JP2007524127A - 可変光減衰器 - Google Patents
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Abstract
電気可変光減衰器(100、200、300、400、500、602、604、606)と、関連する方法が開示される。一態様では、減衰器(100、200、300、400、500、602、604、606)は減衰に影響を及ぼす変数に対してセンサ出力を供給する少なくとも一つのセンサ(710)を含む。減衰器(100、200、300、400、500、602、604、606)を特徴付ける方法は、一組の減衰/感知される変数のデータを取得し、感知される変数を減衰に関連付ける関係(例えば、ルックアップ・テーブルまたは数学関数)を生成することを含む。本発明の態様は、選択される数学関数によって関連付けられる制御入力/減衰出力を特徴付けることを含む。
Description
本発明は、可変光減衰器に関する。
光ネットワーク、例えば、電気通信ネットワークは多数の装置により構成されている。スイッチ、ルータ、カプラ、(デ)マルチプレクサ、および、増幅器は、ネットワークにおいて一般的である。これらの装置は、適切に機能するためには相互に互換性がなくてはならない、即ち、互換性のある信号を送受信できなくてはならない。幾つかのネットワークにおいて、この互換性は、ネットワーク電力レベルを管理する上で非常に重要な制約である、特定の強度範囲内の信号でネットワーク装置が動作することを必要とする。
システム設計者は、ネットワーク電力レベルを適切に管理するために光減衰器をよく使用する。これらの減衰器は、信号強度を制御可能に設定するためには独立型でもよく、また他の装置と一体化されてもよい。強度は、チャネル強度を標準化するために、増幅段のようなシリアル装置間、切換えバンクのような並列装置間、および、既存の波長分割多重方式(WDM)に組み込まれる減衰器のような単一の光学装置内で制御される。
多くの用途では、減衰器は、供給者によって製作され、供給者はネットワーク機器(スイッチ、ルータ等)を組立てる製造者に光学装置を供給する。異なるネットワークが異なる信号強度レベルに対して最適化されるようにするため、供給者は同一の光学装置を大量に作成し、その幾つかを、装置の製造者のニーズ、すなわち、特定のネットワークのニーズに合うよう調整する。
減衰量が調節可能である可変光減衰器(VOA)は既知である。VOAは、入力用導波管と出力用導波管との間の自由空間領域に配置されるブロッキング構造(例えば、移動可能な吸収装置、または、部分反射構造)により一般的に形成される。自由空間領域内のブロッキング構造の位置は、減衰量を決定する。シャッタ、ミラー、プリズム、更には、液晶構造がブロッキング構造として用いられる。
使用される別の減衰方法として、機械ばねを介してファイバをずらすものがあるが、同技法は結果として著しく温度に依存するので不安定である。ファイバ端部間の軸方向の分離も提案されているが、同方法は大幅な移動および高価な移動部を必要とする。
他の形態では、大きな切換え/減衰領域を形成するように、捻られて、融着される二つの導波管よりなる連続波減衰装置が開発されている。これら装置の幾つかは、選択的に切換えおよび減衰制御をするために、熱素子を用いる。偏向状態に基づいて減衰するためにファラデー回転装置またはポケットセル状の構造を用いるVOAも開発されている。
上述の技術は、幾つかの用途について有用であるが、製造コストが高くおよび動作が複雑である。更に、装置はかさばり、スペースが主な懸念事項であるネットワーキング環境との互換性がない。ネットワーク内に設置することも困難であるため、その設置によって、相当なネットワークの休止時間あるいは低速化を生ずる。より重要なことは、これらの多くの既知のVOA装置が相当量の意図しない、かつ、望ましくない損失をもたらす点である。例えば、挿入損失および偏光依存損失(PDL)は、既知のVOA装置の動作を大幅に制限する。更に、既知のVOAは、動作中に移動されるか押されると故障するといった安定性の問題も有する。さらに、VOAにおける温度変化は、望ましくない影響をもたらす。最後に、VOAがより微細な減衰制御を提供するようになっているので、いかなる原因によるエラーも益々あってはならなくなっている。
幾つかのVOA装置は、正確な減衰制御を提供するために、信号サンプリングおよびフィードバックを利用している。しかしながら、信号サンプリング方法はコストがかかり、実施するためにかなりのスペースを必要とする。更に、サンプリング・トランスデューサは、温度変化によって影響を受けるため、温度はサンプリング・トランスデューサを用いるシステムの減衰レベルにも影響を及ぼす。
したがって、過度にかさばらず、部分反射素子、サンプリング・トランスデューサ、または、熱スイッチ等の余分な構成要素を使用せず、製作用のコストが安く、且つ、より少ない損失とより高い安定性で動作するVOAが望まれている。
電気可変光減衰器と、関連する方法が開示される。一態様では、減衰器は減衰に影響を及ぼす変数に対してセンサ出力を供給する少なくとも一つのセンサを含む。減衰器を特徴付ける方法は、一組の減衰/感知される変数のデータを取得し、該感知される変数を減衰に関連付ける関係(例えば、ルックアップ・テーブルまたは数学関数)を生成することを含む。本発明の態様は、選択される数学関数によって関連付けられる制御入力/減衰出力を特徴付けることを含む。
