JP2008070661A - Photosensitive paste composition and baked material pattern formed using the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、プラズマディスプレイパネル(以下、PDPと略称する)に詳細な電極パターン、ブラックマトリックスパターン、隔壁パターン及び誘電体パターンを形成するのに有用な感光性ペースト組成物及びそれを用いて形成された焼成物パターンに関するものである。 The present invention is a photosensitive paste composition useful for forming a detailed electrode pattern, black matrix pattern, barrier rib pattern and dielectric pattern on a plasma display panel (hereinafter abbreviated as PDP), and is formed using the same. This relates to a fired product pattern.
PDPはプラズマ放電による発光を利用して映像や情報の表示を行なう平面ディスプレイでる。このPDPによるカラー表示の原理は、リブ(隔壁)によって離間された前面ガラス基板と背面ガラス基板に形成された対向する両電極間のセル空間(放電空間)内でプラズマ放電を生じさせ、各セル空間内に封入されているHe、Xe等のガスの放電により発生する紫外線で背面ガラス基板内面に形成された蛍光体を励起し、3原色の可視光を発生させるものである。以下、添付図面を参照しながら簡単に説明する。 The PDP is a flat display that displays images and information using light emission by plasma discharge. The principle of color display by this PDP is that plasma discharge is generated in the cell space (discharge space) between the opposing electrodes formed on the front glass substrate and the rear glass substrate separated by ribs (partition walls), and each cell. The phosphor formed on the inner surface of the rear glass substrate is excited by ultraviolet rays generated by the discharge of a gas such as He or Xe enclosed in the space to generate visible light of the three primary colors. Hereinafter, it will be briefly described with reference to the accompanying drawings.
図1は、フルカラー表示、3電極構造の面放電方式PDPの構造例を部分的に示している。前面ガラス基板1の下面には、放電のための透明電極3a、3bと該透明電極のライン抵抗を下げるためのバス電極4a、4bとから成る一対の表示電極2a、2bが所定のピッチで多数列設されている。これらの表示電極2a、2bの上には、電荷を蓄積するための透明誘電体層5(低融点ガラス)が印刷、焼成によって形成され、その上に保護層(MgO)6が蒸着されている。保護層6は、表示電極の保護、放電状態の維持等の役割を有している。一方、背面ガラス基板11の上には、放電空間を区画するストライプ状のリブ(隔壁)12と各放電空間内に配されたアドレス電極(データ電極)13が所定のピッチで多数列設されている。また、各放電空間の内面には、赤(14a)、青(14b)、緑(14c)の3色の蛍光体膜が規則的に配され、フルカラー表示においては、前記のように赤、青、緑の3原色の蛍光体膜14a、14b、14cで1つの画素が構成される。
FIG. 1 partially shows an example of the structure of a surface discharge PDP having a full color display and a three-electrode structure. On the lower surface of the
なお、上記構造のPDPでは、一対の表示電極2aと2bの間に交流のパルス電圧を印加し、同一基板上の電極間で放電させるので、「面放電方式」と呼ばれている。
In the PDP having the above structure, an alternating pulse voltage is applied between the pair of
また、上記構造のPDPでは、放電により発生した紫外線が背面基板11の蛍光体膜14a、14b、14cを励起し、発生した可視光を前面基板1の透明電極3a、3bを透して見る構造となっている(反射型)。
In the PDP having the above structure, ultraviolet light generated by discharge excites the
近年、このような構造のPDPにおいては、画質向上のためパターン加工において高密度化、高精細化が要求されている。そこでフォトリソグラフィー法によるパターニングが行なわれてきた。 In recent years, a PDP having such a structure has been required to have higher density and higher definition in pattern processing in order to improve image quality. Therefore, patterning by photolithography has been performed.
しかしPDP用感光性ペーストには光透過性の極めて低い無機材料が多量に含有されるため、露光の際、光硬化深度の不足により焼成時にパターンのよれや線幅収縮、反り等が起こりやすいといった問題があった。 However, since the PDP photosensitive paste contains a large amount of an inorganic material having a very low light transmittance, the pattern is liable to shrink, warp, warp, or the like during firing due to insufficient photocuring depth during exposure. There was a problem.
本発明は、前記したような従来技術が抱える課題を解決するためになされたものであり、高精度で且つ優れた硬化深度を示す電極パターン等の焼成物パターンを形成することができる感光性ペースト組成物を提供することを目的とする。 The present invention has been made in order to solve the above-described problems of the prior art, and is a photosensitive paste capable of forming a fired product pattern such as an electrode pattern having high accuracy and excellent curing depth. An object is to provide a composition.
前記目的を達成するために、本発明の第一の態様によれば、(A)無機微粒子、(B)有機バインダー、(C)光重合性モノマー、及び(D)光重合開始剤を含有する感光性ペースト組成物であって、光重合開始剤(D)として(D−1)2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1および/または2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルフォリニル)フェニル]−1−ブタノンと、(D−2)下記式(1)で示される化合物および/または下記式(2)で示される化合物とが併用され、化合物(D−2)の配合率が光重合開始剤(D)の全質量に対して50質量%未満である感光性ペースト組成物が提供される。
本発明の一形態において、化合物(D−1)および化合物(D−2)相互の質量比は95:5〜60:40の範囲である。 In one embodiment of the present invention, the mass ratio between the compound (D-1) and the compound (D-2) is in the range of 95: 5 to 60:40.
さらに本発明の他の態様によれば、このような感光性ペースト組成物から形成されたプラズマディスプレイパネルの隔壁パターン、誘電体パターン、電極パターン及びブラックマトリックスパターンから選択される焼成物パターンが提供される。 Furthermore, according to another aspect of the present invention, there is provided a fired product pattern selected from a partition pattern, a dielectric pattern, an electrode pattern and a black matrix pattern of a plasma display panel formed from such a photosensitive paste composition. The
なお、本発明の感光性ペースト組成物は、ペースト状形態であってもよく、また予めフィルム状に製膜したドライフィルムの形態であってもよい。 The photosensitive paste composition of the present invention may be in the form of a paste or may be in the form of a dry film previously formed into a film.
