JP2008122437A - レーザ走査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】レーザ光の出射位置をライン走査の先頭位置に戻す戻し走査のためにレンズあるいは反射ミラーの変位動作を必要とするため、この戻し走査の期間がレーザ光により目標領域を走査する際の高速化の阻害要因となる。
【解決手段】走査光学部品の走査ミラー6を円筒曲面状の凹面6a(あるいは6c)及び凸面6bが交互に積層される形態としており、走査ミラー6により反射されるレーザ光の向きを1ラインを走査するライン走査方向及びこのライン走査方向と略直交する方向に変位させるべく前記走査ミラーを互いに直交する2軸方向に駆動されるようにすることで前記凹面及び凸面を交互に順次レーザ光によりトレースするようにしている。これにより1ライン走査が完了した時点でライン走査方向における走査ミラー6の変位位置がライン走査の先頭位置に対応するレーザ光の出射位置になるようにしている。
【選択図】図1
【解決手段】走査光学部品の走査ミラー6を円筒曲面状の凹面6a(あるいは6c)及び凸面6bが交互に積層される形態としており、走査ミラー6により反射されるレーザ光の向きを1ラインを走査するライン走査方向及びこのライン走査方向と略直交する方向に変位させるべく前記走査ミラーを互いに直交する2軸方向に駆動されるようにすることで前記凹面及び凸面を交互に順次レーザ光によりトレースするようにしている。これにより1ライン走査が完了した時点でライン走査方向における走査ミラー6の変位位置がライン走査の先頭位置に対応するレーザ光の出射位置になるようにしている。
【選択図】図1
Description
本発明は、レーザ光によるライン走査を位置をずらしながら繰り返して2次元的に目標領域を走査するレーザ走査装置に関する。
自車両より前方にレーザ光を出射し、その出射されたレーザ光が他車両や障害物などの対象物で反射されて戻されるレーザ光を受光して前記対象物までの距離、位置あるいは相対速度等を認識する情報を得る車両用のレーザレーダ装置が知られている。
このようなレーザレーダ装置は、自車両の前方の対象物を検知するためにレーザ光によるライン走査を位置をずらしながら複数回繰り返して2次元的に目標領域を走査させるレーザ走査装置を備えている。
レーザ走査装置としては、回転するポリゴンミラーにレーザ光を反射させてレーザ光の出射方向を変える方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。このポリゴンミラーを使用するレーザ走査装置は、要求するレーザ光の走査精度を確保する為にポリゴンミラーを回転させるモータに回転ムラ及び軸ぶれの少ない高精度のものが要求されたり、ミラー面をポリゴンミラーの全周に渡って形成する必要があり、製造コスト、小型化に不利であった。
その為、レーザ走査装置としては、レンズの光軸方向と直交する2軸方向にレンズを変位させてレーザ光の出射方向を変える方法が提案されたり(例えば、特許文献2参照)、また、平板状の反射ミラーを回動させてレーザ光の出射方向を変える方法も知られている(例えば、特許文献3参照)。
特開2000−162533号公報
特開平11−83988号公報
特開平9−211108号公報
ところで、レーザ走査装置は、図8に示す如く、レーザ光の出射位置を水平方向に1ライン走査したら、次のライン走査の先頭位置に戻し、再度ライン走査を行う、というようにライン走査(実線)と先頭位置への戻し走査(破線)とを交互に繰り返してレーザ光を所定領域内で2次元的に走査する。
前述のレンズを変位させてレーザ光の出射方向を変える方法や反射ミラーを回動させてレーザ光の出射方向を変える方法のポリゴンミラーを使用しない方式のレーザ走査装置は、レーザ光の出射位置をライン走査の先頭位置に戻す戻し走査のためにレンズあるいは反射ミラーの変位動作を必要とする。その為、このようなポリゴンミラーを使用しない方式のレーザ走査装置においては、前記戻し走査の期間がレーザ光により目標領域を走査する際の高速化の阻害要因となっていた。
