JP2007531989A - 半導体製造装置のサービスアクティビティ管理システム及び方法 - Google Patents

Abstract

【課題】半導体製造装置のサービスアクティビティ管理システム及び方法を提供することである。
【解決手段】アクティビティ管理システムとこのシステムを利用する方法が、半導体製造のサービスプロセスについて記載される。アクティビティ管理システムは、少なくとも１つのサービス部品及びサービスオペレータに関連するサービスアクティビティデータを受け取り、及びこのサービスアクティビティデータを少なくとも１つのサービス会計に関連付ける。さらに、アクティビティ管理システムは、データ収集システムに接続され、及びサービスアクティビティデータを格納するように構成されるデータ記憶システムを含む。【選択図】

Description

本発明は、アクティビティ管理システム及び使用方法、より詳細には、半導体製造システムに関係するサービスアクティビティを管理するように構成されたアクティビティ管理システムに関する。

半導体製造施設の維持は、機器メーカーと製造施設との間の共同作業を含む、時間を要し、費用もかかる手順である。半導体機器メーカーと半導体製造施設側との間の非効率な相互作業によって施設の休止時間が生じ、全体の作業コストを増大させ、過大なエンジニアリング時間とハードウェアの交換を要することになる。

電子産業においては、機器メーカーは、製造システムのメンテナンスから、製造システムのトラブルシューティング、ハードウェアの交換及び承認、部品交換及び承認等に及ぶアクティビティに対処するように構成された多数の個別の独立したサービスモデルを利用している。より一般的には、特定の構成部品の修理及び交換などのサービスに関係するサービスモデルは、日程計画及び評価などの総合管理業務に関連するサービスモデルと統合されていない。その結果、これらのサービスモデルは、相互にデータの通信ができず、大幅な重複により、冗長となり、機器サービスを容易にするように設計された構造内で仮想限界を生成する。本発明の発明者らは、独立のサービスモデルをこのように使用することがサービスコストを増大させ、作業効率を低下させることに気付いた。

したがって、本発明の一態様は、上述の問題点のいくつか又は全てを低減又は除去することである。

本発明の別の目的は、半導体製造施設のメンテナンスにおけるサービスコストを低減し作業効率を最大限にすることである。

本発明のさらに別の目的は、半導体製造施設の管理アクティビティを統合するシステムを提供することである。

本発明のこれら又は他の目的は、半導体製造に関係するサービスを管理するためのアクティビティ管理システムによって実現される。システムは、サービス部品とサービスオペレータとサービス会計のうちの少なくとも１つに関係するサービスアクティビティデータを受取るように構成されたデータ収集システムを含む。データ記憶システムは、データ収集システムに接続され、サービスアクティビティデータを格納するように構成される。サービスアクションシステムはデータ収集システム及びデータ記憶システムに接続されている。サービスアクションシステムはサービスアクションデータを提供し、このサービスアクションデータを用いて、サービス部品の修理、サービス部品の始動、サービス部品の予防メンテナンス、サービス部品のクリーニング、サービス部品の改訂、サービス部品の改良、サービス部品の取外し、サービス教育、サービス共同作業を含む、複数のサービス機能のうちの少なくとも２つを実行するように構成される。

本発明の別の態様によれば、アクティビティ管理システムを利用して半導体製造に関係するサービスアクションの実施を支援する方法である。この方法は、サービスオペレータと相互に対話してサービスオペレータからサービスアクティビティデータを収集するように構成されたデータ収集システムを設けることを含み、サービスアクティビティデータは、サービス部品とサービスオペレータとサービス会計のうちの少なくとも１つと関連付けられている。データ収集システムと接続されたデータ記憶システムが設けられ、サービスアクティビティデータを格納するように構成される。データ収集システムとデータ記憶システムとに接続されたデータアクションシステムが設けられ、サービスオペレータと相互に対話して、サービス記憶システムに格納されたサービスアクティビティデータを用いてサービスオペレータにサービスアクションデータを提供するように構成される。サービスアクションデータを利用して、サービス部品を修理し、サービス部品を始動し、サービス部品の予防メンテナンスを実行し、サービス部品をクリーニングし、サービス部品を改訂し、サービス部品を改良し、サービス部品を取り外し、サービス教育を行い、サービス共同作業を実行することを含む少なくとも１つを含むサービス機能を実行する。

本発明のさらに別の態様は、半導体製造に関係するサービスアクティビティを管理するためのアクティビティ管理システムである。システムは、半導体製造サービスに関係するサービスアクティビティデータを収集するように構成されたデータ収集システムと、データ収集システムに接続されサービスアクティビティデータを格納するように構成されたデータ記憶システムと、データ収集システムとデータ記憶システムに接続されたサービスアクションシステムとを含む。サービスアクションシステムはサービス部品のサービス機能と非サービス部品のサービス機能とを実行し、サービスオペレータのサービスアクションを支援するように構成される。

本発明のさらに別の態様は、コンピュータシステムを利用して半導体製造に関係するサービスアクティビティを管理する方法である。この方法では、コンピュータシステムを利用して半導体製造サービスに関係するサービスアクティビティデータを収集すること、コンピュータシステムを利用してサービスアクティビティデータを格納すること、コンピュータシステムを利用してサービス部品のサービス機能と非サービス部品のサービス機能とを実行すること、を含んでいる。サービスアクションは、サービス部品又は非サービス部品のサービス機能の結果に基づいて実施される。

本発明の別の態様においては、プロセッサ上で実行する（プロセッサによって実行されるとき）プログラム命令を含むコンピュータ読取り可能な媒体によって、コンピュータシステムが本発明の方法における各ステップを実行可能になる。

本発明のさらに別の態様は、半導体製造に関係するサービスアクティビティを管理するためのアクティビティ管理システムを含む。システムは、半導体製造サービスに関係するサービスアクティビティデータを収集する手段と、収集手段に接続された、サービスアクティビティデータを格納する手段と、サービス部品のサービス機能と非サービス部品のサービス機能を実行して、サービスアクションを実行する際にサービスオペレータを支援するための、収集手段と記憶手段とに接続された手段と、を含む。

次に各図面を参照すると、同様の参照符号は複数の図を通して同一又は対応する部分を示している。図１は、半導体製造に関係するサービスアクティビティを管理するためのアクティビティ管理システム１を示す。アクティビティ管理システム１は、データ収集システム１０と、データ記憶システム２０と、サービスアクションシステム３０とオペレータインタフェース４０とを含む。データ収集システム１０は、サービスの管理及び実施に関係するサービスアクティビティデータを受取るように構成され、サービスアクティビティデータはデータ記憶システム２０に格納される。サービスアクションシステム３０はサービスアクティビティデータを利用してサービス機能を実行する。サービス機能はアクティビティ管理システム１によって実行されるソフトウェア機能であって、サービスアクティビティを実行する際にサービスオペレータを支援する。サービスアクティビティは、機器の修理、メンテナンスの日程計画に関する決定、サービスオペレータの評価又は半導体製造におけるサービスに関係する他のアクションであってもよい。一実施形態においては、サービスアクションシステム３０はサービス機能を実行し、特定のサービスアクションを実行する際に用いられるサービスアクションデータを提供する。例えば、サービスアクションシステム３０はデータ記憶システム２０内のサービスアクションデータを解析し、ステップ・バイ・ステップ命令の形態のサービスアクションデータを提供して半導体処理装置に対してメンテナンス手順を実行することができる。アクティビティ管理システム１によって実行される特定のサービス機能が以下に詳細に説明される。

データ収集システム１０によって収集されるサービスアクティビティデータは、サービスオペレータからの手動による入力又は製造機器センサからなどの自動入力によって収集することもできる。好ましくは、サービスアクティビティデータは、サービスオペレータ、サービス会計及びサービス部品のうちの少なくとも１つと関連付けてデータ記憶システム２０に格納される。サービスオペレータは、例えば、サービス監督者（又は管理者）、サービス設計者、サービス分析者、（フィールドエンジニアなど）サービス技術者又は、半導体製造に関係するサービスアクティビティに係わる他の人を含むことができる。サービスオペレータに対応するサービスアクティビティデータは、例えば、サービスオペレータの名前、サービスオペレータの肩書き、サービスオペレータが本来の職務を実行する場所（例えば、製造施設、顧客サイト等）、監督者の名前、電話番号、住所、電子メールアドレス、参照ファイル、写真ファイル等を含むことができる。

サービス会計は、例えば、サービス契約、サービス保証及び製造システム（ＭＳ）部門のうちの少なくとも１つを含むことができる。サービス会計は、半導体製造施設と機器メーカーとの間で交渉される保証などのサービスを実行する何らかの責務であってもよい。サービス会計に対応するサービスアクティビティデータは、例えば、契約番号、サービス契約の表題（例えば、１年間２４×７部品及び作業保証書）、適用範囲時間（２４×７）、項目適用範囲の区別（例えば、非消耗品、修理作業、立上げ作業）、非適用範囲項目の区別（例えば、消耗品、顧客損害）、表示価格（例えば、表示価格は、アクティビティ管理システム内に存在するサービスアクティビティデータに基づいてもよい）、罰則（例えば、月９３％以下の稼動率で１ヶ月追加）、製造施設に対するサービスオペレータの専任、保証又は契約開始日、保証又は契約終了日、保証又は契約請求日、保証又は契約支払い日などを含むことができる。サービス契約はサービス部品ならびに製造施設（すなわち顧客）に対して定めることができる。

サービス部品には、例えば、製造システム（ＭＳ）プラットフォーム、製造システム（ＭＳ）ツール又は製造システム（ＭＳ）部品を含むことができる。例えば、ＭＳプラットフォームは、半導体製造工程を実行するための、東京エレクトロン株式会社（〒１０７−８４８１ 東京都港区赤坂５丁目３−６、ＴＢＳ放送センター）から市販されている、Ｕｎｉｔｙ ＩＩ、Ｕｎｉｔｙ ＩＩｅ、Ｕｎｉｔｙ Ｍ もしくはＵｎｉｔｙ ＭＥなどのクラスタ・ツール配置又は、Ｔｅｌｉｕｓプラットフォームなどのシリアルツール配置を含むことができる。さらに、例えば、ＭＳプラットフォームは、東京エレクトロン株式会社から市販されているＡＣＴ８、ＡＣＴ１２又はＬｉｔｈｉｕｓ Ｔｒａｃｋ Ｓｙｓｔｅｍを含むこともできる。さらに、例えば、ＭＳプラットフォームは、東京エレクトロン株式会社から市販されている、Ａｌｐｈａ Ｓｅｒｉｅｓ又はＴＥＬＦｏｒｍｕｌａバッチ処理温度処理システムを含むことができる。さらに、例えば、ＭＳプラットフォームは、東京エレクトロン株式会社から市販されているＴｒｉａｓ処理システムを含むことができる。ＭＳツールは、例えば、ＤＲＭ、Ａ−ＤＲＭ、ＤＲＭＩＩ、ＳＣＣＭ−ＤＴ、ＳＣＣＭ−Ｏｘ又はＳＣＣＭ−Ｐｏｌｙエッチングシステム又はＳＰＡ処理システムを含むことができる。より一般的には、ＭＳツールは、例えば、エッチングシステムと、熱蒸着システム、化学蒸着（ＣＶＤ）システム、原子層蒸着（ＡＬＤ）システム、物理蒸着（ＰＶＤ）システム又はイオン化ＰＶＤ（Ｉ−ＰＶＤ）システムなどの蒸着システムと、フォトレジストスピンコーティングシステムと、スピンオン誘電システムと、液浸システム又は超臨界流体クリーニングシステムなどのクリーニングシステムと、バッチ処理酸化、拡散、低圧ＣＶＤ炉又は熱硬化システムなどの熱処理システムと、急速熱処理（ＲＴＰ）システムと、リソグラフィーシステムと、イオン注入システムと、平坦化システムと、電気めっきシステムと、デバイス検査システムと、計測システムなどを含むことができる。ＭＳ部品には、例えば、ＭＳツール内に非消耗部品又は消耗部品を含むことができる。

サービス部品に対応するサービスアクティビティデータは、例えば、ＭＳプラットフォームの種類、ＭＳプラットフォームの型番号、ＭＳプラットフォームのシリアル番号、ＭＳツールの種類、特定のＭＳツールに関連した手順、ＭＳツールの型番号、ＭＳツールのシリアル番号、特定のＭＳツールと関連したＭＳ部品、ＭＳ部品の種類、ＭＳ部品の型番号、ＭＳ部品のシリアル番号、スペア部品の存在の確認、消耗部品の確認、ＭＳ部品のコストを含むことができる。

サービスアクティビティデータはまた、サービス日、サービス時間、サービスの種類、サービスの明細、サービスの場所、サービスの理由などのより一般的な情報も含んでもよい。さらに、例えば、サービスアクティビティデータは、承認状態データ、拒絶状態データ、輸送状態データ、受取状態データ、要求状態データなどを含むことができる。

上述のとおり、図１においては、アクティビティ管理システム１は、データ収集システム１０とデータアクションシステム３０とに接続されたオペレータインタフェース４０をさらに含むことができる。サービスアクティビティデータは、追跡でき、オペレータインタフェース４０を用いてデータ収集システム１０を介してデータ記憶システム２０に格納することができる。さらに、サービスアクションデータは、オペレータインタフェース４０を通してサービスオペレータに提供できる。インタフェースは、テキスト式又は図式であってもよく、また多言語であってもよい。例えば、オペレータインタフェースは、グラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）を含むことができる。ＧＵＩによって、アクティビティ管理システム１は、所望のサービスアクティビティデータ取得、監視、モデリング及びサービス機能アクティビティを実行できる。図２Ａは、ユーザ識別とパスワードフィールドを備えたログオン画面を有する例示的なＧＵＩを示している。サービスオペレータがアクティビティ管理システム１に入力すると、図２Ｂに示すように、サービス機能を実行する１つ以上のオプションを示す別のＧＵＩ画面が提示される。ＧＵＩ画面が左から右への及び／又は右から左への選択タブ構造、下から上への構造、上から下への構造又は組み合わせ構造を備えることが可能であることは当業者には理解されるであろう。ＧＵＩ画面が、選択タブ構造及び／又はナビゲーションツリー構造を含むことができることが当業者には理解されよう。さらに、インタフェースの一部として、キーボード、マウス、タッチ画面又はその任意の組み合わせを設けることもできる。

アクティビティ管理システム１は、インターネットアクセスが利用可能な場所で使用するためのウェブベースのソフトウェアアプリケーションを含むことができ、又はインターネットアクセスが利用できない場所で使用するダウンロード可能な顧客ソフトウェアアプリケーションを含んでもよい。例えば、後者の場合、半導体製造施設内での使用に適用できる。

アクティビティ管理システム１はアクセス制御を実現できる。例えば、アクティビティ管理システム１はサービスプロバイダだけにアクセスできる。さらに、例えば、読取り及び書込みアクセスルールをユーザ毎及びユーザの役割毎に設定できる。さらに、例えば、アクティビティ管理システムはデータ暗号化を利用できる。さらに、アクティビティ管理システムは、特定の文書を承認された者のみへの開示に制限することができる。さらに、アクティビティ管理システム１はユーザがアクセスする種々の文書を追跡できる。アクティビティ管理システム１は、例えば、説明書、文書、手順、検査、キーポイントインジケータ（ＫＰＩ）等の訂正を追跡することによって改訂管理を実現できる。

図２Ｃに示されるとおり、アクティビティ管理システムによって与えられる１つ以上のサービス機能を強調表示するための例示的なグラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）が提供される。ＧＵＩはサービス機能を実行するためのいくつかのオプションを提供する。例えば、いくつかのサービス機能は、サービス部品又は機械に特に関連している。このようなサービス部品のサービス機能は、サービス部品の始動を実行すること、すなわち「Ｓｔａｒｔ ＵＰ Ｍａｃｈｉｎｅ」キーと、サービス部品クリーニングを実行すること、すなわち「Ｃｌｅａｎ Ｍａｃｈｉｎｅ」キーと、サービス部品の予防メンテナンスを実行すること、すなわち「ＰＭ Ｍａｃｈｉｎｅ」キーと、サービス部品の訂正を実行すること、すなわち「Ｒｅｖｉｃｅ Ｍａｃｈｉｎｅ（ＦＣＮ）」キーと、サービス部品を改良すること、すなわち「Ｅｎｈａｎｃｅ Ｍａｃｈｉｎｅ」キーと、サービス部品を修理すること、すなわち「Ｒｅｐａｉｒｅ Ｍａｃｈｉｎｅ」キーと、サービス部品を取り外すこと、すなわち「Ｄｅ−Ｉｎｓｔａｌ Ｍａｃｈｉｎｅ」キーと、サービス部品教育を実行すること、すなわち「Ｌｅａｒｎ Ｍａｃｈｉｎｅ」キーとを含む。

図２Ｃに見られるとおり、サービス機能はサービス部品に特に関連付けされていなくてもよい。このような非サービス部品のサービス機能は、プロジェクトアクションプランを実行すること、すなわち「Ｐｒｏｊｅｃｔ Ａｃｔｉｏｎ Ｐｌａｎｓ」キーと、顧客アクションプランを実行すること、すなわち「Ｃｕｓｔｏｍｅｒ Ａｃｔｉｏｎ Ｐｌａｎｓ」キーとを含む。さらに、図２Ｃに示されるように、新しい検査又は修正アクションを統合し、現在の検査又は修正アクションを変更し、「Ｍａｃｈｉｎｅ Ｏｐｅｒａｔｉｏｎｓ，Ｔｅｓｔｓ，＆Ｃｏｒｒｅｃｔｉｖｅ Ａｃｔｉｏｎｓ」キーを用いるために、ＧＵＩは、サービスオペレータにアクセスを許可する非サービス部品のサービス機能を提供する。さらに、図２Ｃで示されるとおり、ＧＵＩはサービスオペレータにアクセスを許可し、これによりサービスオペレータは、「Ｍａｃｈｉｎｅ−Ｒｅｌａｔｅｄ Ｆｉｌｅｓ（文書作成））」キーを用いて、ＭＳプラットフォーム、ＭＳツール、ＭＳ部品又はＭＳサービス契約に関連する新しい文書を入力できる。

