JP2007335454A - Equipment and method for cleaning circuit board - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To clean a circuit board effectively without imposing stress, or the like. <P>SOLUTION: A circuit board CQ is conveyed in the conveyance direction X by a substrate conveyance mechanism 200 having conveyance belts 9 and 10, and first and second nozzles NZL and NZU supported by nozzle transport mechanisms 300A and 300B are transported while opposing each other in the nozzle transporting direction Y intersecting the substrate conveyance mechanism X perpendicularly. Pressure of air injected from the first nozzle NZL toward the backside of the circuit board CQ is equalized to the pressure of air injected from the second nozzle NZU toward the surface of the circuit board CQ. Under a state where the circuit board CQ is held between both nozzles, air is injected to the surface and the backside of the circuit board CQ, thus cleaning the circuit board CQ. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、回路基板に付着している塵などの異物を除去する回路基板清浄装置と回路基板清浄方法に関する。   The present invention relates to a circuit board cleaning apparatus and a circuit board cleaning method for removing foreign matters such as dust adhering to a circuit board.

電子機器を製造する製造ラインでは、製品に接触不良や短絡などの電気的欠陥が生じることを防止したり、製品の品質向上などを図るため、要所の工程で、回路基板に付着している塵など(以下「異物」と総称する)を除去することが重要な課題となっている。   In production lines that manufacture electronic devices, they are attached to circuit boards in key steps to prevent electrical defects such as poor contact and short circuits from occurring in products and to improve product quality. Removing dust and the like (hereinafter collectively referred to as “foreign substances”) has become an important issue.

例えば、回路基板に配線パターンを形成する回路基板作成工程においては、所要の大きさの回路基板に裁断した際に生じた切削屑などの異物が付着したまま、その回路基板に配線パターンを形成すると、異物が介在して配線パターンの一部が断線したり、剥離したり、短絡するなどの問題が生じる場合があるため、配線パターンを形成する前に予め、回路基板に付着している異物を除去する必要がある。   For example, in a circuit board creation process of forming a wiring pattern on a circuit board, if a wiring pattern is formed on the circuit board while foreign matters such as cutting dust generated when cutting to the circuit board of a required size are attached In some cases, foreign matter may cause problems such as disconnection, peeling, or short-circuiting of part of the wiring pattern due to the presence of foreign matter. Need to be removed.

また、配線パターンが既に形成されている回路基板に、リフロー半田などによって、電子素子を半田付けする半田付け工程においては、その回路基板に微細な配線屑などの異物が付着したままで半田付けを行うと、例えば、異物が介在して電子素子間や配線パターン間や電子素子と配線パターンとの間で電気的短絡が生じたり、また、異物が介在して半田付け性が悪化して接触不良が生じる場合などがある。このため、半田付けの前に予め回路基板に付着している異物を除去する必要がある。   Also, in the soldering process in which electronic elements are soldered to a circuit board on which a wiring pattern has already been formed by reflow soldering or the like, soldering is performed with foreign matters such as fine wiring scraps attached to the circuit board. If this is done, for example, an electrical short circuit may occur between the electronic elements, between the wiring patterns, or between the electronic elements and the wiring pattern due to the presence of foreign matter, or the solderability may deteriorate due to the presence of foreign matter, resulting in poor contact. May occur. For this reason, it is necessary to remove the foreign substances adhering to the circuit board in advance before soldering.

また、半田付けが完了し電子素子が搭載された回路基板を用いて電子機器(製品)を組み立てるアッセンブル工程においては、回路基板に異物が付着していると、例えば、製品の品質が低下したり、回路基板に付着していた異物が組み立て後に剥離したり脱落などして他の電子素子に再付着し、接触不良や短絡などの電気的欠陥を招いたり、可動部品を備えた製品では異物が目詰まりの原因となったり、液晶ディスプレイなどの表示装置を備えた製品では、その表示面に異物が再付着して視認性の悪化を招く場合などがあることから、アッセンブルの前に予め回路基板に付着している異物を除去する必要がある。   Further, in the assembly process of assembling an electronic device (product) using a circuit board on which electronic elements are mounted after soldering is completed, for example, if a foreign substance adheres to the circuit board, the quality of the product may deteriorate. The foreign matter that has adhered to the circuit board will peel off or fall off after assembly and re-attach to other electronic elements, causing electrical defects such as poor contact and short circuit, and foreign matter in products with moving parts. In products with a display device such as a liquid crystal display, which may cause clogging, foreign matter may reattach to the display surface, resulting in poor visibility. It is necessary to remove foreign matter adhering to the surface.

このように、電子機器を製造する製造ラインでは、要所の工程で回路基板に付着している異物を除去することが必要となっており、また、異物は付着位置が不特定であり且つ微細であるため、従来から、効果的に清浄作業を行うことが可能な回路基板清浄装置の開発が望まれていた。   As described above, in a production line for manufacturing an electronic device, it is necessary to remove foreign matter adhering to a circuit board in a critical process, and the attachment position of the foreign matter is unspecified and fine. Therefore, it has been desired to develop a circuit board cleaning apparatus that can effectively perform cleaning work.

図1(a)〜(c)は、従来の回路基板清浄装置の構成を模式的に示した構成図である。   1A to 1C are configuration diagrams schematically showing a configuration of a conventional circuit board cleaning apparatus.

図1(a)に示す従来の回路基板清浄装置は、ベークライト樹脂やガラスエポキシ樹脂などの比較的硬質な絶縁材料で形成されている回路基板を清浄するために開発され、回路基板を搬送する搬送路と、清浄ローラと、清浄ローラに接触して一体に回転する粘着ローラと、付勢機構を有して構成されている。   The conventional circuit board cleaning device shown in FIG. 1 (a) was developed to clean a circuit board formed of a relatively hard insulating material such as bakelite resin or glass epoxy resin, and transports the circuit board. It comprises a path, a cleaning roller, an adhesive roller that rotates in contact with the cleaning roller, and an urging mechanism.

すなわち、図1(b)の平面図に示すように、搬送路は、回路基板の両端縁を支持して所定方向に搬送するベルトコンベアで構成されており、清浄ローラと粘着ローラは、表面がゴムなどの弾性材で形成された円筒状の回転ローラで形成され、搬送方向に対して直交して配置されると共に、搬送方向に向けて回転するようになっている。更に、清浄ローラと粘着ローラの表面には粘着剤が塗設されている。また、付勢機構は、清浄ローラと回路基板との機械的接触性を向上させるため、回路基板側に清浄ローラを付勢する構造となっている。   That is, as shown in the plan view of FIG. 1B, the transport path is configured by a belt conveyor that supports both ends of the circuit board and transports in a predetermined direction. It is formed of a cylindrical rotating roller made of an elastic material such as rubber, and is arranged orthogonal to the transport direction and rotates in the transport direction. Further, an adhesive is applied on the surfaces of the cleaning roller and the adhesive roller. The urging mechanism has a structure that urges the cleaning roller toward the circuit board in order to improve the mechanical contact between the cleaning roller and the circuit board.

そして、駆動モータの駆動力を受けてベルトコンベアが回路基板を搬送すると、清浄ローラが回路基板の表面に接触して異物を接着すると共に、清浄ローラに付着した異物を粘着ローラが更に接着して取り除くことで、回路基板に付着していた異物を除去(清浄)している。   When the belt conveyor conveys the circuit board under the driving force of the drive motor, the cleaning roller contacts the surface of the circuit board and adheres the foreign matter, and the adhesive roller further adheres the foreign matter attached to the cleaning roller. By removing, the foreign matter adhering to the circuit board is removed (cleaned).

また、図1(c)に示す従来の回路基板清浄装置では、図1(a)(b)に示した清浄ローラの代わりに、円筒状の回転ブラシが設けられており、ベルトコンベアで搬送中の回路基板の表面を回転ブラシでブラッシングすることで異物を掻き揚げ、その掻き揚げられた異物をポンプ等により吸引することで、回路基板に付着していた異物を除去(清浄)する構成となっている。   Further, in the conventional circuit board cleaning apparatus shown in FIG. 1C, a cylindrical rotating brush is provided instead of the cleaning roller shown in FIGS. 1A and 1B, and is being conveyed by a belt conveyor. The surface of the circuit board is brushed with a rotating brush to scrape foreign matter, and the scraped foreign matter is sucked with a pump or the like to remove (clean) the foreign matter attached to the circuit board. ing.

ところで、図1(a)(c)に示した従来の回路基板清浄装置では、清浄ローラや回転ブラシを回路基板に接触させて異物を除去するため、次のような問題があった。   By the way, in the conventional circuit board cleaning apparatus shown in FIGS. 1 (a) and 1 (c), the cleaning roller and the rotating brush are brought into contact with the circuit board to remove the foreign matter, and thus there are the following problems.

まず、図1(d)に示すように、清浄ローラや回転ブラシが回路基板に接触すると、付勢力によって回路基板に応力が掛かり、回路基板が変形して損傷しやすい等の問題があった。   First, as shown in FIG. 1D, when the cleaning roller or the rotating brush contacts the circuit board, the circuit board is stressed by the urging force, and the circuit board is easily deformed and damaged.

例えば、清浄ローラや回転ブラシで、上述の回路基板作成工程の前に回路基板を清浄すると、回路基板が変形して損傷しやすく、また、上述の半田付け工程の前に回路基板を清浄すると、回路基板が変形して損傷したり、変形した回路基板から配線パターンが剥離する等の問題があった。更に、回路基板自体が必ず平板となっているとは限らず、反りなどで変形や歪んでいる回路基板に対して、清浄ローラや回転ブラシを接触させて清浄すると、清浄ローラや回転ブラシがその回路基板の変形や歪みを矯正しつつ清浄することとなるため、回路基板に過大な応力を付与することとなり、回路基板が損傷したり、回路基板から配線パターンが剥離する等の問題があった。   For example, if the circuit board is cleaned with the cleaning roller or the rotating brush before the circuit board creating process, the circuit board is easily deformed and damaged, and if the circuit board is cleaned before the soldering process, There have been problems such as the circuit board being deformed and damaged, and the wiring pattern being peeled off from the deformed circuit board. Furthermore, the circuit board itself is not necessarily a flat plate. If a circuit board that is deformed or distorted due to warping or the like is cleaned by bringing a cleaning roller or a rotating brush into contact with the circuit board, the cleaning roller or the rotating brush becomes Since the circuit board is cleaned while correcting the deformation and distortion of the circuit board, excessive stress is applied to the circuit board, causing problems such as damage to the circuit board and peeling of the wiring pattern from the circuit board. .

また、清浄ローラや回転ブラシで、上述のアッセンブル工程の前に回路基板を清浄すると、回路基板が変形して損傷したり、変形した回路基板から配線パターンが剥離したり、応力が掛かった電子素子が配線パターンから外れて、接触不良を招く場合があった。更に、回路基板に搭載されている電子素子は一般に形状や大きさが異なっているため、定形の清浄ローラや回転ブラシでは、電子素子間の隙間内に付着している異物を除去できない場合があった。更に、電子素子が高密度で搭載(実装)されている回路基板を定形の清浄ローラや回転ブラシで清浄しようとしても、電子素子間の隙間内に付着している異物を除去することができない場合があった。   Also, if the circuit board is cleaned with the cleaning roller or the rotating brush before the above assembly process, the circuit board is deformed and damaged, the wiring pattern is peeled off from the deformed circuit board, or the stressed electronic element. Sometimes deviated from the wiring pattern, leading to poor contact. Furthermore, since the electronic elements mounted on the circuit board are generally different in shape and size, there is a case where the foreign substance adhering in the gap between the electronic elements cannot be removed with a regular cleaning roller or rotating brush. It was. In addition, even when trying to clean a circuit board on which electronic elements are mounted (mounted) with high density with a regular cleaning roller or rotating brush, it is not possible to remove foreign matter adhering in the gaps between the electronic elements. was there.

