JP2008047900A - 角度分解分光リソグラフィキャラクタライゼーションのための方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査システムが、波長および/または偏光を異にする複数の放射ビームを2つのターゲット上に投影する。第1の放射ビームが、第1のターゲット上に投影され、反射された放射A1+が検出される。第1のターゲットは、互いに対して偏り+dを有する2つの回折格子を含む。第1の放射ビームは、互いに対して偏り−dを有する2つの回折格子を含む第2のターゲット上にも投影され、反射された放射A1−が検出される。第1の放射ビームとは異なる波長および/または偏光を有する第2の放射ビームが、第1のターゲット上に投影され、反射された放射A2+が検出され、また第2のターゲット上に投影され、反射された放射A2−が検出される。検出された放射A1+、A1−、A2+、およびA2−は、オーバーレイ誤差を決定するために使用される。
【選択図】図5
Description
第1の放射ビームを基板の第1のターゲット上に投影し、前記第1のターゲットが、少なくとも2つの重畳パターンであって、それらのパターンが、第1のレイヤ内または上に配置された第1のパターンと第2のレイヤ内または上に配置された第2のパターンとの間に+dの偏りを有する重畳パターンを含み、基板の特性を表す基板から反射されたその第1の放射ビームの非対称性を測定し、測定された非対称性を表す第1の信号を生成するステップと、
第1の放射ビームを基板の第2のターゲット上に投影し、前記第2のターゲットが、少なくとも2つの重畳パターンであって、それらのパターンが、第1のレイヤ内または上に配置された第1のパターンと第2のレイヤ内または上に配置された第2のパターンとの間に−dの偏りを有する重畳パターンを含み、基板の特性を表す基板から反射されたその第1の放射ビームの非対称性を測定し、測定された非対称性を表す第2の信号を生成するステップと、
第2の放射ビームを第1のターゲット上に投影し、基板の特性を表す基板から反射されたその第2の放射ビームの非対称性を測定し、測定された非対称性を表す第3の信号を生成するステップと、
第2の放射ビームを第2のターゲット上に投影し、基板の特性を表す基板から反射されたその第2の放射ビームの非対称性を測定し、測定された非対称性を表す第4の信号を生成するステップと、を含み、
第1および第2のビームは、異なる偏光もしくは異なる波長または両方を有し、オーバーレイ誤差が、第1、第2、第3、および第4の信号に基づいて決定される方法が提供される。
放射を基板上に投影するように構成される放射投影器と、
基板から反射された放射の非対称性を測定するように構成されるディテクタと、
基板から反射された複数の波長もしくは複数の偏光または両方の放射の、ディテクタによって測定された非対称性に基づいてオーバーレイ誤差を計算するように構成されるプロセッサと、を備える検査装置が提供される。
放射ビームを調整するように構成されるイルミネータと、
放射ビームにその断面内でパターンを与えてパターン付与放射ビームを形成することが可能なパターニングデバイスを保持するように構築される支持器と、
基板を保持するように構築される基板テーブルと、
パターン付与放射ビームを基板のターゲット部分に投影するように構成される投影システムと、
基板の特性を測定するように構成される検査装置であって、
放射を基板上に投影するように構成される放射投影器と、
基板から反射された放射の非対称性を測定するように構成されるディテクタと、
基板から反射された複数の波長もしくは複数の偏光または両方の放射の、ディテクタによって測定された非対称性に基づいてオーバーレイ誤差を計算するように構成されるプロセッサと、を備える検査装置と、を備えるリソグラフィ装置が提供される。
[00018] 放射ビームB(例えば、UV放射またはEUV放射)を調整するように構成される照明システム(イルミネータ)ILと、
[00019] パターニングデバイス(例えば、マスク)MAを支持するように構築され、あるパラメータに従ってパターニングデバイスを正確に位置付けるように構成される第1のポジショナPMに接続される支持構造(例えば、マスクテーブル)MTと、
[00020] 基板(例えば、レジストコートウェーハ)Wを保持するように構築され、あるパラメータに従って基板を正確に位置付けるように構成される第2のポジショナPWに接続される基板テーブル(例えば、ウェーハテーブル)WTと、
[00021] パターニングデバイスMAによって放射ビームBに与えられるパターンを基板Wの(例えば、1つまたは複数のダイを含む)ターゲット部分C上に投影するように構成される投影システム(例えば、屈折投影レンズシステム)PLと、を備える。
T−1=T0−ΔT
T+1=T0+ΔT
によって表され、ここで、T0は、平均センサ透過率であり、ΔTは、センサ非対称性である。
