JP2008008899A - Radiographic image detector - Google Patents

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茂 中村
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To form more easily a moisture-proof structure of a radiographic image detector. <P>SOLUTION: A radiographic image detector, includes: a substrate 10; and a square-shaped radiation detecting section 11 mounted on the substrate 10 and having two opposing sides from which signal lines 12 are drawn out. An insulating rib member 13 is provided on the substrate 10 and the signal lines 12 so as to have insulation along only not more than three outer sides of the radiation detecting section 11, and a moisture-proof film 14 is pasted along the upper surface of the rib member 13. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、放射線画像検出器に関するものであり、特にその防湿構造に関するものである。   The present invention relates to a radiation image detector, and more particularly to a moisture-proof structure thereof.

従来、医療分野などにおいて、被写体を透過した放射線の照射を受けて電荷を発生し、その電荷を蓄積することにより被写体に関する放射線画像を記録する直接型の放射線画像検出器が各種提案、実用化されている。   Conventionally, in the medical field and the like, various types of direct-type radiation image detectors that generate radiation when irradiated with radiation transmitted through the subject and record the radiation image related to the subject by accumulating the charge have been proposed and put into practical use. ing.

特許文献1には、アモルファスセレンを光伝導層とし、これにバイアス電圧の印加下でX線を照射することによる電荷の発生を検出するX線撮像素子が提案されている。こうした撮像素子は、環境湿度によって徐々に感度の劣化が起きる他、画像欠陥の増加が起きる為、十分な防湿構造で覆うことが好ましい。   Patent Document 1 proposes an X-ray imaging device that uses amorphous selenium as a photoconductive layer and detects the generation of electric charges by irradiating the selenium with X-rays under application of a bias voltage. Such an image sensor is preferably covered with a sufficient moisture-proof structure because sensitivity of the image sensor gradually deteriorates due to environmental humidity and image defects increase.

防湿構造としては、例えば特許文献2に開示されるように額縁状にスペーサーを設け、上方に設置した補助板との間に硬化性合成樹脂を充填して防湿性を持たせる構造が提案されている。
特開2000−284056号公報 特開2005−286183号公報
As a moisture-proof structure, for example, a structure has been proposed in which a spacer is provided in a frame shape as disclosed in Patent Document 2 and a moisture-proof property is provided by filling a curable synthetic resin with an auxiliary plate installed above. Yes.
JP 2000-284056 A JP 2005-286183 A

しかしながら、上記のように額縁状にスペーサーを形成するのは、材質によっては難度があり、より簡単な防湿構造が望まれていた。   However, as described above, it is difficult to form a spacer in a frame shape depending on the material, and a simpler moisture-proof structure has been desired.

また、たとえば、乳房撮影用の放射線画像検出器にあっては、胸壁にできるだけ近接した部分まで撮影を行ないたいという要請から、アモルファスセレンなどの層ができるだけ検出器の端部まで広がっている(設けられてる)ことが好ましいが、この際、アモルファスセレンなどの層の配置に関わる上記要請と防湿性能の両立を図るのは困難であった。   In addition, for example, in a radiographic image detector for mammography, a layer of amorphous selenium or the like extends as far as possible to the end of the detector because of a request to perform imaging as close to the chest wall as possible. However, at this time, it has been difficult to achieve both the above-described requirement relating to the arrangement of layers such as amorphous selenium and moisture-proof performance.

本発明は、上記の事情に鑑み、より簡単に形成することができる防湿構造を有する放射線画像検出器を提供することを目的とする。   An object of this invention is to provide the radiographic image detector which has a moisture-proof structure which can be formed more simply in view of said situation.

本発明の放射線画像検出器は、基板と、基板上に載置された、対向する2辺から信号線が引き出された方形の放射線検出部とを備えた放射線画像検出器において、放射線検出部の外周の3辺以下に沿ってのみ、絶縁性を有するリブ部材が基板および信号線上に設置されるとともに、リブ部材の上面に沿って防湿性フィルムが貼り付けられていることを特徴とする。   A radiological image detector according to the present invention is a radiological image detector comprising a substrate and a rectangular radiation detector placed on the substrate and having a rectangular radiation line drawn out from two opposite sides. The insulating rib member is provided on the substrate and the signal line only along three or less sides of the outer periphery, and a moisture-proof film is attached along the upper surface of the rib member.

