JP2008139317A - 粉体流量計測の基準値の設定方法と装置 - Google Patents

粉体流量計測の基準値の設定方法と装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2008139317A
JP2008139317A JP2007316373A JP2007316373A JP2008139317A JP 2008139317 A JP2008139317 A JP 2008139317A JP 2007316373 A JP2007316373 A JP 2007316373A JP 2007316373 A JP2007316373 A JP 2007316373A JP 2008139317 A JP2008139317 A JP 2008139317A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
powder
flow rate
reference value
measurement
capacitance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007316373A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4762224B2 (ja
Inventor
Keiji Kanai
恵司 金井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to JP2007316373A priority Critical patent/JP4762224B2/ja
Publication of JP2008139317A publication Critical patent/JP2008139317A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4762224B2 publication Critical patent/JP4762224B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

【課題】 粉体の管路に設けた静電容量式電極センサーに粉体を通過させて、粉体の静電容量と流量に正比例で増加する電流又は電圧を測定して、粉体が流動中の流量を計測する静電容量式の粉体流量計測の方法及び装置において、粉体搬送気体の温度、湿度又は圧力いずれの変動があっても、正確な流量計測を可能とする方法と装置を提供する。
【解決手段】従来は測定用及び基準用の同一形状である電極センサーを2個製作して、ブリッジ型の電気回路を構成させ、ゼロバランスを得て測定の基準値としていた。本発明は基準用の電極センサーを不要とし、粉体が流れる前における搬送気体が示す測定用の電極センサーの静電容量により基準値を設定して、粉体搬送気体の温度、湿度又は圧力が変動しても粉体の正確な流量計測を可能とする。
【選択図】図3

