JP2008066103A - Organic el element - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To inexpensively provide an organic EL element in which sharpness, high brightness, and a long life are achieved even in an organic EL panel of high precision. <P>SOLUTION: This bottom emission type organic EL element of a color conversion type is equipped with one or more of light-emitting units sequentially forming a black matrix 101, a color filter 102, a color conversion layer or a clear layer 103, an overcoat layer 104, a first electrode 106, an organic EL layer 109 including an organic light emitting layer, and a second electrode 110 on a substrate 11, and in which light generated from the organic EL layer 109 is emitted from the substrate 11. The organic EL element has a reflecting film 31 so as to reflect a part of light which passes through the color conversion layer 103 and is absorbed in the black matrix 102 and to extract a part of the light from the substrate 11. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、有機EL素子およびその製造方法に関する。   The present invention relates to an organic EL element and a method for manufacturing the same.

色変換方式の有機ELディスプレイの基板構造、特にパッシブ方式のボトムエミッション構造の発光単位は、例えば図1、図2のようになっている。ガラス基板上にブラックマトリクス11/カラーフィルタ12/色変換(CCM)層13/平坦化層14/パッシベーション膜15/透明電極(陽極)16/シャドウマスク17/発光層18/反射電極(陰極)19という構成である。図示しないが、陰極を各操作電極に分離するパターンが設けられることもある。発光層18は、さらに正孔注入層/正孔輸送層/有機発光層/電子注入層等で構成される。発光層から出る光は、青緑色の単色であるが、これが色変換層で緑色、赤色に変換される。青色は、もともとの光源の光からカラーフィルタによって取り出される。このとき、透明電極やシャドウマスク、カラーフィルタ、色変換層の端部が外光によって散乱して見えるのを防ぐために、ブラックマトリクス11が存在し、これによってコントラストが向上する。   The substrate structure of the color conversion type organic EL display, in particular, the light emission unit of the passive type bottom emission structure is, for example, as shown in FIGS. Black matrix 11 / color filter 12 / color conversion (CCM) layer 13 / flattening layer 14 / passivation film 15 / transparent electrode (anode) 16 / shadow mask 17 / light emitting layer 18 / reflection electrode (cathode) 19 on a glass substrate This is the configuration. Although not shown, a pattern for separating the cathode into the operation electrodes may be provided. The light emitting layer 18 further includes a hole injection layer / a hole transport layer / an organic light emitting layer / an electron injection layer. The light emitted from the light emitting layer is a blue-green single color, which is converted into green and red by the color conversion layer. Blue is extracted from the light of the original light source by a color filter. At this time, the black matrix 11 exists in order to prevent the transparent electrode, the shadow mask, the color filter, and the end portion of the color conversion layer from being scattered by the external light, thereby improving the contrast.

簡単のために、有機発光層18内に模擬的な点光源を考えると、発光した光は、強度の方向依存はあるもののほぼ全方向に広がる。これが、色変換層13に達したとき、青緑色から赤色等に色変換されるとともに更に全方向に散乱する。従って、光路aのように直進する方向だけでなく、光路bのように出射することもある。更に斜め方向に出射した光は、光路cのように色変換後にブラックマトリクスで吸収されるものもある。端の方で発光した光は、出射角度が浅くとも光路eのようにブラックマトリクスで吸収されるので、外部に取り出せる割合が少なくなる。   For simplicity, when a simulated point light source is considered in the organic light emitting layer 18, the emitted light spreads in almost all directions although there is a direction dependency of intensity. When this reaches the color conversion layer 13, it is color-converted from blue-green to red or the like and further scattered in all directions. Therefore, the light may be emitted not only in the straight direction as in the optical path a but also in the optical path b. Further, light emitted in an oblique direction may be absorbed by the black matrix after color conversion as in the optical path c. Since the light emitted at the end is absorbed by the black matrix as in the optical path e even when the emission angle is shallow, the ratio of light that can be extracted outside decreases.

なお、発光層や透明電極(IZO等)は、屈折率が近く、その値は2.0〜2.2程度である。パッシベーション膜15は、通常SiO2やSiN等で作られるが、これらは屈折率が1.5〜1.8程度である。また、平坦化層14より下の層の屈折率もほぼ1.5前後である。従って発光した光の一部は、光路dのように全反射を繰り返して外部に出ることができないか、透明電極端部で散乱してしまう。 In addition, a light emitting layer and a transparent electrode (IZO etc.) have a refractive index close, and the value is about 2.0-2.2. The passivation film 15 is made of ordinary SiO 2, SiN, or the like, it refractive index of about 1.5 to 1.8. The refractive index of the layer below the planarizing layer 14 is also about 1.5. Accordingly, a part of the emitted light cannot be emitted to the outside by repeating total reflection as in the optical path d or scattered at the end of the transparent electrode.

図1(a)のような従来構造の場合、ブラックマトリクスの線幅は、各層を形成する際のフォトプロセスにおける位置合わせ精度や線幅の形成精度、即ちプロセスルールから最小値が決定する。従って、発光単位の寸法が小さくなってもブラックマトリクス線幅を細くすることはできない。特に、色変換方式の場合、色変換層が厚いので、線幅の制御が難しい。一般的に、100ppi程度までの精細度の場合、60〜80%の開口率を実現できるが、高精細になるほど開口率は低下し、150〜200ppi程度を実現しようとすると、プロセスルールが変わらない限り、20〜40%程度まで低下することも在り得る。   In the case of the conventional structure as shown in FIG. 1A, the minimum value of the line width of the black matrix is determined from the alignment accuracy in the photo process when forming each layer and the formation accuracy of the line width, that is, the process rule. Therefore, the black matrix line width cannot be reduced even if the size of the light emitting unit is reduced. In particular, in the case of the color conversion method, since the color conversion layer is thick, it is difficult to control the line width. Generally, in the case of a fineness up to about 100 ppi, an aperture ratio of 60 to 80% can be realized, but the aperture ratio decreases as the resolution becomes higher, and the process rule does not change when trying to achieve about 150 to 200 ppi. As far as it is possible, it may be reduced to about 20 to 40%.

基板上の光が透過できる開口部分以外に達した光は、ブラックマトリクスによって吸収されるが、高精細になるほど(図1(b)のように)、その割合が増加し、光の取り出し効率が低下することになる。これを補うために、発光部の電流密度を上げて輝度向上を図ると、寿命が低下することになる。また、プロセスルールを向上させるために、より高精度なフォトマスクや露光機を使う場合は、大きなコストアップとなるという問題があった。   The light that reaches the part other than the opening through which the light on the substrate can be transmitted is absorbed by the black matrix. However, as the definition becomes higher (as shown in FIG. 1B), the ratio increases and the light extraction efficiency increases. Will be reduced. In order to compensate for this, if the current density of the light emitting part is increased to improve the luminance, the lifetime will be reduced. In addition, when using a higher-precision photomask or exposure machine in order to improve the process rule, there is a problem that the cost is greatly increased.

なお、基板上の光が透過できる開口部分以外に達した光の一部を取り出すために提案された構造として、各変換層の隙間に光反射性または光散乱性の白色微粉末を混入させる方式がある(例えば、特許文献1を参照。)。この方式によれば、色変換層から漏れ出す光を反射させることはできるが、ブラックマトリクスで吸収される光を救うことができる基板構造があればより好ましい。
特開2005−123089号公報
In addition, as a proposed structure for extracting part of the light that has reached the part other than the opening that can transmit light on the substrate, a method in which light-reflective or light-scattering white powder is mixed in the gaps between the conversion layers (For example, refer to Patent Document 1). According to this method, it is possible to reflect the light leaking from the color conversion layer, but it is more preferable if there is a substrate structure capable of saving the light absorbed by the black matrix.
Japanese Patent Laying-Open No. 2005-123089

本発明は、高精細な有機ELパネルにおいてもシャープで、且つ高輝度、長寿命を実現できる有機EL素子を安価に提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an organic EL element that can be sharp, have high brightness, and have a long lifetime even in a high-definition organic EL panel at low cost.