また、上記本発明の放射線画像検出器においては、リブ部材を、放射線検出部の外周の2辺に沿ってのみ基板および信号線上に設置するようにすることができる。   Moreover, in the radiographic image detector of the said invention, a rib member can be installed on a board | substrate and a signal wire | line only along two sides of the outer periphery of a radiation detection part.

また、リブ部材を、放射線画像検出器の厚さと略等しい厚さを有するものとすることができる。   Further, the rib member can have a thickness substantially equal to the thickness of the radiation image detector.

本発明の放射線画像検出器によれば、放射線検出部の外周の3辺以下に沿ってのみ、絶縁性を有するリブ部材を基板および信号線上に設置するとともに、そのリブ部材の上面に沿って防湿性フィルムを貼り付けるようにしたので、従来のように、額縁状のスペーサーを形成する必要がなく、より簡単に防湿構造を形成することができる。   According to the radiological image detector of the present invention, the rib member having insulating properties is installed on the substrate and the signal line only along the three or less sides of the outer periphery of the radiation detector, and the moisture-proof along the upper surface of the rib member. Since the adhesive film is pasted, it is not necessary to form a frame-like spacer as in the prior art, and the moisture-proof structure can be formed more easily.

リブ材としては、合成樹脂の他ガラスを用いることが出来る。高度の防湿性を得る為にはガラスを用いるのが好ましく、この場合、本発明になる構造は特に有効である。   As the rib material, glass other than synthetic resin can be used. In order to obtain a high degree of moisture resistance, it is preferable to use glass. In this case, the structure according to the present invention is particularly effective.

また、上記のようにリブ部材の上面に沿って防湿性フィルムを貼り付けるようにしたので、防湿性フィルムをリブ部材を用いずに、四辺を何れも直接基板に貼り付ける場合と比較すると、隙間が生じるのを抑制することができ、高度の封止が可能となる。   In addition, since the moisture-proof film is attached along the upper surface of the rib member as described above, the gap is smaller than when the moisture-proof film is directly attached to the substrate without using the rib member. Can be suppressed, and a high degree of sealing becomes possible.

また、信号線がリブ部材により保護され、信号線の断線を防止することができる。   Further, the signal line is protected by the rib member, and disconnection of the signal line can be prevented.

また、本発明における3辺以下のリブと防湿性フィルムとからなる防湿構造は、画像検出部が基板の端部にまで広がった放射線画像検出器に対応したものであり、これを有効に防湿することが可能である。   Further, the moisture-proof structure comprising the ribs of three sides or less and the moisture-proof film in the present invention corresponds to the radiation image detector in which the image detection portion extends to the end portion of the substrate, and effectively prevents moisture. It is possible.

以下、図面を参照して本発明の放射線画像検出器の一実施形態について説明する。図1は、放射線画像検出器の斜視図、図2は図1に示す放射線画像検出器の上面図、図3は図2に示す放射線画像検出器の3−3線断面図、図4は図2に示す放射線画像検出器の4−4線断面図である。   Hereinafter, an embodiment of the radiation image detector of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a perspective view of the radiation image detector, FIG. 2 is a top view of the radiation image detector shown in FIG. 1, FIG. 3 is a cross-sectional view of the radiation image detector shown in FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line 4-4 of the radiation image detector shown in FIG.

本実施形態の放射線画像検出器は、図1から図4に示すように、ガラス基板10と、ガラス基板10上に載置された方形の放射線検出部11と、放射線検出部11の対向する2辺から引き出された信号線12と、放射線検出部11の対向する2辺に沿ってのみ載置されたリブ部材13と、リブ部材13および放射線検出部11の上面に亘って貼り付けられた防湿性フィルム14とを備えている。   As shown in FIGS. 1 to 4, the radiation image detector according to the present embodiment includes a glass substrate 10, a rectangular radiation detection unit 11 placed on the glass substrate 10, and two radiation detection units 11 facing each other. The signal line 12 drawn from the side, the rib member 13 placed only along two opposing sides of the radiation detection unit 11, and the moisture proof attached to the rib member 13 and the upper surface of the radiation detection unit 11 The film 14 is provided.

