JP2008130316A - Composition for dielectric layer formation, green sheet, dielectric layer forming substrate and manufacturing method therefor - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、プラズマディスプレイパネル等の誘電体層の形成に好適な誘電体層形成用組成物、この組成物をフィルム状に成形して得られるグリーンシート、並びに、前記グリーンシートから得られた誘電体層を有する誘電体層形成基板、及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a dielectric layer forming composition suitable for forming a dielectric layer such as a plasma display panel, a green sheet obtained by molding this composition into a film, and a dielectric obtained from the green sheet. The present invention relates to a dielectric layer forming substrate having a body layer and a method for manufacturing the same.
表示装置には、液晶表示装置やエレクトロルミネッセンス表示装置、プラズマディスプレイパネル等がある。これらの中でも、プラズマディスプレイパネル(以下、「PDP」ともいう)は、次世代のマルチメディアディスプレイとして注目を集めている。 Examples of the display device include a liquid crystal display device, an electroluminescence display device, and a plasma display panel. Among these, a plasma display panel (hereinafter also referred to as “PDP”) is attracting attention as a next-generation multimedia display.
図3にPDPの一例の断面図を示す。図3に示すPDPは、前面板用ガラス基板1及び背面板用ガラス基板2の1対のガラス基板からなる。この前面板用ガラス基板1と背面板用ガラス基板2の内面には、互いに直交する表示電極3及びアドレス電極4がそれぞれ形成されている。表示電極3及びアドレス電極4は、誘電体層5(前面板誘電体層)及び6(背面板誘電体層)によりそれぞれ覆われている。また、ガラス基板1及び2は、保護膜7を介してリブ(隔壁)8によって放電空間(画素)に分離され、各画素には蛍光体9が形成されている。
FIG. 3 shows a cross-sectional view of an example of a PDP. The PDP shown in FIG. 3 is composed of a pair of glass substrates: a front
PDPの誘電体層を形成する方法としては、誘電体層形成用組成物をフィルム状に成形して得られるグリーンシートを基板と貼り合わせ、その後グリーンシートを焼成する方法等が知られている(特許文献1,2等)。この方法によれば、高品質な誘電体層を効率よく形成することができる。
As a method for forming a PDP dielectric layer, a method is known in which a green sheet obtained by forming a dielectric layer forming composition into a film is bonded to a substrate, and then the green sheet is fired (
このような誘電体層形成用組成物には、優れた分散性と長期間に亘る保存安定性が求められている。分散性が劣っていたり、保存中に分散状態が悪化した誘電体層形成用組成物を用いる場合には、均一な塗膜を形成することができず、形成される誘電体層は欠点が多く、誘電体として所望の特性を得ることが困難となる。 Such a dielectric layer forming composition is required to have excellent dispersibility and long-term storage stability. When using a composition for forming a dielectric layer that has poor dispersibility or deteriorated during storage, a uniform coating film cannot be formed, and the formed dielectric layer has many drawbacks. Therefore, it is difficult to obtain desired characteristics as a dielectric.
本発明に関連して、特許文献3には、無機成分(ガラス成分)、熱分解性バインダー、分散剤、及び溶剤を含有する誘電体層形成用組成物において、前記分散剤としてポリカルボン酸系高分子化合物を用いることが提案されている。
近年、環境保護等の観点から、誘電体層形成に用いる無機成分として、鉛分(鉛化合物)を含まないものを用いることが望まれている。 In recent years, from the viewpoint of environmental protection and the like, it is desired to use an inorganic component that does not contain lead (lead compound) as an inorganic component used for forming a dielectric layer.
本発明者らが、特許文献3に記載された処方を、鉛分を含まない誘電体層形成用組成物に適用したところ、得られる誘電体層形成用組成物の分散性及び貯蔵安定性が十分ではないことがわかった。
When the present inventors applied the formulation described in
そこで、本発明は、無機成分、熱分解性バインダー、分散剤、及び溶剤を含有する誘電体層形成用組成物において、前記無機成分が鉛分を含まないものを使用する場合であっても、均一で安定した分散性及び貯蔵安定性を有し、塗布・焼成することにより、欠点がなく、均一で高品質な誘電体層を形成できる誘電体層形成用組成物、グリーンシート、並びに誘電体層形成基板、及びその製造方法を提供することを課題とする。 Therefore, the present invention provides a dielectric layer forming composition containing an inorganic component, a thermally decomposable binder, a dispersant, and a solvent, even when the inorganic component does not contain lead. Dielectric layer forming composition, green sheet, and dielectric having uniform and stable dispersibility and storage stability, and capable of forming a uniform and high-quality dielectric layer by applying and firing. It is an object of the present invention to provide a layer forming substrate and a manufacturing method thereof.
本発明者らは上記課題を解決すべく、鉛分を含まない無機成分、熱分解性バインダー、分散剤、及び溶剤を含有する誘電体層形成用組成物について鋭意研究した。その結果、分散剤として、ポリカルボン酸系高分子化合物を用い、熱分解性バインダーの含有量を、固形分比で、無機成分100重量部に対し、55〜105重量部とすると、均一で安定した分散性及び貯蔵安定性を有する誘電体層形成用組成物が得られること、この組成物で形成するグリーンシートを用いると、欠点がなく、高品質な誘電体層が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。 In order to solve the above-mentioned problems, the present inventors have intensively studied a dielectric layer forming composition containing an inorganic component not containing lead, a thermally decomposable binder, a dispersant, and a solvent. As a result, when a polycarboxylic acid polymer compound is used as a dispersant and the content of the thermally decomposable binder is 55 to 105 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the inorganic component, it is uniform and stable. It was found that a dielectric layer-forming composition having dispersibility and storage stability was obtained, and that a high-quality dielectric layer could be obtained without using defects when a green sheet formed from this composition was used. The present invention has been completed.
かくして本発明の第1によれば、無機成分、熱分解性バインダー、分散剤および溶剤を含有する誘電体層形成用組成物であって、前記無機成分が鉛分を含まないものであり、前記分散剤がポリカルボン酸系高分子化合物であり、かつ、前記熱分解性バインダーの含有量が、固形分比で、無機成分100重量部に対し、55〜105重量部であることを特徴とする誘電体層形成用組成物が提供される。
本発明の誘電体層形成用組成物においては、前記分散剤の含有量が、固形分比で、無機成分100重量部に対し、0.01〜5重量部であることが好ましい。
Thus, according to the first aspect of the present invention, there is provided a dielectric layer forming composition containing an inorganic component, a thermally decomposable binder, a dispersant and a solvent, wherein the inorganic component does not contain lead, The dispersant is a polycarboxylic acid polymer compound, and the content of the thermally decomposable binder is 55 to 105 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the inorganic component in the solid content ratio. A dielectric layer forming composition is provided.
In the dielectric layer forming composition of the present invention, the content of the dispersant is preferably 0.01 to 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the inorganic component in terms of solid content ratio.
本発明の誘電体層形成用組成物においては、前記ポリカルボン酸系高分子化合物が、α−オレフィン/無水マレイン酸共重合物の部分エステル、脂肪族ポリカルボン酸塩、および脂肪族ポリカルボン酸特殊シリコーンからなる群から選択される少なくとも一種であることが好ましい。 In the dielectric layer forming composition of the present invention, the polycarboxylic acid polymer compound comprises an α-olefin / maleic anhydride copolymer partial ester, an aliphatic polycarboxylate, and an aliphatic polycarboxylic acid. It is preferably at least one selected from the group consisting of special silicones.
本発明の誘電体層形成用組成物においては、無機成分が、ガラス成分及びフィラー成分を含有するものであるのが好ましい。
本発明の誘電体層形成用組成物は、平均粒子径が0.5〜4.0μmのスラリーであるのが好ましい。
本発明の誘電体層形成用組成物は、好適には、プラズマディスプレイパネルの誘電体層の形成に用いられるものである。
In the dielectric layer forming composition of the present invention, the inorganic component preferably contains a glass component and a filler component.
The dielectric layer forming composition of the present invention is preferably a slurry having an average particle size of 0.5 to 4.0 μm.
The composition for forming a dielectric layer of the present invention is preferably used for forming a dielectric layer of a plasma display panel.
本発明の第2によれば、本発明の誘電体層形成用組成物をフィルム状に成形して得られるグリーンシートが提供される。
本発明の第3によれば、基板上に、本発明のグリーンシートを用いて形成された誘電体層を有することを特徴とする誘電体層形成基板が提供される。
本発明の第4によれば、本発明のグリーンシートを基板と貼り合わせる工程と、前記グリーンシートを焼成することにより、誘電体層を形成する工程とを有する誘電体層形成基板の製造方法が提供される。
According to the second aspect of the present invention, there is provided a green sheet obtained by forming the dielectric layer forming composition of the present invention into a film.
According to a third aspect of the present invention, there is provided a dielectric layer-formed substrate comprising a dielectric layer formed using the green sheet of the present invention on a substrate.