さらに、図２Ｃに示されるとおり、ＧＵＩはサービスオペレータにアクセスを許可する非サービス部品のサービス機能を提供し、これによりサービスオペレータは、例えば「Ｅｓｃａｌａｔｉｏｎ Ｈｏｔｂｏｒｄｓ」キーを用いる拡大ホットボードと、例えば「ＫＰＩ Ｄａｓｈｂｏａｒｄ」キーを用いたキー機能インジケータ（key performance indicator：ＫＰＩ）ダッシュボードと、例えば「Ｒｅｐｏｒｔｓ」キーを用いた報告と、例えば「Ｐｒｏｃｅｄｕｒｅｓ」キーを用いた手順と、例えば「Ｊｏｂ Ｄｅｓｃｒｉｐｔｉｏｎｓ」キーを用いたジョブ明細と、例えば「Ｈｅｌｐ Ｄｅｓｋ Ａｃｔｉｏｎ Ｐｌａｎｓ」キーを用いたヘルプデスクアクションプランと、例えば「Ｅｍｐｌｏｙｅｅ Ａｃｔｉｏｎ Ｐｌａｎｓ」キーを用いた従業員アクションプランと、例えば「Ｆｉｌｅｓ（文書作成）」キーを用いたファイル作成（文書作成）と、例えば「ｃｏｌｌａｂｏｒａｔｉｏｎ」キーを用いた共同作業と、例えば「Ｓｅｒｖｉｃｅ Ａｇｒｅｅｍｅｎｔ（保証＆契約）」キーを用いたＭＳサービス契約と、例えば「Ｍａｃｈｉｎｅｓ」キーを用いたＭＳプラットフォーム及びＭＳツールと、例えば「Ｐａｒｔｓ ｔｉｐｅｓ」キーを用いたＭＳ部品とを再検討し、入力し又は変更することができる。

一実施形態によれば、アクティビティ管理システム１は上述のサービス機能を実行して、サービスアクティビティを実行する際にサービス人員を支援するサービスアクションデータを提供する。例えば、サービスアクションデータは、サービス部品を修理するための対話式ケーススタディを含むことができる。サービスアクションシステム３０は、現在のサービスアクティビティデータが過去のサービスアクティビティデータと実質的に一致する１つ以上のケースを識別し、この相関関係を利用してサービス部品の修理を実行する際にサービスオペレータを支援できる。必要に応じて、サービスアクションシステム３０は、一致ケースの数を絞り込むために実行する１つ以上の検査を特定できる。さらに、ＭＳプラットフォームとＭＳツールに特定の検査手順がサービスオペレータによりアクセス可能にすることができる。検査手順は、データ記憶システム２０に格納できる。検査が実施され、結果がデータ収集システム１０によって取り出されると、一致ケースの数が減る。例えば、アクティビティ管理システム１は、ＭＳツールにおける交換のためにＭＳ部品を識別して、問題点の訂正を支援することができる。ＭＳ部品が識別されると、ＭＳプラットフォーム及びＭＳツールに特定の手順がサービスオペレータによりアクセス可能にされる。交換手順はデータ記憶システム２０に格納できる。

図３から図１８は、種々のサービス機能を実行する際に、システムユーザとインタフェースするためにアクティビティ管理システムにより提供されるグラフィカルユーザインタフェース画面の例を示す。

図３Ａは、本発明の一実施形態によるアクティビティ管理システムを用いたサービス部品の修理を実行するための例示的なオペレータインタフェースを示す。この例では、サービスオペレータは、ＭＳプラットフォームにおいてＭＳツールから故障情報を受取り、アクティビティ管理システムを利用することを選択し、その故障に対する訂正アクションを決定する。故障は、例えば、無線周波数（ＲＦ）発生器の出力電気インピーダンスをエッチングシステムなどのプラズマ処理システムの入力電気インピーダンスに一致させるのに用いられるインピーダンス整合ネットワークにおける高反射電力を含むことができる。図３Ａで見られるとおり、サービスオペレータはアクティビティ管理システムを実行して、「Ｒｅｐａｉｒ Ｍａｃｈｉｎｅ」キーを選択することによってサービス部品修理機能を起動させることができる。

起動すると、アクティビティ管理システム１のオペレータインタフェース４０によって、サービスオペレータは、ＭＳプラットフォーム（例えば機械のシリアル番号による）と、ＭＳツール（例えばプロセスチャンバシリアル番号による）と、サービス会計（又は購入会計）に関連する処理の種類とを含むサービスアクティビティデータを識別できる。図３Ｂ参照のこと。その後、サービスアクションシステム３０は識別されたＭＳプラットフォームとＭＳツールに対する修理履歴リストを提供できる。図３Ｃ参照のこと。例えば、図３Ｃに示されているとおり、サービスアクションシステム３０は、データ記憶システム２０からサービスアクティビティデータを取得し、この履歴データをサービスオペレータに提示する。サービスアクティビティデータは、サービス日とサービスの種類とサービスの内容とサービスの理由とを含むことができる。例えば、サービスの種類は、サービスが検査を含むかどうか又は訂正アクションを含むかどうかを示している。

さらに、データ収集システム１０によって、サービスオペレータは、故障を識別又は不合格だった検査を識別することができる。図３Ｄ参照のこと。検査不合格（又は故障）が既知の故障である場合、これはオペレータインタフェースの左手側に表示される。検査不合格が既知の故障ではない場合、インタフェースによって、サービスオペレータは検査不合格を入力できる。

次に図３Ｅを参照すると、サービスオペレータはＭＳプラットフォーム及びＭＳツールから報告された検査不合格の結果を入力する。このサービスアクティビティデータはデータ記憶システム２０内に格納される。図３Ｅでも示されるように、データアクションシステム３０は、例えば、不合格下限値、警告下限値、目標結果、警告上限値、不合格上限値、目標と実際の結果とを比較するための数学演算器、測定単位、及び結果が個人的評価に基づくか否かを含むいくつかの検査プランデータを提供する。

次に図３Ｆを参照すると、データアクションシステム３０は、現在の検査不合格又は故障に一致する他のサービスアクティビティ（又はケース）についてデータ記憶システム２０を探索する。例えば、データアクションシステム３０は、現在のサービスアクティビティ（又はケース）に対して実行される検査及び修正アクションを示すことができる。さらに、例えばデータアクションシステム３０は、現在のサービスアクティビティ（又はケース）に対して予定される検査及び修正アクションを示すことができる。さらに、例えば、データアクションシステム３０は、現在のサービスアクティビティ（又はケース）に関係したＭＳ部品を示すことができる。さらに、データアクションシステム３０は、一致ケースで完了した修正アクションはもちろん、一致ケースで完了した検査を示すことができる。図３Ｆで示されているように、３０の過去のケースは現在のケースと一致している。完了した検査及び修正アクションリストにおいて、サービスオペレータは結果を編集し、完了した別の検査又は修正アクションをリストの最後に付け加え、別の検査又は修正アクションを予定された検査又は修正アクションのリストに付け加え、特定のＭＳプラットフォーム、ＭＳツール、ＭＳ部品又はＭＳサービス契約に対する検査手順を見直し、特定の検査に対する検査の詳細を再検討し、又は、特定の修正アクションに対する手順を再検討することができる。予定された検査及び修正アクションリストにおいては、サービスオペレータは、検査又は修正アクションを完成したリストに付け加え、検査又は修正アクションを削除し、検査又は修正アクションをリストの上又は下に移動させ、特定のＭＳプラットフォーム、ＭＳツール、ＭＳ部品又はＭＳサービス契約に対する検査手順を再検討し、特定の検査に対する検査の詳細を再検討し、又は特定の修正アクションに対する手順を再検討することができる。

例えば、データアクションシステム３０は、上述のように対話式ケーススタディを提供することができ、一致ケースで完了した検査と、一致ケースで完了した修正アクションとが明細に示される。一致ケースで完了した検査に対しては、データアクションシステム３０は、検査が実行され合格する場合に残されるケースの数と、検査が実行され不合格となる場合に残されるケースの数とを表示することによって検査をランク付けする（又は優先順位を付ける）ことができる。例えば、Ｃ_４Ｆ_８処理ガスの質量流量制御器が検査されると、検査が合格の場合に残るケースの数は２１で、検査が不合格の場合に残るケースの数は７である。さらに、一致ケースで完了する修正アクションについては、データアクションシステム３０は、修正アクションが実行されると修正されるケースの数（又はケースの百分率（％））と、修正アクションが実行されると修正されないケースの数とを表示することによって修正アクションをランク付けする（又は優先順位を付ける）ことができる。例えば、Ｃ_４Ｆ_８処理ガスに対する質量流量制御器が交換されるとき、修正されたケースの数は４で、修正されないケースの数は０であった。

データアクションシステム３０によって示されるアクティビティデータを用いることにより（図３Ｆ参照のこと）、サービスオペレータは、例えば、検査を実行することを選択できる。例えば、サービスオペレータは１つ以上の検査を実行し、「Ｍａｔｃｈｅｒ Ｍｏｄｅ Ｓｅｔｔｉｎｇ」と「ＰＣ Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｃｏｎｔｒｏｌ」と「Ｃ_４Ｆ_８Ｆｌｏｗ」とをチェックできる。サービスオペレータが１つ以上の検査を実行することを決定し、これら検査の実行に進むと、サービスオペレータは、ＭＳ部品に特定で、ＭＳツールに特定で、ＭＳプラットフォームに特定の検査を実行するための検査手順を得ることができる。この例においては、この検査結果は、図３Ｇで示されるとおり、合格、合格、不合格をそれぞれ含んでいる。これらの検査を実施している間、一致ケースの数は３０から２１、１５、４へと低減する。さらに、一致ケースでの修正アクションは、Ｃ_４Ｆ_８質量流量制御器（ＭＦＣ）を交換する単一動作に低減される。したがって、サービスオペレータは、各ＭＳ部品、すなわちＣ_４Ｆ_８質量流量制御器に対して要求を出すことによって修正アクションを実行することを決定できる。図３Ｈ参照のこと。ＭＳ部品の注文に関連したサービスアクティビティデータは、データ記憶システム２０内に格納できる。サービスアクティビティデータは、例えば、ＭＳ部品の数、量、ＭＳプラットフォーム及びその状態、ＭＳツール及びその状態、出荷情報、要求情報、承認情報、サービス会計及び交換理由を含むことができる。

次に図３Ｉを参照すると、データアクションシステム３０は、現在のケースに関連したＭＳ部品を表示できる。例えば、ＭＳ部品ソース、ＭＳ部品、ＭＳ部品番号（Ｐ／Ｎ）、ＭＳ部品シリアル番号（Ｓ／Ｎ）及びＭＳ部品状態を表示できる。例えば、ＭＳ部品状態には、「注文済み」「支払い済み」「出荷済み」「取付け済み」又は「取外し済み」を含むことができる。ＭＳ部品が要求されると、ＭＳ部品状態が修正され、ＭＳ部品が「出荷され」、サービス会計によって「支払いされた」と表示するように進行する。一方では、サービスオペレータがアクティビティ管理システムを利用してＭＳ部品を要求するが、他方では、別のサービスオペレータがアクティビティ管理システムを利用して、承認、出荷等を含む要求を処理する。さらに、ＭＳ部品が要求者によって受取られると、出荷状態は受取り済みに変更され、ＭＳ部品のシリアル番号がサービスオペレータによって入力できる。図３Ｉはまた、現在のケースに予定された検査及び修正アクションも示す。例えば、Ｃ_４Ｆ_８質量流量制御器が交換される。

図３Ｊで示されているとおり、サービスオペレータが要求されたＭＳ部品を受取り、ＭＳツール上でＭＳ部品を交換することに進むと、サービスオペレータはこのＭＳ部品に特定され、このＭＳツールに特定され、このＭＳプラットフォームに特定されたＭＳ部品を交換する説明書を得ることができる。修正アクション手順をデータ記憶システム２０に格納し、データアクションシステム３０を介してサービスオペレータに提供することができる。例えば、図３Ｊは、Ｃ_４Ｆ_８質量流量制御器を交換するための修正アクション手順を示している。修正手順は、このＭＳ部品に特定され、このＭＳツールに特定され、このＭＳプラットフォームに特定されている。

修正アクションが完了すると、アクティビティ管理システムは変更を反映するように更新される。図３Ｋ参照のこと。例えば、予定された修正アクションは、完了した修正アクションに移され、このケースに関連したＭＳ部品が、ＭＳ部品ソース、ＭＳ部品、ＭＳ部品番号、ＭＳ部品シリアル番号及びＭＳ部品状態を含む、除去されたＭＳ部品を示すように更新される。その後、サービスオペレータは続けて、最初に不合格であった検査を再検査することもできる。例えば、この場合、サービスオペレータは検査５１Ａ５とＣ_４Ｆ_８流量検査を再チェックする。検査が合格の場合、このケースのように、アクティビティ管理システムはこれらの追加検査と検査結果を反映するように更新される。ＭＳ部品はその後、そうすることが選択された場合は、削除して、廃棄することができる。

第１の例として記載したこのサービス工程中どこでも、サービス監督者などの別のサービスオペレータが特定ケースの進行を監視できる。例えば、対話式ケーススタディが実施されず、ＭＳ部品が散発的に交換される（すなわち、ショットガン方式）場合、サービス監督者は、ＭＳ部品に対する支払いを否定し、ＭＳ部品を要求するサービスオペレータに対話式ケーススタディに従うように指示することよってサービスアクティビティに影響を与えることができる。

あるいは、アクティビティ管理システムを利用して対話式ケーススタディを実行する場合、サービスオペレータは、局所的な高度プロセス制御（ＡＰＣ）ソフトウェアの結果としてＭＳツールから利用可能なデータへのアクセスを得ることができる。例えば、ＭＳツールはエッチングシステムを含むことができ、順方向電力、反射電力、圧力及び質量流量の時間追跡などの履歴データが作動する各基板から得られる。

別の例においては、図４Ａは、アクティビティ管理システムを利用してサービス部品を始動させる例示的なオペレータインタフェースであって、「Ｓｔａｒｔ Ｕｐ Ｍａｃｈｉｎｅ」キーによってサービス部品の始動機能にアクセスできることを示している。この例においては、サービスオペレータはアクティビティ管理システムから要求を受取って、ＭＳツールに対する始動手順を実行する。この例におけるＭＳツールは、エッチングシステムなどのプラズマ処理システムを含み、無線周波数（ＲＦ）発生器とインピーダンス整合ネットワークとは始動検査の実行を要求する。サービスオペレータは、アクティビティ管理システムを実行して、「Ｓｔａｒｔ Ｕｐ Ｍａｃｈｉｎｅ」キーを選択する。図４Ａ参照のこと。

次に図４Ｂを参照すると、アクティビティ管理システムは、ＭＳプラットフォームなどのサービス部品を１つ以上のＭＳツールで検査するための始動リストを示すことができる。図４Ｂに示されるように、始動手順は、ＭＳプラットフォーム、ＭＳツール、ＭＳサービス契約などに特定の一連の検査を含むことができる。さらに、始動手順は、検査注文、検査種類（例えば、「Ｍａｃｈｅｒ Ｍｏｄｅ Ｓｅｔｔｉｎｇ」）、検査位置（例えばＭＳツール番号１又は処理チャンバ１（ＰＣ１））、検査の目標結果、検査の実際の結果及び任意の関連した修理を特定することができる。始動手順はデータ記憶システムに格納され、データ収集システムを通して修正を実行できる。さらに、データアクションシステムは、図４Ｂに示されるようにサービスオペレータに始動手順を提供することにより、サービスオペレータを支援できる。

アクティビティ管理システムを使用して始動手順に従う場合、サービスオペレータは、ＭＳツールに特定のＭＳプラットフォームに特定される各検査を実行するための検査手順を得ることができる。さらに、サービスオペレータは、特定のＭＳプラットフォーム、ＭＳツール、ＭＳサービス契約などに実行される検査を特定する検査仕様にアクセスできる。検査仕様は、例えば、不合格の上限及び下限を規定できる。

始動手順中に検査が実行されるため、実際の検査結果がデータ収集システムを介して入力され、始動手順がこれらの取得結果を反映するよう更新される。実際の結果が、不合格の上下限値をそれぞれプラス又はマイナスした目標結果によって設定された限度内にある場合、検査結果は「合格」となる。実際の結果がこれらの限度内にない場合、検査結果は「不合格」となる。例えば、図４Ｃに示されるとおり、順方向のＲＦ電力検査が第２ＭＳツール（ＰＣ２）に対して実行されると不合格が生じ、実際の結果は不合格の上限値にプラスした目標結果を超える。この点において、サービスオペレータはアクティビティ管理システムの使用を続行して、上述のように、不合格点を解明してＭＳツールを修理することができる。この例においては、サービスオペレータはアクティビティ管理システムを利用して、ＲＦ発生を再校正するなどの修正アクションを特定する。データアクションシステムによって示されるこの修正アクションを実施後、始動検査手順の検査が、検査不合格点が確実に修正されたことを再チェックする。さらに、始動手順が、関連した修理フィールドでなされる修正アクションを反映するように更新される。

さらに別の例（第１の例に続く）においては、サービスオペレータは、移動、労力、ＭＳ部品の待機及び顧客の待機に関係する時間を含んだそれらの費用を入力できる。図５Ａ参照のこと。さらに、時間は、支払い済みサービス、サービス契約、始動前、始動、保証前、保証、ＭＳツール改訂（ＦＣＮ）、ＭＳツール改良（ＣＩＮ）又は機器メーカー部門を含む種々のサービス会計に関連付けできる。さらに、ホテル、航空運賃及び日当（自動車／食事）を含む支払いサービス費用を入力することができる。例えば、サービスオペレータは、時間又はコスト又は両方をフィールドに入力する。データ収集システムに取り込まれると、サービスアクティビティデータはデータ記憶システムに格納される。図５Ｂ及び図５Ｃで示されるとおり、顧客はサービスオペレータによって示されたサービスが完了したことを確認できる。この確認は、例えば、図５Ｃで示されるように、印刷され、定期的なメール又は電子メールを介して機器メーカーに提示できる。