また、付勢機構には、清浄ローラや回転ブラシの付勢力を調整する機構が設けられているが、その調整量を回路基板毎に最適化することは極めて困難で、煩雑な調整作業を要する場合があった。   Further, the urging mechanism is provided with a mechanism for adjusting the urging force of the cleaning roller and the rotating brush, but it is extremely difficult to optimize the adjustment amount for each circuit board, and complicated adjustment work is required. There was a case.

更に、図1(a)に示した清浄ローラで異物を除去する回路基板清浄装置の問題点として、清浄ローラに塗設されている接着剤が回路基板に付着し、回路基板の表面を汚染する場合があった。そのため、回路基板に配線パターンを形成するための上記回路基板作成工程においては、接着剤で汚染された回路基板の表面に配線パターンを形成することが困難となり、再度清浄しなければならない等の問題があった。また、配線パターンが既に形成されている回路基板に電子素子を半田付けする上述の半田付け工程においては、接着剤で汚染された配線パターンの表面に半田が乗らず、配線パターンと電子素子との半田付け性が悪化する場合があった。   Furthermore, as a problem of the circuit board cleaning apparatus that removes foreign matter with the cleaning roller shown in FIG. 1A, the adhesive applied to the cleaning roller adheres to the circuit board and contaminates the surface of the circuit board. There was a case. Therefore, in the above circuit board preparation process for forming the wiring pattern on the circuit board, it becomes difficult to form the wiring pattern on the surface of the circuit board contaminated with the adhesive, and it is necessary to clean again. was there. Further, in the above-described soldering process in which the electronic element is soldered to the circuit board on which the wiring pattern is already formed, the solder does not get on the surface of the wiring pattern contaminated with the adhesive. Solderability sometimes deteriorated.

図1(c)に示した、回転ブラシで異物を除去する回路基板清浄装置では、回転ブラシに植設されているブラシ(植毛)の先端部で、清浄の際に回路基板の表面を傷つけたり、配線パターンを剥離させる等の問題があった。更に、ブラシ(植毛)の密度には限界があることから、上述の電子素子が高密度で搭載(実装)されている回路基板を清浄しようとしても、電子素子間の隙間内に付着している異物を除去することができない場合があった。   In the circuit board cleaning apparatus shown in FIG. 1 (c) that removes foreign matter with a rotating brush, the tip of the brush (planted hair) implanted in the rotating brush may damage the surface of the circuit board during cleaning. There was a problem such as peeling off the wiring pattern. Furthermore, since there is a limit to the density of the brush (planted hair), even if an attempt is made to clean the circuit board on which the above-described electronic elements are mounted (mounted) at a high density, they adhere to the gaps between the electronic elements. In some cases, foreign matters could not be removed.

なお、従来の回路基板清浄装置の問題点について例示したが、基本的には、清浄の際に回路基板に対してストレスやダメージ等を与えてしまい、また、十分な清浄効果が得られない場合があった。そのため、より効果的に清浄作業を行うことが可能な回路基板清浄装置の開発が望まれていた。   In addition, although the problem of the conventional circuit board cleaning device was illustrated, basically, it gives stress or damage to the circuit board during cleaning, and sufficient cleaning effect cannot be obtained was there. Therefore, it has been desired to develop a circuit board cleaning apparatus capable of performing cleaning work more effectively.

本発明は、こうした従来の課題に鑑みてなされたものであり、回路基板をより効果的に清浄することが可能な新規な構造を有する回路基板清浄装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of these conventional problems, and an object of the present invention is to provide a circuit board cleaning apparatus having a novel structure capable of more effectively cleaning a circuit board.

請求項1に記載の発明は、回路基板を清浄する回路基板清浄装置であって、前記回路基板を搬送する基板搬送機構と、前記基板搬送機構によって搬送される前記回路基板の裏面に噴射エアーを吹き付ける第1のノズル手段と、前記基板搬送機構によって搬送される前記回路基板の表面に噴射エアーを吹き付ける第2のノズル手段と、前記第1,第2のノズル手段の前記噴射エアーを噴射する噴出口を対向させて、前記第1,第2のノズル手段を支持するキャリッジ機構と、前記第1,第2のノズル手段に同じ圧力の圧縮空気を供給して、前記第1,第2のノズル手段の前記噴出口から同じ圧力で前記噴射エアーを噴射させる圧縮空気供給手段と、を具備し、前記対向された第1,第2のノズル手段の噴出口から噴射される噴射エアーの間に前記回路基板を挟んで、前記回路基板の裏面と表面を清浄すること、を特徴とする。   The invention according to claim 1 is a circuit board cleaning device for cleaning a circuit board, wherein a substrate transport mechanism that transports the circuit board, and jet air is applied to a back surface of the circuit board that is transported by the substrate transport mechanism. First nozzle means for spraying, second nozzle means for spraying spray air onto the surface of the circuit board transported by the substrate transport mechanism, and jet for spraying the spray air of the first and second nozzle means A carriage mechanism that supports the first and second nozzle means with the outlets facing each other, and compressed air of the same pressure is supplied to the first and second nozzle means, and the first and second nozzles Compressed air supply means for injecting the jet air from the jet outlet of the means at the same pressure, between the jet air jetted from the jet outlets of the opposed first and second nozzle means Across the circuit board, to clean the back surface and the surface of the circuit board, and wherein.

本発明の好適な実施形態について、図面を参照して説明する。なお、図2は、本実施形態の回路基板清浄装置1の外部構成を表した斜視図、図3は、清浄機構100の要部構造を表した斜視図である。   Preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 2 is a perspective view showing an external configuration of the circuit board cleaning apparatus 1 of the present embodiment, and FIG. 3 is a perspective view showing a main part structure of the cleaning mechanism 100.

図2において、この回路基板清浄装置1は、直方体形状の筐体2内に後述の清浄機構(図3参照)100が設けられている。   In FIG. 2, the circuit board cleaning apparatus 1 is provided with a cleaning mechanism 100 (see FIG. 3) described later in a rectangular parallelepiped housing 2.

筐体2の前面には、操作部3と、内部の清浄機構100を視認するためのガラス窓で形成された視認窓4と、後述の集塵網NT等を出し入れするための開閉扉5が設けられている。   On the front surface of the housing 2, there are an operation unit 3, a viewing window 4 formed of a glass window for visually recognizing the internal cleaning mechanism 100, and an open / close door 5 for taking in and out a dust collection net NT and the like described later. Is provided.

筐体2の左側の側面には、回路基板を導入するための搬入口6が設けられている。筐体2の右側の側面には、清浄後の回路基板を導出するための搬出口(図示略)が、搬入口6とほぼ同じ高さで設けられている。そして、筐体2内において、上述の搬入口6と搬出口の間に、清浄機構100が設けられている。   On the left side surface of the housing 2, a carry-in port 6 for introducing a circuit board is provided. On the right side surface of the housing 2, a carry-out port (not shown) for leading out the cleaned circuit board is provided at almost the same height as the carry-in port 6. And in the housing | casing 2, the cleaning mechanism 100 is provided between the above-mentioned carrying-in entrance 6 and carrying-out exit.

操作部3には、清浄機構100の動作状態を数値や画像で表示する液晶ディスプレイ3aと、操作者が清浄機構100の動作を調整等するための各種操作スイッチB1〜B5等が設けられている。   The operation unit 3 is provided with a liquid crystal display 3a that displays the operation state of the cleaning mechanism 100 with numerical values and images, and various operation switches B1 to B5 for an operator to adjust the operation of the cleaning mechanism 100, and the like. .

ここで、操作スイッチB1は主電源投入スイッチ、操作スイッチB2は、後述の搬送動作の開始又は停止を指示するための運転制御スイッチ、操作スイッチB3は、後述する回路基板の搬送速度を多段階で調整するための多段階調整ボタンスイッチ、操作スイッチB4は、後述のノズル移送速度を多段階で調整するための多段階調整ボタンスイッチ、操作スイッチB5は、後述のノズルNZL,NZUから噴射される噴射エアーの圧力を多段階で調整するための多段階調整ボタンスイッチとなっている。   Here, the operation switch B1 is a main power-on switch, the operation switch B2 is an operation control switch for instructing the start or stop of a later-described transport operation, and the operation switch B3 is a circuit board transport speed described later in multiple stages. A multistage adjustment button switch for adjusting, an operation switch B4 is a multistage adjustment button switch for adjusting a nozzle transfer speed described later in multiple stages, and an operation switch B5 is an injection injected from nozzles NZL and NZU described later. It is a multi-stage adjustment button switch for adjusting the air pressure in multiple stages.

また、操作部3の背面側には、清浄機構100の動作を制御する制御回路ユニット(図4(b)参照)400が設けられており、作業者が操作した操作スイッチB1〜B5等からの指令を受けて制御回路ユニット400が、清浄機構100の動作を制御する。   Further, a control circuit unit (see FIG. 4B) 400 for controlling the operation of the cleaning mechanism 100 is provided on the back side of the operation unit 3, and the operation switches B1 to B5 operated by the operator are provided. In response to the command, the control circuit unit 400 controls the operation of the cleaning mechanism 100.

次に、清浄機構100の構造について図3を参照して説明する。
なお、以下の説明において、搬入口6から搬出口の方向を基板搬送方向X、基板搬送方向Xに対して直交する水平方向をノズル移送方向Y、ノズルNZL,NZUが移送される軌跡を移送軌跡Ygとして説明する。また、ノズルNZL,NZUは移送軌跡Ygに沿って、所定のホームポジションHP(X0,YO)とエンドポジションEP(X0,Ye)の間で移送されるものとして説明する。
Next, the structure of the cleaning mechanism 100 will be described with reference to FIG.
In the following description, the direction from the carry-in port 6 to the carry-out port is the substrate transport direction X, the horizontal direction orthogonal to the substrate transport direction X is the nozzle transport direction Y, and the trajectory in which the nozzles NZL and NZU are transported is the transport trajectory. This will be described as Yg. The nozzles NZL and NZU will be described as being transferred between a predetermined home position HP (X0, YO) and an end position EP (X0, Ye) along the transfer locus Yg.

図3において、清浄機構100は、搬入口6から導入された回路基板を基板搬送方向Xへ搬送して搬出口へ搬出する基板搬送機構200と、ノズルNZL,NZUをノズル移送方向Yへ移送するキャリッジ機構300と、ノズルNZL,NZUに高圧の圧縮空気を供給するための圧縮空気供給機構(図示略)を備えて構成されている。   In FIG. 3, the cleaning mechanism 100 transports the circuit board introduced from the carry-in entrance 6 in the board transport direction X and transports the circuit board to the carry-out exit, and the nozzles NZL and NZU in the nozzle transport direction Y. The carriage mechanism 300 includes a compressed air supply mechanism (not shown) for supplying high-pressure compressed air to the nozzles NZL and NZU.

基板搬送機構200は、搬入口6と搬出口との開口幅に合わせて、対向配置された搬送プーリー7a〜7d及び8a〜8dと、搬送プーリー7a〜7dに捲装された狭幅の搬送ベルト9と、搬送プーリー8a〜8dに捲装された狭幅の搬送ベルト10と、搬送プーリー7a,8aを同じ速度で回転させる駆動モータMTDとを備えて構成されている。   The substrate transport mechanism 200 includes transport pulleys 7a to 7d and 8a to 8d arranged to face each other according to the opening width between the transport inlet 6 and the transport outlet, and a narrow transport belt mounted on the transport pulleys 7a to 7d. 9, a narrow conveyor belt 10 mounted on the conveyor pulleys 8 a to 8 d, and a drive motor MTD that rotates the conveyor pulleys 7 a and 8 a at the same speed.