請求項1に係る発明は、レーザ光源により発光されるレーザ光を目標領域に向けて出射されるように反射する走査ミラーと、該走査ミラーを互いに直交する2軸方向に駆動するアクチュエータとを備え、前記走査ミラーを円筒曲面状の凹面及び凸面が交互に積層される形態とし、前記走査ミラーにより反射されるレーザ光の向きをライン走査するライン走
査方向及びこのライン走査方向と略直交する方向に変位させるべく前記アクチュエータにより走査ミラーを2軸方向に駆動可能とし、前記走査ミラーを一方の軸方向に変位させてレーザ光が照射される走査ミラーの位置を所定の凹面あるいは凸面に沿ってトレースさせると共に、前記走査ミラーを他方の軸方向に変位させてレーザ光が照射される走査ミラーの位置を選択的に所定の凹面及び凸面に切り替えることによりレーザ光により目標領域を走査するようにしている。
査方向及びこのライン走査方向と略直交する方向に変位させるべく前記アクチュエータにより走査ミラーを2軸方向に駆動可能とし、前記走査ミラーを一方の軸方向に変位させてレーザ光が照射される走査ミラーの位置を所定の凹面あるいは凸面に沿ってトレースさせると共に、前記走査ミラーを他方の軸方向に変位させてレーザ光が照射される走査ミラーの位置を選択的に所定の凹面及び凸面に切り替えることによりレーザ光により目標領域を走査するようにしている。
本発明に依れば、走査光学部品の走査ミラーを円筒曲面状の凹面及び凸面が交互に積層される形態としており、前記走査ミラーを一方の軸方向に変位させてレーザ光が照射される走査ミラーの位置を所定の凹面あるいは凸面に沿ってトレースさせると共に、前記走査ミラーを他方の軸方向に変位させてレーザ光が照射される走査ミラーの位置を選択的に所定の凹面及び凸面に切り替えることによりレーザ光により2次元的に目標領域を走査するレーザ走査装置が提供でき、特に、前記凹面及び凸面を交互に順次レーザ光によりトレースするようにすることで、1本のライン走査が完了した時点でライン走査方向における走査ミラーの変位位置がライン走査の先頭位置に対応するレーザ光の出射位置になり、次に走査するラインの先頭にレーザ光の出射位置を設定する際に、レーザ光のトレース位置が凹面及び凸面間で切り替わるように走査ミラーを変位させるだけで良く、1ライン走査ごとにレーザ光の出射位置をライン走査の先頭位置に戻す際の走査ミラーのライン走査方向の変位を必要とせずにレーザ光の走査を高速化するのに有利である。
また、本発明に依れば、走査ミラーの凹面及び凸面の積層段数を出射するレーザ光をライン走査方向と略直交する方向に走査する範囲に対応させると共に、走査ミラーの凹面及び凸面の各面の仰角により出射するレーザ光の走査位置がライン走査方向と略直交する方向に順次変化するように設定しているので、レーザ光をライン走査方向と略直交する方向に走査させる走査光学部品を必要としない。
更に、本発明に依れば、ガルバノミラーの回動により出射するレーザ光の走査位置をライン走査方向と略直交する方向に順次変化させるようにしているので、走査ミラーの凹面及び凸面を最低それぞれ1段ずつ形成することによりレーザ光の走査位置をライン走査方向と略直交する方向に所望の範囲で変位させることが出来ると共に、ライン走査方向と略直交する方向へのレーザ光の走査範囲の自由度が高く、また、走査ミラーの構成を簡略化するのに有利となる。
図1は本発明にかかるレーザ走査装置をレーザレーダ装置に用いた一例を示す説明図である。
レーザ光照射ヘッド1は、レーザダイオード2と、レーザダイオード2から発光されたレーザ光の光軸を折曲する折り曲げミラー3と、折り曲げミラー3により折曲されたレーザ光を平行光にするコリメートレンズ4と、レーザ光照射ヘッド1から出射されるレーザ光のビーム形状を整形、例えば矩形に整形するための収差を付与する収差板5と、収差板5を介したレーザ光を反射させて2次元的に走査する走査ミラー6と、走査ミラー6により反射されたレーザ光の一部(1%未満から1~2%程度)を反射させて分離するビームスプリッタ7と、ビームスプリッタ7により分離された分離レーザ光を集光する集光レンズ8と、集光レンズ8により集光された分離レーザ光を受光するPSD(Position Sensitive Detector)9とを備えている。
前記走査ミラー6は、図2の拡大斜視図に示す如く、ミラー面が円筒曲面状の凹面及び凸面が交互に積層される形態となっており、この実施例の場合、上から順に段数が積層さ
