JP2008076399A - 間接的な照明を用いて表面の特性を解析する装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面の特性を解析する装置(1)であって、解析される表面(9)に直接的に放射を発する第1の放射デバイス(4)と、解析される表面(9)を間接的に照明する第1の照明デバイス(6、7)と、少なくとも1つの第1の放射検出デバイス(8)であって、解析される表面(9)から戻される該放射の少なくとも一部分を受信し、該放射の該一部分の特性である少なくとも1つの信号を出力する、少なくとも1つの第1の放射検出デバイスとを備え、放射散乱デバイス(10、11)が提供され、該放射散乱デバイス(10、11)は、該第1の照明デバイス(6、7)によって少なくとも部分的に照明され、該放射散乱デバイス(10、11)は、解析される表面(9)上に散乱された放射を伝達することを特徴とする、装置。
【選択図】図2
Description
表面の特性を解析する装置(1)であって、
解析される表面(9)に直接的に放射を発する第1の放射デバイス(4)と、
解析される該表面(9)を間接的に照明する第1の照明デバイス(6、7)と、
少なくとも1つの第1の放射検出デバイス(8)であって、解析される該表面(9)から戻される該放射の少なくとも一部分を受信し、該放射のこの一部分の特性である少なくとも1つの信号を出力する、少なくとも1つの第1の放射検出デバイスと
を備え、
放射散乱デバイス(10、11)が提供され、
該放射散乱デバイス(10、11)は、該第1の照明デバイス(6、7)によって少なくとも部分的に照明され、該放射散乱デバイス(10、11)は、解析される該表面(9)上に散乱された放射を伝達すること
を特徴とする、装置。
上記放射散乱デバイス(10、11)は、本質的に、放射吸収領域によって完全に包囲されていること
を特徴とする、項目1に記載の装置。
上記放射散乱デバイス(10)は、平面(E)の外に配置されており、
該平面(E)は、
光線が、上記第1の放射デバイス(4)から上記表面(9)に伝達される、第1の放射方向(R1)と、
該表面(9)と上記放射検出デバイス(8)との間を延びている、第2の放射方向と
を介して配置されていること
を特徴とする、項目1〜2の少なくとも一項に記載の装置。
第2の放射散乱デバイス(11)が提供され、
上記第1の放射散乱デバイス(10)および該第2の放射散乱デバイス(11)は、上記装置(1)の中央の平面(E)に関して、本質的に対称的に配置されていること
を特徴とする、項目1〜3の少なくとも一項に記載の装置。
上記第1の放射散乱デバイス(11)および上記第1の照明デバイス(6)は、上記中央の平面(E)に関して、異なる側に配置されていること
を特徴とする、項目1〜4の少なくとも一項に記載の装置。
2つの放射散乱デバイス(10、11)が提供され、
該2つの放射散乱デバイス(10,11)は、上記中央の平面に関して、対称的に配置されており、
上記2つの照明デバイス(6、7)はまた、該中央の平面(E)に関して、該2つの照明デバイス(6、7)の反対に配置されている該放射散乱デバイス(10、11)をそれぞれ照明すること
を特徴とする、項目5に記載の装置。
少なくとも1つの照明デバイス(6、7)は、放射散乱デバイス(10、11)内に配置されていること
を特徴とする、項目1〜6の少なくとも一項に記載の装置。
上記装置は、開口(13)を有する筐体(3)を有しており、
該開口(13)を介して、上記表面(9)が照明され得ること
を特徴とする、項目1〜7の少なくとも一項に記載の装置。
上記放射散乱デバイス(10、11)は、上記筐体(3)の側壁(3a)に配置されていること
を特徴とする、項目8に記載の装置。
少なくとも1つの放射散乱デバイス(10、11)は、上記表面(9)に垂直な方向に、該表面(9)から離れて配置されていること
を特徴とする、項目1〜9の少なくとも一項に記載の装置。
放射散乱ボディ(29)が提供され、
該放射散乱ボディ(29)は、少なくとも上記中央の平面(E)における一部のセクションを走っていること
を特徴とする、項目1〜10の少なくとも一項に記載の装置。
上記装置は、少なくとも1つの放射吸収カバーデバイスを有しており、
該少なくとも1つの放射吸収カバーデバイスにより、少なくとも1つの放射散乱デバイス(10、11)がカバーされ得ること
を特徴とする、項目1〜11の少なくとも一項に記載の装置。
表面の特性を解析する方法であって、
解析される表面(9)は、第1の照明デバイス(6、7)によって間接的に照明され、
該表面(9)から戻される放射は、放射検出デバイス(8)によって少なくとも部分的に受信され、
該放射検出デバイスによって受信された該放射の特性である信号が出力され、
放射散乱デバイス(10、11)が提供され、
該放射散乱デバイス(10、11)は、該第1の照明デバイス(4)によって少なくとも部分的に照明され、該放射散乱デバイス(10、11)は、解析される該表面(9)上に散乱された放射を伝達すること
を特徴とする、方法。
明度を見出すための、項目1〜12の少なくとも一項に記載の装置の使用、または項目13に記載の方法の使用。
表面の特性を解析する装置(1)であって、解析される表面(9)に直接的に放射を発する第1の放射デバイス(4)と、解析される表面(9)を間接的に照明する第1の照明デバイス(6、7)と、第1の放射検出デバイス(8)であって、解析される表面(9)から戻される放射の少なくとも一部分を受信し、放射の一部分の特性である少なくとも1つの信号を出力する、第1の放射検出デバイスと、を備える。本発明にしたがうと、放射散乱デバイス(10、11)が提供され、放射散乱デバイス(10、11)は、第1の照明デバイス(6、7)によって少なくとも部分的に照明され、放射散乱デバイス(10、11)は、解析される表面(9)上に散乱された放射を伝達する。