好ましい実施例および多数のその代替例を以下に説明するが、これらは単なる例示であり、これらに限定されないことは当業者には理解されるであろう。反対に、本明細書に記載の技術は多数の光学装置で使用されることができる。更に、以下の記載は一般的に可変光減衰に関するが、当業者には明らかなように本明細書に記載の技術は他の目的のために導波管を移動させるのに使用されることができる。本明細書に記載の技術は、例示する実施例以外の構造における減衰以外の目的のために、導波管間のずれを修正するまたはずれを発生するために使用されてもよい。更に、静電アクチュエータの形態にある電気駆動アクチュエータが多くの実施例で記載されているが、他の電気駆動アクチュエータが全ての実施例において使用されることができる。電気駆動アクチュエータは、導波管の動きを作動させるために電気信号を受信する。実施例は、静電、電熱、および、電磁アクチュエータを含むが、当業者には他の電気機械アクチュエータを含む他の電気駆動アチュエータも既知であろう。
図1は、入力用導波管102を伝播する入力光信号が可変光減衰器106を介して出力用導波管104に伝播し出力光信号として出力される例示的なレーザ・システム100を示す。入力光信号は、ダイオード・レーザ、ガス・レーザ、増幅器、トランスポンダ、または、他のレーザあるいは光源からのものでもよい。入力光信号は、レーザ信号、または、代替的には、単一周波数レーザ・エネルギー、パルス化されたまたは連続的な波を運ぶ情報であってもよい。入力光信号は、例えば、光ファイバを介して可変光減衰器106に接続される。可変光減衰器106は、コントローラ108によって制御される。
可変光減衰器106は、入力光信号を受信し、コントローラ108の制御下で当該信号を減衰する。可変光減衰器106は、所望の強度の範囲を有する出力光信号を提供することができる。一般的な電気通信システムでは、0dB乃至20dBの減衰を必要とする。本実施例によると、40dB以上の減衰が実現される。コントローラ108は、可変光減衰器106によって提供される減衰量を決定する。一例では、可変光減衰器106は、二つの光学的に接続される導波管を有し、その少なくとも一方は他方に対して移動可能である。コントローラ108は、移動可能な導波管の位置を調節、設定、および/または決定するために、可変光減衰器106中の電気可変アクチュエータ(EVA)110に制御信号を供給する。電気可変アクチュエータが静電アクチュエータの場合、コントローラ108はアクチュエータ電極に駆動電圧を供給する。移動可能な導波管は、電極によって発生される静電気力により移動する。EVA110は、電熱または電磁アクチュエータでもよい。電熱アクチュエータは、コントローラ108から電気制御信号を受信して、減衰器106内で熱変化を生じ、例えば、移動可能な導波管の素子を加熱することにより、導波管を膨張させ偏向を生ずる。電磁アクチュエータは、電気信号を磁力に変換し、それにより、導波管を移動させる。
図2Aは、可変光減衰器106として使用され得る例示的な光減衰器200(図3Aおよび図3B参照)の一部分を示す図である。光減衰器200は、例示する実施例では光ファイバの形態である二つの導波管202、203を支持するベース部材201を含んでいる。ベース部材201の材料の例としてシリコンが挙げられる。第1の導波管202は、ベース部204と、終端206を有する移動可能な片持ち梁部205とを有する。第2の導波管203は、ベース部207と、可動でも固定でもよい片持ち梁部208とを有する。終端209は、片持ち梁部208の端部にある。
例示する未作動状態では、終端206と終端209とは、エネルギーの結合が最大になるように、2つの導波管が軸方向に整列されている。代替的には、終端206および209は、未作動位置では、ずれていてもよい。
片持ち梁部205および208は、例えば、フォトリソグラフィ定義または化学エッチング処理により、ベース部材201中に形成される凹部210上を延伸する。片持ち梁部205および208が凹部210上で懸架された状態では、一方のあるいは両方の終端206および209が自在に動く。一実施形態では、片持ち梁部205および208は、構造を元の位置に付勢する復元スプリング力を有する柔軟な材料である溶融石英から形成される。ファイバの例として、終端に角度のついたまたは平坦な端面を有するファイバであるシングル・モードのCorning社製のSMF−28(登録商標)が挙げられる。
ベース部204および207は、接着材料(図示せず)等を用いて第1および第2の支持部211および212に固定される。ベース部材201は、導波管202および203が溶融石英より形成されている場合に、導波管202および203の膨張係数と正確に合うよう溶融石英ウェハから製造される。支持部211および212は、ベース部204および207を受容する異方性エッチングされたV形溝214および216を有するシリコンウェハより形成される。V形溝214および216は、代替的には、機械的に形成されてもよい。V形溝214および216を軸方向に整列することにより、未作動位置にある終端206および209は整列される。しかしながら、V形溝214および216は、二つの導波管202および203が未作動位置において軸方向にずれるようずらされてもよい。導波管202および203は、軸方向に整列されると最大に結合され、ずらされると未作動の減衰された結合になる。