れるように第1の凹面6a、凸面6b及び第2の凹面6cにより構成されている。そして、凹面6a、凸面6b及び凹面6cは図2のA−A’断面を模式的に示す図3に示す如く、それぞれ仰角が各段ごとに徐々に相違しており、この場合、凸面6bの面方向の垂直方向を基準として凹面6a及び凹面6cのそれぞれ面方向の垂直方向をそれぞれ逆向きに角度αに設定している。この凹面6a、凸面6b及び凹面6cの各仰角の相違によりレーザ光をライン方向に走査した際の走査線の高さが相違するようになっており、これによりレーザ光をライン方向と直交する方向に走査する範囲に対応させている。走査ミラー6は、例えばプラスチック成形により形成される成形体に、凹面6a、凸面6b及び凹面6cをアルミニウム又は銀の薄膜のコーティングによりミラー面にして構成される。
れるように第1の凹面6a、凸面6b及び第2の凹面6cにより構成されている。そして、凹面6a、凸面6b及び凹面6cは図2のA−A’断面を模式的に示す図3に示す如く、それぞれ仰角が各段ごとに徐々に相違しており、この場合、凸面6bの面方向の垂直方向を基準として凹面6a及び凹面6cのそれぞれ面方向の垂直方向をそれぞれ逆向きに角度αに設定している。この凹面6a、凸面6b及び凹面6cの各仰角の相違によりレーザ光をライン方向に走査した際の走査線の高さが相違するようになっており、これによりレーザ光をライン方向と直交する方向に走査する範囲に対応させている。走査ミラー6は、例えばプラスチック成形により形成される成形体に、凹面6a、凸面6b及び凹面6cをアルミニウム又は銀の薄膜のコーティングによりミラー面にして構成される。
また、走査ミラー6は、図4の分解斜視図に示す如く、アクチュエータに組み込まれており、走査ミラー6を装着するミラーホルダ10を介して互いに直交する2軸方向に駆動される。
アクチュエータの構成に関して詳細に説明すると、ミラーホルダ10には、4つの側面にそれぞれ矩形状に巻回されるコイル11a〜11dが装着されており、各コイル11a〜11d内に断面ヨの字状ヨーク12a〜12dのそれぞれ中央の突出片が図示矢印のように挿入される。各ヨーク12a〜12dは、両側の舌片がミラーホルダ10の両側に配置される一対のヨーク固定部材13,14の凹部に嵌入される。それぞれのヨーク固定部材13,14には、各ヨーク12a〜12dの舌片を挟持するように磁石15,16がミラーホルダ10の両側に配置されて固着される。この場合、磁石15,16は厚み方向に着磁されており互いに相対する磁極面が同極性に設定されている。そして、ミラーホルダ10の対辺にある各コイル同士が対になっており、コイル11a,11cに駆動電流を供給するとミラーホルダ10にX軸方向の電磁駆動力が発生されるようになっていると共に、コイル11b,11dに駆動電流を供給するとミラーホルダ10にY軸方向の電磁駆動力が発生されるようになっている。
更に、ヨーク固定部材13,14はそれぞれワイヤー支持部材17,18に固着され、これらの一対のワイヤー支持部材17,18間には互いに平行に配置される4本のワイヤー19a〜19dが架設されており、この4本のワイヤー19a〜19dのそれぞれ中間部がミラーホルダ10の四隅に形成された孔に嵌入されて固着されることによりミラーホルダ10は4本のワイヤー19a〜19dにより懸架されている。ここで、4本のワイヤー19a〜19dのそれぞれ一端がワイヤー支持部材17に固着され、4本のワイヤー19a〜19dのそれぞれ他端がワイヤー支持部材18に形成される各孔に摺動自在に挿入支持されている。その為、ワイヤー19a〜19d自体に伸縮性を有していなくても、ミラーホルダ10がワイヤー19a〜19dを介して一対のワイヤー支持部材17,18に弾性支持される。因みにワイヤー19a〜19dはリン青銅などの金属線により構成される。
このように構成されるアクチュエータは、ヨーク固定部材13,14がベース(図示せず)に装着され、所定の2本のワイヤー19a,19cを介して一対のコイル11a,11cに駆動電流を供給することによりミラーホルダ10を介して走査ミラー6がX軸方向に駆動され、所定の2本のワイヤー19d,19dを介してもう一対のコイル11b,11dに駆動電流を供給することによりミラーホルダ10を介して走査ミラー6がY軸方向に駆動され、これにより走査ミラー6がベースに対して2次元駆動される。尚、X軸方向とは図2における矢印x1方向及びその逆方向の矢印x2方向の両方向を意味し、Y軸方向とは図2における矢印y1方向及びその逆方向の矢印y2方向の両方向を意味する。