さらに別の例においては、サービスオペレータは、ＭＳプラットフォーム、ＭＳツール、ＭＳ部品、ＭＳサービス契約などに特定のサービス教育材料にアクセスできる。例えば、サービスオペレータは、ＧＵＩを用い、「Ｌｅａｒｎ Ｍａｃｈｉｎｅ」キーを選択してアクティビティ管理システムを通してアクセスできる。サービスオペレータはＭＳプラットフォーム又はＭＳツール又はＭＳ部品又はＭＳサービス契約又はそれらの組み合わせを特定することができる。その後、サービスオペレータは、機械図、電気図、訓練ビデオ、訓練手順、製品内容などへのアクセスを得ることができる。サービス監督者などのサービスオペレータは、アクティビティデータ管理システムを用いて訓練教材用に１つ以上の試験を生成できる。試験は解答キーを含むことができる。さらに、サービスオペレータは訓練教材に従う試験を実施して、彼らの理解度を評価することができる。例えば、図６は、Ｕｎｉｔｙ ＩＩｅ（ＭＳプラットフォーム）、ＤＲＭ（ＭＳツール）エッチングシステムに対してデータ記憶システムに格納された一連の訓練データを示す。

さらに別の例においては、サービスオペレータは、ＧＵＩで「Ｍａｃｈｉｎｅ Ｏｐｅｒａｔｉｏｎｓ，Ｔｅｓｔｓ，＆Ｃｏｒｒｅｃｔｉｖｅ Ａｃｔｉｏｎｓ」キーを用いて、新しい検査又は修正アクションを統合し、現在の検査又は修正アクションを改訂できる。図７Ａ参照のこと。図７Ａで示されるとおり、サービスオペレータは、既存のオペレーション、検査又は修正アクションを改訂することと同様に、新しいオペレーションを実行し、新しい検査を実行し、新しい修正アクションを実行することができる。例えば、図７Ｂは、サービスオペレータが新しい検査を入力するプロセスを示している。検査入力は、識別（ＩＤ）番号、改訂状態、発信者の識別、承認者の識別、承認日、拒絶日、新しい検査を拒絶する理由、新しい検査の内容（例えばＭＳプラットフォーム、ＭＳツール、検査パラメータなど）、親タスクの識別、適用可能な部品の識別（例えばＭＳプラットフォーム、ＭＳツールなど）、適用可能な会社の識別、新しい検査を完了する予測時間、不合格の下限値、警告の下限値、目標結果、不合格の上限値、警告の上限値、目標及び実際の結果を比較する（例えば「等しい」）ための数学演算器の識別、測定単位の識別、結果が個人的評価に基づいているか否かの表示、始動中に測定するための１つ以上の検査値、及び予防メンテナンス中に測定する１つ以上の検査値を含むことができる。新しい検査が入力されると、それを承認のために送ることができる。例えば、新しい検査は、通常メール又は電子メールを介して、監督者などの他のサービスオペレータに送ることができる。さらに、新しい検査が完了すると、サービスオペレータは、新しい検査についての１つ以上の検査手順を入力でき、このときの各検査手順はＭＳプラットフォーム、ＭＳツール、ＭＳ部品などに特定の検査手順を入力ができる。

さらに、サービスオペレータは、ＧＵＩ１００内の「Ｍａｃｈｉｎｅ Ｏｐｅｒａｔｉｏｎｓ，Ｔｅｓｔｓ，＆Ｃｏｒｒｅｃｔｉｖｅ Ａｃｔｉｏｎｓ」キーを用いて現在の検査又は修正アクションを改訂できる。サービスオペレータは、新しい改訂番号を入力し、特定の検査条件を変更し、改訂された検査を承認のために提出できる。

さらに別の例においては、サービスオペレータは、ＭＳプラットフォーム、ＭＳツール、ＭＳ部品又はＭＳサービス契約に特定の文書作成にアクセスできる。例えば、ＧＵＩを用いて及び、「Ｍａｃｈｉｎｅ−Ｒｅｌａｔｅｄ Ｆｉｌｅｓ（文書作成）」キーを選択してアクティビティ管理システムを介してアクセスすることができる。

さらに別の例においては、サービスオペレータは、アクティビティ管理システムに新しいＭＳプラットフォームとＭＳツールとを加え、又はＧＵＩの「Ｍａｃｈｉｅｓ」キーを用いることによって既存のＭＳプラットフォームとＭＳツールとに関連したサービスアクティビティデータを再検討することができる。図８Ａ参照のこと。図８Ｂに示されるとおり、既存のＭＳプラットフォーム（例えばＵｎｉｔｙ ＩＩｅ）と既存のＭＳツール（例えばＳＣＣＭ Ｎｏ．Ｕ１０９７７）を選択することができ、サービスアクティビティデータを再検討できる。サービスアクティビティデータは、サービス会計（契約）、所有者情報（顧客情報）及び現在の資材明細表（ＢＯＭ）を含むことができる。例えば、サービス会計データは、注文番号、サービス会計種類（例えば、保証、契約など）、サービス契約番号、サービス開始日、サービス停止日、毎月の収益、サービス会計範囲の内容、サービス適用範囲時間を含むことができる。これには、新しいサービス会計を割り当てることができる。さらに、例えば、所有者情報は、注文番号、会社（顧客）名、ＦＯＢ予定及び実際の日、ＳＬ１予定及び実際の日、ＳＬ２予定及び実際の日、ＨＷ ＳＵ予定及び実際の日及びシステム受入れ予定及び実際の日を含むことができる。これには、新しい所有者情報を入力できる。さらに、例えば、現在のＢＯＭは、ＭＳ部品のリスト、ＭＳ部品の番号、ＭＳ部品のシリアル番号、スペアインジケータ（ＭＳ部品のスペアが入手可能であるか否か）、消耗品インジケータ（ＭＳ部品が消耗品であるか否か）及び特定の寿命、特定の寿命の単位（例えば時間など）、さらに実際の日を含むことができる。実際の日は、ＭＳ部品の校正からの日数、ＭＳ部品に関連する無線周波数（ＲＦ）時間数、及びＭＳ部品に対して実行される基板（ウェハ）の数を含むことができる。これには、現在のリストに別のＭＳ部品を加えることができる。

図８Ｃに示されるとおり、サービスオペレータは、ＧＵＩの「Ｍａｃｈｉｎｅｓ」キーを用いることによって、新しいＭＳプラットフォーム及びＭＳツールをアクティビティ管理システムに追加できる。この中に、サービスオペレータはＭＳプラットフォームのシリアル番号と、ＭＳプラットフォームと、ＭＳプラットに接続されるＭＳツールの数とを入力できる。さらに、サービスオペレータは、サービス会計（契約）と所有者とに関連するデータを入力できる。さらに、サービスオペレータは、ＭＳツール及びＭＳ部品識別、ＭＳ部品ＩＤ番号、ＭＳ部品シリアル番号（ＭＳツールの出荷から受取られると）と、ＭＳ部品の仕様とを含む現在のＢＯＭを入力できる。新しいＭＳプラットフォームデータを追加する間において、サービスオペレータは名前によってそれら自体を特定することができる。あるいは、サービスオペレータがＭＳツールをＢＯＭに入力すると、ＭＳ部品は、特定のＭＳツールに関連することが既知の場合には、リストを自動的に埋めることができる。

さらに別の例においては、サービスオペレータは、ＧＵＩを用いて及び「Ｐａｒｔ Ｔｙｐｅｓ」キーを選択することによって、新しいＭＳ部品を加え、既存のＭＳ部品を改訂できる。図８Ｄ参照のこと。

さらに別の例においては、サービスオペレータは、ＧＵＩを用いて及び「Ｓｅｒｖｉｃｅ Ａｇｒｅｅｍｅｎｔ（保証＆契約）」キーを選択することによって、新しいＭＳサービス契約を加えもしくは編集し、又は既存のＭＳサービス契約を改訂することができる。図８Ｅ参照のこと。図８Ｆに示されるとおり、サービスオペレータは、会社（顧客）情報と、ＭＳサービス契約（契約又は保証）番号と、サービス契約の種類と、サービス契約の適用範囲時間（例えば午前８時から午後５時、月曜から金曜）、毎月の収益、サービス契約の除外（例えば消耗品、顧客損害など）、不良罰則、優れた機能奨励及びＭＳプラットフォーム及び／又はＭＳツール情報を入力することができる。さらに、サービス契約に予定された及び実際の開始並びに停止日を、予定された値と実際値との間の差と同様に入力できる。さらに、サービスオペレータは、総工数、工数レート、総工数費用、総ＭＳ部品費用、総費用、総収益（購入価格）、利益（＋）、損失（−）、利益率（％）を含む、予定及び実際のサービス契約会計を入力できる。

さらに別の例においては、サービスオペレータはデータ記憶システム内のサービスアクティビティデータにアクセスでき、データアクションシステムは、サービスオペレータに対して要求されたデータを報告する準備ができる。図９に示されるとおり、サービスオペレータは、新しい報告を作成でき、又は、例えば総保証収益報告、総契約収益報告、無効の修正アクション報告、ショットガン適用報告、部品処置問題報告、部門に請求される部品の報告、作成記録と一致しない除去された部品のシリアル番号（Ｓ／Ｎ）の報告、期限切れシステムの受入れ報告、大きい超過時間（ＯＴ）／料金請求可能時間の報告、オープンなＦＣＮ報告、ＦＣＮを必要とする機械の報告、技術者ＩＯＥ報告、技術者証明報告、技術者Ｅラーニング報告などを含む特定の種類の報告を作成することができる。

さらに別の例においては、サービスオペレータは新しい拡大ホットボートを作成し、拡大された修理時間、拡大されたシステム受入れ時間又は拡大された顧客問題を再検討することができる。図１０Ａに示されるとおり、サービスオペレータは、「Ｅａｃａｌａｔｉｏｎ Ｈｏｔｂｐａｒｄｓ」キーを用いて、ＧＵＩを通して拡大ホットボードにアクセスできる。例えば、図１０Ｂは拡大時間ホットボードを示し、そこでは、顧客（又は製造施設）が特定され、ＭＳプラットフォーム及びＭＳツールが特定され（「モデル」）、修理状態の概略、修理の日数が拡大され、修理に割り当てられたサービスオペレータを識別することができる。さらに、例えば、ホットボードアイテムをカラーコード化し、それらの状態を詳細に識別できる（すなわち、赤色＝ハードダウン、黄色＝限定製造、緑色＝単にクローズド）。さらに、図１０Ｃに示されるとおり、拡大顧客問題のホットボードにアクセスできる。

さらに別の例においては、サービスオペレータは、サービスアクティビティ用の新しいキーポイントインジケータ（ＫＰＩ）を生成するか、又は顧客サポート、技術サポート、フィールドサービス、始動、技術公開又は訓練に対する既存のＫＰＩダッシュボードにアクセスすることができる。図１１Ａに示されるとおり、サービスオペレータは、「ＫＰＩ Ｄａｓｈｂｏａｒｄｓ」キーを用いてＧＵＩを通してＫＰＩダッシュボードにアクセスできる。例えば、図１１Ｂは、顧客サポートのＫＰＩダッシュボードを示す。ダッシュボードは、実際の結果及び目標結果と同様にＫＰＩを示す。例えば、ＫＰＩは、特定のＭＡＳプラットフォーム及びＭＳツールに関係する保証ＭＳ部品に対応する毎月のコストについての実際の結果及び目標結果を含んでもよい。この場合、＄１０，０００の実際の結果が＄８，５００の目標の結果を上回っている。さらに、例えば、ダッシュボードアイテムをカラーコード化し、それらの状態を詳細に識別することができる（すなわち、赤色＝ＫＰＩ不合格、黄色＝ＫＰＩ警告）。実際の結果が目標結果を上回ると、「ＫＰＩ警告」を発することもできる。実際の結果が、所定のマージンで目標結果を上回ると、「ＫＰＩ不合格」を発することもできる。

さらに別の例においては、サービスオペレータは、サービスアクティビティを実行する手順にアクセスし、その手順において各ステップに対するサービスオペレータの責務を決定できる。図１２Ａに示されるとおり、サービスオペレータは、「Ｐｒｏｃｅｄｕｒｅｓ」キーを用いてＧＵＩを通して手順にアクセスできる。例えば、サービスオペレータは、新しい手順を生成し又は既存の手順を見直すことができる。図１２Ｂは、Ｕｎｉｔｙ ＩＩｅを設置するための例示的な手順を示している。手順は、手順の各ステップの順番、ステップが割り当てられるサービスオペレータ（例えば、「技術管理者起動」対「技術者起動」）及び手順ステップの内容を含むことができる。

さらに別の例においては、サービスオペレータは、サービスオペレータに対するジョブ内容にアクセスし、サービスオペレータのジョブ責任を決定することができる。図１３Ａに示されるとおり、サービスオペレータは、「Ｊｏｂ ｄｅｓｃｒｉｐｔｉｏｎｓ」キーを用いてＧＵＩを通してジョブ内容にアクセスできる。例えば、サービスオペレータは、新しいジョブ内容を生成し、既存のジョブ内容を見直すことができる。図１３Ｂは、「技術者起動」における例示的なジョブ内容を示している。

さらに別の例においては、サービスオペレータは、従業員アクションプランにアクセスし、従業員のサービスアクション責務を決定できる。図１４Ａに示されているとおり、サービスオペレータは、「Ｅｍｐｌｏｙｅｅ Ａｃｔｉｏｎ Ｐｌａｎｓ」キーを用いてＧＵＩを通して従業員アクティビティにアクセスできる。例えば、図１４Ｂに示されるとおり、サービスオペレータは、アクションの明細を含むサービスアクションのリスト、現在の予定された開始日の表示及び実際の開始日の表示を再検討できる。さらに、サービスアクションをカラーコード化し、それらの状態を示すことができる（例えば、灰色＝指名された担当者がサービスアクションを受諾していない、黒色＝サービスアクションは割り当てられ受諾された、緑色＝サービスアクション完了、黄色＝サービスアクションがＫＰＩ警告を生成、赤色＝サービスアクションがＫＰＩ不合格を生成）。

さらに別の例においては、サービスオペレータは、ヘルプデスクアクションプランにアクセスでき、ヘルプデスク機能の結果、サービスオペレータのサービスアクション責務を決定することができる。図１５Ａに示されているとおり、サービスオペレータは、「Ｈｅｌｐ Ｄｅｓｋ Ａｃｔｉｏｎ Ｐｌａｎｓ」キーを用いてＧＵＩを通して従業員アクティビティにアクセスできる。例えば、図１５Ｂに示されているとおり、サービスオペレータは、アクティビティの内容、現在の予定された開始日の表示、実際の開始日の表示、及びサービスアクションが割り当てられるサービスオペレータの表示を含むサービスアクションのリストを再検討できる。さらに、サービスアクションをカラーコード化し、それらの状態を示すことができる（例えば、灰色＝指名された担当者がサービスアクションを受諾していない、黒色＝サービスアクションが割り当てられ受諾された、緑色＝サービスアクション完了、黄色＝サービスアクションがＫＰＩ警告を生成、赤色＝サービスアクションがＫＰＩ不合格を生成）。

さらに、サービスオペレータは、「ヘルプデスクアクティビティ」機能を用いてヘルプを要求することができる。例えば、サービスオペレータは、「ＥＳテクニカルサポート」を選択し（図１５Ａ参照）、ＥＳテクニカルサポートグループによって実行されるサービスアクションにアクセスできる。その後、サービスオペレータは、「Ａｓｓｉｇｎ Ｎｅｗ」キーを用いて新しいサービスアクションを割り当てることができ（図１５Ｂ参照）、サービスアクションの詳細を入力できる。図１５Ｃに示されるとおり、サービスアクションの詳細は、アクティビティ識別番号（ＩＤ）、サービスアクションの明細、存在する場合には親アクティビティ（又はタスク）の識別、顧客（又は会社）の識別、最初に予定された開始日及び時間の表示、現在予定されている開始日及び時間の表示、実際の開始日及び時間の表示、最初に予定された停止日及び時間の表示、現在予定されている停止日及び時間の表示、実際の停止日及び時間の表示、サービスアクションの順番の表示、購入者の表示、要求者の識別、委託者の識別、受託者の識別、指定日、受諾日、拒絶日、拒絶理由及びコメントを含むことができる。アクティビティの詳細が入力されると、サービスオペレータは、図１５Ｂのリストのように、サービスアクションのリストにサービスアクション要求を追加できる。新しいサービスアクションを灰色で強調表示して、それが受け入れられていないことを示すことができる。アクティビティ管理システムは、新しいサービスアクションが追加されたことを（例えば電子メールによって）ＥＳテクニカルサポートに通知できる。新しいサービスアクションを通知された別のサービスオペレータは、サービスアクション要求を承認することを決定し（図１５Ｄ参照）、サービスアクションのリスト（図１５Ｂ）は、（承認された）アクティビティブロックを強調表示することによってこの特定のサービスアクションの状態における変化を反映するように更新される。図１５Ｄに示されるとおり、サービスオペレータは、代わりに、サービスアクションを拒絶し、ＫＰＩを再検討し、説明書を見直し、サービスアクションの詳細を再検討し、又はすべてのサポート文書を見直すことができる。

さらに、ＧＵＩ及び「Ｈｅｌｐ Ｄｅｓｋ Ａｃｔｉｏｎ」キーを用いて、サービスオペレータは、例えば「ＥＳテクニカルサポートグループ」から、「ＴＥＡ ＩＳグループ」などの別のグループにサービスアクションを転送できる。サービスオペレータは、第１グループにおいてサービスアクションを停止し、第２グループにおいて要求を開始することができる。