本発明は、上記課題を解決するためになされたものである。すなわち、本発明に係る有機EL素子は、上記目的を達成するために、基板上に、ブラックマトリクスと、カラーフィルタと、色変換層またはクリアー層と、オーバーコート層と、第1電極と、有機発光層を含む有機EL層と、第2電極を順次形成した1個以上の発光単位を備え、有機EL層から生じた光が上記基板から出射される色変換方式のボトムエミッション型有機EL素子であって、色変換層またはクリアー層を通過しブラックマトリクスに吸収される光の一部を反射し、基板から取り出すように反射膜を備えたことを特徴とするものである。
本発明に係る有機EL素子の製造方法は、基板上に、ブラックマトリクス層と、カラーフィルタ層と、色変換層またはクリアー層と、オーバーコート層と、第1電極と、有機発光層を含む有機EL層と、第2電極を順次形成した1個以上の発光単位を備え、有機EL層から生じた光が前記基板から出射される色変換方式のボトムエミッション型有機EL素子の製造方法であって、基板上に、前記光が出射することができる開口窓を形成するようにブラックマトリクス層を形成する工程と、フォトリソグラフ法により、前記開口窓を被覆するように、カラーフィルタ層を形成する工程と、該カラーフィルタ層上に、前記開口窓に垂直入射する前記光を遮らないように、反射膜を形成する工程と、前記カラーフィルタ層および前記反射膜の上に、前記カラーフィルタ層の形成に用いたフォトマスクを使用して、発光単位ごとに区分された色変換層を形成する工程とを含むことを特徴とする方法である。
The present invention has been made to solve the above problems. That is, in order to achieve the above object, the organic EL device according to the present invention includes a black matrix, a color filter, a color conversion layer or a clear layer, an overcoat layer, a first electrode, and an organic material on a substrate. An organic EL layer including a light emitting layer and one or more light emitting units in which a second electrode is sequentially formed, and a color conversion type bottom emission organic EL element in which light generated from the organic EL layer is emitted from the substrate. A reflective film is provided so as to reflect a part of the light that passes through the color conversion layer or the clear layer and is absorbed by the black matrix and takes out from the substrate.
An organic EL device manufacturing method according to the present invention includes a black matrix layer, a color filter layer, a color conversion layer or a clear layer, an overcoat layer, a first electrode, and an organic light emitting layer on a substrate. A method for manufacturing a bottom emission type organic EL element of a color conversion type comprising an EL layer and one or more light emitting units in which a second electrode is sequentially formed, and light generated from the organic EL layer is emitted from the substrate. A step of forming a black matrix layer on the substrate so as to form an opening window through which the light can be emitted, and a step of forming a color filter layer so as to cover the opening window by a photolithographic method. And forming a reflective film on the color filter layer so as not to block the light perpendicularly incident on the aperture window, and on the color filter layer and the reflective film, Using a photomask used for forming the serial color filter layer, a method which comprises a step of forming the color conversion layer is classified by the light emitting unit.

高精細度のパネルにおいて、光の取り出し効率が向上して、高輝度もしくは長寿命が期待でき、シャープな画像を表示できる有機ELディスプレイが実現できる。   In a high-definition panel, the light extraction efficiency is improved, high luminance or a long life can be expected, and an organic EL display capable of displaying a sharp image can be realized.

以下に、本発明を、図面を参照して詳細に説明する。同じ部材には同じ符号を付して表した。なお、本発明は以下に説明する形態に制限されるものではない。
本発明の有機EL素子は、基板上に、ブラックマトリクスと、カラーフィルタと、色変換層またはクリアー層と、オーバーコート層と、第1電極と、有機発光層を含む有機EL層と、第2電極を順次形成した1個以上の発光単位を備え、有機EL層から生じた光が上記基板から出射される色変換方式のボトムエミッション型有機EL素子である。
ここで通常のカラーパネルの場合は、RGB用の3つの開口(サブピクセル)をもって1画素としている。本明細書において、1つのサブピクセルについて言及するときは、発光単位という。本明細書において、発光単位という場合、色変換層で発光するサブピクセルには限定されず、クリアー層を通して光が透過するサブピクセルも含む。本明細書において、以下「色変換層」なる語は、色変換していることを明記しない限り、クリアー層を含む概念である。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The same members are denoted by the same reference numerals. In addition, this invention is not restrict | limited to the form demonstrated below.
The organic EL element of the present invention includes a black matrix, a color filter, a color conversion layer or a clear layer, an overcoat layer, a first electrode, an organic EL layer including an organic light emitting layer, a second matrix on a substrate. It is a bottom emission type organic EL element of a color conversion system that includes one or more light emitting units in which electrodes are sequentially formed and in which light generated from the organic EL layer is emitted from the substrate.
Here, in the case of a normal color panel, one pixel has three openings (subpixels) for RGB. In this specification, when one subpixel is referred to, it is called a light emitting unit. In this specification, the light emitting unit is not limited to a subpixel that emits light in the color conversion layer, but includes a subpixel that transmits light through the clear layer. In the present specification, the term “color conversion layer” is a concept including a clear layer unless it is specified that color conversion is performed.

本発明では、ブラックマトリクスの範囲内で、そのプロセス面側に反射膜を設ける。積層方向としては、カラーフィルタと色変換層の間、若しくはブラックマトリクスとカラーフィルタの間に有機EL層と平行に積層することが好ましい。
また、2個以上の発光単位を備えている場合、隣接する上記発光単位における上記色変換層の端部に反射膜を設けてもよい。色変換層の端部反射膜は、色変換層を各発光単位で島状に形成することで、色変換層の側面全周を覆う形で形成されていることが好ましい。
In the present invention, a reflective film is provided on the process surface side within the range of the black matrix. As the stacking direction, it is preferable to stack in parallel with the organic EL layer between the color filter and the color conversion layer or between the black matrix and the color filter.
Further, when two or more light emitting units are provided, a reflective film may be provided at the end of the color conversion layer in the adjacent light emitting units. The end reflection film of the color conversion layer is preferably formed so as to cover the entire side surface of the color conversion layer by forming the color conversion layer in an island shape for each light emitting unit.

本発明の有機EL素子は、前記色変換層と前記カラーフィルタとの間に、ブラックマトリクスの遮光範囲内で、反射膜を備えたものであることが好ましい。本明細書において、「ブラックマトリクスの遮光範囲」とは、有機EL層から積層面に垂直に入射した光が、ブラックマトリクスによって遮られる範囲である。
図3(a)は、本発明の有機EL素子の発光単位の第1の形態である。まず、ガラス基板11上にブラックマトリクス101とカラーフィルタ102をフォトリソグラフ法によって形成する。次に、AlやMo,Cr,Ag等の反射膜となる金属をスパッタ等によって成膜し、レジストを塗布して露光し、反射膜31を形成する。
反射膜の厚さは、光を反射でき且つ他の膜に形状の影響が出にくい値が良く、10〜500nm程度が良いが、より好ましくは20〜100nm程度が良い。また反射膜の端部は、ブラックマトリクスの端部より内側となるように設計することが望ましく、可能ならば1〜3μm内側に入れる(線幅を細くする)設計がより望ましい。位置ズレによって反射膜の一部がブラックマトリクスからはみ出したり、斜め方向から見えたりすることを防ぐためである。
次いで、フォトリソグラフ法によって色変換(CCM)層103/平坦化層104を形成する。これを加熱処理して水分を除去した後、スパッタやCVD、或いは蒸着法を用いてSiO,SiO2やSiN等の単膜若しくは積層膜でパッシベーション膜105を形成する。
次にパッシベーション膜105の上に、ITOやIZO等の透明電極(陽極)106を形成する。この際、フォトプロセスでの露光およびエッチング条件を調整し、端部にテーパー107をつけることができる。次に、有機系のシャドウマスク材料108を塗布し、フォトリソグラフ法によって、表示部開口を開けるパターンを形成する。勿論、有機ELにダメージを与える水分の吸収が少ないSiO2やSiN等の無機材料でシャドウマスクを構成してもよい。次に陽極配線と直交する方向に陰極分離壁を形成する。ここに有機発光層を含む有機EL層109と、Al等の陰極金属110とを蒸着することで、マトリックス状に発光単位1が形成される。
The organic EL element of the present invention preferably includes a reflective film between the color conversion layer and the color filter within a light shielding range of a black matrix. In the present specification, the “black matrix light-shielding range” is a range in which light incident perpendicularly to the laminated surface from the organic EL layer is blocked by the black matrix.
FIG. 3A shows a first form of the light emitting unit of the organic EL element of the present invention. First, the black matrix 101 and the color filter 102 are formed on the glass substrate 11 by photolithography. Next, a reflective film such as Al, Mo, Cr, or Ag is formed by sputtering or the like, and a resist is applied and exposed to form a reflective film 31.
The thickness of the reflective film is a value that can reflect light and hardly affect the shape of other films, and is preferably about 10 to 500 nm, more preferably about 20 to 100 nm. Further, it is desirable to design the end portion of the reflective film so as to be inside the end portion of the black matrix. If possible, it is more desirable to design the end portion within 1 to 3 μm (thinning the line width). This is to prevent a part of the reflective film from protruding from the black matrix or being seen from an oblique direction due to the positional deviation.
Next, a color conversion (CCM) layer 103 / flattening layer 104 is formed by photolithography. After the moisture is removed by heat treatment, the passivation film 105 is formed of a single film or a laminated film of SiO, SiO 2 , SiN or the like using sputtering, CVD, or vapor deposition.
Next, a transparent electrode (anode) 106 such as ITO or IZO is formed on the passivation film 105. At this time, the exposure and etching conditions in the photo process can be adjusted, and the end portion can be tapered. Next, an organic shadow mask material 108 is applied, and a pattern for opening the display portion opening is formed by photolithography. Of course, the shadow mask may be made of an inorganic material such as SiO 2 or SiN that absorbs less moisture that damages the organic EL. Next, a cathode separation wall is formed in a direction orthogonal to the anode wiring. Here, the organic EL layer 109 including the organic light emitting layer and the cathode metal 110 such as Al are vapor-deposited to form the light emitting units 1 in a matrix.