ガラス基板10としては、任意の厚みのものを使用することが出来るが通常は0.5mmから2.5mm、好ましくは1mmから2mmの厚さのものが用いられる。   As the glass substrate 10, a glass substrate having an arbitrary thickness can be used, but a glass substrate having a thickness of 0.5 mm to 2.5 mm, preferably 1 mm to 2 mm is usually used.

信号線12は、放射線検出部11の下面の対向する2辺から引き出されガラス基板10上に設けられている。   The signal line 12 is drawn out from two opposite sides of the lower surface of the radiation detection unit 11 and provided on the glass substrate 10.

リブ部材13は、絶縁性を有する材料により形成されており、直方体の形状で形成されている。そして、放射線検出部11の対向する2辺と同じ長さで形成されている。そして、リブ部材13の厚さは、リブ部材13と放射線検出部11の上面に防湿性フィルム14を貼り付けた際に、しわによる穴あきが生じない程度の厚さであることが望ましく、放射線検出部11の厚さの±30%程度の厚さで形成することが望ましい。より望ましくは放射線検出部11と略等しい厚さである。また、リブ部材13の材料としては、ガラスやプラスチック材料などを利用することができるが、ガラスを用いることが望ましい。そして、リブ部材13は、信号線12が設けられたガラス基板10上に接着剤で接着される。   The rib member 13 is formed of an insulating material and is formed in a rectangular parallelepiped shape. And it is formed with the same length as two opposite sides of the radiation detector 11. The thickness of the rib member 13 is preferably such that when the moisture-proof film 14 is attached to the upper surface of the rib member 13 and the radiation detection unit 11, no perforation due to wrinkle occurs. It is desirable to form with a thickness of about ± 30% of the thickness of the detection unit 11. More desirably, the thickness is substantially equal to that of the radiation detection unit 11. Moreover, as a material of the rib member 13, glass or a plastic material can be used, but it is desirable to use glass. And the rib member 13 is adhere | attached with the adhesive agent on the glass substrate 10 with which the signal wire | line 12 was provided.

接着剤はエポキシ系接着剤が好ましく、二型反応性エポキシ接着剤、熱硬化性エポキシ接着剤、光硬化型エポキシ接着剤を用いることが出来る。   The adhesive is preferably an epoxy adhesive, and a two-type reactive epoxy adhesive, a thermosetting epoxy adhesive, or a photocurable epoxy adhesive can be used.

防湿性フィルム14は、40℃90%RHの条件下で測定された透湿度が0.2g・25μm/m・24hr以下のもののなかから任意に選択される。このような防湿フイルムの例としては、ポリエチレンテレフタレートフィルムに酸化珪素または酸化アルミニウムを蒸着してなるフィルム、アルミニウム箔の両面に高分子膜フイルムをラミネートしてなるフイルム等を用いることができる。ここでアルミニウム箔とラミネートされる高分子フイルムとしては、ポリエチレンテテフタレート、ナイロン、ポリエチレン、ポリプロピレン等の材料を用いることが出来る。 The moisture-proof film 14 is arbitrarily selected from those having a moisture permeability of 0.2 g · 25 μm / m 2 · 24 hr or less measured at 40 ° C. and 90% RH. As an example of such a moisture-proof film, a film obtained by depositing silicon oxide or aluminum oxide on a polyethylene terephthalate film, a film obtained by laminating a polymer film on both surfaces of an aluminum foil, or the like can be used. Here, as the polymer film laminated with the aluminum foil, materials such as polyethylene tephthalate, nylon, polyethylene, and polypropylene can be used.

防湿性フィルム14は、図1から図4に示すように、リブ部材13の上面に沿って貼り付けられている。そして、防湿性フィルム14の一端は、信号線12が引き出されていない放射線検出部11の一方の辺側で、放射線検出部11の側面に沿うように折り曲げられ、ガラス基板10上で接着されている。また、防湿性フィルムの他端は、信号線12が引き出されていない放射線検出部11の他方の辺側で、放射線検出部11およびガラス基板10の側面に沿うように折り曲げられ、さらにガラス基板10の下面に沿って折り曲げられて接着されている。   The moisture-proof film 14 is affixed along the upper surface of the rib member 13, as shown in FIGS. One end of the moisture-proof film 14 is bent along the side surface of the radiation detection unit 11 on one side of the radiation detection unit 11 from which the signal line 12 is not drawn, and is bonded on the glass substrate 10. Yes. Further, the other end of the moisture-proof film is bent along the side surface of the radiation detection unit 11 and the glass substrate 10 on the other side of the radiation detection unit 11 from which the signal line 12 is not drawn, and further the glass substrate 10. It is bent along the lower surface of and bonded.

