JP2008157477A - Clean unit - Google Patents

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Hiroyuki Tajima
博之 田嶋
Fumio Shimizu
史夫 清水
Man Sao Ryu
マン サオ リュウ
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce worker's burden as it is unnecessary to lift an object up high when a worker lifts the object up at a working face of a work table to apply air thereto. <P>SOLUTION: This clean unit for removing dust attached to the object by applying air to the object by the worker, has a partition for defining a room partitioned from the outside, a clean air supply portion for supplying clean air into the room, an air gun disposed in the room for applying air toward the optional direction, the work table having the working face having a flat surface inclined to a horizontal face at least when air is applied to the object, and a return portion extending upward from a lower end of the working face when air is applied to the object, and disposed in the room, and an air suction portion for sucking air in the room. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、塵埃が除去されたクリーンエアが供給される簡易な室内において様々な作業をすることのできるクリーンユニットに関する。   The present invention relates to a clean unit capable of performing various operations in a simple room supplied with clean air from which dust is removed.

半導体や精密機器などの製造工場では、気中の塵埃が製品に悪影響を及ぼすことから、当該塵埃が除去されたクリーンエアが供給される高清浄度作業空間(以下、「クリーンスペース」と称する)が使用される。このようなクリーンスペースの多くには、HEPAフィルタおよびファンを備えたファンフィルタユニットが配されており、当該ファンフィルタユニットにより、クリーンエアが供給される。   In manufacturing factories such as semiconductors and precision equipment, dust in the air has an adverse effect on products, so a high-cleanness work space (hereinafter referred to as “clean space”) to which clean air from which the dust has been removed is supplied. Is used. Many of such clean spaces are provided with a fan filter unit including a HEPA filter and a fan, and clean air is supplied by the fan filter unit.

上記のようなクリーンスペースは、広くなるほど多数のファンフィルタユニットが必要となり、消費電力が大きくなる。そこで、作業者の作業空間だけを外部と隔離したクリーンユニットが提案されている(例えば特許文献1を参照)。
特開2003−83579号公報
As the clean space as described above becomes wider, a larger number of fan filter units are required, resulting in higher power consumption. Therefore, a clean unit has been proposed in which only the worker's work space is isolated from the outside (see, for example, Patent Document 1).
JP 2003-83579 A

特許文献1に開示されているクリーンユニットでは、例えばコンベアや作業台の周囲がカバーで覆われており、作業者は当該カバーの開口から手を挿し込んで作業をする。このとき、コンベアおよび作業台は常時定位置に固定されているので、作業者が作業の対象としている対象物にエアガンなどでエアをあてて塵埃を除去したり検品する場合に、当該対象物を高く持ち上げて作業することになる。したがって、作業者の負担が大きく、繰り返しの作業では疲労が蓄積し易い。また、コンベアおよび作業台の作業面から天井までの高さがそれほど大きくないので、上記対象物を持ち上げるときに作業面上部のスペースが狭い。   In the clean unit disclosed in Patent Document 1, for example, the periphery of a conveyor or a work table is covered with a cover, and an operator works by inserting a hand through the opening of the cover. At this time, since the conveyor and the work table are always fixed at a fixed position, when the worker applies air with an air gun or the like to the object to be worked to remove dust or inspect the object, It will be lifted high. Therefore, the burden on the operator is large, and fatigue is likely to accumulate in repeated operations. Moreover, since the height from the work surface of the conveyor and the work table to the ceiling is not so large, the space above the work surface is narrow when the object is lifted.

