JP2007503127A5 - - Google Patents

Claims (13)

1. ＩＣモジュールの電力消費が変動する間、前記ＩＣモジュールをほぼ設定点温度付近に維持するためのシステムであって、
   前記ＩＣモジュールに押し付けるためのシール付き開端を有する容器と、
   前記シールが前記ＩＣモジュールに押し付けられているときに、液体冷媒を前記ＩＣモジュールの予め定められた領域に噴霧するための前記容器内の少なくとも１つのノズルと、
   前記ＩＣモジュールの電力消費が変動する間、電磁放射を放出するために前記容器に結合される、前記ＩＣモジュールを加熱する種類である放射源と、
   前記液体冷媒と混じり合うことなく前記放射を前記源から受け取り、かつ、前記シールが前記ＩＣモジュールに押し付けられているときに前記液体冷媒が噴霧される前記ＩＣモジュールの実質的に同じ領域に前記放射を送るための、前記容器内の少なくとも１つの窓と、
   ａ）前記ＩＣモジュールの感知温度を表わすセンサ信号を受け取り、ｂ）前記感知温度が前記設定点を越える場合には、前記ノズルが前記液体冷媒を前記ノズルを介して前記ＩＣモジュールへ噴霧するようにさせる第１制御信号を発生し、かつｃ）前記設定点が前記感知温度を超える場合には、前記放射源が前記放射を前記窓を介して前記ＩＣモジュールへ放出するようにさせる第２制御信号を発生するための閉ループ制御手段と、
   を備えたシステム。
2. 前記閉ループ制御手段は、前記設定点と前記感知温度との間の差が増加するにつれて増加するＯＮ−ＯＦＦ比で第２制御信号を発生する、請求項１に記載のシステム。
3. 前記ノズルは前記容器内の相隔たる位置に複製され、かつ前記窓は前記相隔たる位置の間に複製される、請求項１に記載のシステム。
4. 前記窓は赤外放射を透過するが、前記冷媒を液体状態および気体状態の両方とも遮断する、請求項１に記載のシステム
5. 前記ノズルは前記容器内の相隔たる位置に複製され、かつ各ノズルは前記第１制御信号
   を受け取ったときに前記液体冷媒を一滴だけ噴出する、請求項１に記載のシステム。
6. 前記閉ループ制御手段は、前記感知温度と前記設定点との間の差が増加するにつれて増加する周波数で、前記ノズルの全てに同時に前記第１制御信号を送る、請求項５に記載のシステム。
7. 前記閉ループ制御手段は前記ノズルの部分集合に同時に前記第１制御信号を送り、前記感知温度と前記設定点との間の差が増加するにつれて、前記部分集合のノズルの数が増加する、請求項５に記載のシステム。
8. 各ノズルは、前記冷媒を圧電素子により押し出すことによって前記液滴を噴出する、請求項５に記載のシステム。
9. 各ノズルは、前記冷媒を電気ヒータで加熱することによって前記液滴を噴出する、請求項５に記載のシステム。
10. 各ノズルは、前記第１制御信号を受け取ったときに前記液体冷媒を複数滴噴霧する、請求項１に記載のシステム。
11. 前記閉ループ制御手段は、前記感知温度と前記設定点との間の差が増加するにつれて増加するＯＮ−ＯＦＦ比で前記第１制御信号を発生する、請求項１０に記載のシステム。
12. 前記シールは、ＩＣチップを密閉する前記ＩＣモジュールの表面を取り囲むように形作られる、請求項１に記載のシステム。
13. 前記シールは、前記ＩＣモジュール内のＩＣチップの露出表面を取り囲むように形作られる、請求項１に記載のシステム。