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a dielectric layer-formed substrate, comprising: a step of bonding the green sheet of the present invention to a substrate; and a step of forming a dielectric layer by firing the green sheet. Provided.
本発明の誘電体層形成用組成物は、鉛分を含まない無機成分を用いるため、環境保護の観点から優れている。
本発明の誘電体層形成用組成物は、スラリーの状態のままで保存したり、運搬しても、無機成分が凝集したり沈降したりすることがなく、長期に亘って均一で安定した分散状態を有する。
本発明の誘電体層形成用組成物を用いる場合には、均一な塗布ができるため、均一なグリーンシートを形成でき、結果として、欠点のない、均一で高品質な誘電体層を得ることができる。
The composition for forming a dielectric layer of the present invention is superior from the viewpoint of environmental protection because it uses an inorganic component that does not contain lead.
Even if the composition for forming a dielectric layer of the present invention is stored or transported in a slurry state, the inorganic component does not aggregate or settle, and the dispersion is uniform and stable over a long period of time. Have a state.
When the composition for forming a dielectric layer of the present invention is used, a uniform green sheet can be formed because uniform coating is possible, and as a result, a uniform and high-quality dielectric layer without defects can be obtained. it can.
本発明の誘電体層形成用組成物及びグリーンシートは、プラズマディスプレイパネルの誘電体層の形成に好適に用いることができる。
本発明の誘電体層形成基板は、本発明のグリーンシートを用いて形成された誘電体層を有するため、均一で高品質である。
本発明の誘電体層形成基板の製造方法によれば、画素欠陥のない誘電体層を有する、均一で高品質な誘電体層形成基板を効率よく製造することができる。
The dielectric layer forming composition and the green sheet of the present invention can be suitably used for forming a dielectric layer of a plasma display panel.
Since the dielectric layer forming substrate of the present invention has a dielectric layer formed using the green sheet of the present invention, it is uniform and of high quality.
According to the method for manufacturing a dielectric layer forming substrate of the present invention, it is possible to efficiently manufacture a uniform and high quality dielectric layer forming substrate having a dielectric layer free from pixel defects.
以下、本発明を、1)誘電体層形成用組成物、2)グリーンシート、並びに、3)誘電体層形成基板、及びその製造方法に項分けして詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail by dividing into 1) a composition for forming a dielectric layer, 2) a green sheet, 3) a substrate for forming a dielectric layer, and a method for producing the same.
1)誘電体層形成用組成物
本発明の誘電体層形成用組成物(以下、単に「本発明の組成物」ということがある)は、無機成分、熱分解性バインダー、分散剤、および溶剤を含有する誘電体層形成用組成物であって、前記無機成分が鉛分を含まないものであり、かつ、前記分散剤がポリカルボン酸系高分子化合物であり、かつ、前記熱分解性バインダーの含有量が、固形分比で、無機成分100重量部に対し、55〜105重量部であることを特徴とする。
1) Dielectric layer forming composition The dielectric layer forming composition of the present invention (hereinafter sometimes simply referred to as "the composition of the present invention") comprises an inorganic component, a thermally decomposable binder, a dispersant, and a solvent. A dielectric layer-forming composition comprising: the inorganic component does not contain lead; the dispersant is a polycarboxylic acid polymer compound; and the thermally decomposable binder. It is characterized by being content of 55-105 weight part with respect to 100 weight part of inorganic components by solid content ratio.
(無機成分)
本発明の組成物に用いる無機成分は、環境保護の観点から鉛分を含まないものである。無機成分としては、鉛分を含まないガラス成分、又は、鉛分を含まないガラス成分およびフィラー成分からなる混合物が挙げられる。
(Inorganic component)
The inorganic component used in the composition of the present invention does not contain lead from the viewpoint of environmental protection. As an inorganic component, the glass component which does not contain lead content, or the mixture which consists of a glass component and filler component which do not contain lead content is mentioned.
無機成分として、鉛分を含まないガラス成分およびフィラー成分からなる混合物を用いることにより、反射率に優れる白色誘電体層形成用組成物を得ることができる。 By using a mixture comprising a glass component and a filler component not containing lead as the inorganic component, a white dielectric layer forming composition having excellent reflectance can be obtained.
鉛分を含まないガラス成分としては、鉛分を含まないものであれば、特に制限されないが、例えば、ZnO−B2O3−SiO2(酸化亜鉛−酸化ホウ素−酸化ケイ素)系ガラス、ZnO−P2O5−SiO2(酸化亜鉛−酸化リン−酸化ケイ素)系ガラス、Bi2O3−B2O3−SiO2(酸化ビスマス−酸化ホウ素−酸化ケイ素)系ガラス、ZnO−B2O3−K2O(酸化亜鉛−酸化ホウ素−酸化カリウム)系ガラス、ZnO−P2O5−TiO2(酸化亜鉛−酸化リン−酸化チタン)系ガラス、B2O3−SiO2−Al2O3(酸化ホウ素−酸化ケイ素−酸化アルミニウム)系ガラス、P2O5−B2O3−Al2O3(酸化リン−酸化ホウ素−酸化アルミニウム)系ガラス等の三成分系ガラス;Bi2O3−B2O3−SiO2−Al2O3(酸化ビスマス−酸化ホウ素−酸化ケイ素−酸化アルミニウム)系ガラス、ZnO−B2O3−SiO2−Al2O3(酸化亜鉛−酸化ホウ素−酸化ケイ素−酸化アルミニウム)系ガラス、ZnO−P2O5−SiO2−Al2O3(酸化亜鉛−酸化リン−酸化ケイ素−酸化アルミニウム)系ガラス、ZnO−Bi2O3−SiO2−B2O3(酸化亜鉛−酸化ビスマス−酸化ケイ素−酸化ホウ素)系ガラス等の四成分系ガラス;ZnO−Bi2O3−SiO2−Al2O3−B2O3(酸化亜鉛−酸化ビスマス−酸化ケイ素−酸化アルミニウム−酸化ホウ素)系ガラス等の五成分系ガラス;ZnO−Bi2O3−SiO2−Al2O3−B2O3−BaO(酸化亜鉛−酸化ビスマス−酸化ケイ素−酸化アルミニウム−酸化ホウ素−酸化バリウム)系ガラス等の六成分系ガラス;等が挙げられる。
また、これらのガラス成分には、CaO、Na2O、TiO2、CuO、Li2O、K2O、BaO、MgO、SrO等が添加されていてもよい。
The glass component not containing lead is not particularly limited as long as it does not contain lead. For example, ZnO—B 2 O 3 —SiO 2 (zinc oxide-boron oxide-silicon oxide) glass, ZnO -P 2 O 5 -SiO 2 (zinc oxide - phosphorus - silicon oxide) based glass, Bi 2 O 3 -B 2 O 3 -SiO 2 ( bismuth oxide - boron oxide - silicon oxide) based glass, ZnO-B 2 O 3 -K 2 O (zinc oxide - boron oxide - potassium oxide) based glass, ZnO-P 2 O 5 -TiO 2 ( zinc oxide - phosphorus - titanium oxide) based glass, B 2 O 3 -SiO 2 -Al 2 O 3 (boron oxide - silicon oxide - aluminum oxide) based glass, P 2 O 5 -B 2 O 3 -Al 2
Further, these glass components, CaO, Na 2 O, TiO 2, CuO, Li 2 O, K 2 O, BaO, MgO, SrO , etc. may be added.
これらの中でも、ZnO−B2O3−SiO2−Al2O3(酸化亜鉛−酸化ホウ素−酸化ケイ素−酸化アルミニウム)系ガラスの使用が好ましく、ZnO−Bi2O3−SiO2−Al2O3−B2O3−BaO(酸化亜鉛−酸化ビスマス−酸化ケイ素−酸化アルミニウム−酸化ホウ素−酸化バリウム)系ガラスの使用がより好ましい。 Among these, the use of ZnO—B 2 O 3 —SiO 2 —Al 2 O 3 (zinc oxide-boron oxide—silicon oxide—aluminum oxide) glass is preferable, and ZnO—Bi 2 O 3 —SiO 2 —Al 2 The use of O 3 —B 2 O 3 —BaO (zinc oxide-bismuth oxide-silicon oxide-aluminum oxide-boron oxide-barium oxide) glass is more preferred.
フィラー成分としては、TiO2(酸化チタン)、Al2O3(アルミナ)、SiO2(シリカ)、およびZrO2(ジルコニア)等が挙げられる。これらの中でも、TiO2およびAl2O3が好ましい。 Examples of the filler component include TiO 2 (titanium oxide), Al 2 O 3 (alumina), SiO 2 (silica), and ZrO 2 (zirconia). Among these, TiO 2 and Al 2 O 3 are preferable.
無機成分がガラス成分及びフィラー成分からなる混合物である場合、ガラス成分及びフィラー成分の配合割合は、通常、ガラス成分:フィラー成分=50:50〜99:1(重量比)、好ましくは70:30〜95:5である。 When the inorganic component is a mixture composed of a glass component and a filler component, the blending ratio of the glass component and the filler component is usually glass component: filler component = 50: 50 to 99: 1 (weight ratio), preferably 70:30. ~ 95: 5.