図3(a)の構造において発光層109内から出射した光のうち、従来(図1(b)で)基板へ入射していた光は、全て取り出せる。これに加えて、主に光路g、光路hのように、色変換後に水平反射膜31で反射し、更に反射電極110で反射して出射する光があり、この分の光取り出し効率が増加する。これらは、主にパネル側面(横)から見たときの輝度向上に効果的である。また、水平反射膜31で反射後に色変換して散乱し、基板へ出射する光もある。   Of the light emitted from the light emitting layer 109 in the structure of FIG. 3A, all of the light conventionally incident on the substrate (in FIG. 1B) can be extracted. In addition to this, there is light that is reflected by the horizontal reflection film 31 after color conversion and then reflected and emitted by the reflective electrode 110, mainly as in the optical path g and the optical path h, and this increases the light extraction efficiency. . These are effective for improving the luminance when viewed from the side (side) of the panel. Further, there is also light that is color-converted and scattered after being reflected by the horizontal reflecting film 31 and emitted to the substrate.

図3(b)は、本発明の第2の形態である。これは、第1の形態において、水平反射膜31を形成して、色変換層103を形成したのち、該色変換層の側面にさらに反射膜32を形成するものである。
通常、色変換方式において、色変換層の厚さは、5μm〜20μm程度である。本発明の有機EL素子が2個以上の発光単位を備える場合、隣接する色変換層の間隔は、2μm〜10μm程度である。
該色変換層の側面全体に均一な反射膜を形成するためには、隙間や側面への膜付けが可能なスパッタまたはCVDを適用することが好ましい。側面反射膜32の好ましい厚さは、水平反射膜31と同様である。
次いでフォトリソグラフ法によって平坦化層104を形成するが、側面反射膜32の段差が現れないように、膜厚等を調整する必要がある。その後は、第1の形態同様、パッシベーション膜105から反射電極(陰極配線)110までを形成する。
この形態においては、第1の形態の光の出射経路に加えて、例えば、光路iや光路jも考えられる。これらの光路は、パネル正面(紙面下側)に出る光の増加に寄与し得る。
FIG. 3B shows a second embodiment of the present invention. In the first embodiment, the horizontal reflection film 31 is formed and the color conversion layer 103 is formed, and then the reflection film 32 is further formed on the side surface of the color conversion layer.
Usually, in the color conversion method, the thickness of the color conversion layer is about 5 μm to 20 μm. When the organic EL element of the present invention includes two or more light emitting units, the interval between adjacent color conversion layers is about 2 μm to 10 μm.
In order to form a uniform reflective film on the entire side surface of the color conversion layer, it is preferable to apply sputtering or CVD capable of forming a film on the gap or the side surface. A preferable thickness of the side reflection film 32 is the same as that of the horizontal reflection film 31.
Next, the planarization layer 104 is formed by photolithography, but it is necessary to adjust the film thickness and the like so that the step of the side reflection film 32 does not appear. Thereafter, as in the first embodiment, the layers from the passivation film 105 to the reflective electrode (cathode wiring) 110 are formed.
In this form, in addition to the light emission path of the first form, for example, an optical path i and an optical path j are also conceivable. These optical paths can contribute to an increase in light emitted from the front of the panel (the lower side of the paper).

本発明の有機EL素子は、前記カラーフィルタと前記ブラックマトリクスとの間に、ブラックマトリクスの遮光範囲内で、反射膜を備えたものであってもよい。
図4(a)第3の形態は、図4(b)第4の形態は、それぞれ第1の形態、第2の形態における反射膜をブラックマトリクス101上に形成したものである。この形態は、反射膜41が平坦で且つカラーフィルタ102の下に来るので、色変換層103をフォトリソグラフ法で形成する際に、露光時の端部の乱反射が少なく、形状の制御性が良いという利点がある。この場合は、色変換した端部の光は、光路gのようにカラーフィルタ102を通過して水平反射膜41で反射され、開口部から出射することができるが、光路kのように色変換せずに透過してきた光は、僅かしかカラーフィルタ102を通過できず、水平反射膜41に到達する前に吸収されてしまうので、第1、第2の形態より取り出し効率は低下する。また、図4(a)第3の形態と図4(b)第4の形態との比較では、第4の形態の方が、光路lのような側面反射膜42による側面反射の経路もあるので多少効率が良くなる。
The organic EL element of the present invention may be provided with a reflective film between the color filter and the black matrix within the light shielding range of the black matrix.
FIG. 4A shows a third embodiment, and FIG. 4B shows a fourth embodiment in which the reflective film in the first embodiment and the second embodiment is formed on the black matrix 101, respectively. In this embodiment, since the reflection film 41 is flat and comes under the color filter 102, when the color conversion layer 103 is formed by the photolithographic method, there is little irregular reflection at the end during exposure, and the shape controllability is good. There is an advantage. In this case, the color-converted end light passes through the color filter 102 as in the optical path g, is reflected by the horizontal reflection film 41, and can be emitted from the opening, but is color-converted as in the optical path k. The light that has been transmitted without passing through the color filter 102 is absorbed only before it reaches the horizontal reflection film 41, so that the extraction efficiency is lower than in the first and second embodiments. Further, in the comparison between the third embodiment shown in FIG. 4 (a) and the fourth embodiment shown in FIG. 4 (b), the fourth embodiment also has a side reflection path by the side reflection film 42 like the optical path l. So it is a little more efficient.

上述した図3(b)および図4(b)のような形態とすることにより、図1(b)の光路cや光路fのように、色変換されずに隣の発光単位に達する光が、隣の発光単位を光らせることを防ぎ、シャープな画像を提供することができる。
色変換されずに隣の発光単位に達する光の割合は、高精細になって発光単位の間隔が縮小されるほど相対的に増加するので、高精細になるほど図3(b)および図4(b)のような形態がより効果的となる。なお、色変換された光が隣の発光単位に入ったとしても、該隣の発光単位のカラーフィルタ102で吸収されるので問題ない。
精細度にかかわらず、先述した透明電極106の端部からの散乱光が隣の発光単位に入る可能性もあるが、これも図3(b)および図4(b)のような形態とすることにより解決できる。
3B and 4B described above, the light reaching the adjacent light emitting unit without color conversion as in the optical path c and the optical path f in FIG. It is possible to prevent a neighboring light emitting unit from being illuminated and to provide a sharp image.
Since the ratio of light reaching the adjacent light emitting unit without color conversion increases as the definition becomes higher and the interval between the light emitting units is reduced, the higher the definition, the higher the definition becomes, as shown in FIGS. A form like b) becomes more effective. Even if the color-converted light enters the adjacent light emitting unit, there is no problem because it is absorbed by the color filter 102 of the adjacent light emitting unit.
Regardless of the definition, the scattered light from the end of the transparent electrode 106 described above may enter the adjacent light emitting unit, which is also configured as shown in FIGS. 3B and 4B. Can be solved.

本発明の有機EL素子は、2個以上の発光単位を備え、上記色変換層が、発光単位ごとに区分して備えられ、各色変換層の側面全周に反射膜を備えたものであることが好ましい。
図5(b)は、各発光単位の全周囲に側面反射膜32、42を形成した状態での本発明の有機EL素子の1画素分(RGB)の形状を示した斜視図である。
図5(b)のような有機EL素子は、例えば、図5(a)に示すように基板11上に光が出射することができる開口部分22を縁取るように格子状にブラックマトリクス層21を形成し、上記開口部分22を被覆するように、カラーフィルタ層を形成し、上記開口部分に入射する光を遮らないように、上記カラーフィルタ層上に反射膜31、41を形成し、上記カラーフィルタ層および上記反射膜の上に、発光単位ごとに区分して色変換層を形成しカラーフィルタ層/色変換層積層体51を得たのち、カラーフィルタ層/色変換層積層体51の端部、全周囲に側面反射膜32、42を形成することにより得られるものである。
図5(a)および図5(b)のような形態とすることにより、2次元的な光の散乱のみならず、図2に示す従来の短冊状のカラーフィルタ/色変換層積層体23において考慮されていなかった短冊の長手方向に散乱する光に対応することができる。
The organic EL element of the present invention comprises two or more light emitting units, the color conversion layer is provided separately for each light emitting unit, and a reflective film is provided on the entire side surface of each color conversion layer. Is preferred.
FIG. 5B is a perspective view showing the shape of one pixel (RGB) of the organic EL element of the present invention in a state in which the side reflection films 32 and 42 are formed around the entire periphery of each light emitting unit.
The organic EL element as shown in FIG. 5B has, for example, a black matrix layer 21 in a lattice shape so as to border an opening 22 through which light can be emitted onto the substrate 11 as shown in FIG. Forming a color filter layer so as to cover the opening portion 22, and forming reflective films 31 and 41 on the color filter layer so as not to block light incident on the opening portion, On the color filter layer and the reflective film, a color conversion layer is formed by dividing each light emitting unit to obtain a color filter layer / color conversion layer stack 51, and then the color filter layer / color conversion layer stack 51 It is obtained by forming the side reflection films 32 and 42 at the end and the entire periphery.
5 (a) and 5 (b), not only two-dimensional light scattering but also the conventional strip-shaped color filter / color conversion layer laminate 23 shown in FIG. It is possible to cope with light scattered in the longitudinal direction of the strip which has not been considered.

