JP2008032645A - 拡大観察装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】照明の照射条件を設定及び記憶することで、初心者でも簡単に観察・検査が可能な拡大観察装置を提供すること。
【解決手段】拡大観察装置は複数のLEDに対する照射条件が複数記憶された記憶部18と、該複数の照射条件に基づいて複数のLEDを制御する制御部14とを備え、各照射条件で撮像された複数の撮像画像はフレームメモリF1〜Fmに逐次記憶される。そして、制御部14の制御により、フレームメモリ13に記憶された複数の撮像画像を記憶部18に移し、所定の分割数にて表示するデータをビデオメモリ16に記憶する。その後、ビデオメモリ16に記憶されていた分割表示用のデータを、出力部17を介して表示装置20にて表示する。
【選択図】図1

Description

本発明は、拡大観察装置に関するものである。
従来、IC基板上の配線接続確認などの観察作業時には、拡大観察装置が用いられる。
観察作業において、作業者は、拡大観察装置により撮影され表示装置としてのモニタに表示された観察対象としてのワークの全体形状より観察領域を特定し、所定の領域部分のみを観察・検査する。又、その際にワークの一部をモニタに拡大表示して詳細に観察する場合に、照明を当てることでワークに設置された素子に傷が生じていないか、基板のはんだ付け不良及び溶接割れなどがないかを目視する状況が生じるため、照明部を搭載した拡大観察装置が利用されている(例えば特許文献1参照)。
作業者が拡大観察装置を用いて観察を行う際に、その経験値の差により、ワークを照らす光の調整を行い異常個所の有無を確認するまでの手順と時間が大きく変わる。手馴れた作業者は己の感覚で拡大観察装置を操作し、異常個所を発見しやすい観察環境に即座に設定出来る。しかし、初心者の場合、観察環境を整えるだけで時間を有してしまう。
観察環境としては、照明手段による照射条件及びディスプレイなどの表示手段上での表示情報が挙げられる。照射条件には、照射光量、撮像手段の内部パラメータ(ホワイトバランス、ゲイン特性など)、などが含まれる。これら照射条件を考慮した上で、ディスプレイに表示した際にワークを詳しく確認できる状態に設定し、画面の拡大やコントラスト調整を行うため、初心者には扱いづらい。それ故に、一度記憶した観察環境を再設定し、それ以降設定を固定して撮像を行う拡大観察装置が利用されている(例えば特許文献2参照)。
特開2004−153462号公報 特開2004−220987号公報
ところで、この観察環境をティーチング出来る拡大観察装置において、観察環境を記憶手段に記憶し、過去の観察環境を設定して観察するだけでは、観察対象が同種のものであってもその対象物の状態(異常個所の異常の度合い(ワークに入った傷の深さなど))により、一度設定された観察環境自体が観察に適さない場合も生じる。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、初心者でも簡単に観察・検査が可能な拡大観察装置を提供することにある。
上記課題を解決するために、請求項1に記載の発明は、所定の観察領域内の観察対象を撮像する撮像手段と、複数の光出射手段が設けられ、前記観察領域に照明光を照射する照明手段と、前記撮像手段によって撮像された撮像画像を記憶する画像記憶手段と、前記画像記憶手段に記憶される撮像画像に基づいて前記観察対象を拡大表示可能な表示手段と、備えた拡大観察装置において、前記複数の光出射手段に対する照射条件が複数記憶された条件記憶手段と、前記照射条件に基づいて前記複数の光出射手段を制御する照射制御手段と、を備え、前記画像記憶手段には、前記複数の照射条件によりそれぞれ撮像された複数の撮像画像を記憶し、前記表示手段は、前記画像記憶手段に記憶された複数の撮像画像を所定の分割数にて表示する。
この構成では、1つの観察対象に対して予め記憶された複数の照射条件により複数の撮像画像が得られる。従って、観察対象や観察箇所が変更された場合であっても、複数の照射条件の中には、それぞれの観察に適した照射条件が含まれ、複数の撮像画像には、異常個所が見やすい照射条件によって撮像された画像が含まれる。このため、初心者であっても照射条件を変更することなく、観察・検査することができる。