以上のように構成されるレーザ光照射ヘッド1は、走査ミラー6が2次元駆動されることによりレーザ光を垂直方向に変位させて高さ方向の位置を相違させながら繰り返し水平
方向のライン走査が行われるようにレーザ光の出射角度が変化されて2次元的に目標領域を走査するレーザ光を出射する。
方向のライン走査が行われるようにレーザ光の出射角度が変化されて2次元的に目標領域を走査するレーザ光を出射する。
レーザ光照射ヘッド1から出射されるレーザ光は、出射される手前でビームスプリッタ7によってその一部が分離され集光レンズ8を介してPSD9の受光面上に収束される。PSD9はレーザ光が受光される受光面の位置に応じた受光出力を発生する。ここで、レーザ光照射ヘッド1から出射されて目標領域上におけるレーザ光の照射位置は、PSD9の受光面上におけるレーザ光の受光位置と一対一に対応している。それ故、PSD9からの受光出力は、目標領域に向けてレーザ光照射ヘッド1から出射されるレーザ光の照射位置に対応するものとなっている。
PSD9からの受光出力はPSD信号処理回路20に入力される。PSD信号処理回路20は、入力されたPSD9の受光出力からPSD9の受光面上におけるレーザ光の受光位置を表す位置電圧信号を生成し、この位置電圧信号をADC(Analog Digital Converter)21に出力する。ADC21は、入力された位置電圧信号をデジタル信号に変換してDSP(Digital Signal Processor)回路22に出力する。DSP回路22は、入力された位置電圧信号をもとに、PSD9の受光面上におけるレーザ光の受光位置を検出する。
DSP回路22には、レーザ光照射ヘッド1から出射されるレーザ光の照射位置を目標領域内に走査させるための走査テーブルと、この走査テーブルに従ってレーザ光を走査させたときの、PSD9の受光面上におけるレーザ光の受光位置の軌道を示す軌道テーブルが配備されている。
DSP回路22は、レーザ光の走査動作時、走査テーブルを参照しながらアクチュエータ駆動回路23を制御するための制御信号をDAC(Digital Analog Converter)24に出力する。また、同時に、ADC21から入力された位置電圧信号をもとにPSD9の受光面上におけるレーザ光の受光位置を検出し、この検出受光位置と軌道テーブルにて規定された所期の目標受光位置とを比較して、検出受光位置が目標受光位置に引き込まれるよう、アクチュエータ駆動回路23を制御するための制御信号をDAC24に出力する。かかるサーボ動作によって、レーザ光照射ヘッド1から出射されるレーザ光は、走査テーブルにて規定された軌道に沿って目標領域内を走査される。
DSP回路22は、レーザ光の走査動作時にレーザダイオード2の出射パワーを低レベルに設定するための制御信号をDAC24を介してレーザ駆動回路25に出力する。また、これと同時に、DSP回路22はPSD9におけるレーザ光の受光位置である検出受光位置を監視し、前記検出受光位置によりレーザ光照射ヘッド1から出射されるレーザ光の照射位置が障害物検出や距離検出等を行うための目標位置として予め設定された位置に到達したことを判断する。DSP回路22は、レーザ光の照射位置が目標位置に到達したと判断されるタイミングにて、レーザダイオード2の出射パワーを一定期間だけパルス状に高レベルに設定するための制御信号をDAC24を介してレーザ駆動回路25に出力する。
ここで、レーザダイオード2の高レベルの出射パワーは、少なくとも、PSD9におけるレーザ光の受光位置の検出を行える程度の出力電流がPSD9から発生されるように設定されると共に、所期の障害物検出や距離検出等を行うのに十分であるように設定される。しかして、レーザ光照射ヘッド1から出射されるレーザ光は、目標領域内を低レベルの出射パワーにて走査されながら、目標位置に到達したタイミングにて高レベルの出射パワーにて走査されるようになる。
