JP2008078553A - 現像ローディング測定方法および現像ローディング測定基板 - Google Patents
現像ローディング測定方法および現像ローディング測定基板 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008078553A JP2008078553A JP2006258782A JP2006258782A JP2008078553A JP 2008078553 A JP2008078553 A JP 2008078553A JP 2006258782 A JP2006258782 A JP 2006258782A JP 2006258782 A JP2006258782 A JP 2006258782A JP 2008078553 A JP2008078553 A JP 2008078553A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- development
- exposed
- resist film
- electron beam
- exposure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
【解決手段】あらかじめ、foggingが発生しない露光方法によりレジスト膜を露光し、前記レジスト膜の未露光部を電子線で露光することにより、電子線露光時のfoggingの影響を抑えながら、密なパターン領域を形成することが出来る。このため、電子線露光時のfoggingの影響を受けず、現像することが出来、現像ローディングを正確に評価することが可能となる。
【選択図】 図3
Description
ここで、近傍とは、光を用いて露光を行ったレジスト膜の露光部から現像ローディングの影響を受ける範囲であり、充分に離れたとは、光を用いて露光を行ったレジスト膜の露光部から現像ローディングの影響を受けない範囲であるものとする。
ここで、近傍とは、光を用いて露光を行ったレジスト膜の露光部から現像ローディングの影響を受ける範囲であり、充分に離れたとは、光を用いて露光を行ったレジスト膜の露光部から現像ローディングの影響を受けない範囲であるものとする。
あらかじめ、foggingが発生しない露光方法によりレジスト膜を露光し、前記レジスト膜の未露光部を電子線で露光することにより、電子線露光時のfoggingの影響を抑えながら、密なパターン領域を形成することが出来る。
このため、現電子線露光時のfoggingの影響を受けず、現像されたパターンを得ることが出来、現像ローディングを正確に評価することが可能となる。
まず、基板上にレジスト膜を形成する。
また、上記レジストは、露光部が現像時に除去されるポジ型、露光部が現像時に残存するネガ型のいずれであってもよい。
次に、基板に塗布したレジスト膜に、光を用いて露光を行う。
特に、フォトマスクを用いたアライナーを使用する露光方法は大面積を一工程で露光することが可能なため、後述するテストパターンに必要な大開口部を有する大面積のパターンの露光を行うのに好適である。
次に、光を用いて露光を行ったレジスト膜の露光部近傍の未露光部分と、露光部分から充分に離れた未露光部分とに、電子線による露光を行う。
ここで、近傍とは、光を用いて露光を行ったレジスト膜の露光部から現像ローディングの影響を受ける範囲(パターンが密な領域)であり、充分に離れたとは、光を用いて露光を行ったレジスト膜の露光部から現像ローディングの影響を受けない範囲(パターンが疎な領域)であるものとする。
図3(e)において、12Aは、パターンが密な領域に電子線で露光したパターンであり、光を用いて大開口部に露光したテストパターンに囲まれるように露光されている。
また、12Bは、パターンが疎な領域に電子線で露光したパターンである。
次に、露光されたレジスト膜に、現像処理を行う。
次に、現像処理を行った後のパターン寸法を測定し、現像ローディングの影響を評価する。
大面積を露光するためのフォトマスク(以下大開口フォトマスク)の製造方法を図2に示す。
まず、大開口フォトマスクの元となる基板として、Cr遮光膜付き6インチQz基板(図2(a))を準備し、この基板に電子線用ポジ型レジスト(ZEP520/日本ゼオン)を500nm厚コートし、電子線描画装置にて大面積を描画し(図2(b))、有機現像によりレジストパターンを形成(図2(c))した。
このとき、描画時の条件はドーズを100μC/cm2、有機現像の条件は現像時間を2分とした。(?この条件で当業者は再試を行うことが出来ますか?現像液は?)