請求項2によれば、請求項1に記載の拡大観察装置において、前記照明手段は前記複数の光出射手段と異なる角度から前記観察領域を照射する複数の第2の光出射手段を有する構成をもつため、光量が不足した場合の光量追加が容易になる。また、第1の光出射手段と組み合わせることで照射条件を増やすことができるため、観察対象が適度に照らされ明るくなり、検査し易い撮像画像を得ることが出来る。
請求項3によれば、請求項1又は2に記載の拡大観察装置において、前記表示手段は、前記画像記憶手段に記憶された前記複数の撮像画像を前記分割数にて1画面で表示し、前記分割数にて前記表示手段に表示された撮像画像のうちの1つを選択する拡大指定手段を備え、前記拡大指定手段により指定された撮像画像を分割表示より拡大表示する。この構成により、画像記憶手段に記憶された撮像画像を選択し、画面を拡大することで細部まで見ることができ、観察対象の傷や剥がれなどの異常個所を局所的に、容易に観察・検査することができる。
請求項4によれば、請求項1〜3のいずれか一項に記載の拡大観察装置において、前記複数の照射条件によりそれぞれ撮像された複数の撮像画像を前記表示手段で表示し、前記表示手段により表示された撮像画像のうち、2つ以上の照射条件を選択・設定する照射条件設定手段を備え、前記照射条件設定手段により設定された照射条件に基づき前記複数の光出射手段を制御して撮像する。この構成により、ある程度観察対象を観察できる複数の照射条件を設定し、作業者が観察する複数の照射条件に対応する撮像画像数を抑えることができる。それ故に、観察対象物を見慣れていない初心者でも、的を絞って観察作業を行うことができる。
請求項5によれば、請求項1〜4のいずれか一項に記載の拡大観察装置において、前記複数の照明手段は周方向に沿って配置され、前記対象に対して異なる方向から光が照射される複数の照射条件を記憶する。これにより、所定角度からの照射及び照明としての明るさを個別に制御し、照射方向を制御することができる。
請求項6によれば、請求項1〜5の何れか一項に記載の拡大観察装置において、前記光出射手段は光源であり、前記照射条件は前記光源の輝度を変更することを含むため、光源の輝度調整を行い、照射方向を制御することができる。
請求項7によれば、請求項1〜6の何れか一項に記載の拡大観察装置において、前記光出射手段は光源であり、前記照射条件は前記光源のオンオフを行うことを含むことを特徴とするため、光源のオンオフ制御を行い、照射方向を制御することができる。
請求項8によれば、請求項3に記載の拡大観察装置において、前記分割数で前記表示手段に表示される撮像画像のうち、1つ又は複数の撮像画像を選択する記憶画像選択手段と、前記記憶画像選択手段により選択された撮像画像を保存する画像保存手段とを備えたため、後に作業者への作業説明を行う際などに撮像画像を閲覧することができる。
従って、上記記載の発明によれば、照明の照射条件を設定及び記憶することで、初心者でも簡単に観察・検査が可能な拡大観察装置を提供することができる。
以下、本発明を具体化した一実施の形態を図1〜3に従って説明する。
図1は、本実施形態の拡大観察装置における電気的構成を示すブロック図である。
拡大観察装置は、観察対象としてのワークWを撮像する撮像装置10と、撮像装置10に接続されワークWの画像を表示する表示手段としての表示装置20とを備えている。撮像装置10には、光出射手段としての照明部11、撮像手段としての撮像部12、画像記憶手段としてのフレームメモリ13、照射制御手段及び分割数変更手段としての制御部14、拡大指定手段及び照射条件設定手段としての入力部15a、ビデオメモリ16、出力部17が設けられている。又、制御部14には条件記憶手段としての記憶部18が設けられている。記憶部18には、表示装置20に画像データを表示するための表示情報、照明部11を制御するための照射条件が少なくとも記憶されている。
表示情報には画面に対し何分割でワークを表示するかの判断計算方法、選択された画像に対し拡大表示を行うためのプログラムなどが記憶されている。照射条件には、照射光量、撮像手段の内部パラメータ(ホワイトバランス、ゲイン特性など)が含まれている。