本発明の有機EL素子は、各発光単位について、水平反射膜開口面積(B)が、ブラックマトリクス開口面積(A)より大きいものである。上記面積(B)が、面積(A)より大きいのは、金属反射膜を隠しつつコントラストを向上するためである。
本発明の有機EL素子はまた、側面反射膜開口面積(C)が、上記面積(B)と同程度の大きさか、または、面積(B)より大きいことが好ましい。
面積(C)が、上記面積(B)より大きい方が好ましいのは、できるだけ多くのEL光を色変換層に入れるためである。
本明細書において、ブラックマトリクス開口面積とは、有機EL層から積層面に垂直に入射した光が、ブラックマトリクスに遮られることなく透過することができる面積である。
本明細書において、水平反射膜開口面積とは、有機EL層から積層面に垂直に入射した光が、水平反射膜に遮られることなく透過することができる面積である。
本明細書において、側面反射膜開口面積とは、有機EL層から積層面に垂直に入射した光が、側面反射膜に遮られることなく透過することができる面積である。
In the organic EL device of the present invention, the horizontal reflection film opening area (B) is larger than the black matrix opening area (A) for each light emitting unit. The reason why the area (B) is larger than the area (A) is to improve contrast while hiding the metal reflective film.
In the organic EL device of the present invention, it is also preferable that the side reflection film opening area (C) is as large as the area (B) or larger than the area (B).
The reason why the area (C) is preferably larger than the area (B) is to put as much EL light as possible into the color conversion layer.
In this specification, the black matrix opening area is an area through which light incident from the organic EL layer perpendicularly to the laminated surface can be transmitted without being blocked by the black matrix.
In this specification, the horizontal reflection film opening area is an area through which light vertically incident on the laminated surface from the organic EL layer can be transmitted without being blocked by the horizontal reflection film.
In this specification, the side reflection film opening area is an area through which light incident from the organic EL layer perpendicularly to the laminated surface can be transmitted without being blocked by the side reflection film.

本発明の有機EL素子は、高精細な有機ELパネルを製造する際に好適であり、130ppi以上250ppi以下の有機ELパネルの製造に特に好適に用いることができる。   The organic EL element of the present invention is suitable for producing a high-definition organic EL panel, and can be particularly suitably used for producing an organic EL panel having 130 to 250 ppi.

なお、本発明の形態は、有機ELパネル構造を例に示したが、色変換層をもつ構成であれば、有機EL発光に限るものではなく、無機ELディスプレイやFED、液晶ディスプレイ等他の方式でも同様であり、本発明の範囲である。
本発明の構造は、色変換層端部で色変換された光がブラックマトリクス上の反射膜で反射され、その一部が反射電極(陰極配線)に戻り、さらに開口部から出射する。また、色変換されずに透過してきた光は、反射膜で反射され、その一部が色変換層で色変換してブラックマトリクス開口部から直接出射することもある。更に、色変換層の端部に反射膜がある場合は、ブラックマトリクス上の反射膜で反射した光が、側面から漏れずに反射され、一部が色変換して開口部から出射する。その他本案の構造では、様々な経路によって、従来ブラックマトリクスで吸収されてしまっていた光や隣の発光単位付近まで漏れていた光の一部が開口部から出射する。また、側面反射膜は、逆に隣の透明電極端等からの散乱光が入射することの防止にも役立つ。
Although the embodiment of the present invention has shown an organic EL panel structure as an example, it is not limited to organic EL light emission as long as it has a color conversion layer, and other methods such as an inorganic EL display, FED, and liquid crystal display are used. However, the same is true and is within the scope of the present invention.
In the structure of the present invention, the color-converted light at the end of the color conversion layer is reflected by the reflective film on the black matrix, part of which is returned to the reflective electrode (cathode wiring) and further emitted from the opening. In addition, the light transmitted without being color-converted is reflected by the reflective film, and a part of the light may be color-converted by the color conversion layer and emitted directly from the black matrix opening. Furthermore, when there is a reflection film at the end of the color conversion layer, the light reflected by the reflection film on the black matrix is reflected without leaking from the side surface, and part of the color is converted and emitted from the opening. In addition, in the structure of the present plan, a part of the light that has been absorbed by the black matrix and leaked to the vicinity of the adjacent light emitting unit is emitted from the opening through various paths. On the contrary, the side reflection film is useful for preventing the scattered light from the adjacent transparent electrode end or the like from entering.

基板上に、ブラックマトリクス層と、カラーフィルタ層と、色変換層またはクリアー層と、オーバーコート層と、第1電極と、有機発光層を含む有機EL層と、第2電極を順次形成した1個以上の発光単位を備え、有機EL層から生じた光が前記基板から出射される色変換方式のボトムエミッション型有機EL素子の製造方法であって、基板上に、前記光が出射することができる開口窓を形成するようにブラックマトリクス層を形成する工程と、フォトリソグラフ法により、前記開口窓を被覆するように、カラーフィルタ層を形成する工程と、
該カラーフィルタ層上に、前記開口窓に垂直入射する前記光を遮らないように、反射膜を形成する工程と、前記カラーフィルタ層および前記反射膜の上に、前記カラーフィルタ層の形成に用いたフォトマスクを使用して、発光単位ごとに区分して色変換層を形成する工程とを含むことを特徴とする有機EL素子の製造方法もまた、本発明の一つである。
A black matrix layer, a color filter layer, a color conversion layer or a clear layer, an overcoat layer, a first electrode, an organic EL layer including an organic light emitting layer, and a second electrode are sequentially formed on the substrate. A method of manufacturing a color conversion type bottom emission type organic EL device comprising at least one light emitting unit, wherein light generated from an organic EL layer is emitted from the substrate, wherein the light is emitted onto the substrate. Forming a black matrix layer so as to form an openable window, and forming a color filter layer so as to cover the open window by a photolithography method,
Forming a reflective film on the color filter layer so as not to block the light perpendicularly incident on the aperture window; and forming the color filter layer on the color filter layer and the reflective film. A method for producing an organic EL element comprising a step of forming a color conversion layer by dividing the light emitting unit by using a conventional photomask is also one aspect of the present invention.

図3および図4に例示するような基板構造を得るために増加する手間は、反射膜を付けるという1〜2工程に過ぎず、安価である。
場合によっては、端子等を形成する金属と反射膜を同時に形成することができるので、その際は、工程の増加はない。
また、色変換層を形成する工程でカラーフィルタ層の形成に用いたフォトマスクを使用することによりコストを低減することができる。
The labor required to obtain the substrate structure as illustrated in FIGS. 3 and 4 is only one or two steps of attaching the reflective film, and is inexpensive.
In some cases, the metal forming the terminals and the reflective film can be formed at the same time, so that there is no increase in the number of processes.
In addition, the cost can be reduced by using the photomask used for forming the color filter layer in the step of forming the color conversion layer.

本発明の有機EL素子は、基板11上に、ブラックマトリクス101と、カラーフィルタ102と、色変換層またはクリアー層103と、オーバーコート層104とを順次形成したものである。
基板11としては、各発光単位からの出射光波長について透明な材質であれば特に限定されず、例えば、無アルカリガラス;ソーダガラス;石英;ポリカーボネート、アクリル、PET等の透明プラスチック材料;SiO2ガラス等が挙げられる。
In the organic EL device of the present invention, a black matrix 101, a color filter 102, a color conversion layer or clear layer 103, and an overcoat layer 104 are sequentially formed on a substrate 11.
The substrate 11 is not particularly limited as long as it is a transparent material with respect to the wavelength of light emitted from each light emitting unit. For example, non-alkali glass; soda glass; quartz; transparent plastic material such as polycarbonate, acrylic, and PET; SiO 2 glass Etc.

ブラックマトリクス101は、各発光単位で発光した光が、隣の発光単位付近で散乱するのを防いだり、後述する透明電極やシャドウマスク、カラーフィルタ、色変換層の端部が入射外光によって散乱して見えるのを防ぐ役割を果たす層である。
ブラックマトリクス101の材質としては、カーボンブラック等の黒色顔料または染料を含む感光性樹脂が挙げられる。
The black matrix 101 prevents light emitted from each light emitting unit from being scattered in the vicinity of the adjacent light emitting unit, and the ends of transparent electrodes, shadow masks, color filters, and color conversion layers described later are scattered by incident external light. It is a layer that plays a role in preventing it from appearing.
Examples of the material of the black matrix 101 include a photosensitive resin containing a black pigment or dye such as carbon black.

カラーフィルタ102は、発光された光の波長を選択的に吸収または透過させることによって出射される光の色純度を向上させる機能を有するフィルタである。例えば3原色を用いたフルカラーディスプレイ等では、青色(B)であれば400nm〜550nm、緑色であれば500nm〜600nm、赤色であれば600nm以上の波長を透過させて色純度を高めている。製法としては、感光性樹脂層に染料や顔料を分散させた着色感材を材料として、これを塗布、露光、現像と繰り返してパターンを形成させる方法が一般的であり、特に最近では耐性面から染料よりも顔料を分散させたカラーフィルタが多くなっている。分散材として用いられる代表的な顔料としては、アゾレーキ系、不溶性アゾ系、縮合アゾ系、フタロシアニン系、キナクリドン系、ジオキサジン系、イソインドリノン系、アントラキノン系、ベリノン系、チオイン系、ベリレン系、これらの混合系等がある。   The color filter 102 is a filter having a function of improving the color purity of emitted light by selectively absorbing or transmitting the wavelength of emitted light. For example, in a full color display using three primary colors, the color purity is enhanced by transmitting wavelengths of 400 nm to 550 nm for blue (B), 500 nm to 600 nm for green, and 600 nm for red. As a manufacturing method, a method of forming a pattern by repeatedly applying, exposing, and developing a colored photosensitive material in which a dye or pigment is dispersed in a photosensitive resin layer is a common method, particularly recently in terms of durability. There are more color filters in which pigments are dispersed than dyes. Typical pigments used as dispersing agents include azo lake, insoluble azo, condensed azo, phthalocyanine, quinacridone, dioxazine, isoindolinone, anthraquinone, verinone, thioin, and berylene. There are mixed systems.