無機成分は、粉末状のガラス成分および所望により粉末状のフィラー成分を混合して、或いはガラス成分を溶融し、次いで冷却、粉砕してフリットとし、これを所望により粉末状のフィラー成分と混合することで得ることができる。 For the inorganic component, a powdery glass component and optionally a powdery filler component are mixed, or the glass component is melted, then cooled and ground to form a frit, and this is mixed with the powdery filler component as desired. Can be obtained.
用いる無機成分の平均粒子径は、好ましくは3μm以下、より好ましくは0.5〜3.0μmである。このような範囲の平均粒子径を有する無機成分を用いることにより、均一で安定した分散状態を有する誘電体層形成用組成物を得ることが容易となる。 The average particle size of the inorganic component used is preferably 3 μm or less, more preferably 0.5 to 3.0 μm. By using an inorganic component having an average particle diameter in such a range, it becomes easy to obtain a dielectric layer forming composition having a uniform and stable dispersion state.
また、無機成分の最大粒子径は、均一で透明な誘電体層を得る上から、20μm以下であるのが好ましい。無機成分の最大粒子径が20μmを超えると、得られる誘電体層の表面にピンホール等の欠陥が発生しやすくなり、所望する耐電圧特性を得ることが困難となる。
無機成分の平均粒子径及び最大粒子径は、例えば、レーザー回折/散乱式粒度分布測定装置等により測定することができる。
The maximum particle size of the inorganic component is preferably 20 μm or less from the viewpoint of obtaining a uniform and transparent dielectric layer. If the maximum particle size of the inorganic component exceeds 20 μm, defects such as pinholes are likely to occur on the surface of the obtained dielectric layer, making it difficult to obtain the desired withstand voltage characteristics.
The average particle size and the maximum particle size of the inorganic component can be measured by, for example, a laser diffraction / scattering particle size distribution measuring apparatus.
(分散剤)
本発明の組成物は、分散剤としてポリカルボン酸系高分子化合物を用いる。
本発明に用いるポリカルボン酸系高分子化合物とは、分子中に複数のカルボン酸基を有する高分子化合物を意味する。このようなポリカルボン酸系高分子化合物は、シランカップリング剤および一般的な界面活性剤などの周知の分散剤と比較して、ガラスフリットなどの高比重の粒子を良好に分散させることが可能である。
(Dispersant)
The composition of the present invention uses a polycarboxylic acid polymer compound as a dispersant.
The polycarboxylic acid-based polymer compound used in the present invention means a polymer compound having a plurality of carboxylic acid groups in the molecule. Such polycarboxylic acid polymer compounds can disperse particles with high specific gravity, such as glass frit, better than known dispersants such as silane coupling agents and general surfactants. It is.
ポリカルボン酸系高分子化合物を分散剤として使用することにより、誘電体層用組成物中のガラスフリットの分散性を向上させ、組成物を良好な分散状態に保つことが可能となる。すなわち、ガラスフリットが凝集し二次粒子を形成することが抑制される。その結果、誘電体層における誘電特性のバラツキを改善し、さらに誘電体層の耐電圧を向上させることが可能となる。 By using a polycarboxylic acid polymer compound as a dispersant, the dispersibility of the glass frit in the dielectric layer composition can be improved, and the composition can be kept in a good dispersion state. That is, it is suppressed that the glass frit aggregates and forms secondary particles. As a result, it is possible to improve the variation in dielectric characteristics in the dielectric layer and further improve the withstand voltage of the dielectric layer.
ポリカルボン酸系高分子化合物としては、α−オレフィン/無水マレイン酸共重合体の部分エステル、脂肪族ポリカルボン酸塩、脂肪族ポリカルボン酸特殊シリコーンからなる群から選択される少なくとも一種を用いるのが好ましい。なかでも、α−オレフィン/無水マレイン酸共重合体の部分エステルは優れた分散効果を示す。α−オレフィン/無水マレイン酸共重合体の部分エステルの分子量は、特に制限されないが、好ましくは10,000〜50,000である。 As the polycarboxylic acid polymer compound, at least one selected from the group consisting of α-olefin / maleic anhydride copolymer partial ester, aliphatic polycarboxylate, and aliphatic polycarboxylic acid special silicone is used. Is preferred. Especially, the partial ester of an α-olefin / maleic anhydride copolymer exhibits an excellent dispersion effect. The molecular weight of the partial ester of the α-olefin / maleic anhydride copolymer is not particularly limited, but is preferably 10,000 to 50,000.
分散剤の配合量は、固形分比で、無機成分100重量部に対し、好ましくは0.01〜5重量部、より好ましくは0.5〜3重量部である。分散剤の配合量がこの範囲より少ないと、得られる誘電体層形成用組成物の分散状態が不均一となり、無機成分が沈降又は凝集しやすいものとなるおそれがある。一方、この範囲より多いと、焼成工程を経ても分散剤が誘電体層内に残存し、耐電圧及び透明性の低下の原因となる。 The blending amount of the dispersant is preferably 0.01 to 5 parts by weight, more preferably 0.5 to 3 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the inorganic component in terms of solid content ratio. If the blending amount of the dispersing agent is less than this range, the dispersion state of the obtained dielectric layer forming composition becomes non-uniform, and the inorganic component may be easily precipitated or aggregated. On the other hand, if the amount is larger than this range, the dispersant remains in the dielectric layer even after the firing step, causing a decrease in withstand voltage and transparency.
(熱分解性バインダー)
本発明の組成物は、上記無機成分および分散剤に加えて、熱分解性バインダーを含有する。
本発明の組成物中の熱分解性バインダーの含有量は、固形分比で、無機成分100重量部に対し55〜105重量部、好ましくは65〜95重量部である。熱分解性バインダーをこのような範囲とすることで、均一で安定した分散状態を有する、分散性及び貯蔵安定性に優れる誘電体層形成用組成物を得ることができる。
(Pyrolytic binder)
The composition of the present invention contains a thermally decomposable binder in addition to the inorganic component and the dispersant.
The content of the thermally decomposable binder in the composition of the present invention is 55 to 105 parts by weight, preferably 65 to 95 parts by weight, based on 100 parts by weight of the inorganic component, as a solid content ratio. By setting the heat decomposable binder in such a range, a composition for forming a dielectric layer having a uniform and stable dispersion state and excellent in dispersibility and storage stability can be obtained.
熱分解性バインダーは、焼成することにより分解して容易に除去できる、結合剤としての機能を有する。
本発明に用いる熱分解性バインダーとしては、特に制限されないが、結合剤としての機能を有し、焼成することにより分解して、容易に除去できる有機高分子として、優れたバインダーとしての役割とガラス基板との感圧接着剤としての役割を果たすアクリル樹脂の使用が好ましい。
The thermally decomposable binder has a function as a binder that can be decomposed and easily removed by firing.
Although it does not restrict | limit especially as a thermally decomposable binder used for this invention, it has the function as a binder, the role as an outstanding binder and glass as an organic polymer which decomposes | disassembles by baking and can be removed easily. The use of an acrylic resin that serves as a pressure sensitive adhesive with the substrate is preferred.
アクリル樹脂としては、例えば、(メタ)アクリレート化合物の単独重合体、(メタ)アクリレート化合物の2種以上から得られる共重合体、(メタ)アクリレート化合物と他の共重合性単量体から得られる共重合体等が挙げられる。これらの中でも、(メタ)アクリレート化合物の2種以上から得られる共重合体が好ましい。ここで、(メタ)アクリレートは、アクリレート又はメタクリレートのいずれかを表す(以下にて同じ)。 Examples of the acrylic resin include a homopolymer of a (meth) acrylate compound, a copolymer obtained from two or more types of (meth) acrylate compounds, and a (meth) acrylate compound and other copolymerizable monomers. A copolymer etc. are mentioned. Among these, a copolymer obtained from two or more of (meth) acrylate compounds is preferable. Here, (meth) acrylate represents either acrylate or methacrylate (the same applies hereinafter).