Description

この発明は粉体の管路に設けられた、静電容量式電極センサー(以後センサーと呼ぶ)を使用した粉体流量計測において、演算の基準値ゼロの設定方法及びその装置に関する。
センサーに粉体を通過させて、その静電容量の増加を測定して、粉体の流量を計測する静電容量式の粉体流量計測装置において、計測の環境が温度の変動のみの状況では、管路を搬送移動する粉体の計測には極めて適した方法である。しかし、粉体を搬送する気体の温度、湿度又は圧力が、季節や一日の時間帯、又は粉体の搬送に種々の方法があって変動すると、測定精度が大きく低下することになりこの方式の欠点となっている。
図1はセンサーの基本概略図である。交流信号発信器1の周波数は汎用のオペアンプを使用した場合では100キロヘルツ程度、電極センサーの固有静電容量は約500ヘムトファラドである。図2は従来型の測定電極Mと基準電極Kとのブリッジ回路により、このゼロ点の偏差補正は可変抵抗器9を使用して行ってきた装置の基準値設定を示す構成概略図である。この場合、測定電極と基準電極各々の静電容量の温度特性がほぼ同等な特性のものを使用することが必要であった。
図2の測定電極M側を粉体が通過する時に、静電容量が粉の量に比例して増加する。この増加分の値を交流ブリッジの電圧の差で検出し増幅して粉体量を測定する。管中を通過する粉体は気体搬送によるが、この搬送空気はプラント内の温度よりも高温の場合もあるが低温の場合もある。さらに搬送管中の気体の圧力は高い気圧で搬送させることがある。空気(気体)の比誘電率は圧力に正比例する。又、この気体が含む湿度の増減でも比誘電率は変動する。基準電極を単に測定電極管の近くに置くだけでは、測定電極管内の温度、湿度、又は圧力との差が往々にしてあり、計測精度の低下を招く要因となるが、従来はこの方法を行っている。次項の特許文献はこの一例である。
特願2004−80855、請求項1:粉体の流路に設けられ、粉体の流量を静電容量の変化として検出する測定用電極と、空気が送り込まれ、測定用電極のおかれている環境条件の変化に対応する補正に用いられる基準電極とが、並列に設けられて構成されることを特徴とする静電容量式の粉体流量センサー。 特願平9年180208号、請求項5記載:粉体流量センサーには、粉体の流量を静電容量の変化として検出する測定電極と環境条件の変化に対応する補正に用いられる基準電極とが、並列に設けて構成される、静電容量式センサーを用いられることを特徴とする請求項1記載の粉体定量切り出し制御方法。
上記の特許文献1と特許文献2における基準電極の効果は、使用環境の雰囲気の温度変動が粉粒体の搬送空気と同程度である場合は、測定電極の傍に置くことで対応できるが、搬送用の空気圧と湿度の変動に対しては、測定電極センサーと同じ搬送空気を基準電極センサー側にも流さないと補正できない。多くの製造工場で使用されている搬送管は、内径が30,50、100,200ミリメートル、又はこれ以上で、且つ配管の長さが、50〜100メートルに及ぶのが通例である。したがって基準電極センサーを別途に設置し、配管して別途に空気を流すことはコスト上の問題となる。且つこの基準電極センサーの設置場所の余裕がないこともあり、この計量方法の利用に障害となっている。したがってこの方法の採用が許されるのは限られた条件下のみとなる。
本発明は基準電極センサーを使用せずに、使用環境の変動があっても計測精度の低下がなく、利用範囲を拡大でき、且つ基準電極の製作、その設置場所、その部分に搬送用の空気を流す別途の配管等のコストを削除できる粉体流量計測方法を課題とする。
図3が発明の方式である。測定用センサーの静電容量は500ヘムトファラドhF程度で、被計測粉体は5hF以下が実際には多い。この1パーセント以下の差を増幅して粉体の流量値とするが、基準値と比較して計測するので、測定精度上から基準値が極めて重要な要素となる。
静電容量式型電極センサーの構成による熱膨張係数の温度係数を30〜50PPM/℃程度にさせることでも技術上いろいろと考慮して製作しなければならないが、今使用環境温度が20℃変動すると20X50PPM=1、000PPM=0.001である。この変化分は図2に示される差動増幅器Eで測定電極用センサーMと基準電極用センサーKの出力差となり、使用環境の温度の変化はほとんどが消去されるが、搬送空気の温度、湿度又は気圧が基準電極用センサーの測定場所と差異がある場合は補正できない。基準電極方式ではメーターのゼロ点を図2の可変抵抗器9を調整して行うが以後はそのまま固定にしているので、測定電極用センサーと基準電極用センサーをある一つの温度で調整しゼロバランスしても、温度、湿度または空気圧などの条件が異なると、その大きさにより計測誤差を生じることとなる。この誤差は差動増幅器Eから流量演算部Fの最終出力までの信号増幅率による、通常1000倍程度以上であるので測定の許容範囲を超える誤差となる場合が多発するのが実情である。