さらに別の例においては、サービスオペレータは、プロジェクトアクションプランにアクセスして、特定プロジェクトに関するサービスオペレータのサービスアクション責務を決定できる。図１６Ａに示されるとおり、サービスオペレータは、「Ｐｒｏｊｅｃｔ Ａｃｔｉｏｎ Ｐｌａｎｓ」キーを用いてＧＵＩを通して従業員アクティビティにアクセスできる。例えば、図１６Ｂに示されるように、サービスオペレータは、アクションの明細、現在予定されている開始日の表示、実際の開始日の表示、サービスアクションが割り当てられるサービスオペレータの表示を含むサービスアクションリストを再検討できる。さらに、サービスアクションをカラーコード化し、それらの状態を示すことができる（例えば、灰色＝指名された担当者がサービスアクションを受諾していない、黒色＝サービスアクションは割り当てられ受諾された、緑色＝サービスアクション完了、黄色＝サービスアクションがＫＰＩ警告を生成、赤色＝サービスアクションがＫＰＩ不合格を生成）。

さらに別の例においては、サービスオペレータは、顧客アクションプランにアクセスして、特定顧客に対するサービスオペレータのサービスアクション責務を決定することができる。図１７Ａに示されるとおり、サービスオペレータは、「Ｃｕｓｔｏｍｅｒ Ａｃｔｉｏｎ Ｐｌａｎｓ」キーを用いてＧＵＩを通して従業員アクティビティにアクセスできる。例えば、図１７Ｂに示されるように、サービスオペレータは、アクティビティの内容、現在予定されている開始日の表示、実際の開始日の表示、サービスアクションが割り当てられるサービスオペレータの表示を含むサービスアクションのリストを再検討することができる。さらに、サービスアクションをカラーコード化し、それらの状態を示すことができる（例えば、灰色＝指名された担当者がサービスアクションを受諾していない、黒色＝サービスアクションは割り当てられ受諾された、緑色＝サービスアクション完了、黄色＝サービスアクションがＫＰＩ警告を生成、赤色＝サービスアクションがＫＰＩ不合格を生成）。

さらに別の例においては、サービスオペレータは、サービスオペレータの間で新しい共同作業を発案するか、又はサービスオペレータの間の既存の共同作業に加わることができる。図１８Ａに示されるように、サービスオペレータは、「Ｃｏｌｌａｂｏｒａｔｉｏｎ」キーを用いてＧＵＩを通して新しい及び既存の共同作業にアクセスすることができる。例えば、図１８Ｂに示されるように、サービスオペレータは、識別（ＩＤ）番号、共同作用開始日及び時間、開始者の識別が与えられる新しい共同作業をオープンにすることができる。サービスオペレータは、共同作業についての主題と、共同作業の紹介と、共同作業に対するフォーラムの定義と、共同作業への参加決定者とをさらに入力できる。図１８Ｃ参照のこと。フォーラムには、例えば、誰もが読み取り及び書き込みアクセスすることができ、何の参加許可も与えられない「オープン」フォーラムと、参加許可者のみ読取り及び書込みアクセスし、参加許可者には参加許可が与えられる「プライベート」フォーラムと、参加許可者が読取り及び書込みアクセスし、誰もが読取りアクセスし、参加許可者には参加許可が与えられる「パブリック」フォーラムとを含むことができる。

共同作業が開始されると、共同作業は、「Ｃｏｌｌａｂｏｒａｔｉｏｎ」キーを用いたＧＵＩを介してアクセスできる。図１８Ａ参照のこと。図１８Ｄは、第１サービスオペレータが検討を開始する既存の共同作業を示している。図１８Ｅ及び図１８Ｆは、第１サービスオペレータへの複数の他のサービスオペレータの回答を示している。その後、参加許可されたサービスオペレータが新しいサービスアクションに同意すると、サービスオペレータのうちの一人が、従業者のアクションプランのうちのいずれか１つに新しいサービスアクションを入力し、デスクアクションプラン、プロジェクトアクションプラン又は顧客アクションプランを支援することができる。

上述の実施例で記載したように、アクティビティ管理システム１は、サービスオペレータなどのシステムユーザと相互作用して、サービスアクションを実行するのにサービスオペレータに有用な種々のサービス機能データを実行する。以下の方法は、サービスオペレータがアクティビティ管理システム１と相互作用して特定のサービスアクションを実行することを記載している。

サービス部品の修理
一実施形態によれば、サービス部品の修理を実行する方法は以下のステップを含むことができる。すなわち、（１）サービス部品の修理の要求を識別するステップと、（２）アクティビティ管理システムを用いて、サービス修理技術者などのサービスオペレータに修理サービス処理を割り当てるステップと、及び（３）アクティビティ管理システムが、このサービス部品に対する修理履歴集計をリストにするステップとである。サービスオペレータがアクティビティ管理システム１に同期した最後の時間の前に、全サービスオペレータによってアップロードされた各修理が示されている。アクティビティ管理システム１は、最初の不合格（ｆａｉｌｕｒｅ）と修正アクションと修正アクションが効果を発揮しなかったかどうかを示している。履歴は、機器の据付けの間に実行される最後の検査の開始に戻る。

（４）サービスオペレータは、アクティビティ管理システムで不合格だった機械検査名詞（例えば「エッチング速度、５１Ａ５」等）を入力する。（５）アクティビティ管理システムが以前にこの不合格を認識している場合は、対話式ケーススタディを提供する（アクティビティ管理システムは、現在のケースに関して格納された現在の検査結果と一致する全てのケースを引き出す）。その後、一致したケースで実行される追加の検査動詞／名詞（例えば「ＲＦ順方向電力レベルを検査」）と、一致したケースで実行される追加の変更動詞／名詞（例えば「ＥＳＣクリーニング」）をリストアップする。検査は、要求される確率と時間とを分離することによって優先順位を付けられる。変更は、変更が一致ケースを修正する回数によって優先順位を付けられる。サービス技術者は、サービス部品のモデル、プロセスの種類又は顧客によって選別できる。

（６）その後、サービスオペレータは問題点を診断する（トラブルシュートする）。（７）サービスオペレータは、一致ケース（理想）において実行された検査を選択し、一致ケースで実行されない検査を選択し、新しい検査を実行し、又は自由な文面で検査を単に記述することができる。アクティビティ管理システムは、再検討のために新しい検査にマークを付ける。検査は、完了次第（結果とともに）記録されるか又は将来のために予定することができる。アクティビティ管理システムは、選択された動詞／名詞グループ（存在しない場合にはユーザは動詞／名詞グループを生成可能）からサービス部品に特定の検査を抽出する。アクティビティ管理システムは、ｓ／ｎに特定のインデントされたキー部分の部品表（ＢＯＭ）で見ることによってサービス部品を認識する。検査は、修理の親タスクの下のサブタスクとして実際のアクションプラン（割り当てられたサービスオペレータ、サービス部品など）で示されている。

（８）サービスオペレータは、アクションプランの検査の次に関連ボタンをクリックすることによってアクティビティ管理システム内のキー機能インジケータ（ＫＰＩ）（仕様）又は説明書を読むことができる。（９）サービスオペレータは、アクティビティ管理システム内で明確なサービス部品明細とオペレーション図の理論とを検索及び読むことができる。（１０）サービスオペレータはアクティビティ管理システム内にクローズドタスクを入力できる。サービスオペレータはオープンタスクを別のサービスオペレータに転送できる。（１１）サービスオペレータは、アクティビティ管理システム内にサービス部品の修理検査結果を記録する。サービスオペレータは、アクティビティ管理システム内に検査結果を記録することができる（例えば「ＲＦ順方向電力レベルを検査）」。アクティビティ管理システムは、そのタスクの結果記録を表示する。結果記録例は、仕様名：「電力設定の一致前の電力計」、目標レベル：「Ｘ」、実際のレベル：「Ｙ」及び任意のコメントを含んでもよい。

（１２）その後、サービスオペレータは問題点を修正する。（１３）サービスオペレータは、一致ケースで実行された変更を選択し、一致ケースで実行されなかった変更を選択し、新しく変更し、又は自由な文面で変更を単に記述することができる。アクティビティ管理システムは再検討のために新しい変更にマークを付ける。変更は完了次第記録又は将来のために予定することができる（ＭＳ部品を注文する必要があるため、ＭＳ部品を交換する場合は特に）。アクティビティ管理システムは、選択された動詞／名詞グループからサービス部品に特定の変更を抽出する。アクティビティ管理システムは、シリアル番号（ｓ／ｎに特定のインデントされたキー部品のＢＯＭ（部品表）で見ることによって、サービス部品を認識する。変更が、修理親タスクの下のサブタスクとして、（割り当てられたサービスオペレータ、サービス部品など）実際のアクションプランで示されている。（１４）サービスオペレータは、アクションプランでの変更の次に関連ボタンをクリックすることによって、アクティビティ管理システム内で説明書を読むこともできる。（１５）変更動詞が「交換する」で変更名詞が「部品の種類」である場合、アクティビティ管理システムはＭＳ部品注文システムのタスクを実行する。

（１６）アクティビティ管理システムは、いつケースが解決される（不合格だった全ての検査が現在合格となる）か、をサービスオペレータに通知し、解決に該当するする部品ではないＭＳ部品を強調表示することによってそれらを除去でき、一緒に交換された（ショットガンされた）ＭＳ部品を強調表示することによってそれらをさらに分離することができる。サービスオペレータは、作業を続行するか又はケースを閉じることができる。（１７）アクティビティ管理システムは、このケースを対話式ケーススタディに追加する（サービスオペレータがこのケースを文書化することに伴う問題にために拒否しない限り）。（１８）技術サポートなどの別のサービスオペレータが新しい検査を再検討し、必要ならば既存の検査もしくは変更を削除又は変更する。

サービス部品のクリーニング
別の実施形態によれば、サービス部品のクリーニングを実行する方法は、以下のステップを含むことができる。すなわち、（１）サービスオペレータは、サービス部品の設計、プロセス経験及びメンテナンス経験に基づいて、アクティビティ管理システム内でこのサービス部品に対するクリーニング手順を生成する。一連のステップは、カレンダー、ウェハ（基板）カウンタ又はＲＦタイマー（典型的には１年間）に基づいて、各クリーニングステップに対する開始基準を特定することにより生成される。

（２）サービスオペレータは、サービス部品の設計、プロセス経験及びメンテナンス経験に基づいて、アクティビティ管理システム内のこのサービス部品に対するクリーニング説明書を生成する。要求されたＭＳ部品の重要なセットはサービス部品に特定のクリーニングキットである。（３）サービスオペレータは、アクティビティ管理システム内のクリーニング説明書における各ステップに対して、サービス部品の検査、変更及びオペレーション説明書を関連付けすることができる。（４）サービス監督者／管理者などのサービスオペレータは、アクティビティ管理システム内の顧客サービス部品にクリーニング手順を割り当てる。（５）サービス監督者／管理者などのサービスオペレータは、サービスオペレータが追跡したいアクティビティ管理システム内のクリーニング手順ステップに担当者を割り当てる。

（６）サービス部品がクリーニングを要求することの識別がなされる。開始基準がカレンダーに基づく場合、時間が来るとアクティビティ管理システムが始動する。開始基準がウェハカウンタ又はＲＦタイマーに基づいている場合、アクティビティ管理システムは、該当する場合は、サービス部品カウンタが更新されると、始動する。サービスオペレータは、サービスオペレータがサービス部品をオペレーションするときは必ず、１日に１回サービス部品カウンタを更新することを要求される。サービス部品カウンタは、Ｅモニタリンングが確立されている場合は、実時間で更新できる。（７）サービスオペレータは、クリーニングキット部品の種類に対してＭＳ部品の注文システムを選択する。アクティビティ管理システムは、クリーニング親タスクと関連し、サービスオペレータとサービス部品とに割り当てられたＭＳ部品要求システムのタスクを生成する。

（８）サービスオペレータは、アクティビティ管理システム内のサービス部品のクリーニングの検査結果を記録する。サービスオペレータは結果記録（例えば、「Ｐ／Ｃ漏れ率を検査）」にアクセスすることができる。アクティビティ管理システムは、そのタスクに対する結果記録を表示する。結果記録例として、製品部品の種類：ＰＣ、製品Ｓ／Ｎ：ＳＣＣＭ５５−ＰＣ１、仕様名：Ｐ／Ｃ漏れ率結果を自己検査、目標：３、実際の最終検査：２、実際： 、コメント： である。（９）サービスオペレータは、アクティビティ管理システムにクローズドタスクを入力する。サービスオペレータは、オープンタスクを別のサービスオペレータに転送できる。（１０）サービスオペレータは、アクションプラン内でタスクの次に関連ボタンをクリックすることによっても同様に、アクティビティ管理システム内のＫＰＩ（仕様）又は説明書を読むことができる。（１１）検査結果が不合格の場合、アクティビティ管理システムは検査サブタスクに関連し、サービスオペレータと顧客のサービス部品とに割り当てられた修理システムタスクを実行する。アクティビティ管理システムはまた、不合格だった機械の検査名詞（例えば、「Ｐ／Ｃ漏れ率」）を入力する。

サービス部品の交換
別の実施形態によれば、ＭＳ部品の交換など、サービス部品を交換する方法は以下のステップを含むことができる。すなわち、（１）サービス部品が交換を必要とすることを通知するステップと、（２）サービスオペレータが、アクティビティ管理システム内で、サービスオペレータ自身に交換タスク及び、クリーニングキットなどのサービス部品の交換を割り当てるステップと、及び（３）サービスオペレータがタスクを別のサービスオペレータに転送できるステップ、を含む。

（４）サービスオペレータは、アクティビティ管理システム内のＭＳプラットフォーム又はＭＳツール上でクリーニングキットを交換する頻度（例えば、３００個のウェハ、１４日間、又は３００ＲＦ時間）を入力する。（５）ＭＳプラットフォーム又はＭＳツールでの別のプロセスサイクルによって使用する前に、ＭＳ部品の実際の寿命（アクティビティ管理システム内で追跡される）が典型的な寿命（アクティビティ管理システム内で特定される）を超える場合、アクティビティ管理システムは、サービスオペレータとサービス部品の交換に関連するＭＳ部品又はクリーニングキットに対するＭＳ部品注文システムタスクを生成する。（６）ＭＳ部品が損傷を受けている場合、サービスオペレータはＭＳ部品注文システムタスクを選択する。（７）サービスオペレータは他のＭＳ部品をクリーニングするか、又はそれらをクリーニングセンターに戻してクリーニングする。

（８）アクティビティ管理システムは、部品のシリアル番号（ｓ／ｎ）によって、ＭＳ部品の位置（例えば、倉庫、ごみ箱、キットＢＯＭ又は移動中）及びＭＳ部品の特徴を追跡する。サービスオペレータは、交換ＭＳ部品がいつ紛失し、（ｓ／ｎを含んで）受領され、開封され、クリーニングキットに付け加えられ、クリーニングキットから取り除かれるかなどを入力する。サービスオペレータは、なぜ交換ＭＳ部品がクリーニングキットに付け加えられないか（例えば、誤ったＭＳ部品、必要でないＭＳ部品、二重のＭＳ部品、損傷を受けたＭＳ部品、注文していないＭＳ部品、ラベルが誤ったＭＳ部品など）を入力する。アクティビティ管理システムは、交換ＭＳ部品が承認された購入価格を有するかどうかを決定する。別のサービスオペレータがＭＳ部品のｓ／ｎ内容を調査することができる。

予防メンテナンスの実行
別の実施形態によれば、ＭＳプラットフォーム、ＭＳツール又はＭＳ部品などのサービス部品についての予防メンテナンス（ＰＭ）を実行する方法は、以下のステップを含むことができる。（１）サービス設計者などのサービスオペレータは、サービス部品の設計、技術者経験及びメンテナンス経験に基づいて、アクティビティ管理システム内でこの部品に対するＰＭ手順を生成する。それぞれが、カレンダー、ウェハカウンタ又はＲＦタイマー（典型的には１年間）に基づいた各ＰＭステップの開始基準を特定する一連のステップが提供される。（２）技術文書作成者などのサービスオペレータは、アクティビティ管理システム内のこのサービス部品に対してＰＭ説明書を生成する。例えば、サービス部品ＰＭは、サービス部品に特定のＰＭキットを含むことができる。（３）サービスオペレータは、アクティビティ管理システム内で、サービス部品の検査、変更及びオペレーション説明書をＰＭ説明書におけるステップに関連付けすることができる。

（４）サービス管理者などのサービスオペレータは、アクティビティ管理システム内で、ＰＭ手順を顧客サービス部品に割り当てる。（５）サービス管理者は、アクティビティ管理システム内で、サービス管理者が追跡したいＰＭ手順ステップにサービスオペレータ（指名した者）を割り当てる。（６）サービス部品がＰＭを要求していることが識別される。開始基準がカレンダーに基づく場合、ＰＭ時間が来るとアクティビティ管理システムが始動する。開始基準がウェハカウンタ又はＲＦタイマーに基づいている場合、アクティビティ管理システムは、該当する場合には、サービス部品カウンタが更新されるときに始動する。サービスオペレータはサービス部品をオペレーションするときは必ず、１日に１回サービス部品カウンタを更新する必要がある。Ｅモニタリングが確立している場合、サービス部品カウンタは実時間で更新される。

