JP2008107331A - キャピラリー・アレイ・シート検査装置及び検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】キャピラリー・アレイ・シートの貫通孔のゲルの欠陥を確実かつ高速に検出することができるキャピラリー・アレイ・シートの検査装置及び検査方法を提供すること。
【解決手段】本発明のキャピラリー・アレイ・シート検査装置１０は、ゲルが充填された貫通孔を備えたキャピラリー・アレイ・シート１のゲル欠陥を検査するためのキャピラリー・アレイ・シート検査装置であって、光源１２を備えた照明装置１４と、光源からの照明光を照射される格子パターン２４と、格子パターンを通過した光がゲルが充填された貫通孔に入射するように、キャピラリー・アレイ・シートを保持するキャピラリー・アレイ・シート保持手段２６と、キャピラリー・アレイ・シートの貫通孔に充填されたゲルによって結ばれた格子パターンの像を撮像する撮像手段１６と、撮像手段における格子パターンの像の範囲を制限する結像範囲制限手段２２と、備えている。
【選択図】図２

Description

本発明は、キャピラリー・アレイ・シート検査装置及び方法に関し、より詳細には、核酸、蛋白質、ポリペプチド、多糖類などの生体高分子等を検出するために用いられるキャピラリー・アレイ・シート検査装置及び検査方法に関する。

キャピラリー・アレイ・シートは、核酸等の生体高分子プローブが固定化されているバイオチップ（ＤＮＡチップ等）の一種である。このキャピラリー・アレイ・シートは、複数の貫通孔を有し、これらの貫通孔の中に核酸等の生体高分子プローブが固定化されたゲルが充填されている。

このような構成を有するキャピラリー・アレイ・シートは、製造時に、レーザ光線等によって形成された多数の孔に、核酸等の生体高分子プローブとゲル前駆体溶液が注入されるが、充填時の気泡巻き込みにより、孔内にゲル前駆体溶液等が完全に充填されず、ゲルが不足あるいは欠落した貫通孔が発生する可能性がある。

このようなゲルが不足あるいは欠落した貫通孔を発見するためのキャピラリー・アレイ・シート検査装置として、貫通孔に充填されたゲルがレンズとして作用することを利用して、貫通孔に充填されたゲルが結ぶ像の状態に基づいてゲルが適切に充填されているか否かを判定するキャピラリー・アレイ・シート検査装置および方法が知られている（特許文献１参照）。

特開２００３−１８５５９７号公報

しかしながら、特許文献１に開示されている方法は、キャピラリー・アレイ・シートにピンホールを通過した光を照射し、貫通孔に充填されたゲルにより結ばれるピンホール像を読み取り、読み取ったピンホール像の状態の違いに基づいて、ゲルが適切に充填されているか否か（すなわちゲルの欠陥）を検出しているが、読み取ったピンホール像の状態の違い見出すための画像処理に時間がかかり、高速性を要求される全数検査等には適していない。
また、読み取ったピンホール像の状態の違いから、良品、不良品の判定基準を定めることが難しい。

本発明は、キャピラリー・アレイ・シートの貫通孔のゲルの欠陥を確実かつ高速に検出することができるキャピラリー・アレイ・シートの検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。

本発明によれば、
ゲルが充填された貫通孔を備えたキャピラリー・アレイ・シートのゲル欠陥を検査するためのキャピラリー・アレイ・シート検査装置であって、
光源を備えた照明装置と、
前記光源からの照明光を照射される格子パターンと、
前記格子パターンを通過した光が前記ゲルが充填された貫通孔に入射するように、キャピラリー・アレイ・シートを保持するキャピラリー・アレイ・シート保持手段と、
前記キャピラリー・アレイ・シートの貫通孔に充填されたゲルによって結ばれた前記格子パターンの像を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段における前記格子パターンの像の範囲を制限する結像範囲制限手段と、備えている、
ことを特徴とするキャピラリー・アレイ・シート検査装置、
が提供される。

このような構成によれば、結像範囲制限手段によって、撮像手段で各貫通孔のゲルによって結ばれた格子パターンの像の範囲が制限されるので、各貫通孔に対応した格子パターン像を得ることができる。この結果、特定の貫通孔とその貫通孔のゲルによって結ばれた格子パターン像を対応付けることが可能となり、撮像手段で得られた画像に基づいて、キャピラリー・アレイ・シートの貫通孔に充填されたゲルの状態を貫通孔毎に判定することできる。したがって、短時間で確実なキャピラリー・アレイ・シートの検査を完了することができる。