クリアー層103は、有機発光層から発光された近紫外領域ないし可視領域の光に対して透明な層である。クリアー層103の材質としては、アクリル系樹脂を用いることができる。
色変換層103は、有機発光層から発光された近紫外領域ないし可視領域の光を蛍光色素が吸収して異なる波長の可視光を発する機能を有する層である。これは蛍光色素と入射させる光の組み合わせによって、様々な波長領域の蛍光を発することができる。また、例えば、青色に発光された光を吸収して赤色領域の蛍光を発することによって、波長を選択的に透過させて赤色領域の光を出射するよりも強い光を出力することも可能であり、これらは色変換方式の有機EL素子に応用されている。製法としては、感光性樹脂層に蛍光色素を分散させた着色感材を材料として、これを塗布、露光、現像と繰り返してパターンを形成させる方法が一般的である。青色ないし青緑色領域の光を吸収して、緑色領域の蛍光を発する蛍光色素としては、例えば3−(2’−ベンゾチアゾリル)−7−ジエチルアミノ−クマリン(クマリン6)、3−(2’−ベンゾイミダゾリル)−7−ジエチルアミノ−クマリン(クマリン7)、3−(2’−N−メチルベンゾイミダゾリル)−7−ジエチルアミノ−クマリン(クマリン30)、2,3,5,6−1H,4H−テトラヒドロ−8−トリフルオロメチルキノリジン(9,9a,1−gh)クマリン(クマリン153)等のクマリン系色素、あるいはクマリン色素系染料である、ベーシックイエロー51、さらにはソルベントイエロー11、ソルベントイエロー116等のナフタルイミド系色素等が挙げられる。さらに、各種染料(直接染料、酸性染料、塩基性染料、分散染料等)も蛍光性があれば使用することができる。また青色から青緑色領域の光を吸収して、赤色領域の蛍光を発する蛍光色素としては、例えばローダミンB、ローダミン6G、ローダミン3B、ローダミン101、ローダミン110、スルホローダミン、ベーシックバイオレット11、ベーシックレッド2等のローダミン系色素、シアニン系色素、1−エチル−2−[4−(p−ジメチルアミノフェニル)−1,3−ブタジエニル]−ピリジニウムパークロレート(ピリジン1)等のピリジン系色素、あるいはオキサジン系色素等が挙げられる。さらに、各種染料(直接染料、酸性染料、塩基性染料、分散染料等)も蛍光性があれば使用することができる。
The clear layer 103 is a layer that is transparent to light in the near ultraviolet region or visible region emitted from the organic light emitting layer. As a material of the clear layer 103, an acrylic resin can be used.
The color conversion layer 103 is a layer having a function of emitting visible light of different wavelengths by the fluorescent dye absorbing light in the near ultraviolet region or visible region emitted from the organic light emitting layer. This can emit fluorescence in various wavelength regions depending on the combination of incident light with a fluorescent dye. In addition, for example, by absorbing light emitted in blue and emitting fluorescence in the red region, it is also possible to output light that is stronger than selectively transmitting wavelengths and emitting light in the red region. These are applied to color conversion type organic EL elements. As a production method, a method is generally used in which a colored photosensitive material in which a fluorescent pigment is dispersed in a photosensitive resin layer is used as a material, and this is repeatedly applied, exposed and developed to form a pattern. Examples of fluorescent dyes that absorb light in the blue or blue-green region and emit green region fluorescence include 3- (2′-benzothiazolyl) -7-diethylamino-coumarin (coumarin 6) and 3- (2′-benzimidazolyl). ) -7-diethylamino-coumarin (coumarin 7), 3- (2′-N-methylbenzimidazolyl) -7-diethylamino-coumarin (coumarin 30), 2,3,5,6-1H, 4H-tetrahydro-8- Coumarin-based dyes such as trifluoromethylquinolidine (9,9a, 1-gh) coumarin (coumarin 153), or coumarin dye-based dyes such as basic yellow 51, and naphthalimide such as solvent yellow 11 and solvent yellow 116 System dyes and the like. Furthermore, various dyes (direct dyes, acid dyes, basic dyes, disperse dyes, etc.) can be used if they are fluorescent. Examples of fluorescent dyes that absorb light in the blue to blue-green region and emit fluorescence in the red region include rhodamine B, rhodamine 6G, rhodamine 3B, rhodamine 101, rhodamine 110, sulforhodamine, basic violet 11, and basic red 2. Rhodamine dyes such as rhodium dyes, cyanine dyes, pyridine dyes such as 1-ethyl-2- [4- (p-dimethylaminophenyl) -1,3-butadienyl] -pyridinium perchlorate (pyridine 1), or oxazine dyes And pigments. Furthermore, various dyes (direct dyes, acid dyes, basic dyes, disperse dyes, etc.) can be used if they are fluorescent.

オーバーコート層104は、カラーフィルタや色変換層の凹凸を平坦化して、その上に有機ELの発光機能をもつパターンを形成しやすくする機能を有する。
オーバーコート層104の材質としては、アクリル系樹脂、ノボラック系樹脂、ポリイミド系樹脂等が挙げられる。
The overcoat layer 104 has a function of flattening the unevenness of the color filter and the color conversion layer and facilitating formation of a pattern having an organic EL light emitting function thereon.
Examples of the material for the overcoat layer 104 include acrylic resins, novolac resins, and polyimide resins.

本発明の有機EL素子は、上記オーバーコート層104上に、パッシベーション層105と、第1電極(透明電極)106と、有機EL層109と、第2電極110とを順次形成して構成されている。   The organic EL element of the present invention is formed by sequentially forming a passivation layer 105, a first electrode (transparent electrode) 106, an organic EL layer 109, and a second electrode 110 on the overcoat layer 104. Yes.

パッシベーション層105は、色変換層やオーバーコート層に含まれる水分や揮発性物質を遮断し、有機EL発光層に悪影響を与えないようにするという機能を有する層である。
パッシベーション層105の材質として例えば、SiN、SiON,SiO2あるいはこれらの積層体等が好ましく用いられる。
The passivation layer 105 is a layer having a function of blocking moisture and volatile substances contained in the color conversion layer and the overcoat layer so as not to adversely affect the organic EL light emitting layer.
For example, SiN, SiON, SiO2, or a laminate thereof is preferably used as the material of the passivation layer 105.

第1電極106は、透光性導電性材料からなる膜であり、例えば、In−Tin酸化物(ITO)、In−Zn酸化物(IZO)等が好ましく用いられる。   The first electrode 106 is a film made of a light-transmitting conductive material, and for example, In-Tin oxide (ITO), In-Zn oxide (IZO), or the like is preferably used.

有機EL層109は、正孔注入層、正孔輸送層、有機発光層、電子輸送層、電子注入層から構成することができるが、該構成には特に限定されず、第1電極106および第2電極110に電圧が印加されることによって生じる正孔および電子が再結合することで発光する有機発光層を少なくとも含む構造であればよい。具体的には、有機EL層109は、例えば、以下に示すような構造が挙げられる。
(1)有機発光層
(2)正孔注入層/有機発光層
(3)有機発光層/電子輸送層
(4)正孔注入層/有機発光層/電子輸送層
(5)正孔注入層/正孔輸送層/有機発光層/電子輸送層
(6)正孔注入層/正孔輸送層/有機発光層/電子輸送層/電子注入層
The organic EL layer 109 can be composed of a hole injection layer, a hole transport layer, an organic light emitting layer, an electron transport layer, and an electron injection layer. However, the structure is not particularly limited, and the first electrode 106 and the first electrode 106 Any structure that includes at least an organic light emitting layer that emits light by recombination of holes and electrons generated by applying a voltage to the two electrodes 110 may be used. Specifically, the organic EL layer 109 has the following structure, for example.
(1) Organic light emitting layer (2) Hole injection layer / organic light emitting layer (3) Organic light emitting layer / electron transport layer (4) Hole injection layer / organic light emitting layer / electron transport layer (5) Hole injection layer / Hole transport layer / organic light emitting layer / electron transport layer (6) hole injection layer / hole transport layer / organic light emitting layer / electron transport layer / electron injection layer