（７）ＰＭ技術者などのサービスオペレータはアクティビティ管理システムでＰＭタスクを再検討する。（８）ＰＭ技術者は、ＰＭキットのＭＳ部品の種類用のＭＳ部品注文システムタスクを選択する。アクティビティ管理システムは、ＰＭ親タスクに関連し、サービスオペレータと顧客サービス部品とに割り当てられたＭＳ部品要求システムタスクを生成する。（９）ＰＭ技術者は、アクティビティ管理システムにサービス部品のＰＭ検査結果を入力する。サービスオペレータは、その後、そのタスク用の結果記録にアクセスできる。結果記録例として、製品部品の種類：「ＰＣ」、製品Ｓ／Ｎ：「ＳＣＣＭ５５−ＰＣ１」、仕様名：「Ｐ／Ｃ漏れ率結果を自己検査」、目標：「３」、実際の最終検査：「２」及び任意のコメントである。（１０）ＰＭ技術者はアクティビティ管理システムにクローズドタスクを入力する。サービスオペレータはオープンタスクを別のサービスオペレータに転送できる。（１１）ＰＭ技術者はアクティビティ管理システムでＫＰＩ（仕様）又は説明書を再検討することができる。（１２）検査結果が不合格の場合、アクティビティ管理システムは検査サブタスクに関連し、サービスオペレータと顧客サービス部品とに割り当てられた修理システムタスクを生成できる。アクティビティ管理システムはまた、不合格であったサービス部品の検査名詞（例えば、「Ｐ／Ｃ漏れ率」など）を入力する。

サービス部品の取り付け
別の実施形態によれば、ＭＳプラットフォーム、ＭＳツール又はＭＳ部品の取り付けなど、サービス部品の取り付けを実行する方法は以下のステップを含むことができる。（１）サービス管理者などのサービスオペレータは、アクティビティ管理システム内で取り付け手順を生成する。最終的な検査ステップ及び始動ステップがそれぞれの説明書に関連付けされる。（２）サービス設計者などのサービスオペレータは、アクティビティ管理システム内で、最終的な検査説明書と始動説明書に特定のサービス部品で始まる新しいステップを入力する。（３）技術文書作成者などのサービスオペレータは、アクティビティ管理システム内で、最終的な検査説明書と始動説明書内の新しいステップに、動詞／名詞グループを用いたサービス部品の検査、変更及びオペレーション説明書を関連付けする。（４）サービスオペレータは、アクティビティ管理システム内で、（例えば、ＭＳプラットフォーム、ＭＳツール、クリーニングキット、ＰＭキットなど）「始動から追跡する」ために、複数のＭＳ部品のｓ／ｎに特定のサービス部品ＢＯＭを生成する。アクティビティ管理システムは、ｓ／ｎが未知の一時的なｓ／ｎを追加することができる。ＭＳ部品がアクティビティ管理システム内に存在しない場合、それが入力される。この入力の例として、Ｐ／Ｎ：「ＥＳ１Ｄ８０−１２３１−０１」、部品共通名称：「１２インチセラミックＥＳＣ」、部品正式名称：「Ｘ」、部品の種類：「ＥＳＣ」、寿命：「３０００」、特殊処置：「ＳＤ２３」である。（５）サービスオペレータは、顧客識別、購入会計などを入力する。例えば、Ｐ／Ｎ：「ＥＳ１Ｄ８０−１２３１−０１」、部品Ｓ／Ｎ：「ＡＮＳ−３４３」、部品の通称：「Ｘ」、親部品Ｓ／Ｎ：「ＰＣ１−ＳＣＣＭ６８」である。

（６）サービス管理者などのサービスオペレータは、アクティビティ管理システム内で顧客サービス部品に取り付け手順を割り当てる。（７）サービス管理者は、アクティビティ管理システム内で、サービス管理者が追跡したい取り付け手順工程に他のサービスオペレータ（受託者）を割り当てる。（８）アクティビティ管理システムは、最終的な検査説明書及び始動説明書で挙げられた動詞／名詞グループからサービス部品特定の説明書を抽出することによってアクティビティ管理システム内のｓ／ｎ特定の最終検査説明書とｓ／ｎ特定の始動説明書を生成する。アクティビティ管理システムは、ｓ／ｎ特定のインデントされたキー部品のＢＯＭからサービス部品を認識することができる。工程は、最終的な検査又は始動親タスクの下のサブタスクとして実際のアクションプラン（例えば、割り当てられたサービスオペレータ、サービス部品など）で示されている。

サービス部品の修正
別の実施形態によれば、ＭＳプラットフォーム、ＭＳツール又はＭＳ部品に対する修正など、サービス部品に修正を実行する方法は、以下の工程を含むことができる。（１）既存のサービス部品への特別な修正が必要であることを同定。（２）サービス管理者などのサービスオペレータが、続行するかどうかを決定し（例えば、予測コスト、リソースの優先順位、顧客の購買意欲を考慮し）、顧客が修正の続行を要求するかどうかを決定し（例えば、修正の結果によって問題が生じることがある）、又は顧客自身に修正を続けるよう要請（又は許可）するかどうかを決定する。（３）サービス管理者などのサービスオペレータが、新しいＭＳ部品設計が必要であると判断する場合、解決法が設計され、プロトタイプが形成され、解決法が検査される。

（４）サービスオペレータは、購入ＭＳ部品（例えば在庫のあるＭＳ部品）、設計ＭＳ部品及びＭＳ部品アセンブリに対する仕様書を作成する。仕様書は、供給者と供給部品番号とを含むことができる。仕様書は、テキスト、機械図、概略図又はその組み合わせも含むことができる。仕様書はさらに改訂（例えば形態、適合性又は機能に影響しない）を含むことができる。（５）サービスオペレータは、ＭＳ部品、ＭＳ部品アセンブリ及びＭＳ部品仕様文書に技術番号を割り当てる。技術番号は、バージョン（例えば、顧客、国名など）と添え字（例えば、後方互換性を示す）を含むことができる。（６）サービスオペレータは、ＭＳ部品アセンブリに対してインデントされたＢＯＭを生成する。（７）サービスオペレータはソフトウェアのリリースノートを作成する。（８）サービスオペレータは、アクティビティ管理システム内で修正取付け説明書を生成する。（９）サービスオペレータは、アクティビティ管理システムにおいて、修正取付け説明ステップに、サービス部品の検査、変更及びオペレーション説明を関連付けることができる。（１０）サービス管理者などのサービスオペレータは、アクティビティ管理システムにおいて、影響を受けるサービス部品に修正取付け説明書を割り当てる。（１１）サービス管理者は、アクティビティ管理システムにおいて修正取付けタスクをサービスオペレータ（指名された者）に割り当てる。

（１２）サービス部品が修正取付けを必要とすることが識別される。開始基準がカレンダーに基づいている場合、アクティビティ管理システムは時間が来ると始動する。開始基準がウェハカウンタ又はＲＦタイマーに基づいている場合、アクティビティ管理システムは、該当する場合は、サービス部品カウンタが更新されると始動する。サービスオペレータは、サービスオペレータがサービス部品をオペレーションするときは必ず、１日に１回サービス部品カウンタを更新することを要求される。サービス部品カウンタは、Ｅモニタリンングが確立されている場合は実時間で更新される。（１３）修正を実行するように指定されたサービス技術者などのサービスオペレータは、アクティビティ管理システム内で修正検査結果を記録する。サービスオペレータは、アクティビティ管理システムを通して検査結果（例えば、「Ｐ／Ｃ漏れ率を検査」の結果）にアクセスできる。結果記録例として、製品部品の種類：「ＰＣ」、製品Ｓ／Ｎ：「ＳＣＣＭ５５−ＰＣ１」、仕様名：「Ｐ／Ｃ漏れ率結果を自己検査」、目標：「３」、実際の最終検査：「２」、実際：「Ｘ」及び任意のコメント：である。（１４）サービスオペレータは、アクティビティ管理システム内にクローズドタスクを入力し、アクティビティ管理システムを通して別のサービスオペレータにオープンタスクを転送できる。（１５）検査結果が不合格の場合、アクティビティ管理システムは、検査サブタスクに関連し、サービスオペレータと顧客サービス部品とに割り当てられた修理システムタスクを生成することができる。アクティビティ管理システムはまた、不合格だった機械の検査名詞（例えば、「Ｐ／Ｃ漏れ率」）を入力する。

サービス部品の取外し
別の実施形態によれば、ＭＳプラットフォーム、ＭＳツール又はＭＳ部品の取外しなど、サービス部品の取外しを実行する方法は、以下のステップを含むことができる。（１）サービス部品の取外しが要求されていることを識別する。（２）サービスオペレータが、アクティビティ管理システム内で、自身と顧客サービス部品に取外しシステムタスクを割り当てる。（３）サービスオペレータがサービス部品を取り外す。（４）サービスオペレータが、アクティビティ管理システムにクローズドタスクを入力する。サービスオペレータは別のサービスオペレータにオープンタスクを転送できる。（５）ＭＳ部品が存在しない場合又は追加のＭＳ部品が要求されている場合、サービスオペレータは部品注文システムタスクを選択できる。（６）サービス部品が修理を要求している場合、アクティビティ管理システムは、検査のサブタスクに関連し、サービスオペレータと顧客サービス部品とに割り当てられた修理システムタスクを生成する。アクティビティ管理システムはまた、不合格だったサービス部品の検査名詞（例えば「ＲＦ順方向電力レベル」）を入力する。

部品発注
別の実施形態によれば、アクティビティ管理システムを用いてＭＳ部品を発注する方法は、以下のステップを含むことができる。（１）ＭＳ部品の注文が必要であることを識別する。（２）サービスオペレータが、アクティビティ管理システム内でＭＳ部品注文システムタスクを生成する個々のサービスタスク（典型的なケースと同様）が必要とされる場合は、アクティビティ管理システムはＭＳ部品注文を親タスク番号と関連付ける。（３）サービスオペレータがＭＳ部品の種類を提供する場合には、アクティビティ管理システムは、このＭＳ部品の種類に一致するサービス部品ＢＯＭにおいてＭＳ部品（及びＭＳ部品の階層）をリストアップする。（４）サービスオペレータがこのリストから選択するか、又はＦＲＵ番号のＩＤ文書を基にしたサービス部品のＢＯＭにＭＳ部品を追加する。ＭＳ部品がアクティビティ管理システム内に存在していない場合、サービスオペレータは新しいＭＳ部品を生成する。例えば、Ｐ／Ｎ：「ＥＳ１Ｄ８０−１２３１−０１」、部品共通名称：「１２インチセラミックＥＳＣ」、部品正式名称：「Ｘ」、部品の種類：「ＥＳＣ」である。

（５）アクティビティ管理システムは、数量と、サービス部品のサービス契約に基づいた購入会計及び部品が消耗品（すなわち、保証、契約、支払い済みサービス注文書など）であるかどうかと、発送の優先度（例えば、「一部出荷の必要」「翌日配達」など）と、このサービス部品に対して最後に使用された出荷先住所と、何らかの出荷コメント（例えば、ＭＳ部品が「翌日配達」で出荷できない限り、到着予定時間（ＥＴＡ）をメールしない）と、ｓ／ｎが既知でないない場合、一時的なｓ／ｎとを推奨する。（６）サービスオペレータは、ＭＳ部品発注情報を確認し、必要ならばアクティビティ管理システム内でこの情報を編集する。アクティビティ管理システムは、サービスオペレータが積極的に購入会計を考慮するよう促す。サービスオペレータは、必要ならば１つ以上のＭＳ部品を注文に追加できる。（７）アクティビティ管理システムはＭＳ部品の価格を取得する。顧客が購入する場合、又はＭＳ部品が相対的に高くなく最近交換さられておらず、公知の方法に従っている場合、アクティビティ管理システムはＭＳ部品の発注を自動的に承認できる。

（８）アクティビティ管理システムは、支払い及び出荷が承認又は否定されると、サービスオペレータに通知する。（９）サービスタスク（例えば修理、始動など）に関連する場合、タスクが別のサービスオペレータ（任命された人）に転送される場合であっても、ＭＳ部品はそのタスクとともに残る。（１０）アクティビティ管理システムは、必要ならばＥＴＡと追跡番号をサービスオペレータに通知する。（１１）必要に応じて、ＭＳ部品が出荷される。

（１２）アクティビティ管理システムは、部品のｓ／ｎによって、ＭＳ部品の位置（例えば、倉庫、ごみ箱、サービス部品ＢＯＭ又は移動中）と、ＭＳ部品の特徴を追跡する。サービスオペレータは、交換ＭＳ部品がアクティビティ管理システム内で紛失されたとき、受領され（例えばｓ／ｎ入力されて）、開封され、取り付けられ、除去されるかに関する情報を入力する。サービスオペレータは、交換ＭＳ部品が除去される理由を入力する（例えば、ＭＳ部品が問題解決しない又はＭＳ部品が損傷を受けている）。サービスオペレータは、交換ＭＳ部品が取り付けられない理由を入力する（例えば、誤ったＭＳ部品、必要でないＭＳ部品、二重のＭＳ部品、損傷を受けたＭＳ部品、注文していないＭＳ部品又は誤ったラベルの付いたＭＳ部品）。アクティビティ管理システムは、元のＭＳ部品が良好、不良又はいつ取り除かれるか未定（例えば確認／入力されたｓ／ｎ）かどうかを決定する。アクティビティ管理システムは、交換ＭＳ部品が承認された購入会計を満たしているかどうかを入力する。サービスオペレータは、ＭＳ部品ｓ／ｎの不一致を調べることができる。

ＭＳ部品の不合格キーポイントインジケータ（ＫＰＩ）の生成
別の実施形態によれば、アクティビティ管理システムは、以下の方法を用いてＭＳ部品の不合格キーポイントインジケータ（ＫＰＩ）分析を生成する。（１）アクティビティ管理システムはＭＳ部品の不合格ＫＰＩダッシュボードを生成し、それらの寿命目標の前に不合格となった非消耗品のＭＳ部品の交換品及び消耗部品を含む。（２）サービス分析者などのサービスオペレータは、アクティビティ管理システム内でＭＳ部品不合格ＫＰＩダッシュボードの機能を分析する。サービスオペレータは、ＭＳ部品不合格ＫＰＩダッシュボードの種類（例えば、全て、サービス部品特定、顧客特定など）を選択する。アクティビティ管理システムは、カラム内でこれらＫＰＩを有する各ＭＳ部品をリストアップする。例えば、数量、コスト、修理時間、平均寿命日数、ウェハ及びＲＦ時間、寿命目標（消耗品に特定されている場合）である。いずれのカラムも上又は下に分類できる。リストは（日付範囲を含んで）フィルターにかけることができる。（３）サービスオペレータは、アクティビティ管理システム内で、ＭＳ部品不合格ＫＰＩダッシュボードを用いて、全体で上から５つのＭＳ部品と、各サービス部品に対して上から０〜３つのＭＳ部品（使用頻度が低いか又は市場優先性が低い場合は０）を周期的に特定することができる。

（４）前の期間に実行されなかった場合、サービスオペレータはアクティビティ管理システム内で修理履歴を見直し、それに問題がある場合にはメンテナンスを変更するよう修正アクションを開始する（例えば、訓練を改訂し、文書を改訂し、速報を送信する等）。（５）サービスオペレータが、新しいメンテナンス設計（例えば新しい指示毎にクリーニング）を通知する必要があると判断する場合は、サービスオペレータは問題点と解決法の明細を作成し、古いメンテナンス設計を有する顧客をリストアップする。（６）問題点がメンテナンスに関係ないように思われ、前の期間に実行されていない場合、サービスオペレータは、分析の特別処置のための返却を生成する。

ＭＳ部品消費キーポイントインジケータ（ＫＰＩ）の生成
別の実施形態によれば、アクティビティ管理システムは、以下の方法を用いてＭＳ部品の消費キーポイントインジケータ（ＫＰＩ）分析を生成する。（１）アクティビティ管理システムは、消耗部品を含むＭＳ部品消耗ＫＰＩダッシュボードを生成する。（２）サービス分析者などのサービスオペレータは、アクティビティ管理システム内でＭＳ部品消費ＫＰＩダッシュボードの機能を分析する。サービスオペレータは、ＭＳ部品消費ＫＰＩダッシュボードの種類を選択する（例えば、「全て」、「サービス部品特定」「顧客特定」など）。アクティビティ管理システムは、カラム内にこれらＫＰＩインジケータを有する各ＭＳ部品をリストアップする。例えば、数量、コスト、修理時間、平均寿命日数、ウェハ及びＲＦ時間、（消耗品に特定されている場合には）寿命目標である。いずれのカラムも上又は下に分類できる。（３）サービスオペレータは、アクティビティ管理システム内で、ＭＳ部品不合格ＫＰＩダッシュボードを用いて、全体で上から５つのＭＳ部品と、各サービス部品に対して上から０〜３つのＭＳ部品（使用頻度が低いか又は市場優先性が低い場合は０）を周期的に特定することができる。

（４）前の期間に実行されなかった場合、サービスオペレータはアクティビティ管理システム内で修理ヒストリを見直し、それに問題点が場合はメンテナンスを変更するように修正アクションを開始する（例えば、訓練を改訂し、文書を改訂し、速報を送信する等）。（５）サービスオペレータが、新しいメンテナンス設計（例えば新しい指示毎にクリーニング）を通知する必要があると判断した場合は、サービスオペレータは問題と解決法の明細を作成し、古いメンテナンス設計を有する顧客をリストアップする。（６）問題点がメンテナンスに関係ないように思われ、前の期間に実行されていない場合、サービスオペレータは、分析の特別処置のための返却を生成する。

ＭＳ部品の処置推奨の生成
別の実施形態によれば、アクティビティ管理システムを用いてＭＳ部品の処置推奨を生成できる。この場合、種々のＭＳ部品状態の変化に対して処置の推奨を与えるアクティビティ管理システム内で、サービス設計者などのサービスオペレータは、例えば、標準的なＭＳ部品に対する標準的な処置（例えばスクラップ、在庫に戻すなど）と、特別な部品に対する特別な処置（例えば、修理のために返却、分析のために返却、交換のために返却）とを生成する。特別な処置が修理である場合、テクニカルサポートなどの別のサービスオペレータが処置推奨のために入力することができる。特別な処置が交換又は分析である場合は、テクニカルサポートなどの別のサービスオペレータが数量（例えば、購入又は試料分析バッチの所望の大きさなどに対して不具合発生の多さ）を入力できる。ＭＳ部品がアクティビティ管理システム内に存在しない場合は、新しい部品として入力することができる。例えば、Ｐ／Ｎ：「ＥＳ１Ｄ８０−１２３１−０１」、部品共通名称：「１２インチセラミックＥＳＣ」、部品正式名称：「Ｘ」、部品の種類：「ＥＳＣ」、寿命：「３０００」、特別処置：「ＳＤ２３」である。

