JP2008041975A - 放熱性配線基板およびその製造方法 - Google Patents

放熱性配線基板およびその製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】大電流対応と高放熱性を高めるとともに、生産性および加工性に優れる放熱性配線基板およびその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】金属配線板からなる回路パターン100と、フィラーを含むとともに絶縁性を有する熱伝導性樹脂層108と、金属からなる放熱板110とを積層・接合し、一面を前記熱伝導性樹脂層の同一平面上に表出するように回路パターン100を熱伝導性樹脂層108に埋設した放熱性配線基板であって、前記回路パターン100と放熱板110の間を無機絶縁体120を介して圧接した構成とする。
【選択図】図2

Description

本発明は大電流に対応できる放熱性配線基板およびその製造方法に関するものである。
近年、電子機器の高性能化、小型化の要求に伴い、モジュール部品の高密度、高機能化が一層要求されている。そのため、モジュール部品の小型化、高機能化、高密度実装化により、モジュール部品の温度上昇が大きな問題となり、このモジュール部品の放熱を高める方法が重要となっている。以下、発熱が課題となるモジュール部品として複数個のLEDチップを用いた発光素子を例にして説明する。
モジュール部品の中でもLEDチップは温度が上がりすぎると発熱量が減少するという特性があり、発光量を上げるためには放熱が不可欠である。LEDチップの放熱を高める技術として、LEDチップを金属基板に装着し、LEDチップの背面から熱を拡散する方法が知られている。
また、他の放熱基板としては、セラミック基板が使われている。そこで従来の放熱基板としては、LEDを用いた発光モジュールを例に説明する。
従来、液晶テレビ等のバックライトには、冷陰極管等が使われてきたが、近年、LEDやレーザー等の半導体発光素子を、放熱性の基板の上に実装することが提案されている(例えば、特許文献1参照)。
図7は、従来の発光モジュールの一例を示す断面図である。図7において、セラミック基板201に形成された凹部には、発光素子202が実装されている。また複数のセラミック基板201は、放熱板203の上に固定されている。また複数のセラミック基板201は、窓部204を有する接続基板205で電気的に接続されている。そしてLEDから放射される光206は、接続基板205に形成された窓部204を介して、外部に放出される。なお図7において、凹部を有するセラミック基板201や接続基板205における配線及びLEDの配線等は図示していない。そしてこうした発光モジュールは、液晶等のバックライトとして使われている。
しかしながら、LED等の発光素子202は、その発熱温度によって発光効率、発光色が影響を受ける。そのため発光素子202の冷却が重要となるが、セラミック基板201は放熱性が高くても、色々な形状に加工することが難しく高価であるため、より安価で加工性に優れた放熱基板が求められていた。
一方、これらの発光モジュールの明るさを高めるためには複数個のLEDを高密度に配置することが必要であり、放熱性とともに大電流に対応できる接続基板205を配置することが不可欠となってきている。
なお、ここでは発光モジュールを例にしたが、表示デバイスあるいは高い放熱が要求される電装用の基板でも同様であることは言うまでもない。
特開2004−311791号公報
しかしながら、前記従来の構成では、その用途に応じて様々な形状のセラミック部材を使用する必要があるが、セラミック素材を複雑な形状に加工する必要があり、コストアップしやすいという課題を有していた。また、大電流に対応するためにはセラミック基板に直接接合などの工法によって銅板を接合するなどの工法が必要とされていた。
本発明は、前記従来の課題を解決するものであり、大電流対応と高放熱性を高めるとともに、生産性および加工性に優れる放熱性配線基板およびその製造方法を提供することを目的とする。