上記課題を解決するために、本発明の第1の形態によれば、作業者が対象物に対してエアを吹き付けて対象物に付着した埃などを除去するクリーンユニットであって、外部から隔離した室内を形成する隔壁と、室内にクリーンエアを供給するクリーンエア供給部と、室内に配されてエアを任意の方向に向けて吹き付けるエアガンと、少なくとも対象物にエアを吹き付ける場合に水平面に対して傾いた平面を有する作業面、および、対象物にエアを吹き付ける場合に作業面の下端から上方に延伸する返し部を有し、室内に配される作業台と、室内の空気を吸気する吸気部とを備えるクリーンユニットが提供される。このようなクリーンユニットによれば、作業者が作業台における作業面上で対象物を持ち上げてエアをあてる場合に、当該対象物を高く持ち上げる必要がないので、作業者の負担を軽減することができる。また、より広いスペースでエアをあてる作業をすることができる。また、広いスペースを確保するために作業面を傾けた場合でも、作業面上の物が落下するのを防ぐことができる。   In order to solve the above-described problem, according to the first embodiment of the present invention, a clean unit that removes dust and the like attached to an object by blowing air onto the object is isolated from the outside. A partition that forms the interior of the room, a clean air supply unit that supplies clean air to the room, an air gun that is arranged in the room and blows air in an arbitrary direction, and at least when the air is blown onto the object, A work surface having an inclined plane, and a return portion extending upward from the lower end of the work surface when air is blown onto the object, and a work table disposed in the room, and an intake air for sucking in the air in the room A clean unit is provided. According to such a clean unit, when the operator lifts the object on the work surface of the work table and applies air, it is not necessary to lift the object high, so that the burden on the operator can be reduced. it can. Also, it is possible to work with air in a wider space. Moreover, even when the work surface is tilted to ensure a wide space, it is possible to prevent an object on the work surface from falling.

また、上記クリーンユニットは、作業面の平面を、水平面に対して傾けた状態と、水平面に平行な状態とに切り替える作業台駆動部をさらに備えることが好ましい。これにより、作業者が作業台における作業面上で対象物を持ち上げてエアをあてる作業をする以外のときは、作業面の平面を水平面に平行な状態にすることができる。したがって、作業面を水平にして上記対象物を載置し、組立などの作業をすることもできる。   Moreover, it is preferable that the said clean unit is further provided with the work-table drive part which switches the plane of a work surface to the state inclined with respect to the horizontal surface, and the state parallel to a horizontal surface. Thereby, when the operator does not perform an operation of lifting an object on the work surface of the work table and applying air, the plane of the work surface can be made parallel to the horizontal surface. Therefore, the work surface can be placed horizontally and the object can be placed to perform operations such as assembly.

また、上記作業台駆動部は、作業者の作業時における足の近傍に配されたペダルスイッチを有し、ペダルスイッチが操作されたことを検知した場合に、作業面の平面を水平面に傾けた状態にすることが好ましい。これにより、作業者は手を使わずにペダルスイッチを操作することにより作業台駆動部を作動させることができるので、作業台駆動部の作動時に作業を中断することがない。   In addition, the work table drive unit has a pedal switch arranged in the vicinity of the foot during the work of the worker, and when it is detected that the pedal switch is operated, the plane of the work surface is inclined to the horizontal plane. It is preferable to be in a state. As a result, the operator can operate the worktable drive unit by operating the pedal switch without using a hand, so that the work is not interrupted when the worktable drive unit is operated.

また、この場合、上記エアガンが使用状態であるか未使用状態であるかを検知する検知部をさらに備え、作業台駆動部は、エアガンが使用状態であることを検知部が検知している場合であって、かつ、ペダルスイッチが足で踏まれたことを検知した場合に、作業面の平面を水平面に対して傾けた状態にし、作業台駆動部は、エアガンが未使用状態であることを検知部が検知している場合、または、ペダルスイッチが足で踏まれていないことを検知した場合に、作業面の平面を水平面に平行な状態にすることが好ましい。これにより、作業面が誤って傾くのを防ぐことができる。   In this case, the air gun further includes a detection unit that detects whether the air gun is in use or not in use, and the work table drive unit detects that the air gun is in use In addition, when it is detected that the pedal switch is stepped on with a foot, the plane of the work surface is inclined with respect to the horizontal plane, and the work platform drive unit confirms that the air gun is not in use. When the detection unit is detecting, or when it is detected that the pedal switch is not stepped on with a foot, it is preferable that the plane of the work surface is parallel to the horizontal plane. Thereby, it can prevent that a work surface inclines accidentally.

また、上記クリーンユニットにおいて、上記吸気部は、作業面の平面が水平面に対して傾いた状態であるときにエアを吸気することが好ましい。これにより、作業面が傾いた状態で作業者が対象物に対してエアを吹き付けているときだけ吸気部を作動させることができるので、吸気部を効率的に作動させることができる。   Further, in the clean unit, it is preferable that the intake section intakes air when the plane of the work surface is inclined with respect to the horizontal plane. As a result, the intake section can be operated only when the worker is blowing air against the object while the work surface is tilted, so the intake section can be operated efficiently.