例示する実施例において、装置200は、一方の導波管202から他方の導波管203へ伝搬される信号を減衰するように、一方のあるいは両方の片持ち梁部205および208が移動される二重片持ち梁装置である。
図3Aおよび図3Bは、ベース部材201およびこれに取り付けられた上部材222を有する、組立てられた光減衰器200の断面図である。上部材222は、ベース部材201と略同一の構造である。上部材222は、電極218と同様の第3の電極226を有する凹部224を有する。凹部224および210により、例示する実施例では均一の深さを有する空洞225が形成される。第3の電極226および片持ち梁部208上の第4の電極228は、第2の電気可変アクチュエータを形成する。図3Bは、2つの間を伝搬する信号の所望の減衰を実現するために、図3Aにおいて、二つの片持ち梁部205および208がそれぞれの静電アクチュエータ電極218および226に向かって反対方向に偏向させた構造を示す。つまり、図3Aは、減衰が最小量となる第1の光減衰位置を示し、図3Bは所望の減衰量を実現するようにシステムを調節した第2の光減衰位置を示す。
図3Bでは、終端206および209は、光学的に接続されるが、距離dだけずらされているため光減衰を生ずる。光学的に接続される終端206および209の間の減衰は、軸方向のオフセットの関数、即ち、同軸上に整列される位置からのオフセットの関数として非線形に変化する。好ましい実施例では、終端206および209は、エネルギー伝達のために常に光学的に接続されている。
図3Aおよび図3Bは例示的な減衰状態を示す。片持ち梁部205の作動は、凹部210中の第1の電極218と、片持ち梁部205の第2の電極220とによって実現される。電極218および220は、第1の電子可変アクチュエータを形成する。第1の電極218は、凹部210に配置され、第2の電極220は片持ち梁部205のクラッディングの周りに配置される。片持ち梁部205は、ファイバの柔軟性が増加するように、細くなったファイバ部、つまり、クラッディングが減少されたまたはクラッディングがない部分を有してもよい。片持ち梁部205は、拡大されたコア部を有してもよい。例示する実施例では、片持ち梁部205および208は、温度および加速エラーをキャンセルするために長さおよび直径について幾何学的に整合されている。
動作において、コントローラ108のような制御装置は、終端206を凹部210内へ移動させるために電極218から電極220に静電アクチュエータ駆動信号を供給する。別の駆動信号が、片持ち梁部208を凹部224内へ移動させるために電極226および電極228に印加されてもよい。二つの駆動信号は、各片持ち梁部205、208を同じ大きさで反対方向に移動させる共通の駆動電圧でもよい。当然のことながら、二つの駆動信号は異なってもよい。一実施形態では、駆動信号はパルス幅変調(PWM)された電圧である。更に、駆動信号は、駆動信号電圧対所望の減衰値を記憶するルックアップ・テーブルから得られてもよい。ルックアップ・テーブルを作成するために組立体200に対して較正が行われる。更に、以下に更に説明するように、駆動信号はフィードバック・ループから得られてもよく、そこでは、駆動信号値は測定された減衰値または、例えば、容量、電圧、電流、インピーダンス、または、周波数のような電気量である偏向依存の測定パラメータ値に応答して決定される。
図4Aおよび図4Bは、図3Aおよび図3Bの構造200と同様の例示的な構造200’を示し、同一または同等物には、プライムが付けられた同一の参照番号が付与されている。図4Aおよび図4Bの実施例は、深さの変化する凹部210’を有するベース部材201’、および、深さの変化する凹部224’を有する上部材222’を含む。凹部210’および224’は、変化する深さを有する空洞225’を形成する。変化する深さの空洞は、所与の偏向をさせるための電圧の大きさを低下させる。
図5は、二つのV形溝支持部304および306と、凹部308とを有するベース部材302よりなる別の実施例の光減衰器300の一部分を示す図である。凹部308は、二つの側壁310、312を有する。電極314および316は、それぞれ、導波管320の片持ち梁部318に隣接する側壁310、312に配置されている。これらの電極314および316、並びに、本明細書に記載の他の同様の電極は、ベース部材302と直接的に接触しないように電気的に絶縁されている。本実施例では、導波管320は、終端321、および、支持部304で定位置に保持されるベース部323から少なくとも部分的に延伸する導電層322を有する光ファイバである。二つの電極324および326は、終端331、導電層332、および、支持部306で定位置に保持されるベース部333を有する光ファイバ330の片持ち梁部328に隣接する、凹部308の反対側の端部で位置決めされる。導電層322および332は、ファイバ320および330それぞれの周りに金属層を塗布または堆積することで形成される。化学的前駆体ステップ、または、物理的堆積処理を用いる無電解メッキ処理が使用されてもよい。光ファイバ320および330は、それぞれの片持ち梁部318および328が凹部308上を延伸した状態で位置決めされる。