搬送プーリー7a〜7c,8a〜8cが搬入口6側に設けられ、搬送プーリー7d,8dが搬出口側に設けられ、搬送プーリー7a,8aが駆動モータMTDの駆動軸11に連結され、搬送プーリー7b,7dによって張設されている搬送ベルト9の上側部分と搬送プーリー8b,8dによって張設されている搬送ベルト10の上側部分が、搬入口6と搬出口の高さに位置合わせされている。   The transport pulleys 7a to 7c and 8a to 8c are provided on the carry-in entrance 6 side, the transport pulleys 7d and 8d are provided on the carry-out exit side, the transport pulleys 7a and 8a are connected to the drive shaft 11 of the drive motor MTD, and the transport pulley The upper part of the conveyor belt 9 stretched by 7b and 7d and the upper part of the conveyor belt 10 stretched by the conveyor pulleys 8b and 8d are aligned with the heights of the carry-in entrance 6 and the carry-out exit. .

駆動モータMTDの駆動力を受けて搬送プーリー7a,8aが正転すると、搬送ベルト9,10が搬送動作を開始し、搬入口6を介して導入された回路基板CQを基板搬送方向Xへ搬送する。つまり、上述した搬送ベルト9,10の上側部分が搬送路となっており、搬送路の範囲内で、搬送ベルト9,10が回路基板CQの両端縁を支持しつつ基板搬送方向Xへ搬送する。   When the transport pulleys 7a and 8a rotate forward in response to the driving force of the drive motor MTD, the transport belts 9 and 10 start the transport operation and transport the circuit board CQ introduced through the transport inlet 6 in the substrate transport direction X. To do. That is, the upper portions of the above-described transport belts 9 and 10 form a transport path, and the transport belts 9 and 10 transport in the substrate transport direction X while supporting both ends of the circuit board CQ within the transport path. .

更に、搬送ベルト9の上側部分を覆う案内部材12が、基板搬送方向Xに沿って延設され、搬送ベルト10の上側部分を覆う案内部材(図示略)も基板搬送方向Xに沿って延設されている。かかる構造により、搬送中の回路基板CQの両端縁を案内部材12と上述の図示していない案内部材で規制し、回路基板CQを搬送ベルト9,10から脱落させることなく搬送するようになっている。   Further, a guide member 12 that covers the upper portion of the transport belt 9 extends along the substrate transport direction X, and a guide member (not shown) that covers the upper portion of the transport belt 10 also extends along the substrate transport direction X. Has been. With this structure, both end edges of the circuit board CQ being transported are regulated by the guide member 12 and the guide member (not shown), and the circuit board CQ is transported without being dropped from the transport belts 9 and 10. Yes.

更に、搬送路内を通過する回路基板CQを検出する検出素子(本実施形態では光センサ)PSが、搬送路内の搬出口側の所定位置に設けられ、搬送路内に光を照射し、搬送中の回路基板CQで反射された反射光を検出することで、回路基板CQを検出する。なお、検出素子PSの光照射位置の詳細については後述することとする。   Furthermore, a detection element (in this embodiment, an optical sensor) PS for detecting the circuit board CQ passing through the conveyance path is provided at a predetermined position on the carry-out side in the conveyance path, and irradiates light into the conveyance path. The circuit board CQ is detected by detecting the reflected light reflected by the circuit board CQ being conveyed. The details of the light irradiation position of the detection element PS will be described later.

更に、搬送機構100の下方には、回路基板CQや搬送ベルト9,10を清浄する際に落下してくる塵などの異物を収集する集塵網NTを備えた集塵箱ASが設けられ、図2に示した開閉扉5を開くと、集塵網NTを脱着して、収集した異物を廃棄処理することが可能となっている。   Further, below the transport mechanism 100, a dust collection box AS including a dust collection net NT that collects foreign matters such as dust falling when the circuit board CQ and the transport belts 9 and 10 are cleaned is provided. When the open / close door 5 shown in FIG. 2 is opened, it is possible to remove the dust collection net NT and dispose of the collected foreign matter.

次に、キャリッジ機構300は、基板搬送機構200の搬送路を挟むようにして設けられた、ほぼ同じ構造から成る2機のノズル移送機構300A,300Bによって構成されている。   Next, the carriage mechanism 300 is configured by two nozzle transfer mechanisms 300A and 300B having substantially the same structure and provided so as to sandwich the transport path of the substrate transport mechanism 200.

搬送路の下方に設けられているノズル移送機構300Aは、基板搬送機構200の下方且つ搬出口側に設けられた円柱状の支持シャフト13L及びスクリューネジ14Lと、スクリューネジ14Lに駆動軸が連結されて筐体2内に固定されている駆動モータMTLと、支持シャフト13Lに摺動自在に支持され且つスクリューネジ14Lに噛合するノズル支持部材15Lとを備えて構成されている。   The nozzle transfer mechanism 300A provided below the transfer path has a cylindrical support shaft 13L and a screw screw 14L provided below the substrate transfer mechanism 200 and on the carry-out side, and a drive shaft connected to the screw screw 14L. The drive motor MTL is fixed in the housing 2 and the nozzle support member 15L is slidably supported by the support shaft 13L and meshed with the screw screw 14L.

支持シャフト13Lとスクリューネジ14Lは、互いに平行で且つノズル移送方向Yに延設されており、支持シャフト13Lの両端が筐体2内において固定され、スクリューネジ14Lの先端が駆動モータMTLの駆動軸に連結されると共に、スクリューネジ14Lの後端が筐体2内に固定されているベアリング16Lによって回動自在に支持されている。そして、ノズルNZLが、搬送路側に向けられてノズル支持部材15Lに取り付けられている。   The support shaft 13L and the screw screw 14L are parallel to each other and extend in the nozzle transfer direction Y, both ends of the support shaft 13L are fixed in the housing 2, and the tip of the screw screw 14L is the drive shaft of the drive motor MTL. And the rear end of the screw screw 14L is rotatably supported by a bearing 16L fixed in the housing 2. The nozzle NZL is attached to the nozzle support member 15L so as to face the conveyance path.

ここで、駆動モータMTLが起動し、その駆動軸が正転してスクリューネジ14Lも正転すると、ノズル支持部材15Lは、スクリューネジ14Lに対する噛合位置が変移することで搬送ベルト10側から搬送ベルト9側へと支持シャフト13L上を摺動し、ノズルNZLを移送する。また、駆動モータMTLの駆動軸が逆転してスクリューネジ14Lも逆転すると、ノズル支持部材15Lは、スクリューネジ14Lに対する噛合位置が変移することで搬送ベルト9側から搬送ベルト10側へと支持シャフト13L上を摺動し、ノズルNZLを移送する。   Here, when the drive motor MTL is activated and the drive shaft rotates in the normal direction so that the screw screw 14L also rotates in the normal direction, the nozzle support member 15L changes the meshing position with respect to the screw screw 14L, thereby causing the transfer belt 10 to move from the transfer belt 10 side. It slides on the support shaft 13L to the 9 side, and the nozzle NZL is transferred. Further, when the drive shaft of the drive motor MTL is reversed and the screw screw 14L is also reversed, the nozzle support member 15L is moved from the conveying belt 9 side to the conveying belt 10 side by changing the meshing position with respect to the screw screw 14L. Slide over and transfer nozzle NZL.

更に、ノズル支持部材15Lによってノズル移送方向Yに移送されるノズルNZLの移送可能範囲は、図4(a)の平面図にて模式的に示すように、搬送ベルト10の上側部分における搬出口側の所定位置(ホームポジション)HPから、搬送ベルト9の上側部分における搬出口側の所定位置(エンドポジション)EPまでの範囲内に決められており、ホームポジションHP側に設けられている第1のマイクロスイッチ(図示略)にノズル支持部材15Lが当接して、第1のマイクロスイッチがオンとなると、制御回路ユニット400がそのオン状態を検出することで、ホームポジションHPにノズルNZLが位置していると判断する。   Further, the transferable range of the nozzle NZL transferred in the nozzle transfer direction Y by the nozzle support member 15L is as shown schematically in the plan view of FIG. Is determined within a range from a predetermined position (home position) HP to a predetermined position (end position) EP on the carry-out side of the upper portion of the conveyor belt 9, and is provided on the home position HP side. When the nozzle support member 15L comes into contact with the micro switch (not shown) and the first micro switch is turned on, the control circuit unit 400 detects the on state, so that the nozzle NZL is positioned at the home position HP. Judge that

また、エンドポジションEP側に設けられている第2のマイクロスイッチ(図示略)にノズル支持部材15Lが当接して、第2のマイクロスイッチがオンとなると、制御回路ユニット400がそのオン状態を検出することで、エンドポジションEPにノズルNZLが位置していると判断する。   Further, when the nozzle support member 15L comes into contact with a second micro switch (not shown) provided on the end position EP side and the second micro switch is turned on, the control circuit unit 400 detects the on state. Thus, it is determined that the nozzle NZL is located at the end position EP.

そして、基板搬送方向Xとノズル移送方向YにおけるホームポジションHPの位置を座標(X0,Y0)、エンドポジションEPの位置を座標(X0,Ye)とすると、座標(X0,Y0)と(X0,Ye)とを結んだノズル移送方向Yにおける移送軌跡Ygに沿ってノズルNZLが移送される。   Then, assuming that the position of the home position HP in the substrate transport direction X and the nozzle transfer direction Y is coordinates (X0, Y0) and the position of the end position EP is coordinates (X0, Ye), the coordinates (X0, Y0) and (X0, The nozzle NZL is transferred along the transfer locus Yg in the nozzle transfer direction Y connecting Ye).

つまり、ホームポジションHPとエンドポジションEPの基板搬送方向Xにおける位置が同じ位置(X0)に設定されており、その同じ位置(X0)を含み且つノズル移送方向YのホームポジションHPの位置(Y0)とエンドポジションEPの位置(Ye)とを結んだ移送軌跡Ygに沿って、ノズルNZLがノズル支持部材15Lによって移送される。そして、移送軌跡Ygにおける位置(Y0)と(Ye)の範囲内が、ノズルNZLによるノズル移送方向Yの清浄範囲となっている。   That is, the positions of the home position HP and the end position EP in the substrate transport direction X are set to the same position (X0), and include the same position (X0) and the position (Y0) of the home position HP in the nozzle transfer direction Y. The nozzle NZL is transferred by the nozzle support member 15L along the transfer locus Yg that connects the end position EP to the position (Ye). The range of the positions (Y0) and (Ye) in the transfer locus Yg is the clean range in the nozzle transfer direction Y by the nozzle NZL.

搬送路の上方に設けられているノズル移送機構300Bは、基板搬送機構200の上方且つ搬出口側に設けられた円柱状の支持シャフト13U及びスクリューネジ14Uと、スクリューネジ14Uに駆動軸が連結されて筐体2内に固定されている駆動モータMTUと、支持シャフト13Uに摺動自在に支持され且つスクリューネジ14Uに噛合するノズル支持部材15Uとを備えて構成されている。   The nozzle transfer mechanism 300B provided above the transport path has a cylindrical support shaft 13U and a screw screw 14U provided above the substrate transport mechanism 200 and on the carry-out side, and a drive shaft connected to the screw screw 14U. The drive motor MTU is fixed in the housing 2 and the nozzle support member 15U is slidably supported by the support shaft 13U and meshed with the screw screw 14U.

