JP2008019464A - ダイヤモンド被膜およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ダイヤモンド被膜102は微粒ダイヤモンドを原料とするエアロゾルデポジション法を用いて形成される。ダイヤモンド被膜102は多結晶であり、平均結晶粒子径が1nm以上500nm以下であり、緻密度が60%以上99%以下であり、膜厚が5nm以上100μm以下である。
【選択図】図2
Description
ダイヤモンド被膜のsp3結合成分の割合はTEM−EELS(透過型電子顕微鏡における電子エネルギ損失分光法)によって求めた。TEM−EELS測定結果に対して多重散乱除去処理を行ない、ピーク分割処理を行なった。発明品1−1に対するTEM−EELSの分析結果を図3に示す。sp3結合成分の割合は全スペクトルにおける図中(A)に示す約35eVを中心とするσ電子のみによるピークの比率から計算した。本発明品1−1のsp3結合の割合は、29%であった。
Claims (7)
- ダイヤモンド成分を有するダイヤモンド被膜であって、
前記ダイヤモンド被膜は多結晶体であり、
平均結晶粒子径が1nm以上500nm以下であり、
緻密度が60%以上99%以下であり、
膜厚が5nm以上100μm以下である、ダイヤモンド被膜。 - 前記ダイヤモンド被膜がsp3結合を主体とするか、またはsp2結合とsp3結合が混在している、請求項1に記載のダイヤモンド被膜。
- 前記sp3結合の割合が20%以上99%以下である、請求項1に記載のダイヤモンド被膜。
- 前記ダイヤモンド被膜は基材上に形成され、前記ダイヤモンド被膜と基材との界面には、前記ダイヤモンド被膜を形成する結晶粒子が前記基材に入り込んだアンカー部が形成されており、そのアンカー部の厚みが1nm以上200nm以下である、請求項1から3のいずれか1項に記載のダイヤモンド被膜。
- 請求項1から4のいずれか1項に記載のダイヤモンド被膜が微粒ダイヤモンド粉末を原料とするエアロゾルデポジション法を用いて形成される、ダイヤモンド被膜の製造方法。
- 前記微粒ダイヤモンド粉末の粒径が1nm以上1μm以下である、請求項5に記載のダイヤモンド被膜の製造方法。
- 前記微粒ダイヤモンド粉末の粒径が10nm以上500nm以下である、請求項6に記載のダイヤモンド被膜の製造方法。
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