(メタ)アクリレート化合物の具体例としては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、アミル(メタ)アクリレート、イソアミル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、ヘプチル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート、イソオクチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ノニル(メタ)アクリレート、デシル(メタ)アクリレート、イソデシル(メタ)アクリレート、ウンデシル(メタ)アクリレート、ドデシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、イソステアリル(メタ)アクリレート等のアルキル(メタ)アクリレート; Specific examples of the (meth) acrylate compound include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, and t-butyl. (Meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, amyl (meth) acrylate, isoamyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, heptyl (meth) acrylate, octyl (meth) acrylate, isooctyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (Meth) acrylate, ethylhexyl (meth) acrylate, nonyl (meth) acrylate, decyl (meth) acrylate, isodecyl (meth) acrylate, undecyl (meth) acrylate, Decyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, alkyl (meth) acrylates such as isostearyl (meth) acrylate;
2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート等のヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート;
フェノキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレート等のフェノキシアルキル(メタ)アクリレート;
2−メトキシエチル(メタ)アクリレート、2−エトキシエチル(メタ)アクリレート、2−プロポキシエチル(メタ)アクリレート、2−ブトキシエチル(メタ)アクリレート、2−メトキシブチル(メタ)アクリレート等のアルコキシアルキル(メタ)アクリレート;
2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, 3-hydroxybutyl ( Hydroxyalkyl (meth) acrylates such as (meth) acrylate;
Phenoxyalkyl (meth) acrylates such as phenoxyethyl (meth) acrylate and 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate;
Alkoxyalkyl such as 2-methoxyethyl (meth) acrylate, 2-ethoxyethyl (meth) acrylate, 2-propoxyethyl (meth) acrylate, 2-butoxyethyl (meth) acrylate, 2-methoxybutyl (meth) acrylate, etc. ) Acrylate;
ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、エトキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、フェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、メトキシポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、エトキシポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート等のポリアルキレングリコール(メタ)アクリレート;
シクロヘキシル(メタ)アクリレート、4−ブチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタジエニル(メタ)アクリレート、ボルニル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、トリシクロデカニル(メタ)アクリレート等のシクロアルキル(メタ)アクリレート;
ベンジル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
Polyethylene glycol mono (meth) acrylate, ethoxydiethylene glycol (meth) acrylate, methoxypolyethylene glycol (meth) acrylate, phenoxypolyethylene glycol (meth) acrylate, nonylphenoxypolyethylene glycol (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, methoxypolypropylene Polyalkylene glycol (meth) acrylates such as glycol (meth) acrylate, ethoxypolypropylene glycol (meth) acrylate, nonylphenoxypolypropylene glycol (meth) acrylate;
Cyclohexyl (meth) acrylate, 4-butylcyclohexyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, dicyclopentadienyl (meth) acrylate, bornyl (meth) acrylate, isobornyl ( Cycloalkyl (meth) acrylates such as (meth) acrylate and tricyclodecanyl (meth) acrylate;
Examples include benzyl (meth) acrylate and tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate.
他の共重合性単量体としては、上記(メタ)アクリレート化合物と共重合可能な化合物であれば特に制約されない。例えば、(メタ)アクリル酸、ビニル安息香酸、マレイン酸、ビニルフタル酸等の不飽和カルボン酸類;ビニルベンジルメチルエーテル、ビニルグリシジルエーテル、スチレン、α−メチルスチレン、ブタジエン、イソプレン等のビニル基含有ラジカル重合性化合物;等が挙げられる。 The other copolymerizable monomer is not particularly limited as long as it is a compound copolymerizable with the (meth) acrylate compound. For example, unsaturated carboxylic acids such as (meth) acrylic acid, vinyl benzoic acid, maleic acid, vinyl phthalic acid; vinyl group-containing radical polymerization such as vinyl benzyl methyl ether, vinyl glycidyl ether, styrene, α-methyl styrene, butadiene, isoprene, etc. And the like.
本発明においては、熱分解性バインダーとして、公知の製造方法で製造したもの、あるいは市販品として入手したものを用いることができる。 In the present invention, as the thermally decomposable binder, those produced by a known production method or those obtained as a commercial product can be used.
熱分解性バンイダーの製造方法としては、特に制限されず、公知の方法を採用できる。例えば、アクリル樹脂は、前記(メタ)アクリレート化合物及び所望により他の共重合性単量体とを(共)重合させることにより製造することができる。重合方法は特に制限されず、例えば、アゾビスイソブチロニトリル(AIBN)等のラジカル重合開始剤を用いるラジカル重合法が挙げられる。 The method for producing the thermally decomposable vanider is not particularly limited, and a known method can be adopted. For example, the acrylic resin can be produced by (co) polymerizing the (meth) acrylate compound and optionally another copolymerizable monomer. The polymerization method is not particularly limited, and examples thereof include a radical polymerization method using a radical polymerization initiator such as azobisisobutyronitrile (AIBN).
本発明に用いる熱分解性バインダーの重量平均分子量は、特に制限されないが、通常15,000〜400,000、好ましくは50,000〜300,000である。分子量は、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー(GPC)により測定することができる。 The weight average molecular weight of the thermally decomposable binder used in the present invention is not particularly limited, but is usually 15,000 to 400,000, preferably 50,000 to 300,000. The molecular weight can be measured by gel permeation chromatography (GPC).
本発明に用いる熱分解性バインダーのガラス転移温度(Tg)は、特に制限されないが、通常、−15℃〜+40℃である。 The glass transition temperature (Tg) of the thermally decomposable binder used in the present invention is not particularly limited, but is usually -15 ° C to + 40 ° C.
また本発明においては、熱分解性バインダーとして、熱分解性バインダーが水相に微粒子状に分散してなる熱分解性バインダーのエマルションを用いることもできる。 In the present invention, as the thermally decomposable binder, an emulsion of a thermally decomposable binder obtained by dispersing the thermally decomposable binder in the aqueous phase in the form of fine particles can also be used.
(溶剤)
本発明の組成物は、前記無機成分、分散剤、熱分解性バインダーに加えて溶剤を含有する。溶剤は、組成物に適度な流動性又は可塑性、良好な膜形成性を付与するものである。
(solvent)
The composition of the present invention contains a solvent in addition to the inorganic component, the dispersant, and the thermally decomposable binder. The solvent imparts appropriate fluidity or plasticity and good film forming properties to the composition.
本発明に用いる溶剤としては、水;ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、1,2−ジメトキシエタン、テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン等のエーテル類;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、乳酸メチル等のエステル類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、ジエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類:N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセタミド、ヘキサメチルリン酸ホスホロアミド、N−メチルピロリドン等のアミド類;ε−カプロラクタム等のラクタム類;γ−ラクトン、δ−ラクトン等のラクトン類;ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシド等のスルホキシド類;ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン等の脂肪族炭化水素類;シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロオクタン等の脂環式炭化水素類;ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;ジクロロメタン、クロロホルム、四塩化炭素、1,2−ジクロロエタン、クロロベンゼン等のハロゲン化炭化水素類;及びこれらの2種以上からなる混合溶媒;等が挙げられる。これらの中でも、均一で安定した分散状態を有する誘電体層形成用組成物を効率よく得る上からは、エステル類、ケトン類、芳香族炭化水素類、又はこれらの2種以上からなる混合溶媒の使用が好ましい。
溶剤の使用量は、特に限定されるものではないが、組成物全体に対して、通常1〜55重量%である。
Examples of the solvent used in the present invention include water; ethers such as diethyl ether, diisopropyl ether, dibutyl ether, 1,2-dimethoxyethane, tetrahydrofuran, 1,4-dioxane; methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate, butyl acetate, Esters such as methyl lactate; Ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, diethyl ketone, and cyclohexanone: N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, hexamethylphosphate phosphoramide, N-methylpyrrolidone Amides such as ε; Lactams such as ε-caprolactam; Lactones such as γ-lactone and δ-lactone; Sulphoxides such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide; Pentane, hexane, heptane, octane, nonane, decane Aliphatic hydrocarbons; Cyclopentane, cyclohexane, cyclooctane and other alicyclic hydrocarbons; benzene, toluene, xylene and other aromatic hydrocarbons; dichloromethane, chloroform, carbon tetrachloride, 1,2-dichloroethane, chlorobenzene Halogenated hydrocarbons such as; and a mixed solvent composed of two or more of these; Among these, from the viewpoint of efficiently obtaining a dielectric layer forming composition having a uniform and stable dispersion state, an ester, a ketone, an aromatic hydrocarbon, or a mixed solvent composed of two or more of these is used. Use is preferred.
Although the usage-amount of a solvent is not specifically limited, It is 1 to 55 weight% normally with respect to the whole composition.
(その他の添加剤)
本発明の組成物には、必要に応じて、可塑剤、粘着付与剤、保存安定剤、消泡剤、熱分解促進剤、酸化防止剤等のその他の添加剤が添加されていてもよい。
例えば、可塑剤は、加工適性を向上させるために添加される。用いる可塑剤としては、アジピン酸エステル系可塑剤、フタル酸エステル系可塑剤、グリコールエステル系可塑剤等が挙げられる。可塑剤の使用量は、無機成分100重量部に対して、0〜10重量部である。
(Other additives)
If necessary, other additives such as a plasticizer, a tackifier, a storage stabilizer, an antifoaming agent, a thermal decomposition accelerator, and an antioxidant may be added to the composition of the present invention.
For example, a plasticizer is added to improve processability. Examples of the plasticizer to be used include an adipate ester plasticizer, a phthalate ester plasticizer, and a glycol ester plasticizer. The usage-amount of a plasticizer is 0-10 weight part with respect to 100 weight part of inorganic components.
(組成物の調製)
本発明の組成物は、上述した熱分解性バインダー、無機成分、分散剤及び溶剤等の原料をプレミキシングした後、分散機にかけて機械的に分散させることにより調製することができる。
(Preparation of composition)
The composition of the present invention can be prepared by premixing raw materials such as the above-described thermally decomposable binder, inorganic component, dispersant and solvent, and then mechanically dispersing the mixture using a disperser.