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。   The above summary of the invention does not enumerate all the necessary features of the present invention, and sub-combinations of these feature groups can also be the invention.

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。   Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention. However, the following embodiments do not limit the invention according to the scope of claims, and all combinations of features described in the embodiments are included. It is not necessarily essential for the solution of the invention.

図1は、本発明の実施形態に係るクリーンユニット10の外観を示す斜視図である。なお、図1の手前側がクリーンユニット10の正面側であり、図1の奥側が背面側である。図1に示すように、クリーンユニット10は、フレーム20と、フレーム20に固定されて外部から隔離した室内を形成する隔壁30と、フレーム20の上側に固定されて上記室内の天井側から室内にクリーンエアを供給するクリーンエア供給部40と、上記室内の空気を吸気する吸気部60とを備える。また、隔壁30の正面側における一の面には、腕カバー50が配される。さらに、フレーム20の下側の床面上には、配線71を介して後述する作業台駆動部200の制御部250と電気的に接続しているペダルスイッチ70が配される。なお、このペダルスイッチ70が配される位置は、後述の作業者500がクリーンユニット10の室内に両腕を挿し入れて作業するときに、当該作業者500の足の近傍であることが好ましい。また、上記隔壁30には、例えば透明なアクリル板が用いられ、上記作業者500が作業をするときに室内が見えるようになっている。   FIG. 1 is a perspective view showing an appearance of a clean unit 10 according to an embodiment of the present invention. The front side of FIG. 1 is the front side of the clean unit 10, and the back side of FIG. 1 is the back side. As shown in FIG. 1, the clean unit 10 includes a frame 20, a partition wall 30 which is fixed to the frame 20 and forms a room isolated from the outside, and is fixed to the upper side of the frame 20 to enter the room from the ceiling side of the room. A clean air supply unit 40 that supplies clean air and an intake unit 60 that intakes the indoor air are provided. An arm cover 50 is disposed on one surface of the partition wall 30 on the front side. Furthermore, a pedal switch 70 that is electrically connected to a control unit 250 of a worktable drive unit 200 described later via a wiring 71 is disposed on the floor surface below the frame 20. The position where the pedal switch 70 is arranged is preferably in the vicinity of the feet of the worker 500 when the worker 500 described later works by inserting both arms into the room of the clean unit 10. The partition wall 30 is made of, for example, a transparent acrylic plate so that the room can be seen when the worker 500 works.

図2は、クリーンユニット10の隔壁30を取り外したときの外観を示す斜視図である。図2に示すように、上記隔壁30により外部から隔離された室内には、作業台100が配される。この作業台100は、ベースプレート101、返し部103、ゴムシート105およびヒンジ107を有する。ベースプレート101は、略平板状で平面部分を有し、その正面側の一端に配されるヒンジ107を介してフレーム20に対して回動可能に取り付けられている。また、ベースプレート101の上記平面部分を含む上面は、後述するように、作業者500が様々な作業をする作業面110となるが、ベースプレート101におけるこの作業面110には、さらにゴムシート105が貼り付けられている。また、ベースプレート101における背面側の一端には、返し部103が配される。この返し部103は、ベースプレート101における上記平面部分と直交し、かつ、当該平面部分が水平になるように作業台100が固定されている状態では鉛直上方に突出するように形成されている。   FIG. 2 is a perspective view showing an appearance when the partition wall 30 of the clean unit 10 is removed. As shown in FIG. 2, a work table 100 is disposed in a room isolated from the outside by the partition wall 30. The work table 100 includes a base plate 101, a return portion 103, a rubber sheet 105, and a hinge 107. The base plate 101 is substantially flat and has a flat surface portion, and is attached to the frame 20 via a hinge 107 disposed at one end on the front side thereof. Further, the upper surface of the base plate 101 including the planar portion is a work surface 110 on which the operator 500 performs various operations, as will be described later. A rubber sheet 105 is further attached to the work surface 110 of the base plate 101. It is attached. Further, a return portion 103 is disposed at one end on the back surface side of the base plate 101. The return portion 103 is formed so as to protrude vertically upward when the work table 100 is fixed so as to be orthogonal to the flat portion of the base plate 101 and to be horizontal.