有機EL層109における各層の材料としては、特に限定されるものではなく公知のものを使用することが可能である。有機発光層の材料は、所望する色調に応じて選択することが可能であり、例えば青色から青緑色の発光を得るためには、ベンゾチアゾール系、ベンゾイミダゾール系、ベンゾオキサゾール系等の蛍光増白剤、金属キレート化オキソニウム化合物、スチリルベンゼン系化合物、芳香族ジメチリディン系化合物等を使用することが可能である。
電子注入層の材料としては、Li、Na、K、またはCs等のアルカリ金属;Ba、SI等のアルカリ土類金属;希士類金属;あるいはそれらのフッ化物、アルミキレート(Alq)等を使用することが可能であるが、これらに限定するものではない。さらに、電子輸送層の材料としては、Alq3、ベンズアズールを使用することが可能であるが、これらに限定するものではない。
正孔注入層としては、銅フタロシアニンを使用することが可能であるが、これに限定するものではない。正孔輸送層としては、4,4’−ビス[N−(l−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル、トリフェニルジアミン(TPD)等を使用することが可能であるが、これに限定するものではない。
The material of each layer in the organic EL layer 109 is not particularly limited, and known materials can be used. The material of the organic light emitting layer can be selected according to the desired color tone. For example, in order to obtain light emission from blue to blue green, fluorescent whitening such as benzothiazole, benzimidazole, and benzoxazole Agents, metal chelated oxonium compounds, styrylbenzene compounds, aromatic dimethylidin compounds, and the like can be used.
Materials for the electron injection layer include alkali metals such as Li, Na, K, or Cs; alkaline earth metals such as Ba and SI; rare metals; or their fluorides, aluminum chelates (Alq), etc. However, the present invention is not limited to these. Furthermore, Alq3 and benzazul can be used as the material for the electron transport layer, but the material is not limited to these.
As the hole injection layer, copper phthalocyanine can be used, but is not limited thereto. As the hole transport layer, 4,4′-bis [N- (l-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl, triphenyldiamine (TPD), or the like can be used, but is not limited thereto. It is not a thing.

第2電極110は、有機EL層109の第1電極106と反対側の表面に直接、あるいは上記保護膜を介して形成される。第2電極110としては、Al、Ag、Mg/Ag等の導電性かつ反射性の材料を用いることが好ましい。
以下、本発明を例に基づき説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
The second electrode 110 is formed directly on the surface of the organic EL layer 109 opposite to the first electrode 106 or via the protective film. The second electrode 110 is preferably made of a conductive and reflective material such as Al, Ag, Mg / Ag.
Hereinafter, although the present invention is explained based on an example, the present invention is not limited to this.

230×200mm×厚さ0.7mmの無アルカリガラス基板に、厚さ1μmのブラックマトリックス(CK−7001:富士フイルムARCH社製)をフォトリソグラフ法で形成した。画素サイズ(RGB)は、□150μm(169ppi)、開口は20μm×120μm(線幅約30μm)×RGB、開口率32%とした。次に、赤色カラーフィルタ(CR−7001:富士フイルムARCH社製)、緑色カラーフィルタ(CG−7001:富士フイルムARCH社製)、青色カラーフィルタ(CB−7001:富士フイルムARCH社製)をフォトリソグラフ法で形成した。厚さは1〜2μmで、約40μm×140μm×RGBの島形状が並ぶ構成とした。従って、カラーフィルタ端部は、ブラックマトリクスに片側10μmかぶせ、隣との間隔は10μmとした。これにスパッタによって、厚さ50nmのAlを成膜した。スパッタ装置はRF−プレーナマグネトロン、ガスはArを使用した。形成時の基板温度は約100℃とした。これにレジストを塗布し、露光・現像によって線幅26μm(ブラックマトリクスより片側約2μm内側)で厚さ50nmのAlからなる水平反射膜を形成した。   A black matrix (CK-7001: manufactured by FUJIFILM ARCH) having a thickness of 1 μm was formed on a non-alkali glass substrate having a size of 230 × 200 mm × 0.7 mm in thickness by a photolithographic method. The pixel size (RGB) is □ 150 μm (169 ppi), the aperture is 20 μm × 120 μm (line width of about 30 μm) × RGB, and the aperture ratio is 32%. Next, a red color filter (CR-7001: manufactured by FUJIFILM ARCH), a green color filter (CG-7001: manufactured by FUJIFILM ARCH), and a blue color filter (CB-7001: manufactured by FUJIFILM ARCH) are photolithographed. Formed by the law. The thickness was 1 to 2 μm, and an island shape of about 40 μm × 140 μm × RGB was arranged. Therefore, the end of the color filter is 10 μm on one side of the black matrix, and the distance from the adjacent is 10 μm. A 50 nm-thick Al film was formed thereon by sputtering. The sputtering apparatus used was an RF-planar magnetron and the gas used was Ar. The substrate temperature during the formation was about 100 ° C. A resist was applied thereto, and a horizontal reflective film made of Al having a line width of 26 μm (about 2 μm inside from one side of the black matrix) and a thickness of 50 nm was formed by exposure and development.

次にカラーフィルタと同じフォトマスクを用いて、40μm×140μm×RGB、厚さ約10μmの色変換層を図5(a)のように島状に並ぶように形成した。従って、色変換層端部も、ブラックマトリクスに片側10μmかぶせ、隣との間隔は10μmを狙った。ただし、色変換層は厚いので、線幅の制御が難しく、実際の間隔は4〜16μm程度になる。塗布液は、フォトレジストV259PAP5(新日鐵化学社製)25gに対し、緑色への変換用にはクマリン6を0.05g添加し、赤色への変換用にはローダミンB 0.04g+クマリン 60.05gを添加した。なお、後述する有機EL素子の発光スペクトルは、青色〜緑色(400nm〜550nm)であるので、青色は色変換層とせず、透明なアクリル系樹脂で形成した。   Next, using the same photomask as the color filter, a color conversion layer of 40 μm × 140 μm × RGB and a thickness of about 10 μm was formed so as to be arranged in an island shape as shown in FIG. Therefore, the end portion of the color conversion layer was also covered with the black matrix at 10 μm on one side, and the distance from the adjacent was aimed at 10 μm. However, since the color conversion layer is thick, it is difficult to control the line width, and the actual interval is about 4 to 16 μm. As for the coating solution, 0.05 g of coumarin 6 is added for conversion to green and 25 g of rhodamine B + coumarin for conversion to red with respect to 25 g of photoresist V259PAP5 (manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.). 05 g was added. In addition, since the emission spectrum of the organic EL element described later is blue to green (400 nm to 550 nm), blue was not formed as a color conversion layer, but was formed of a transparent acrylic resin.

これに、スパッタを用いて厚さ約50nmのAlを成膜し、フォトリソグラフ法で図3(b)、図5(b)のように形成した。このときコスト削減のために、水平反射膜用と同じフォトマスクを使い、レジストの露光時間とエッチング時間の調整によって水平反射膜より線幅が細く(片側約3μm以上開口が大きく)なるようにした。従って、色変換層開口面積>水平反射膜開口面積>ブラックマトリクス開口面積となる。   Then, an Al film having a thickness of about 50 nm was formed by sputtering and formed by photolithography as shown in FIGS. 3B and 5B. At this time, in order to reduce the cost, the same photomask as that for the horizontal reflection film was used, and the line width was narrower than that of the horizontal reflection film by adjusting the exposure time and etching time of the resist (the opening was larger by about 3 μm or more on one side). . Therefore, the color conversion layer opening area> the horizontal reflection film opening area> the black matrix opening area.

この上に、アクリル系樹脂を厚さ約3μmでスピンコートし、露光・現像して平坦化した。これを180℃30分真空加熱して水分を除去し、次に厚さ約200nmのSiO2のガスバリア層をスパッタで形成した。スパッタ装置はRF−プレーナマグネトロン、ガスはArを使用した。形成時の基板温度は80℃で行った。 On top of this, an acrylic resin was spin-coated with a thickness of about 3 μm, exposed and developed to be flattened. This was heated at 180 ° C. for 30 minutes to remove moisture, and then a SiO 2 gas barrier layer having a thickness of about 200 nm was formed by sputtering. The sputtering apparatus used was an RF-planar magnetron and the gas used was Ar. The substrate temperature at the time of formation was 80 ° C.

上記のようにして製造した下地層の上に、約200nmのIZO膜を全面スパッタ成膜し、IZO上にレジスト剤「OFRP−800」(商品名、東京応化製)を塗布した後、フォトリソグラフ法にてストライプ状のパターンを形成し、それぞれの色の発光部(赤色,緑色,および青色)に対応する陽極を得た。IZOパターンの側面テーパー角は、露光時間やエッチング条件を調整し、
パッシベーション層の積層面に対して約40°とした。次にこの上に1μmのノボラック系樹脂膜(JEM−700R2、JSR社製)をスピンコートで塗布し、フォトリソグラフ法によって発光させる部位(表示部)に窓を開けるようにシャドウマスクを形成した。表示部マスク開口は、約26μm×126μmとした。
An IZO film having a thickness of about 200 nm is formed on the underlayer produced as described above by sputtering, and a resist agent “OFRP-800” (trade name, manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) is applied on the IZO, followed by photolithography. Striped patterns were formed by the method, and anodes corresponding to the light emitting portions (red, green, and blue) of the respective colors were obtained. The side taper angle of the IZO pattern adjusts the exposure time and etching conditions,
The angle was about 40 ° with respect to the lamination surface of the passivation layer. Next, a 1 μm novolak resin film (JEM-700R2, manufactured by JSR) was applied thereon by spin coating, and a shadow mask was formed so as to open a window at a portion (display portion) that emits light by a photolithographic method. The display portion mask opening was about 26 μm × 126 μm.