分散に用いる分散機としては特に制約はなく、例えば、ボールミル、ビーズミルなどのメディアミル;超音波式、撹拌式等の各種ホモジナイザー;ジェットミル;ロールミル;等の公知の分散機が挙げられる。 The disperser used for dispersion is not particularly limited, and examples thereof include known dispersers such as a media mill such as a ball mill and a bead mill; various homogenizers such as an ultrasonic type and a stirring type; a jet mill; and a roll mill.
分散後は、組成物のスラリーの平均粒子径(組成物調製後の総無機成分の平均粒子径)が、0.5〜4.0μm、好ましくは、1〜3.5μmとなるように調製する。
スラリーの平均粒子径は、例えば、スラリーを、濃度0.05重量%となるようにメチルイソブチルケトンにて希釈し、JISZ8825−1に準拠し、レーザー回折/散乱式粒度分布測定装置にて測定することができる。
After the dispersion, the average particle size of the slurry of the composition (the average particle size of the total inorganic components after preparing the composition) is 0.5 to 4.0 μm, preferably 1 to 3.5 μm. .
The average particle diameter of the slurry is measured by, for example, diluting the slurry with methyl isobutyl ketone so as to have a concentration of 0.05% by weight, and measuring with a laser diffraction / scattering type particle size distribution analyzer in accordance with JISZ8825-1. be able to.
以上のようにして得られる本発明の組成物は、鉛分を含まないため環境保護の観点から優れている。 The composition of the present invention obtained as described above is excellent from the viewpoint of environmental protection because it does not contain lead.
本発明の組成物は分散性に優れ、長期保存したり運搬した後であっても二次凝集や沈降がなく、組成物を調製した直後の良好な分散状態を長期間にわたって維持することができる。
したがって、長期間保存後の本発明の誘電体層形成用組成物を長期に亘って保存した後であっても、この組成物を用いることによって、調製直後の場合と同様に、均一なグリーンシートを形成でき、さらに、欠点のない均一で高品質な誘電体層を得ることができる。
The composition of the present invention is excellent in dispersibility, has no secondary aggregation or sedimentation even after long-term storage or transportation, and can maintain a good dispersion state immediately after preparation of the composition over a long period of time. .
Therefore, even after storing the composition for forming a dielectric layer of the present invention after long-term storage over a long period of time, by using this composition, a uniform green sheet can be obtained just after preparation. Furthermore, a uniform and high-quality dielectric layer free from defects can be obtained.
誘電体層形成用組成物の貯蔵安定性は、例えば、調製直後の誘電体層形成用組成物を密閉容器に入れ、容器を所定期間室温で静置した後、目視観察し、ガラス成分と有機成分の相分離の有無を調べることによって評価することができる。 The storage stability of the composition for forming a dielectric layer can be determined, for example, by placing the composition for forming a dielectric layer immediately after preparation in a sealed container, and allowing the container to stand at room temperature for a predetermined period of time, and then visually observing the glass component and It can be evaluated by examining the presence or absence of phase separation of the components.
また、誘電体層形成用組成物の貯蔵安定性は、密閉容器に入れた直後の液面の高さHと、所定期間後の、ガラス成分と有機成分の相分離境界線の高さHaを測定し、下記に示す式により沈降率(%)を算出して評価することもできる。 Moreover, the storage stability of the composition for forming a dielectric layer includes the height H of the liquid level immediately after being put in the sealed container and the height Ha of the phase separation boundary line between the glass component and the organic component after a predetermined period. It is also possible to measure and evaluate the sedimentation rate (%) by the following formula.
本発明の組成物を室温で4週間放置した後の沈降率は、好ましくは20%以下、より好ましくは15%以下であり、本発明の組成物は貯蔵安定性に優れる。 The sedimentation rate after leaving the composition of the present invention at room temperature for 4 weeks is preferably 20% or less, more preferably 15% or less, and the composition of the present invention is excellent in storage stability.
本発明の組成物は、フラットパネルディスプレイの誘電体層、特にPDPの誘電体層の形成に好適に用いることができる。
また、本発明の組成物は、後述する本発明のグリーンシートの製造原料としても有用である。
The composition of the present invention can be suitably used for forming a dielectric layer of a flat panel display, particularly a PDP dielectric layer.
Moreover, the composition of this invention is useful also as a manufacturing raw material of the green sheet of this invention mentioned later.
2)グリーンシート
本発明のグリーンシートは、本発明の組成物をフィルム状に成形して得られるものである。具体的には、本発明の組成物をキャリアーフィルム上に塗工し、次いで乾燥してフィルム化して製造することができる。
2) Green sheet The green sheet of the present invention is obtained by molding the composition of the present invention into a film. Specifically, the composition of the present invention can be produced by coating on a carrier film and then drying to form a film.
本発明のグリーンシートを製造する一例を図1に示す。
図1において、13はキャリアーフィルム、14は本発明の誘電体層形成用組成物を塗工する塗工装置、18は誘電体層形成用組成物の塗膜を乾燥する(溶媒を除去する)乾燥装置、20a及び20bは、グリーンシート上に保護フィルムを積層する積層ロールである。
An example of producing the green sheet of the present invention is shown in FIG.
In FIG. 1, 13 is a carrier film, 14 is a coating apparatus for applying the dielectric layer forming composition of the present invention, and 18 is for drying the coating film of the dielectric layer forming composition (removing the solvent). The
以下、図1を参照しながら、本発明のグリーンシートの製造方法を説明する。
先ず、ロール状に巻き取られたキャリアーフィルム13が塗工装置14へ送られる。キャリアーフィルム13としては、誘電体層形成用組成物の塗膜との剥離性に優れるものであれば特に制限されない。例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム等のプラスチックフィルムを用いることができる。また、前記プラスチックフィルムの片面に、シリコーン樹脂、アルキッド樹脂、フッ素樹脂、長鎖アルキル樹脂等の剥離剤を塗布したものを用いるのが好ましい。さらに、上記プラスチックフィルム上に剥離性を有する樹脂、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム上にポリオレフィン樹脂を押し出したものでもよい。キャリアーフィルムの厚さは、通常10〜200μmである。
Hereinafter, the manufacturing method of the green sheet of this invention is demonstrated, referring FIG.
First, the
次に、塗工装置14により、キャリアーフィルム13上に組成物が塗布される。塗工装置14は貯蔵部15と塗工部16からなる。貯蔵部15は、スラリー状の組成物を貯蔵し、この組成物を一定量ずつ塗工部16に送液する。塗工部16としては特に制限されない。例えば、ナイフコーター、ダイコーター等の公知のコーターを用いることができる。
本発明の組成物の塗工量は、形成する組成物の塗膜17aの厚みに応じて適宜設定することができる。
Next, the composition is applied onto the
The coating amount of the composition of the present invention can be appropriately set according to the thickness of the
次に、表面に組成物の塗膜17aが形成されたキャリアーフィルム13は、乾燥装置18に送り込まれる。この乾燥装置18内で組成物の塗膜17aを乾燥する(すなわち、溶剤等の揮発成分を除去する)ことにより、組成物の乾燥塗膜、すなわち、グリーンシート17がキャリアーフィルム13上に積層された積層物を得ることができる。
Next, the
前記組成物の塗膜17aを乾燥する方法としては特に制限されないが、例えば、(イ)塗膜が形成されたキャリアーフィルムを所定温度に加熱する方法、(ロ)前記塗膜表面に乾燥空気又は熱風を送り込む方法、(ハ)前記(イ)及び(ロ)を組み合わせる方法等が挙げられる。
乾燥するときの温度は、キャリアーフィルムが熱変形しない温度以下であれば特に制限されず、通常室温から150℃、好ましくは60〜130℃であり、乾燥時間は1〜10分である。
乾燥後の塗膜17aの厚みは、通常10〜200μm、好ましくは20〜120μmである。
The method for drying the
The temperature for drying is not particularly limited as long as it is not higher than the temperature at which the carrier film is not thermally deformed, and is usually from room temperature to 150 ° C, preferably 60 to 130 ° C, and the drying time is 1 to 10 minutes.