ところで、この実施例におけるレーザ走査装置において、レーザ光照射ヘッド1からの
レーザ光により走査される目標領域はレーザ光照射ヘッド1からレーザ光が出射される出射点を基点として、図9(a)に示す如く、水平方向に36度、垂直方向に4.4度の範囲に規定されている。ここで、走査ミラー6がX軸方向に駆動されることによりレーザ光照射ヘッド1からのレーザ光は水平方向に走査され、走査ミラー6がY軸方向に駆動されることによりレーザ光照射ヘッド1からのレーザ光は垂直方向に走査される。
レーザ光により走査される目標領域はレーザ光照射ヘッド1からレーザ光が出射される出射点を基点として、図9(a)に示す如く、水平方向に36度、垂直方向に4.4度の範囲に規定されている。ここで、走査ミラー6がX軸方向に駆動されることによりレーザ光照射ヘッド1からのレーザ光は水平方向に走査され、走査ミラー6がY軸方向に駆動されることによりレーザ光照射ヘッド1からのレーザ光は垂直方向に走査される。
目標領域が垂直方向に4.4度の範囲に規定されている場合、図3において、走査ミラー6の凸面6bの面方向の垂直方向を基準として凹面6a及び凹面6cのそれぞれ面方向の垂直方向との角度αを1.1度に設定する。
図9(a)に示すように、レーザ光照射ヘッド1の前方空間に設定された目標領域をマトリクス状に分割したとき、レーザ光照射ヘッド1からのレーザ光は、目標領域の全てのマトリクスを順番に照射するようにして走査される。ここで、目標領域の走査軌道は、DSP回路22内に規定される走査テーブルによって任意に設定できる。
図9(b)に示す如く、左上隅のマトリクス位置から順次、1ラインずつ走査するようにDSP回路22の走査テーブルが設定される場合、PSD9の受光面上におけるレーザ光の収束位置は、図9(c)に示す軌道に沿って移動する。ここで、図9(c)の軌道は、図9(b)の走査軌道に対し、一対一に対応している。図9(c)の軌道は、DSP回路22の走査テーブルに従うようになっているので、図9(c)の軌道上におけるレーザ光の収束位置からレーザ光照射ヘッド1から出射されるレーザ光の走査位置を識別することができる。
レーザ光照射ヘッド1から出射されるレーザ光が、図9(b)に示す如く、目標領域内を左上隅のマトリクス位置から順次1ラインずつ走査される場合、レーザ光は最上段の1ライン分の水平方向のライン走査から開始され、この1ライン分のライン走査が行われた後、垂直方向に1段下げながら水平方向のライン走査の始点位置に戻されて次のライン走査が行われ、このようなライン走査が垂直方向に相違する3段において行われてレーザ光が目標領域内を走査される。
この場合、走査ミラー6の1段目の凹面6aにおける有効面の左端から右端に向けてレーザ光を凹面6aの曲面に沿ってトレースさせるように走査ミラー6がX軸方向に駆動され、これにより走査ミラー6の凹面6aにより反射されたレーザ光が目標領域内の左端の始点位置から右に水平方向にライン走査される。
レーザ光が目標領域内の右端に到達し1段目のライン走査が終了すると、走査ミラー6がY軸方向にのみ駆動され、レーザ光が走査ミラー6の2段目の凸面6bに照射されるようになる。その為、目標領域内において1段目のライン走査位置より所定間隔下方にずれた位置にレーザ光が照射されるようになる。そして、1段目のライン走査と逆向きに前記凸面6bにおける有効面の右端から左端に向けてレーザ光を凸面6bの曲面に沿ってトレースさせるように走査ミラー6がX軸方向に駆動され、これにより凸面6bにより反射されたレーザ光が目標領域内の左端の始点位置から右に水平方向にライン走査される。
図5は、1段目の凹面6aから2段目の凸面6bまでをレーザ光がトレースしている状態、及びその状態において凹面6a及び凸面6bにより反射されるレーザ光の向きを示している。
レーザ光が目標領域内の左端に到達し2段目のライン走査が終了すると、走査ミラー6がY軸方向にのみ駆動され、レーザ光が走査ミラー6の3段目の凹面6cに照射されるようになる。その為、目標領域内において2段目のライン走査位置より更に所定間隔下方に
ずれた位置にレーザ光が照射されるようになる。そして、2段目のライン走査と逆向きに前記凹面6cにおける有効面の左端から右端に向けてレーザ光を凹面6cの曲面に沿ってトレースさせるように走査ミラー6がX軸方向に駆動され、これにより凹面6cにより反射されたレーザ光が目標領域内の左端の始点位置から右に水平方向にライン走査される。