本発明の他の好ましい態様によれば、前記結像範囲制限手段が、キャピラリー・アレイ・シートの隣接する貫通孔に充填されたゲルによって結ばれた格子パターンの像が前記撮像手段において重ならないように像の範囲を制限するものである。
このような構成によれば、隣接する貫通孔のゲルによる格子パターンの像が分離されるので、確実に、貫通孔毎にゲルの状態を判定することができる。

本発明の他の好ましい態様によれば、前記結像範囲制限手段が、中央に小孔が形成された板状部材である。
本発明の他の好ましい態様によれば、前記小孔の寸法が可変である。このような構成によれば、種々の態様のキャピラリー・アレイ・シートに対処可能となる。

本発明の他の好ましい態様によれば、前記格子パターンが、ＭＴＦ測定用格子である。
本発明の他の好ましい態様によれば、前記キャピラリー・アレイ・シート保持手段が内部に液体を収容可能であり、前記キャピラリー・アレイ・シートは前記キャピラリー・アレイ・シート保持手段内に保持されるとき、前記照明装置と撮像装置を結ぶ軸線に直交する向きで前記液体内に浸漬される。

本発明の他の態様によれば、上記キャピラリー・アレイ・シート検査装置の撮像装置で撮像されたＭＴＦ測定用格子の像に基づいて算出されたＭＴＦにより、検査対象のキャピラリー・アレイ・シートの各貫通孔におけるゲル欠陥を検出するステップを備えている、ことを特徴とするキャピラリー・アレイ・シート検査方法が提供される。

以下、図面に沿って本発明の好ましい形態のキャピラリー・アレイ・シート検査装置および検査方法を詳細に説明する。まず、本発明の好ましい形態のキャピラリー・アレイ・シート検査装置および検査方法によってゲルの欠落が検査されるキャピラリー・アレイ・シートについて説明する。

図１は、キャピラリー・アレイ・シート１の構成を示す模式的な平面図である。キャピラリー・アレイ・シート１は、シート状の基材部２を厚さ方向に貫通する複数の貫通孔４を備え、核酸等の生体高分子プローブが固定化されたゲル６が各貫通孔４内に充填されている。

キャピラリー・アレイ・シート１は、例えば積層された複数のシート状部材やブロック状部材にレーザ光線等で多数の孔を形成し、これら孔の中に異なる核酸等の生体高分子プローブとゲル前駆体溶液を注入し、ゲル前駆体溶液を重合させ、その後、シート化する方法で製造されている。

尚、本実施形態のキャピラリー・アレイ・シート検査装置及び検査方法は、上述した方法で製造されたキャピラリー・アレイ・シートのみならず、他の方法、例えば、異なる核酸等の生体高分子が固定化された多数の生体高分子固定化ゲル保持中空繊維を規則的に配列することによって形成された繊維集合体（３次元配列体）を、繊維軸と直交する方向にスライスして製造されたキャピラリー・アレイ・シート等にも適用可能である。

図２は、本発明の好ましい実施形態のキャピラリー・アレイ・シート検査装置１０の構成を示す模式的な図面である。図２に示されているように、キャピラリー・アレイ・シート検査装置１０は、光量調整が可能なハロゲンランプ、ＬＥＤ素子等の光源１２を備えた照明装置１４と、照明装置からの照明光を受光する撮像装置１６とを備えている。撮像装置１６は、照明装置１４に向けられた対物レンズ１８と、撮像手段であるＣＣＤセンサ２０を備えている。ＣＣＤセンサ２０で得られた画像は、図示しない画像処理装置に送られ、所定の画像解析等の処理が施されるように構成されている。

キャピラリー・アレイ・シート検査装置１０では、さらに、照明装置１４と撮像装置１６の間に、照明装置１４側から順に、結像範囲制限装置２２、ＭＴＦ（モデュレーション トランスファー ファンクション）測定用格子２４、および浸漬装置２６が配置されている。

