JP2008033306A - 欠陥修正装置 - Google Patents

欠陥修正装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2008033306A
JP2008033306A JP2007175161A JP2007175161A JP2008033306A JP 2008033306 A JP2008033306 A JP 2008033306A JP 2007175161 A JP2007175161 A JP 2007175161A JP 2007175161 A JP2007175161 A JP 2007175161A JP 2008033306 A JP2008033306 A JP 2008033306A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
defect
unit
correction
image
review
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2007175161A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2008033306A5 (enrdf_load_stackoverflow
Inventor
Takayuki Akaha
隆之 赤羽
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Corp filed Critical Olympus Corp
Priority to JP2007175161A priority Critical patent/JP2008033306A/ja
Publication of JP2008033306A publication Critical patent/JP2008033306A/ja
Publication of JP2008033306A5 publication Critical patent/JP2008033306A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
JP2007175161A 2006-07-03 2007-07-03 欠陥修正装置 Pending JP2008033306A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007175161A JP2008033306A (ja) 2006-07-03 2007-07-03 欠陥修正装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006183111 2006-07-03
JP2007175161A JP2008033306A (ja) 2006-07-03 2007-07-03 欠陥修正装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008033306A true JP2008033306A (ja) 2008-02-14
JP2008033306A5 JP2008033306A5 (enrdf_load_stackoverflow) 2010-07-22

Family

ID=39122729

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007175161A Pending JP2008033306A (ja) 2006-07-03 2007-07-03 欠陥修正装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2008033306A (enrdf_load_stackoverflow)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010117285A (ja) * 2008-11-14 2010-05-27 Omron Corp 基板の欠陥検査装置
CN103978306A (zh) * 2014-04-23 2014-08-13 成都精密光学工程研究中心 熔石英光学元件激光修复装置及修复方法
CN112018000A (zh) * 2020-08-06 2020-12-01 武汉大学 一种具有晶体结构检测及原位修复功能的装置
CN113390877A (zh) * 2020-03-13 2021-09-14 由田新技股份有限公司 共生式复检系统及共生式复检方法
WO2024029048A1 (ja) * 2022-08-04 2024-02-08 株式会社Fuji 画像出力装置および画像出力システム
WO2025053255A1 (ja) * 2023-09-06 2025-03-13 川崎重工業株式会社 検査システム、検査方法およびロボットシステム
JP2025037655A (ja) * 2023-09-06 2025-03-18 川崎重工業株式会社 検査システムおよび検査方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000206480A (ja) * 1999-01-14 2000-07-28 Advanced Display Inc 液晶表示装置の修復支援装置およびその方法
JP2002196257A (ja) * 2000-12-25 2002-07-12 Nikon Corp 画像処理装置、コンピュータ読取可能な記録媒体、及び顕微鏡システム。
JP2004257824A (ja) * 2003-02-25 2004-09-16 Shimadzu Corp 液晶基板管理装置
JP2005024312A (ja) * 2003-06-30 2005-01-27 Olympus Corp 欠陥表示装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000206480A (ja) * 1999-01-14 2000-07-28 Advanced Display Inc 液晶表示装置の修復支援装置およびその方法
JP2002196257A (ja) * 2000-12-25 2002-07-12 Nikon Corp 画像処理装置、コンピュータ読取可能な記録媒体、及び顕微鏡システム。
JP2004257824A (ja) * 2003-02-25 2004-09-16 Shimadzu Corp 液晶基板管理装置
JP2005024312A (ja) * 2003-06-30 2005-01-27 Olympus Corp 欠陥表示装置

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010117285A (ja) * 2008-11-14 2010-05-27 Omron Corp 基板の欠陥検査装置
CN103978306A (zh) * 2014-04-23 2014-08-13 成都精密光学工程研究中心 熔石英光学元件激光修复装置及修复方法
CN113390877A (zh) * 2020-03-13 2021-09-14 由田新技股份有限公司 共生式复检系统及共生式复检方法
CN112018000A (zh) * 2020-08-06 2020-12-01 武汉大学 一种具有晶体结构检测及原位修复功能的装置
CN112018000B (zh) * 2020-08-06 2021-07-20 武汉大学 一种具有晶体结构检测及原位修复功能的装置
WO2024029048A1 (ja) * 2022-08-04 2024-02-08 株式会社Fuji 画像出力装置および画像出力システム
WO2025053255A1 (ja) * 2023-09-06 2025-03-13 川崎重工業株式会社 検査システム、検査方法およびロボットシステム
JP2025037655A (ja) * 2023-09-06 2025-03-18 川崎重工業株式会社 検査システムおよび検査方法
JP7654733B2 (ja) 2023-09-06 2025-04-01 川崎重工業株式会社 検査システムおよび検査方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104364877B (zh) 带电粒子束装置
JP4917329B2 (ja) 画像取得装置、画像取得方法、及び画像取得プログラム
US20070058054A1 (en) Observation apparatus
TWI408358B (zh) 缺陷修正裝置
JP2008033306A (ja) 欠陥修正装置
JP6300606B2 (ja) 顕微鏡システム
WO2011132766A1 (ja) レビュー方法、およびレビュー装置
JP2010117285A (ja) 基板の欠陥検査装置
JP5893314B2 (ja) 表示装置および顕微鏡システム
US7956324B2 (en) Charged particle beam apparatus for forming a specimen image
JP2000035319A (ja) 外観検査装置
JP4041042B2 (ja) 欠陥確認装置および欠陥確認方法
JPH08210987A (ja) 欠陥検出用顕微鏡装置
JP4072420B2 (ja) Ｘ線透視検査装置の較正方法
JP2007327903A (ja) 外観検査装置
JP2005181250A (ja) 液晶表示パネルの検査方法及び装置
JP2005249946A (ja) 表示装置の欠陥検査装置
JP4136099B2 (ja) 基板検査装置
JP2008175764A (ja) 外観検査装置
JP2014062887A (ja) 欠陥検出装置、欠陥修正装置および欠陥検出方法
JP6169330B2 (ja) パターン描画装置およびパターン描画方法
JP2012150142A (ja) 顕微鏡制御装置、顕微鏡システム及び該制御方法
JP4596881B2 (ja) 透過型電子顕微鏡装置
JP4158027B2 (ja) Ｘ線透視検査装置
JPWO2020188781A1 (ja) 荷電粒子線装置

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Effective date: 20100603

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100603

A977 Report on retrieval

Effective date: 20111226

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120403

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120601

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20120604

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20130129