ずれた位置にレーザ光が照射されるようになる。そして、2段目のライン走査と逆向きに前記凹面6cにおける有効面の左端から右端に向けてレーザ光を凹面6cの曲面に沿ってトレースさせるように走査ミラー6がX軸方向に駆動され、これにより凹面6cにより反射されたレーザ光が目標領域内の左端の始点位置から右に水平方向にライン走査される。
以上のような走査ミラー6の駆動によりレーザ光による3段のライン走査が行われ、レーザ光が目標領域内を走査される。この目標領域内の全範囲をレーザ光により一回走査する際において、ライン走査の段数を切り替えるときに走査ミラー6をY軸方向にのみ駆動することによりトレースする走査ミラー6の面を切り替えるだけで良く、1ライン走査ごとにレーザ光の照射位置をライン走査の先頭位置に戻す際に走査ミラー6のX軸方法の駆動を必要としない。
但し、この実施例の場合、ライン走査の段数が3段になっており、それに対応して走査ミラー6が凹面6a、凸面6b及び凹面6cの3段重ねになっていることから目標領域内の全範囲をレーザ光により一回走査した後に次の目標領域内をレーザ光により走査する場合に最下段の凹面6cから最上段凹面6aにトレース位置を戻す際にはライン走査の先頭位置に戻すために走査ミラー6のY軸方向の駆動だけでなくX軸方法の駆動も必要となる。
尚、ライン走査の段数を偶数にして走査ミラーの段数が偶数になると、目標領域内の全範囲をレーザ光により一回走査した後に次の目標領域内をレーザ光により走査する場合にもライン走査の先頭位置に戻すために走査ミラー6のY軸方向の駆動だけでX軸方法の駆動を必要としない。
また、車両用のレーザレーダ装置として本レーザ走査装置を用いた場合、マトリクスを順番に照射するように基本走査させ、障害物等を検知した場合は、始点位置に戻る前に再度障害物近辺のみをランダム走査させることも可能である。
図6は図1とは別の実施例のレーザ走査装置を示す説明図である。図6において、レーザ光照射ヘッド31は、図1に示すレーザ光照射ヘッドとは相違し、走査ミラー36が図7に示す如く凹面36a及び凸面36bの2段重ねになっており、また、ビームスプリッタ7を透過して外部に出射されるレーザ光の出射角を目標領域の垂直方向に変位させるべく回動可能なガルバノミラー37を備えている。
走査ミラー36は、実施例1のレーザ光照射ヘッドと同様に図4に示したアクチュエータに組み込まれており、X軸方向及びY軸方向に2次元駆動される。
また、ガルバノミラー37が回動されることによりレーザ光の出射角を目標領域の垂直方向に変位させるようにしているので、走査ミラー36は凹面36a及び凸面36bのそれぞれの仰角を相違させる構成となっていない。
ガルバノミラー37は回転角を変えられるように軸支されており、ガルバノミラー37のアクチュエータ(図示せず)はDSP回路32からDAC34を介してガルバノミラー駆動回路33に供給される制御信号によりPSD9の受光面上における検出受光位置が垂直方向に対応する方向において目標受光位置に引き込まれるように制御され、これによりガルバノミラー37はレーザ光の出射角を目標領域の垂直方向に変位させるように回動駆動される。
一方、走査ミラー36はDSP回路32からDAC34を介してアクチュエータ駆動回
路23に供給される制御信号によりPSD9の受光面上における検出受光位置が水平方向に対応する方向において目標受光位置に引き込まれるように制御され、これにより走査ミラー36はレーザ光の出射角を目標領域の垂直方向に変位させるように駆動される。
路23に供給される制御信号によりPSD9の受光面上における検出受光位置が水平方向に対応する方向において目標受光位置に引き込まれるように制御され、これにより走査ミラー36はレーザ光の出射角を目標領域の垂直方向に変位させるように駆動される。
このような走査ミラー36の駆動及びガルバノミラー37の回動駆動によって、レーザ光照射ヘッド31から出射されるレーザ光は、DSP回路32に走査テーブルにて規定された軌道に沿って目標領域内を走査される。尚、図6において図1と同一部品若しくは実質同一部品には同一の図番を付している。
