 형태의 홀을 가지는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시장치의 제조 방법.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 발광재료 증착 보조 물체는, 상기 사각형의 개구부에 연속하는 사각뿔대 형태의 홀을 가지는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광 표시장치의 제조 방법.
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