図5には上部材334も示されている。上部材334は、二つの側壁338、340を有する凹部336を含む。凹部336と凹部308は、空洞342を形成し(図6参照)、その中で片持ち梁部318および328は偏向される。空洞342は、断面がダイアモンド形状でもよく、または、他の形状でもよい。ベース部材302と上部材334とは、図8に示す単一の構造を形成するために、接着、溶着、クランプ、あるいは、他の装着をされてもよい。電極344、346は、電極314および316のように、片持ち梁部318に対して作用するように側壁338、340に形成される。他方の電極348および350は、凹部336に形成され、電極324および326のように、片持ち梁部328に対して作用する。
上部材334は、支持部304および306とそれぞれ組み合わされるV形溝支持部352および354を含み、それぞれは、光ファイバ320および330のベース部323および333を囲む。
装置300の組立てられた部分の動作の実施例は、図6に部分的に示されている。この図は、図5の線BBに沿って切られた導波管330を終端331を背にして見た断面図であり、光ファイバ320の終端321を示している。装置300は、導波管の位置を制御するために多数の横方向のステアリング電極を用いている。電極314、316、346、および、344は、光ファイバ320を偏向するよう構成されている。図6に示す実施例では、320’はファイバ・コア356が未作動位置から距離d’だけオフセットされるよう第1の方向に偏向されたファイバ320を表す。320’’はファイバ・コア356が未作動位置から距離d’’だけオフセットされるよう第2の方向に偏向されたファイバ320を表す。ファイバ320は、図示する以外の方向に偏向されてもよい。例えば、図7は、垂直方向の位置320’および320’’に偏向される光ファイバ320を示す。図7に例示するように、導波管を移動させるのに隣接する電極を用いることで、静電駆動信号値を著しく減少させることができる。図6および図7では、ファイバ320は平行な第1および第2の方向(位置320’および320’’の方向)に移動されている。しかしながら、様々な方向への全範囲での移動が可能である。例示するように、装置300は、複数の電極314、316、344、346、および、324、326、348、および、350を含み、その幾つかは同一のまたは異なる駆動信号を受信する。更に、駆動信号は、ファイバ320および330間で、例えば、「フルオン」、「フルオフ」、または、「部分的減衰」位置のような、所望の未作動位置を実現するために固定の付勢電圧を有することができる。
光ファイバ330の偏向は、ファイバ320について図6及び図7に示す実施例と同様である。図6および図7の光ファイバ位置320が未偏向の軸方向に整列された位置であり、位置320’および320’’がずれた位置である。更に、V形溝の対304/352および306/354は軸方向に整列される一方で、その対は軸方向にずらされ、装置300にオフセットを組み入れてもよい。
光ファイバ320のベース部323は、支持部304および352中に配置される。支持部304は、金属層322と接触する電極360を有する。導電パッド362および364は、層322を電気的に励起するために使用される。電極314および316は、それぞれ導電パッド366および368に接続される。例えば、光ファイバ320を下方に偏向させるためには、駆動信号が、導電パッド362(および/または364)と導電パッド366および368の一方または両方とに印加される。上電極344および346は、上部材334がベース部材302上に搭載されると、それぞれ導電リード線370および372に接続される。図8に示すように、これらリード線は組立てられた装置300から露出されている。光ファイバ320を上方に偏向させるためには、パッド362(および/または364)とリード線370、および/またはリード線372に電圧が印加される。光ファイバ330の偏向は、リード線374および376、並びに、導電パッド378、380、382、および、384を用いて同様に実現される。
図9は、六つの壁404、406、408、410、412、および、414よりなる空洞402を有する別の光減衰器400の断面図である。ベース部材416および上部材418は、装置400を形成する。例示する実施例では、終端421を有する光ファイバ420は三つの異なる位置420、420’、および、420’’で示される。電極422、424、426、および、428は、ファイバ420上の導電性電極(図示せず)と共に、ファイバ420を偏向させる電気駆動アクチュエータを構成することに用いられる。制御は、図5について上述した方法と同様の方法で実現される。
図10は、三つの側壁504、506、および、508よりなる空洞502を有する別の光減衰器500の断面図である。ベース部材510および上部材512は、装置500を形成する。例示する実施例では、光ファイバ514は三つの異なる位置514、514’、514’’で示される。電極516、518、および、520は、ファイバ514上の導電性電極(図示せず)と共に、ファイバ514を偏向する電気駆動アクチュエータを構成することに用いられる。制御は、図5について上述した方法と同様ほ方法で実現される。
上述の実施例は、異なる方向に自在に偏向可能な一対の対称的な片持ち梁の導波管部分を使用すると、各導波管の偏向が少なくても、所与の減衰を実現できることを示している。その結果、導波管の片持ち梁の長さをより短くすること、共振周波数をより高くすること、および、応答時間をより早くすることが実現される。更に、エラーを引き起こす共通モードの加速偏向の取消が実現され、エラーを引き起こす温度は低減される。更に、自在に支持される片持ち梁の可動部分は、有底またはローリング接触領域がないためヒステリシスが少ないあるいは有さず、それにより、他の装置に影響を与える摩擦およびこすれが回避される。