レーザ光照射ヘッド31から出射するレーザ光により目標領域内を走査する場合、ガルバノミラー37による回動角により目標領域内の垂直方向のライン走査する位置を設定し、走査ミラー36のX軸方向に駆動による凹面36aあるいは凸面36bにおけるレーザ光のトレース位置により目標領域内の水平方向のライン走査する位置を設定している。
レーザ光により目標領域内を走査する場合、ガルバノミラー37を回動させて目標領域内の最上ライン走査を行う位置設定を行うと共に、走査ミラー36の凹面36aにおける有効面の左端から右端にレーザ光を凹面36aの曲面に沿ってトレースさせるように走査ミラー36をX軸方向に駆動する。これにより走査ミラー36の凹面36aにより反射されたレーザ光が目標領域内の左端の始点位置から右に水平方向にライン走査され、1段目の最上ライン走査が行われる。
レーザ光が目標領域内の右端に到達し1段目のライン走査が終了すると、走査ミラー36がY軸方向にのみ駆動され、レーザ光が走査ミラー36の凸面36bに照射されるようになる。同時にガルバノミラー37が回動され、レーザ光が目標領域内の垂直方向の2段目のライン走査する位置に設定される。その為、目標領域内において1段目のライン走査位置より所定間隔下方にずれた2段目のライン走査位置にレーザ光が照射されるようになる。そして、1段目のライン走査と逆向きに走査ミラー36の凸面36bにおける有効面の右端から左端にレーザ光を凸面36bの曲面に沿ってトレースさせるように走査ミラー36がX軸方向に駆動され、これにより凸面36bにより反射されたレーザ光が目標領域内の左端の始点位置から右に水平方向にライン走査される。
レーザ光が目標領域内の左端に到達し2段目のライン走査が終了すると、走査ミラー36がY軸方向に上向きにのみ駆動され、レーザ光が1段目のライン走査時と同様に再び走査ミラー36の凹面36aに照射されるようになる。同時にガルバノミラー37が回動され、レーザ光が目標領域内の垂直方向の3段目のライン走査する位置に設定される。その為、目標領域内において2段目のライン走査位置より更に所定間隔下方にずれた3段目のライン走査位置にレーザ光が照射されるようになる。そして、2段目のライン走査と逆向きに前記凹面36aにおける有効面の左端から右端にレーザ光をトレースさせるように走査ミラー36がX軸方向に駆動され、これにより凹面36aにより反射されたレーザ光が目標領域内の左端の始点位置から右に水平方向にライン走査される。
以上のような走査ミラー36の駆動及びガルバノミラー37の回動によりレーザ光による3段のライン走査が行われ、レーザ光が目標領域内を走査される。この目標領域内の全範囲をレーザ光により走査する際において、1ライン走査ごとにレーザ光の出射位置をライン走査の先頭位置に戻す際に走査ミラー36のX軸方法の駆動を必要としない。
また、ガルバノミラー37を用いているので、レーザ光を走査させる目標領域を垂直方向に拡大するのに有利であると共に、ライン走査の垂直方向の間隔の自由度が高い。
1 レーザ光照射ヘッド
6 走査ミラー
6a、6c 凹面
6b 凸面
9 PSD
10 ミラーホルダ
20 PSD信号処理回路
22 DSP回路
23 アクチュエータ駆動回路
31 レーザ光照射ヘッド
33 ガルバノミラー駆動回路
36 走査ミラー
36a 凹面
36b 凸面
37 ガルバノミラー
6 走査ミラー
6a、6c 凹面
6b 凸面
9 PSD
10 ミラーホルダ
20 PSD信号処理回路
22 DSP回路
23 アクチュエータ駆動回路
31 レーザ光照射ヘッド
33 ガルバノミラー駆動回路
36 走査ミラー
36a 凹面
36b 凸面
37 ガルバノミラー
Claims (4)
- レーザ光によるライン走査を位置をずらしながら繰り返して2次元的に目標領域を走査するレーザ走査装置であって、レーザ光を発光するレーザ光源と、該レーザ光源により発光されるレーザ光を目標領域に向けて出射されるように反射する走査ミラーと、該走査ミラーを互いに直交する2軸方向に駆動するアクチュエータとを備え、前記走査ミラーは円筒曲面状の凹面及び凸面が交互に積層される形態となっており、前記アクチュエータは前記走査ミラーにより反射されるレーザ光の向きをライン走査するライン走査方向及びこのライン走査方向と略直交する方向に変位させるべく前記走査ミラーを2軸方向に駆動し、前記走査ミラーを一方の軸方向に変位させてレーザ光が照射される走査ミラーの位置を所定の凹面あるいは凸面に沿ってトレースさせると共に、前記走査ミラーを他方の軸方向に変位させてレーザ光が照射される走査ミラーの位置を選択的に所定の凹面及び凸面に切り替えることによりレーザ光により目標領域を走査するようにしたことを特徴とするレーザ走査装置。