前記従来の課題を解決するために、本発明は、リードフレームよりなる回路パターンと放熱板とを無機絶縁体を介して圧接した構成とするものである。
本発明の放熱性配線基板およびその製造方法は、発光モジュール、電源モジュールおよび電装モジュールなどの大電流と放熱性が要求されるモジュール部品に用いることができる放熱性配線基板およびその製造方法を実現することができる。
(実施の形態1)
以下、本発明の実施の形態1における放熱性配線基板について、図面を参照しながら説明する。
図1は本発明の実施の形態1における放熱性配線基板の上面図であり、図2はその断面図である。
図1および図2において、100は回路パターンとして用いたリードフレーム、102はLEDチップ、108はコンポジット熱伝導性樹脂層であり、このコンポジット熱伝導性樹脂層108は無機酸化物などよりなるフィラー118がエポキシ樹脂などの絶縁性樹脂116に分散した構成としたものである。また、110は銅アルミニウムなどの熱伝導性に優れた放熱板である。そして、リードフレーム100の上には、LEDチップ102のような高発熱、大電流素子を実装している。
そして、リードフレーム100は、コンポジット熱伝導性樹脂層108を介して、放熱板110と圧接することによって一体化されている。なお、LEDチップ102等の実装用の端子電極は図示していない。また、LEDチップ102、あるいは高発熱、大電流素子以外の制御用IC等を表面実装することで、より高密度化を実現できることはいうまでもない。
また、リードフレーム100は、コンポジット熱伝導性樹脂層108と同一平面を形成するように埋め込まれており、銅またはアルミニウムなどからなる熱伝導性に優れた放熱板110と一体化している。これによって、リードフレーム100の横方向からも熱伝導性を高めることができる。
そして、特に発熱素子を実装したリードフレーム100の下面には無機絶縁体120を配置し、この無機絶縁体120を介してリードフレーム100と放熱板110とを圧接することによって無機絶縁体120の一部がリードフレーム100または放熱板110の一部に埋設するように構成している。これによってリードフレーム100および無機絶縁体120と、放熱板110が面接触性を十分に高めた状態で対向圧接している。これに対して、圧接しないで単に接触した状態のみでは接触界面における十分な熱伝導性は実現できなかった。このように、リードフレーム100または放熱板110の展性、延性を利用して無機絶縁体120の一部が埋設する程度の圧力で圧接することによって面接触性を高めることができるため、高い熱伝導性を維持することができる熱伝導性配線基板を実現することができる。
また、無機絶縁体120の熱伝導性をコンポジット熱伝導性樹脂層108の熱伝導性よりも高いセラミック材料を用いることによって、より熱伝導性に優れた放熱性配線基板を実現することができる。従って、LEDチップ102などの発熱の大きな部品を実装するリードフレーム100の下面にのみ、この無機絶縁体120を配置することによって、効率良く発熱の大きな部品から発生する熱を速やかに、放熱板110へ熱を伝導することが可能となり、放熱性を大きく改善することができる。この無機絶縁体120に用いる材料として、熱伝導性、耐熱性および絶縁性に優れた材料が好ましく、入手性とコストの観点からセラミック材料が好ましい。そして、特にセラミック材料として、Al23、MgO、BN、AlNの中から少なくとも1種類以上を含有するセラミック材料が好ましい。これらの材料は熱伝導性、耐熱性および絶縁性において優れた特性を有しており、放熱性に優れた小型の放熱性配線基板を実現することができる。例えば、コンポジット熱伝導性樹脂層108の熱伝導率が5W/m・Kであるのに対して、前記セラミック材料では20〜200W/m・Kの熱伝導率を有しており、これらのセラミック材料を用いることによって、優れた放熱性を発揮することができる。