前記空洞および凹部には他の幾何学的形状が使用されてもよい。例えば、凹部は、断面が湾曲されてもよく、即ち、半円形状でもよい。更に、代替的な電極の幾何学的形状またはパターンが使用されてもよい。電極の幾何学的形状および制御スキームは、例えば、不安定な静電スナップ・ダウン位置に到達する前に偏向量を増大させることに使用されてもよい。
スナップ・ダウンとは、ファイバ端部が引き寄せ電極(pulling electrode)と直接的に接触するように実際に移動するまでは、未制御に偏向されている状態である。この状態は次のことより生ずる。被覆される光ファイバと隣接する電極との間の静電力は、その二つの間の間隙の略逆二乗で増大する。つまり、該間隙の略二乗に反比例する。しかしながら、光ファイバにおける復元スプリング力は、偏向に対してリニアに増大する。駆動電圧が増加し、ファイバとこれに隣接する電極との間の間隙が減少すると、指数関数的に増大する静電力がファイバ中の線形に増大するスプリング力を超える不安定な点に到達し、ファイバは引き寄せ電極上に突然スナップ・ダウンされる。
スナップ・ダウン点は、凹部内の電極を、異なる駆動電圧を受ける多数の電極で置き換えることで調節される。好適なインターレース、または、インターデジタルな電極パターンは、本明細書で参照として組み込む“可変光減衰器(Variable Optical Attenuator)”なる名称の2002年9月30日に出願された同時継続出願である米国特許出願第10/261,111号に記載される。
多数の他の代替例が当業者には明らかであろう。例えば、誘電体油充填材料は、駆動電圧を減少し、振動を減衰し、且つ、端面反射を除去するために、装置200、300、400、および、500の空洞に用いられてもよい。最大で2kHzの環境振動の存在により、片持ち梁部はその共振周波数で振動する。片持ち梁部、即ち、ベース部から延伸する長さは、このような共振を防止するよう設計されている。充填材料を用いると、システムは、共振を除去または非常に減衰することができ、片持ち梁部に対してより長いアスペクト比を可能にする。
充填材料を有しても有さなくても、各可動部分に対して終端に角度を作ることが望ましい。例えば、8°の角度は、ファイバに戻る端面反射を減少させるために使用される。更に、各終端に対する反射防止コーティングは、伝達損失を減少させるために使用される。
図11は、個々に制御される可変光減衰器602、604、および、606よりなる可変減衰アレイ装置600を示す。アレイ装置600は、三つの異なる光通信路に同様のまたは異なる減衰レベルを設定するために用いられる。単一のコントローラは、装置602、604、および、606それぞれを個別に作動することができる。アレイ装置600は、追加的な、または、より少ない光減衰器を含んでもよい。各減衰器602、604、および、606は、装置200、300、400、500、または、本明細書に記載の他の装置のいずれであってもよい。
図12は、光減衰器を作動する例示的な処理システム700のブロック図である。制御ブロック702は、所望の減衰レベルを設定する入力信号またはコマンドを受信する。制御ブロック702は、メモリおよび読み取り可能且つ実行可能なソフトウェア・ルーチンを含む。制御ブロック702は、駆動電圧対減衰レベルを表すデータのルックアップ・テーブルを記憶またはアクセスする。制御信号はEVA(電子可変アクチュエータ)およびVOA(可変光減衰器)ブロック704に供給される。制御ブロック702は、組立体200、300、400、および/または500を含むEVAおよびVOAブロック704を制御する。ブロック704は、更に多数のアクチュエータを含む。ブロック704は、入力用導波管705aを介して光信号を受信し、その出力用導波管705bは、光出力電力を測定し、測定ブロック708に信号を供給する任意の光検出ブロック706に接続されている。
例えば、光減衰器200を有するシステム700を用いると、可動部分205は、電極218に印加されるDC信号によって偏向される。減衰が容量等の電気パラメータによって制御される場合、制御ブロック702は、電気パラメータの検出可能な値を検出するために、EVAおよびVOAブロック704を介して、電極218および電極220にAC信号を供給する。つまり、AC信号が、電極218、220間の実際の容量を検出するために用いられる。容量、電流、インダクタンス、周波数、および、他の電気パラメータは同様の方法で検出される。したがって、単一の電極対は、導波管の可動部分を偏向するために用いられ、且つ、フィードバック制御のために可動部分の位置に関連する電気パラメータの検出可能な値を決定または感知するために使用されることができる。代替的には、別個の電極が移動用および検出用に使用されてもよい。