高い空気圧で粉体を吐出させる場合は、増加する空気の圧力の強さによりセンサーの静電容量が増加する。この場合も回路上で固定された基準電極方式ではこの変動に対応できない。
測定電極センサーと同型の基準電極センサーを作成し、この二つの電極からの信号を差動増幅器(ブリッジ回路と同等)に入力しゼロバランスを得て、測定の基準値を設定した従来の方法に対して、本発明は基準電極センサーを使用せずに粉体が流れる前における搬送気体が示す測定電極センサーの静電容量値によりにより基準値を設定し、温度、湿度、又は気圧いずれの複合の変動に対しても多面的に基準値が得られる方法である。
図3の構成図を参考にして説明すると、基準値設定開始ゲート回路Bが,12,13,14,15、のいずれかにより起動タイミング部Cを経由して、基準値設定演算部Dに信号が出され、パソコン19の演算プログラムが開始する。このプログラムはセンサー粉体信号部Aの測定電極に流れる電流の電圧値を、ADCアナログデジタル変換器20(以後ADCと呼ぶ)とDACデジタルアナログ変換器21(以後DACと呼ぶ)を含めた電子回路に対し基準値を作成させて、その値が差動増幅器EのKLの基準電圧として動作する。基準とする状態を直接に測定電極センサーの粉体ゼロの状態から得ることで基準値の設定が行われる。高い気圧や高い温度又は湿度が変わる気体で粉体を搬送する場合は、それらの変化量に対応して静電容量値は増減する。本発明により粉体を搬送する空気が測定電極を通過するようになる時に、瞬時に粉体測定の基準値を得ることができる。空気の圧力が異なると湿度も変動する場合がある、このように圧力と湿度が複合して変動しても、基準値の設定が正しく補正できる。粉体を吐出させ、空気と粉体の流れてくる時間差が数ミリ秒程度と短時間であれば、その時間で基準値を演算することとなるが、1演算速度が1マイクロ秒としても1000回程度の演算は充分にできる。基準値を決定する移動平均の演算回数は、その吐出に対して事前の実験データをとり、適切な演算回数を選ぶ必要がある。通常は数ミリ秒から数秒以上の時間があるので、基準値設定の演算には充分の時間がある。いずれの場合も事前に検量線(流量演算部Fの測定データとその粉体の重量を重量計で計量した値の比のグラフ)を作成の上で、測定データの実重量変換を行うことは従来の方法と同じである。
本発明により、粉体の流量測定の条件に温度と湿度と圧力いずれの変化にも対応できること、且つ基準電極の製造コストを不要にする事、設置場所と別途配管のコストアップの削減が可能となる。発明の効果をまとめ下表に示す。
Figure 2008139317
本発明における装置の具体的実施例が、図3の構成図である。
Aはセンサー粉体信号部で、測定電極用センサーMにより、一つの作業開始で粉体を搬送する直前の搬送空気の温度、湿度、又は圧力の総合した雰囲気を読み取り、基準レベルとして使用する信号として送出させる。粉体データ検出増幅器は無線の検波方式と基本的に同機能であり、公知の技術手法から選択できる。
Bは外部信号ゲート部で、測定の基準を設定する開始の指示として、基準値設定マニュアルスイッチ12は本装置の操作パネル上の手動スイッチ、及び電源オン信号13は本装置の電源オンでイニシアルRESET−SETであり回路上で自動的に発生させる、及び外部信号であり粉体の搬送装置を開始させる駆動部の電流などから検知した回路で作成した信号のジョブスタート信号起動回路14、及びと外部信号のプログラムスタート信号起動回路15は、外部の制御装置からソフトウエアのプログラムによる意図的に行うものである。いずれからも開始できるが各々の指示を独立にINHIBIT(禁止)できるようにして基準値設定開始ゲート回路16がオンとなる。
Cは起動タイミング部で、起動タイミング設定回路17は測定電極から起動時に基準値を読み込むタイミングを発生させる回路である。このタイミングチャートは図5の1から7までのすべてのタイミングで示される。
Dは基準値設定演算部で、パソコン19、ADC20,DAC21等より構成され、指定した時間の間にセンサーからの粉ゼロの信号を受けて移動平均(単純平均も可)の演算を行い交流信号発信器1と同一周波数と位相で演算された振幅の交流を基準値として差動増幅器Eに与えることになる。この発生回路は音響のシンセサイザー等で公知の手法から利用できる。なお、基準値を直流で行う方法も考えられるが、この場合はLPF11通過した直流信号で補正することがよい。なおこの基準値設定演算部のマイコン19は、CPU(セントラルプロセシングユニット)チップ、DSP(デジタルシグナルプロセサー)又は演算プロセサー等を使用しても可能である。