本発明の感光性ペースト組成物は、光硬化性や解像性に優れ、優れた光硬化深度を示す。そのため、光硬化むらが生じ難くなる結果、焼成の際の反りや線幅収縮が生じ難くなり、高アスペクト比かつ高精度のパターン加工が可能となる。従って、プラズマディスプレイパネルの作製にあたり、高アスペクト比かつ高精度な焼成物パターンを高歩留まりで生産性良く形成できる。 The photosensitive paste composition of this invention is excellent in photocurability and resolution, and shows the outstanding photocuring depth. As a result, non-uniformity of photocuring is less likely to occur, so that warping and line width shrinkage during firing are less likely to occur, and pattern processing with a high aspect ratio and high accuracy is possible. Therefore, when manufacturing a plasma display panel, a fired product pattern having a high aspect ratio and high accuracy can be formed with high yield and high productivity.
以下、本発明の感光性ペースト組成物の各成分について説明する。
無機微粒子(A)の内容は、所望の焼成物パターンによって異なる。まず電極パターン形成の場合には、導電性粉末(導電性金属粉又は/及び金属酸化物)が用いられるが、後述するように焼成性を向上させるために適量のガラス微粒子を併用することが好ましく、また黒色電極パターンを形成する場合にはさらに黒色顔料も用いられる。一方、ブラックマトリックスパターンの場合にはガラス微粒子と黒色顔料が用いられ、隔壁パターン及び誘電体パターンの形成にはガラス微粒子が用いられる。
Hereinafter, each component of the photosensitive paste composition of this invention is demonstrated.
The content of the inorganic fine particles (A) varies depending on the desired fired product pattern. First, in the case of electrode pattern formation, conductive powder (conductive metal powder or / and metal oxide) is used, but it is preferable to use an appropriate amount of glass fine particles in combination in order to improve firing properties as described later. Further, when forming a black electrode pattern, a black pigment is also used. On the other hand, in the case of a black matrix pattern, glass fine particles and a black pigment are used, and glass fine particles are used for forming the partition pattern and the dielectric pattern.
ガラス微粒子としては、ガラス転移点(Tg)300〜500℃、ガラス軟化点(Ts)400〜600℃のもの、例えば酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛または酸化リチウムを主成分とするものが好適に使用できる。また、解像度の点からは、平均粒径10μm以下、好ましくは5μm以下のガラス粉末を用いることが好ましい。 As the glass fine particles, those having a glass transition point (Tg) of 300 to 500 ° C. and a glass softening point (Ts) of 400 to 600 ° C., for example, those mainly composed of lead oxide, bismuth oxide, zinc oxide or lithium oxide are suitable. Can be used. From the viewpoint of resolution, it is preferable to use glass powder having an average particle size of 10 μm or less, preferably 5 μm or less.
前記無機微粒子(A)における黒色顔料は、焼成パターンに黒色が求められる場合に使用され、Co、Ni、Cu、Fe、Mn、Al、Ru、La、Sr等の1種または2種以上の金属酸化物からなる黒色顔料を添加することができる。顔料としては、平均粒径2μm以下、好ましくは0.1μm以上1μm以下の微粒子を用いることが望ましい。この理由は、平均粒径が2μm以下であると、少量の添加でも、密着性等を損なうことなく緻密な焼成皮膜を形成でき、充分な黒色度を得ることができるからである。一方、黒色微粒子の平均粒径が2μmよりも大きくなると、焼成皮膜の緻密性が悪くなり、黒色度が低下し易い。また、0.1μmより小さくなると隠ぺい力が低下し透明感が現れることがあるため、0.1μm以上であることがより好ましい。 The black pigment in the inorganic fine particles (A) is used when black is required for the firing pattern, and one or more metals such as Co, Ni, Cu, Fe, Mn, Al, Ru, La, Sr, etc. A black pigment made of an oxide can be added. As the pigment, it is desirable to use fine particles having an average particle diameter of 2 μm or less, preferably 0.1 μm or more and 1 μm or less. This is because when the average particle size is 2 μm or less, a dense fired film can be formed without impairing adhesion and the like even with a small amount of addition, and sufficient blackness can be obtained. On the other hand, when the average particle diameter of the black fine particles is larger than 2 μm, the denseness of the fired film is deteriorated, and the blackness is easily lowered. On the other hand, if the thickness is smaller than 0.1 μm, the hiding power may be reduced and a transparency may appear. Therefore, the thickness is more preferably 0.1 μm or more.
また、黒色顔料はあらかじめスラリーになっているものも利用できる。この場合、スラリーに用いる有機溶剤は任意に選択できるが、ソルベントショックを防ぐためにペースト中に用いられる溶剤と種類を同一にしたほうが望ましい。また、スラリーの濃度は任意に選択できるが、作業性などを考慮すると50〜80質量%が好ましい。 In addition, a black pigment that has been made into a slurry in advance can also be used. In this case, the organic solvent used for the slurry can be arbitrarily selected, but it is desirable to use the same type of solvent as that used in the paste in order to prevent solvent shock. Moreover, although the density | concentration of a slurry can be selected arbitrarily, when workability | operativity etc. are considered, 50-80 mass% is preferable.
前記無機微粒子(A)における導電性金属粉または金属酸化物としては、銀(Ag)、金(Au)、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、スズ(Sn)、白金(Pt)、ルテニウム(Ru)などの単体とその合金の他、酸化スズ(SnO2)、酸化インジウム(In2O3)、ITO(Indium Tin Oxide)、酸化ルテニウム(RuO2)などを用いることができる。これらは単独でまたは2種以上の混合粉として用いることができる。 Examples of the conductive metal powder or metal oxide in the inorganic fine particles (A) include silver (Ag), gold (Au), nickel (Ni), copper (Cu), aluminum (Al), tin (Sn), platinum ( In addition to simple substances such as Pt) and ruthenium (Ru) and their alloys, tin oxide (SnO 2 ), indium oxide (In 2 O 3 ), ITO (Indium Tin Oxide), ruthenium oxide (RuO 2 ), etc. may be used. it can. These can be used alone or as a mixed powder of two or more.
