JP2008033306A - 欠陥修正装置 - Google Patents

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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010117285A (ja) * 2008-11-14 2010-05-27 Omron Corp 基板の欠陥検査装置
CN103978306A (zh) * 2014-04-23 2014-08-13 成都精密光学工程研究中心 熔石英光学元件激光修复装置及修复方法
CN112018000A (zh) * 2020-08-06 2020-12-01 武汉大学 一种具有晶体结构检测及原位修复功能的装置
CN113390877A (zh) * 2020-03-13 2021-09-14 由田新技股份有限公司 共生式复检系统及共生式复检方法
WO2024029048A1 (ja) * 2022-08-04 2024-02-08 株式会社Fuji 画像出力装置および画像出力システム
WO2025053255A1 (ja) * 2023-09-06 2025-03-13 川崎重工業株式会社 検査システム、検査方法およびロボットシステム
JP2025037655A (ja) * 2023-09-06 2025-03-18 川崎重工業株式会社 検査システムおよび検査方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000206480A (ja) * 1999-01-14 2000-07-28 Advanced Display Inc 液晶表示装置の修復支援装置およびその方法
JP2002196257A (ja) * 2000-12-25 2002-07-12 Nikon Corp 画像処理装置、コンピュータ読取可能な記録媒体、及び顕微鏡システム。
JP2004257824A (ja) * 2003-02-25 2004-09-16 Shimadzu Corp 液晶基板管理装置
JP2005024312A (ja) * 2003-06-30 2005-01-27 Olympus Corp 欠陥表示装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000206480A (ja) * 1999-01-14 2000-07-28 Advanced Display Inc 液晶表示装置の修復支援装置およびその方法
JP2002196257A (ja) * 2000-12-25 2002-07-12 Nikon Corp 画像処理装置、コンピュータ読取可能な記録媒体、及び顕微鏡システム。
JP2004257824A (ja) * 2003-02-25 2004-09-16 Shimadzu Corp 液晶基板管理装置
JP2005024312A (ja) * 2003-06-30 2005-01-27 Olympus Corp 欠陥表示装置

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010117285A (ja) * 2008-11-14 2010-05-27 Omron Corp 基板の欠陥検査装置
CN103978306A (zh) * 2014-04-23 2014-08-13 成都精密光学工程研究中心 熔石英光学元件激光修复装置及修复方法
CN113390877A (zh) * 2020-03-13 2021-09-14 由田新技股份有限公司 共生式复检系统及共生式复检方法
CN112018000A (zh) * 2020-08-06 2020-12-01 武汉大学 一种具有晶体结构检测及原位修复功能的装置
CN112018000B (zh) * 2020-08-06 2021-07-20 武汉大学 一种具有晶体结构检测及原位修复功能的装置
WO2024029048A1 (ja) * 2022-08-04 2024-02-08 株式会社Fuji 画像出力装置および画像出力システム
WO2025053255A1 (ja) * 2023-09-06 2025-03-13 川崎重工業株式会社 検査システム、検査方法およびロボットシステム
JP2025037655A (ja) * 2023-09-06 2025-03-18 川崎重工業株式会社 検査システムおよび検査方法
JP7654733B2 (ja) 2023-09-06 2025-04-01 川崎重工業株式会社 検査システムおよび検査方法

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