図３は、本実施形態のキャピラリー・アレイ・シート検査装置１で用いられるＭＴＦ測定用格子２４の一例を示す模式的な平面図である。ＭＴＦ測定用格子２４は、公知のＭＴＦ測定用格子であり、黒く示されている光の透過率が低い部分（黒部分）と、白く示されている光の透過率が高い部分（白部分）が交互に配置されている格子部材である。ＭＴＦ測定用格子２４では、各白部分および各黒部分の幅は同一であり、格子パターンの一対の白部分と黒部分の幅がラインピッチ（mm）であり、ラインピッチの逆数が空間周波数（lp/mm）である。

ＭＴＦ測定用格子２４の格子パターンは、ガラス板などの基板に金属を蒸着させる等の公知の方法によって形成される。格子パターンの空間周波数は、検査対象となるキャピラリー・アレイ・シートの貫通孔の大きさ、検査対象となるキャピラリー・アレイ・シートの厚さ、撮像装置１６の対物レンズ１８の倍率等の種々の条件に応じて、適当な値が選定される。

浸漬装置２６は、ガラス、石英等の光透過性材料で構成された水槽状の部材であり、水などの液体２８を収容し、キャピラリー・アレイ・シート１を液体２８に浸漬した状態で保持する保持装置として機能するように構成されている。キャピラリー・アレイ・シート１は、その表面が、撮像装置１６の対物レンズ１８の光軸と直交する向き（即ち照明装置と撮像装置を結ぶ線に直交する向き）に向けられ、浸漬装置２６内の液体２８に浸漬されて、浸漬装置２６内に保持される。

キャピラリー・アレイ・シート１を液体２８に浸漬するのはキャピラリー・アレイ・シート１の貫通孔４に保持されたゲル６の乾燥を防ぐためである。液体は、ゲルの乾燥を防ぎ、ゲルを汚染または劣化させないものであれば良く、透明性が高いものが望ましい。
水以外の液体としては、例えば、塩溶液、グリセロール溶液等があげられる。またこれらの溶液に、防腐剤等を添加しても良い。

このような構成によって、照明装置１４からの照明光で照らされたＭＴＦ測定用格子２４の像が、キャピラリー・アレイ・シート１の各貫通孔４内のゲル６のレンズ作用によって結像位置に結ばれ、結像位置に配置された撮像装置１６のＣＣＤセンサ２０によって撮像される。

結像範囲制限装置２２は、浸漬装置２６内に保持されたキャピラリー・アレイ・シート１の隣接する貫通孔４内のゲル６によって生成されるＭＴＦ測定用格子２４の像同士が、撮像装置１６のＣＣＤセンサ２０で重ならないように、撮像装置１６における像の範囲を制限する装置であり、例えば、孔が形成された金属板、孔の大きさを調整できる視野絞り等が用いられる。結像範囲制限装置２２の位置、結像範囲制限装置２２の孔の寸法等は、測定条件に応じて、適宜選定される。

なお、上記実施形態では、結像範囲制限装置２２が、照明装置１４とＭＴＦ測定用格子２４の間に配置されているが、ＭＴＦ測定用格子２４と浸漬装置２６の間に配置された構成でも良い。

次に、キャピラリー・アレイ・シート検査装置１０を用いたキャピラリー・アレイ・シート検査方法を説明する。
まず、検査対象のキャピラリー・アレイ・シート１を、浸漬装置２６に収容されている液体２８内に浸漬されるように浸漬装置２６の所定位置で保持する。次いで、照明装置１４からの照明光を、結像範囲制限装置２２、ＭＴＦ測定用格子２４、およびキャピラリー・アレイ・シート１に照射し、撮像装置１６でＭＴＦ測定用格子２４の像を生成する。

図４は、上記実施形態のキャピラリー・アレイ・シート検査装置１における、照射光の軌跡を模式的に示す図面である。尚、図４では、浸漬装置２６は省略されている。図４に複数の線で示されている照明装置から出射された光は、結像範囲制限装置２２によって結像範囲が制限された後、ＭＴＦ測定用格子２４を通過し、キャピラリー・アレイ・シート１の各貫通孔４内のゲル６のレンズ作用によって、ＭＴＦ測定用格子２４の像を、結像位置に配置されたＣＣＤセンサ２０上に結ばせる。