防湿性フィルムの貼り付けは、エポキシ系接着剤で行うことが望ましい。   It is desirable to attach the moisture-proof film with an epoxy adhesive.

防湿フィルムの余剰部分を除去するには、貼り付けたリブ部材の上にカッター刃を走らせることで切れ目を入れ、余剰部分を引き剥がすことで行なうことができる。   In order to remove the surplus portion of the moisture-proof film, a cut can be made by running a cutter blade on the bonded rib member, and the surplus portion can be peeled off.

本発明の放射線画像検出器のように信号線の上部にリブ部材を配置することで、その後の封止構造を作成する際に信号線を傷つけることなく加工が行なえることも本構造の特徴である。   The feature of this structure is that the rib member is arranged on the upper part of the signal line as in the radiological image detector of the present invention, so that processing can be performed without damaging the signal line when forming a sealing structure thereafter. is there.

上記実施形態の放射線画像検出器においては、放射線検出部11の2辺に沿ってのみリブ部材13を配置するようにしたが、放射線検出部11の3辺に沿ってのみリブ部材13を配置するようにしてもよい。図5に放射線検出部11の3辺に沿ってのみリブ部材13を配置するようにした放射線画像検出器の斜視図を、図6に上面図を示す。   In the radiation image detector of the above embodiment, the rib member 13 is arranged only along two sides of the radiation detection unit 11, but the rib member 13 is arranged only along three sides of the radiation detection unit 11. You may do it. FIG. 5 is a perspective view of a radiation image detector in which the rib members 13 are arranged only along three sides of the radiation detection unit 11, and FIG. 6 is a top view thereof.

図5に示す放射線画像検出器においては、放射線検出部11の4辺のうち3辺に沿ってのみリブ部材13が設けられている一方、残りの1辺についてはガラス基板10の端部に至るまで放射線検出部11が設けられている。このため、図5に示す放射線画像検出器においても、形成が困難である額縁状のスペーサーを用いることなく、放射線検出部11が端部まで広がった放射線画像検出器を有効に防湿することができる。   In the radiation image detector shown in FIG. 5, the rib member 13 is provided only along three sides of the four sides of the radiation detection unit 11, while the remaining one side reaches the end of the glass substrate 10. The radiation detection unit 11 is provided. For this reason, also in the radiographic image detector shown in FIG. 5, the radiographic image detector in which the radiation detection unit 11 extends to the end can be effectively moisture-proof without using a frame-shaped spacer that is difficult to form. .

この際、リブ部材13については、コの字型形状を有することになるが、これについては一つの部材を切削して一体として作成するようにしてもよいが、1辺ずつを適切な形状に切削して作成した後、上記で挙げた接着剤を用いて互いを接着させて作成するようにしてもよい。前者も額縁状のものよりは簡便に作成しうるが、後者の方が作成がより簡便であり好ましい。   At this time, the rib member 13 has a U-shaped shape, but for this, one member may be cut and formed as a single piece, but each side is made into an appropriate shape. After creating by cutting, you may make it adhere | attach each other using the adhesive mentioned above. The former can be created more easily than the frame-shaped one, but the latter is preferred because it is easier to produce.

以下に放射線検出部11の一例について説明する。図7は、放射線検出部11の一部の斜視図、図8は、図7に示す放射線検出部11の8−8線断面図である。   An example of the radiation detection unit 11 will be described below. FIG. 7 is a perspective view of a part of the radiation detection unit 11, and FIG. 8 is a cross-sectional view taken along line 8-8 of the radiation detection unit 11 shown in FIG.