支持シャフト13Uとスクリューネジ14Uは、互いに平行で且つノズル移送方向Yに延設されており、支持シャフト13Uの両端が筐体2内において固定され、スクリューネジ14Uの先端が駆動モータMTUの駆動軸に連結されると共に、スクリューネジ14Uの後端が筐体2内に固定されているベアリング16Uによって回動自在に支持されている。そして、ノズルNZUが、搬送路側に向けられてノズル支持部材15Uに取り付けられている。   The support shaft 13U and the screw screw 14U are parallel to each other and extend in the nozzle transfer direction Y, both ends of the support shaft 13U are fixed in the housing 2, and the tip of the screw screw 14U is the drive shaft of the drive motor MTU. And the rear end of the screw screw 14U is rotatably supported by a bearing 16U fixed in the housing 2. The nozzle NZU is attached to the nozzle support member 15U so as to face the conveyance path.

ここで、駆動モータMTUが起動し、その駆動軸が正転してスクリューネジ14Uも正転すると、ノズル支持部材15Uは、スクリューネジ14Uに対する噛合位置が変移することで搬送ベルト10側から搬送ベルト9側へと支持シャフト13U上を摺動し、ノズルNZUを移送する。また、駆動モータMTUの駆動軸が逆転してスクリューネジ14Uも逆転すると、ノズル支持部材15Uは、スクリューネジ14Uに対する噛合位置が変移することで搬送ベルト9側から搬送ベルト10側へと支持シャフト13U上を摺動し、ノズルNZUを移送する。   Here, when the drive motor MTU is activated and the drive shaft rotates in the normal direction so that the screw screw 14U also rotates in the normal direction, the nozzle support member 15U changes its meshing position with respect to the screw screw 14U, thereby causing the transfer belt 10 to move from the transfer belt 10 side. It slides on the support shaft 13U to the 9 side, and the nozzle NZU is transferred. When the drive shaft of the drive motor MTU is reversed and the screw screw 14U is also reversed, the nozzle support member 15U is moved from the conveying belt 9 side to the conveying belt 10 side by changing the meshing position with respect to the screw screw 14U. Slide over and transfer nozzle NZU.

更に、ノズル支持部材15Uによってノズル移送方向Yに移送されるノズルNZUの移送可能範囲も、図4(a)の平面図にて模式的に示すように、上述のホームポジションHPからエンドポジションEPまでの範囲内に決められており、ホームポジションHP側に設けられている第3のマイクロスイッチ(図示略)にノズル支持部材15Uが当接して、第3のマイクロスイッチがオンとなると、制御回路ユニット400がそのオン状態を検出することで、ホームポジションHPにノズルNZUが位置していると判断するようになっている。また、エンドポジションEP側に設けられている第4のマイクロスイッチ(図示略)にノズル支持部材15Uが当接して、第4のマイクロスイッチがオンとなると、制御回路ユニット400がそのオン状態を検出することで、エンドポジションEPにノズルNZUが位置していると判断する。   Further, the transferable range of the nozzle NZU transferred in the nozzle transfer direction Y by the nozzle support member 15U is also from the above-mentioned home position HP to the end position EP as schematically shown in the plan view of FIG. When the nozzle support member 15U comes into contact with a third micro switch (not shown) provided on the home position HP side and the third micro switch is turned on, the control circuit unit When 400 detects the ON state, it is determined that the nozzle NZU is located at the home position HP. Further, when the nozzle support member 15U comes into contact with a fourth micro switch (not shown) provided on the end position EP side and the fourth micro switch is turned on, the control circuit unit 400 detects the on state. Thus, it is determined that the nozzle NZU is located at the end position EP.

そして、上述したように、ホームポジションHPとエンドポジションEPの基板搬送方向Xにおける位置が同じ位置(X0)に設定されており、その同じ位置(X0)を含み且つノズル移送方向YのホームポジションHPの位置(Y0)とエンドポジションEPの位置(Ye)とを結んだ上述の移送軌跡Ygに沿って、ノズルNZUがノズル支持部材15Uによって移送される。したがって、ノズルNZUによるノズル移送方向Yの清浄範囲も、ノズルNZLと同様に、移送軌跡Ygにおける位置(Y0)と(Ye)の範囲内となっている。   As described above, the position of the home position HP and the end position EP in the substrate transport direction X is set to the same position (X0), and includes the same position (X0) and the home position HP in the nozzle transfer direction Y. The nozzle NZU is transferred by the nozzle support member 15U along the transfer locus Yg connecting the position (Y0) and the position (Ye) of the end position EP. Therefore, the clean range in the nozzle transfer direction Y by the nozzle NZU is also within the range of the positions (Y0) and (Ye) on the transfer locus Yg, as with the nozzle NZL.

以上に述べた構成を有するノズル移送機構300A,300Bにより、ノズルNZL,NZUは共に、基板搬送方向Xに対して直交するノズル移送方向Yの同じ移送軌跡Ygに沿って、ホームポジションHPとエンドポジションEPの範囲内で移送される。   With the nozzle transfer mechanisms 300A and 300B having the above-described configuration, the nozzles NZL and NZU are both home position HP and end position along the same transfer locus Yg in the nozzle transfer direction Y orthogonal to the substrate transfer direction X. Transported within EP.

更に、ノズルNZL,NZUは、図示するように略台形状の中空管で形成されており、ノズルNZLの上端部には、基板搬送方向Xの幅Wが大きくノズル移送方向Yの幅(符号略)が狭められたスリット状の噴出口ALが形成され、ノズルNZUの下端部にも、噴出口ALと同形のスリット状の噴出口AUが形成されている。つまり、噴出口AL,AUは、後述する噴射エアーの噴射方向に対して直交する断面(噴射断面)の形状がほぼ同じとなり、且つ噴射断面における圧力分布もほぼ均一且つ同じとなるように、同形のスリット状に形成されている。ただし、噴出口AL,AUから噴射される両者の噴射エアーの噴射断面と、圧力分布がほぼ均一且つ同じであれば、上述の基板搬送方向Xの幅Wとノズル移送方向Yの幅を適宜に調整してもよい。   Further, the nozzles NZL and NZU are formed of a substantially trapezoidal hollow tube as shown in the figure, and the upper end portion of the nozzle NZL has a large width W in the substrate transport direction X (reference sign). A slit-shaped spout AL having a narrowed shape is formed, and a slit-shaped spout AU having the same shape as the spout AL is also formed at the lower end of the nozzle NZU. That is, the jet outlets AL and AU have the same shape so that the shape of the cross section (jet cross section) perpendicular to the jet direction of the jet air described later is substantially the same, and the pressure distribution in the jet cross section is substantially uniform and the same. It is formed in a slit shape. However, if the jet cross sections of the jet air jetted from the jet outlets AL and AU and the pressure distribution are substantially uniform and the same, the width W in the substrate transport direction X and the width in the nozzle transfer direction Y are appropriately set. You may adjust.

そして、噴出口AL,AUが共に搬送路面(搬送ベルト9,10上に回路基板CQが支持されるときの支持面)に対向して向けられ、更に噴出口ALと搬送路面との間隔と、噴出口AUと搬送路面との間隔とが、ほぼ等間隔となるように、ノズルNZL,NZUがノズル支持部材15L,15Uに取り付けられている。   The jet outlets AL and AU are both directed to the conveying path surface (supporting surface when the circuit board CQ is supported on the conveying belts 9 and 10), and further, the interval between the jet outlet AL and the conveying path surface, The nozzles NZL and NZU are attached to the nozzle support members 15L and 15U so that the intervals between the ejection port AU and the conveyance path surface are substantially equal.

更に、図4(a)に示すように、噴出口AL,AUのほぼ中心が移送軌跡Ygに沿って移動するように、ノズルNZL,NZUがノズル支持部材15L,15Uに取り付けられている。   Further, as shown in FIG. 4A, the nozzles NZL and NZU are attached to the nozzle support members 15L and 15U so that the centers of the ejection ports AL and AU move along the transfer locus Yg.

このように、ノズルNZL,NZUに噴出口AL,AUが形成されているため、図3に示すように、ノズルNZL,NZUが移送軌跡Ygに沿って且つ互いに対向して移送されると、搬送されてくる回路基板CQの背面と表面の同じ位置の部分(つまり、表裏一体の位置関係にある背面の部分と表面の部分)に、同じ噴射断面且つ同じ圧力で噴射エアーを噴射することができるようになっている。   Thus, since the nozzles NZL and NZU are formed with the nozzles AL and AU, as shown in FIG. 3, when the nozzles NZL and NZU are transferred along the transfer locus Yg and opposed to each other, The jet air can be jetted with the same jetting cross section and the same pressure on the same position on the back surface and the front surface of the circuit board CQ (that is, the back surface portion and the front surface portion that are in a positional relationship integrated with each other). It is like that.

なお、上述した検出素子PSは、移送軌跡Yg上のホームポジションHPとエンドポジションEPの範囲内の適宜の位置に、ノズルNZUとぶつからないように取り付けられており、搬送路内の移送軌跡Yg上の所定位置に向けて光を照射し、回路基板CQから反射されてくる反射光を検出することで、回路基板CQを検出するようになっている。   The detection element PS described above is mounted at an appropriate position within the range of the home position HP and end position EP on the transfer locus Yg so as not to collide with the nozzle NZU, and on the transfer locus Yg in the transport path. The circuit board CQ is detected by irradiating light toward a predetermined position and detecting reflected light reflected from the circuit board CQ.

次に、ノズルNZLの下端部に形成されている開口部(図示略)には、可撓性を有するパイプPLが連結され、圧縮空気供給機構から圧縮空気がパイプPLを通じてノズルNZLに供給されることで、その圧縮空気が噴出口ALから噴射エアーとなって噴射する。ノズルNZUの上端部に形成されている開口部(図示略)にも、可撓性を有するパイプPUが連結され、圧縮空気供給機構から圧縮空気がパイプPUを通じてノズルNZUに供給されることで、その圧縮空気が噴出口AUから噴射エアーとなって噴射する。   Next, a flexible pipe PL is connected to an opening (not shown) formed at the lower end of the nozzle NZL, and compressed air is supplied from the compressed air supply mechanism to the nozzle NZL through the pipe PL. Thus, the compressed air is jetted as jetted air from the jetting port AL. A flexible pipe PU is also connected to an opening (not shown) formed at the upper end of the nozzle NZU, and compressed air is supplied from the compressed air supply mechanism to the nozzle NZU through the pipe PU. The compressed air is jetted from the jet outlet AU as jet air.

次に、圧縮空気供給機構は、図3には示していないが、圧縮空気を生成するコンプレッサと、コンプレッサで生成される圧縮空気を制御回路ユニット400からの指示に従って所定の圧力に調整し、同じ圧力に調整した圧縮空気をパイプPL,PUを通じてノズルNZL,NZUに供給する圧力調整弁とを備えて構成されている。更に、上述の圧力調整弁は、制御回路ユニット400からの指示に従って、ノズルNZL,NZUへの圧縮空気の供給と非供給(供給遮断)の切り替えを行うようになっている。   Next, although not shown in FIG. 3, the compressed air supply mechanism adjusts the compressed air generated by the compressor and the compressed air generated by the compressor to a predetermined pressure in accordance with an instruction from the control circuit unit 400, and the same And a pressure adjusting valve for supplying compressed air adjusted to pressure to the nozzles NZL and NZU through pipes PL and PU. Further, the pressure regulating valve described above is configured to switch between supply of compressed air to the nozzles NZL and NZU and non-supply (supply cutoff) in accordance with an instruction from the control circuit unit 400.