Eは差動増幅部で、測定用センサーKからアンプ(7)の出力の計量する粉体の信号と上記Dの基準値の差を、計測データ信号として出力する。
Fは流量演算部で差動増幅部Eからの信号を受信して搭載したマイコンで流量演算を処理する。出力形態は、DC/0〜10V、4〜20ミリアンペアの電圧と電流を出力する。この流量演算部FはADC内蔵のパソコンを使用しても可能である。
本発明により次項のごとき粉体のパイプ搬送中での流量計測における利用上の課題に対応できる:
(1)夏と冬で温度及び湿度の変動が大きく、且つ微少流量で高い計量精度が要求される場合。
(2)屋外の作業で一日の中で使用環境の変動が大きい場合。
(3)測定する粉体温度が常温より高く基準電極との温度差が大きい場合。
(4)ショットブラストのごとき粉体の研磨材を高い気圧で吐出させる機器など。
本方式は上記(1)(2)(3)(4)等の使用環境により測定誤差が多く、従来はこのような場合の計量が困難であったことを解決することが目的である。いろいろな環境条件下で搬送管中を移動中の、粉粒体を高精度に計測し流量制御するニーズは高く、ケミカル、食品、金属加工、粉砕体燃焼等の分野でも、生産性の向上、地球環境汚染の防止に貢献できる。本発明は粉体流量計測における従来の課題を解決できるものである。
静電容量式電極センサー、の基本的構成図である。 従来型の基準電極方式、による静電容量式粉体流量計測装置の構成図 本発明の基準値設定の機能別ブロックダイアグラム、Aセンサー粉体信号部 B基準値設定開始ゲート部 C起動タイミング部 D基準値設定演算部 E差動増幅部 F流量演算部、 図3の差動増幅器EのMLとKLの電圧レベル 基準値設定が指示されて、測定用センサーKの電圧レベルを読み取り、基準値を設定し粉体流量を計測する。差動増幅器Eの入力MLは測定用センサーKの電圧レベルであり、差動増幅器EのKLは設定された基準値の電圧レベルである。Aは次の作業で粉体を流す前に新たに設定した基準値による電圧。(差動増幅器EのKLの電圧)Bは測定用センサーKから新規のジョブによる粉体のデータ信号が読み取られたアンプ出力。(差動増幅器EのMLの電圧)差動増幅器Eの出力はMK−KLであり、で粉体の流量を示す。T1は指定する読み取り開始時間である、T1タイムで測定用センサーの電圧を、サンプリング周期が1秒程度でデジタル変換した信号のREADを開始する。この信号はこの周期ごとの搬送気体が示す静電容量値である。単位時間(積算周期m)当たり移動平均値である。積算周期mは粉体の速度又は密度により波形の周波数が異なるので適切な数値を選択する、通常は数百程度以上の数値となる。T2の読み取り終了時間は積算周期mの数値により指定する 基準値設定プロセスのタイミングチャートライン ラインNO.: 1.基準値設定開始 2.起動プロセス:基準値セット(6)のタイミング信号を発生させる。3.演算タイミング:T1スタートとT2ストップ時及びその間隔長で、一般の使用状況では0.5ミリ秒から10秒程度を任意に設定できる方式である。基準値設定演算部Dのパソコンは、粉体ゼロ時における測定電極の搬送空気の温度、湿度、及び圧力を示す静電容量値による電圧を、基準レベルとして出力するために起動タイミング部のマイコンのプロセス、T1、T2,信号を受けとる。4.センサーの粉ゼロの電圧読み取り 5.基準値の移動平均値演算処理 6.基準値セット 7.粉体流量開始〜終了 8.流量演算部で流量計算 9流量計算結果出力 マイコンのプログラミングの基準値設定フローチャート X(n)は粉体データのデジタル値図3のML。mは移動平均の回数。
符号の説明
1 交流信号発振器
2 センサー電極管内側
3 対向電極
4 対向電極
5 ガード電極(入力回路の方式により実際は使用しない場合がある)
6 センサー電極管外側
7 アンプ
8 抵抗
9 可変抵抗器
10 粉体データ検出増幅器
11 LPF
12 基準値設定マニュアルスイッチ、本装置のパネル上に置かれたスイッチをオンにより基準値の設定を起動する。
13 電源オン自動発生回路、本装置の電源オンによる電気信号をセンスして発生させる信号を受けて基準値の設定を起動する。
14 ジョブスタート信号起動回路、粉体の搬送を開始させる外部ユニットの電気信号をセンスして発生させる信号を受けて基準値の設定を起動する。
15 外部スタート信号起動回路、外部の制御器のプログラムにより意図的に発生した信号を受けて基準値の設定を起動する。
16 基準値設定開始ゲート回路、
17 起動タイミング設定回路、
18 タイミングカウンター
19 基準値設定演算部のマイコン
20 基準値設定演算部のADC
21 基準値設定演算部のDAC
22 流量演算部のマイコン
23 流量演算部のADC
24 差動増幅器
M 測定用センサー
K 基準用センサー