上記導電性金属粉または金属酸化物の形状は、球状、フレーク状、デントライト状など種々のものを用いることができるが、光特性、分散性を考慮すると、球状のものを用いることが好ましい。また、平均粒経としてはライン形状の点から10μm以下のもの、好ましくは5μm以下のものを用いることが望ましい。また、導電性金属粉の酸化防止、組成物内での分散性向上、現像性の安定化のため、特にAg、Ni、Alについては脂肪酸による処理を行うことが好ましい。脂肪酸としてはオレイン酸、リノール酸、リノレン酸、ステアリン酸等が挙げられる。 Various shapes such as a spherical shape, a flake shape, and a dentlite shape can be used as the shape of the conductive metal powder or metal oxide. However, in consideration of optical characteristics and dispersibility, it is preferable to use a spherical shape. Further, the average particle size is preferably 10 μm or less, preferably 5 μm or less from the viewpoint of the line shape. In order to prevent the conductive metal powder from being oxidized, to improve the dispersibility in the composition, and to stabilize the developability, it is particularly preferable to treat Ag, Ni, and Al with a fatty acid. Examples of fatty acids include oleic acid, linoleic acid, linolenic acid, and stearic acid.
導電性金属粉または金属酸化物の配合量は、無機微粒子(A)以外のペースト中成分の合計量を100質量部としたときに50〜2000質量部となる割合が適当である。導電性金属粉または金属酸化物の配合量が50質量部未満の場合、導体回路の線幅収縮や断線が生じやすくなり、一方、2000質量部を超えて多量に配合すると、光の透過を損ない、組成物の十分な光硬化性が得られ難くなる。さらに焼成後の皮膜の強度、基板への密着性向上のために、前記したようなガラス微粒子を導電性粉末100質量部当り1〜30質量部の割合で添加することができる。 The proportion of the conductive metal powder or metal oxide is appropriately 50 to 2000 parts by mass when the total amount of components in the paste other than the inorganic fine particles (A) is 100 parts by mass. When the blending amount of the conductive metal powder or metal oxide is less than 50 parts by mass, the conductor circuit line width shrinkage or disconnection tends to occur. On the other hand, when the blending amount exceeds 2000 parts by mass, light transmission is impaired. It is difficult to obtain sufficient photocurability of the composition. Furthermore, in order to improve the strength of the film after firing and the adhesion to the substrate, the glass fine particles as described above can be added at a ratio of 1 to 30 parts by mass per 100 parts by mass of the conductive powder.
次に、有機バインダー(B)について説明する。有機バインダー(B)としては、例えばカルボキシル基を有する樹脂が挙げられる。具体的にはそれ自体がエチレン性不飽和二重結合を有するカルボキシル基含有感光性樹脂及びエチレン性不飽和二重結合を有さないカルボキシル基含有樹脂のいずれも使用可能である。好適に使用できる樹脂(オリゴマー及びポリマーのいずれでもよい)としては、以下のようなものが挙げられる。 Next, the organic binder (B) will be described. Examples of the organic binder (B) include a resin having a carboxyl group. Specifically, any of a carboxyl group-containing photosensitive resin having an ethylenically unsaturated double bond and a carboxyl group-containing resin having no ethylenically unsaturated double bond can be used. Examples of the resin (which may be either an oligomer or a polymer) that can be suitably used include the following.
(1)不飽和カルボン酸と不飽和二重結合を有する化合物を共重合させることによって得られるカルボキシル基含有樹脂;
(2)不飽和カルボン酸とグリシジル(メタ)アクリレートの共重合体のエポキシ基に、1分子中に1つのカルボキシル基を有し、エチレン性不飽和結合を持たない有機酸を反応させ、生成した2級の水酸基に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂;
(3)水酸基含有ポリマーに多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。
(1) a carboxyl group-containing resin obtained by copolymerizing an unsaturated carboxylic acid and a compound having an unsaturated double bond;
(2) An epoxy group of a copolymer of unsaturated carboxylic acid and glycidyl (meth) acrylate was produced by reacting an organic acid having one carboxyl group in one molecule and no ethylenically unsaturated bond. A carboxyl group-containing resin obtained by reacting a polybasic acid anhydride with a secondary hydroxyl group;
(3) A carboxyl group-containing resin obtained by reacting a hydroxyl group-containing polymer with a polybasic acid anhydride.
このようなカルボキシル基含有感光性樹脂及びカルボキシル基含有樹脂は、単独で又は混合して用いてもよいが、いずれの場合でもこれらは合計で組成物全量の10〜80質量%の割合で配合することが好ましい。これら有機バインダーの配合量が上記範囲よりも少な過ぎる場合、形成する皮膜中の上記樹脂の分布が不均一になり易く、充分な光硬化性及び光硬化深度が得られ難く、選択的露光、現像によるパターニングが困難となる。一方、上記範囲よりも多過ぎると、焼成時のパターンのよれや線幅収縮を生じ易くなるので好ましくない。 Such a carboxyl group-containing photosensitive resin and a carboxyl group-containing resin may be used alone or in combination, but in any case, they are blended in a proportion of 10 to 80% by mass of the total amount of the composition. It is preferable. When the blending amount of these organic binders is less than the above range, the distribution of the resin in the film to be formed tends to be non-uniform, and it is difficult to obtain sufficient photocurability and photocuring depth, and selective exposure and development. Makes patterning difficult. On the other hand, if it is more than the above range, it is not preferable because the pattern during baking and the shrinkage of the line width are likely to occur.