以上に説明したように、清浄機構100は、基板搬送機構200とキャリッジ機構300と圧縮空気供給機構と備え、図4(a)の平面図にて模式的に示したように、搬送ベルト9,10の上側部分で画成される搬送路の面(搬送路面)に向けて噴射エアーを噴射するノズルNZL,NZUが、ホームポジションHPとエンドポジションEPの範囲内の移送軌跡Ygに沿って移送され、搬送路内の移送軌跡Ygを通過する回路基板CQを検出素子PSが検出するようになっている。   As described above, the cleaning mechanism 100 includes the substrate transport mechanism 200, the carriage mechanism 300, and the compressed air supply mechanism. As schematically shown in the plan view of FIG. Nozzles NZL and NZU for injecting jet air toward the surface of the conveyance path (conveyance path surface) defined by the upper portion of 10 are transferred along a transfer locus Yg within the range of the home position HP and end position EP. The detection element PS detects the circuit board CQ passing through the transfer locus Yg in the transport path.

次に、制御回路ユニット400の構成を、図4(b)のブロック図を参照して説明する。   Next, the configuration of the control circuit unit 400 will be described with reference to the block diagram of FIG.

図4(b)において、制御回路ユニット400は、図2に示した操作部3の背面側に設けられており、所定のシステムプログラムを実行することで清浄機構100の動作を管理及び制御するマイクロプロセッサ(MPU)を有する中央制御部401と、入出力ポートとしてのペリフェラル回路402とを備えて構成されている。そして、ペリフェラル回路402を介して、モニター3aと、操作スイッチB1〜B5等と、検出素子PS、駆動モータMTD,MTL,MTU、上述のコンプレッサ(符号略)、圧力調整弁(符号略)、第1〜第4のマイクロスイッチ(符号略)、及び主電源(符号略)等が、中央制御部401に配線接続されている。   4B, the control circuit unit 400 is provided on the back side of the operation unit 3 shown in FIG. 2, and is a micro that manages and controls the operation of the cleaning mechanism 100 by executing a predetermined system program. A central control unit 401 having a processor (MPU) and a peripheral circuit 402 as an input / output port are configured. Then, via the peripheral circuit 402, the monitor 3a, the operation switches B1 to B5, etc., the detection element PS, the drive motors MTD, MTL, and MTU, the above-described compressor (reference numeral omitted), the pressure adjustment valve (reference numeral omitted), the first The first to fourth micro switches (not shown), the main power source (not shown), and the like are connected to the central control unit 401 by wiring.

次に、以上に説明した構成を有する回路基板清浄装置1の動作について、図5のフローチャートを参照して説明する。   Next, operation | movement of the circuit board cleaning apparatus 1 which has the structure demonstrated above is demonstrated with reference to the flowchart of FIG.

まず、操作者が操作スイッチB1をオン操作すると主電源が投入される。次に、操作者が、適宜の順序で、操作スイッチB3を操作して回路基板の搬送速度を指定し、操作スイッチB4を操作してノズル移送速度を指定し、操作スイッチB5を操作して噴射エアーの圧力を指定すると、これらの指定情報を制御回路ユニット400の中央制御部401が記憶する。   First, when the operator turns on the operation switch B1, the main power is turned on. Next, the operator operates the operation switch B3 in an appropriate order to specify the circuit board transport speed, operates the operation switch B4 to specify the nozzle transfer speed, and operates the operation switch B5 to perform ejection. When the air pressure is designated, the designation information is stored in the central control unit 401 of the control circuit unit 400.

次に、操作者が操作スイッチB2をオン操作すると、制御回路ユニット400が駆動モータMTDを起動させ、上述の指定された搬送速度で搬送ベルト9,10を動作させる。また、検出素子PSが検出動作を開始する。   Next, when the operator turns on the operation switch B2, the control circuit unit 400 activates the drive motor MTD and operates the conveyor belts 9 and 10 at the above-described designated conveyance speed. Further, the detection element PS starts a detection operation.

かかる動作状態で、搬入口6から回路基板CQが導入されると、搬送ベルト9,10が回路基板CQを搬送し、その回路基板CQの先端部分が検出素子PSによって検出されると、ステップST1において制御回路ユニット400は、回路基板CQが搬送されてきたと判断し、ステップST2へ移行する。   When the circuit board CQ is introduced from the carry-in entrance 6 in such an operating state, the conveyor belts 9 and 10 convey the circuit board CQ, and when the leading end portion of the circuit board CQ is detected by the detection element PS, step ST1. Then, the control circuit unit 400 determines that the circuit board CQ has been conveyed, and proceeds to step ST2.

ステップST2では、制御回路ユニット400が、駆動モータMTDを一時停止させ、搬送ベルト9,10による回路基板CQの搬送も一時停止させる。これにより、回路基板CQは、その先端部分が上述の移送軌跡Ygに合わせられて停止する。   In step ST2, the control circuit unit 400 temporarily stops the drive motor MTD and temporarily stops the conveyance of the circuit board CQ by the conveyance belts 9 and 10. As a result, the circuit board CQ stops with its tip portion aligned with the above-described transfer locus Yg.

次に、ステップST3において、上述のホームポジションHP側に設けられている第1,第3のマイクロスイッチがオンとなっているか否かを制御回路ユニット400が検出する。そして、第1,第3のマイクロスイッチが共にオンとなっていると、ノズルNZL,NZUがホームポジションHPに位置して互いの噴出口AL,AUが対向していると判断し、ステップST5の処理に移行する。   Next, in step ST3, the control circuit unit 400 detects whether or not the first and third micro switches provided on the home position HP side are on. If both the first and third micro switches are turned on, it is determined that the nozzles NZL and NZU are positioned at the home position HP and the jet outlets AL and AU face each other. Transition to processing.

一方、第1,第3のマイクロスイッチの何れか1つでもオフとなっていると、ノズルNZL,NZUがホームポジションHPに位置していないと判断し、ステップST4の処理に移行する。   On the other hand, if any one of the first and third micro switches is off, it is determined that the nozzles NZL and NZU are not located at the home position HP, and the process proceeds to step ST4.

ステップST4では、第1のマイクロスイッチがオフ、第3のマイクロスイッチがオンとなっている場合には、駆動モータMTLを逆転させて、第1のマイクロスイッチがオンとなるまで、ノズル支持部材15Lを移送させ、ノズルNZLをノズルNZUと共にホームポジションHPに位置させる。また、第1のマイクロスイッチがオン、第3のマイクロスイッチがオフとなっている場合には、駆動モータMTUを逆転させて、第3のマイクロスイッチがオンとなるまで、ノズル支持部材15Uを移送させ、ノズルNZUをノズルNZLと共にホームポジションHPに位置させる。また、第1,第3のマイクロスイッチが共にオフとなっている場合には、駆動モータMTL,MTUを逆転させて、第1,第3のマイクロスイッチがオンとなるまで、ノズル支持部材15L,15Uを移送させ、ノズルNZL,NZUをホームポジションHPに位置させる。こうして、ノズルNZL,NZUを共に、ホームポジションHPに位置させて対向させた後、ステップST5の処理に移行する。   In step ST4, when the first micro switch is off and the third micro switch is on, the drive motor MTL is reversely rotated until the first micro switch is turned on until the first micro switch is turned on. The nozzle NZL is positioned at the home position HP together with the nozzle NZU. Further, when the first micro switch is on and the third micro switch is off, the drive motor MTU is reversed to move the nozzle support member 15U until the third micro switch is on. The nozzle NZU is positioned at the home position HP together with the nozzle NZL. If both the first and third micro switches are off, the drive motors MTL and MTU are reversely rotated until the first and third micro switches are turned on. 15U is transferred, and the nozzles NZL and NZU are positioned at the home position HP. Thus, after both the nozzles NZL and NZU are located at the home position HP and face each other, the process proceeds to step ST5.

ステップST5では、制御回路ユニット400が、コンプレッサを起動させるとことでノズルNZL,NZUから噴射エアーを噴射させ、更に、圧力調整弁を制御することで、それらの噴射エアーの圧力を操作スイッチB5で指定された圧力に設定する。   In step ST5, the control circuit unit 400 starts the compressor to inject the injection air from the nozzles NZL and NZU, and further controls the pressure adjusting valve to control the pressure of the injection air with the operation switch B5. Set to the specified pressure.

次に、ステップST6において、噴射エアーを噴射させたまま、駆動モータMTL,MTUを起動させてスクリューネジ14L,14Uを正転させ、ノズル支持部材15L,15Uを共に、上述の操作スイッチB4で指定されたノズル移送速度で移送軌跡Ygに沿ってエンドポジションEP側へ移送する。これにより、ノズルNZL,NZUが互いに対向して、移送軌跡Ygに沿ってエンドポジションEP側へ移送される。そして、その移送中に、噴出口AL,AUから噴射される噴射エアーによって回路基板CQに付着している塵などの異物を吹き飛ばして清浄する。   Next, in step ST6, the drive motors MTL and MTU are started while the jet air is being injected, the screw screws 14L and 14U are rotated forward, and both the nozzle support members 15L and 15U are designated by the operation switch B4 described above. The nozzle is transferred to the end position EP side along the transfer locus Yg at the nozzle transfer speed. As a result, the nozzles NZL and NZU face each other and are transferred toward the end position EP along the transfer locus Yg. Then, during the transfer, foreign matter such as dust adhering to the circuit board CQ is blown away and cleaned by the jet air jetted from the jet outlets AL and AU.

そして、ステップST7において、第2,第4のマイクロスイッチがオンとなると、ノズルNZL,NZUがエンドポジションEPに到達したと制御回路ユニット400が判断し、ステップST8において、駆動モータMTL,MTUを一時停止させる。   When the second and fourth micro switches are turned on in step ST7, the control circuit unit 400 determines that the nozzles NZL and NZU have reached the end position EP. In step ST8, the drive motors MTL and MTU are temporarily turned on. Stop.

このようにステップST6,ST7の処理により、ホームポジションHPからエンドポジションEPまで、ノズルNZL,NZUを対向させて同じノズル移送速度で移送させると、その移送中に、噴出口AL,AUも回路基板CQを介して常に対向して移動することとなり、噴出口ALからの噴射エアーが吹き付けられる回路基板CQの裏面側の部分と、噴出口AUからの噴射エアーが吹き付けられる回路基板CQの表面側の部分とが、表裏一体の同じ位置関係となる。更に、その表裏一体の同じ位置関係となる裏面側の部分と表面側の部分には、ほぼ同じ圧力の噴射エアーが吹き付けられる。このため、変形させたり配線パターンを剥離させるような不要な応力が回路基板CQに掛かることが無く、清浄処理を行うことが可能となっている。   As described above, when the nozzles NZL and NZU are made to face each other at the same nozzle transfer speed from the home position HP to the end position EP by the processing of steps ST6 and ST7, the jet outlets AL and AU are also connected to the circuit board during the transfer. The circuit board CQ always moves in opposition to each other via the CQ, and the part on the back side of the circuit board CQ to which the jet air from the jet outlet AL is blown and the surface side of the circuit board CQ to which the jet air from the jet outlet AU is blown. The portion is in the same positional relationship as the front and back. Furthermore, spray air of substantially the same pressure is blown onto the back side portion and the front side portion that have the same positional relationship of the front and back surfaces. Therefore, unnecessary stress that causes deformation or peeling of the wiring pattern is not applied to the circuit board CQ, and the cleaning process can be performed.

