JP2008128787A5 - - Google Patents

Claims (20)

1. 振動分光分析を行うための表面増強振動分光分析用治具であって、
   突起又は柱状構造体が形成された金属からなる下地膜を有する第１の基体と、
   第２の基体とを備え、
   前記突起は、前記突起の径が１０ｎｍ以上１μｍ以下であり、前記突起の間隔距離が１００ｎｍ以上２μｍ以下であり、
   前記柱状構造体は、前記柱状構造体の平均直径が、１ｎｍ以上５００ｎｍ以下であり、前記柱状構造体の中心間距離が５ｎｍ以上１μｍ以下であり、
   前記第１の基体の突起又は柱状構造体が形成される側と、前記第２の基体とが対向して配置されることを特徴とする表面増強振動分光分析用治具。
2. 前記突起の表面には、島状、微粒子状又は膜状の金属膜が形成されることを特徴とする請求項１記載の表面増強振動分光分析用治具。
3. 前記突起の表面には、金属又は半導体からなり、粒径が１ｎｍ以上１μｍ以下の微粒子が付着されることを特徴とする請求項１記載の表面増強振動分光分析用治具。
4. 前記柱状構造体の表面には、金属膜が形成されることを特徴とする請求項１記載の表面増強振動分光分析用治具。
5. 前記下地膜が触媒活性を有する貴金属であることを特徴とする請求項１記載の表面増強振動分光分析用治具。
6. 前記第１及び第２の基体は可視光又は赤外光の透過材料からなることを特徴とする請求項１記載の表面増強振動分光分析用治具。
7. 前記突起が酸化亜鉛針状結晶であることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項記載の表面増強振動分光分析用治具。
8. 前記突起のアスペクト比が２以上であることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項記載の表面増強振動分光分析用治具。
9. 前記柱状構造体の材料が、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ及びＰｔのいずれかであることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項記載の表面増強振動分光分析用治具。
10. 前記柱状構造体のアスペクト比が２以上であることを特徴とする請求項１から９のいずれか１項記載の表面増強振動分光分析用治具。
11. 前記金属膜がＡｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｔのいずれかからなり、膜厚が１ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項２記載の表面増強振動分光分析用治具。
12. 前記微粒子状の金属膜がＡｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｔのいずれかからなり、粒径が１ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項２項記載の表面増強振動分光分析用治具。
13. 突起又は柱状構造体が形成された金属からなる下地膜付きの第１の基体と、第２の基体とを備え、前記第１の基体の突起又は柱状構造体が形成される側と、前記第２の基体とが対向して配置される表面増強振動分光分析用治具の製造方法であって、
    Ａｌを主成分とする柱状部材と、該柱状部材の側面を囲むＳｉ、Ｇｅ及びＳｉＧｅの少なくともいずれか一つを主成分とするマトリクス部分とからなるＡｌ（Ｓｉ、Ｇｅ）混合薄膜であるベースが形成された下地膜付きの基体の前記ベースに細孔を形成する工程と、
    前記細孔に構造体を形成する工程と、
    前記混ベースを除去する工程と、を含み、
    前記突起又は前記柱状構造体をめっき法により成長させることを特徴とする表面増強振動分光分析用治具の製造方法。
14. 振動分光分析を行うための表面増強ラマン散乱分光分析用治具であって、
    複数の突起が形成された金属からなる下地膜を有する第１の基体と、複数の突起が近接して形成された下地膜付きの第２の基体とが対向して押し付けられており、
    前記突起の径が１０ｎｍ以上１μｍ以下であり、前記突起の間隔距離が１００ｎｍ以上２μｍ以下であり、
    前記突起の表面が島状、微粒子状又は膜状の金属膜で被覆されていることを特徴とする表面増強ラマン散乱分光分析用治具。
15. 前記第１及び第２の基体は可視光の透過材料からなることを特徴とする請求項１４記載の表面増強ラマン散乱分光分析用治具。
16. 前記突起が酸化亜鉛針状結晶であることを特徴とする請求項１４又は１５のいずれかに記載の表面増強ラマン散乱分光分析用治具。
17. 前記突起のアスペクト比が２以上であることを特徴とする請求項１４から１６のいずれか１項記載の表面増強ラマン散乱分光分析用治具。
18. 前記金属膜がＡｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｔのいずれかからなり、膜厚が１ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１４から１７のいずれか１項記載の表面増強ラマン散乱分光分析用治具。
19. 前記突起は表面に金属又は半導体からなる微粒子を付着させた突起であることを特徴とする請求項１４から１８のいずれか１項記載の表面増強ラマン散乱分光分析用治具。
20. 前記微粒子状の金属膜がＡｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｔのいずれかからなり、粒径が１ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１４から１９のいずれか１項記載の表面増強ラマン散乱分光分析用治具。