一つの構成では、ブロック704からの検出可能な値は、実際のパラメータ値を得る(例えば、ファラッド単位で容量値を計算する)測定ブロック708に供給され、ブロック708は検出可能な値に基づいて距離または減衰を計算する。測定ブロック708は、図12に示す他のブロックを含むコントローラまたはプロセッサの一部でもよい。電気パラメータの検出された値は、ブロック708によって制御ブロック702に供給され、検出された値が所望の電気パラメータ値と等しいか否か判断される。制御ブロック702は、所望のずれまたは位置の値が得られたか否かを判断してもよい。二つの値が一致しない場合、制御ブロック702は、二つの値が一致するまで、一方のあるいは両方の可動部分を移動するようブロック704に指示する。二つの値が一致しても、所望の減衰が実現されない場合には、(即ち、判断がブロック706によって示される分離された光検出器と制御ブロック702に供給される入力を用いてなされた場合には、)制御ブロック702は所望の減衰が実現されるまでシステムにおける終端の位置を調節する。このような場合には、記憶されている減衰対電気パラメータ・データがもはや正確でないことを示すため、制御ブロック702は、ルックアップ・テーブルのデータを更新することができる。
したがって、図12は、光導波管の移動可能な片持ち梁部に対して閉ループの位置の安定化を実施するシステムを示している。制御システム700の多数の代替例は、当業者には既知であろう。実施例として、測定ブロック708は、温度を測定し、制御ブロック702と共にあるいは単独で、所与の所望の光減衰に必要な制御パラメータを決定するに使用される温度補償係数を提供する。図示するように、センサ710がVOAに接続されている。センサ710は、VOAの減衰に影響を及ぼす状態を感知するいかなる好適なセンサでもよい。好適なセンサ710は、好適な感知トランスデューサを用いて、温度、加速度、振動、および/または圧力を感知するために使用される。センサ710が温度センサを含む実施形態では、センサ710はVOAに熱的に接続されていることが好ましい。センサ710は、測温抵抗装置(RTD)、熱電対、サーミスタ、温度感知コンデンサ、または、VOAに隣接して配置される、あるいは、一体的に製作されるいかなる他の好適なタイプの温度センサでもよい。
センサがVOAと一体的に製造される実施形態では、幾つかの製造オプションが使用されることができ、例えば、薄膜抵抗器がVOA上に配置されることができる。代替的には、温度感知抵抗器がVOA基板に拡散配置されてもよい。更に別の実施形態では、温度感知コンデンサが、VOA基板上に作成されてもよい。これらの場合には、センサの電気特性(例えば、温度感知コンデンサの容量)は、温度により引き起こされる減衰に対するいかなる影響も改善されるように、測定ブロック708、および/または制御ブロック702によってモニタされる。これは、標準温度状態から温度センサによって測定される温度差の大きさおよび符号に基づいて、EVA704に供給される制御信号を制御ブロック702により増減させることで実現される。温度補正の精度は、各用途のニーズによって異なる。
波長依存損失(WDL)も本発明の実施形態により補償されることができる。図12は、制御ブロック702に入力波長の値を供給するWDLブロック714と、WDLブロック714に入る入力波長712を示す。本発明の実施形態は、WDL補償のみ、温度補償できるWDL補償、温度補償のみ、または、WDL補償、温度補償、および/またはVOAの近傍および/またはその中に配置される一つ以上のセンサを用いる他のタイプの補償の全ての組み合わせを利用することができる。ブロック714によって供給される波長信号は、基準波長と比較され、その比較は、移動可能な片持ち梁部の位置を調節するために用いられる。
図12の処理は、制御回路および記憶装置を有する光減衰器チップ上で実現される、または、この処理は外部の構成要素からなされてもよい。図示する処理は、更に、追加的な処理ブロック、および/またはキーボード、タッチ・スクリーン、または、他の手動の入力あるいはユーザ・インタフェース装置等の入力装置、並びに、コンピュータ・モニタのような出力装置を含むことは当業者には理解されるであろう。
図13は、光減衰器の代替的な処理システム800を示す図である。図示されているように、制御ブロック802は、記憶装置、または、ブロック802がEVAブロック804に駆動信号を供給するときに、導波管の可動部分を偏向する所望の駆動信号を決定するための、アクセスおよび読み取り可能な且つ実行可能なソフトウェア・ルーチンを有する。ブロック804は、VOAブロック806内で導波管または多数の導波管を偏向する。入力用導波管807aおよび出力用導波管807bは、VOA806に接続された状態で示されている。
図13は、更に、一定の駆動信号電圧がブロック804に印加されることを確実にする電力バックアップ・ブロック808を含み、制御ブロック802またはブロック804への電力が何らかの理由により除去された場合に、電力バックアップ・ブロック808がブロック804に電力を供給し、アクチュエータ電極に駆動信号を保持して、終端および可動部分をそのプレフォルト位置(pre−fault positions)で保持する。図13の処理は、障害の際でも所与の値に光減衰を維持する定位置保持制御である。代替的には、システム・ブロック800は、例えば、移動可能な導波管の減衰位置を、「フルオン」、「フルオフ」、または、「部分減衰」位置等の安定状態位置にリセットしてもよい。
電力バックアップ・ブロック808は、既知の方法で実現される。例えば、電池バックアップ、または、スーパーコンデンサのような制御された遅い漏洩の下で電力を供給するいかなる電源でもよい。電力バックアップ・ブロック808には様々な応答時間が使用され、好ましい実施形態では、電力バックアップ・ブロック808は、障害の際に終端位置が偏向されないように、電気接続810を介してEVAブロック804に連続的に接続される。