照明装置から出射された光は、結像範囲制限装置２２によって結像範囲を制限されるので、キャピラリー・アレイ・シート１の隣接する貫通孔４のゲルのレンズ作用によって結ばれる、ＭＴＦ測定用格子２４の像は、結像位置（ＣＣＤセンサ２０上）で重ならない。

図５は、図４のＭＴＦ測定用格子２４からＣＣＤセンサ２０に至る部分を拡大した図面である。図５に示されているように、キャピラリー・アレイ・シート１の隣接する貫通孔４Ａ、４Ｂのゲル６のレンズ作用によって結ばれるそれぞれのＭＴＦ測定用格子の像２４Ａ、２４Ｂは、ＣＣＤ２０上において互いに重ならない。（図５において、ＣＣＤ２０上の像２４Ａ、２４Ｂは、便宜上、ＣＣＤ２０の後方側にずらして表示されている。）この結果、それぞれの貫通孔を通過して結像されたＭＴＦ測定用格子２４の像を、貫通孔毎に独立して検出し、それぞれの像から各貫通孔に対応したＭＴＦの算出を行することができる。

図６は、キャピラリー・アレイ・シートの１つ１つの貫通孔を通過してＣＣＤセンサ２０に結像されたＭＴＦ測定用格子２４の像を模式的に表す図である。S1，S2，S3，S4，S5，S6は、それぞれが、キャピラリー・アレイ・シート１の１つの貫通孔を通過してＣＣＤセンサ２０に結像されたＭＴＦ測定用格子２４の像である。上述したように、結像範囲制限装置２２によって結像範囲が制限された結果、S1，S2，S3，S4，S5，S6の各像が重なり合わず、貫通孔４毎のＭＴＦ測定用格子２４の像が得られる。

図７は、図６の７−７線に沿った光量ラインプロファイルのグラフである。S1は、ゲルが完全に欠落した貫通孔を通して結像されたＭＴＦ測定用格子の像で、S2，S3はゲルが欠落していない貫通孔を通して結像されたＭＴＦ測定用格子の像である。ＣＣＤセンサ２０で得られた各貫通孔に対応したＭＴＦ測定用格子の像は、処理装置において処理され、貫通孔毎の光量ラインプロファイルから次式１により貫通孔毎のＭＴＦが算出され、算出されたＭＴＦとゲル充填状態の判定基準（しきい値）を比較し、貫通孔毎にゲルの充填状態の適否を判定する。

ＭＴＦ={(Imax-Imin)/(Imax+Imin)}×100(%) 式１

ここでImax、Iminとは、ＭＴＦを算出するための値であり、結像されたＭＴＦ測定用格子の像の光量ラインプロファイルの最大光量値（Imax）と最小光量値（Imin）のことである。

一方、結像範囲制限装置が配置されない場合は、S1，S2，S3，S4，S5，S6の各像が重なり合ってしまい、キャピラリー・アレイ・シートの個々の貫通孔と、結像されたＭＴＦ測定用格子の像とを対応付けられない。

図８は、図２の検査装置において結像範囲制限装置を設けない場合、照射光の軌跡を模式的に示す図面である。照明装置から出射された光は、ＭＴＦ測定用格子２４を照明し、キャピラリー・アレイ・シート１の貫通孔４に充填されたゲルのレンズ作用で、ＭＴＦ測定用格子２４の像を結像位置に配置されたＣＣＤセンサ２０上に結ぶ。

図９は、図８のＭＴＦ測定用格子２４から結像位置に配置されたＣＣＤセンサ２０に至るの部分を拡大した図面である。ＭＴＦ測定用格子２４の像は、キャピラリー・アレイ・シート１の貫通孔４に充填されたゲルのレンズ作用で、結像位置に配置されたＣＣＤ２０上に結ばれる。ＣＣＤ２０に結像される、隣接する貫通孔４Ａ’、４Ｂ’によるＭＴＦ測定用格子の像を２４Ａ’、２４Ｂ’を、ＣＣＤ２０の後方側に示す。

図９に示されているように、結像範囲制限装置を設けていない場合には、隣接する貫通孔４Ａ’、４Ｂ’によるＭＴＦ測定用格子の像２４Ａ’、２４Ｂ’は重なり合うため、貫通孔毎のＭＴＦ測定用格子像を検出することができず、貫通孔毎にＭＴＦの算出を行なうことができない。