ＭＳ部品の返却
別の実施形態によれば、アクティビティ管理システムを用いてＭＳ部品を返却する方法は、以下のステップを含むことができる。（１）ＭＳ部品の返却が要求されていることを識別する。（２）部品返却専門家などのサービスオペレータが、アクティビティ管理システム内でＭＳ部品返却システムタスクを生成する。ＭＳ部品返却システムタスクが個々のサービスタスク（典型的なケースと同様）と関連している場合は、アクティビティ管理システムはこのタスクを親タスクに関連付ける。（３）サービスオペレータがＭＳ部品のｓ／ｎを提供する（アクティビティ管理システムによって割り当てられた仮のｓ／ｎであっても）場合は、アクティビティ管理システムはＭＳ部品の特性／位置を表示し、処置を推奨する（例えば、特別なサービスオペレータに問い合わせる、所有者に与える、スクラップする、ＭＳ部品分析センターに送る、ＭＳ部品修理／クリーニングセンターに送る、在庫に戻す、トラブルシューティング用に保管するなど）。さらに、アクティビティ管理システムは、標準又は特別な処置構成に基づいてＭＳ部品を削除するかどうかを決定する。

（４）ＭＳ部品が分析又は修理／クリーニングのため返却される場合、アクティビティ管理システムは購入会計を推奨する（例えば、保証、契約、支払い済みサービス注文書（ＰＯ）、部門など）。（５）サービスオペレータはＭＳ部品の返却情報を確認して、必要に応じてアクティビティ管理システム内のいずれかの情報を編集する。アクティビティ管理システムは、サービスオペレータが（分析及び修理／クリーニングのため）積極的に購入会計を考慮するよう促す。部品注文担当者などの別のサービスオペレータは、必要に応じて２つ以上のＭＳ部品を返却に加えることができる。サービスオペレータは顧客からＰＯを得る前に分析／修理／クリーニングセンターから見積価格を得る必要があることもある。（６）在庫に戻された場合、アクティビティ管理システムは、アクティビティ管理システム内で、返却材料承認（ＲＭＡ）番号を承認し、入力するよう顧客サービスセンターに通知する。アクティビティ管理システムはＲＭＡ番号をサービスオペレータに送る。アクティビティ管理システムによって推奨されていない分析又は修理／クリーニングに戻る場合は、アクティビティ管理システムは、テクニカルサポートなどの別のサービスオペレータに、ＲＭＡ番号を承認及び入力することを通知する。アクティビティ管理システムによって推奨された分析又は修理／クリーニングに戻る場合、アクティビティ管理システムはＲＭＡ番号を承認して入力する。

（７）国外に出荷する場合、アクティビティ管理システムは、在庫品目でない出荷許可（ＮＩＳＡ）を生成する。（８）輸出入担当によって、サービスオペレータに請求書が送られる。（９）サービスオペレータはＭＳ部品を削除／封入する。アクティビティ管理システムはＭＳ部品を発注するためにＭＳ部品返却様式を生成する。サービスオペレータはこの様式を印刷し、これをＭＳ部品と請求書と共に発送する。（１０）サービスオペレータは、アクティビティ管理システム内で追跡番号を入力する。（１１）顧客サービスセンターはアクティビティ管理システム内で追跡番号を入力する。ＭＳ部品が単に在庫に戻されること又は新しいラベルを貼って在庫に戻されることを要求している場合は、アクティビティ管理システムは処置にクローズドをマーク付けする。ＭＳ部品が修理／クリーニング及び倉庫内に置かれる場合は、アクティビティ管理システムはアクティビティ管理システム内の特別な処置に基づく本質的価値を得て、購入会計（例えば、保証、支払い済みのサービスＰＯ（交換プログラム上の）等）の貸方に記入し、顧客サービスセンターに通知する。

ＭＳ部品の分析の実行
別の実施形態によれば、アクティビティ管理システムを用いてＭＳ部品の分析を実行する方法は以下のステップを含むことができる。（１）ＭＳ部品の分析が要求されていることを識別する。（２）部品分析センターがＭＳ部品／バッチを分析し、ＭＳ部品分析報告書とＭＳ部品分析請求書とを作成し、テクニカルサポート、部品返却担当者及び部品分析要求者など１人又は複数のサービスオペレータに通知し、ＭＳ部品をＭＳ部品所有者に発送する。ＭＳ部品がサービスプロバイダによって所有されている場合は、サービスプロバイダは、例えばＭＳ部品を修理又はスクラップすることを決定することがある。（３）テクニカルサポートなどのサービスオペレータが、アクティビティ管理システム内で（ｓ／ｎによって）ＭＳ部品又は（バッチが分析された場合は）ＭＳ部品番号にＭＳ部品分析報告書を添付し、各ＭＳ部品に対して処置はクローズドとマーク付けし、分析によってＭＳ部品は最終的に良好と示された場合には、ＭＳ部品を解決策の一部ではないとマーク付けする。（４）部品分析要求者などのサービスオペレータはＭＳ部品分析の支払いを作成する。

ＭＳ部品修理又はクリーニングの実行
別の実施形態によれば、アクティビティ管理システムを用いてＭＳ部品を修理又はクリーニングする方法は以下のことを含むことができる。（１）ＭＳ部品の修理又はクリーニングが要求されていることを識別する。（２）ＭＳ部品の修理／クリーニングセンターがＭＳ部品を修理／クリーニングし、ＭＳ部品修理／クリーニング報告書と部品修理／クリーニング請求書とを作成し、テクニカルサポート及び（例えば顧客又はサービスプロバイダの倉庫、顧客など）部品所有者など１人又は複数のサービスオペレータに通知し、ＭＳ部品を部品所有者に発送する。（３）テクニカルサポートなどサービスオペレータは、アクティビティ管理システム内で（ｓ／ｎによって）ＭＳ部品の修理／クリーニング報告書をＭＳ部品に添付し、処置にクローズドとマーク付けする。（４）ＭＳ部品所有者はＭＳ部品修理／クリーニング支払いを作成する。

ＭＳ部品改訂の実行
別の実施形態によれば、アクティビティ管理システムを用いたＭＳ部品改訂を実行する方法は以下の工程を含むことができる。（１）サービス管理者などのサービスオペレータは、ＭＳ部品の問題点／状況を定義し、新しいＭＳ部品の設計が要求されていることを識別する。（２）サポートする技術者などの別のサービスオペレータが、解決法を設計し、プロトタイプを構築し、解決法を検査する。（３）他のサービスオペレータ、すなわちサポートする技術者が、）購入されたＭＳ部品（例えば、在庫のある）と、設計されたＭＳ部品とＭＳ部品アセンブリに対する仕様書を作成する。仕様書は、供給者及び供給部品番号を含むことができる。仕様書は、テキスト、機械図面又は概略図又はそれらの組み合わせを含むこともできる。仕様書は改訂（例えば、フォーム、適合性又は機能に影響しない）をさらに含むことができる。（４）サポート技術者は、ＭＳ部品とＭＳ部品アセンブリと仕様書とに技術者番号を割り当てる。技術者番号は、バージョン（例えば、顧客、国名など）と添え字（例えば、後方互換性を示す）を含むことができる。（５）サポート技術者は、ＭＳ部品アセンブリに対してインデントされたＢＯＭを生成する。（６）サポート技術者はソフトウェアのリリースノートを作成する。

（７）サービスオペレータ、すなわちサービス管理者が、新しいＭＳ部品の設計が既存のサービス部品、例えばＭＳプラットフォーム又はＭＳツールを、それらが購入又は安全要件を満たすように設置される必要があると決定した場合には、サポート技術者は、フィールド変更通知（ＦＣＮ）（例えば、問題と解決法を記載した顧客受入れフォーム）と、古いＭＳ部品の設計を有するサービス部品のリストとを作成する（データはアクティビティ管理システムに格納できる）。サービス管理者が、新しいＭＳ部品の設計は新しいサービス部品にのみ、又は古いＭＳ部品が不合格又は磨耗した時又は顧客が購入したい時に既存のサービス部品に取り付ける必要があると判断した場合、サポート技術者は連続改良通知（ＣＩＮ）（状況を説明した報告書）と古いＭＳ部品の設計を有するサービス部品のリストとを作成する（データはアクティビティ管理システムに格納できる）。

フィールド変更通知（ＦＣＮ）の実行
別の実施形態によれば、アクティビティ管理システムを用いてフィールド変更通知（ＦＣＮ）を実行する方法は以下のステップを含むことができる。（１）サポート技術者などのサービスオペレータが、アクティビティ管理システムで、影響を受ける各サービス部品に対するＦＣＮ取付け説明書を作成する。新しいＭＳ部品が必要なＭＳ部品中にリストアップされる。（２）サポート技術者は、アクティビティ管理システム内で、サービス部品の検査、変更及びオペレーション説明をＦＣＮ取付け説明ステップに関連付けできる。（３）テクニカルサポートなどの別のサービスオペレータは、アクティビティ管理システム内でこのＦＣＮに対するＦＣＮ手順を作成する。その後、ＦＣＮを、例えば、再検討及び承認するために顧客に提示することができる。取付けＦＣＮステップの開始基準は、カレンダー、ウェハカウンタ又はＲＦタイマーに基づくことができる。（４）ＦＣＮ立案者などの別のサービスオペレータが、アクティビティ管理システム内で、影響を受けたサービス部品にＦＣＮ手順を割り当てる。（５）ＦＣＮ立案者は、自身が追跡を望む、アクティビティ管理システム内のＦＣＮ手順ステップにサービスオペレータ（指名された者）を割り当てる。

（６）ＦＣＮが顧客によって拒絶されると、サービス管理者などのサービスオペレータは、進行方法を決定することができる（例えば「古いＭＳ部品が故障／磨耗すると顧客は新しい設計を使用するか？又はサービスプロバイダは古いＭＳ部品を供給し続ける必要があるか？」）。（７）ＦＣＮが顧客によって承認される場合、ＦＣＮインストーラなどのサービスオペレータは、ＦＣＮ ＭＳ部品のＭＳ部品発注システムタスクを選択する。アクティビティ管理システムは、ＦＣＮ親タスクに関連し、ＦＣＮインストーラ及び顧客サービス部品に割り当てられたＭＳ部品発注システムタスクを生成する。

（８）サービス部品がＦＣＮインストールを要求していることを識別する。開始基準がカレンダーに基づく場合、時間が来るとアクティビティ管理システムがＦＣＮを始動する。開始基準がウェハカウンタ又はＲＦタイマーに基づいている場合、アクティビティ管理システムは、該当する場合は、機械カウンタが更新されると、ＦＣＮを始動する。サービスオペレータは、サービスオペレータがサービス部品をオペレーションするときは必ず、１日に１回サービス部品カウンタを更新することを要求される。サービス部品カウンタは、Ｅモニタリンングが確立されている場合は、実時間で更新できる。（９）ＦＣＮインストーラはアクティビティ管理システム内でＦＣＮ検査結果を記録する。ＦＣＮインストーラはＦＣＮ検査結果（例えば「Ｐ／Ｃ漏れ率を検査」）にアクセスし、それらの結果を表示することができる。結果記録例として、製品部品の種類：「ＰＣ」、製品Ｓ／Ｎ：「ＳＣＣＭ５５−ＰＣ１」、仕様名：「Ｐ／Ｃ漏れ率結果を自己検査」、目標：「３」、実際の最終検査：「２」及び任意のコメントである。（１０）ＦＣＮインストーラはアクティビティ管理システムにクローズドタスクを入力する。ＦＣＮインストーラはオープンタスクを別のＦＣＮインストーラに転送できる。（１１）ＦＣＮインストーラは、アクティビティ管理システムにおいてＫＰＩ（仕様）又は説明書を読み取ることができる。（１２）検査結果が不合格の場合、アクティビティ管理システムは、検査サブタスクに関連し、ＦＣＮインストーラと顧客サービス部品に割り当てられた修理システムタスクを生成する。アクティビティ管理システムはまた、不合格だったサービス部品の検査名詞（例えば「Ｐ／Ｃ漏れ率」）を入力する。

連続改良通知（ＣＩＮ）の実行
別の実施形態によれば、連続的改良通知（ＣＩＮ）は以下のステップを含むことができる。（１）サポート技術者などのサービスオペレータが、アクティビティ管理システムで、影響を受ける各サービス部品に対するＣＩＮ取付け説明書を作成する。新しいＭＳ部品が必要なＭＳ部品中にリストアップされる。（２）サポート技術者は、アクティビティ管理システム内で、サービス部品の検査変更及びオペレーション説明を、ＣＩＮ取付け説明ステップに関連付けできる。（３）テクニカルサポートなどの別のサービスオペレータは、アクティビティ管理システム内でこのＣＩＮに対するＣＩＮ手順を作成する。その後、ＣＩＮを、例えば、再検討及び承認するために顧客に提示することができる。取付けＣＩＮステップの開始基準は、カレンダー、ウェハカウンタ又はＲＦタイマーに基づくことができる。（４）ＣＩＮ立案者などの別のサービスオペレータが、アクティビティ管理システム内で、影響を受けるサービス部品にＣＩＮ手順を割り当てる。（５）ＣＩＮ立案者は、自身が追跡を望む、アクティビティ管理システム内のＣＩＮ手順ステップにサービスオペレータ（指名された者）を割り当てる。

（６）ＣＩＮが顧客によって拒絶されると、サービス管理者などのサービスオペレータは、進行方法を決定することができる（例えば「古いＭＳ部品が故障／磨耗すると顧客は新しい設計を使用するか？又はサービスプロバイダは古いＭＳ部品を供給し続ける必要があるか？」）。（７）ＣＩＮが顧客によって承認される場合、ＣＩＮインストーラなどのサービスオペレータは、ＣＩＮ ＭＳ部品のＭＳ部品発注システムタスクを選択する。アクティビティ管理システムは、ＣＩＮ親タスクに関連し、ＣＩＮインストーラ及び顧客機械に割り当てられたＭＳ部品発注システムタスクを生成する。

（８）サービス部品がＣＩＮインストールを要求していることを識別する。開始基準がカレンダーに基づく場合、時間が来るとアクティビティ管理システムＣＩＮを始動する。開始基準がウェハカウンタ又はＲＦタイマーに基づいている場合、アクティビティ管理システムは、該当する場合は、機械カウンタが更新されると、ＣＩＮを始動する。サービスオペレータは、サービスオペレータがサービス部品をオペレーションするときは必ず、１日に１回サービス部品カウンタを更新することを要求される。サービス部品カウンタは、Ｅモニタリンングが確立されている場合は、実時間で更新できる。（９）ＣＩＮインストーラはアクティビティ管理システム内でＣＩＮ検査結果を記録する。ＣＩＮインストーラはＣＩＮ検査結果（例えば「Ｐ／Ｃ漏れ率を検査」）にアクセスし、それらの結果を表示することができる。結果記録例として、製品部品の種類：「ＰＣ」、製品Ｓ／Ｎ：「ＳＣＣＭ５５−ＰＣ１」、仕様名：「Ｐ／Ｃ漏れ率結果を自己検査」、目標：「３」、実際の最終検査：「２」、実際：「Ｘ」及び任意のコメントである。（１０）ＣＩＮインストーラはアクティビティ管理システムにクローズドタスクを入力する。ＣＩＮインストーラはオープンタスクを別のＣＩＮインストーラに転送できる。（１１）ＣＩＮインストーラは、アクティビティ管理システムにおいてＫＰＩ（仕様）又は説明書を読み取ることができる。（１２）検査結果が不合格の場合、アクティビティ管理システムは、検査サブタスクに関連し、ＣＩＮインストーラと顧客サービス部品に割り当てられた修理システムタスクを生成する。アクティビティ管理システムはまた、不合格だったサービス部品の検査名詞（例えば「Ｐ／Ｃ漏れ率」）を入力する。

サービス管理ＫＰＩ分析
別の実施形態によれば、アクティビティ管理システムを用いてサービス管理ＫＰＩ分析を実行する方法は以下のステップを含むことができる。（１）アクティビティ管理システムはサービス管理者／監督者ＫＰＩＭＳダッシュボードを生成する。（２）サービス分析者などのサービスオペレータは、アクティビティ管理システム内でサービス管理者／監督者ＫＰＩＭＳダッシュボードの機能を分析する。サービス分析者は、サービス管理者／監督者ＫＰＩＭＳダッシュボードの種類（例えば、「全て」、「本人」、「本人の直属部下」、「本人部門」、「他者の直属部下」等）を選択する。アクティビティ管理システムは、カラム内でこれらＫＰＩを有するサービス管理者／監督者をリストアップする。例えば、場所、契約売上収益、契約利益、契約利益マージン、保証売上収益、保証利益、保証利益マージン、支払い済サービス売上収益、支払い済サービス利益、支払い済サービス利益マージン、残業（ＯＴ）コスト、遅延ＦＣＮ、システム遅延受諾、電話の増加等である。いずれのカラムも上又は下に分類できる。リストは（日付範囲を含んで）フィルターにかけることができる。（３）サービス分析者は、低下した機能に対する修正アクション及び予測機能に対する肯定アクションを起動する。アクティビティ管理システムは提案を提示する。（４）サービス管理者が肯定アクションを通告する必要があると決定する場合、サービス管理者はアクティビティ管理システム内で速報を生成する。