次に、シャドウマスクの開口部と開口部の隙間に、IZOと直交する方向に陰極分離壁を配置し、マトリックス駆動の構造を作った。陰極分離壁は、有機レジスト材料であり、露光時間を調整して、上面が約12μm幅、底面が約6μm幅、高さ約4μmの逆テーパー形状とした。   Next, a cathode separation wall was arranged in a direction perpendicular to the IZO in the gap between the openings of the shadow mask to make a matrix drive structure. The cathode separation wall is an organic resist material, and the exposure time was adjusted so that the upper surface was approximately 12 μm wide, the bottom surface was approximately 6 μm wide, and the height was approximately 4 μm.

次いで、基板に約5分間のUVオゾン処理を施した後、抵抗加熱蒸着装置内に装着し、正孔注入層、正孔輸送層、有機発光層、電子注入層を、真空を破らずに順次成膜した。成膜に際して真空槽内圧は1×10-4Paまで減圧した。正孔注入層は銅フタロシアニン(CuPc)を100nm積層した。正孔輸送層は4,4’―ビス[N―(1―ナフチル)―N―フェニルアミノ]ビフェニル(α―NPD)を20nm積層した。発光層は4,4’―ビス(2,2’―ジフェニルビニル)ビフェニル(DPVBi)を30nm積層した。電子注入層はアルミキレート(Alq)を20nm積層した。成膜の際は、表示部に対応する位置に四角窓が空いたメタルマスクを適用した。 Next, after the substrate is subjected to UV ozone treatment for about 5 minutes, it is mounted in a resistance heating vapor deposition apparatus, and the hole injection layer, hole transport layer, organic light emitting layer, and electron injection layer are sequentially formed without breaking the vacuum. A film was formed. During film formation, the internal pressure of the vacuum chamber was reduced to 1 × 10 −4 Pa. As the hole injection layer, copper phthalocyanine (CuPc) was laminated to a thickness of 100 nm. As the hole transport layer, 4,4′-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl (α-NPD) was laminated to a thickness of 20 nm. The light emitting layer was formed by laminating 30 nm of 4,4′-bis (2,2′-diphenylvinyl) biphenyl (DPVBi). The electron injection layer was formed by laminating 20 nm of aluminum chelate (Alq). During film formation, a metal mask having a square window opened at a position corresponding to the display portion was applied.

この後、陰極分離壁を利用して陽極(IZO)のラインと垂直のストライプパターンが得られるように、厚さ200nmのA1電極を真空を破らずに形成した。その際も、表示部に対応する位置に四角窓が空いたメタルマスクを適用した。   Thereafter, an A1 electrode having a thickness of 200 nm was formed without breaking the vacuum so that a stripe pattern perpendicular to the anode (IZO) line was obtained using the cathode separation wall. At that time, a metal mask having a square window at a position corresponding to the display portion was applied.

次に、有機EL基板を酸素5ppm,水分5ppm以下の貼り合せ装置に移動させた。貼り合せ装置内には、予めアセトン洗浄と200℃,5分間の真空加熱乾燥が終了した230×200mm×厚さ0.7mmのザグリ(表示部裏面に対向する位置)付き無アルカリガラスをセットし、ザグリ部に乾燥剤を貼り付けておき、このザグリ外周接着部にディスペンサーでエポキシ系紫外線硬化接着剤を塗布した後、約90kPa程度まで減圧して貼り合せを実施した。その後、加熱炉に入れて80℃で1時間加熱後、炉内で30分間自然冷却して取り出した。最後に、自動ガラススクライブ装置と自動ブレイク装置によって個々のパネルに分割した。
このパネルは、ブラックマトリクス裏面及び色変換層側面の反射膜を設けない場合に比べて、10〜20%程度の輝度向上が見られた。
Next, the organic EL substrate was moved to a bonding apparatus having 5 ppm oxygen and 5 ppm water. Inside the laminating apparatus, set a non-alkali glass with counterbore (position facing the back of the display part) of 230 x 200 mm x 0.7 mm thick, which has been previously washed with acetone and vacuum heated and dried at 200 ° C for 5 minutes. Then, a desiccant was pasted on the counterbore part, and an epoxy ultraviolet curing adhesive was applied to the counterbore outer peripheral adhesive part with a dispenser, and then the pressure was reduced to about 90 kPa for pasting. Then, after putting into a heating furnace and heating at 80 ° C. for 1 hour, it was naturally cooled in the furnace for 30 minutes and taken out. Finally, it was divided into individual panels by an automatic glass scribe device and an automatic break device.
In this panel, the luminance was improved by about 10 to 20% as compared with the case where the reflective film on the back surface of the black matrix and the side surface of the color conversion layer was not provided.

230×200mm×厚さ0.7mmの無アルカリガラス基板に、厚さ1μmのブラックマトリックス(CK−7001:富士フイルムARCH社製)をフォトリソグラフ法で形成した。画素サイズ(RGB)は、□150μm(169ppi)、開口は20μm×120μm(線幅約30μm)×RGB、開口率32%とした。これにスパッタによって、厚さ50nmのAlを成膜した。スパッタ装置はRF一プレーナマグネトロン、ガスはArを使用した。形成時の基板温度は約100℃で行った。これにレジストを塗布し、露光・現像によって線幅26μm(ブラックマトリクスより片側約2μm内側)の水平反射膜を形成した。   A black matrix (CK-7001: manufactured by FUJIFILM ARCH) having a thickness of 1 μm was formed on a non-alkali glass substrate having a size of 230 × 200 mm × 0.7 mm in thickness by a photolithographic method. The pixel size (RGB) is □ 150 μm (169 ppi), the aperture is 20 μm × 120 μm (line width of about 30 μm) × RGB, and the aperture ratio is 32%. A 50 nm-thick Al film was formed thereon by sputtering. The sputtering apparatus used was an RF one-plane magnetron, and the gas used was Ar. The substrate temperature during the formation was about 100 ° C. A resist was applied thereto, and a horizontal reflective film having a line width of 26 μm (about 2 μm inside from one side of the black matrix) was formed by exposure and development.

次に、赤色カラーフィルタ(CR−7001:富士フイルムARCH社製)、緑色カラーフィルタ(CG−7001:富士フイルムARCH社製)、青色カラーフィルタ(CB−7001:富士フイルムARCH社製)をフォトリソグラフ法で形成した。厚さは1〜2μmで、約40μm×140μm×RGBの島形状が並ぶ構成とした。従って、カラーフィルタ端部は、ブラックマトリクスに片側10μmかぶせ、隣との間隔は10μmとした。   Next, a red color filter (CR-7001: manufactured by FUJIFILM ARCH), a green color filter (CG-7001: manufactured by FUJIFILM ARCH), and a blue color filter (CB-7001: manufactured by FUJIFILM ARCH) are photolithographed. Formed by the law. The thickness was 1 to 2 μm, and an island shape of about 40 μm × 140 μm × RGB was arranged. Therefore, the end of the color filter is 10 μm on one side of the black matrix, and the distance from the adjacent is 10 μm.

次にカラーフィルタと同じフォトマスクを用いて、40μm×140μm×RGB、厚さ約10μmの色変換層を実施例1同様に島状に並ぶように形成した。従って、色変換層端部も、ブラックマトリクスに片側10μmかぶせ、隣との間隔は10μmを狙った。ただし、色変換層は厚いので、線幅の制御が難しく、実際の間隔は4〜16μm程度になる。塗布液は、フォトレジストV259PAP5(新日鐵化学社製)25gに対し、緑色への変換用にはクマリン6を0.05g添加し、赤色への変換用にはローダミンB 0.04g+クマリン6 0.05gを添加した。なお、後述する有機EL素子の発光スペクトルは、青色〜緑色(400nm〜550nm)であるので、青色は色変換層とせず、透明なアクリル系樹脂でクリアー層として形成した。   Next, using the same photomask as the color filter, a color conversion layer of 40 μm × 140 μm × RGB and a thickness of about 10 μm was formed so as to be arranged in an island shape as in Example 1. Therefore, the end portion of the color conversion layer was also covered with the black matrix at 10 μm on one side, and the distance from the adjacent was aimed at 10 μm. However, since the color conversion layer is thick, it is difficult to control the line width, and the actual interval is about 4 to 16 μm. The coating solution is 0.05 g of coumarin 6 for conversion to green and 25 g of rhodamine B + coumarin 60 for conversion to red, with respect to 25 g of photoresist V259PAP5 (manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.). .05 g was added. In addition, since the emission spectrum of the organic EL element to be described later is blue to green (400 nm to 550 nm), blue was not used as a color conversion layer, but was formed as a clear layer using a transparent acrylic resin.

これに、スパッタを用いて厚さ約50nmのAlを成膜し、フォトリソグラフ法で図4(b)、図5(b)のように形成した。このときコスト削減のために、水平反射膜用と同じフォトマスクを使い、レジストの露光時間とエッチング時間の調整によって水平反射膜より線幅が細く(片側約3μm以上開口が大きく)なるようにした。従って、色変換層側面反射膜の開口面積>水平反射膜開口面積>ブラックマトリクス開口面積となる。   Then, an Al film having a thickness of about 50 nm was formed by sputtering and formed by photolithography as shown in FIGS. 4B and 5B. At this time, in order to reduce the cost, the same photomask as that for the horizontal reflection film was used, and the line width was narrower than that of the horizontal reflection film by adjusting the exposure time and etching time of the resist (the opening was larger by about 3 μm or more on one side). . Therefore, the opening area of the color conversion layer side surface reflection film> the horizontal reflection film opening area> the black matrix opening area.