I+1=(T0+ΔT)[B0+B1(OV+d)]
I−1=(T0−ΔT)[B0−B1(OV+d)]
として近似されることができ、ここで、B0は、オーバーレイ誤差がない場合の、1次の強度であり、B1は、オーバーレイ誤差が小さい場合の、強度の感受性を記述する比例係数である。T0およびΔTはそれぞれ、平均センサ透過率およびセンサ非対称性である。これについてのさらなる詳細は、欧州特許出願公開EP1628164に見出されることができる。+1次および−1次の強度の間の非対称性Aは、
A1+=K1(OV+d)+ΔA
A1−=K1(OV−d)+ΔA
A2+=K2(OV+d)+ΔA
A2−=K2(OV−d)+ΔA
[00056]ここで、添字1および2は、2つの偏光を表し、添字+および−は、ターゲットの偏りの符号を表す。これら4つの非対称性は、例えば、センサ非対称性の影響を低減させて、以下のオーバーレイ誤差OVを計算するための適切なソフトウェアを含むプロセッサによって使用されることができる。
Claims (20)
- 基板のオーバーレイ誤差を測定する方法であって、
第1の放射ビームを前記基板の第1のターゲット上に投影し、前記第1のターゲットが、少なくとも2つの重畳パターンであって、それらのパターンが、第1のレイヤ内または上に配置された第1の前記パターンと第2のレイヤ内または上に配置された第2の前記パターンとの間に+dの偏りを有する重畳パターンを含み、前記基板の特性を表す前記基板から反射されたその第1の放射ビームの非対称性を測定し、前記測定された非対称性を表す第1の信号を生成するステップと、
前記第1の放射ビームを前記基板の第2のターゲット上に投影し、前記第2のターゲットが、少なくとも2つの重畳パターンであって、それらのパターンが、第1のレイヤ内または上に配置された第1の前記パターンと第2のレイヤ内または上に配置された第2の前記パターンとの間に−dの偏りを有する重畳パターンを含み、前記基板の特性を表す前記基板から反射されたその第1の放射ビームの非対称性を測定し、前記測定された非対称性を表す第2の信号を生成するステップと、
第2の放射ビームを前記第1のターゲット上に投影し、前記基板の特性を表す前記基板から反射されたその第2の放射ビームの非対称性を測定し、前記測定された非対称性を表す第3の信号を生成するステップと、
前記第2の放射ビームを前記第2のターゲット上に投影し、前記基板の特性を表す前記基板から反射されたその第2の放射ビームの非対称性を測定し、前記測定された非対称性を表す第4の信号を生成するステップと、
を含み、
前記第1および第2のビームは、異なる偏光もしくは異なる波長または両方を有し、前記オーバーレイ誤差が、前記第1、第2、第3、および第4の信号に基づいて決定される、方法。 - 前記第1および第2のビームが、2つの実質的に直交する直線偏光ビームである、請求項1に記載の方法。
- 前記第1および第2のターゲットが、前記基板上で互いに隣接する、請求項1に記載の方法。
- 前記第1および第2のターゲットが、1対のターゲットを形成し、前記基板が、複数のターゲット対を含み、前記対の各ターゲットが、前記対の他方のターゲットとは大きさが等しくかつ符号が反対の偏りを有し、各対が、前記基板上の異なる位置に配置され、前記基板上の複数の異なる位置において前記オーバーレイ誤差を決定するために、請求項1に記載の方法がターゲットの各対について繰り返される、請求項1に記載の方法。
- 前記第1および第2のターゲットの各々が、複数の回折格子を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のターゲットが、互いに対して偏り+dを有する2つの回折格子を含み、前記第2のターゲットが、互いに対して偏り−dを有する2つの回折格子を含む、請求項6に記載の方法。
- 前記第1および第2のビームが、実質的に異なる波長を有する、請求項1に記載の方法。
- 基板を露光するためにパターン付き放射ビームを前記基板上に投影するステップを含む基板製造方法であって、前記露光が、以下の方法、すなわち、
第1の放射ビームを前記基板の第1のターゲット上に投影し、前記第1のターゲットが、少なくとも2つの重畳パターンであって、それらのパターンが、第1のレイヤ内または上に配置された第1の前記パターンと第2のレイヤ内または上に配置された第2の前記パターンとの間に+dの偏りを有する重畳パターンを含み、前記基板の特性を表す前記基板から反射されたその第1の放射ビームの非対称性を測定し、前記測定された非対称性を表す第1の信号を生成するステップと、
前記第1の放射ビームを前記基板の第2のターゲット上に投影し、前記第2のターゲットが、少なくとも2つの重畳パターンであって、それらのパターンが、第1のレイヤ内または上に配置された第1の前記パターンと第2のレイヤ内または上に配置された第2の前記パターンとの間に−dの偏りを有する重畳パターンを含み、前記基板の特性を表す前記基板から反射されたその第1の放射ビームの非対称性を測定し、前記測定された非対称性を表す第2の信号を生成するステップと、