照明部11は、制御部14により制御され、ワークWに照明光を照射する。撮像部12は例えば200万画素の固体撮像素子とレンズ(いずれも図示略)から構成され、制御部14の制御により、ワークWを含む観察領域を、記憶部18に記憶された照射条件に従い撮影する。
撮像部12により撮像された画像データはフレームメモリ13に出力される。フレームメモリ13は複数設けられ、それぞれを区別するためにフレームメモリF1〜Fmとする。各フレームメモリF1〜Fmは、それぞれ撮像部12から出力される1画面分の画像データを格納するために充分な容量に設定されている。固体撮像素子から出力された画像データは各フレームメモリF1〜Fmに順次格納される。
制御部14は、各フレームメモリF1〜Fmに格納された画像データに対して、記憶部18に記憶された表示情報に従って、拡大,縮小などの処理を行いビデオメモリ16に格納する。ビデオメモリ16は、表示装置20に表示可能な画素(表示画素数であり、表示できる細かさ(表示分解能)に対応する)に応じた容量に設定されている。ビデオメモリ16に格納された画像データは出力部17によって読み出されて表示装置20に出力される。従って、表示装置20には、フレームメモリ13の画像データが記憶部18に格納された表示情報に従ってビデオメモリ16及び出力部17を介して入力され、画像が表示される。
表示情報は、制御部14に設けられた記憶部18に記憶されており、画像の表示領域の配置、大きさ、拡大縮小率、等を含む。制御部14は、表示情報に従って、図2(a)のように表示装置20に画像を表示する。本実施形態において、制御部14は、表示装置20に複数条件で撮像されたワークWの各全体画像D1〜Dn(図においてn=9)を並べて表示するように構成され、表示情報はそれらの画像表示のための情報である。つまり、制御部14は、記憶部18に格納された画像データを、表示装置20の表示能力(表示画素数、表示分解能)に応じて画像処理してビデオメモリ16に格納する。そのビデオメモリ16に格納された画像データが表示装置20に表示される。
また、制御部14には、撮像装置10に設けられた入力部15a又は該撮像装置10の外部に設けられた入力装置15bが接続されている。作業者は、入力部15a又は入力装置15bを操作して、表示装置20に表示する撮像画像の数選択、撮像画像の選択、拡大率等を指示し、図2(b)に示すように観察する画面を表示させる。入力装置15bとして、例えばマウスを用いる場合、マウスポインタ21が表示される。これにより、入力部15a又は入力装置15bにより選択された撮像画像を拡大表示することが可能となるため、作業者は必要と思われる画像を選択して拡大表示することで、ワークWを詳細に観察することができる。さらに、制御部14は、入力部15a又は入力装置15bを介して入力する指示に従って表示情報を変更するとともに、指示に応じた撮像画像を表示装置20に表示する。
図3に示すように、撮像部12は、円筒状の撮像装置本体12aが、ワークWをセットする検査台Tに対して所定角度(例えば検査台Tの上面と垂直)に図示しない支持部材によって支持されている。撮像装置本体の先端(図3において下端)には撮像レンズ12bが装着され、撮像装置本体12aの基端(図3において上端)には電源供給や撮像された画像データを拡大観察装置本体へ送信するための信号ケーブル12cが接続されている。撮像レンズ12bの先端に螺旋状のねじ溝が形成され、このねじ溝により照明部11が取着されている。照明部11は、照射に必要な電源が例えば撮像装置本体12aから供給されている。尚、この照明部11の電源は、接続端子などを用いて撮像部より外部線を用いて供給されても、照明部11自体に埋め込まれていている場合も想定できる。
照明部11は、本実施形態ではリング状に形成された照明であり、図4(a)に示すように、複数の照射光源としての発光ダイオード(LED)11aが同心円上に所定間隔で配置されている。各発光ダイオード11aは、図4(b)に示すように、その配置は光源から照射される光が撮像部12の撮像レンズ12bの中心に向けて集まるよう斜角が付けられている。