図14は、本発明の実施形態によるVOAを特徴付ける方法の略図である。方法900は、温度等の全ての変数に対してVOAを特徴付けるために実施される。更に、方法900は、追加的な変数に対してVOAを特徴付けるために繰り返される。この繰り返しは、特徴付けられるパラメータが互いに対して完全に独立するまで行われるべきである。例えば、方法900は、温度を特徴付けるために最初に実行され、その後、波長依存損失(WDL)を特徴付けるために実行される。同方法は、ブロック902から開始され、一つ以上の外部変数が決定される。変数の決定は、外部変数の測定、このような変数を一定レベルに維持する、または、このような変数を所望の設定値に設定することを含む。例えば、VOAが温度に対して特徴付けられるとき、外部変数(特徴付けの対象でない全ての変数)を決定する一例は、幾らかの固定の設定値に単一の波長強度を保持することによる。ブロック904では、特徴付けられた変数は初期設定で設定されるまたは測定される。ブロック906では、VOA減衰レベルが測定される。ブロック908では、特徴付けの対象が変更され測定される。ステップ908の実施例は、温度の特徴付けの際にVOA温度を単に増加することである。ステップ910では、同方法は、特徴付けを完了するに十分に変数が変更されたか否かをチェックする。特徴付けがまだ完全でない場合、制御は、ブロック906に戻り、減衰が測定され、記録される。この処理は、特徴付けが適切な間隔で変数の好適な範囲をスパンするまで続けられる。
ブロック910では、記録対または減衰レベル/測定変数が、測定された変数にVOA減衰を関連付ける特徴付けを発生するために使用される。好ましくは、この特徴付けは、特徴付けが行われた変数の範囲に対して使用される。しかしながら、本発明の実施形態は、特徴付け中に受ける以上に可変範囲に特徴付けを外挿することを含む。特徴付けは、ルックアップ・テーブルの生成、および/または特徴付けられた変数の関数として減衰レベル分散を近似することができる数学的関数に対する係数の計算を含む。一旦特徴付けが完了すると、特徴付けられた変数の変化は、効果的に補償される。複数の変数を特徴付けるために同方法900が数回にわたって実行される実施形態では、ルックアップ・テーブルが、全ての特徴付けに対応できるよう全ての好適な数のディメンジョンを有するようになる。例えば、温度およびWDLに対して特徴付けられるVOAは、入力波長および温度がVOA減衰補償レベルを得るために使用され得るように、二次元ルックアップ・テーブルを有することができる。
図14は、温度等の所与の変数に対してVOAを特徴付けることに注目しているが、同方法は、いかなる所望の関数にも当てはまるようにするために、可変制御入力に対するVOAの応答を測定するために使用されることができる。例えば、制御/減衰は、どの曲線にも特徴付けられる。減衰は、制御入力の線型関数、制御入力の対数関数、制御入力の指数関数、または、いかなる他の所望の関数でもよい。減衰レベルは、デシベルの単位で特徴付けられることが好ましい。本明細書に記載するように、デシベル(db)単位の減衰=10log10(Pout/Pin)であり、%単位の減衰=(Pout/Pin)*100%である。
入力/出力特徴性の一例は以下の通りである。特徴付けされていないVOAが制御入力スパンの75%に対して出力スパンの50%を提供すると仮定する。制御入力からの出力の特徴付けから結果として生ずる伝達関数は、入力対出力の非線形性を補正することができる。伝達関数は、制御入力に対して50%が供給される場合に50%の出力状態にVOAを駆動することができる。この補正は、適宜ルックアップ・テーブル、または、数学適合を用いて行われる。
特徴付けは、装置レベルおよび/またはモデル・レベルに対して実施され得る。例えば、各装置は、設置前および/または製造中に特徴付けされることができる。装置特定情報が補償に使用されることもできる。さらに、モデル・ベース情報は、当該モデル・タイプの全ての装置に対して少なくとも幾らかの特徴付けを提供するために製造中に得られる。
特徴付け情報を利用する補償計算は、VOAに位置する、または、それに近接する全ての好適な処理装置、または、全ての好適な外部装置によって実施される。さらに、処理装置がどのセンサ入力も受信することなく補償を行うことができるように、処理装置には、波長、温度等の予想される変数値が供給されてもよい。
本発明の教示により構成されるある装置を本明細書で記載したが、本特許が包含する範囲はそれに制限されない。反対に、本特許は、文字通り、または、均等論の下で添付の特許請求の範囲内に相当する本発明の教示の全ての実施形態を包含する。例えば、本発明の実施形態は減衰に影響を及ぼす変数に対して電気的に可変の光減衰器を補償することについて記載したが、本発明は、このような変数によって影響を及ぼされる全てのMEMSベースの光学装置に適用可能である。したがって、本発明は、MEMSベースの光スイッチ、および、MEMSベースの光マルチプレクサ等の装置に有用である。
102…入力光信号,104…出力光信号,106…可変光減衰器,108…コントローラ,110…電気可変アクチュエータ,201…ベース部材,202,203…導波管,205,208…片持ち梁部,206,209…終端,210,224…凹部,218…第1の電極,220…第2の電極,211,212…支持部,225…空洞,226…第3の電極,228…第4の電極,700…処理システム,702…制御ブロック,704…EVAおよびVOAブロック,705a…入力用導波管,705b…出力用導波管,706…光検出ブロック,708…測定ブロック,712…入力波長,714…WDLブロック