The thickness of the
次いで、グリーンシート17上に保護フィルム19を積層する。
図1中、保護フィルム19はロール状に巻き取られた長尺のフィルムである。用いる保護フィルムとしては、前記キャリアーフィルムと同じものを使用することができる。保護フィルムの厚みは、通常10〜200μmである。
Next, a
In FIG. 1, the
グリーンシート17上に保護フィルム19を積層するには、図1中、2つの積層ロール20a及び20bの間をグリーンシート17と保護フィルム19とを通過させて、貼り合わせる(ラミネートする)。ラミネートは、積層ロール20a及び20bの両方又は一方、例えば、保護フィルム面側のロール20bを加熱して行ってもよい。
In order to laminate the
本発明のグリーンシートは組成物の分散性に優れるため、キャリアーフィルム面に接する面に限らず露出した側の表面も平滑になる。このため、本発明のグリーンシートは、キャリアーフィルム及び保護フィルムとの貼り合わせ易さに優れ、ラミネートをスムーズに行うことができる(ラミネート適性に優れる)。ラミネート適性は、積層フィルム(キャリアーフィルム−グリーンシート−保護フィルム)を目視にて観察し、3層が適正に貼り合わされているかどうかで評価することができる。本発明のグリーンシートは、このようなラミネート状態となるので、焼成して得られる誘電体層もピンホール欠点がなく、平滑な表面を形成できる。 Since the green sheet of the present invention is excellent in dispersibility of the composition, not only the surface in contact with the carrier film surface but also the exposed surface becomes smooth. For this reason, the green sheet of this invention is excellent in the bonding ease with a carrier film and a protective film, and can laminate smoothly (it is excellent in lamination suitability). Lamination suitability can be evaluated by observing the laminated film (carrier film-green sheet-protective film) with the naked eye and whether the three layers are properly bonded. Since the green sheet of the present invention is in such a laminated state, the dielectric layer obtained by firing does not have a pinhole defect and can form a smooth surface.
以上のようにして、キャリアーフィルム13−グリーンシート17−保護フィルム19の3層からなる積層フィルム21を得ることができる。
得られた積層フィルム21は、ロール状に巻き取り、回収して保存、運搬することができる。
As described above, the
The obtained
以上のようにして得られる本発明のグリーンシートは、本発明の組成物をフィルム状に成形して得られたものであるので、均一で高品質の誘電体層を形成することができる。 Since the green sheet of the present invention obtained as described above is obtained by molding the composition of the present invention into a film, a uniform and high-quality dielectric layer can be formed.
3)誘電体層形成基板及びその製造方法
本発明の誘電体層形成基板は、基板上に、本発明のグリーンシートを用いて形成された誘電体層を有することを特徴とする。
3) Dielectric Layer Forming Substrate and Manufacturing Method Thereof The dielectric layer forming substrate of the present invention has a dielectric layer formed on the substrate using the green sheet of the present invention.
本発明の誘電体層形成基板は、例えば、グリーンシートを基板と貼り合わせる工程と、前記グリーンシートを焼成することにより、誘電体層を形成する工程とを有する本発明の誘電体層形成基板の製造方法によって得ることができる。具体的には、グリーンシートから保護フィルムを剥離した後、基板にラミネートし、次いで、キャリアーフィルムを剥離した後、該グリーンシートを焼成して得ることができる。この方法によれば、大面積であっても、均一で高品質な誘電体層形成基板を製造することができる。 The dielectric layer forming substrate of the present invention includes, for example, a step of bonding a green sheet to the substrate and a step of forming a dielectric layer by firing the green sheet. It can be obtained by a manufacturing method. Specifically, after the protective film is peeled off from the green sheet, it is laminated on the substrate, and then the carrier film is peeled off, and then the green sheet is fired. According to this method, a uniform and high-quality dielectric layer forming substrate can be manufactured even in a large area.
ここで用いる基板としては、ガラス基板、セラミック基板等が挙げられ、ガラス基板が好ましい。ガラス基板としては、例えば、表面に表示電極が形成された前面板用ガラス基板等が挙げられる。基板の厚みは特に制限されないが、通常1〜10mm程度である。 Examples of the substrate used here include a glass substrate and a ceramic substrate, and a glass substrate is preferable. As a glass substrate, the glass substrate for front plates with which the display electrode was formed on the surface etc. are mentioned, for example. The thickness of the substrate is not particularly limited, but is usually about 1 to 10 mm.
本発明の誘電体層形成基板として、PDPの前面板用ガラス基板に用いられる透明誘電体層を製造する一例を図2に示す。図2に示すものは、図3中、前面板用ガラス基板1上に透明誘電体層5を形成する例である。
An example of producing a transparent dielectric layer used for a glass substrate for a front panel of a PDP as a dielectric layer forming substrate of the present invention is shown in FIG. 2 shows an example in which the
先ず、図2(a)に示すように、積層フィルム21の片面の保護フィルム19を剥離除去する。
次に、図2(b)に示すように、グリーンシート17を、表面に表示電極3が形成された前面板用ガラス基板1上(表示電極3が形成されている側)に熱圧着する。熱圧着は、例えば、加熱ローラーを用いて、加熱温度50℃〜130℃、圧力0.05MPa〜2.0MPaの条件で行うことができる。本発明の組成物中の熱分解性バインダーは、バインダーであるとともに、感圧性接着剤としての機能を持つことができるため、簡便な操作により、グリーンシート17をガラス基板1に均一に貼着することができる。
First, as shown in FIG. 2A, the
Next, as shown in FIG. 2B, the
次いで、図2(c)に示すように、グリーンシート17からキャリアーフィルム13を剥離除去し、グリーンシート17が熱圧着されたガラス基板1を焼成する。この過程で、組成物中の熱分解性バインダーが熱分解し、有機成分が完全に除去される。
Next, as shown in FIG. 2C, the
グリーンシート17が熱圧着されたガラス基板を焼成する方法としては、例えば、グリーンシート17が熱圧着されたガラス基板を焼成炉の中に入れて全体を加熱する方法が挙げられる。
Examples of the method for firing the glass substrate to which the
焼成温度は、熱分解性バインダーが熱分解し、有機成分が完全に除去され、かつ、無機成分が均一な溶融状態となって溶融し、均一化する温度である。この焼成温度は、通常、グリーンシート中の無機成分の軟化点付近の温度であるとされている。具体的には、通常500〜650℃、好ましくは520〜620℃である。
焼成時間は通常1分から3時間、好ましくは5分〜120分である。
The firing temperature is a temperature at which the thermally decomposable binder is thermally decomposed, the organic component is completely removed, and the inorganic component is melted and homogenized in a uniform molten state. This firing temperature is generally considered to be a temperature near the softening point of the inorganic component in the green sheet. Specifically, it is 500-650 degreeC normally, Preferably it is 520-620 degreeC.
The firing time is usually 1 minute to 3 hours, preferably 5 minutes to 120 minutes.
焼成後は、冷却することにより、図2(d)に示すように、厚さ5〜100μm、好ましくは5〜90μmの透明誘電体層5が積層されたガラス基板1を得ることができる。
After firing, by cooling, a
以上のようにして得られる透明誘電体層5は、ピンホール欠点のない、均一で高品質なものであって、透明性に優れている。
誘電体層の表面粗さRa(μm)は、通常、0.2以下である。表面粗さRa(μm)は、例えば、接触式表面粗さ計を用いて測定することができる。
The
The surface roughness Ra (μm) of the dielectric layer is usually 0.2 or less. The surface roughness Ra (μm) can be measured using, for example, a contact-type surface roughness meter.
なお、本実施形態では、PDPの前面板用ガラス基板1に用いられる透明誘電体層5を形成する場合について説明したが、背面板用ガラス基板2に対する白色誘電体層6や、セラミック基板上や回路基板上の誘電体層等も同様にして形成することができる。
In the present embodiment, the case where the
本発明の誘電体層形成基板を用いることにより、高品質なフラットパネルディスプレイを製造することができる。フラットパネルディスプレイとしては、PDP、フィールドエミッションディスプレイ(FED)、液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス表示装置等が挙げられ、PDPが特に好ましい。 By using the dielectric layer forming substrate of the present invention, a high quality flat panel display can be manufactured. Examples of the flat panel display include a PDP, a field emission display (FED), a liquid crystal display device, an electroluminescence display device, and the like, and the PDP is particularly preferable.
次に実施例及び比較例により本発明を更に詳細に説明するが、本発明は下記の実施例に限定されるものではない。 EXAMPLES Next, although an Example and a comparative example demonstrate this invention further in detail, this invention is not limited to the following Example.
無機成分、熱分解性バインダー、分散剤、溶剤及び可塑剤は、次のものを用いた。
1)無機成分
ZnO−Bi2O3−SiO2−Al2O3−B2O3−BaO系ガラス(80重量%)、TiO2、SiO2(TiO2/SiO2=75/25(重量%))を主成分としたフィラー成分(20重量%)からなる平均粒子径1.4μmのガラスフリット
The following were used for the inorganic component, the thermally decomposable binder, the dispersant, the solvent and the plasticizer.
