JP2008117899A - 面発光レーザ素子及び面発光レーザアレイ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】共振部40の形成に際し、半導体積層18〜22をエッチングして環状溝を形成する工程に代えて、共振部40の外側に環状に配置された複数の分断溝30を形成する。共振部40の積層部分と分断溝30よりも外側の積層部分とが、分断溝30と分断溝30の間の積層部分で一体的につながっている。共振部40を覆う誘電体DBRミラー26の内部応力による共振部40内の積層構造への影響が緩和され、レーザ素子の信頼性が向上する。
【選択図】図1
Description
前記積層構造の少なくとも一部の積層には、前記酸化狭窄層の下面又はその下層にまで達し、前記電流注入領域の側面に隣接する位置で該電流注入領域を囲むように配列された複数の溝が形成されることを特徴とする。
1.15<R2/R1<1.45
の関係にある。この比率は、酸化狭窄層20を構成するAlAs層における酸化速度の面方位依存性に基づいて定められる。
12:n−GaAs基板
14:n型コンタクト層
16:下部DBRミラー
18:活性層
20:酸化狭窄層
21:電流注入領域
22:p型コンタクト層
24:p側電極
26:誘電体DBRミラー
28:n側電極
30:分断溝
32:配線
34:p側電極パッド
36:n側電極
38:n側電極パッド
40:共振部
60:面発光レーザ素子
62:n−GaAs基板
64:下部DBRミラー
66:下部クラッド層
68:活性層
70:上部クラッド層
72:上部DBRミラー
74:酸化狭窄層
75:電流注入領域
76:ポリイミド層
78:p側電極
80:n側電極
82:p側電極パッド
Claims (6)
- 上部DBRミラーと、下部DBRミラーと、前記上部DBRミラーと下部DBRミラーとの間に挟まれる活性層、及び、該活性層に励起電流を注入する円形状の電流注入領域を有する酸化狭窄層とを含む積層構造を有する面発光レーザ素子において、
前記積層構造の少なくとも一部の積層には、前記酸化狭窄層の下面又はその下層にまで達し、前記電流注入領域の側面に隣接する位置で該電流注入領域を囲むように配列された複数の溝が形成されることを特徴とする面発光レーザ素子。 - 前記上部DBRミラーよりも下層側の積層部分に前記溝が形成されており、前記上部DBRミラーが誘電体層で構成され、該誘電体上部DBRミラーが、前記溝内を含む素子表面を覆う被覆層を構成する、請求項1に記載の面発光レーザ素子。
- 前記上部DBRミラーが、シリコン層及びシリコン酸化層から成るペア層が複数積層されて成る、請求項1又は2に記載の面発光レーザ素子。
- 前記積層構造が半導体基板上に形成されており、前記下部DBRミラーが半導体層で構成される、請求項1〜4の何れか一に記載の面発光レーザ素子。
- 前記下部DBRミラーが誘電体層で構成され、該誘電体下部DBRミラーと前記活性層との間には、外部電極に接続される半導体コンタクト層が形成されている、請求項1〜4の何れか一に記載の面発光レーザ素子。
- 請求項1〜5の何れか一に記載の面発光レーザ素子を複数備え、該複数の面発光レーザ素子が共通の基板上にアレイ状に配設されていることを特徴とする面発光レーザアレイ。
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2006
- 2006-11-02 JP JP2006298949A patent/JP2008117899A/ja active Pending
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