また、図2に示すように、上記室内には、フレーム20に固定されたホルスター83、およびこのホルスター83に保持されたエアガン80が配される。このエアガン80には、伸縮自在なエアホース81が繋がれており、外部のコンプレッサー(不図示)からエアホース81を介して高圧のエアを任意の方向に向けて吹き付けることができる。また、ホルスター83には、検知部85が取り付けられている。この検知部85は、配線87を介して、後述する作業台駆動部200の制御部250、および、エアガン80への上記エアが供給されている状態と供給が停止されている状態とを切り替える電磁弁89に対して電気的に接続している。この検知部85は、エアガン80がホルスター83に保持された状態であるか、または、ホルスター83から抜き取られた状態であるかを検知することにより、エアガン80が使用状態であるか未使用状態であるかを検知する。検知部85には、例えば光電センサなどが用いられる。   As shown in FIG. 2, a holster 83 fixed to the frame 20 and an air gun 80 held by the holster 83 are arranged in the room. A telescopic air hose 81 is connected to the air gun 80, and high-pressure air can be blown in an arbitrary direction through the air hose 81 from an external compressor (not shown). Further, a detection unit 85 is attached to the holster 83. The detection unit 85 is an electromagnetic that switches between a state in which the air is supplied to the control unit 250 of the worktable drive unit 200, which will be described later, and the air gun 80, and a state in which the supply is stopped, via the wiring 87. The valve 89 is electrically connected. The detecting unit 85 detects whether the air gun 80 is held by the holster 83 or is pulled out of the holster 83, so that the air gun 80 is in use or unused. Detect if there is. For the detection unit 85, for example, a photoelectric sensor or the like is used.

また、図1および図2に示すように、吸気部60が作業台100の下側から背面側にかけて配される。この吸気部60は、作業台100の下側に配されてフレーム20に固定されているシュート61、一端が後述する吸気口63を介してシュート61と接続する吸気ホース65、および、吸気ホース65の他端と接続する吸気装置69を有する。吸気装置69は、配線67を介して後述する作業台駆動部200の制御部250と電気的に接続している。   Moreover, as shown in FIGS. 1 and 2, the intake section 60 is arranged from the lower side of the work table 100 to the rear side. The intake section 60 includes a chute 61 disposed on the lower side of the work table 100 and fixed to the frame 20, an intake hose 65 having one end connected to the chute 61 via an intake port 63 described later, and an intake hose 65. The other end of the air intake device 69 is connected. The intake device 69 is electrically connected to a control unit 250 of the worktable drive unit 200 described later via a wiring 67.

図3は、作業台100の平面部分が水平面に平行な状態のときに作業者500が作業をする様子を示す概略断面図である。また、図4は、作業台100の平面部分が水平面に対して傾いた状態のときに作業者500が作業をする様子を示す概略断面図である。図3および図4に示すように、上記クリーンエア供給部40は、外気取入口41、ファン43、フィルタ45および供給口47を有し、外気取入口41から取り入れた空気をファン43の回転によりフィルタ45を通過させて供給口47から上記室内にクリーンエアを供給する。上記フィルタ45には、例えばHEPAフィルタが用いられる。クリーンエア供給部40は、作業者500の作業時にクリーンエアを上記室内に連続的に供給してもよいが、例えば室内の清浄度を検知して、当該清浄度が規定以下になったときだけクリーンエアを供給してもよい。   FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing a state where the worker 500 performs work when the plane portion of the work table 100 is in a state parallel to the horizontal plane. FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing a state where the worker 500 performs work when the plane portion of the work table 100 is tilted with respect to the horizontal plane. As shown in FIGS. 3 and 4, the clean air supply unit 40 includes an outside air intake 41, a fan 43, a filter 45, and a supply port 47, and air taken from the outside air intake 41 is rotated by the rotation of the fan 43. Clean air is supplied from the supply port 47 into the room through the filter 45. For example, a HEPA filter is used as the filter 45. The clean air supply unit 40 may continuously supply clean air into the room when the worker 500 is working. For example, the clean air supply unit 40 detects the cleanliness of the room and the cleanliness is below a specified level. Clean air may be supplied.