このように、発熱する半導体素子などを実装したリードフレーム100の直下にコンポジット熱伝導性樹脂層108よりも熱伝導性の高い無機絶縁体120を部分的に配置することにより、放熱性に優れた放熱性回路基板を実現できるとともに、生産性に優れた放熱性配線基板の製造方法を提供することができる。そして、必要に応じて高発熱特性を有する各種電子部品を実装するリードフレーム100の直下にこの無機絶縁体120を適宜配置することによって放熱特性に優れた放熱性回路基板を実現することができる。
また、この無機絶縁体120の断面形状を矩形形状とすることによりその熱伝導性を均一にし、ホットスポットなどの発生を抑制することができる。そして、矩形状あるいは板状のセラミック基板を用いることによってその電気的絶縁性と耐熱性を十分確保することができる。
また、無機絶縁体120を回路パターンであるリードフレーム100の電極幅よりも大きくすることによって、その放熱性、電気的絶縁性および耐熱性をより高めることができる。
また、無機絶縁体120のエッジを曲面形状とすることによって、圧接するときにエッジ部の欠け、または割れなどが発生したりすることを抑制することができる。
また、無機絶縁体120の形状を回路パターンであるリードフレーム100の上に実装する部品の形状よりも大きくすることによって熱の拡散性をより高めることができる。
次に、本実施の形態1における放熱性配線基板の別の例について説明する。
図3は本実施の形態1における別の例の放熱性配線基板の断面図であり、図3に示すように前記無機絶縁体120の表面に凹凸層121を設けることにより、リードフレーム100または放熱板110との接触面積を拡大できるとともに、圧接による食い込み力を高め、リードフレーム100または放熱板120と無機絶縁体120との接合性および熱伝導性を高めることができる。
なお、この凹凸層121を設ける無機絶縁体120の面は圧接するリードフレーム100および放熱板110と対向する面に少なくとも設けることによってその効果を発揮することができる。
また、図4はさらに別の例の放熱性配線基板の断面図であり、例えば回路パターンであるリードフレーム100と圧接する無機絶縁体120の表面にリードフレーム100と同一の材料からなる圧接層122を形成しておくことによって、よりリードフレーム100と無機絶縁体120の接合性と熱伝導性を高めることができる。これは、放熱板110と無機絶縁体120とが対向する無機絶縁体120の表面においても同じである。そして、無機絶縁体120の両面に圧接層122を形成することが好ましい。
さらに、この圧接層122の表面に凹凸層121を設けることによって、さらにその性能を高めることができる。
このように、発熱素子を実装した回路パターンであるリードフレーム100の下面のみに、無機絶縁体120を介して放熱板110と圧接することにより、より熱伝導性に優れた放熱性配線基板を実現することができる。
次に、コンポジット熱伝導性樹脂層108について説明する。このコンポジット熱伝導性樹脂層108は、フィラー118と樹脂116から構成しており、このフィラー118としては、無機フィラーが望ましい。この無機フィラーとしては、Al23、MgO、BN、AlNおよびSiCから選ばれる少なくとも一つを含むことが望ましい。この無機フィラーを用いるとコンポジット熱伝導性樹脂層108の熱伝導性を高めることができる。
また、MgOを用いると線熱膨張係数を大きくすることも可能であり、反対にBNを用いると線熱膨張係数を小さくすることが可能となり、各種モジュールの設計によって適宜選択することによって使用材料の最適設計が可能となる。
次に、リードフレーム100の材質としては、銅を主体とするものが望ましい。これは銅が熱伝導性と導電率がともに優れているためである。さらに、リードフレーム100となる銅素材に銅以外の添加剤を加えることが望ましい。例えばCu+Snの銅素材を用いることができる。Snの場合、例えばSnを0.1〜0.15wt%添加することで、銅素材の軟化温度を400℃まで高められる。比較のため、Sn無しの銅(Cu>99.96wt%)を用いてリードフレーム100を作製したところ、導電率は低いが、出来上がった放熱性配線基板において特に微細な回路パターンで歪が発生する場合があった。そこで詳細に調べたところ、その材料の軟化点が200℃程度と低いため、LEDチップ102の実装後の信頼性評価において変形する可能性があることが予想された。