また、上記カルボキシル基含有感光性樹脂及びカルボキシル基含有樹脂としては、それぞれ重量平均分子量1,000〜100,000、好ましくは5,000〜70,000、及び酸価50〜250mgKOH/g、かつ、カルボキシル基含有感光性樹脂の場合、その二重結合当量が350〜2,000、好ましくは400〜1,500のものを好適に用いることができる。上記樹脂の分子量が1,000より低い場合、現像時の皮膜の密着性に悪影響を与える場合があり、一方、100,000よりも高い場合、現像不良を生じ易いので好ましくない。また、酸価が50mgKOH/gより低い場合、アルカリ水溶液に対する溶解性が不充分で現像不良を生じ易く、一方、250mgKOH/gより高い場合、現像時に皮膜の密着性の劣化や光硬化部(露光部)の溶解が生じ易くなるので好ましくない。さらに、カルボキシル基含有感光性樹脂の場合、感光性樹脂の二重結合当量が350よりも小さいと、焼成時に残渣が残り易くなり、一方、2,000よりも大きいと、現像時の作業余裕度が狭く、また光硬化時に高露光量を必要とする場合があるので好ましくない。 The carboxyl group-containing photosensitive resin and the carboxyl group-containing resin each have a weight average molecular weight of 1,000 to 100,000, preferably 5,000 to 70,000, and an acid value of 50 to 250 mgKOH / g, and In the case of a carboxyl group-containing photosensitive resin, those having a double bond equivalent of 350 to 2,000, preferably 400 to 1,500 can be suitably used. When the molecular weight of the resin is lower than 1,000, the adhesion of the film during development may be adversely affected. On the other hand, when the molecular weight is higher than 100,000, development defects are likely to occur, which is not preferable. On the other hand, when the acid value is lower than 50 mgKOH / g, the solubility in an alkaline aqueous solution is insufficient and development failure tends to occur. On the other hand, when the acid value is higher than 250 mgKOH / g, the adhesion of the film is deteriorated during development and the photocured part (exposure Part) is liable to occur, which is not preferable. Further, in the case of a carboxyl group-containing photosensitive resin, if the double bond equivalent of the photosensitive resin is less than 350, a residue is likely to remain at the time of baking, whereas if it is greater than 2,000, a work margin at the time of development. Is narrow, and a high exposure amount may be required at the time of photocuring.
次いで、光重合性モノマー(C)について説明する。この光重合性モノマーは、ペーストにおける光硬化性に付与(例えば、エチレン性不飽和二重結合を有さない上記カルボキシル基含有樹脂を用いる場合に有効である)、ペーストの光硬化性促進及び現像性を向上させるために用いる。 Next, the photopolymerizable monomer (C) will be described. This photopolymerizable monomer is imparted to the photocurability of the paste (for example, effective when the above carboxyl group-containing resin having no ethylenically unsaturated double bond is used), promoting the photocurability of the paste, and developing Used to improve the performance.
この光重合性モノマーとしては、例えば、2−ヒドロキシエチルアクリレート,2−ヒドロキシプロピルアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ポリウレタンジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキサイド変性トリアクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキサイド変性トリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート及び上記アクリレートに対応する各メタクリレート類;フタル酸、アジピン酸、マレイン酸、イタコン酸、琥珀酸、トリメリット酸、テレフタル酸等の多塩基酸とヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートとのモノ−、ジ−、トリ−又はそれ以上のポリエステルなどが挙げられるが、特定のものに限定されるものではなく、またこれらを単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの光重合性モノマーの中でも、1分子中に2個以上のアクリロイル基又はメタクリロイル基を有する多官能モノマーが好ましい。 Examples of the photopolymerizable monomer include 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, polyurethane diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, and pentaerythritol triacrylate. Acrylate, pentaerythritol tetraacrylate, trimethylolpropane ethylene oxide modified triacrylate, trimethylolpropane propylene oxide modified triacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate and each methacrylate corresponding to the above acrylate; phthalic acid, adipine Acid, maleic acid, itacone Mono-, di-, tri- or higher polyesters of polybasic acids such as succinic acid, trimellitic acid, terephthalic acid and the like and hydroxyalkyl (meth) acrylates, but are limited to specific ones It is not a thing, and these can be used individually or in combination of 2 or more types. Among these photopolymerizable monomers, polyfunctional monomers having two or more acryloyl groups or methacryloyl groups in one molecule are preferable.
このような光重合性モノマー(C)の配合割合は、前記有機バインダー(B)(カルボキシル基含有感光性樹脂及び/又はカルボキシル基含有樹脂)固形分100質量部当り20〜100質量部が適当である。光重合性モノマーの配合割合が上記範囲よりも少ない場合、組成物の充分な光硬化性が得られ難くなり、一方、上記範囲を超えて多量になると、皮膜の深部に比べて表面部の光硬化が早くなるため硬化むらを生じ易くなる。 The blending ratio of such photopolymerizable monomer (C) is suitably 20 to 100 parts by mass per 100 parts by mass of the organic binder (B) (carboxyl group-containing photosensitive resin and / or carboxyl group-containing resin). is there. When the blending ratio of the photopolymerizable monomer is less than the above range, it is difficult to obtain sufficient photocurability of the composition. On the other hand, when the amount exceeds the above range, the light on the surface portion is larger than the deep portion of the film. Since curing becomes faster, uneven curing tends to occur.
本発明においては、光重合開始剤(D)として(D−1)2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1および/または2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルフォリニル)フェニル]−1−ブタノンと、(D−2)下記式(1)で示される化合物1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)および/または下記式(2)で示される化合物エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)とが併用され、前記化合物(D−2)の配合割合は、光重合開始剤(D)の全質量に対して50質量%未満である。
本発明者等は鋭意検討した結果、光重合開始剤として上記化合物(D−1)及び化合物(D−2)を併用することが、より高精細な感光性ペーストを得る上で重要であることを有することを見出すと共に、かかる技術的意義を実現するためには化合物(D−2)の配合割合が光重合開始剤(D)の全質量に対して50質量%未満とすることが重要であることもまた見出したものである。すなわち、化合物(D−2)の配合割合を光重合開始剤(D)の全質量に対して50質量%未満とすることにより、深部硬化性と表面硬化性のバランスが好適化され、その結果、低露光量での解像性が向上し、しかもハレーションの抑制効果が得られる。 As a result of intensive studies by the inventors, it is important to use the compound (D-1) and the compound (D-2) together as a photopolymerization initiator in order to obtain a higher-definition photosensitive paste. In order to realize such technical significance, it is important that the compounding ratio of the compound (D-2) is less than 50% by mass with respect to the total mass of the photopolymerization initiator (D). Some have also found it. That is, the balance between the deep curability and the surface curability is optimized by setting the compounding ratio of the compound (D-2) to less than 50% by mass with respect to the total mass of the photopolymerization initiator (D). In addition, the resolution at a low exposure amount is improved, and an effect of suppressing halation is obtained.