また、図3および図4に示すように、作業台100の下側には、さらにエアシリンダ210および制御部250を含む作業台駆動部200が配される。エアシリンダ210は、フランジ220およびロッド230を有し、2本のエアホース260のそれぞれの一端と接続する。エアシリンダ210は、このフランジ220の部分でシュート61にネジ止めされて固定されている。また、エアシリンダ210は、外部のコンプレッサー(不図示)から上記エアホース260のうちの一方を介して高圧のエアの供給を受けるとともに、エアシリンダ210内のエアを上記エアホース260のうちの他方を介して排気することができる。制御部250は、エアシリンダ210への上記エアの供給およびエアシリンダ210からの上記エアの排気を制御する。   Further, as shown in FIGS. 3 and 4, a work table drive unit 200 including an air cylinder 210 and a control unit 250 is disposed below the work table 100. The air cylinder 210 has a flange 220 and a rod 230 and is connected to one end of each of the two air hoses 260. The air cylinder 210 is fixed to the chute 61 by screws at the flange 220. The air cylinder 210 is supplied with high-pressure air from one of the air hoses 260 from an external compressor (not shown), and the air in the air cylinder 210 is passed through the other of the air hoses 260. Can be exhausted. The controller 250 controls the supply of the air to the air cylinder 210 and the exhaust of the air from the air cylinder 210.

エアシリンダ210は、上記高圧のエアが供給されているときは、図3に示すように、ロッド230が鉛直上方に延びた状態となる。このとき、エアシリンダ210は、ロッド230の先端に配されて上記作業台100におけるベースプレート101の下面と当接する当接部240を介して、作業台100における作業面110の平面部分が水平面に平行な状態となるようにベースプレート101を下方から支持する。ここで、作業者500は、クリーンユニット10の正面側における隔壁30の外側に立って、腕カバー50に両腕を通すことにより室内に両腕を挿し入れる。作業者500は、この状態で、作業台100における作業面110上に対象物600を載置して、組立などの作業をする。   When the high-pressure air is supplied to the air cylinder 210, the rod 230 extends vertically upward as shown in FIG. At this time, the air cylinder 210 is arranged at the tip of the rod 230, and the plane portion of the work surface 110 of the work table 100 is parallel to the horizontal plane via the contact portion 240 that contacts the lower surface of the base plate 101 of the work table 100. The base plate 101 is supported from below so as to achieve a stable state. Here, the worker 500 stands on the outside of the partition wall 30 on the front side of the clean unit 10 and inserts both arms into the room by passing both arms through the arm cover 50. In this state, the worker 500 places the object 600 on the work surface 110 of the work table 100 and performs work such as assembly.

作業者500は、作業面110上に対象物600を載置しての作業を終えると、引き続き対象物600を持ち上げてエア洗浄作業をする。このエア洗浄作業は、対象物600に対してエアガン80によりエアを吹き付けることにより、対象物600の表面に付着した埃などを除去する作業である。作業者500は、エア洗浄作業を始めるときには、まず、図4に示すように、対象物600を作業面110から持ち上げるとともに、エアガン80をホルスター83から抜き取って対象物600の表面に向ける。このとき、検知部85は、エアガン80がホルスター83から抜き取られた状態であることを検知して上記作業台駆動部200の制御部250および上記電磁弁89にエアガン80が使用状態である旨の信号を出力する。電磁弁89は、この信号を受けると、上記エアガン80へエアが供給されている状態に切り替える。   When the worker 500 finishes the work of placing the object 600 on the work surface 110, the worker 500 continues to lift the object 600 and perform the air cleaning work. This air cleaning operation is an operation for removing dust or the like attached to the surface of the object 600 by blowing air to the object 600 with the air gun 80. As shown in FIG. 4, the worker 500 first lifts the object 600 from the work surface 110 and pulls out the air gun 80 from the holster 83 and points it toward the surface of the object 600 when starting the air cleaning operation. At this time, the detection unit 85 detects that the air gun 80 has been removed from the holster 83 and indicates that the air gun 80 is in use in the control unit 250 of the worktable drive unit 200 and the electromagnetic valve 89. Output a signal. When receiving this signal, the electromagnetic valve 89 switches to a state where air is supplied to the air gun 80.