一方、Cu+Sn>99.96wt%の銅素材を用いた場合、部品実装やLEDチップ102による発熱の影響は特に受けなかった。また半田付け性やダイボンド性にも影響が無かった。
そこで、この材料の軟化点を測定したところ、400℃であることが判った。このように、銅を主体として、いくつかの元素を添加することが望ましい。銅に添加する元素として、Zrの場合、0.015〜0.15wt%の範囲が望ましい。添加量が0.015wt%未満の場合、軟化温度の上昇効果が少ない場合がある。また、添加量が0.15wt%より多いと電気特性に影響を与える場合がある。また、Ni、Si、Zn、P等を添加することでも軟化温度を高くできる。この場合、Niは0.1〜5wt%、Siは0.01〜2wt%、Znは0.1〜5wt%、Pは0.005〜0.1wt%が望ましい。そしてこれらの元素は、この範囲で単独、もしくは複数を添加することで、銅素材の軟化点を高くできる。
なお、添加量が少ない場合、軟化点の上昇効果が低い場合があり、多い場合には、導電率への影響の可能性がある。
同様に、Feの場合では0.1〜5wt%、Crの場合では0.05〜1wt%の添加が望ましい。これらの元素の場合も前述の元素と同様である。
なお、銅合金の引張り強度は600N/mm2以下が望ましい。引張り強度が600N/mm2を超える場合、リードフレーム100の加工性に影響を与える場合がある。引張り強度が600N/mm2以下の材料は、Cuの含有率が高く、導電率が低く、柔らかいために加工性にも優れており、本実施の形態1で用いるようなLEDチップ102等の大電流用途に適切である。
なお、リードフレーム100のコンポジット熱伝導性樹脂層108の同一平面に表出している面に、予め半田付け性を改善するように半田層や錫層を形成しておくことで、リードフレーム100への部品実装性を高められるとともに、配線の錆び防止が可能となる。そして、コンポジット熱伝導性樹脂層108に接する面(埋設した面)には、半田層は形成しないことが望ましい。このようにコンポジット熱伝導性樹脂層108と接する面に半田層や錫層を形成すると、半田付け時にこの層が柔らかくなり、リードフレーム100とコンポジット熱伝導性樹脂層108の接着性(もしくは結合強度)に影響を与える場合がある。
また、フィラー118は略球形状で、その直径は0.1〜100μmとしており、粒径が小さいほど樹脂116への充填率を向上できる。そのためコンポジット熱伝導性樹脂層108におけるフィラー118の充填量(もしくは含有率)は、熱伝導率の観点から70〜95重量%と高濃度に充填している。本実施の形態1では、フィラー118として、平均粒径3μmと12μmの2種類のAl23粉を混合したものを用いている。この大小2種類の粒径のAl23粉を用いることによって、大きな粒径のAl23粉の隙間に小さな粒径のAl23粉を充填できるので、Al23粉を90重量%近くまで高濃度に充填できるものである。
この結果、コンポジット熱伝導性樹脂層108の熱伝導率は5W/m・K程度となる。このフィラー118の充填率が70重量%未満の場合、熱伝導性が低下する場合があり、フィラー118の充填率(もしくは含有率)が95重量%を超えると、未硬化前のコンポジット熱伝導性樹脂層108の成型性に影響を与える場合がある。このように、コンポジット熱伝導性樹脂層108とリードフレーム100の接着性(例えば埋め込んだ場合や、その表面に貼り付けた場合)に影響を与え、リードフレーム100に形成された比較的微細な配線部分への回り込みに影響を与える可能性がある。