本発明において光重合開始剤(D−1)及び(D−2)の好適な合計配合割合は、前記有機バインダー(カルボキシル基含有感光性樹脂及び/又はカルボキシル基含有樹脂)固形分100質量部当り1〜30部が適当である。更に、化合物(D−1)と化合物(D−2)相互の配合比率は、95:5〜60:40(質量比)であることが、上述したパターンの高精細化、解像性向上、ハレーション抑制をより効果的に実現するために好ましい。 In the present invention, the preferred total blending ratio of the photopolymerization initiators (D-1) and (D-2) is based on 100 parts by mass of the organic binder (carboxyl group-containing photosensitive resin and / or carboxyl group-containing resin) solid content. 1-30 parts is suitable. Furthermore, the compounding ratio between the compound (D-1) and the compound (D-2) is 95: 5 to 60:40 (mass ratio). This is preferable in order to more effectively realize halation suppression.
上記式(1)および式(2)で表わされる化合物は市販されており、例えば各々チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製イルガキュアー OXE 01、及びOXE02を使用することができる。また、(D−1)2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、および2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルフォリニル)フェニル]−1−ブタノンも市場で入手可能であり、例えば各々チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製イルガキュアー369及びイルガキュアー379を使用することができる。 The compounds represented by the above formulas (1) and (2) are commercially available. For example, Irgacure OXE 01 and OXE02 manufactured by Ciba Specialty Chemicals can be used. (D-1) 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1 and 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl]- 1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone is also commercially available, and for example, Irgacure 369 and Irgacure 379 manufactured by Ciba Specialty Chemicals can be used, respectively.
光硬化性樹脂組成物に多量のガラス粉末を配合した場合、得られる組成物の保存安定性が悪く、ゲル化や流動性の低下により塗布作業性が悪くなる傾向がある。従って、本発明の組成物では、組成物の保存安定性向上のため、ガラス粉末の成分である金属あるいは酸化物粉末との錯体化あるいは塩形成などの効果のある化合物を、安定剤として添加することが好ましい。安定剤としては、マロン酸、アジピン酸、ギ酸、酢酸、アセト酢酸、クエン酸、ステアリン酸、マレイン酸、フマル酸、フタル酸等の各種有機酸やリン酸、亜リン酸、次亜リン酸、リン酸メチル、リン酸エチル、リン酸ブチル、リン酸フェニル、亜リン酸エチル、亜リン酸ジフェニル、モノ(2−メタクリロイルオキシエチル)アシッドホスフェート等の各種リン酸化合物(無機リン酸、有機リン酸)、ホウ酸などの酸が挙げられ、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。このような安定剤は、前記の無機微粒子100質量部当り0.1〜10質量部の割合で添加することが好ましい。 When a large amount of glass powder is blended in the photocurable resin composition, the storage stability of the resulting composition is poor, and the coating workability tends to deteriorate due to gelation and fluidity reduction. Therefore, in the composition of the present invention, in order to improve the storage stability of the composition, a compound having an effect of complexing or forming a salt with a metal or oxide powder as a component of the glass powder is added as a stabilizer. It is preferable. Stabilizers include malonic acid, adipic acid, formic acid, acetic acid, acetoacetic acid, citric acid, stearic acid, maleic acid, fumaric acid, phthalic acid and other organic acids, phosphoric acid, phosphorous acid, hypophosphorous acid, Various phosphoric acid compounds (inorganic phosphoric acid, organic phosphoric acid) such as methyl phosphate, ethyl phosphate, butyl phosphate, phenyl phosphate, ethyl phosphite, diphenyl phosphite, mono (2-methacryloyloxyethyl) acid phosphate ), And acids such as boric acid. These may be used alone or in combination of two or more. Such a stabilizer is preferably added at a ratio of 0.1 to 10 parts by mass per 100 parts by mass of the inorganic fine particles.
感光性組成物に光重合性モノマーを配合した場合、得られる組成物の保存安定性が悪く、ゲル化や流動性の低下により塗布作業性が悪くなる傾向がある。従って、本発明の組成物では、組成物の保存安定性向上のため、光重合性モノマーの熱重合禁止剤を添加することが好ましい。熱重合禁止剤としては、フェノチアジン、ナフトキノン、ヒドロキノン、N−フェニルナフチルアミン、クロラニール、ピロガロール、ベンゾキノン、t−ブチルカテコールなどが挙げられ、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。このような安定剤は、前記の有機バインダー(固形分)100質量部当り0.01〜1質量部の割合で添加することが好ましい。 When a photopolymerizable monomer is blended in the photosensitive composition, the storage stability of the resulting composition is poor, and the coating workability tends to be poor due to gelation or a decrease in fluidity. Therefore, in the composition of the present invention, it is preferable to add a thermal polymerization inhibitor of a photopolymerizable monomer in order to improve the storage stability of the composition. Examples of the thermal polymerization inhibitor include phenothiazine, naphthoquinone, hydroquinone, N-phenylnaphthylamine, chloranil, pyrogallol, benzoquinone, t-butylcatechol and the like, and these can be used alone or in combination of two or more. Such a stabilizer is preferably added at a ratio of 0.01 to 1 part by mass per 100 parts by mass of the organic binder (solid content).
