JP2008063606A - 真空用摺動部材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第一の摺動部材のダイヤモンドまたはダイヤモンド膜の表面粗さを算術平均粗さRaで0.5μm以下に研磨し、その摺動の相手材である第二の摺動部材の最表面をNiを4重量%以上、96重量%以下を含有する合金又はめっき、あるいはNiを5重量%以上、65重量%以下、かつCrを15重量%以上、55重量%以下を含む合金又はめっきし、第一及び第二の摺動部材とで真空用摺動部材とする。
【選択図】 図2
Description
6 ダイヤモンド被覆円板部材(第一の摺動部材)
Claims (5)
- 基体最上層にダイヤモンドまたはダイヤモンド膜が形成された第一の摺動面を有する第一の摺動部材と、基体最上層にNiを4重量%以上、96重量%以下を含有する合金、またはめっき膜が形成された第二の摺動面を有する第二の摺動部材と、を有し、前記第一の摺動面と第二の摺動面とで摺動可能にされていることを特徴とする真空用摺動部材。
- 基体最上層にダイヤモンドまたはダイヤモンド膜が形成された第一の摺動面を有する第一の摺動部材と、基体最上層にNiを5重量%以上、65重量%以下、かつCrを15重量%以上、55重量%以下を含有する合金(但し、20%≦Ni+Cr≦98%)が形成された第二の摺動面を有する第二の摺動部材と、を有し、前記第一の摺動面と第二の摺動面とで摺動可能にされていることを特徴とする真空用摺動部材。
- 前記ダイヤモンド又はダイヤモンド膜の第一の摺動面の算術平均粗さRaが0.5μm以下にされていることを特徴とする請求項1又は2記載の真空用摺動部材。
- 前記第二の摺動部材の基体最上層の合金が、SUS304であることを特徴とする請求項2及び3に記載の真空用摺動部材。
- 前記第二の摺動部材の基体最上層の合金又はめっきが、SCS11、インコロイ、インコネル、Cr−Ni−Nb、Ni−Fe合金のいずれか、又はNi−Pめっきであることを特徴とする請求項1又は2又は3に記載された摺動部材であって、大気用、潤滑用又は真空用の摺動部材。
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