- 前記走査ミラーの位置を、レーザ光の1ラインの走査が終了した時点で凹面から凸面に、あるいは凸面から凹面に切り替えると共に、前記走査ミラーのレーザ光をライン走査する一方の軸方向の変位を、直前の1ライン走査時における走査ミラーの変位と逆向きにしてレーザ光が凹面あるいは凸面上をトレースされるようにしたことを特徴とする請求項1記載のレーザ走査装置。
- 前記走査ミラーの凹面及び凸面の積層段数は出射するレーザ光をライン走査と略直交する方向に走査する範囲に対応し、前記走査ミラーの凹面及び凸面の各面の仰角は各段ごとに徐々に相違し、これら走査ミラーの凹面及び凸面の各面の仰角により出射するレーザ光の走査位置がライン走査方向と略直交する方向に順次変化するように設定されることを特徴とする請求項1記載のレーザ走査装置。
- 走査光学部品の走査ミラーにより反射されたレーザ光をライン走査方向と略直交する方向に走査するべく回動するガルバノミラーを設け、該ガルバノミラーの回動により出射するレーザ光の走査位置をライン走査方向と略直交する方向に順次変化させるようにしたことを特徴とする請求項1記載のレーザ走査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006302741A JP2008122437A (ja) | 2006-11-08 | 2006-11-08 | レーザ走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006302741A JP2008122437A (ja) | 2006-11-08 | 2006-11-08 | レーザ走査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008122437A true JP2008122437A (ja) | 2008-05-29 |
Family
ID=39507288
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006302741A Pending JP2008122437A (ja) | 2006-11-08 | 2006-11-08 | レーザ走査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008122437A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2018143093A1 (ja) * | 2017-01-31 | 2019-12-19 | パイオニア株式会社 | 計測装置 |
CN114309260A (zh) * | 2021-12-22 | 2022-04-12 | 大连理工大学 | 一种提高纤维金属层板单曲面激光弯曲成形精度的方法 |
-
2006
- 2006-11-08 JP JP2006302741A patent/JP2008122437A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2018143093A1 (ja) * | 2017-01-31 | 2019-12-19 | パイオニア株式会社 | 計測装置 |
CN114309260A (zh) * | 2021-12-22 | 2022-04-12 | 大连理工大学 | 一种提高纤维金属层板单曲面激光弯曲成形精度的方法 |
CN114309260B (zh) * | 2021-12-22 | 2022-08-30 | 大连理工大学 | 一种提高纤维金属层板单曲面激光弯曲成形精度的方法 |
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