本実施形態において、照明部11には、図4(a)に示すように、18個のLED11aが同一円上に配置されている。そして、3個のLED11aが同時に制御される制御群を構成している。つまり、18個のLED11aにより、6個の制御群31a〜31fが構成されている。言い換えれば、本実施形態の照明部11には、円環状に6個の制御群31a〜31fが配列され、各制御群31a〜31fには、それぞれ3つのLED11aが周方向に沿って配列されている。
照明部11は、制御部14により制御される。制御部14の記憶部18には、予め複数の照射条件が記憶されている。各照射条件は、各制御群31a〜31fに対する点灯・消灯と、出射光量(各LED11aの輝度であり、各LED11aに供給する電流量)を含む。例えば、1つの照射条件として、図4(a)において、右側に配置された制御群31a〜31cを点灯させるとともに、その輝度が設定されている。また、別の照射条件として、図4(a)において、周方向に沿って1つおきの制御群31a,31c,31eを点灯させるとともに、その輝度が設定されている。尚、輝度が異なる場合も別の照射条件とする。
上記構成を備えた拡大観察装置の制御部14は、記憶部18に記憶された所定の照射条件を用いて、撮像部12を制御しワークWを撮像する。照射条件は例えばLED11a全てを発光させた場合、LED11aのうち連続に並んだ特定配置の制御群31b〜31dのみ最大レベルに対し中間レベルの輝度で発光する、等が挙げられる。この各照射条件を順次変更し、撮像部12に撮像された画像はフレームメモリF1,F2,…,Fm(今回m=9として説明)に逐次保存される。所定数として9態様分の照射条件を用いて撮像画像を撮像した後に、制御部14はビデオメモリ16に表示用画像を記憶する。表示用画像には、撮像した9態様の画像を図2(a)に示すように、表示装置20に一度に表示した画像が用いられる。ビデオメモリ16に記憶された画像は出力部17を介して表示装置20に出力される。
表示装置ではまず図2(a)に示されるように、照射条件を変えて撮像した全ての撮像画像を並べて表示している。これにより、記憶部18に記憶された撮像画像を一目で見渡すことができ、どの照射条件で撮像された観察対象が観察・検査に利用できるのかを大局的に選択する際に、作業者を補佐することができる。
作業者の選択に応じ、制御部14はマウスなどの入力装置15bにマウスポインタ21で指示され選択された撮像画像を表示装置20に拡大して表示する。この拡大表示を見ることで、初心者でも撮像条件を最適な観察・検査条件とすることができる。
初心者でも取り扱いの可能な拡大観察装置であることから、記憶部18に記憶される表示条件は表示装置20に表示できるワークの大きさに合わせ決定される。制御部14の制御に基づき、ワークWの大きさに応じて表示装置20における画面分割の分割数が変更される構成により、ワークWが撮像画像に対し大きい場合には分割数を多く、ワークWが撮像画像に対し小さい場合には分割数を少なくしてその分画像を大きく表示される。従って、初心者であっても観察・検査しやすい表示状態を用意することができる。すなわち、観察対象が小さければディスプレイ画面一面にワークが9枚表示され、逆に大きければ12枚表示されるなど、制御部14が表示条件を制御する。以上説明したように、多くの態様から好みの表示環境の設定を観察作業初心者でも行うことができる。
また、このように複数の照射条件で撮像された撮像画像を1画面に複数表示する拡大観察装置を用いて、照射条件のティーチングを行うこともできる。照射条件の態様が多くとも、その条件のなかには明らかに観察に適さない輝度で光出射を照射条件としている場合がある。輝度が高すぎるため画面全体が白くなっているもの、輝度が低すぎるため画面全体が暗くなっているもの、及び画面として見にくいものが例として挙げられる。このように、観察に適さない照射条件を毎回表示装置20に表示し、観察を行うことは作業者の負担を増やすこととなる。そこで、入力装置15bなどを用いて実用的な照射条件を複数選択する。例えば、図2(a)に示す画像D4,D5,D7を複数選択することで、それら選択された画像D4,D5,D7を撮像した時における複数の照射条件を記憶部18に記憶する。制御部14は、画像D4,D5,D7の照射条件に基づき撮像するため、作業者が多くの照射条件に目を通す必要が無くなる。これにより観察作業の負担軽減を図ることができる。
次に、本実施の形態の特徴的な作用効果を記載する。