続いて、作業者500は、図4に示すように、ペダルスイッチ70を足で踏むことにより操作する。このとき、ペダルスイッチ70は、作業者500の足で踏まれた旨の信号を上記作業台駆動部200の制御部250に出力する。制御部250は、上記検知部85からのエアガン80が使用状態である旨の信号およびペダルスイッチ70からの作業者500の足で踏まれた旨の信号の両方の信号を受けると、図3に示すように上記高圧のエアが供給されている状態であるエアシリンダ210内のエアを排気する。これにより、図4に示すように、エアシリンダ210のロッド230は縮んだ状態となり、作業台100における作業面110の平面部分は、水平面に対して傾いた状態となる。この状態で、作業者500は、対象物600を持ち上げて対象物600に対してエアガン80によりエアを吹き付けることにより、上記エア洗浄作業をする。   Subsequently, as shown in FIG. 4, the operator 500 operates the pedal switch 70 by stepping on the foot with the foot. At this time, the pedal switch 70 outputs a signal indicating that the operator has stepped on the foot of the worker 500 to the control unit 250 of the work table driving unit 200. When the control unit 250 receives both the signal indicating that the air gun 80 is in use from the detection unit 85 and the signal indicating that the operator has stepped on the foot of the operator 500 from the pedal switch 70, the control unit 250 receives the signal shown in FIG. As shown, the air in the air cylinder 210 in a state where the high-pressure air is being supplied is exhausted. As a result, as shown in FIG. 4, the rod 230 of the air cylinder 210 is contracted, and the plane portion of the work surface 110 in the work table 100 is inclined with respect to the horizontal plane. In this state, the worker 500 performs the air cleaning operation by lifting the object 600 and blowing air onto the object 600 with the air gun 80.

また、上記制御部250は、エアシリンダ210内のエアを排気すると同時に、吸気装置69に対して吸気を開始する旨の信号を出力する。吸気装置69は、図1から図4に示すように、一端が吸気口63を介してシュート61と接続する吸気ホース65の他端と接続しており、制御部250からの上記信号を受けると、クリーンユニット10における上記室内の空気を吸気する。これにより、上記エア洗浄作業により対象物600から出た塵および埃などは、シュート61を経て吸気口63から室内の空気とともに吸気される。   In addition, the control unit 250 exhausts the air in the air cylinder 210 and simultaneously outputs a signal to the intake device 69 to start intake. As shown in FIGS. 1 to 4, the intake device 69 has one end connected to the other end of the intake hose 65 connected to the chute 61 via the intake port 63, and receives the signal from the control unit 250. Then, the indoor air in the clean unit 10 is sucked. As a result, dust, dust, and the like that have come out of the object 600 by the air cleaning operation are sucked together with the indoor air from the intake port 63 via the chute 61.

このように、上記クリーンユニット10は、作業台100における作業面110の平面部分を水平面に対して傾けることができる。したがって、作業者500が作業台100における作業面110上で対象物600を持ち上げて上記エア洗浄作業をする場合に、当該対象物600を高く持ち上げる必要がなく、作業者500の負担を軽減することができる。また、上記作業面110の平面部分を傾けた状態では、上記作業面110の平面部分が水平な状態と比べて作業面110上方の室内空間が広くなるので、より広いスペースで上記エア洗浄作業をすることができる。   Thus, the clean unit 10 can tilt the plane portion of the work surface 110 of the work table 100 with respect to the horizontal plane. Therefore, when the worker 500 lifts the object 600 on the work surface 110 of the work table 100 and performs the air cleaning operation, it is not necessary to lift the object 600 high, and the burden on the worker 500 is reduced. Can do. In addition, in the state where the plane portion of the work surface 110 is inclined, the indoor space above the work surface 110 becomes wider than in the state where the plane portion of the work surface 110 is horizontal, so the air cleaning work can be performed in a wider space. can do.