更に、回路基板CQに電子素子が既に搭載されている場合、噴射エアーは、電子素子の形状に従って分散して流動し、また、電子素子の間を分散して流動する。そのため、上述した表裏一体の同じ位置関係となる裏面側の部分と表面側の部分には、ほぼ同じ圧力で噴射エアーが吹き付けられることとなり、不要な応力が回路基板CQに掛かることが防止され、更に、電子素子に集中して圧力が掛かることが防止される。したがって、回路基板CQを変形させて損傷させたり、配線パターンを剥離させたり、電子素子に過度なストレスを付与して損傷させる等の問題の発生を未然に防止して、清浄処理を行うことが可能となっている。   Further, when electronic elements are already mounted on the circuit board CQ, the jet air is dispersed and flows according to the shape of the electronic elements, and is also distributed and flows between the electronic elements. Therefore, spray air is blown with substantially the same pressure on the back side portion and the front side portion, which are in the same positional relationship as the above-described front and back, preventing unnecessary stress from being applied to the circuit board CQ. Further, it is possible to prevent pressure from being concentrated on the electronic element. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of problems such as damaging the circuit board CQ by deforming it, peeling off the wiring pattern, or damaging the electronic element by applying excessive stress to perform the cleaning process. It is possible.

上述のステップST8でノズルNZL,NZUの移送を一時停止させると、次のステップST9において、制御回路ユニット400が駆動モータMTDを再起動させて、搬送ベルト9,10に搬送動作を行わせ、回路基板CQをノズルNZL,NZUの噴出口AL,AUの幅Wの2分の1の距離(W/2)だけ基板搬送方向Xへ搬送させた後、駆動モータMTDを再び一時停止させる。なお、既知となっている噴出口AL,AUの幅Wに従って、駆動モータMTDをW/2の幅に相当する回転量で回転させることで、回路基板CQをノズルNZL,NZUの噴出口AL,AUの幅Wの2分の1の距離(W/2)だけ搬送する。   When the transfer of the nozzles NZL and NZU is temporarily stopped in the above-described step ST8, in the next step ST9, the control circuit unit 400 restarts the drive motor MTD and causes the conveyor belts 9 and 10 to perform the conveying operation. After the substrate CQ is transported in the substrate transport direction X by a distance (W / 2) half the width W of the nozzles NZL and NZU, the ejection ports AL and AU, the drive motor MTD is temporarily stopped again. The circuit board CQ is rotated by a rotation amount corresponding to the width of W / 2 in accordance with the known widths W of the outlets AL and AU, so that the circuit board CQ is rotated by the nozzles NZL and NZU. It is transported by a distance (W / 2) that is a half of the width W of the AU.

次に、ステップST10において、噴射エアーを噴射させたまま、駆動モータMTL,MTUを起動させ、スクリューネジ14L,14Uを逆転させることで、ノズル支持部材15L,15Uを移送軌跡Ygに沿ってホームポジションHP側へ移送する。つまり、ノズルNZL,NZUを対向させ且つ噴射エアーを噴射させたまま、上述の操作スイッチB4で指定されたノズル移送速度で移送軌跡Ygに沿ってホームポジションHP側へ移送する。   Next, in step ST10, the drive motors MTL and MTU are activated while the jet air is being jetted, and the screw screws 14L and 14U are reversed to move the nozzle support members 15L and 15U to the home position along the transfer locus Yg. Transfer to HP side. That is, while the nozzles NZL and NZU are made to face each other and the jet air is jetted, the nozzle NZL and NZU are moved toward the home position HP along the transfer locus Yg at the nozzle transfer speed specified by the operation switch B4.

そして、ステップST11において、第1,第3のマイクロスイッチがオンとなると、ノズルNZL,NZUがホームポジションHPに到達したと制御回路ユニット400が判断し、ステップST12において、駆動モータMTL,MTUを一時停止させる。   In step ST11, when the first and third micro switches are turned on, the control circuit unit 400 determines that the nozzles NZL and NZU have reached the home position HP. In step ST12, the drive motors MTL and MTU are temporarily turned on. Stop.

このように、ステップST10,ST11では、上述のステップST6,ST7と同様の清浄処理が行われ、取り残されていた異物を清浄すると共に、上述の幅(W/2)で搬送された回路基板CQにおける新たな裏面と表面の部分を清浄する。そして、この復路での清浄の際にも、噴出口NZL,NZUが回路基板CQを介して対向して移動することにより、噴出口NZL,NZUから噴射される両者の噴射エアーが、回路基板CQにおける表裏一体の同じ位置関係にある裏面と表面の部分にほぼ同じ圧力で吹き付けられるため、回路基板CQを変形させて損傷させたり、配線パターンを剥離させたり、電子素子に過度なストレスを付与して損傷させる等の問題の発生を未然に防止して、清浄処理を行うことが可能となっている。   As described above, in steps ST10 and ST11, the same cleaning process as in steps ST6 and ST7 described above is performed to clean up the remaining foreign matter, and the circuit board CQ conveyed with the width (W / 2) described above. Clean the new back and front part of the. Even during cleaning on the return path, the jet outlets NZL and NZU move to face each other via the circuit board CQ, so that both jet airs jetted from the jet outlets NZL and NZU become the circuit board CQ. The circuit board CQ is deformed and damaged, the wiring pattern is peeled off, and excessive stress is applied to the electronic elements. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of problems such as damage and to perform a cleaning process.

そして、ステップST6〜ST12の処理によって、1回分の往復清浄を行っている。   And the reciprocating cleaning for 1 time is performed by the process of step ST6-ST12.

次に、ステップST13において、制御回路ユニット400が駆動モータMTDを再起動させて、搬送ベルト9,10に搬送動作を行わせ、上述のステップST9の処理と同様に、回路基板CQをノズルNZL,NZUの噴出口AL,AUの幅Wの2分の1の距離(W/2)だけ基板搬送方向Xへ搬送させた後、駆動モータMTDを再び一時停止させる。   Next, in step ST13, the control circuit unit 400 restarts the drive motor MTD to cause the transport belts 9 and 10 to perform the transport operation, and the circuit board CQ is connected to the nozzles NZL, NN similarly to the process in step ST9 described above. After being transported in the substrate transport direction X by a distance (W / 2) half the width W of the NZU outlets AL and AU, the drive motor MTD is temporarily stopped again.

次に、ステップST14において、制御回路ユニット400は、検出素子PSが回路基板CQを検出しているか否か判断する。そして、検出素子PSの検出出力を調べた結果、回路基板CQを検出していると判断すると、回路基板CQが移送軌跡Yg上に存在しており、清浄処理を継続すべきと判断し、ステップST6からの処理を繰り返す。つまり、回路基板CQの未だ清浄していない裏面と表面を往復清浄する。そして、ステップST14において検出素子PSが回路基板CQを検出しなくなるまで、ステップST6〜ST13の往復清浄を繰り返し、回路基板CQの全面を往復清浄する。   Next, in step ST14, the control circuit unit 400 determines whether or not the detection element PS detects the circuit board CQ. Then, as a result of examining the detection output of the detection element PS, if it is determined that the circuit board CQ is detected, it is determined that the circuit board CQ exists on the transfer locus Yg and the cleaning process should be continued. Repeat the process from ST6. That is, the back and front surfaces of the circuit board CQ that have not yet been cleaned are reciprocated and cleaned. Then, until the detection element PS does not detect the circuit board CQ in step ST14, the reciprocating cleaning in steps ST6 to ST13 is repeated to clean the entire surface of the circuit board CQ.

そして、最終的にステップST14において、検出素子PSが回路基板CQを検出しなくなると、制御回路ユニット400は、回路基板CQの後端部が移送軌跡Ygよりも搬出口側に搬送済みとなっており、清浄が完了したと判断して、ステップST15の処理に移行する。   Finally, in step ST14, when the detection element PS no longer detects the circuit board CQ, the control circuit unit 400 has already transferred the rear end of the circuit board CQ to the carry-out side of the transfer locus Yg. Therefore, it is determined that the cleaning is completed, and the process proceeds to step ST15.

ステップST15では、駆動モータMTL,MTUを一時停止させたまま、ノズルNZL,NZUをホームポジションHPの位置で待機させ、更に、搬送ベルト9,10に継続動作させることで、清浄後の回路基板CQを搬送路から搬出口を介して搬出する。   In step ST15, while the drive motors MTL and MTU are temporarily stopped, the nozzles NZL and NZU are made to stand by at the position of the home position HP, and further, the conveyor belts 9 and 10 are continuously operated to thereby clean the circuit board CQ after cleaning. Is carried out from the conveyance path through a carry-out port.

次に、ステップST16において、搬送ベルト9,10に継続動作させ、ホームポジションHPに位置しているノズルNZL,NZUから噴射エアーを搬送ベルト10に吹き付け、搬送ベルト10に付着している異物を吹き飛ばして清浄する。   Next, in step ST16, the conveyor belts 9 and 10 are continuously operated, and the jet air is blown from the nozzles NZL and NZU located at the home position HP to the conveyor belt 10, and the foreign matters adhering to the conveyor belt 10 are blown away. Clean.

そして、所定時間、搬送ベルト10を清浄すると、次にステップST17において、駆動モータMTL,MTUを起動させて、ノズル支持部材15L,15Uと共にノズルNZL,NZUをエンドポジションEPへ移送した後、駆動モータMTL,MTUを一時停止させる。   When the conveyor belt 10 is cleaned for a predetermined time, the drive motors MTL and MTU are then started in step ST17 to transfer the nozzles NZL and NZU together with the nozzle support members 15L and 15U to the end position EP, and then the drive motor. MTL and MTU are temporarily stopped.

次に、ステップST18において、所定時間の間、搬送ベルト9,10に継続動作させ、エンドポジションEPに位置しているノズルNZL,NZUから噴射エアーを搬送ベルト9に吹き付け、搬送ベルト9に付着している異物を吹き飛ばして清浄する。   Next, in step ST18, the conveyor belts 9 and 10 are continuously operated for a predetermined time, and jet air is blown from the nozzles NZL and NZU located at the end position EP to the conveyor belt 9 and adheres to the conveyor belt 9. Blow away any foreign objects that are present and clean.

次に、搬送ベルト9を清浄した後、ステップST19において、駆動モータMTL,MTUを起動させて、ノズル支持部材15L,15Uと共にノズルNZL,NZUをホームポジションHPへ移送した後、駆動モータMTL,MTUを一時停止させる。   Next, after the conveyor belt 9 is cleaned, in step ST19, the drive motors MTL and MTU are activated to move the nozzles NZL and NZU together with the nozzle support members 15L and 15U to the home position HP, and then the drive motors MTL and MTU. Is paused.

このように、ステップST16〜ST19の処理を行うことで、回路基板CQの清浄の際に搬送ベルト9,10に付着することとなった異物等を除去し、次に導入されてくる回路基板を清浄するための準備を行っている。   In this way, the processing of steps ST16 to ST19 is performed to remove foreign matters and the like that have adhered to the conveyor belts 9 and 10 when the circuit board CQ is cleaned, and the circuit board to be introduced next is removed. Preparing to clean.