放射線検出部11は、図7に示すように、放射線画像を担持した放射線を透過する第1の電極層1、第1の電極層1を透過した放射線の照射を受けることにより電荷を発生する記録用光導電層2、記録用光導電層2において発生した電荷のうち一方の極性の電荷に対しては絶縁体として作用し、且つ他方の極性の電荷に対しては導電体として作用する電荷輸送層3、読取光の照射を受けることにより電荷を発生する読取用光導電層4、および第2の電極層5をこの順に積層してなるものである。記録用光導電層2と電荷輸送層3との界面近傍には、記録用光導電層2内で発生した電荷を蓄積する蓄電部6が形成される。なお、第1の電極層1側が上面、第2の電極層5側が下面としてガラス基板10上に形成される。   As shown in FIG. 7, the radiation detection unit 11 is a first electrode layer 1 that transmits radiation carrying a radiation image, and a recording that generates charges when irradiated with radiation that has passed through the first electrode layer 1. Of the charge generated in the photoconductive layer 2 for recording and the photoconductive layer 2 for recording acts as an insulator for the charge of one polarity and acts as a conductor for the charge of the other polarity The layer 3, the reading photoconductive layer 4 that generates charges when irradiated with reading light, and the second electrode layer 5 are laminated in this order. In the vicinity of the interface between the recording photoconductive layer 2 and the charge transport layer 3, a power storage unit 6 for accumulating charges generated in the recording photoconductive layer 2 is formed. The first electrode layer 1 side is formed on the glass substrate 10 as the upper surface, and the second electrode layer 5 side is formed as the lower surface.

第1の電極層1としては、放射線を透過するものであればよく、たとえば、ネサ皮膜(SnO2)、ITO(Indium Tin Oxide)、アモルファス状光透過性酸化膜であるIDIXO(Idemitsu Indium X-metal Oxide ;出光興産(株))などを50〜200nm厚にして用いることができ、また、100nm厚のAlやAuなども用いることもできる。 The first electrode layer 1 may be any material that can transmit radiation. For example, Nesa film (SnO 2 ), ITO (Indium Tin Oxide), IDIXO (Idemitsu Indium X- metal Oxide (Idemitsu Kosan Co., Ltd.) can be used with a thickness of 50 to 200 nm, and Al or Au with a thickness of 100 nm can also be used.

第2の電極層5は、読取光を透過する複数の透明線状電極7と読取光を遮光する複数の遮光線状電極8とを有するものである。そして、透明線状電極7と遮光線状電極8とは、図1に示すように、所定の間隔を空けて交互に平行に配列されている。   The second electrode layer 5 includes a plurality of transparent linear electrodes 7 that transmit reading light and a plurality of light-shielding linear electrodes 8 that shield reading light. Further, as shown in FIG. 1, the transparent linear electrodes 7 and the light shielding linear electrodes 8 are alternately arranged in parallel at a predetermined interval.

透明線状電極7は読取光を透過するとともに、導電性を有する材料から形成されている。上記のような材料であれば如何なるものでもよいが、たとえば、第1の電極層1と同様に、ITOやIDIXOを用いることができる。また、Al、Crなどの金属を用いて読取光を透過する程度の厚さ(たとえば、10nm程度)で形成するようにしてもよい。   The transparent linear electrode 7 transmits the reading light and is made of a conductive material. Any material may be used as long as it is as described above. For example, ITO or IDIXO can be used in the same manner as the first electrode layer 1. Alternatively, a metal such as Al or Cr may be used to form a thickness that allows the reading light to pass (for example, about 10 nm).

遮光線状電極8は読取光を遮光し、導電性を有する材料から形成されている。上記のような材料であれば如何なるものでもよいが、たとえば、Al、Crなどの金属を用いることができる。   The light shielding linear electrode 8 shields the reading light and is made of a conductive material. Any material may be used as long as it is as described above. For example, metals such as Al and Cr can be used.

なお、上記透明線状電極7と遮光線状電極8とを延長して引き出したものが図1から図4に示す信号線12である。   A signal line 12 shown in FIGS. 1 to 4 is obtained by extending the transparent linear electrode 7 and the light-shielding linear electrode 8 to extend.

記録用光導電層2は、放射線の照射を受けることにより電荷を発生するものであればよく、放射線に対して比較的量子効率が高く、また暗抵抗が高いなどの点で優れているa−Seを主成分とするものを使用する。厚さは500μm程度が適切である。   The recording photoconductive layer 2 only needs to generate a charge when irradiated with radiation, and is excellent in that the quantum efficiency is relatively high with respect to radiation and the dark resistance is high. A material mainly composed of Se is used. A thickness of about 500 μm is appropriate.