そして、コンポジット熱伝導性樹脂層108に用いる熱硬化性の絶縁樹脂は、エポキシ樹脂、フェノール樹脂およびシアネート樹脂の内、少なくとも1種類の樹脂を含んでいることが好ましい。これらの樹脂は接合性、耐熱性および電気絶縁性に優れている。
また、コンポジット熱伝導性樹脂層108からなる絶縁体の厚さは、薄くすれば、リードフレーム100に装着したLEDチップ102に生じる熱を放熱板110に伝えやすいが、逆に絶縁耐圧が問題となり、厚すぎると、熱抵抗が大きくなるので、絶縁耐圧と熱抵抗を考慮して0.1〜0.5mmの範囲に設定すれば良い。
次に、金属製の放熱板110としては、熱伝導の良いアルミニウム、銅またはそれらを主成分とする合金を用いることが好ましい。そして、本実施の形態1では、放熱板110の厚みを1mmとしている。この放熱板110の厚みはモジュール全体の発熱量から放熱板の熱伝導性を考慮して適宜選択することができる。
また、放熱板110としては、単なる板状のものだけでなく、より放熱性を高めるため、コンポジット熱伝導性樹脂層108を積層した面とは反対側の面に、表面積を広げるためにフィン部を形成しても良い。
また、放熱性配線基板の線膨張係数は8×10-6/℃〜20×10-6/℃としており、放熱板110やLEDチップ102の線膨張係数に近づけることにより、基板全体の反りや歪みを小さくできる。また各種部品を表面実装する際、放熱性配線基板を構成する材料を適宜選択することによって、互いに熱膨張係数をマッチングさせることは信頼性的にも重要となる。
また、回路パターンとなるリードフレーム100の厚みは0.3〜1.0mm(更に望ましくは0.4〜0.8mm)が望ましい。これはLEDチップ102を制御するには大電流(例えば30A〜150Aであり、これは駆動するLEDチップ102の数によって更に増加する場合もある)が必要であるためである。
さらに、0.3mmより薄くなると無機絶縁体120をリードフレーム100に圧接するとき、うまく埋設できないことがある。1.0mmを超えると回路パターンとしての加工性に課題を有する場合がある。
このようにして、LEDチップ102のような発熱部は大電流と放熱性に優れた回路パターンであるリードフレーム100に実装することで、例えば100Aのような大電流に対応でき、更にそこから発生した熱はリードフレーム100および無機絶縁体120を介して放熱板110へ速やかに放熱できる。そして、無機絶縁体120以外の横方向にはコンポジット熱伝導性樹脂層108を介して放熱することができる。そして、このような構成とすることによって発熱素子のホットスポットを効率的に解消できることからLEDチップ102の近傍に制御用IC104や各種表面実装部品等を配置することができる小型の放熱性配線基板を実現することができる。
(実施の形態2)
以下、本発明の実施の形態2における放熱性配線基板の製造方法について、図面を参照しながら説明する。
図5(a)〜図5(d)は本発明の実施の形態2における放熱性配線基板の製造方法を説明するための工程断面図である。
始めに、図5(a)に示すように、所定の形状に打ち抜き加工あるいはエッチング加工によって作製した銅板をリードフレーム100として準備し、無機絶縁体120として純度99%のアルミナ基板を準備し、放熱板110として厚み1.0mmの銅板を準備した。
次に、図5(b)に示すように前記リードフレーム100と、無機絶縁体120と、実施の形態1で用いた未硬化のシート状のコンポジット熱伝導性樹脂層108と、銅板からなる放熱板110を位置合わせして積層する。
なお、前記未硬化のシート状のコンポジット熱伝導性樹脂層108の一部を打ち抜きなどの工法を用いて無機絶縁体120を配置する所定の箇所に穴を開けておくことが好ましい。
また、確実に無機絶縁体120の配置を固定しておくために、放熱板110の一部に凹部を形成しておき、この凹部に無機絶縁体120を配置しておく。これによって、製造途中における無機絶縁体120の位置ずれを防止し、精度良く発熱する部品の下部に無機絶縁体120を配置することができる。