1) Inorganic component ZnO—Bi 2 O 3 —SiO 2 —Al 2 O 3 —B 2 O 3 —BaO glass (80 wt%), TiO 2 , SiO 2 (TiO 2 / SiO 2 = 75/25 (weight) %)) As a main component and a glass frit having an average particle diameter of 1.4 μm comprising a filler component (20% by weight)
2)熱分解性バインダー
アゾビスイソブチロニトリル0.5重量部をラジカル重合開始剤として用い、2−エチルヘキシルメタクリレート100重量部、アクリル酸1重量部を、トルエン中で、70℃16時間重合させることにより得られた共重合体(重量平均分子量(Mw)=170,000、ガラス転移温度(Tg)=−11℃)の50重量%溶液。
2) Thermally decomposable binder Using 0.5 parts by weight of azobisisobutyronitrile as a radical polymerization initiator, 100 parts by weight of 2-ethylhexyl methacrylate and 1 part by weight of acrylic acid are polymerized in toluene at 70 ° C. for 16 hours. A 50% by weight solution of the copolymer (weight average molecular weight (Mw) = 170,000, glass transition temperature (Tg) = − 11 ° C.) obtained by
3)分散剤
(1)分散剤A:ポリカルボン酸系高分子化合物(α−オレフィン/無水マレイン酸共重合体の部分エステル、商品名:フローレン G700、共栄社化学(株)製)、濃度100%
(2)分散剤B:ポリエーテル系分散剤(商品名:フローレン NC−500、共栄社化学(株)製)、濃度50%
(3)分散剤C:ノニオン系非シリコーン化合物(商品名:ポリフローKL505、共栄社化学(株)製)、濃度100%
3) Dispersant (1) Dispersant A: Polycarboxylic acid polymer compound (α-olefin / maleic anhydride copolymer partial ester, trade name: Floren G700, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), concentration 100%
(2) Dispersant B: polyether-based dispersant (trade name: Floren NC-500, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), concentration 50%
(3) Dispersant C: Nonionic non-silicone compound (trade name: Polyflow KL505, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), concentration 100%
4)溶剤
トルエン
5)可塑剤
アジピン酸ジブチル
4) Solvent Toluene 5) Plasticizer Dibutyl adipate
また、各実施例、比較例で調製した組成物の分散状態及び誘電体層の特性に関する評価方法は以下の通りである。
(i)平均粒子径及び最大粒子径の測定
スラリーの平均粒子径(μm)及び最大粒子径は、スラリーを濃度0.05重量%となるようにメチルイソブチルケトンにて希釈し、JISZ8825−1に準拠し、レーザー回折/散乱式粒度分布測定装置(型式:LA−920、(株)堀場製作所製)で測定した。
Moreover, the evaluation method regarding the dispersion state of the composition prepared by each Example and the comparative example and the characteristic of a dielectric material layer is as follows.
(I) Measurement of average particle diameter and maximum particle diameter The average particle diameter (μm) and maximum particle diameter of the slurry were diluted with methyl isobutyl ketone so that the concentration of the slurry was 0.05% by weight. In conformity, the measurement was performed with a laser diffraction / scattering particle size distribution analyzer (model: LA-920, manufactured by Horiba, Ltd.).
(ii)沈降率の測定
調製直後の誘電体層形成用組成物を容器に入れ、該容器を密閉し、液面の高さHを測定した。容器を所定期間室温で静置した後、目視観察し、ガラス成分と有機成分の相分離の有無を調べた。ガラス成分と有機成分が相分離している場合には、相分離境界線の高さHaを測定した。沈降率(%)は、下記に示す式により算出した。
(Ii) Measurement of sedimentation rate The composition for forming a dielectric layer immediately after preparation was placed in a container, the container was sealed, and the height H of the liquid level was measured. The container was allowed to stand at room temperature for a predetermined period, and then visually observed to examine the presence or absence of phase separation between the glass component and the organic component. When the glass component and the organic component were phase separated, the height Ha of the phase separation boundary line was measured. The sedimentation rate (%) was calculated by the following formula.
(iii)ラミネート適性
ラミネート適性は、得られる積層フィルム(PETフィルム−グリーンシート−PETフィルム)を目視にて観察し、3層が適正に貼り合わされているかどうかで評価した。貼り合わされている場合を○、凝集物などの存在により、適正に貼り合わされていない場合を×と評価した。
(Iii) Laminate suitability The laminate suitability was evaluated by visually observing the obtained laminated film (PET film-green sheet-PET film) and determining whether the three layers were properly bonded. The case where it was bonded together was evaluated as ◯, and the case where it was not bonded properly due to the presence of aggregates was evaluated as x.
(iv)膜厚
膜厚は、表面粗さ測定機(型式:SVP−3000S4、(株)ミツトヨ製)によって測定した。
(Iv) Film thickness The film thickness was measured with a surface roughness measuring machine (model: SVP-3000S4, manufactured by Mitutoyo Corporation).
(v)ピンホール欠点
誘電体層(95mm×95mm)上のピンホールの有無を顕微鏡にて観察した。ピンホール欠点がない場合を○、ピンホール欠点が1つでもある場合を×と評価した。
(V) Pinhole defect The presence or absence of pinholes on the dielectric layer (95 mm × 95 mm) was observed with a microscope. The case where there was no pinhole defect was evaluated as ◯, and the case where there was even one pinhole defect was evaluated as x.
(vi)表面粗さ(Ra)
電極付きガラス基板上に、誘電体層用組成物から得られたグリーンシートをガラス基板上に貼着、次いで焼成することによって形成された誘電体層について、その誘電体層の表面を表面粗さ測定機(型式:SVP−3000S4、(株)ミツトヨ社製)を用いて測定することにより評価した。
(Vi) Surface roughness (Ra)
About the dielectric layer formed by sticking the green sheet obtained from the composition for dielectric layers on the glass substrate with an electrode on the glass substrate and then firing, the surface of the dielectric layer is surface-roughened. It evaluated by measuring using a measuring machine (model: SVP-3000S4, Mitutoyo Corporation).
(実施例1)
前記無機成分100重量部、熱分解性バインダー160重量部(無機成分100重量部に対し、固形分比で80重量部)、分散剤A 1重量部(無機成分100重量部に対し、固形分比で1重量部)、溶剤25重量部、及び可塑剤1重量部を、ビーズミル系分散機を用いて分散させることにより、実施例1の誘電体層形成用組成物1(以下「スラリー1」という)を調製した。
スラリー1の平均粒子径(μm)、最大粒子径(μm)、及びスラリー1の4日後、2週間後及び4週間後の沈降率(%)を測定した。測定結果を第1表に示す。
(Example 1)
100 parts by weight of the inorganic component, 160 parts by weight of a thermally decomposable binder (80 parts by weight in solid content with respect to 100 parts by weight of inorganic component), 1 part by weight of dispersant A (solid content ratio with respect to 100 parts by weight of inorganic component) 1 part by weight), 25 parts by weight of solvent, and 1 part by weight of a plasticizer are dispersed using a bead mill-based disperser to form a dielectric
The average particle size (μm), the maximum particle size (μm) of the
キャリアーフィルムとして、片面をシリコーン樹脂により厚さ0.1μmで剥離処理された厚さ50μmの長尺のポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムを用意した。このフィルムの剥離処理された面上に、上記で得たスラリー1をナイフコーターを用いて塗布した。次いで、100℃で2分間乾燥して、PETフィルム上に厚さ35μmのグリーンシート1を得た。
As a carrier film, a long polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 50 μm, one side of which was peeled off with a silicone resin to a thickness of 0.1 μm, was prepared. The
次に、上記で得たグリーンシート1上に、前記PETフィルムと同じ長尺の、片面をシリコーン樹脂により厚さ0.1μmで剥離処理された保護用PETフィルムの剥離処理面をロール間圧着させることにより、PETフィルム−グリーンシート−PETフィルムの3層が積層されてなる積層フィルムを得た。このとき、上記の方法によりラミネート適性を評価した。評価結果を第1表に示す。
Next, on the
グリーンシート1上の保護用PETフィルムを剥離除去した。得られたキャリアーフィルム(PETフィルム)−グリーンシートの積層フィルム(95mm×95mm)を、グリーンシート面を下にして、表面に表示電極が形成されたガラス基板(100mm×100mm×2.8mm)表面に重ね合わせ、加熱ローラーを用いて熱圧着(80℃、0.5MPa)した。
次いで、キャリアーフィルムを剥離除去し、焼成炉内に入れ、室温から10℃/分で400℃まで昇温し、400℃で20分間維持し、さらに、10℃/分で575℃まで昇温し、575℃で20分間維持する条件でグリーンシート1の樹脂を焼成することにより熱分解除去し、厚さ10μmの誘電体層が形成された誘電体層形成基板1を得た。
得られた誘電体層形成基板1上の誘電体層のピンホール欠点の有無を顕微鏡で観察し、表面粗さRa(μm)を測定した。測定結果を第1表に示す。
The protective PET film on the
Next, the carrier film is peeled and removed, placed in a baking furnace, heated from room temperature to 400 ° C. at 10 ° C./min, maintained at 400 ° C. for 20 minutes, and further heated to 575 ° C. at 10 ° C./min. The resin of the
The presence or absence of pinhole defects in the dielectric layer on the obtained dielectric
(実施例2)
実施例1において、熱分解性バインダーの使用量を160重量部から140重量部(無機成分100重量部に対し、固形分比で70重量部)に変更した以外は実施例1と同様にして、実施例2の誘電体層形成用組成物2(以下「スラリー2」という)を得た。さらに、焼成後の誘電体層の厚みが10μmとなるように、グリーンシート2及び誘電体層形成基板2を作製した。
スラリー2の平均粒子径(μm)、最大粒子径(μm)、スラリー2の4日後、2週間後及び4週間後の沈降率(%)、グリーンシート2のラミネート適性、誘電体層形成基板2上の誘電体層のピンホール欠点の有無、表面粗さRa(μm)を第1表に示す。
(Example 2)
In Example 1, except that the amount of the thermally decomposable binder used was changed from 160 parts by weight to 140 parts by weight (based on 100 parts by weight of the inorganic component, the solid content ratio was 70 parts by weight). A dielectric layer forming composition 2 (hereinafter referred to as “slurry 2”) of Example 2 was obtained. Further, the green sheet 2 and the dielectric layer forming substrate 2 were prepared so that the thickness of the fired dielectric layer was 10 μm.