本発明の前記実施形態に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範囲内で種々の変更、変形が可能である。

例えば、キャピラリー・アレイ・シートにおいては、或る貫通孔にゲルが適切に充填されている場合であっても、その貫通孔に充填されているゲルの表面状態の影響で、その貫通孔を通した結像位置が、他の貫通孔を通した結像位置と異なる場合がある。

このような場合、対物レンズ位置等の光学系の設定が他の貫通孔を通した結像位置で像を得る状態にされていると、その貫通孔を通したＭＴＦ格子の像は、前ピンあるいは後ピンとなり、その像に基づくＭＴＦが判定用のしきい値より低くなってしまい、ゲルが適切に充填されているにもかかわらず、ゲルの充填状態が不適切と判定されてしまうことがある。

このような状況に対処するため、上記実施形態のキャピラリー・アレイ・シート検査装置１の対物レンズを光軸方向に、所定ピッチで所定距離にわたって、例えば１００μｍピッチで３ｍｍ程度、移動可能な構造とし、対物レンズを１００μｍ毎に停止させてＭＴＦ測定用格子の像を撮像できるようにしてもよい。

このような構成のキャピラリー・アレイ・シート検査装着１では、対物レンズを光軸方向に１００μｍピッチで前方あるいは後方に３ｍｍ移動させながら、各位置で各貫通孔を通ったＭＴＦ測定用格子の像を撮像してＭＴＦを測定する。そして、貫通孔毎に、異なった位置で得た像に基づくＭＴＦのうちで最も大きなＭＴＦを当該貫通孔に充填されたゲルによるＭＴＦとして採用して、このＭＴＦをしきい値と比較することによってゲルの充填状態の適否を判定する。

このような測定によれば、貫通孔毎に最適な結像位置で得たＭＴＦ測定用格子の像に基づくＭＴＦを当該貫通孔のＭＴＦとすることになるので、ゲルの表面状態の相違に起因して結像位置が他の貫通孔と異なっていたとしても、このような結像位置の相違に影響されることなく、各貫通孔のゲルの充填状態を正確に判定することができる。

このことを図１０に沿って説明する。図１０は、対物レンズを１００μｍピッチで移動させながら得たＭＴＦ測定用格子の像に基づいて計測したＭＴＦを、２つの貫通孔について、プロットしたグラフ（下側）と、各貫通孔を通したＭＴＦ測定用格子の像の代表的な位置での写真（上側）である。

図１０上側の写真から明らかなように、この例では、○によってプロットされた第１の貫通孔を通したＭＴＦ測定用格子の像は、測定範囲内においては、対物レンズ移動距離（位置）が大きくなるにつれて鮮明になり、△によってプロットされた第２の貫通孔を通したＭＴＦ測定用格子の像は、測定範囲内においては、対物レンズ移動距離（位置）が大きくなるにつれて不鮮明になる傾向にある。すなわち、第１の貫通孔のゲルの方が第２の貫通孔のゲルに比べて、前方（格子）寄りに像を結ばせることになる。

これに対応して図１０下側のグラフに示されているように、○によってプロットされた第１の貫通孔を通したＭＴＦ測定用格子の像に基づくＭＴＦは、測定範囲内においては、対物レンズ移動距離（位置）が大きくなるにつれて高くなり、△によってプロットされた第２の貫通孔を通したＭＴＦ測定用格子の像に基づくＭＴＦは、測定範囲内においては、対物レンズ移動距離（位置）が大きくなるにつれて低くなる傾向にある。

そして、第１および第２の貫通孔のいずれにおいても、測定した最も高いＭＴＦをそれぞれのＭＴＦとして採用し、しきい値と比較することにより、ゲルの表面状態に起因する結像位置の相違に影響されない、ゲル充填状態の正確な判定が可能となる。

以下、本発明の実施例について説明する。

キャピラリー・アレイ・シートの作製
板の中央部に直径０．３２ｍｍの孔が０．４２ｍｍ間隔で、格子状に５×５、２５個配列された、厚さ０．１ｍｍの多孔板２枚を用い、その多孔板の全ての孔に、カーボンブラックで着色したポリカーボネート製中空繊維（外径０．２８ｍｍ、内径０．１８ｍｍ、長さ５００ｍｍ）を通過させ、この２枚の繊維を通過させた多孔板を５０ｍｍ離間させ、離間した多孔板間に、カーボンブラックで着色したポリウレタン樹脂を充填し、長さ５０ｍｍ、２０ｍｍ角の角柱状の、両端に樹脂で固定化されない部分を有する中空繊維配列体を得た。