(1)拡大観察装置は複数のLED11aに対する照射条件が複数記憶された記憶部18と、該複数の照射条件に基づいて複数のLED11aを制御する制御部14とを備え、各照射条件で撮像された複数の撮像画像はフレームメモリF1〜Fmに逐次記憶される。そして、制御部14の制御により、フレームメモリ13に記憶された複数の撮像画像を記憶部18に移し、所定の分割数にて表示するデータをビデオメモリ16に記憶する。その後、ビデオメモリ16に記憶されていた分割表示用のデータを、出力部17を介して表示装置20にて表示する。
予め記憶部18に記憶された複数の照射条件により、複数の撮像画像を得ることが出来る。また、得られた複数の撮像画像を表示装置20上で一度に、若しくは個数を決めて表示することにより設定の手間を簡略化し、初心者でも該複数の撮像画像を比較し観察・検査を行うことが出来る。
(2)制御部14は、記憶部18に記憶された複数の撮像画像を、表示装置20を分割して複数撮像画像を並べ、1画面で表示する。そして、入力部15aなどより指定された1つの撮像画像を分割表示時よりも拡大して表示する。この構成により、記憶部18に記憶された撮像画像を選択し、画面を拡大することで細部まで見ることができ、観察対象の傷や剥がれなどの異常個所を局所的に、容易に観察・検査することができる。
尚、本発明の実施の形態は、以下のように変更してもよい。
・上記実施の形態では、信号ケーブル12cを用いた有線構造を想定したが、無線信号によるデータの送受信を行うものを用いても良い。
・照明部11及び撮像部12の嵌め合わせ方は、スクリュー螺子のように螺旋状溝を有し螺子を締めるように嵌合されていても、継手により接続されていても、装着できる方法であればよい。
・照射条件の多彩さに伴い撮像画像が多く、又表示装置の1画面に収まりきらない枚数である場合、一画面を分割表示した撮像画像を一枚の頁として、この頁をめくる様に異なる撮像条件を少なくとも1つ選択することができる。撮像したワークWの大きさに対応した一画面での表示枚数にあわせて各頁の分割数は決定される。また、選択された撮像条件に対応する照射条件における拡大画像も撮像された順に切替える事ができる。比較対象として複数照射条件を選択したい場合は、分割表示の際に頁をめくるときに、比較対象として選択された選択画像を(選択が外れるまで)含めて分割表示することもできる。
・ワークWを観察・検査できる照射条件を、記憶部18に記憶された照射条件から得られない場合、新たに制御部14は照射条件を記憶部18に追加し、今までに無い観察対象であっても観察・検査することができる。
・本実施形態において、実際に拡大観察装置の照明部11と撮像部12とを組み合わせて用いる場合に、LED11aが一列だけでは、一定方向からの光源を設定した場合に全体を明るくするための光量が不足する事態も考えられる。例えば並列接続された隣り合うLED11aのうち、3個のみ発光している場合、手元が暗ければ表示装置20に表示される撮像画像は全て暗いものとなってしまう。そこで、図5(a)(b)のように、純粋に照明を加えるためだけに検査台T上面に向けて定着されたLED51bを18個外周円に加える。照明部51を異なる角度からワークWを照射する複数の第2のLED51bを有する構成とすると、光量が不足した場合の光量追加が容易になる。また、全体への光量と、部分的一定方向からの光量とを分けてワークWを照らすことができ、異常個所を観察・検査しやすくする。さらに、第1のLED51aと組み合わせることで照射条件の様態を増やすことができるため、観察対象に応じた照射条件を得ることが出来る。
また、第1のLED51aと第2のLED51bの位置は、図5(b)に破線で描かれたLED51cのように入れ替えてもよい。光をワークWの所定箇所に当てる時にあたる光の位置及び角度は観察対象を照射することができればよい。
・発光ダイオードは、全体を照らす光源を確保するため、そして一定方向からの光源を確保するためと2種類の角度をLED51a,51b定着時に定めているが、この角度、並びに位置は2種類の光源を確保できるものであればよい。LEDの照射角度は適宜変更してもよく、例えば、LED51aと図5(b)において破線で描かれているLED51cとの組み合わせが挙げられる。