Claims (39)
- 終端をそれぞれが有し、電気駆動アクチュエータからの駆動により少なくとも一方の終端が他方の終端に対して移動可能である一対の導波管と、
減衰に影響を及ぼす変数を感知するために前記一対の導波管に対して配置され、前記変数に関連するセンサ出力を提供するセンサと、を備える電気可変光減衰器。 - 前記センサが温度センサである、請求項1記載の減衰器。
- 前記温度センサが少なくとも一方の導波管に近接して配置される、請求項2記載の減衰器。
- 前記温度センサが前記減衰器と一体的に形成される、請求項2記載の減衰器。
- 前記温度センサが可変コンデンサである、請求項4記載の減衰器。
- 前記温度センサが測温抵抗装置である、請求項4記載の減衰器。
- 第2の変数を感知するために配置された第2のセンサを更に備える、請求項2記載の減衰器。
- 前記第2のセンサが入力波長センサである、請求項7記載の減衰器。
- 前記センサが波長センサである、請求項1記載の減衰器。
- 前記センサが加速度センサである、請求項1記載の減衰器。
- 前記センサが振動センサである、請求項1記載の減衰器。
- 終端をそれぞれが有し、電気駆動アクチュエータからの駆動により少なくとも一方の終端が他方の終端に対して移動可能である一対の導波管と、
減衰に影響を及ぼす変数を感知するために前記一対の導波管に対して配置され、前記変数に関連するセンサ出力を提供するセンサと、
前記感知される変数に基づいて減衰レベルを補償するように構成されるコントローラと、を備える電気可変光減衰システム。 - 前記センサが温度センサである、請求項12記載のシステム。
- 前記温度センサが少なくとも一方の導波管に近接して配置される、請求項13記載のシステム。
- 前記温度センサが前記減衰器と一体的に形成される、請求項13記載のシステム。
- 前記温度センサが可変コンデンサである、請求項15記載のシステム。
- 前記温度センサが測温抵抗装置である、請求項15記載のシステム。
- 第2の変数を感知するよう配置される第2のセンサを更に備える、請求項13記載のシステム。
- 前記第2のセンサが入力波長センサである、請求項18記載のシステム。
- 前記コントローラが前記感知される変数を減衰に関連付けるルックアップ・テーブルを含むメモリを有する、請求項12記載のシステム。
- 前記ルックアップ・テーブルが多次元である、請求項20記載のシステム。
- 前記コントローラが前記感知される変数を減衰に関連付ける関数に対する係数を含むメモリを有する、請求項12記載のシステム。
- 前記センサが波長センサである、請求項12記載のシステム。
- 前記センサが加速度センサである、請求項12記載のシステム。
- 前記センサが振動センサである、請求項12記載のシステム。
- 電気可変光減衰システムを特徴付ける方法であって、
a)特徴付けられるべき変数の初期値を決定するステップと、
b)前記システムの光減衰を測定するステップと、
c)前記特徴付けられるべき変数を変化させ測定するステップと、
d)一組の減衰/変数対を生成するためにステップb)およびc)を繰り返すステップと、
e)前記一組の減衰/変数対で前記電気可変光減衰システムを特徴付けるステップと、を備える方法。 - 前記特徴付けステップが、前記一組の減衰/変数対に対してルックアップ・テーブルを記憶することを含む、請求項26記載の方法。
- 前記の方法が特徴付けられるべき第2の変数に対して繰り返される、請求項26記載の方法。
- 前記特徴付けステップが、前記一組の減衰/変数対に対して多次元のルックアップ・テーブルを記憶することを含む、請求項28記載の方法。
- 前記変数が温度である、請求項26記載の方法。
- 前記変数が前記システムに入力される光の波長である、請求項26記載の方法。
- 外部変数を決定するステップを更に備える、請求項26記載の方法。
- 電気可変光減衰システムを特徴付ける方法であって、
a)前記システムの光減衰を測定するステップと、
b)前記光減衰システムへの制御入力を変化させるステップと、
c)一組の減衰/変数対を生成するためにステップb)およびc)を繰り返すステップと、
d)所望の関係に従う制御信号を電気可変アクチュエータに供給するよう前記一組の減衰/変数対で前記電気可変光減衰システムを特徴付けるステップと、を備える方法。 - 前記減衰が前記制御入力の線型関数である、請求項33記載の方法。
- 前記減衰が前記制御入力の対数関数である、請求項33記載の方法。
- 前記減衰が前記制御入力の指数関数である、請求項33記載の方法。
- 終端をそれぞれが有し、電気駆動アクチュエータからの駆動により少なくとも一方の終端が他方の終端に対して移動可能である一対の導波管と、
予想パラメータの値を受信し、前記予想パラメータに基づいて減衰レベルを補償するように構成されるコントローラと、を備える電気可変光減衰システム。 - 前記予想パラメータが前記システムの動作温度である、請求項37記載のシステム。
- 前記予想パラメータが前記導波管を通過する光の波長である、請求項37記載のシステム。
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