JP2007329357A - 半導体装置切断システムおよび半導体装置切断方法 - Google Patents
半導体装置切断システムおよび半導体装置切断方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】半導体切断システムは、半導体基板120を、第1の部分および該第1の部分とは異なる形状を有する第2の部分を有する予定分割線に沿って切断することにより半導体装置135′を切り出す。半導体切断システムは、該半導体基板を第1の部分に沿って切削ブレードにより切断するブレード切断部200と、該半導体基板を第2の部分に沿ってレーザ光により切断するレーザ切断部100とを有する。
【選択図】図1
Description
110 レーザ発振器
111 レーザ光源
113,114 ガルバノミラー
120,120′ メモリカード基板
121 パッケージ樹脂層
122 プリント基板層
130 予定切断線
131,132 直線部分
133a〜133d,133′,133″ コーナー部分(異形線部分)
135 メモリカード領域
135′ メモリカード
200 ブレード切断部
201 切削ブレードユニット
L レーザ光
Claims (6)
- 半導体基板を予定切断線に沿って切断することにより半導体装置を切り出す半導体装置切断システムであって、
前記予定切断線は、直線形状を有する第1の部分と該第1の部分とは異なる形状を有する第2の部分とにより構成されており、
前記半導体基板を前記第1の部分に沿って切削ブレードにより切断するブレード切断部と、
前記半導体基板を前記第2の部分に沿ってレーザ光により切断するレーザ切断部とを有することを特徴とする半導体装置切断システム。 - 前記第2の部分は、曲線形状を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置切断システム。
- 1つの半導体装置に対して前記第2の部分が複数存在し、
前記レーザ切断部は、前記複数の第2の部分を順次所定深さずつ切削する工程を複数回行うことを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置切断システム。 - 前記ブレード切断部は、前記レーザ切断部により前記第2の部分が切断された前記半導体基板に対して、前記第1の部分の切断を行うことを特徴とする請求項1から4のいずれか1つに記載の半導体装置切断システム。
- 前記半導体基板が、材料が異なる複数の層を有し、
前記レーザ切断部は、前記各層に対して、同じ波長のレーザ光を異なる周波数で照射することを特徴とする請求項1から4のいずれか1つに記載の半導体装置切断システム。 - 半導体基板を予定切断線に沿って切断することにより半導体装置を切り出す半導体装置切断方法であって、
前記予定切断線は、直線形状を有する第1の部分と該第1の部分とは異なる形状を有する第2の部分とにより構成されており、
前記半導体基板を前記第1の部分に沿って切削ブレードにより切断するステップと、
前記半導体基板を前記第2の部分に沿ってレーザ光により切断するステップとを有することを特徴とする半導体装置切断方法。
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