更に、光源の配置について、図5(a)では周に沿って2重に光源を配置しているが、これ以上に重ねる(LED51a〜51cの3重光源)こともできる。
・本実施形態において光出射手段として、発光ダイオードを直接光源として複数個、周に沿って並べている。しかし、光源を1つにし、その光源から周に沿って配置された光ファイバなどを経由して、間接的に観察対象に当てられる光であってもよい。なお、その場合における各出射光は、光源に近い位置でライトガイドなどにより光がそのファイバを介さないように構成することで輝度をオンオフ又はその間の出射レベルで制御される。また、出射光がファイバから出て行く出力箇所に反射板を設置することで、結束されたファイバのブロックごとに出射条件を変更させる構成としてもよい。
・本実施形態において、記憶画像選択手段としての入力装置15bなどより指定された1つ又は複数の撮像画像を例えばファイルとして図示しない記憶部に保存するようにしてもよい。画像保存手段としての記憶部は、1つ又は複数の照射条件により撮像された複数の撮像画像を保存し、選択されなかった画像は記憶部には記憶されずに消去(クリア)される。このように、作業者が指定した撮像画像は、再度制御部14の制御により、表示装置20に表示することができる。これにより、作業初心者に照射条件を変えた場合はどのように撮像画像が観察できるのかを視覚的に伝えることができ、作業教育に用いることもできる。
一実施形態の拡大観察装置の電気的構成を示すブロック図。 (a)(b)は表示装置の画面表示例の説明図。 撮像部の側面図。 (a)(b)は照明装置の説明図。 (a)(b)は別の照明装置の説明図。
符号の説明
11,51…照明部、11a,11b,51a,51b,51c…発光ダイオード(LED)、12…撮像部、13,F1,Fm…フレームメモリ、14…制御部、15a…入力部、15b…入力装置、16…ビデオメモリ、18…記憶部、20…表示装置、W…ワーク。

Claims (8)

  1. 所定の観察領域内の観察対象を撮像する撮像手段と、
    複数の光出射手段が設けられ、前記観察領域に照明光を照射する照明手段と、
    前記撮像手段によって撮像された撮像画像を記憶する画像記憶手段と、
    前記画像記憶手段に記憶される撮像画像に基づいて前記観察対象を拡大表示可能な表示手段と、
    を備えた拡大観察装置において、
    前記複数の光出射手段に対する照射条件が複数記憶された条件記憶手段と、
    前記照射条件に基づいて前記複数の光出射手段を制御する照射制御手段と、
    を備え、
    前記画像記憶手段には、前記複数の照射条件によりそれぞれ撮像された複数の撮像画像を記憶し、
    前記表示手段は、前記画像記憶手段に記憶された複数の撮像画像を所定の分割数にて表示する、
    ことを特徴とする拡大観察装置。
  2. 請求項1に記載の拡大観察装置において、
    前記照明手段は前記複数の光出射手段と異なる角度から前記観察領域を照射する複数の第2の光出射手段を有することを特徴とする拡大観察装置。
  3. 請求項1又は2に記載の拡大観察装置において、
    前記表示手段は、前記画像記憶手段に記憶された前記複数の撮像画像を前記分割数にて1画面で表示し、
    前記分割数にて前記表示手段に表示された撮像画像のうちの1つを選択する拡大指定手段を備え、
    前記拡大指定手段により指定された撮像画像を分割表示時よりも拡大表示する、
    ことを特徴とする拡大観察装置。
  4. 請求項1〜3の何れか一項に記載の拡大観察装置において、
    前記複数の照射条件によりそれぞれ撮像された複数の撮像画像を前記表示手段で表示し、
    前記表示手段により表示された撮像画像のうち、2つ以上の照射条件を選択・設定する照射条件設定手段を備え、
    前記照射条件設定手段により設定された照射条件に基づき前記複数の光出射手段を制御して撮像する
    ことを特徴とする拡大観察装置。
  5. 請求項1〜4の何れか一項に記載の拡大観察装置において、
    前記複数の照明手段は周方向に沿って配置され、
    前記対象に対して異なる方向から光が照射される複数の照射条件を記憶することを特徴とする拡大観察装置。