Claims (8)

  1. 粉体の管路に設けた静電容量式電極センサーに粉体を通過させて、粉体の静電容量と流量に正比例で増加する電流又は電圧を測定して、粉体の流量を計測する静電容量式の粉体流量計測方法において、粉体が流れる前における搬送気体が示す粉体の流量を計測する測定用センサーの静電容量により基準値を設定して、粉体搬送気体の温度、湿度又は圧力の変動があってもその後に搬送される粉体の正確な流量計測を可能とする事を特徴とする粉体流量計測方法。
  2. 請求項1記載の粉体流量計測方法において、基準値の設定を行う起動は基準値設定マニュアルスイッチ、電源オンによる自動起動回路、外部信号のジョブスタート信号、又は外部信号のプログラムスタート信号である事を特徴とする粉体流量計測方法。
  3. 請求項2記載の粉体流量計測方法において、基準値の設定は、読み取り開始と読み取り終了の時間を指定して行う事を特徴とする粉体流量計測方法。
  4. 請求項3記載の粉体流量計測方法において、基準値設定は読み取り開始と読み取り終了の時間を指定した、その時間長における連続したセンサーの電圧値は、移動平均により演算しその時間長の平均値とする事を特徴とする粉体流量計測方法。
  5. 粉体の管路に設けた静電容量式電極センサーに粉体を通過させて、粉体の静電容量と流量に正比例で増加する電流又は電圧を測定して、粉体の流量を計測する静電容量式の粉体流量計測装置において、粉体が流れる前における搬送気体が示す測定用センサーの静電容量により基準値を設定して、粉体搬送気体の温度、湿度又は圧力の変動があっても正確な流量計測を可能にする静電容量式の粉体流量計測装置は、基準値設定開始ゲート部、起動タイミング部、基準値設定演算部を構成とする事を特徴とする粉体流量計測装置。
  6. 請求項5記載の粉体流量計測装置において、基準値設定開始ゲート回路部は、基準値設定マニュアルスイッチ、電源オンによる自動起動回路、外部信号のジョブスタート信号起動回路、及びプログラムスタート信号起動回路を構成とする事を特徴とする粉体流量計測装置。
  7. 請求項5記載の粉体流量計測装置において、起動タイミング部は起動タイミング設定回路及びタイミングカウンターを構成とすることを特徴とする粉体流量計測装置。
  8. 請求項5記載の粉体流量計測装置において、基準値設定演算部はマイコン、ADC及びDACを構成とする事を特徴する粉体流量計測装置。
JP2007316373A 2006-11-10 2007-11-09 粉体流量計測の基準値の設定方法と装置 Active JP4762224B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007316373A JP4762224B2 (ja) 2006-11-10 2007-11-09 粉体流量計測の基準値の設定方法と装置

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006331161 2006-11-10
JP2006331161 2006-11-10
JP2007316373A JP4762224B2 (ja) 2006-11-10 2007-11-09 粉体流量計測の基準値の設定方法と装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008139317A true JP2008139317A (ja) 2008-06-19
JP4762224B2 JP4762224B2 (ja) 2011-08-31

Family

ID=39600895

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007316373A Active JP4762224B2 (ja) 2006-11-10 2007-11-09 粉体流量計測の基準値の設定方法と装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4762224B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013058332A1 (ja) * 2011-10-18 2013-04-25 シチズンホールディングス株式会社 静電容量センサ

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104155223B (zh) * 2014-08-29 2017-02-15 中煤科工集团重庆研究院有限公司 防水抗污染粉尘浓度检测装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5833157A (ja) * 1981-08-24 1983-02-26 Kawasaki Steel Corp 零点補償付濃度測定装置
JPS6224137A (ja) * 1985-07-25 1987-02-02 Fuji Electric Co Ltd 零点補償機能付き濃度測定装置
JPH0526708A (ja) * 1991-07-19 1993-02-02 Tokico Ltd 質量流量計
JPH08271301A (ja) * 1995-03-30 1996-10-18 Chichibu Onoda Cement Corp 粉粒体の流量測定装置
JPH1179411A (ja) * 1997-07-07 1999-03-23 Insutetsuku Kk 粉体の定量切り出し制御方法
JP2003202253A (ja) * 2001-11-05 2003-07-18 Insutetsuku Kk 粉体流量測定装置、粉体流量測定プログラム及び当該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体
JP2006077267A (ja) * 2004-09-07 2006-03-23 Nippon Steel Corp 粉体の吹き込み設備