また、作業面110には、上記のようにゴムシート105が貼り付けられており、作業面110の面方向において大きな摩擦抵抗を有する。したがって、図4に示すように、作業面110の平面部分を傾けた場合でも、作業面110に置かれたものが作業面110上を滑りにくい。さらに、例えば上記エア洗浄作業のときに、対象物600の一部をゴムシート105に引っ掛けて作業することができる。さらに、上記のように、作業台100のベースプレート101における背面側の一端には返し部103が配されている。したがって、作業面110の平面部分を傾けた場合でも、作業面110に置かれたものが作業面110の外に落下するのを防ぐことができる。   Further, the rubber sheet 105 is attached to the work surface 110 as described above, and has a large frictional resistance in the surface direction of the work surface 110. Therefore, as shown in FIG. 4, even when the plane portion of the work surface 110 is tilted, the object placed on the work surface 110 is difficult to slip on the work surface 110. Furthermore, for example, during the air cleaning operation, it is possible to work by hooking a part of the object 600 on the rubber sheet 105. Further, as described above, the return portion 103 is disposed at one end on the back side of the base plate 101 of the work table 100. Therefore, even when the plane portion of the work surface 110 is tilted, it is possible to prevent the object placed on the work surface 110 from falling out of the work surface 110.

また、上記のように、作業台駆動部200は、エアガン80が使用状態であり、かつ、ペダルスイッチ70が作業者500により足で踏まれた状態である場合に、上記作業面110の平面部分を水平面に対して傾ける。したがって、作業面110が誤って傾くのを防ぐことができる。   Further, as described above, the work table driving unit 200 is configured so that the plane portion of the work surface 110 is obtained when the air gun 80 is in use and the pedal switch 70 is stepped on by a worker 500. Tilt to the horizontal plane. Therefore, it is possible to prevent the work surface 110 from being inclined by mistake.

また、上記のように、吸気部60の吸気装置69は、作業面110の平面部分が水平面に対して傾いた状態であるときにクリーンユニット10における上記室内の空気を吸気する。これにより、作業面110が傾いた状態で作業者500が対象物600に対してエアを吹き付けているときに吸気部60の吸気装置69を作動させることができるので、吸気装置69を効率的に作動させることができる。   Further, as described above, the intake device 69 of the intake unit 60 sucks the indoor air in the clean unit 10 when the plane portion of the work surface 110 is inclined with respect to the horizontal plane. As a result, when the worker 500 is blowing air against the object 600 with the work surface 110 tilted, the intake device 69 of the intake section 60 can be operated. Can be operated.

なお、図1から図4に示す実施形態においては、隔壁30が前後左右を覆っているが、これに変えて、左右または後方の隔壁30に開口を設けて、隣接するユニットと連結してもよい。これにより、隣接するユニット同士で対象物600をクリーンな状態で受け渡すことができる。   In the embodiment shown in FIGS. 1 to 4, the partition walls 30 cover the front, rear, left and right. Alternatively, the left and right or rear partition walls 30 may be provided with openings so as to be connected to adjacent units. Good. Thereby, the object 600 can be delivered in a clean state between adjacent units.

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。   As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above-described embodiment. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.

本発明の実施形態に係るクリーンユニット10の外観を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the external appearance of the clean unit 10 which concerns on embodiment of this invention. クリーンユニット10の隔壁30を取り外したときの外観を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an external appearance when the partition 30 of the clean unit 10 is removed. 作業台100の平面部分が水平面に平行な状態のときに作業者500が作業をする様子を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows a mode that the operator 500 works when the plane part of the worktable 100 is a state parallel to a horizontal surface. 作業台100の平面部分が水平面に対して傾いた状態のときに作業者500が作業をする様子を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows a mode that the operator 500 works when the plane part of the worktable 100 is in the state inclined with respect to the horizontal surface.

