JP2008151679A - 試料分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】二次エネルギ線検出部4により検出された二次エネルギ線Lのスペクトル波形を示すデータであるスペクトルデータを各ポイント毎に生成するスペクトルデータ生成部51と、類似するスペクトルデータを集めてグループ化するスペクトルデータ分類部52と、互いに異なるグループに属するスペクトルデータの合成である合成スペクトルから得られる合成情報と、その合成情報に係るグループ以外のグループに属するスペクトルデータから得られる情報とを比較して、類似する場合には、前記合成情報に係るグループ以外のグループのスペクトルデータを生じる領域を、前記合成情報に係るグループのスペクトルデータを生じる領域間の境界領域であると判別する境界領域判別部55と、を備えている。
【選択図】図1
Description
本実施形態に係る試料分析装置1は、エネルギ線である電子線EBを複数の成分領域を有する測定試料Wに照射することにより試料Wから生じる二次エネルギ線であるカソードルミネッセンスLを用いて、試料Wの微小領域における物性評価や半導体素子の解析を行うもの、いわゆるカソードルミネッセンス測定装置である。
次に、このように構成した試料測定装置1の動作について、図6、図7及び図8を参照しつつ説明する。
このように構成した本実施形態に係る試料分析装置1によれば、複数の成分領域を有する試料において、その成分間の境界領域を自動的に判別することができる。したがって、測定領域に適した初期値を設定することができ、マッピング測定の時間短縮を可能とすることができる。また、電子線EBを照射して生じるカソードルミネッセンスLを測定する空間分解能が高い装置においては、特に、境界を含むエリアをマッピング測定する際には、その測定結果を有効に評価することができるようになる。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。以下の説明において前記実施形態に対応する部材には同一の符号を付すこととする。
W ・・・試料
EB・・・エネルギ線(電子線)
L ・・・二次エネルギ線(カソードルミネッセンス)
3 ・・・エネルギ線照射部(電子線照射装置)
4 ・・・二次エネルギ線検出部(検出装置)
5 ・・・情報処理装置
51・・・スペクトルデータ生成部
52・・・スペクトルデータ分類部
54・・・主副グループ設定部
55・・・境界領域判定部
Claims (6)
- 試料の複数ポイントにエネルギ線を照射するエネルギ線照射部と、前記エネルギ線が照射された試料から生じる二次エネルギ線を検出する二次エネルギ線検出部と、前記二次エネルギ線検出部からの出力信号を受信して、所定の演算処理を行う情報処理装置と、を具備し、
前記情報処理装置が、
前記二次エネルギ線検出部により検出された二次エネルギ線のスペクトル波形を示すデータであるスペクトルデータを各ポイント毎に生成するスペクトルデータ生成部と、
類似するスペクトルデータを集めてグループ化するスペクトルデータ分類部と、
互いに異なるグループに属するスペクトルデータの合成である合成スペクトルから得られる合成情報と、前記互いに異なるグループ以外のグループに属するスペクトルデータから得られる情報とを比較して、類似する場合には、前記互いに異なるグループ以外のグループのスペクトルデータを生じる領域を、前記互いに異なるグループのスペクトルデータを生じる領域間の境界領域であると判別する境界領域判別部と、を備えている試料分析装置。 - 全スペクトルデータの数に対して所定割合以上の数のスペクトルデータを有するグループを主成分グループとし、それ以外のグループを副成分グループとして設定する主副グループ設定部をさらに備え、
前記境界領域判別部が、互いに異なる主成分グループに属するスペクトルデータの合成である合成スペクトルから得られる合成情報と、前記副成分グループに属するスペクトルデータから得られる情報とを比較して、類似する場合には、前記副成分グループのスペクトルデータを生じる副成分領域を、前記主成分グループのスペクトルデータを生じる主成分領域間の境界領域であると判別するものである請求項1記載の試料分析装置。 - 前記スペクトル分類部が、各スペクトルデータ同士の相関値を算出し、その相関値が所定値以上のものを同一グループに分類するものである請求項2記載の試料分析装置。
- 前記境界判別部が、互いに異なるグループに属するスペクトルデータの合成である合成スペクトルデータと、前記互いに異なるグループ以外のグループに属するスペクトルデータとを比較するものである請求項1、2又は3記載の試料分析装置。
- 前記領域判別部が、前記合成スペクトルデータと、前記互いに異なるグループ以外のグループに属するスペクトルデータとの相関値を算出し、その相関値が所定値以上である場合に、前記副成分領域を境界領域と判別するものである請求項4記載の試料分析装置。
- 試料にエネルギ線を照射して、その試料から生じる二次エネルギ線を検出して、前記試料の分析を行うための試料分析プログラムであって、
二次エネルギ線検出部により検出された二次エネルギ線のスペクトル波形を示すデータであるスペクトルデータを各ポイント毎に生成するスペクトルデータ生成部と、
各スペクトルデータを比較して、類似するスペクトルデータを集めてグループ化するスペクトルデータ分類部と、
互いに異なるグループに属するスペクトルデータの合成である合成スペクトルから得られる合成情報と、前記互いに異なるグループ以外のグループに属するスペクトルデータから得られる情報とを比較して、類似する場合には、前記互いに異なるグループ以外のグループのスペクトルデータを生じる領域を、前記互いに異なるグループのスペクトルデータを生じる領域間の境界領域であると判別する境界領域判別部と、としての機能をコンピュータに発揮させる試料分析プログラム。
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