本発明においては、組成物を希釈することによりペースト化し、容易に塗布工程を可能とする。次いで乾燥させて造膜し、接触露光を可能とさせるために、適宜の量の有機溶剤を配合することができる。具体的には、メチルエチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼンなどの芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテルなどのグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどの酢酸エステル類;エタノール、プロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、テルピネオールなどのアルコール類;オクタン、デカンなどの脂肪族炭化水素;石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサなどの石油系溶剤が挙げられ、これらを単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。 In the present invention, the composition is made into a paste by diluting, and the coating process can be easily performed. Subsequently, in order to dry and form a film and to enable contact exposure, an appropriate amount of an organic solvent can be blended. Specifically, ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene; cellosolve, methyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl ether, di Glycol ethers such as propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether; ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate Acetic acid esters such as ethanol, propanol, ethylene glycol, propylene glycol And alcohols such as terpineol; aliphatic hydrocarbons such as octane and decane; petroleum solvents such as petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha, and solvent naphtha. These may be used alone or in combination of two or more. Can be used.
本発明の感光性ペースト組成物は、さらに必要に応じて、シリコーン系、アクリル系等の消泡・レベリング剤、皮膜の密着性向上のためのシランカップリング剤、等の他の添加剤を配合することもできる。さらにまた、必要に応じて、公知慣用の酸化防止剤や、焼成時における基板との結合成分としての金属酸化物、ケイ素酸化物、ホウ素酸化物などの微粒子を添加することもできる。 The photosensitive paste composition of the present invention may further contain other additives such as silicone-based and acrylic-based defoaming / leveling agents, silane coupling agents for improving film adhesion, etc., if necessary. You can also Furthermore, if necessary, fine particles such as metal oxides, silicon oxides, boron oxides, and the like, which are known and commonly used antioxidants, and as binding components to the substrate during firing may be added.
本発明の感光性ペースト組成物は、予めフィルム状に成膜されている場合には基板上にラミネートすればよいが、ペースト状の場合、スクリーン印刷法、バーコーター、ブレードコーターなど適宜の塗布方法で基板、例えばPDPの前面基板となるガラス基板に塗布し、次いで指触乾燥性を得るために熱風循環式乾燥炉、遠赤外線乾燥炉等で例えば約60〜120℃で5〜40分程度乾燥させて有機溶剤を蒸発させ、タックフリーの塗膜を得る。その後、選択的露光、現像、焼成を行なって所定のパターンの電極回路を形成する。 The photosensitive paste composition of the present invention may be laminated on a substrate when it is previously formed into a film, but in the case of a paste, an appropriate coating method such as screen printing, bar coater, blade coater, etc. Apply to a glass substrate, for example, a front substrate of a PDP, and then dry in a hot-air circulating drying furnace, a far-infrared drying furnace, etc. for about 5 to 40 minutes at about 60 to 120 ° C. The organic solvent is evaporated to obtain a tack-free coating film. Thereafter, selective exposure, development, and baking are performed to form an electrode circuit having a predetermined pattern.
露光工程としては、所定の露光パターンを有するネガマスクを用いた接触露光及び非接触露光が可能である。露光光源としては、ハロゲンランプ、高圧水銀灯、レーザー光、メタルハライドランプ、ブラックランプ、無電極ランプなどが使用される。露光量としては50〜1000mJ/cm2程度が好ましい。 As the exposure step, contact exposure and non-contact exposure using a negative mask having a predetermined exposure pattern are possible. As the exposure light source, a halogen lamp, a high-pressure mercury lamp, a laser beam, a metal halide lamp, a black lamp, an electrodeless lamp, or the like is used. The exposure amount is preferably about 50 to 1000 mJ / cm 2 .
現像工程としてはスプレー法、浸漬法等が用いられる。現像液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、珪酸ナトリウムなどの金属アルカリ水溶液や、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミンなどのアミン水溶液、特に約1.5質量%以下の濃度の希アルカリ水溶液が好適に用いられるが、組成物中のカルボキシル基含有樹脂のカルボキシル基がケン化され、未硬化部(未露光部)が除去されればよく、上記のような現像液に限定されるものではない。また、現像後に不要な現像液の除去のため、水洗や酸中和を行なうことが好ましい。 As the development process, a spray method, an immersion method, or the like is used. Developers include aqueous alkali metal solutions such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate and sodium silicate, and aqueous amine solutions such as monoethanolamine, diethanolamine and triethanolamine, especially about 1.5% by mass or less. A dilute alkaline aqueous solution having a concentration of 1 is preferably used, as long as the carboxyl group of the carboxyl group-containing resin in the composition is saponified and the uncured part (unexposed part) is removed. It is not limited to. Further, it is preferable to perform washing with water and acid neutralization in order to remove unnecessary developer after development.
焼成工程においては、現像後の基板を空気中又は窒素雰囲気下で約400〜600℃の加熱処理を行ない、所望の導体パターンを形成する。なお、この時の昇温速度は、20℃/分以下に設定することが好ましい。 In the firing step, the substrate after development is subjected to heat treatment at about 400 to 600 ° C. in air or in a nitrogen atmosphere to form a desired conductor pattern. In addition, it is preferable to set the temperature increase rate at this time to 20 degrees C / min or less.
以下に実施例及び比較例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明が下記実施例に限定されるものでないことはもとよりである。なお、「部」及び「%」とあるのは、特に断りがない限り全て質量基準である。 EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples. “Parts” and “%” are based on mass unless otherwise specified.
(実施例1)
温度計、攪拌機、滴下ロート、及び還流冷却器を備えたフラスコに、メチルメタクリレートとメタクリル酸を0.87:0.13のモル比で仕込み、溶媒としてジプロピレングリコールモノメチルエーテル、触媒としてアゾビスイソブチロニトリルを入れ、窒素雰囲気下、80℃で2〜6時間攪拌し、有機バインダーAを得た。この有機バインダーAは、重量平均分子量が約10,000、酸価が74mgKOH/g、固形分濃度60%であった。この有機バインダーAを用い、以下に示す組成比にて配合し、攪拌機により攪拌後、3本ロールミルにより練肉してペースト化を行なった。練肉条件はサンプル量1kgを室温で30分である。またガラス粉末としては、Bi2O3 49%、B203 14%、ZnO 14%、SiO2 6%、BaO 17%を粉砕し、ガラス転移点458℃、平均粒径1.6μmとしたものを使用した。
(Example 1)
A flask equipped with a thermometer, stirrer, dropping funnel, and reflux condenser is charged with methyl methacrylate and methacrylic acid in a molar ratio of 0.87: 0.13, dipropylene glycol monomethyl ether as a solvent, and azobisiso as a catalyst. Butyronitrile was added, and the mixture was stirred at 80 ° C. for 2 to 6 hours under a nitrogen atmosphere to obtain an organic binder A. This organic binder A had a weight average molecular weight of about 10,000, an acid value of 74 mgKOH / g, and a solid content concentration of 60%. Using this organic binder A, it was blended at the composition ratio shown below, stirred with a stirrer, and then kneaded with a three-roll mill to form a paste. Kneaded meat conditions are 1 kg of sample amount at room temperature for 30 minutes. As the glass powder, Bi 2 O 3 49%, B 2 0 3 14%, ZnO 14%, SiO 2 6%, BaO 17% were pulverized to a glass transition point of 458 ° C. and an average particle diameter of 1.6 μm. I used something.