2 観察領域
3 筐体
3a 側壁
3b 筐体のベース
4 第1の放射デバイス
5 さらなる放射デバイス
6 照明デバイス
7 照明デバイス
8 放射検出デバイス
9 表面
10、11 放射散乱デバイス
12a、12b レンズシステム
13 開口
14 キャリアホイール
15 キャリア
15a、15b キャリア15の表面
16 放射散乱デバイスの上部領域
17 エッジ
18 放射散乱デバイスの下部領域
20 放射散乱デバイスの開口
22 吸収領域
23 周辺エッジ
24 さらなる放射検出デバイス
25 固定エレメント
26 キャリア
27 カットアウト
28 吸収伝達領域
29 放射散乱ボディ
31 レンズ
32 ビームスプリッタ
A 線
B 線
E 中央の表面
M 中央の垂直な線
R1 方向
R2 方向
Claims (14)
- 表面の特性を解析する装置(1)であって、
解析される表面(9)に直接的に放射を発する第1の放射デバイス(4)と、
解析される該表面(9)を間接的に照明する第1の照明デバイス(6、7)と、
少なくとも1つの第1の放射検出デバイス(8)であって、解析される該表面(9)から戻される該放射の少なくとも一部分を受信し、該放射のこの一部分の特性である少なくとも1つの信号を出力する、少なくとも1つの第1の放射検出デバイスと
を備え、
放射散乱デバイス(10、11)が提供され、
該放射散乱デバイス(10、11)は、該第1の照明デバイス(6、7)によって少なくとも部分的に照明され、該放射散乱デバイス(10、11)は、解析される該表面(9)上に散乱された放射を伝達すること
を特徴とする、装置。 - 前記放射散乱デバイス(10、11)は、本質的に、放射吸収領域によって完全に包囲されていること
を特徴とする、請求項1に記載の装置。 - 前記放射散乱デバイス(10)は、平面(E)の外に配置されており、
該平面(E)は、
光線が、前記第1の放射デバイス(4)から前記表面(9)に伝達される、第1の放射方向(R1)と、
該表面(9)と前記放射検出デバイス(8)との間を延びている、第2の放射方向と
を介して配置されていること
を特徴とする、請求項1〜2の少なくとも一項に記載の装置。 - 第2の放射散乱デバイス(11)が提供され、
前記第1の放射散乱デバイス(10)および該第2の放射散乱デバイス(11)は、前記装置(1)の中央の平面(E)に関して、本質的に対称的に配置されていること
を特徴とする、請求項1〜3の少なくとも一項に記載の装置。 - 前記第1の放射散乱デバイス(11)および前記第1の照明デバイス(6)は、前記中央の平面(E)に関して、異なる側に配置されていること
を特徴とする、請求項1〜4の少なくとも一項に記載の装置。 - 2つの放射散乱デバイス(10、11)が提供され、
該2つの放射散乱デバイス(10,11)は、前記中央の平面に関して、対称的に配置されており、
前記2つの照明デバイス(6、7)はまた、該中央の平面(E)に関して、該2つの照明デバイス(6、7)の反対に配置されている該放射散乱デバイス(10、11)をそれぞれ照明すること
を特徴とする、請求項5に記載の装置。 - 少なくとも1つの照明デバイス(6、7)は、放射散乱デバイス(10、11)内に配置されていること
を特徴とする、請求項1〜6の少なくとも一項に記載の装置。 - 前記装置は、開口(13)を有する筐体(3)を有しており、
該開口(13)を介して、前記表面(9)が照明され得ること
を特徴とする、請求項1〜7の少なくとも一項に記載の装置。 - 前記放射散乱デバイス(10、11)は、前記筐体(3)の側壁(3a)に配置されていること
を特徴とする、請求項8に記載の装置。 - 少なくとも1つの放射散乱デバイス(10、11)は、前記表面(9)に垂直な方向に、該表面(9)から離れて配置されていること
を特徴とする、請求項1〜9の少なくとも一項に記載の装置。 - 放射散乱ボディ(29)が提供され、
該放射散乱ボディ(29)は、少なくとも前記中央の平面(E)における一部のセクションを走っていること
を特徴とする、請求項1〜10の少なくとも一項に記載の装置。 - 前記装置は、少なくとも1つの放射吸収カバーデバイスを有しており、
該少なくとも1つの放射吸収カバーデバイスにより、少なくとも1つの放射散乱デバイス(10、11)がカバーされ得ること
を特徴とする、請求項1〜11の少なくとも一項に記載の装置。 - 表面の特性を解析する方法であって、
解析される表面(9)は、第1の照明デバイス(6、7)によって間接的に照明され、
該表面(9)から戻される放射は、放射検出デバイス(8)によって少なくとも部分的に受信され、
該放射検出デバイスによって受信された該放射の特性である信号が出力され、
放射散乱デバイス(10、11)が提供され、
該放射散乱デバイス(10、11)は、該第1の照明デバイス(4)によって少なくとも部分的に照明され、該放射散乱デバイス(10、11)は、解析される該表面(9)上に散乱された放射を伝達すること
を特徴とする、方法。 - 明度を見出すための、請求項1〜12の少なくとも一項に記載の装置の使用、または請求項13に記載の方法の使用。
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