サービス契約ＫＰＩ分析
別の実施形態によれば、アクティビティ管理システムを用いてサービス契約ＫＰＩ分析を実行する方法は以下のステップを含むことができる。（１）アクティビティ管理システムはサービス契約ＫＰＩダッシュボードを生成する。（２）サービス分析者などのサービスオペレータは、アクティビティ管理システム内でサービス契約ＫＰＩダッシュボードの機能を分析する。サービス分析者は、サービス契約ＫＰＩダッシュボードの種類（例えば、「全て」、「製品特定」、「会社特定」等）を選択する。アクティビティ管理システムは、カラム内でこれらＫＰＩを有する各サービス部品をリストアップする。例えば、売上収益、利益、利益マージン、部品コスト、工数コスト、電話、電話の増加、修理時間、休止時間等である。いずれのカラムも上又は下に分類できる。リストは（日付範囲を含んで）フィルターにかけることができる。（３）サービス分析者は、低下した機能に対する修正アクション及び予測機能に対する肯定アクションを起動する。アクティビティ管理システムは提案を提示する。（４）サービス管理者などのサービスオペレータが修正アクション又は肯定アクション（例えば、サービス契約のキャンセル）を通告する必要があると決定する場合、サービス管理者はアクティビティ管理システム内で速報を生成する。

サービスワーカーＫＰＩ分析
別の実施形態によれば、アクティビティ管理システムを用いてサービスオペレータＫＰＩ分析を実行する方法は以下のステップを含むことができる。（１）アクティビティ管理システムはサービスワーカーＫＰＩダッシュボードを生成する。（２）サービス分析者などのサービスオペレータは、アクティビティ管理システム内でサービスワーカーＫＰＩダッシュボードの機能を分析する。サービス分析者は、サービスオペレータＫＰＩダッシュボードの種類（例えば、「全て」、「本人」、「本人の直属部下」、「本人部門」、「他者の直属部下」、「他者の部門」等）を選択する。アクティビティ管理システムは、カラム内でこれらＫＰＩを有する各サービスオペレータをリストアップする。例えば、場所、ショットガン、効果のない修正アクション、部門負担、遅延部品処置、工場労務工数、ＯＴ時間、請求できる時間、ＩＯＥ、電話、最終検査、起動、クリーニング、ＰＭ、修理、電話の増加等である。いずれのカラムも上又は下に分類できる。リストは（日付範囲を含んで）フィルターにかけることができる。（３）サービス分析者は、低下した機能に対する修正アクション及び予測機能に対する肯定アクションを起動する。アクティビティ管理システムは提案を提示する。（４）サービス管理者などのサービスオペレータが修正アクション又は肯定アクションを通告する必要があると決定する場合、サービス管理者はアクティビティ管理システム内で速報を生成する。

サービス部品ＫＰＩ分析
別の実施形態によれば、アクティビティ管理システムを用いてサービス部品（例えば、ＭＳプラットフォーム、ＭＳツール等）ＫＰＩ分析を実行する方法は以下のステップを含むことができる。（１）アクティビティ管理システムはサービス部品ＫＰＩダッシュボードを生成する。（２）サービス分析者などのサービスオペレータは、アクティビティ管理システム内でサービス部品ＫＰＩダッシュボードの機能を分析する。サービス分析者は、サービス部品ＫＰＩダッシュボードの種類（例えば、「全て」、「製品特定」、「会社特定」等）を選択する。アクティビティ管理システムは、カラム内でこれらＫＰＩを有する各サービス部品をリストアップする。例えば、契約売上収益、契約利益、契約利益マージン、契約部品コスト、契約工数コスト、保証売上収益、保証利益、保証利益マージン、保証部品コスト、保証工数コスト、支払い済サービス売上収益、支払い済サービス利益、支払い済サービス利益マージン、遅延ＦＣＮ、システム遅延受諾、電話、電話の増加、修理時間、休止時間等である。いずれのカラムも上又は下に分類できる。リストは（日付範囲を含んで）フィルターにかけることができる。（３）サービス分析者は、低下した機能に対する修正アクション及び予測機能に対する肯定アクションを起動する。アクティビティ管理システムは提案を提示する。（４）サービス管理者などのサービスオペレータが修正アクション又は肯定アクションを通告する必要があると決定する場合（例えば機械が工場に戻っている）、サービス管理者はアクティビティ管理システム内で速報を生成する。

顧客ＫＰＩ分析
別の実施形態によれば、アクティビティ管理システムを用いて顧客ＫＰＩ分析を実行する方法は以下のステップを含むことができる。（１）アクティビティ管理システムは顧客ＫＰＩダッシュボードを生成する。（２）サービス分析者などのサービスオペレータは、アクティビティ管理システム内で顧客ＫＰＩダッシュボードの機能を分析する。アクティビティ管理システムは、カラム内でこれらＫＰＩを有する各顧客をリストアップする。例えば、契約売上収益、契約利益、契約利益マージン、保証売上収益、保証利益、保証利益マージン、支払い済サービス売上収益、支払い済サービス利益、支払い済サービス利益マージン、ＯＴコスト、遅延ＦＣＮ、システム遅延受諾、電話の増加等である。いずれのカラムも上又は下に分類できる。リストは（日付範囲を含んで）フィルターにかけることができる。（３）サービス分析者は、低下した機能に対する修正アクション及び予測機能に対する肯定アクションを起動する。アクティビティ管理システムは提案を提示する。（４）サービス管理者などのサービスオペレータが修正アクション又は肯定アクションを通告する必要があると決定する場合（例えば、顧客が前もってＰＯを与える必要がある）、サービス管理者はアクティビティ管理システム内で速報を生成する。

安全性事故報告
別の実施形態によれば、アクティビティ管理システムを用いて安全性事故報告を実行する方法は以下のステップを含むことができる。（１）安全性事故が発生したことを識別する。（２）安全性事故報告者などのサービスオペレータは、アクティビティ管理システム内で安全性事故システムタスクを生成する。個々のサービスタスク（典型的なケースと同様）に関係する場合、アクティビティ管理システム安全性事故を親タスクに関連付ける。（３）サービスオペレータは安全性事故情報をアクティビティ管理システムに入力する。（４）アクティビティ管理システムは安全性事故報告を安全担当者（又は環境、健康、及び安全性グループ）に転送する。

サービス部品のオペレーション、検査、及び変更
別の実施形態によれば、サービス部品のオペレーション、検査及び変更を実行する方法は以下のステップを含むことができる。（１）サービス設計者などのサービスオペレータは、文書化するためにＭＳ部品のサービス部品ＢＯＭを生成する。例えば：製品＃：「Ｂ」、部品共通名：「Ｔｅｌｉｕｓプラットフォーム」、親製品＃：「Ａ２」。（２）サービス設計者はアクティビティ管理システム内でこのサービス部品から発生する新しいサービス部品検査名詞（例えば、「ＲＦ順方向電力レベル」）を生成する。（２）サービス設計者は、アクティビティ管理システム内でこのサービス部品から発生する新しい変更動詞（例えば、「クリーニングする」、「潤滑する」、「交換する」等）及び変更名詞（例えば、「ＥＳＣ」などのＭＳ部品の種類あるいは「一致モード」、「ＲＦ順方向電力レベル」）を生成する。（３）サービス設計者は、アクティビティ管理システム内でこのサービス部品から発生する新しいオペレーション動詞（例えば、「編集する」、「始動する」、「表示する」、「循環する」、「クローズする」）及びオペレーション名詞（例えば、「機械」、「パラメータ」）を生成する。（４）サービス設計者は、アクティビティ管理システム内でこのサービス部品に対するサービス部品検査（例えば、「Ｔｅｌｉｕｓ ＤＲＡＭ ＲＦ順方向電力レベルを検査」）を生成する。検査には、ＫＰＩ（仕様）を含むことができる。ＫＰＩ例：電力設定に一致前の電力計：目標：−−、単位：ワット、不合格下限：−３％、警告下限：−−、警告上限：−−、不合格上限：＋３％、オプション：Ｎｏ．、用途：ＵＭ。Ｓｕｂ−ＫＰＩ（最終検査、始動、クリーニング、ＰＭなどの特殊用途の対する変形形態）：目標：１０００、単位：ワット、不合格下限：−３％、警告下限：−−、警告上限：−−、不合格上限：＋３％、オプション：Ｎｏ．、用途：始動ｘ、ＰＭ ｙ。（５）サービス設計者は、アクティビティ管理システム内でこのサービス部品に対する変更（例えば、「Ｔｅｌｉｕｓ ＤＲＡＭ ＥＳＣをクリーニング」）を生成する。変更には始動、修正アクション、及び予防アクションを含むことができる。（６）サービス設計者は、アクティビティ管理システム内でこの部品に対するオペレーション（例えば、「新しい処理方法の生成」）を生成する。

図１９は本発明の実施形態を実現できるコンピュータシステム１２０１を示す。コンピュータシステム１２０１は、データ収集システム１０、データ記憶システム２０、サービスアクションシステム３０、又は図１のインタフェースのいずれか１つ又はすべてとして利用され、上述の機能のいずれか又はすべてを実行できる。コンピュータシステム１２０１はバス１２０２又は情報を通信するための他の通信メカニズムと、情報を処理するためのバス１２０２に接続されたプロセッサ１２０３とを含む。コンピュータシステム１２０１はさらに、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）又は他のダイナミック記憶デバイス（例えば、ダイナミックＲＡＭ（ＤＲＡＭ）、スタティックＲＡＭ（ＳＲＡＭ）及び同期ＤＲＡＭ（ＳＤＲＡＭ））などのメインメモリ１２０４を含み、このメインメモリはバス１２０２に接続されており、情報及びプロセッサ１２０３により実行される命令を格納する。さらに、メインメモリ１２０４は、プロセッサ１２０３による命令の実行の間に、一時的変数又は他の中間情報を格納するために利用できる。コンピュータシステム１２０１はさらに、バス１２０２に接続されて、静的情報及びプロセッサ１２０３のための命令を格納するリードオンリメモリ（ＲＯＭ）１２０５又は他のスタティック記憶デバイス（例えば、プログラマブルＲＯＭ（ＰＲＯＭ）、消去可能ＰＲＯＭ（ＥＰＲＯＭ）、及び電気的消去可能ＰＲＯＭ（ＥＥＰＲＯＭ））を含む。

コンピュータシステム１２０１はまた、バス１２０２に接続されたディスクコントローラ１２０６を含み、このコントローラ１２０６は、磁気ハードディスク１２０７のような情報及び命令を格納するための１つ以上の記憶デバイスと、リムーバブルメディアドライブ１２０８（例えば、フロッピー（登録商標）・ディスクドライブ、リードオンリ・コンパクトディスクドライブ、リード／ライト・コンパクトディスクドライブ、コンパクトディスク・ジュークボックス、テープドライブ、及びリムーバブル光磁気ドライブ）とを制御する。適切なデバイスインタフェース（例えば、ＳＣＳＩ（ｓｍａｌｌ ｃｏｍｐｕｔｅｒ ｓｙｓｔｅｍ ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）、ＩＤＥ（ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｄｅｖｉｃｅ ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ）、Ｅ−ＩＤＥ（ｅｎｈａｎｃｅｄ−ＩＤＥ）、ＤＭＡ（ｄｉｒｅｃｔ ｍｅｍｏｒｙ ａｃｃｅｓｓ）、ウルトラＤＭＡ（ｕｌｔｒａ−ＤＭＡ））を用いて、記憶デバイスをコンピュータシステム１２０１に追加できる。

コンピュータシステム１２０１はさらに、特殊目的論理デバイス（例えば、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ））又は設定変更可能論理デバイス（例えば、シンプル・プログラマブル論理デバイス（ＳＰＬＤ））、結合プログラマブル論理デバイス（ＣＰＬＤ）、及びフィールド・プログラマブル・ゲート・アレイ（ＦＰＧＡ）を含むこともできる。コンピュータシステムはさらに、例えば、テキサスインスツルメント（Ｔｅｘａｓ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ）社のＴＭＳ３２０シリーズのチップ、モトローラ（Ｍｏｔｏｒｏｌａ）社のＤＳＰ５６０００、ＤＳＰ５６１００、ＤＳＰ５６３００、ＤＳＰ５６６００、ＤＳＰ９６０００シリーズのチップ、ルセントテクノロジ（Ｌｕｃｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ）社のＤＳＰ１６００及びＤＳＰ３２００、又はアナログデバイス（Ａｎａｌｏｇ Ｄｅｖｉｃｅｓ）社のＡＤＳＰ２１００及びＡＤＳＰ２１０００シリーズなど、１つ以上のデジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）を含むこともできる。デジタルドメインに変換されたアナログ信号を処理するために特に設計された他のプロセッサを使用することもできる。

コンピュータシステム１２０１はさらに、バス１２０２に接続され、例えばＣＲＴ（陰極線管）などのディプレイ１２１０を制御するディスプレイコントローラ１２０９を含み、コンピュータユーザに情報を表示することもできる。コンピュータシステムは、キーボード１２１１及びポインティングデバイス１２１２などの入力デバイスを含み、これにより、コンピュータユーザと対話し、プロセッサ１２０３に情報を提供する。ポインティングデバイス１２１２は、例えばマウス、トラックボード、又はポインティングスティックであってもよく、これらにより、プロセッサ１２０３に方向情報及びコマンド選択を通信し、ディスプレイ１２１０上のカーソル移動を制御する。さらに、プリンタがコンピュータシステム１２０１により格納及び／又は生成されたデータの印刷リストを提供できる。

コンピュータシステム１２０１は、メインメモリなどのメモリに格納された１つ以上の命令の１つ以上のシーケンスを実行するプロセッサに応じて本発明の処理ステップの一部又は全部を実行する。このような命令は、ハードディスク１２０７又はリムーバブルメディアドライブ１２０８などの別のコンピュータ読取り可能媒体からメインメモリ１２０４に読み込まれる。マルチプロセス機構内の１つ以上のプロセッサを利用して、メインメモリ１２０４に格納された命令シーケンスを実行することもできる。代替の実施形態においては、ソフトウェア命令の代わり又はソフトウェア命令と組み合わせてハードワイヤ回路を使用できる。このように、本発明の実施形態はハードウェア回路及びソフトウェアの任意の特定の組み合わせに限定されるものではない。

上述のとおり、コンピュータシステム１２０１は少なくとも１つのコンピュータ読取可能媒体又はメモリを含み、これらは、本発明の教示に従ってプログラムされた命令を保持し、データ構造、テーブル、レコード、又は本明細書に記載される別のデータを格納する。コンピュータ読取可能媒体の例には、コンパクトディスク、ハードディスク、フロッピー（登録商標）ディスク、テープ、光磁気ディスク、ＰＲＯＭ（ＥＰＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ、フラッシュＥＰＲＯＭ）、ＤＲＡＭ、ＳＲＡＭ、ＳＤＲＡＭ、又は任意の他の磁気媒体、コンパクトディスク（例えば、ＣＤ−ＲＯＭ）、又は任意の他の光媒体、パンチカード、ペーパーテープ、又は孔のパターンを有する他の物理媒体、搬送波（以下に説明）、又はコンピュータが読取りできる任意の他の媒体がある。

本発明はコンピュータ読取可能媒体の任意の１つ又は組み合わせに格納されるソフトウェアを含み、このソフトウェアにより、コンピュータシステム１２０１を制御し、本発明を実施するデバイス又は複数デバイスを駆動し、コンピュータシステム１２０１とユーザ（例えば、プリント作成者）との対話を可能にする。このようなソフトウェアにはデバイスドライバ、オペレーションシステム、開発ツール、及びアプリケーションソフトウェアを含む（ただし、これらには限定されない）。このようなコンピュータ読取可能媒体にはさらに、本発明において実行される処理の全て又は一部（処理が分散している場合）を実行するための、本発明のコンピュータプログラムプロダクトを含む。

本発明のコンピュータコードデバイスは、スクリプト、機械言語に翻訳可能なプログラム、ダイナミックリンクライブラリ（ＤＬＬ）、Ｊａｖａ（登録商標）クラス及び完全な実行可能プログラムを含む（ただし、これらに限定されない）、任意の機械言語に翻訳可能なコード又は実行可能コードメカニズムであってもよい。さらに、本発明の処理の各部分を分散することにより、機能の向上、高信頼性、及び／又はコストダウンを実現できる。

本明細書で使用される用語「コンピュータ読取可能媒体」は、プロセッサ１２０３に実行のための命令を提供する任意の媒体を指す。コンピュータ読取可能媒体は、不揮発性媒体、揮発性媒体、及び伝送媒体を含む（ただし、これらには限定されない）様々な形態を取ることができる。不揮発性媒体には、例えば、ハードディスク１２０７又はリムーバブルメディアドライブ１２０８などの光ディスク、磁気ディスク、及び光磁気ディスクを含む。揮発性媒体には、メインメモリ１２０４のようなダイナミクメモリを含む。伝送媒体には、バス１２０２を形成するワイヤを含む同軸ケーブル、銅ワイヤ及び光ファイバが挙げられる。伝送媒体はさらに、無線波及び赤外線通信において生成される音波又は光波の形態を取ることができる。

コンピュータ読取可能媒体の様々な形態は、プロセッサ１２０３に実行のための１つ以上の命令の１つ以上のシーケンスの実行に含まれてもよい。例えば、命令は、最初は遠隔コンピュータの磁気ディスク上に格納されてもよい。遠隔コンピュータは、本発明の全て又は一部を実行する命令を遠隔のダイナミックメモリにロードし、その命令を、モデムを用いて電話線を介して送ることができる。コンピュータシステム１２０１のローカルモデムは電話線上のデータを受け取り、赤外線送信機を用いてデータを赤外信号に変換することができる。バス１２０２に接続された赤外線検出器は赤外信号で伝送されたデータを受け取り、そのデータをバス１２０２に乗せる。バス１２０２はデータをメインメモリ１２０４に送り、そのメインメモリからプロセッサ１２０３が命令を取り出して実行する。メインメモリ１２０４で受け取られた命令は、随意に、プロセッサ１２０３による実行の前又は後のいずれかに記憶デバイス１２０７又は１２０８に格納される。