次に、ステップST20において、操作者によって操作スイッチB2がオフ操作され、搬送停止の指示がなされたか否かを制御回路ユニット400が調べ、オフ操作されていなければ、ステップST1からの処理を繰り返すことで次の回路基板の清浄を行い、オフ操作された場合には、回路基板の清浄処理を終了する旨の指示がなされたと判断して、ステップST21に移行し、駆動モータMTD,MTL,MTUとコンプレッサと圧力調整弁の動作を完全に停止させ、清浄処理を終了する。   Next, in step ST20, the control circuit unit 400 checks whether or not the operation switch B2 has been turned off by the operator and an instruction to stop conveyance has been issued. If not, the process from step ST1 is repeated. When the next circuit board is cleaned and turned off, it is determined that an instruction to end the circuit board cleaning process has been given, and the process proceeds to step ST21, where the drive motors MTD, MTL, MTU and Stop the operation of the compressor and pressure control valve completely, and finish the cleaning process.

以上説明したように、本実施形態の基板清浄装置1によれば、回路基板を清浄する際、ノズルNZL,NZUを対向させて移送し、回路基板の同じ位置関係にある裏面と表面の部分に対して、噴射エアーを同じ圧力で吹き付けることで、付着している異物を吹き飛ばして清浄するので、回路基板や搭載されている電子素子等に対して機械的ストレスを与えることなく、清浄することができる。つまり、ノズルNZL,NZUから噴射されるほぼ同じ圧力の噴射エアーの間に、回路基板を機械的に非接触の状態で挟んで清浄するので、従来技術の最も基本的な問題であった機械的ストレスを回路基板や電子素子に付与することなく清浄することができる。更に、従来技術のように粘着剤を塗設した清浄ローラを回路基板に接触させないため、粘着剤が回路基板に接着してしまうといった問題を回避することができ、優れた清浄効果が得られる。   As described above, according to the substrate cleaning apparatus 1 of the present embodiment, when cleaning the circuit board, the nozzles NZL and NZU are transferred to face each other, and the circuit board is placed on the back surface and the front surface portion having the same positional relationship. On the other hand, the sprayed air is blown at the same pressure, so that the adhered foreign matter is blown away and cleaned, so that it can be cleaned without applying mechanical stress to the circuit board or the mounted electronic elements. it can. In other words, the circuit board is mechanically held in a non-contact state between the jet air of the same pressure jetted from the nozzles NZL and NZU and cleaned, so that the mechanical problem that has been the most fundamental problem of the prior art The stress can be cleaned without being applied to the circuit board or the electronic element. Furthermore, since the cleaning roller coated with an adhesive is not brought into contact with the circuit board as in the prior art, the problem that the adhesive adheres to the circuit board can be avoided, and an excellent cleaning effect can be obtained.

また、回路基板に反りなどの変形や歪みがあった場合、噴射エアーがその回路基板の変形や歪みの形状にしたがって分散して流動するため、回路基板に過度なストレスを与えることなく、清浄することができる。   Also, when the circuit board is deformed or distorted, such as warping, the jet air is dispersed and flows in accordance with the shape of the circuit board deformed or distorted, so that the circuit board is cleaned without applying excessive stress. be able to.

また、電子素子が高密度で搭載されている回路基板を清浄する際、噴射エアーが電子素子間の僅かな隙間内にも侵入して清浄するので、今までの技術では除去し難かった異物を除去することができ、清浄効果の向上を図ることが可能である。   In addition, when cleaning a circuit board on which electronic elements are mounted at high density, the jet air penetrates into a small gap between the electronic elements and cleans it. It can be removed and the cleaning effect can be improved.

また、回路基板に対する噴射エアーの圧力調整は、比較的簡単に行うことが可能である。すなわち、ノズルNZL,NZUから噴射される両者の噴射エアーを圧力調整弁でほぼ同じ圧力となるように調整しておくと、上述したように、回路基板の形状や搭載されている電子素子の存在に従って、両者の噴射エアーが分散して流動するため、回路基板の裏面側に比して表面側の圧力が過度に高くなったり、回路基板の表面側に比して裏面側の圧力が過度に高くなる等の問題が回避される。そのため、回路基板の形状や電子素子の存在を考慮して、ノズルNZLの噴射エアーの圧力と、ノズルNZUの噴射エアーの圧力とを別々に調整すると言った煩雑な調整がほぼ不要となり、両者の噴射エアーの圧力をほぼ等しくするように調整するだけでよいので、比較的簡単な調整とすることが可能である。   Moreover, the pressure adjustment of the blast air with respect to a circuit board can be performed comparatively easily. That is, if the both jet air jetted from the nozzles NZL and NZU are adjusted so as to have substantially the same pressure by the pressure regulating valve, as described above, the shape of the circuit board and the presence of the mounted electronic elements Therefore, the pressure of the front side becomes excessively high compared to the back side of the circuit board, or the pressure on the back side is excessive compared to the front side of the circuit board. Problems such as highs are avoided. Therefore, taking into account the shape of the circuit board and the presence of electronic elements, complicated adjustments such as adjusting the pressure of the jet air of the nozzle NZL and the pressure of the jet air of the nozzle NZU are almost unnecessary, and both Since it is only necessary to adjust the pressure of the jet air so as to be substantially equal, it is possible to make a relatively simple adjustment.

また、こうした比較的簡単な調整でも、上述したように回路基板や搭載されている電子素子に対してストレスを与えることなく、清浄することが可能である。   Further, even with such a relatively simple adjustment, as described above, the circuit board and the mounted electronic element can be cleaned without applying stress.

また、制御回路ユニット400の制御により、ノズルNZL,NZUの移送速度を調整することができるため、回路基板の異物の付着状況等に応じて、移送速度を遅くしてより丁寧に清浄したり、移送速度を速めてより迅速な清浄処理を行う等の選択が可能である。   In addition, since the transfer speed of the nozzles NZL and NZU can be adjusted by the control of the control circuit unit 400, the transfer speed is reduced according to the adhesion state of foreign matter on the circuit board, etc. Selection can be made such as increasing the transfer speed and performing a faster cleaning process.

また、制御回路ユニット400の制御により、ノズルNZL,NZUから噴射される噴射エアーの圧力を調整することができるため、例えば、回路基板に付着している異物の性質(粘性、重量、形状など)に応じて圧力を調整することで、より効果的な清浄を行うことが可能である。   Further, since the pressure of the jet air jetted from the nozzles NZL and NZU can be adjusted by the control of the control circuit unit 400, for example, the nature of the foreign matter (viscosity, weight, shape, etc.) adhering to the circuit board It is possible to perform more effective cleaning by adjusting the pressure according to the above.

また、従来技術で説明したベークライト樹脂やガラスエポキシ樹脂などで生成された比較的硬質な回路基板を清浄することが可能である他、外部からの機械的応力を受けると比較的変形しやすい材質で形成された回路基板であっても、清浄することが可能である。つまり、ノズルNZL,NZUから噴射されるほぼ同じ圧力の噴射エアーの間に、回路基板を機械的に非接触の状態で挟んで清浄することから、比較的変形しやすい材質で形成された回路基板であっても、変形などを極力生じさせることなく、清浄することが可能である。   In addition to being able to clean relatively hard circuit boards made of bakelite resin, glass epoxy resin, etc., explained in the prior art, they are made of materials that are relatively easy to deform when subjected to external mechanical stress. Even the formed circuit board can be cleaned. In other words, the circuit board is cleaned by sandwiching the circuit board mechanically in a non-contact state between jet air of the same pressure injected from the nozzles NZL and NZU. Even so, it can be cleaned without causing deformation or the like as much as possible.

また、本実施形態の回路基板清浄装置1は、配線パターンを形成するための回路基板を予め清浄したり、配線パターンが既に形成されている回路基板に電子素子をリフロー半田で半田付けする前の清浄や、電子素子が搭載されている回路基板をアッセンブルする前に清浄することも可能であり、広い用途に利用することが可能である。   In addition, the circuit board cleaning apparatus 1 according to the present embodiment cleans a circuit board for forming a wiring pattern in advance, or solders an electronic element to a circuit board on which the wiring pattern has already been formed by reflow soldering. It can be cleaned or cleaned before assembling the circuit board on which the electronic element is mounted, and can be used for a wide range of applications.

また、回路基板清浄装置1の搬出口に、配線パターンを形成する回路基板作成装置を連接したり、リフロー半田を行う半田付け装置を連接したり、アッセンブル装置を連接することで、回路基板清浄装置1を製造ラインに組み付けることが可能である。そのため、自動化された製造ラインを構成するために広く適用することが可能である。   Further, the circuit board cleaning device 1 can be connected to the carry-out port of the circuit board cleaning device 1 by connecting a circuit board forming device for forming a wiring pattern, a soldering device for performing reflow soldering, or an assembly device. 1 can be assembled to the production line. Therefore, it can be widely applied to configure an automated production line.

なお、以上に説明した回路基板清浄装置1では、回路基板CQを清浄した後に、搬送ベルト9,10を清浄する際、ノズルNZL,NZUを対向させた状態で搬送ベルト9,10に噴射エアーを吹き付けて清浄しているが、搬送ベルト9,10を清浄する際には、必ずしもノズルNZL,NZUを対向させた状態で噴射エアーを吹き付けなくともよい。つまり、ノズルNZL,NZUを別々に移送して、例えば、ノズルNZLの噴射エアーで搬送ベルト9を清浄し、ノズルNZUの噴射エアーで搬送ベル10を清浄する等の方法で清浄してもよい。   In the circuit board cleaning device 1 described above, when the conveyor belts 9 and 10 are cleaned after the circuit board CQ is cleaned, jet air is supplied to the conveyor belts 9 and 10 with the nozzles NZL and NZU facing each other. Although cleaning is performed by spraying, when the transport belts 9 and 10 are cleaned, it is not always necessary to spray the jet air with the nozzles NZL and NZU facing each other. That is, the nozzles NZL and NZU may be separately transferred, and cleaned by, for example, a method of cleaning the transport belt 9 with the jet air of the nozzle NZL and cleaning the transport bell 10 with the jet air of the nozzle NZU.

また、噴出口AL,AUの幅Wの2分の1の距離(W/2)で回路基板CQを搬送しながら、往復清浄を行うこととしているが、必ずしもかかる方法で清浄しなければならないと言うものではない。例えば、噴出口AL,AUの幅Wとほぼ等しい距離で回路基板CQを順次搬送し、奇数回目の清浄の際には、ノズルNZL,NZUを対向させて往路での清浄を行い、偶数回目の清浄の際には、ノズルNZL,NZUを対向させて復路での清浄を行うようにしてもよい。   In addition, while the circuit board CQ is transported at a distance (W / 2) that is a half of the width W of the jet outlets AL and AU, the reciprocal cleaning is performed. Not what you say. For example, the circuit board CQ is sequentially transported at a distance substantially equal to the width W of the jet outlets AL and AU, and in the case of odd-numbered cleaning, the nozzles NZL and NZU are opposed to perform cleaning in the forward path, When cleaning, the nozzles NZL and NZU may be opposed to perform cleaning in the return path.

要は、ノズルNZL,NZUを対向させて移送し、両者の噴射エアーの間に回路基板CQを挟むようして、回路基板CQの全面を清浄するようにすればよい。   In short, the entire surface of the circuit board CQ may be cleaned by transferring the nozzles NZL and NZU to face each other and sandwiching the circuit board CQ between the jet air of both.

また、以上に説明した本実施形態の回路基板清浄装置の変形例として、次に述べる構成としてもよい。   Moreover, it is good also as a structure described next as a modification of the circuit board cleaning apparatus of this embodiment demonstrated above.