符号の説明Explanation of symbols

10 クリーンユニット、20 フレーム、30 隔壁、40 クリーンエア供給部、41 外気取入口、43 ファン、45 HEPAフィルタ、47 供給口、50 腕カバー、60 吸気部、61 シュート、63 吸気口、65 吸気ホース、67 配線、69 吸気装置、70 ペダルスイッチ、71 配線、80 エアガン、81 エアホース、83 ホルスター、85 検知部、87 配線、89 電磁弁、100 作業台、101 ベースプレート、103 返し部、105 ゴムシート、107 ヒンジ、110 作業面、200 作業台駆動部、210 エアシリンダ、220 フランジ、230 ロッド、240 当接部、250 制御部、260 エアホース、500 作業者、600 対象物   10 Clean Unit, 20 Frame, 30 Bulkhead, 40 Clean Air Supply Portion, 41 Outside Air Intake Port, 43 Fan, 45 HEPA Filter, 47 Supply Port, 50 Arm Cover, 60 Air Intake Portion, 61 Chute, 63 Air Inlet Port, 65 Air Intake Hose 67 wiring, 69 air intake device, 70 pedal switch, 71 wiring, 80 air gun, 81 air hose, 83 holster, 85 detection section, 87 wiring, 89 solenoid valve, 100 work table, 101 base plate, 103 return section, 105 rubber sheet, 107 Hinge, 110 Work surface, 200 Worktable drive part, 210 Air cylinder, 220 Flange, 230 Rod, 240 Contact part, 250 Control part, 260 Air hose, 500 Worker, 600 Object

Claims (5)

作業者がクリーンな環境で対象物に対してエアを吹き付けて前記対象物に付着した埃などを除去するクリーンユニットであって、
外部から隔離した室内を形成する隔壁と、
前記室内にクリーンエアを供給するクリーンエア供給部と、
前記室内に配されて前記エアを任意の方向に向けて吹き付けるエアガンと、
少なくとも前記対象物に前記エアを吹き付ける場合に水平面に対して傾いた平面を有する作業面、および、前記対象物に前記エアを吹き付ける場合に前記作業面の下端から上方に延伸する返し部を有し、前記室内に配される作業台と、
前記室内の空気を吸気する吸気部と
を備えるクリーンユニット。
A clean unit in which an operator blows air on an object in a clean environment to remove dust attached to the object,
A partition that forms a chamber isolated from the outside;
A clean air supply section for supplying clean air into the room;
An air gun arranged in the room and blowing the air in an arbitrary direction;
At least a work surface having a plane inclined with respect to a horizontal plane when the air is blown onto the object, and a return portion extending upward from a lower end of the work surface when the air is blown onto the object. A work table disposed in the room;
A clean unit comprising: an air intake section for taking in the indoor air.
前記作業面の前記平面を、水平面に対して傾けた状態と、水平面に平行な状態とに切り替える作業台駆動部をさらに備える請求項1に記載のクリーンユニット。   The clean unit according to claim 1, further comprising a work table drive unit that switches the plane of the work surface between a state inclined with respect to a horizontal plane and a state parallel to the horizontal plane. 前記作業台駆動部は、作業者の作業時における足の近傍に配されたペダルスイッチを有し、前記ペダルスイッチが操作されたことを検知した場合に、前記作業面の前記平面を水平面に傾けた状態にする請求項2に記載のクリーンユニット。   The work table drive unit has a pedal switch arranged in the vicinity of a foot when an operator is working, and when the operation of the pedal switch is detected, the plane of the work surface is inclined to a horizontal plane. The clean unit according to claim 2, wherein the clean unit is placed in a closed state. 前記エアガンが使用状態であるか未使用状態であるかを検知する検知部をさらに備え、
前記作業台駆動部は、前記エアガンが使用状態であることを前記検知部が検知している場合であって、かつ、前記ペダルスイッチが足で踏まれたことを検知した場合に、前記作業面の前記平面を水平面に対して傾けた状態にし、
前記作業台駆動部は、前記エアガンが未使用状態であることを前記検知部が検知している場合、または、前記ペダルスイッチが足で踏まれていないことを検知した場合に、前記作業面の前記平面を水平面に平行な状態にする請求項3に記載のクリーンユニット。
A detector that detects whether the air gun is in use or unused;
The work table drive unit is configured to detect the work surface when the detection unit detects that the air gun is in use, and when the pedal switch is detected to be stepped on with a foot. In a state where the plane is inclined with respect to the horizontal plane,
When the detection unit detects that the air gun is unused, or when the pedal switch detects that the pedal switch is not stepped on with a foot, The clean unit according to claim 3, wherein the plane is parallel to a horizontal plane.
前記吸気部は、前記作業面の前記平面が水平面に対して傾いた状態であるときに前記エアを吸気する請求項2から4のいずれかに記載のクリーンユニット。   The clean unit according to any one of claims 2 to 4, wherein the intake section sucks the air when the plane of the work surface is inclined with respect to a horizontal plane.
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