第2の放射ビームを前記第1のターゲット上に投影し、前記基板の特性を表す前記基板から反射されたその第2の放射ビームの非対称性を測定し、前記測定された非対称性を表す第3の信号を生成するステップと、
前記第2の放射ビームを前記第2のターゲット上に投影し、前記基板の特性を表す前記基板から反射されたその第2の放射ビームの非対称性を測定し、前記測定された非対称性を表す第4の信号を生成するステップと、
を含み、
前記第1および第2のビームは、異なる偏光もしくは異なる波長または両方を有し、前記オーバーレイ誤差が、前記第1、第2、第3、および第4の信号に基づいて決定される、方法によって決定されるオーバーレイ誤差に基づく、基板製造方法。 - 基板の特性を測定するように構成される検査装置であって、
放射を前記基板上に投影するように構成される放射投影器と、
前記基板から反射された放射の非対称性を測定するように構成されるディテクタと、
前記基板から反射された複数の波長もしくは複数の偏光または両方の放射の、前記ディテクタによって測定された前記非対称性に基づいてオーバーレイ誤差を計算するように構成されるプロセッサと、
を備える、検査装置。 - 前記放射投影器が、前記放射を複数の波長もしくは複数の偏光または両方で前記基板上に供給するように構成される放射源を備える、請求項10に記載の検査装置。
- 前記ディテクタが、
前記基板の第1のターゲットから反射された、第1の偏光、波長、または両方の第1の放射ビームの非対称性を測定し、前記第1のターゲットが、少なくとも2つの重畳パターンであって、それらのパターンが、第1のレイヤ内または上に配置された第1の前記パターンと第2のレイヤ内または上に配置された第2の前記パターンとの間に+dの偏りを有する重畳パターンを含み、第1の信号を生成し、
前記基板の第2のターゲットから反射された、前記第1の放射ビームの非対称性を測定し、前記第2のターゲットが、少なくとも2つの重畳パターンであって、それらのパターンが、第1のレイヤ内または上に配置された第1の前記パターンと第2のレイヤ内または上に配置された第2の前記パターンとの間に−dの偏りを有する重畳パターンを含み、第2の信号を生成し、
前記第1のターゲットから反射された、前記第1のビームのものとは異なる第2の偏光、波長、または両方の第2の放射ビームの非対称性を測定し、第3の信号を生成し、
前記第2のターゲットから反射された、前記第2の放射ビームの非対称性を測定し、第4の信号を生成するように構成され、
前記プロセッサが、前記第1、第2、第3、および第4の信号に基づいて前記オーバーレイ誤差を決定するように構成される、請求項10に記載の検査装置。 - 前記第1および第2のビームが、2つの実質的に直交する直線偏光ビームである、請求項12に記載の検査装置。
- 前記第1および第2のビームが、実質的に異なる波長を有する、請求項12に記載の検査装置。
- 前記第1および第2のターゲットが、前記基板上で互いに隣接する、請求項12に記載の検査装置。
- 前記第1および第2のターゲットの各々が、複数の回折格子を含む、請求項12に記載の検査装置。
- 前記第1のターゲットが、互いに対して偏り+dを有する2つの回折格子を含み、前記第2のターゲットが、互いに対して偏り−dを有する2つの回折格子を含む、請求項17に記載の検査装置。
- 前記基板の複数のターゲット対を使用することによって、前記基板上の複数の異なる位置において前記オーバーレイ誤差を決定するように構成され、各ターゲット対が、前記第1および第2のターゲットを含み、前記基板上の異なる位置に配置され、前記対の各ターゲットが、前記対の他方のターゲットとは大きさが等しくかつ符号が反対の偏りを有する、請求項12に記載の検査装置。
- 放射ビームを調整するように構成されるイルミネータと、
前記放射ビームにその断面内でパターンを与えてパターン付与放射ビームを形成することが可能なパターニングデバイスを保持するように構築される支持器と、
基板を保持するように構築される基板テーブルと、
前記パターン付与放射ビームを前記基板のターゲット部分に投影するように構成される投影システムと、
基板の特性を測定するように構成される検査装置であって、
放射を前記基板上に投影するように構成される放射投影器と、
前記基板から反射された放射の非対称性を測定するように構成されるディテクタと、
前記基板から反射された複数の波長もしくは複数の偏光または両方の放射の、前記ディテクタによって測定された前記非対称性に基づいてオーバーレイ誤差を計算するように構成されるプロセッサと、を備える検査装置と、
を備えるリソグラフィ装置。
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