まず、図3に示した回路基板清浄装置1の清浄機構100では、基板搬送方向Xに対して直交するノズル移送方向Yに、ノズルNZL,NZUを対向させて第1,第2のノズル移送機構300A,300Bによって移送している。したがって、ノズルNZL,NZUからの噴射エアーが吹き付けられる回路基板CQの裏面と表面の部分が、ノズル移送方向Yに沿って変移していき、清浄することが可能となっている。   First, in the cleaning mechanism 100 of the circuit board cleaning apparatus 1 shown in FIG. 3, the first and second nozzle transfer mechanisms with the nozzles NZL and NZU facing each other in the nozzle transfer direction Y orthogonal to the substrate transfer direction X. It is transported by 300A and 300B. Therefore, the back surface and the front surface portion of the circuit board CQ to which the jet air from the nozzles NZL and NZU is blown are shifted along the nozzle transfer direction Y, and can be cleaned.

かかる構成に対して変形例では、噴出口AL,AUの向きをノズル移送方向Yに向けて、第1,第2のノズルNZL,NZUを設置する。つまり、スリット状の噴出口AL,AUの幅Wの方向(幅広の方向)をノズル移送方向Yに合わせ、その噴出口AL,AUの幅Wを、搬送ベルト9,10の配置間隔とほぼ同じ幅に拡大して、ノズルNZL,NZUを形成しておく。そして、その幅を拡大した噴出口AL,AUを対向させて、ノズルNZL,NZUを筐体2の内部に固定する。   In a modified example with respect to such a configuration, the first and second nozzles NZL and NZU are installed with the direction of the ejection ports AL and AU facing the nozzle transfer direction Y. That is, the direction (widthwise direction) of the slit-shaped jet outlets AL and AU is aligned with the nozzle transfer direction Y, and the width W of the jet outlets AL and AU is substantially the same as the arrangement interval of the conveyor belts 9 and 10. The nozzles NZL and NZU are formed by expanding the width. Then, the nozzles NZL and NZU are fixed inside the casing 2 with the outlets AL and AU whose widths are increased facing each other.

そして、搬入口6から搬出口側へと搬送される回路基板CQの裏面と表面に対して、上述の拡大された噴出口AL,AUから噴射される噴射エアーを吹き付けて清浄する。   Then, the jet air jetted from the above-described enlarged jet nozzles AL and AU is sprayed on the back surface and the front surface of the circuit board CQ conveyed from the carry-in port 6 to the carry-out side to be cleaned.

かかる変形例によると、ノズルNZL,NZUを移送するためのノズル移送機構300A,300Bを省略することができ、ノズルNZL,NZUを対向させて所定のキャリッジ機構で固定すればよいので、より簡素な構造とすることができる。   According to such a modification, the nozzle transfer mechanisms 300A and 300B for transferring the nozzles NZL and NZU can be omitted, and the nozzles NZL and NZU may be opposed to each other and fixed by a predetermined carriage mechanism. It can be a structure.

また、以上に説明した実施形態と変形例では、ノズルNZL,NZUから回路基板CQに空気を吹きつけることしているが、他の気体を吹き付けるようにしてもよい。例えば、回路基板に付着している異物の性質(粘性、重量、形状など)や、清浄効率等を考慮して、窒素ガスや、水蒸気や、フッ素と空気の混合ガス等を吹き付けるようにしてもよい。また、配線パターンが形成される前の回路基板や半田付け前の回路基板や電子素子が実装されている回路基板等の回路基板の種類に応じて、吹き付ける気体を変更することも可能である。   In the embodiment and the modification described above, air is blown from the nozzles NZL and NZU to the circuit board CQ, but another gas may be blown. For example, nitrogen gas, water vapor, mixed gas of fluorine and air, etc. may be blown in consideration of the nature (viscosity, weight, shape, etc.) of foreign matters adhering to the circuit board and cleaning efficiency. Good. The gas to be blown can be changed according to the type of circuit board such as a circuit board before the wiring pattern is formed, a circuit board before soldering, or a circuit board on which electronic elements are mounted.

従来の回路基板清浄装置を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the conventional circuit board cleaning apparatus. 本実施形態に係る回路基板清浄装置の外観構造を表した斜視図である。It is a perspective view showing the appearance structure of the circuit board cleaning device concerning this embodiment. 図2に示した回路基板清浄装置の内部に設けられている清浄機構の要部構造を表した斜視図である。It is a perspective view showing the principal part structure of the cleaning mechanism provided in the inside of the circuit board cleaning apparatus shown in FIG. 図4(a)は、図3に示した清浄機構の機能を説明するために表した平面図であり、図4(b)は、制御回路ユニットの構成を表したブロック図である。4A is a plan view illustrating the function of the cleaning mechanism illustrated in FIG. 3, and FIG. 4B is a block diagram illustrating the configuration of the control circuit unit. 本実施形態に係る回路基板清浄装置の動作を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating operation | movement of the circuit board cleaning apparatus which concerns on this embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1…回路基板清浄装置
200…基板搬送機構
300…キャリッジ機構
300A,300B…ノズル移送機構
400…制御回路ユニット
NZL,NZU…ノズル
AL,AU…噴出口
CQ…回路基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Circuit board cleaning apparatus 200 ... Board | substrate conveyance mechanism 300 ... Carriage mechanism 300A, 300B ... Nozzle transfer mechanism 400 ... Control circuit unit NZL, NZU ... Nozzle AL, AU ... Spout CQ ... Circuit board

Claims (8)

回路基板を清浄する回路基板清浄装置であって、
前記回路基板を搬送する基板搬送機構と、
前記基板搬送機構によって搬送される前記回路基板の裏面に噴射エアーを吹き付ける第1のノズル手段と、
前記基板搬送機構によって搬送される前記回路基板の表面に噴射エアーを吹き付ける第2のノズル手段と、
前記第1,第2のノズル手段の前記噴射エアーを噴射する噴出口を対向させて、前記第1,第2のノズル手段を支持するキャリッジ機構と、
前記第1,第2のノズル手段に同じ圧力の圧縮空気を供給して、前記第1,第2のノズル手段の前記噴出口から同じ圧力で前記噴射エアーを噴射させる圧縮空気供給手段と、
を具備し、
前記対向された第1,第2のノズル手段の噴出口から噴射される噴射エアーの間に前記回路基板を挟んで、前記回路基板の裏面と表面を清浄すること、
を特徴とする回路基板清浄装置。
A circuit board cleaning device for cleaning a circuit board,
A board transfer mechanism for transferring the circuit board;
First nozzle means for spraying jet air on the back surface of the circuit board transported by the substrate transport mechanism;
Second nozzle means for blowing spray air onto the surface of the circuit board transported by the substrate transport mechanism;
A carriage mechanism for supporting the first and second nozzle means by facing the jet outlets of the first and second nozzle means for injecting the jet air;
Compressed air supply means for supplying compressed air of the same pressure to the first and second nozzle means and injecting the injected air at the same pressure from the outlet of the first and second nozzle means;
Comprising
Cleaning the back and front surfaces of the circuit board by sandwiching the circuit board between jet air jetted from the jet ports of the first and second nozzle means opposed to each other;
A circuit board cleaning device characterized by the above.
前記圧縮空気供給手段から前記第1,第2のノズル手段に供給される前記圧縮空気の圧力を調整することで、前記第1,第2のノズル手段の噴出口から噴射される噴射エアーの圧力を調整する制御手段、
を具備することを特徴とする請求項1に記載の回路基板清浄装置。
By adjusting the pressure of the compressed air supplied to the first and second nozzle means from the compressed air supply means, the pressure of the injected air injected from the outlet of the first and second nozzle means Control means to adjust,
The circuit board cleaning apparatus according to claim 1, comprising:
前記基板搬送機構における前記回路基板の搬送速度を制御する制御手段、
を具備することを特徴とする請求項1又は2に記載の回路基板清浄装置。
Control means for controlling the transport speed of the circuit board in the substrate transport mechanism;
The circuit board cleaning apparatus according to claim 1, further comprising:
前記キャリッジ機構は、
前記搬送機構による前記回路基板の搬送方向に対して直交する水平方向に、前記第1のノズル手段を移送する第1のノズル移送機構と、
前記搬送機構による前記回路基板の搬送方向に対して直交する水平方向に、前記第2のノズル手段を移送する第2のノズル移送機構と、
を具備し、
前記第1,第2のノズル移送機構が前記第1,第2のノズル手段の前記噴出口を対向させて、前記搬送方向に対して直交する水平方向に移送することで、前記噴射エアーを前記回路基板の裏面と表面に吹き付けて清浄すること、
を特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の回路基板清浄装置。
The carriage mechanism is
A first nozzle transfer mechanism for transferring the first nozzle means in a horizontal direction perpendicular to the transfer direction of the circuit board by the transfer mechanism;
A second nozzle transfer mechanism for transferring the second nozzle means in a horizontal direction perpendicular to the transfer direction of the circuit board by the transfer mechanism;
Comprising
The first and second nozzle transfer mechanisms are opposed to the jet outlets of the first and second nozzle means and are transferred in a horizontal direction perpendicular to the transport direction, whereby the jet air is Spray and clean the back and front of the circuit board,
The circuit board cleaning apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein
前記第1,第2のノズル移送機構は、前記第1,第2のノズル手段の前記噴出口を対向させて、前記搬送方向に対して直交する水平方向において往復移送させ、前記噴射エアーを前記回路基板の裏面と表面に吹き付けて清浄すること、
を特徴とする請求項4に記載の回路基板清浄装置。
The first and second nozzle transfer mechanisms oppose the jet outlets of the first and second nozzle means to reciprocate in a horizontal direction perpendicular to the transport direction, and the jet air is Spray and clean the back and front of the circuit board,
The circuit board cleaning apparatus according to claim 4.
前記第1,第2のノズル移送機構における前記第1,第2のノズル手段の移送速度を調整する制御手段、
を具備することを特徴とする請求項4又は5に記載の回路基板清浄装置。
Control means for adjusting the transfer speed of the first and second nozzle means in the first and second nozzle transfer mechanisms;
The circuit board cleaning apparatus according to claim 4, wherein the circuit board cleaning apparatus is provided.
前記第1,第2のノズル移送機構は、
前記回路基板の清浄を完了すると、前記第1,第2のノズル手段を前記基板搬送機構側へ移送し、前記噴射エアーによって前記基板搬送機構を清浄すること、
を特徴とする請求項4〜6の何れか1項に記載の回路基板清浄装置。
The first and second nozzle transfer mechanisms are:
When the cleaning of the circuit board is completed, the first and second nozzle means are transferred to the board transfer mechanism side, and the board transfer mechanism is cleaned by the jet air.
The circuit board cleaning apparatus according to any one of claims 4 to 6, wherein
回路基板を清浄する回路基板清浄方法であって、
前記回路基板を搬送する基板搬送工程と、
前記基板搬送工程で搬送される前記回路基板の裏面と表面に、第1のノズル手段の噴出口と第2のノズル手段の噴出口を対向させ、前記各々の噴出口から同じ圧力の噴射エアーを前記回路基板の裏面と表面に吹き付ける清浄工程と、
を具備し、
前記対向された第1,第2のノズル手段の噴出口から噴射される噴射エアーの間に前記回路基板を挟んで、前記回路基板の裏面と表面を清浄すること、
を特徴とする回路基板清浄方法。
A circuit board cleaning method for cleaning a circuit board,
A board transfer step of transferring the circuit board;
The ejection port of the first nozzle means and the ejection port of the second nozzle means are opposed to the back surface and the front surface of the circuit board transported in the substrate transporting process, and jet air of the same pressure is supplied from each of the ejection ports. A cleaning step of spraying the back and front surfaces of the circuit board;
Comprising
Cleaning the back and front surfaces of the circuit board by sandwiching the circuit board between jet air jetted from the jet ports of the first and second nozzle means opposed to each other;
A circuit board cleaning method characterized by the above.
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