電荷輸送層3としては、たとえば、放射線画像の記録の際に第1の電極層1に帯電する電荷の移動度と、その逆極性となる電荷の移動度の差が大きい程良く(例えば10以上、望ましくは10以上)ポリN−ビニルカルバゾール(PVK)、N,N'−ジフェニル−N,N'−ビス(3−メチルフェニル)−〔1,1'−ビフェニル〕−4,4'−ジアミン(TPD)やディスコティック液晶等の有機系化合物、或いはTPDのポリマー(ポリカーボネート、ポリスチレン、PVK)分散物,Clを10〜200ppmドープしたa−Se、AsSe等の半導体物質が適当である。 As the charge transport layer 3, for example, the larger the difference between the mobility of charges charged in the first electrode layer 1 at the time of recording a radiographic image and the mobility of charges having the opposite polarity, the better (for example, 10 2). or more, preferably 10 3 or higher) poly N- vinylcarbazole (PVK), N, N'-diphenyl -N, N'-bis (3-methylphenyl) - [1,1'-biphenyl] -4,4 ' -Organic compounds such as diamine (TPD) and discotic liquid crystal, or TPD polymer (polycarbonate, polystyrene, PVK) dispersion, a semiconductor material such as a-Se or As 2 Se 3 doped with 10 to 200 ppm of Cl is suitable. It is.

読取用光導電層4としては、読取光および消去光の照射を受けることにより導電性を呈するものであればよく、例えば、a−Se、Se−Te、Se−As−Te、無金属フタロシアニン、金属フタロシアニン、MgPc(Magnesium phtalocyanine),VoPc(phaseII of Vanadyl phthalocyanine)、CuPc(Cupper phtalocyanine)などのうち少なくとも1つを主成分とする光導電性物質が好適である。厚さは0.1〜1μm程度が適切である。   The reading photoconductive layer 4 may be any material that exhibits conductivity when irradiated with reading light and erasing light. For example, a-Se, Se-Te, Se-As-Te, metal-free phthalocyanine, A photoconductive substance mainly containing at least one of metal phthalocyanine, MgPc (Magnesium phtalocyanine), VoPc (phase II of Vanadyl phthalocyanine), CuPc (Cupper phtalocyanine) and the like is preferable. A thickness of about 0.1 to 1 μm is appropriate.

なお、本実施形態の放射線画像検出器を作製方法としては、たとえば、ガラス基板10上に放射線検出部11を真空製膜法により形成し、その後、リブ部材13を貼り付け、リブ部材13および放射線検出部11の上面に防湿性フィルム14を貼り付けるようにしてよいが、放射線検出部11を形成する前に、リブ部材13を貼り付けるようにしてもよい。具体的には、信号線12を形成したガラス基板上に予めリブ部材を熱硬化性エポキシ接着剤で接着し、その後、放射線検出部11を真空製膜法により形成し、最後にリブ部材13に沿って防湿性フィルムを接着剤により貼り付けるようにしてもよい。   In addition, as a manufacturing method of the radiographic image detector of this embodiment, the radiation detection part 11 is formed on the glass substrate 10 with a vacuum film forming method, for example, Then, the rib member 13 is affixed, the rib member 13 and radiation Although the moisture-proof film 14 may be attached to the upper surface of the detection unit 11, the rib member 13 may be attached before the radiation detection unit 11 is formed. Specifically, a rib member is previously bonded with a thermosetting epoxy adhesive on the glass substrate on which the signal line 12 is formed, and then the radiation detection unit 11 is formed by a vacuum film forming method. You may make it stick a moisture-proof film along with an adhesive along.

なお、放射線検出部11としては、上記のような構成に限らず、放射線を蛍光体層により可視光に変換し、その可視光を光電変換する、いわゆる間接型放射線検出部としてもよい。   The radiation detection unit 11 is not limited to the above-described configuration, and may be a so-called indirect radiation detection unit that converts radiation into visible light using a phosphor layer and photoelectrically converts the visible light.