Average particle size (μm), maximum particle size (μm) of slurry 2, sedimentation rate (%) after 4 days, 2 weeks and 4 weeks of slurry 2, laminating suitability of green sheet 2, dielectric layer forming substrate 2 Table 1 shows the presence or absence of pinhole defects in the upper dielectric layer and the surface roughness Ra (μm).
(比較例1)
実施例1において、分散剤A 1重量部に代えて、分散剤B 2重量部(無機成分100重量部に対し、固形分比で1重量部)を用いた以外は実施例1と同様にして、誘電体層形成用組成物3(以下、「スラリー3」という)を得た。さらに、焼成後の誘電体層の厚みが10μmとなるように、グリーンシート3及び誘電体層形成基板3を作製した。
スラリー3の平均粒子径(μm)、最大粒子径(μm)、スラリー3の4日後、2週間後及び4週間後の沈降率(%)、グリーンシート3のラミネート適性、誘電体層形成基板3上の誘電体層のピンホール欠点の有無、表面粗さRa(μm)を第1表に示す。
(Comparative Example 1)
In Example 1, instead of 1 part by weight of the dispersant A, 2 parts by weight of the dispersant B (1 part by weight in solid content ratio with respect to 100 parts by weight of the inorganic component) was used in the same manner as in Example 1. Thus, a dielectric layer forming composition 3 (hereinafter referred to as “
Average particle diameter (μm), maximum particle diameter (μm) of
(比較例2)
実施例1において、分散剤A 1重量部に代えて、分散剤C 3.3重量部(無機成分100重量部に対し、固形分比で1重量部)を用いた以外は実施例1と同様にして、誘電体層形成用組成物4(以下、「スラリー4」という)を得た。さらに、焼成後の誘電体層の厚みが10μmとなるように、グリーンシート4及び誘電体層形成基板4を作製した。 スラリー4の平均粒子径(μm)、最大粒子径(μm)、スラリー4の4日後、2週間後及び4週間後の沈降率(%)、グリーンシート4のラミネート適性、誘電体層形成基板4上の誘電体層のピンホール欠点の有無、表面粗さRa(μm)を第1表に示す。
(Comparative Example 2)
In Example 1, in place of 1 part by weight of the dispersant A, 3.3 parts by weight of the dispersant C (1 part by weight in solid content ratio with respect to 100 parts by weight of the inorganic component) was used. Thus, a dielectric layer forming composition 4 (hereinafter referred to as “slurry 4”) was obtained. Further, the green sheet 4 and the dielectric layer forming substrate 4 were produced so that the thickness of the fired dielectric layer was 10 μm. Average particle size (μm), maximum particle size (μm) of slurry 4, sedimentation rate (%) after 4 days, 2 weeks and 4 weeks of slurry 4, suitability for lamination of green sheet 4, dielectric layer forming substrate 4 Table 1 shows the presence or absence of pinhole defects in the upper dielectric layer and the surface roughness Ra (μm).
(比較例3)
実施例1において、熱分解性バインダーを160重量部(固形分比;80重量部)用いる代わりに、100重量部(固形分比;50重量部)用いて、実施例1と同様にして、誘電体層形成用組成物5(以下、「スラリー5」という)を得た。さらに、焼成後の誘電体層の厚みが10μmとなるように、グリーンシート5及び誘電体層形成基板5を作製した。
スラリー5の平均粒子径(μm)、最大粒子径(μm)、スラリー5の4日後、2週間後及び4週間後の沈降率(%)、グリーンシート5のラミネート適性、誘電体層形成基板5上の誘電体層のピンホール欠点の有無、表面粗さRa(μm)を第1表に示す。
(Comparative Example 3)
In Example 1, instead of using 160 parts by weight (solid content ratio; 80 parts by weight) of the thermally decomposable binder, 100 parts by weight (solid content ratio; 50 parts by weight) was used, and the dielectric was conducted in the same manner as in Example 1. A body layer forming composition 5 (hereinafter referred to as “
Average particle size (μm), maximum particle size (μm) of
(比較例4)
実施例1において、熱分解性バインダーを160重量部(固形分比;80重量部)用いる代わりに、220重量部(固形分比;110重量部)用いて実施例1と同様にして、誘電体層形成用組成物6(以下、「スラリー6」という)を得た。さらに、焼成後の誘電体層の厚みが10μmとなるように、グリーンシート6及び誘電体層形成基板6を作製した。
スラリー6の平均粒子径(μm)、最大粒子径(μm)、スラリー6の4日後、2週間後及び4週間後の沈降率(%)、グリーンシート6のラミネート適性、誘電体層形成基板6上の誘電体層のピンホール欠点の有無、表面粗さRa(μm)を第1表に示す。
(Comparative Example 4)
In Example 1, instead of using 160 parts by weight (solid content ratio; 80 parts by weight) of the thermally decomposable binder, 220 parts by weight (solid content ratio; 110 parts by weight) was used in the same manner as in Example 1 to obtain a dielectric. A layer forming composition 6 (hereinafter referred to as “slurry 6”) was obtained. Further, the green sheet 6 and the dielectric layer forming substrate 6 were prepared so that the thickness of the fired dielectric layer was 10 μm.
Average particle diameter (μm), maximum particle diameter (μm) of slurry 6, settling rate (%) after 4 days, 2 weeks and 4 weeks of slurry 6, suitability for lamination of green sheet 6, dielectric layer forming substrate 6 Table 1 shows the presence or absence of pinhole defects in the upper dielectric layer and the surface roughness Ra (μm).
第1表から、実施例1、2の誘電体層形成用組成物(スラリー)1、2は、長期にわたり安定した分散性を有すること(貯蔵安定性に優れる)、この組成物から得られるグリーンシート1、2はラミネート適性に優れ、焼成することにより、表面粗さRaの小さい、ピンホール欠点のない均一な誘電体層を形成できることがわかる。
From Table 1, the dielectric layer forming compositions (slurries) 1 and 2 of Examples 1 and 2 have stable dispersibility over a long period of time (excellent storage stability), and the green obtained from this composition It can be seen that the
一方、ポリカルボン酸系高分子化合物以外の分散剤B、Cを使用して得られた、比較例1、2の誘電体層形成用組成物(スラリー)3、4では、貯蔵安定性に劣り、塗布・焼成して得られる誘電体層はピンホール欠点があり、表面粗さRaが劣っていた。 On the other hand, the dielectric layer forming compositions (slurries) 3 and 4 of Comparative Examples 1 and 2 obtained by using dispersants B and C other than the polycarboxylic acid polymer compound are inferior in storage stability. The dielectric layer obtained by coating and firing had a pinhole defect, and the surface roughness Ra was inferior.
無機成分100重量部に対し、固形分比で55重量部以下の熱分解性バインダーを用いた比較例3の誘電体層形成用組成物(スラリー)5は、誘電体層形成用組成物1に比較して貯蔵安定性に劣っていた。また、この組成物から得られるグリーンシート5はラミネート適性に劣り、焼成して得られる誘電体層はピンホール欠点があり、表面粗さRaが劣っていた。
The dielectric layer forming composition (slurry) 5 of Comparative Example 3 using a thermally decomposable binder having a solid content ratio of 55 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the inorganic component is Compared with storage stability, it was inferior. Moreover, the
また、無機成分100重量部に対し、固形分比で105重量部以上の熱分解性バインダーを用いた比較例4では、得られる誘電体層形成基板6にピンホール欠点が認められた。 Further, in Comparative Example 4 using a thermally decomposable binder having a solid content ratio of 105 parts by weight or more with respect to 100 parts by weight of the inorganic component, pinhole defects were observed in the obtained dielectric layer forming substrate 6.
1…前面板用ガラス基板、2…背面板用ガラス基板、3…表示電極、4…アドレス電極、5…誘電体層(前面板誘電体層)、6…誘電体層(背面板誘電体層)、7…保護膜、8…リブ(隔壁)、9…蛍光体、13…キャリアーフィルム、14…塗工装置、15…貯蔵部、16…塗工部、17a…誘電体層形成用組成物の塗膜、17…グリーンシート、18…乾燥装置、19…保護フィルム、20a、20b…積層ロール、21…積層フィルム
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