そして、これらの積層体を加熱および加圧しながら150℃でエポキシ樹脂を熱硬化させることによって一体化接合する(図5(c)参照)。このとき、無機絶縁体120を介してリードフレーム100と放熱板110は圧接する必要がある。この圧接に必要な圧力は材質にもよるが、例えば厚み0.3mmのリードフレーム100と厚み1.0mmの放熱板110に銅を用いた場合、100〜300kg/cm2の圧力によって圧接することにより、無機絶縁体120であるアルミナ基板がリードフレーム100及び放熱板110に食い込むように埋設される。これによってリードフレーム100および放熱板110と無機絶縁体120の対向面において面接触を確実にするとともに固着力も有することとなる。
なお、圧接する際の圧力が高いとき、リードフレーム100あるいは放熱板110の圧接面の反対の一面において凸部が形成されるときがある。この凸部が不必要であるならば研磨によって平坦にすることができる。
また、コンポジット熱伝導性樹脂層108はリードフレーム100の一面のみを表出するように充填される。従ってリードフレーム100の存在しない隙間の領域ではコンポジット熱伝導性樹脂層108が流動することによって表出し、リードフレーム100を埋設するように一体化接合している。このような構成とすることによって放熱性と熱伝導性をより高めることができる。
そして、コンポジット熱伝導性樹脂層108を構成する樹脂を充填する場合、フィラー118と、エポキシ樹脂などの樹脂116からなるコンポジット熱伝導性樹脂層108用の樹脂として、熱硬化性樹脂を使うことができる。例えば、未硬化の熱硬化性樹脂を金型から取り出すに十分な硬さに硬化させるには120℃で10分以上の時間を有する。そこでこの時間を短縮して生産性を上げるためにプレゲル剤を混ぜる。このプレゲル剤は、熱可塑性樹脂パウダーであり、未硬化の熱硬化性の絶縁樹脂の液状成分を吸収して膨張し、未硬化の絶縁樹脂がゲルとなるように作用する働きをする。このプレゲル剤は120℃の温度では1分程度で作用し、金型から取り出すに十分な硬さにすることができるため生産性を上げることができる。
次に、図5(d)に示すようにリードフレーム100の下面に無機絶縁体120を圧接した箇所に設けた実装用端子(図示せず)の上にLEDチップ102を実装することによって放熱性に優れた発光モジュールを作製することができる。
(実施の形態3)
以下、本発明の実施の形態3における放熱性配線基板の放熱性を高めた一例について、図面を用いて説明する。図6は本実施の形態3における放熱性配線基板を用いたモジュール部品の一例を示す斜視図である。図6において、本発明の特徴である大電流と高放熱が要求されるLEDチップ102と、制御用IC104を近傍に実装した一例であり、138はフィン、136は端子電極、140は別の部品である。そして、LEDチップ102を実装するリードフレーム100の下面は99%アルミナ基板からなる無機絶縁体120を介して放熱板110に圧接して埋設している。これによって発熱素子であるLEDチップ102の近傍に制御用IC104およびチップ部品106を配置することが可能である。
さらに、リードフレーム100の一部を折り曲げて端子電極136とし、この部分に放熱用のフィン138等を取り付けることで、更に本発明の放熱性配線基板の放熱性を高めることができる。また、リードフレーム100をコの字(もしくはブリッジ状)に形成することができる。このような形状とすることで、放熱性配線基板を他の回路基板の上に実装できるとともに、他の回路基板と放熱性配線基板との間に隙間を設けることができ、放熱性配線基板の熱を他の回路基板に伝えにくくできる。更に、この隙間に他の部品140を実装することもできる。なお、リードフレーム100は、その断面が略四角形であることが望ましい。略四角形とすることで、限られた面積で最大の密度で大電流を流すことができる。
そして、リードフレーム100の一部を張り出したパターンとし、この張り出したパターンの少なくとも片面に削りだし加工などを用いて放熱フィンを形成することで、放熱性と大電流化とファインパターン化を両立できる。