コンピュータシステム１２０１はさらに、バス１２０２に接続されたコミュニケーションインタフェース１２１３を含む。コミュニケーションインタフェース１２１３は、例えばＬＡＮ（ｌｏｃａｌ ａｒｅａ ｎｅｔｗｏｒｋ）１２１５あるいはインターネットのような他のコミュニケーションネットワーク１２１６に接続されるネットワークリンク１２１４に接続する双方向データ通信を提供する。例えば、コミュニケーションインタフェース１２１３は、任意のパケット交換ＬＡＮに結合するネットワークインタフェースカードであってもよい。他の例として、コミュニケーションインタフェース１２１３は、通信ラインの対応する種類とのデータ通信コネクションを提供する非対称デジタル加入者線（ＡＤＳＬ）カード、総合サービスデジタルネットワーク（ＩＳＤＮ）カード、又はモデムであってもよい。無線リンクも実現できる。このような実現形態においては、コミュニケーションインタフェース１２１３は様々な種類の情報を表すデジタルデータストリームを搬送する電気信号、電気磁気信号又は光信号を送信及び受信する。

ネットワークリンク１２１４は一般に、１つ以上のネットワークを介する他のデータデバイスへのデータ通信を実現する。例えば、ネットワークリンク１２１４は、ローカルネットワーク（例えば、ＬＡＮ）を介して、あるいはコミュニケーションネットワーク１２１６を介する通信サービスを提供するサービスプロバイダによりオペレーションされる機器を介して、別のコンピュータとのコネクションを提供できる。ローカルネットワーク１２１４及びコミュニケーションネットワーク１２１６は、例えば、デジタルデータストリームを搬送する電気信号、電気磁気信号又は光信号と、結合された物理層（例えば、ＣＡＴ５ケーブル、同軸ケーブル、光ファイバ等）とを用いる。コンピュータシステム１２０１との間でデジタルデータを搬送する、様々なネットワークを介する信号及びネットワークリンク１２１４上の信号及びコミュニケーションインタフェース１２１３を介する信号は、ベースバンド信号又は搬送波ベースの信号の形態で実現されることが多い。ベースバンド信号はデジタル信号を、デジタルデータビットのストリームの記述である非変調電気パルスとして搬送する。ここでの用語「ビット」は広く記号を意味すると解釈されるべきであり、各記号は少なくとも１つ以上の情報ビットを搬送する。デジタルデータを用いて搬送波を振幅変調、位相変調及び／又は周波数偏移変調することにより、導電媒体を介して伝播するか、又は伝播媒体を介して電磁波として送信することができる。このように、デジタルデータは、非変調ベースバンドデータとして「有線」通信チャネルを介して送信し、及び／又は搬送波を変調することにより、ベースバンドと異なる所定の周波数帯域内で送信することができる。コンピュータシステム１２０１は、プログラムコードを含むデータを、ネットワーク１２１５及び１２１６、ネットワークリンク１２１４、及びコミュニケーションインタフェース１２１３を介して送信及び受信できる。さらに、ネットワークリンク１２１４はＬＡＮ１２１５を介して、ＰＤＡ（携帯情報端末）、ラップトップコンピュータ、又は携帯電話などのモバイル機器とのコネクションを実現できる。

これまで本発明の特定の単に例示的な実施形態を説明してきたが、当業者であれば、本発明の新しい教示及び利点から実質的に逸脱することなくこの例示的な実施形態に関する多くの変更形態が実現可能であることは容易に理解されるであろう。したがって、このような変更形態の全ては本発明の範囲に包含されるものとする。

本発明の実施形態によるアクティビティ管理システムの概略図を示す。 サービスオペレータが図１のアクティビティ管理システムにアクセスするための第１の例示的なオペレータインタフェースを示す。 サービスオペレータが図１のアクティビティ管理システムにアクセスするための第２の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図１のアクティビティ管理システムにアクセスするためのオペレータインタフェースの例示的な概略図を示す。 サービス機能にアクセスするための例示的なオペレータインタフェースを示す。 図３Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図３Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図３Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図３Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図３Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図３Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図３Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図３Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図３Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図３Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 別のサービス機能にアクセスするための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図４Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図４Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 別のサービス機能にアクセスするための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図５Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図５Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 別のサービス機能にアクセスするための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 別のサービス機能にアクセスするための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図７Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 別のサービス機能にアクセスするための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図８Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図８Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 別のサービス機能にアクセスするための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 別のサービス機能にアクセスするための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図８Ｅで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 別のサービス機能にアクセスするための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 別のサービス機能にアクセスするための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図１０Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図１０Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 別のサービス機能にアクセスするための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図１１Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 別のサービス機能にアクセスするための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図１２Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 別のサービス機能にアクセスするための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図１３Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 別のサービス機能にアクセスするための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図１４Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 別のサービス機能にアクセスするための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図１５Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図１５Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図１５Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 別のサービス機能にアクセスするための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図１６Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 別のサービス機能にアクセスするための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図１７Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 別のサービス機能にアクセスするための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図１８Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図１８Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図１８Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図１８Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 図１８Ａで描かれたサービス機能を実行するための別の例示的なオペレータインタフェースを示す。 本発明の実施形態を実行可能なコンピュータシステムを示す。

Claims (38)

1. 半導体製造に関係するサービスアクティビティを管理するためのアクティビティ管理システムであって、
   サービス部品とサービスオペレータとサービス会計とのうちの少なくとも１つに関係するサービスアクティビティデータを受取るように構成されたデータ収集システムと、
   前記データ収集システムに接続され、前記サービスアクティビティデータを格納するように構成されたデータ記憶システムと、
   前記データ収集システム及び前記データ記憶システムに接続されたサービスアクションシステムであって、前記サービスアクティビティデータを用いて、サービス部品の修理と、サービス部品の始動と、サービス部品の予防メンテナンスと、サービス部品のクリーニングと、サービス部品の改訂と、サービス部品の改良と、サービス部品の取外しと、サービス教育と、サービス共同作業とを実行することを含む、複数のサービス機能のうちの少なくとも２つを実行することによって、サービスアクションデータを提供するように構成されたサービスアクションシステムと、を備える、アクティビティ管理システム。
2. 前記複数のサービス機能は、プロジェクトアクションプランを設定すること、顧客アクションプランを設定することと、サービス部品オペレーション、検査及び修正アクションを設定することと、サービス部品文書を設定することと、拡大ホットボードを設定することと、キーポイントインジケータダッシュボードを設定することと、報告を作成することと、手順を設定することと、ジョブ明細を設定することと、ヘルプデスクアクションプランを設定することと、従業員アクションプランを設定することと、サービス契約を規定することと、サービス部品を定義することと、をさらに備える、請求項１に記載のアクティビティ管理システム。
3. 前記サービス部品は、製造システム（ＭＳ）プラットフォームと、製造システム（ＭＳ）ツールと、製造システム（ＭＳ）部品とのうちの少なくとも１つを含む、請求項１に記載のアクティビティ管理システム。
4. 前記ＭＳプラットフォームは、クラスタツール機構及びシリアルツール機構のうちの少なくとも１つを含む、請求項３に記載のアクティビティ管理システム。
5. 前記ＭＳツールは、エッチングシステムと、蒸着システムと、トラックシステムと、熱処理システムと、イオン注入システムと、リソグラフィーシステムと、平坦化システムと、計測システムと、検査システムとのうちの少なくとも１つを備える、請求項４に記載のアクティビティ管理システム。
6. 前記ＭＳ部品は、消耗部品及び非消耗部品のうちの少なくとも１つを備える、請求項４に記載のアクティビティ管理システム。
7. 前記サービス会計は、サービス契約と、サービス保証と、製造システム部門とのうちの少なくとも１つを含む、請求項１に記載のアクティビティ管理システム。
8. 前記収集システムと、前記データ記憶システムと、前記データアクションシステムとは、ウェブベースのソフトウェアアプリケーションとダウンロード可能なクライアントソフトウェアアプリケーションとのうちの少なくとも１つとして構成される、請求項１に記載のアクティビティ管理システム。
9. 前記データ収集システムに接続され、前記サービスオペレータに前記サービスアクティビティデータを前記データ記憶システムに入力するインタフェースを提供するように構成されたオペレータインタフェースであって、前記データアクションシステムに接続され、前記サービスオペレータに前記サービスアクションデータを前記データアクションシステムから抽出するインタフェースを提供するように構成されたオペレータインタフェースをさらに備える、請求項１に記載のアクティビティ管理システム。
10. 前記オペレータインタフェースはグラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）を含む、請求項９に記載のアクティビティ管理システム。
11. 前記データアクションシステムは、対話式ケーススタディを実行することによって前記サービス部品の修理を実行するように構成される、請求項１に記載のアクティビティ管理システム。
12. 前記サービスアクションシステムは、前記サービス部品に対する現在のサービスアクションを前記データ記憶システム内に格納された前記サービスアクティビティデータと付き合わせることにより、前記サービス部品に対する検査及び前記サービス部品に対する修正アクションのうちの少なくとも１つを実行する、請求項１１に記載のアクティビティ管理システム。
13. 前記サービスアクションシステムは前記検査の手順を提供するように構成される、請求項１２に記載のアクティビティ管理システム。
14. 前記サービスアクションシステムは前記修正アクションの手順を提供するように構成される、請求項１２に記載のアクティビティ管理システム。
15. 前記サービス部品はＭＳツールを含み、前記修正アクションは前記ＭＳツール内のＭＳ部品の交換を含む、請求項１２に記載のアクティビティ管理システム。
16. 前記アクティビティ管理システムは第１のＭＳ部品及び第２のＭＳ部品を追跡するように構成され、前記第１のＭＳ部品は前記ＭＳツール内の前記第２のＭＳ部品に置き換わる、請求項１５に記載のアクティビティ管理システム。
17. 前記サービスアクションシステムは前記検査の結果を用いて、前記データを前記データ記憶システム内に格納された前記サービスアクティビティデータと付き合わせることにより、前記サービス部品に対する別の検査及び前記サービス部品に対する別の修正アクションのうちの少なくとも１つを提供する、請求項１２に記載のアクティビティ管理システム。
18. 前記サービス部品は１つ以上のＭＳ部品を有するＭＳツールを備え、前記サービスアクションは前記１つ以上のＭＳ部品を前記ＭＳツールに関連付けるように構成される、請求項３に記載のアクティビティ管理システム。
19. 前記データ収集システムは、第１サービスオペレータが、従業員アクションプラン、顧客アクションプラン、及びプロジェクトアクションプランのうちの少なくとも１つに対するタスクを第２サービスオペレータに割り当てできるように構成される、請求項２に記載のアクティビティ管理システム。
20. 前記サービスアクションシステムは、サービスアクションデータを第１サービスオペレータに提供することにより、第２サービスオペレータの機能を評価するように構成される、請求項２に記載のアクティビティ管理システム。
21. アクティビティ管理システムを利用して半導体製造に関係するサービスアクティビティの実行を支援する方法であって、
    サービスオペレータと対話して、前記サービスオペレータからサービスアクティビティデータを収集するように構成されたデータ収集システムを設けることを備えた方法であり、前記サービスアクティビティデータがサービスオペレータとサービス部品とサービス会計のうちの少なくとも１つに関連付けされており、
    前記方法は、
    前記データ収集システムに接続され、前記サービスアクティビティデータを格納するように構成されたデータ記憶システムを設けることと、
    前記データ収集システム及び前記データ記憶システムに接続されたサービスアクションシステムを設けることと、
    を備え、
    前記サービスアクションシステムは、前記サービスオペレータと対話して、前記データ記憶システム内に格納された前記サービスアクティビティデータを用いて前記サービスオペレータにサービスアクションデータを提供することにより、サービス部品の修理と、サービス部品の始動と、サービス部品の予防メンテナンスと、サービス部品のクリーニングと、サービス部品の改訂と、サービス部品の改良と、サービス部品の取外しと、サービス教育と、サービス共同作業とを実行することを含む、複数のサービス機能のうちの少なくとも２つを実行し、
    前記方法は、さらに、
    前記サービスアクションデータを利用してサービスアクションを実行することを備える、方法。
22. 半導体製造に関係するサービスアクティビティを管理するためのアクティビティ管理システムであって、
    半導体製造サービスに関係するサービスアクティビティデータを収集するように構成されたデータ収集システムと、
    前記データ収集システムに接続され、前記サービスアクティビティデータを格納するように構成されたデータ記憶システムと、
    前記データ収集システム及び前記データ記憶システムに接続され、及びサービス部品のサービス機能及び非サービス部品のサービス機能を実行することにより、サービスアクションを実行する際にサービスオペレータを支援するように構成された、サービスアクションシステムと、を備える、アクティビティ管理システム。
23. 前記データ収集システムは、手動入力によって前記サービスアクティビティデータを収集するように構成される、請求項２２に記載のアクティビティ管理システム。
24. 前記データ収集システムは、自動入力によって前記サービスアクティビティデータを収集するように構成される、請求項２２に記載のアクティビティ管理システム。
25. 前記データ収集システムは、サービス部品とサービスオペレータとサービス会計とのうちの少なくとも１つに関係するサービスアクティビティデータを収集する、請求項２２に記載のアクティビティ管理システム。
26. 前記データ記憶システムは、サービス部品とサービスオペレータとサービス会計とのうちの少なくとも１つに関連する前記サービスアクティビティデータを格納する、請求項２２に記載のアクティビティ管理システム。
27. 前記サービスアクションシステムは、サービス部品の修理と、サービス部品の始動と、サービス部品の予防メンテナンスと、サービス部品のクリーニングと、サービス部品の改訂と、サービス部品の改良と、サービス部品の取外しと、サービス教育とのうちの少なくとも１つを実行することにより、前記サービス部品のサービス機能を実行するように構成される、請求項２２に記載のアクティビティ管理システム。
28. 前記サービスアクションシステムは、前記非サービス部品のサービス機能を実行するように構成されており、このサービス機能は、オペレータが、
    プロジェクトアクションプラン又は顧客アクションプランにインタフェースを介して接続することと、
    新検査又は修正アクションを統合するか、あるいは現在の検査又は修正アクションを修正することと、
    ＭＳプラットフォーム、ＭＳツール、ＭＳ部品、又はＭＳサービス契約に関連する新しい文書を入力することと、
    拡大ホットボードを再検討、入力、又は修正することと、
    キー機能インジケータ（ＫＰＩ）ダッシュボード、報告、手順、ジョブ明細、ヘルプデスクアクションプラン、従業員アクションプラン、又はファイルにアクセスすることと、
    他のサービスオペレータと共同作業することと、
    ＭＳサービス契約と、ＭＳプラットフォームと、ＭＳツールと、ＭＳ部品とに関連する情報にアクセスすることと、を実行することによりなされる、
    請求項２２に記載のアクティビティ管理システム。
29. 前記サービスアクションシステムはさらに、サービスアクションを実行するサービスオペレータにより使用されるサービスアクションを提供するように構成される、請求項２２に記載のアクティビティ管理システム。
30. コンピュータシステムを利用して、半導体製造に関係するサービスアクティビティを管理する方法であって、
    前記コンピュータシステムを利用して、半導体製造サービスに関係するサービスアクティビティデータを収集することと、
    前記コンピュータシステムを利用して、前記サービスアクティビティデータを格納することと、
    前記コンピュータシステムを利用して、サービス部品のサービス機能及び非サービス部品のサービス機能を実行することと、
    前記サービス部品のサービス機能又は非サービス部品のサービス機能の結果に基づいてサービスアクションを実行することと、を備える、方法。
31. 前記サービスアクティビティデータの前記収集方法は手動入力を備える、請求項３０に記載の方法。
32. 前記サービスアクティビティデータの前記収集方法は自動入力を備える、請求項３０に記載の方法。
33. 前記収集は、サービス部品とサービスオペレータとサービス会計とのうちの少なくとも１つに関係するサービスアクティビティデータを収集することを備える、請求項３０に記載の方法。
34. 前記格納は、サービス部品とサービスオペレータとサービス会計とのうちの少なくとも１つに関連する前記サービスアクティビティデータを格納することを備える、請求項３０に記載の方法。
35. サービス部品のサービス機能の前記実行は、サービスアクションデータを提供して、サービス部品修理の少なくとも１つを容易にすることと、サービス部品の始動と、サービス部品の予防メンテナンスと、サービス部品のクリーニングと、サービス部品の改訂と、サービス部品の改良と、サービス部品の取外しと、サービス教育とを提供することと、を備える、請求項３０に記載の方法。
36. 前記非サービス部品のサービス機能の実行は、サービスアクションデータを提供することを備え、このサービスアクションデータの提供は、オペレータが、
    プロジェクトアクションプラン又は顧客アクションプランにインタフェースを介して接続することと、
    新検査又は修正アクションを統合するか、あるいは現在の検査又は修正アクションを修正することと、
    ＭＳプラットフォーム、ＭＳツール、ＭＳ部品、又はＭＳサービス契約に関連する新しい文書を入力することと、
    拡大ホットボードを再検討、入力、又は修正することと、
    キー機能インジケータ（ＫＰＩ）ダッシュボード、報告、手順、ジョブ明細、ヘルプデスクアクションプラン、従業員アクションプラン、又はファイルにアクセスすることと、
    他のサービスオペレータと共同作業することと、
    ＭＳサービス契約と、ＭＳプラットフォームと、ＭＳツールと、ＭＳ部品とに関連する情報にアクセスすることと、を実行することによりなされる、請求項３０に記載の方法。
37. プロセッサで実行するためのプログラム命令を含むコンピュータ読取可能媒体であって、この命令はプロセッサにより実行されることにより、コンピュータシステムが請求項３０に記載の方法における各ステップを実行する、コンピュータ読取可能媒体。
38. 半導体製造に関係するサービスアクティビティを管理するためのアクティビティ管理システムであって、
    半導体製造サービスに関係するサービスアクティビティデータを収集する手段と、
    収集するための前記手段に接続された、前記サービスアクティビティデータを格納するための手段と、
    収集するための前記手段と格納するための前記手段とに接続され、サービス部品のサービス機能及び非サービス部品のサービス機能を実行することにより、サービスアクションを実行する際にサービスオペレータを支援する手段と、を備える、アクティビティ管理システム。

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