  6. 請求項1〜5の何れか一項に記載の拡大観察装置において、
    前記光出射手段は光源であり、
    前記照射条件は前記光源の輝度を変更することを含むことを特徴とする拡大観察装置。
  7. 請求項1〜6の何れか一項に記載の拡大観察装置において、
    前記光出射手段は光源であり、
    前記照射条件は前記光源のオンオフを行うことを含むことを特徴とする拡大観察装置。
  8. 請求項1〜7の何れか一項に記載の拡大観察装置において、
    前記分割数で前記表示手段に表示される撮像画像のうち、1つ又は複数の撮像画像を選択する記憶画像選択手段と、
    前記記憶画像選択手段により選択された撮像画像を保存する画像保存手段とを備えたことを特徴とする拡大観察装置。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014089180A (ja) * 2012-10-01 2014-05-15 F. Hoffmann-La Roche Ag 光源モジュール、および試料を分析するための分析機器
JP2015232480A (ja) * 2014-06-09 2015-12-24 株式会社キーエンス 検査装置
JP2017125695A (ja) * 2016-01-12 2017-07-20 株式会社Screenホールディングス 検査システム、表示装置、プログラム、および、検査方法
JP2020167286A (ja) * 2019-03-29 2020-10-08 Juki株式会社 検査装置及び検査方法
JP2021043297A (ja) * 2019-09-10 2021-03-18 株式会社ミツトヨ 画像検出装置、パルス照明装置、およびパルス照明方法
WO2023074184A1 (ja) * 2021-10-28 2023-05-04 パナソニックIpマネジメント株式会社 アノテーション支援システム及びそれを利用した外観検査用モデルの学習支援システム

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014089180A (ja) * 2012-10-01 2014-05-15 F. Hoffmann-La Roche Ag 光源モジュール、および試料を分析するための分析機器
JP2015232480A (ja) * 2014-06-09 2015-12-24 株式会社キーエンス 検査装置
JP2017125695A (ja) * 2016-01-12 2017-07-20 株式会社Screenホールディングス 検査システム、表示装置、プログラム、および、検査方法
JP2020167286A (ja) * 2019-03-29 2020-10-08 Juki株式会社 検査装置及び検査方法
CN111757667A (zh) * 2019-03-29 2020-10-09 Juki株式会社 检查装置及检查方法
JP7281942B2 (ja) 2019-03-29 2023-05-26 Juki株式会社 検査装置及び検査方法
CN111757667B (zh) * 2019-03-29 2023-08-25 Juki株式会社 检查装置及检查方法
JP2021043297A (ja) * 2019-09-10 2021-03-18 株式会社ミツトヨ 画像検出装置、パルス照明装置、およびパルス照明方法
US11638072B2 (en) 2019-09-10 2023-04-25 Mitutoyo Corporation Image detection device, pulsed illumination device, and pulsed illumination method
JP7383429B2 (ja) 2019-09-10 2023-11-20 株式会社ミツトヨ 画像検出装置、パルス照明装置、およびパルス照明方法
WO2023074184A1 (ja) * 2021-10-28 2023-05-04 パナソニックIpマネジメント株式会社 アノテーション支援システム及びそれを利用した外観検査用モデルの学習支援システム

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