さらに、この張り出した端子の機能を有しているパターンを折り曲げて放熱性配線基板をマザー基板から浮かせて実装することで、放熱性と大電流化とファインパターン化と、実装性に優れたモジュール部品を実現することができる。
以上のように、本発明の放熱性配線基板およびその製造方法を用いることで、LEDチップ等の大電流で高放熱が必要とされるパワー素子を実装できる小型モジュールが可能となり、製品の小型化、高性能化、低コスト化に貢献することができる。
本発明の実施の形態1における放熱性配線基板の上面図 同断面図 同別の例の放熱性配線基板の断面図 同さらに別の例の放熱性配線基板の断面図 本発明の実施の形態2における放熱性配線基板の製造方法を説明するための工程断面図 本発明の実施の形態3における放熱性配線基板にモジュール部品を実装する例を説明するための斜視図 従来の発光モジュールの一例を示す断面図
符号の説明
100 リードフレーム
102 LEDチップ
104 制御用IC
106 チップ部品
108 コンポジット熱伝導性樹脂層
110 放熱板
112 回路パターン
116 樹脂
118 フィラー
120 無機絶縁体
121 凹凸層
122 圧接層
136 端子電極
138 フィン
140 別の部品

Claims (17)

  1. 金属配線板からなる回路パターンと、フィラーを含むとともに絶縁性を有する熱伝導性樹脂層と、金属からなる放熱板とを積層・接合し、一面を前記熱伝導性樹脂層の同一平面上に表出するように回路パターンを熱伝導性樹脂層に埋設した放熱性配線基板であって、前記回路パターンと放熱板の間を無機絶縁体を介して圧接した放熱性配線基板。
  2. 回路パターンを銅、アルミニウムまたはこれらの合金とした請求項1に記載の放熱性配線基板。
  3. 回路パターンの厚さを0.3〜1.0mmとした請求項1に記載の放熱性配線基板。
  4. 無機絶縁体をセラミックとした請求項1に記載の放熱性配線基板。
  5. セラミックをAl23、MgO、BNおよびAlNの中から少なくとも1種類以上を含有するセラミックとした請求項5に記載の放熱性配線基板。
  6. 無機絶縁体の断面形状を矩形状とした請求項1に記載の放熱性配線基板。
  7. 無機絶縁体のエッジを曲面形状とした請求項6に記載の放熱性配線基板。
  8. 無機絶縁体を回路パターンの電極幅よりも大きくした請求項1に記載の放熱性配線基板。
  9. 無機絶縁体を回路パターンの上に搭載する部品の形状よりも大きくした請求項1に記載の放熱性配線基板。
  10. 無機絶縁体の一部を回路パターンおよび放熱板の一部へ圧接により埋設した請求項1に記載の放熱性配線基板。
  11. 回路パターンまたは放熱板と圧接する無機絶縁体の表面に凹凸層を設けた請求項1に記載の放熱性配線基板。
  12. 回路パターンと圧接する無機絶縁体の表面に回路パターンと同一の材料からなる圧接層を設けた請求項1に記載の放熱性配線基板。
  13. 放熱板と圧接する無機絶縁体の表面に放熱板と同一の材料からなる圧接層を設けた請求項1に記載の放熱性配線基板。
  14. 放熱板の一面に無機絶縁体を配置するための凹みを設けた請求項1に記載の放熱性配線基板。
  15. 熱伝導性樹脂層を、エポキシを主剤とした樹脂と、フィラーとしてAl23、MgO、BN、AlN、SiCの中から少なくとも1種類以上を含有するコンポジット熱伝導性樹脂とした請求項1に記載の放熱性配線基板。
  16. フィラーの添加量を70〜95重量%とした請求項15に記載の放熱性配線基板。
  17. 回路パタ−ンを形成する工程と、回路パターン、無機絶縁体、未硬化の熱伝導性樹脂および放熱板を所定の位置に配置して積層した後、前記回路パターン、無機絶縁体および放熱板とを圧接しながら熱伝導性樹脂を硬化させることによって一体化して放熱性配線基板を作製する工程を少なくとも含む放熱性配線基板の製造方法。
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