以上より、大開口部フォトマスク(図2(e))を製造した。
現像ローディング評価用基板の製造方法を図3に示す。
現像ローディング評価用の基板として、Cr遮光膜付き6インチQz基板を準備し、この基板に化学増幅型電子線用ポジ型レジストを200nm厚コートした。
次に、パドル現像を用いて、現像液の吐出回数が1回のレシピ、2回のレシピ、3回のレシピを用意し、上記3枚の基板にてそれぞれ現像処理を行った。
次に、上記3枚の基板について、走査型電子顕微鏡にて50000倍の倍率でパターン12A’とパターン12B’の400nmのスペースパターンを測長した。
得られたパターン幅より、現像液の吐出回数が1回ではパターン疎密による寸法差が大きかったが、吐出回数が3回ではパターン疎密による寸法差がほとんどなくなっており、現像液の吐出回数を3回にすることにより現像ローディングを改善出来た。
2…基板で反射した電子がチャンバー内で更に反射し、レジストに再入射する電子
3…電子線露光機チャンバー
4…電子線用レジスト
4’…電子線用化学増幅レジスト
5…Cr遮光膜
6…6インチガラス基板
6A…大開口部露光用フォトマスク基板
7…電子線による露光
8…大開口部
9…光による露光
10…光により露光されたレジスト感光部
10’…大開口部
11…電子線により露光されたテストパターン
12A…大開口部の中のテストパターン露光部
12A’…大開口部の中のテストパターン現像後
12B…未開口部の中のテストパターン露光部
12B’…未開口部の中のテストパターン現像後
Claims (6)
- 電子線露光における現像ローディング測定方法において、
基板上に、レジスト膜を形成する工程と、
前記レジスト膜に、光を用いて露光を行う工程と、
前記光を用いて露光を行ったレジスト膜の露光部近傍の未露光部分と、前記光を用いて露光を行ったレジスト膜の露光部分から充分に離れた未露光部分とに、電子線による露光を行う工程と、
前記露光されたレジスト膜に、現像処理を行う工程と、
電子線によりレジスト膜に形成されたパターンを測定する工程と
を行うことを特徴とする現像ローディング測定方法。 - 請求項1に記載の現像ローディング測定方法であって、
光を用いて露光を行う工程として、フォトマスクを用いたアライナーを使用すること
を特徴とする現像ローディング測定方法。 - 請求項1に記載の現像ローディング測定方法であって、
光を用いて露光を行う工程として、レーザー描画機を使用すること
を特徴とする現像ローディング測定方法。 - 電子線露光されたレジスト膜の現像処理方法において、
請求項1から3のいずれかに記載の現像ローディング測定方法を行う工程と、
前記現像ローディング測定方法から得られた条件で現像処理を行う工程と
を行うことを特徴とする現像処理方法。 - 請求項4に記載の現像処理方法を用いたフォトマスク。
- 基板上にレジスト膜が設けられた現像ローディング測定基板であって、
前記レジスト膜を光によって露光された大開口露光部と、
前記大開口露光部の近傍に設けられ、前記レジスト膜を電子線によって露光された第一のパターンと、
前記大開口露光部から充分に離れた部位に設けられ、前記レジスト膜を電子線によって露光された第二のパターンと
を備えたことを特徴とする現像ローディング測定基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006258782A JP5034410B2 (ja) | 2006-09-25 | 2006-09-25 | 現像ローディング測定方法および現像ローディング測定基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006258782A JP5034410B2 (ja) | 2006-09-25 | 2006-09-25 | 現像ローディング測定方法および現像ローディング測定基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008078553A true JP2008078553A (ja) | 2008-04-03 |
JP5034410B2 JP5034410B2 (ja) | 2012-09-26 |
Family
ID=39350280
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006258782A Expired - Fee Related JP5034410B2 (ja) | 2006-09-25 | 2006-09-25 | 現像ローディング測定方法および現像ローディング測定基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5034410B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011077071A (ja) * | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Toppan Printing Co Ltd | 基板処理方法及び基板処理装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11102062A (ja) * | 1997-07-31 | 1999-04-13 | Toshiba Corp | マスクデータ作成方法及びその作成装置、マスクデータ補正方法及びマスクデータ補正装置コンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
JP2001274074A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-10-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 図形データ分割方法、露光方法、パターン形成方法及び半導体装置 |
JP2003045791A (ja) * | 2001-07-21 | 2003-02-14 | Samsung Electronics Co Ltd | 電子ビームリソグラフィ時に線幅変化を補正して露光する方法及びこれを記録した記録媒体 |
JP2003303768A (ja) * | 2002-02-08 | 2003-10-24 | Toshiba Corp | パターン形成方法および描画方法 |
JP2004127967A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-04-22 | Toshiba Corp | 荷電粒子ビーム描画装置 |
JP2004333529A (ja) * | 2003-04-30 | 2004-11-25 | Sony Corp | 露光マスクの作製方法 |
JP2006210840A (ja) * | 2005-01-31 | 2006-08-10 | Toshiba Corp | パターン形成方法、フォトマスクの製造方法、半導体装置の製造方法およびプログラム |