得られた中空繊維配列体中の中空糸にゲル前駆体溶液とそれぞれ異なる種類の４０ベースの核酸プローブとを気泡を巻き込ませながら充填し、ゲル前駆体溶液を重合させ、その後、ミクロトームにて、繊維軸と直角方向に、厚さ０．２５ｍｍの薄片を切り出すことによりキャピラリー・アレイ・シートを得た。

（実施例１）
得られたキャピラリー・アレイ・シートを滅菌水を入れたガラス製シャーレの中に浸漬し、顕微鏡（オリンパス製ＢＸ６０）のステージ上にセットした。顕微鏡は、コンデンサを取り外し、対物レンズ４倍で、照明装置には顕微鏡に取り付けられた透過照明（ハロゲンランプ）を用いた。キャピラリー・アレイ・シートから15mm下方に、ガラス板に金属を蒸着させて製作したＭＴＦ測定用格子（2lp/mm，厚さ1mm）を取り付け、さらにＭＴＦ測定用格子から65mm下方に、結像範囲制限装置として金属板の中心に６mmφの穴を開けたものを対物レンズの光軸上に金属板の中心が一致するように取り付けた。

手動でフォーカスハンドルを操作したところ、キャピラリー・アレイ・シート表面から5mm上方で格子像が結像した。このキャピラリー・アレイ・シートの1つ1つの貫通孔を通過して結像されたＭＴＦ測定用格子の格子像をＣＣＤセンサ（Photometrics製COOLSNAP）によって画像を撮像した。この画像を図１１に示す。

結像範囲制限装置としての金属板がない状態では、１つ１つの貫通孔を通過して結像されたＭＴＦ測定用格子の各像が重なり合ってしまい、キャピラリー・アレイ・シートの1つ1つの貫通孔と結像されたＭＴＦ測定用格子の像の対応ができなかった。

図１１のＳ１は、ゲルが欠落した貫通孔を通して結像されたＭＴＦ測定用格子の画像である。ＭＴＦを算出すると、15%（空間周波数2lp/mm）であった。図１１のＳ２は、ゲルが充填されている貫通孔を通して結像されたＭＴＦ測定用格子の画像である。ＭＴＦを算出すると、80%（空間周波数2lp/mm）であった。ここで、ゲルが欠落した状態と充填された状態のＭＴＦの判定基準を50%とすれば、算出したＭＴＦによりゲルの欠落を正しく判定できる。

（実施例２）
実施例１と同様に、得られたキャピラリー・アレイ・シートを滅菌水を入れたガラス製シャーレの中に浸漬し、顕微鏡（オリンパス製ＢＸ６０）のステージ上にセットした。顕微鏡は、コンデンサを取り外し、対物レンズ４倍で、照明装置には顕微鏡に取り付けられた透過照明（ハロゲンランプ）を用いた。キャピラリー・アレイ・シートから50mm下方に、結像範囲制限装置として金属板の中心に8mmφの穴を開けたものを対物レンズの光軸上に金属板の中心が一致するように取り付け、さらに結増範囲制限装置から55mm下方に、コピー用紙で製作したＭＴＦ測定用格子（0.16lp/mm，厚さ0.1mm）を取り付けた。

手動でフォーカスハンドルを操作したところ、キャピラリー・アレイ・シート表面から5mm上方で格子像が結像した。このキャピラリー・アレイ・シートの1つ1つの貫通孔を通過して結像されたＭＴＦ測定用格子の格子像をＣＣＤセンサ（Photometrics製COOLSNAP）によって画像を撮像した。この画像を図１２に示す。

図１２のＳ１は、ゲルが欠落した貫通孔を通して結像されたＭＴＦ測定用格子の画像である。ＭＴＦを算出すると、5%（空間周波数0.16lp/mm）であった。写真２のＳ２は、ゲルが充填されている貫通孔を通して結像されたＭＴＦ測定用格子の画像である。ＭＴＦを算出すると、64%（空間周波数0.16lp/mm）であった。ここで、ゲルが欠落した状態と充填された状態のＭＴＦの判定基準を30%とすれば、算出したＭＴＦによりゲルの欠落を正しく判定できる。

キャピラリー・アレイ・シートの一例の構成を示す模式的な平面図である。 本発明の好ましい実施形態のキャピラリー・アレイ・シート検査装置の構成を示す模式的な図面である。 図２のキャピラリー・アレイ・シート検査装置で用いられるＭＴＦ測定用格子の一例を示す模式的な平面図である。 図２のキャピラリー・アレイ・シート検査装置における照射光の軌跡を模式的に示す図面である。 図４のＭＴＦ測定用格子からＣＣＤセンサに至る部分を拡大した図面である。 キャピラリー・アレイ・シートの貫通孔を通過してＣＣＤセンサ２０に結像されたＭＴＦ測定用格子の像を表す模式図である。 図６の７−７線に沿った光量ラインプロファイルのグラフである。 図２の検査装置において結像範囲制限装置を設けない場合の照射光の軌跡を模式的に示す図面である。 図８のＭＴＦ測定用格子からＣＣＤセンサに至る部分を拡大した図面である。 対物レンズを１００μｍピッチで移動させながら得たＭＴＦ測定用格子の像に基づいて計測したＭＴＦを、２つの貫通孔について、プロットしたグラフ（下側）と、各貫通孔を通したＭＴＦ測定用格子の像の代表的な位置での写真（上側）である。 本発明の実施例１で得られた画像の写真である。 本発明の実施例２で得られた画像の写真である。

符号の説明

１：キャピラリー・アレイ・シート
２：基材部
４：貫通孔
６：ゲル
１０：キャピラリー・アレイ・シート検査装置
１４：照明装置
１６：撮像装置
２０：ＣＣＤセンサ
２２：結像範囲制限装置
２４：ＭＴＦ（モデュレーション トランスファー ファンクション）測定用格子
２６：浸漬装置

Claims (7)

1. ゲルが充填された貫通孔を備えたキャピラリー・アレイ・シートのゲル欠陥を検査するためのキャピラリー・アレイ・シート検査装置であって、
   光源を備えた照明装置と、
   前記光源からの照明光を照射される格子パターンと、
   前記格子パターンを通過した光が前記ゲルが充填された貫通孔に入射するように、キャピラリー・アレイ・シートを保持するキャピラリー・アレイ・シート保持手段と、
   前記キャピラリー・アレイ・シートの貫通孔に充填されたゲルによって結ばれた前記格子パターンの像を撮像する撮像手段と、
   前記撮像手段における前記格子パターンの像の範囲を制限する結像範囲制限手段と、備えている、
   ことを特徴とするキャピラリー・アレイ・シート検査装置。
2. 前記結像範囲制限手段が、キャピラリー・アレイ・シートの隣接する貫通孔に充填されたゲルによって結ばれた格子パターンの像が前記撮像手段において重ならないように像の範囲を制限するものである、
   請求項１に記載のキャピラリー・アレイ・シート検査装置。
3. 前記結像範囲制限手段が、中央に小孔が形成された板状部材である、
   請求項１または２に記載のキャピラリー・アレイ・シート検査装置。
4. 前記小孔の寸法が可変である、
   請求項３に記載のキャピラリー・アレイ・シート検査装置。
5. 前記格子パターンが、ＭＴＦ測定用格子である、
   請求項１ないし４のいずれか１項に記載のキャピラリー・アレイ・シート検査装置。
6. 前記キャピラリー・アレイ・シート保持手段が内部に液体を収容可能であり、前記キャピラリー・アレイ・シートは前記キャピラリー・アレイ・シート保持手段内に保持されるとき、前記照明装置と撮像装置を結ぶ線に直交する向きで前記液体内に浸漬される、
   請求項１ないし５のいずれか１項に記載のキャピラリー・アレイ・シート検査装置。
7. 請求項５または６に記載されたキャピラリー・アレイ・シート検査装置の撮像装置で撮像されたＭＴＦ測定用格子の像に基づいて算出されたＭＴＦにより、検査対象のキャピラリー・アレイ・シートの各貫通孔におけるゲル欠陥を検出するステップを備えている、
   ことを特徴とするキャピラリー・アレイ・シート検査方法。

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