本発明例1;
有機バインダーA 170.0部
トリメチロールプロパントリアクリレート 50.0部
2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]
−1−[4−(4−モルフォリニル)フェニル]−1−ブタノン
5.0部
1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,
2−(O−ベンゾイルオキシム)] 1.0部
ソルベッソ#200* 20.0部
銀粉 500.0部
ガラス粉末 40.0部
リン酸エステル 5.0部
消泡剤(BYK−354、ビックケミージャパン) 1.0部。
Invention Example 1;
Organic binder A 170.0 parts Trimethylolpropane triacrylate 50.0 parts 2- (Dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl]
-1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone
5.0
2- (O-benzoyloxime)] 1.0 part Solvesso # 200 * 20.0 parts Silver powder 500.0 parts Glass powder 40.0 parts Phosphate ester 5.0 parts Antifoam (BYK-354, Big Chemie Japan) ) 1.0 part.
本発明例2;
有機バインダーA 170.0部
トリメチロールプロパントリアクリレート 50.0部
2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]
−1−[4−(4−モルフォリニル)フェニル]−1−ブタノン
5.0部
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−
9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)
1.0部
ソルベッソ#200* 20.0部
銀粉 500.0部
ガラス粉末 40.0部
リン酸エステル 5.0部
消泡剤(BYK−354、ビックケミージャパン) 1.0部。
Invention Example 2;
Organic binder A 170.0 parts Trimethylolpropane triacrylate 50.0 parts 2- (Dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl]
-1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone
5.0 parts ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl)-
9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime)
1.0 part Solvesso # 200 * 20.0 parts Silver powder 500.0 parts Glass powder 40.0 parts Phosphate ester 5.0 parts Antifoaming agent (BYK-354, Big Chemie Japan) 1.0 part.
本発明例3;
有機バインダーA 170.0部
トリメチロールプロパントリアクリレート 50.0部
2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]
−1−[4−(4−モルフォリニル)フェニル]−1−ブタノン
3.6部
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−
9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)
2.4部
ソルベッソ#200* 20.0部
銀粉 500.0部
ガラス粉末 40.0部
リン酸エステル 5.0部
消泡剤(BYK−354、ビックケミージャパン) 1.0部。
Invention Example 3;
Organic binder A 170.0 parts Trimethylolpropane triacrylate 50.0 parts 2- (Dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl]
-1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone
3.6 parts ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl)-
9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime)
2.4 parts Solvesso # 200 * 20.0 parts Silver powder 500.0 parts Glass powder 40.0 parts Phosphate ester 5.0 parts Antifoaming agent (BYK-354, Big Chemie Japan) 1.0 part.
比較組成物例1
有機バインダーA 170.0部
トリメチロールプロパントリメタクリレート 50.0部
2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−
モルフォリノフェニル)ブタノン−1 6.0部
ソルベッソ#200 20.0部
銀粉 500.0部
ガラス粉末 40.0部
リン酸エステル 1.0部
消泡剤(BYK−354、ビックケミージャパン) 1.0部。
Comparative composition example 1
Organic binder A 170.0 parts Trimethylolpropane trimethacrylate 50.0 parts 2-Benzyl-2-dimethylamino-1- (4-
Morpholinophenyl) butanone-1 6.0 parts Solvesso # 200 20.0 parts Silver powder 500.0 parts Glass powder 40.0 parts Phosphate ester 1.0 part Antifoam (BYK-354, Big Chemie Japan) 0 copies.
比較組成物例2
有機バインダーA 170.0部
トリメチロールプロパントリメタクリレート 50.0部
2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]
−1−[4−(4−モルフォリニル)フェニル]−1−ブタノン
6.0部
ソルベッソ#200* 20.0部
銀粉 500.0部
ガラス粉末 40.0部
リン酸エステル 1.0部
消泡剤(BYK−354、ビックケミージャパン) 1.0部。
Comparative composition example 2
Organic binder A 170.0 parts Trimethylolpropane trimethacrylate 50.0 parts 2- (Dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl]
-1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone
6.0 parts Solvesso # 200 * 20.0 parts Silver powder 500.0 parts Glass powder 40.0 parts Phosphate ester 1.0 part Antifoaming agent (BYK-354, Big Chemie Japan) 1.0 part.
比較組成物例3
有機バインダーA 170.0部
トリメチロールプロパントリアクリレート 50.0部
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−
9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)
6.0部
ソルベッソ#200* 20.0部
銀粉 500.0部
ガラス粉末 40.0部
リン酸エステル 5.0部
消泡剤(BYK−354、ビックケミージャパン) 1.0部。
Comparative composition example 3
Organic binder A 170.0 parts Trimethylolpropane triacrylate 50.0 parts Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl)-
9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime)
6.0 parts Solvesso # 200 * 20.0 parts Silver powder 500.0 parts Glass powder 40.0 parts Phosphate ester 5.0 parts Antifoaming agent (BYK-354, Big Chemie Japan) 1.0 part.