JP2007258659A (ja) * | 2006-02-21 | 2007-10-04 | Nuflare Technology Inc | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 |
-
2006
- 2006-09-25 JP JP2006258782A patent/JP5034410B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11102062A (ja) * | 1997-07-31 | 1999-04-13 | Toshiba Corp | マスクデータ作成方法及びその作成装置、マスクデータ補正方法及びマスクデータ補正装置コンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
JP2001274074A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-10-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 図形データ分割方法、露光方法、パターン形成方法及び半導体装置 |
JP2003045791A (ja) * | 2001-07-21 | 2003-02-14 | Samsung Electronics Co Ltd | 電子ビームリソグラフィ時に線幅変化を補正して露光する方法及びこれを記録した記録媒体 |
JP2003303768A (ja) * | 2002-02-08 | 2003-10-24 | Toshiba Corp | パターン形成方法および描画方法 |
JP2004127967A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-04-22 | Toshiba Corp | 荷電粒子ビーム描画装置 |
JP2004333529A (ja) * | 2003-04-30 | 2004-11-25 | Sony Corp | 露光マスクの作製方法 |
JP2006210840A (ja) * | 2005-01-31 | 2006-08-10 | Toshiba Corp | パターン形成方法、フォトマスクの製造方法、半導体装置の製造方法およびプログラム |
JP2007258659A (ja) * | 2006-02-21 | 2007-10-04 | Nuflare Technology Inc | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011077071A (ja) * | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Toppan Printing Co Ltd | 基板処理方法及び基板処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5034410B2 (ja) | 2012-09-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10012898B2 (en) | EUV mask for monitoring focus in EUV lithography | |
US20050085085A1 (en) | Composite patterning with trenches | |
US20060257749A1 (en) | Method for reducing critical dimension | |
JP2012208350A (ja) | レジストパターンの形成方法、立体構造の製造方法、及び半導体装置の製造方法 | |
US20080085479A1 (en) | Pattern forming method and device production process using the method | |
KR100907887B1 (ko) | 하프톤형 위상 시프트 마스크의 제조방법 | |
JP5034410B2 (ja) | 現像ローディング測定方法および現像ローディング測定基板 | |
JP2002099072A (ja) | フォトマスク製造方法 | |
JPH09218500A (ja) | レジストパターンの作製方法 | |
KR20090108268A (ko) | 바이너리 마스크의 패턴 선폭 보정방법 | |
JP2004264102A (ja) | Semシュリンク量測定方法および測長sem装置 | |
JP3861851B2 (ja) | レジストパターン形成方法および半導体装置の製造方法 | |
JP2003167351A (ja) | レジストパターンの形成方法 | |
KR100496815B1 (ko) | 화학적 팽창 공정을 이용한 반도체 소자 제조방법 | |
KR100856620B1 (ko) | 반도체 웨이퍼의 노광 방법 및 이를 적용한 포토리소그라피 시스템 | |
KR101034540B1 (ko) | 위상 반전 마스크 제조 방법 | |
JP2004029482A (ja) | パターン形成方法 | |
JPH10312994A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2010232302A (ja) | 現像ローディング評価パターン、それを用いた評価方法、現像ローディング評価用マスク、および現像方法、並びに電子ビーム露光装置 | |
KR100401517B1 (ko) | 반도체 제조용 노광 마스크의 제조방법 | |
JP5223197B2 (ja) | パターン測定方法及び、フォトマスクの検査方法 | |
TW202125095A (zh) | 微影模擬以及光學鄰近校正 | |
KR100855264B1 (ko) | 포토 공정 마진 개선방법 | |
JP2012078552A (ja) | フォトマスク作製方法 | |
KR20010008594A (ko) | 반도체소자의 포토마스크 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090825 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100825 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120321 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120515 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120605 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120618 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150713 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |