JP2008101975A - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査パネルの画像を取り込むラインセンサーカメラと、当該ラインセンサーカメラと前記検査パネルとを相対的にずらす移動手段と、当該移動手段で前記ラインセンサーカメラと前記検査パネルとの間を設定速度で相対的にずらしながら、前記ラインセンサーカメラでスキャンして検査パネルの画像を取り込む制御部とを備えた検査装置である。前記制御部は、前記ラインセンサーカメラによるスキャンを、前記検査パネルの1画素に対して整数回になるように設定した。
【選択図】 図1
Description
スキャンレートの設定
スキャンレート(1ラインの画像を取り込む時間)は次のように容易に変更することができる。
分解能60μm/画素(300mm/5000画素)
スキャンレート400μsの場合
分解能120μm/画素(300mm/2500画素)
このように、スキャンレートを変更することで、分解能を容易に変更することができる。
パネルピクセルピッチ500μm、移動手段によるステージ速度300mm/sec、縦横分解能67μm、スキャンレート225μsで画像を取り込んで処理を行った。
1画素のピッチの違う(品種の違う)パネルの1画素のピッチに、ラインセンサーカメラ2による画素数を合わせることで、差分画像(数画素シフトさせて減算処理した画像)のノイズを低減させることができる。
2 ラインセンサーカメラ
3 斜光照明装置
4 制御部
5 パネル
Claims (3)
- 検査パネルの画像を取り込むラインセンサーカメラと、当該ラインセンサーカメラと前記検査パネルとを相対的にずらす移動手段と、当該移動手段で前記ラインセンサーカメラと前記検査パネルとの間を設定速度で相対的にずらしながら、前記ラインセンサーカメラでスキャンして検査パネルの画像を取り込む制御部とを備えた検査装置において、
前記制御部が、前記ラインセンサーカメラによるスキャンを、前記検査パネルの1画素に対して整数回になるように設定したことを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記制御部が、1回のスキャンによる1ラインの画像読み取り時間を変えて、前記ラインセンサーカメラによるスキャンが前記検査パネルの1画素に対して整数回になるように設定したことを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記制御部が、前記移動手段でラインセンサーカメラと前記検査パネルとを相対的にずらす速度を変えて、前記ラインセンサーカメラによるスキャンが前記検査パネルの1画素に対して整数回になるように設定したことを特徴とする検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006283775A JP2008101975A (ja) | 2006-10-18 | 2006-10-18 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006283775A JP2008101975A (ja) | 2006-10-18 | 2006-10-18 | 検査装置 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008101975A true JP2008101975A (ja) | 2008-05-01 |
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JP (1) | JP2008101975A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106404349A (zh) * | 2016-10-14 | 2017-02-15 | 山西省交通科学研究院 | 一种线阵相机测试试验系统 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10185830A (ja) * | 1996-12-25 | 1998-07-14 | Canon Inc | 透明シート検査装置 |
JPH1114550A (ja) * | 1997-06-27 | 1999-01-22 | Hitachi Ltd | 撮像方法及び装置 |
JP2000121570A (ja) * | 1998-10-20 | 2000-04-28 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 欠陥検査装置 |
-
2006
- 2006-10-18 JP JP2006283775A patent/JP2008101975A/ja active Pending
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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