比較組成物例4
有機バインダーA 170.0部
トリメチロールプロパントリアクリレート 50.0部
2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]
−1−[4−(4−モルフォリニル)フェニル]−1−ブタノン
3.0部
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−
9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)
3.0部
ソルベッソ#200* 20.0部
銀粉 500.0部
ガラス粉末 40.0部
リン酸エステル 5.0部
消泡剤(BYK−354、ビックケミージャパン) 1.0部
(*ソルベッソ#200:芳香族炭化水素、エクソンモービル社製)。
Comparative composition example 4
Organic binder A 170.0 parts Trimethylolpropane triacrylate 50.0 parts 2- (Dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl]
-1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone
3.0 parts ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl)-
9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime)
3.0 parts Solvesso # 200 * 20.0 parts Silver powder 500.0 parts Glass powder 40.0 parts Phosphate ester 5.0 parts Defoamer (BYK-354, Big Chemie Japan) 1.0 part (* Solvesso # 200: Aromatic hydrocarbon, manufactured by ExxonMobil Corporation).
このようにして得られた組成物例1〜2及び比較組成物例1〜4の各ペーストについて、現像後のライン形状、解像性(残り)、感度、焼成後のライン形状、焼成残渣を評価した。その評価方法は以下のとおりである。 About each paste of composition example 1-2 obtained in this way and comparative composition example 1-4, the line shape after image development, resolution (remaining), sensitivity, line shape after baking, and baking residue evaluated. The evaluation method is as follows.
解像性:
ガラス基板上に、評価用ペーストを300メッシュのポリエステルスクリーンを用いて全面に塗布し、次いで、熱風循環式乾燥炉にて80℃で30分間乾燥して指触乾燥性の良好な皮膜を形成した。その後、光源をメタルハライドランプとし、ライン幅10〜100μm、スペース幅100μmのストライプ状のネガマスクをもちいて、組成物上の積算光量が50〜300mJ/cm2となるように露光した後、液温25℃の0.5wt%Na2CO3水溶液を用いて現像を行い、水洗した。最後に空気雰囲気下にて5℃/分で昇温し、600℃で5分間焼成して基板を作製した。評価方法は、10〜100μmラインの中で形成した最も細いものを調べた。
Resolution:
The evaluation paste was applied on the entire surface of the glass substrate using a 300-mesh polyester screen, and then dried at 80 ° C. for 30 minutes in a hot-air circulating drying oven to form a film having good touch drying properties. . Thereafter, a metal halide lamp is used as the light source, and exposure is performed using a striped negative mask having a line width of 10 to 100 μm and a space width of 100 μm so that the integrated light quantity on the composition is 50 to 300 mJ / cm 2. Development was carried out using a 0.5 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution at 0 ° C. and washed with water. Finally, the temperature was raised at 5 ° C./min in an air atmosphere and baked at 600 ° C. for 5 minutes to produce a substrate. The evaluation method examined the thinnest thing formed in the 10-100 micrometers line.
ライン形状:
現像後のライン形状については、現像まで終了したパターンのライン(L/S=100μm/300μm)を顕微鏡観察し、ラインに不規則なばらつきがなく、よれ等がないかどうかで評価した。焼成後のライン形状については、焼成まで終了したパターンを顕微鏡観察し、ラインに不規則なばらつきがなく、よれ等がないかどうかで評価した。評価基準は以下の通りである。
Line shape:
The line shape after development was evaluated by observing a pattern line (L / S = 100 μm / 300 μm) completed until development with a microscope and checking for irregularities in the line and no wrinkles. About the line shape after baking, the pattern which complete | finished to baking was observed with the microscope, and it evaluated by whether there was no irregular variation in a line, and there was no twist. The evaluation criteria are as follows.
◎:不規則なばらつきがなく、欠けやよれ等がない。 A: There is no irregular variation and there is no chipping or twisting.
○:不規則なばらつきがなく、欠けやよれ等がほとんどない。 ○: There is no irregular variation, and there is almost no chipping or twisting.
△:若干不規則なばらつき、欠けやよれ等がある。 Δ: Some irregular variation, chipping or twisting
×:不規則なばらつき、欠けやよれ等がある。 X: Irregular variation, chipping or twisting.
ステップタブレットの感度:
感度については、現像後ステップタブレット(コダックNo.2)上の残り段数を読む。
Step tablet sensitivity:
For sensitivity, read the remaining number of steps on the step tablet (Kodak No. 2) after development.
焼成残渣:
焼成まで終了したパターンのライン(L/S=100μm/300μm)を顕微鏡観察し、側面に焼成残渣がないかどうかで評価した。評価基準は以下の通りである。
Firing residue:
The line (L / S = 100 μm / 300 μm) of the pattern finished up to firing was observed with a microscope, and evaluated by whether there was no firing residue on the side surface. The evaluation criteria are as follows.
○:焼成残渣がほとんど無い。 ○: Almost no firing residue.
△:焼成残渣が少しある。 Δ: There is a little baking residue.
×:焼成残渣が多い。
表1に示す結果から明らかなように、本発明の組成物に係るペーストは、比較組成物のペーストに比べて硬化深度に優れるため、低露光量でも高感度で高精細のパターンを形成できる事がわかった。 As is clear from the results shown in Table 1, the paste according to the composition of the present invention is excellent in the depth of curing as compared with the paste of the comparative composition, and therefore can form a high-definition pattern with high sensitivity even at a low exposure amount. I understood.
(実施例2)保存安定性
実施例1で得られた組成物例1及び2を40℃で10日間保存後、実施例1と同様の試験を行った結果、実施例1と同様の良好な結果が得られた。
(Example 2) Storage stability Composition examples 1 and 2 obtained in Example 1 were stored at 40 ° C. for 10 days and then tested in the same manner as in Example 1. As a result, the same good results as in Example 1 were obtained. Results were obtained.
1 前面ガラス基板
2a,2b 表示電極
3a,3b 透明電極
4a,4b バス電極
5 透明誘電体層
6 保護層
10 ブラックパターン
11 背面ガラス基板
12 リブ
13 アドレス電極
14a,14b,14c 蛍光体膜
100 PDP用前面基板100
DESCRIPTION OF
Claims (3)
Priority Applications (1)
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