本発明の放射線画像検出器の一実施形態を示す斜視図The perspective view which shows one Embodiment of the radiographic image detector of this invention 図1に示す放射線画像検出器の上面図Top view of the radiation image detector shown in FIG. 図2に示す放射線画像検出器の3−3線断面図3-3 sectional view of the radiation image detector shown in FIG. 図2に示す放射線画像検出器の4−4線断面図4-4 sectional view of the radiation image detector shown in FIG. 本発明の放射線画像検出器のその他の実施形態を示す斜視図The perspective view which shows other embodiment of the radiographic image detector of this invention. 図5に示す放射線画像検出器の上面図Top view of the radiation image detector shown in FIG. 放射線検出部の概略構成を示す斜視図The perspective view which shows schematic structure of a radiation detection part 図7に示す放射線検出部の8−8線断面図Sectional view taken along line 8-8 of the radiation detector shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

10 基板
11 放射線検出部
12 信号線
13 リブ部材
14 防湿性フィルム
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Board | substrate 11 Radiation detection part 12 Signal line 13 Rib member 14 Moisture-proof film

Claims (3)

基板と、該基板上に載置された、対向する2辺から信号線が引き出された方形の放射線検出部とを備えた放射線画像検出器において、
前記放射線検出部の外周の3辺以下に沿ってのみ、絶縁性を有するリブ部材が前記基板および前記信号線上に設置されるとともに、
前記リブ部材の上面に沿って防湿性フィルムが貼り付けられていることを特徴とする放射線画像検出器。
In a radiation image detector comprising a substrate and a rectangular radiation detection unit placed on the substrate and having a signal line drawn out from two opposite sides,
Only along the three or less sides of the outer periphery of the radiation detection unit, an insulating rib member is installed on the substrate and the signal line, and
A radiation image detector, wherein a moisture-proof film is adhered along the upper surface of the rib member.
前記リブ部材が、前記放射線検出部の外周の2辺に沿ってのみ前記基板および前記信号線上に設置されていることを特徴とする請求項1記載の放射線画像検出器。   The radiation image detector according to claim 1, wherein the rib member is disposed on the substrate and the signal line only along two outer sides of the radiation detection unit. 前記リブ部材が、前記放射線画像検出器の厚さと略等しい厚さを有するものであることを特徴とする請求項1または2記載の放射線画像検出器。   The radiographic image detector according to claim 1, wherein the rib member has a thickness substantially equal to a thickness of the radiographic image detector.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101185434B1 (en) 2011-07-29 2012-10-02 한국광기술원 Vibration measuring sensor and appratus using the optical fiber
US9054012B2 (en) 2012-07-04 2015-06-09 Canon Kabushiki Kaisha Radiation detection apparatus and method of manufacturing the same

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0372299A (en) * 1989-08-12 1991-03-27 Konica Corp Radiation image conversion panel
JP2001083299A (en) * 1999-09-14 2001-03-30 Konica Corp Sealed phosphor plate and manufacture thereof
JP2005214800A (en) * 2004-01-29 2005-08-11 Hamamatsu Photonics Kk Radiation image sensor
JP2006058171A (en) * 2004-08-20 2006-03-02 Fuji Photo Film Co Ltd Radiographic image conversion panel for mammography, and manufacturing method therefor
JP2006078472A (en) * 2004-08-10 2006-03-23 Canon Inc Radiation detector, scintillator panel, and manufacturing methods therefor
WO2006046434A1 (en) * 2004-10-28 2006-05-04 Sharp Kabushiki Kaisha 2-dimensional image detection device and manufacturing method thereof

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0372299A (en) * 1989-08-12 1991-03-27 Konica Corp Radiation image conversion panel
JP2001083299A (en) * 1999-09-14 2001-03-30 Konica Corp Sealed phosphor plate and manufacture thereof
JP2005214800A (en) * 2004-01-29 2005-08-11 Hamamatsu Photonics Kk Radiation image sensor
JP2006078472A (en) * 2004-08-10 2006-03-23 Canon Inc Radiation detector, scintillator panel, and manufacturing methods therefor
JP2006058171A (en) * 2004-08-20 2006-03-02 Fuji Photo Film Co Ltd Radiographic image conversion panel for mammography, and manufacturing method therefor
WO2006046434A1 (en) * 2004-10-28 2006-05-04 Sharp Kabushiki Kaisha 2-dimensional image detection device and manufacturing method thereof

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101185434B1 (en) 2011-07-29 2012-10-02 한국광기술원 Vibration measuring sensor and appratus using the optical fiber
US9054012B2 (en) 2012-07-04 2015-06-09 Canon Kabushiki Kaisha Radiation detection apparatus and method of manufacturing the same

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