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5833157A (ja) * 1981-08-24 1983-02-26 Kawasaki Steel Corp 零点補償付濃度測定装置
JPS6224137A (ja) * 1985-07-25 1987-02-02 Fuji Electric Co Ltd 零点補償機能付き濃度測定装置
JPH0526708A (ja) * 1991-07-19 1993-02-02 Tokico Ltd 質量流量計
JPH08271301A (ja) * 1995-03-30 1996-10-18 Chichibu Onoda Cement Corp 粉粒体の流量測定装置
JPH1179411A (ja) * 1997-07-07 1999-03-23 Insutetsuku Kk 粉体の定量切り出し制御方法
JP2003202253A (ja) * 2001-11-05 2003-07-18 Insutetsuku Kk 粉体流量測定装置、粉体流量測定プログラム及び当該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体
JP2006077267A (ja) * 2004-09-07 2006-03-23 Nippon Steel Corp 粉体の吹き込み設備

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013058332A1 (ja) * 2011-10-18 2013-04-25 シチズンホールディングス株式会社 静電容量センサ
JPWO2013058332A1 (ja) * 2011-10-18 2015-04-02 シチズンホールディングス株式会社 静電容量センサ

Also Published As

Publication number Publication date
JP4762224B2 (ja) 2011-08-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101652591B (zh) 用于测量质量流控制器中的气体的温度的方法和装置
KR101647151B1 (ko) 매스 플로우 미터, 매스 플로우 컨트롤러, 이들을 포함한 매스 플로우 미터 시스템 및 매스 플로우 컨트롤러 시스템
CA2913904C (en) Flow meter and a method of calibration
US9471066B2 (en) System for and method of providing pressure insensitive self verifying mass flow controller
JP2018010696A (ja) 質量流量コントローラ
EP0834723A1 (en) Thermal mass flowmeter and mass flow controller, flowmetering system and method
EP1460401A1 (en) Pressure sensor, pressure controller and temperature drift corrector of pressure type flow controller
US20110247696A1 (en) Mass flow controller with enhanced operating range
CN100425955C (zh) 用于物质流检测设备校准的系统和方法
US10533982B2 (en) Mass flow controller and method for controlling a mass flow rate of a gas in a gas stream
EP3004856B1 (en) Hydrogen sulfide gas detector with humidity and temperature compensation
AU2009267133A1 (en) Multi-gas flow sensor with gas specific calibration capability
JP6547059B2 (ja) 水蒸気の影響に関する天然ガス流量計算の補正
JP2019500690A (ja) 気体不感応マスフロー制御システム及び気体不感応マスフロー制御方法
US8437976B2 (en) Gas density transducer with a microprocessor executing an algorithm solving Van Der Waal's equation
EP3105647B1 (en) System for and method of providing pressure insensitive self verifying mass flow controller
CN102331266A (zh) 多参量气体传感器补偿方法
RU2732317C2 (ru) Способы и устройство для корректировки сигналов удаленного датчика
JP4762224B2 (ja) 粉体流量計測の基準値の設定方法と装置
US20190219431A1 (en) Mass flowmeter using thermal dispersion technology
EP3130895B1 (en) Flow sensor device and method related thereto
PL1972906T3 (pl) Sposób rozpoznawania błędów czujnika przepływu
JP2006077267A (ja) 粉体の吹き込み設備
US20170168036A1 (en) System and method for determining a concentration of a constituent gas in a gas stream using pressure measurements
US9976887B1 (en) Wider dynamic accuracy range for gas delivery devices

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20101108

A871 Explanation of circumstances concerning accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871

Effective date: 20101227

A975 Report on accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005

Effective date: 20110126

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110208

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110411

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20110411

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110524

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110607

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140617

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S801 Written request for registration of abandonment of right

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R311801

ABAN Cancellation of abandonment
R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350