以降の製造工程は、実施例1と共通である。このパネルは、ブラックマトリクス裏面及び色変換層側面の反射膜を設けない場合に比べて、10%程度の輝度向上が見られた。   The subsequent manufacturing steps are the same as those in the first embodiment. In this panel, the luminance was improved by about 10% as compared with the case where the reflective film on the back surface of the black matrix and the side surface of the color conversion layer was not provided.

図1(a)は、従来の低精細パネルを作成する場合における色変換方式有機EL素子の発光単位の模式的断面図であり、図1(b)は、ルール変更なく、高精細パネルを作成した場合の色変換方式有機EL素子の発光単位の模式的断面図である。FIG. 1A is a schematic cross-sectional view of a light emission unit of a color conversion type organic EL element in the case of producing a conventional low-definition panel, and FIG. 1B creates a high-definition panel without changing rules. It is typical sectional drawing of the light emission unit of the color conversion system organic EL element in the case of having carried out. 図2は、従来のカラーフィルタおよび色変換層の形状および配置を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing the shape and arrangement of a conventional color filter and color conversion layer. 図3(a)は、カラーフィルタと色変換層との間に反射膜を形成した本発明の有機EL素子の模式的断面図であり、図3(b)は、さらに色変換層側面に反射膜を形成した本発明の有機EL素子の模式的断面図である。FIG. 3A is a schematic cross-sectional view of the organic EL device of the present invention in which a reflective film is formed between the color filter and the color conversion layer, and FIG. 3B further reflects on the side surface of the color conversion layer. It is typical sectional drawing of the organic EL element of this invention which formed the film | membrane. 図4(a)は、カラーフィルタとブラックマトリクスとの間に反射膜を形成した本発明の有機EL素子の模式的断面図であり、図4(b)は、さらに色変換層側面に反射膜を形成した本発明の有機EL素子の模式的断面図である。FIG. 4A is a schematic cross-sectional view of the organic EL element of the present invention in which a reflective film is formed between the color filter and the black matrix, and FIG. 4B further shows a reflective film on the side surface of the color conversion layer. It is typical sectional drawing of the organic EL element of this invention which formed A. 図5(a)は、図3および図4におけるカラーフィルタ/色変換層積層体の形状および配置を示す斜視図であり、図5(b)は、図3(b)および図4(b)に示す本発明の有機EL素子の1画素の概観を示す模式的斜視図である。5A is a perspective view showing the shape and arrangement of the color filter / color conversion layer laminate in FIGS. 3 and 4, and FIG. 5B is a perspective view of FIGS. 3B and 4B. It is a typical perspective view which shows the general appearance of 1 pixel of the organic EL element of this invention shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1 発光単位
101 ブラックマトリクス
102 カラーフィルタ
103 色変換層
104 オーバーコート層(平坦化層)
105 パッシベーション層
106 第1電極(透明電極、陽極)
107 テーパー
108 シャドウマスク(絶縁膜)
109 有機EL層
110 第2電極(反射電極、陰極配線)
11 基板
21 ブラックマトリクス層
22 開口窓
23 カラーフィルタ/色変換層積層体(カラーフィルタに同パターンの色変換層が積層)
31、41 水平反射膜(ブラックマトリクスに吸収される光の一部を反射する反射膜)
32、42 側面反射膜(色変換層側面に形成する反射膜)
51 発光単位ごとのカラーフィルタ層/色変換層積層体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light emission unit 101 Black matrix 102 Color filter 103 Color conversion layer 104 Overcoat layer (flattening layer)
105 Passivation layer 106 First electrode (transparent electrode, anode)
107 taper 108 shadow mask (insulating film)
109 Organic EL layer 110 Second electrode (reflection electrode, cathode wiring)
11 Substrate 21 Black matrix layer 22 Open window 23 Color filter / color conversion layer laminate (color conversion layer of the same pattern is laminated on the color filter)
31, 41 Horizontal reflective film (reflective film that reflects part of the light absorbed by the black matrix)
32, 42 Side reflection film (reflection film formed on the side surface of the color conversion layer)
51 Color filter layer / color conversion layer laminate for each light emitting unit

Claims (8)

基板上に、ブラックマトリクスと、カラーフィルタと、色変換層またはクリアー層と、オーバーコート層と、第1電極と、有機発光層を含む有機EL層と、第2電極を順次形成した1個以上の発光単位を備え、有機EL層から生じた光が前記基板から出射される色変換方式のボトムエミッション型有機EL素子であって、
色変換層またはクリアー層を通過しブラックマトリクスに吸収される前記光の一部を反射し、前記基板から取り出すように反射膜を備えたことを特徴とする有機EL素子。
One or more in which a black matrix, a color filter, a color conversion layer or a clear layer, an overcoat layer, a first electrode, an organic EL layer including an organic light emitting layer, and a second electrode are sequentially formed on the substrate. A bottom-emission type organic EL element of a color conversion type in which light generated from the organic EL layer is emitted from the substrate,
An organic EL device comprising a reflective film so as to reflect a part of the light that passes through a color conversion layer or a clear layer and is absorbed by a black matrix and takes it out of the substrate.
前記色変換層またはクリアー層と前記カラーフィルタとの間に、ブラックマトリクスの遮光範囲内で、反射膜を備えた請求項1に記載の有機EL素子。   The organic EL element according to claim 1, further comprising a reflective film between the color conversion layer or the clear layer and the color filter within a light shielding range of a black matrix. 前記カラーフィルタと前記ブラックマトリクスとの間に、ブラックマトリクスの遮光範囲内で、反射膜を備えた請求項1に記載の有機EL素子。   The organic EL element according to claim 1, further comprising a reflective film between the color filter and the black matrix within a light shielding range of the black matrix. 前記反射膜が、少なくとも、前記色変換層もしくはクリアー層とカラーフィルタとの間、または、前記カラーフィルタとブラックマトリクスとの間において、有機EL層と平行である請求項1ないし3のいずれかに記載の有機EL素子。   4. The reflective film according to claim 1, wherein the reflective film is parallel to the organic EL layer at least between the color conversion layer or the clear layer and the color filter, or between the color filter and the black matrix. The organic EL element of description. 2個以上の発光単位を備え、さらに、隣接する前記発光単位における前記色変換層またはクリアー層の側面に反射膜を備えた請求項1ないし4のいずれかに記載の有機EL素子。   5. The organic EL device according to claim 1, comprising two or more light emitting units, and further comprising a reflective film on a side surface of the color conversion layer or the clear layer in the adjacent light emitting units. 2個以上の発光単位を備え、前記色変換層またはクリアー層が、発光単位ごとに区分して備えられ、各色変換層またはクリアー層の側面全周に反射膜を備えた請求項5に記載の有機EL素子。   6. The light emitting device according to claim 5, further comprising two or more light emitting units, wherein the color conversion layer or the clear layer is provided separately for each light emitting unit, and a reflective film is provided on the entire side surface of each color conversion layer or the clear layer. Organic EL element. 各発光単位について、
水平反射膜開口面積(B)が、ブラックマトリクス開口面積(A)より大きい請求項1ないし6のいずれかに記載の有機EL素子。
For each light emitting unit,
The organic EL element according to claim 1, wherein the horizontal reflection film opening area (B) is larger than the black matrix opening area (A).
基板上に、ブラックマトリクス層と、カラーフィルタ層と、色変換層またはクリアー層と、オーバーコート層と、第1電極と、有機発光層を含む有機EL層と、第2電極を順次形成した1個以上の発光単位を備え、有機EL層から生じた光が前記基板から出射される色変換方式のボトムエミッション型有機EL素子の製造方法であって、
基板上に、前記光が出射することができる開口窓を形成するようにブラックマトリクス層を形成する工程と、
フォトリソグラフ法により、前記開口窓を被覆するように、カラーフィルタ層を形成する工程と、
該カラーフィルタ層上に、前記開口窓に垂直入射する前記光を遮らないように、反射膜を形成する工程と、
前記カラーフィルタ層および前記反射膜の上に、前記カラーフィルタ層の形成に用いたフォトマスクを使用して、発光単位ごとに区分された色変換層を形成する工程と
を含むことを特徴とする有機EL素子の製造方法。
A black matrix layer, a color filter layer, a color conversion layer or a clear layer, an overcoat layer, a first electrode, an organic EL layer including an organic light emitting layer, and a second electrode are sequentially formed on the substrate. A method for producing a bottom emission type organic EL element of a color conversion method comprising at least one light emitting unit, wherein light generated from an organic EL layer is emitted from the substrate,
Forming a black matrix layer on the substrate so as to form an opening window through which the light can be emitted;
A step of forming a color filter layer so as to cover the opening window by a photolithographic method;
Forming a reflective film on the color filter layer so as not to block the light perpendicularly incident on the aperture window;
Forming a color conversion layer divided for each light emitting unit on the color filter layer and the reflective film using a photomask used for forming the color filter layer. Manufacturing method of organic EL element.
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