JP2007329247A - 静電チャック装置および露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 本発明は、ウエハ等の基板を吸着するための静電チャック装置およびこの静電チャック装置を備えた露光装置に関し、静電チャックに吸着される基板の離脱時間を従来より大幅に低減することを目的とする。
【解決手段】 チャック本体に基板を吸着する吸着面を備えた静電チャックと、前記静電チャックの前記吸着面に水蒸気を供給するための水蒸気供給手段とを有することを特徴とする。また、前記水蒸気供給手段により前記吸着面に供給された水蒸気を排出するための水蒸気排出手段を有することを特徴とする。
【選択図】 図1
【解決手段】 チャック本体に基板を吸着する吸着面を備えた静電チャックと、前記静電チャックの前記吸着面に水蒸気を供給するための水蒸気供給手段とを有することを特徴とする。また、前記水蒸気供給手段により前記吸着面に供給された水蒸気を排出するための水蒸気排出手段を有することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、ウエハ等の基板を吸着するための静電チャック装置およびこの静電チャック装置を備えた露光装置に関する。
従来、静電チャックとして、クーロン力を利用したクーロン力型の静電チャックと、ジョンソン・ラーベック力を利用したジョンソン・ラーベック力型の静電チャックが知られている。
クーロン力型の静電チャックは、吸着力が弱い反面、離脱応答が早いという特徴を有している。また、ジョンソン・ラーベック力型の静電チャックは、帯電分極により吸着力が強い反面、電圧の印加を無くしても帯電が残るため離脱応答が遅いという特徴を有している。
クーロン力型の静電チャックは、吸着力が弱い反面、離脱応答が早いという特徴を有している。また、ジョンソン・ラーベック力型の静電チャックは、帯電分極により吸着力が強い反面、電圧の印加を無くしても帯電が残るため離脱応答が遅いという特徴を有している。
一方、半導体露光装置等の露光装置では、高速で駆動するステージ上に静電チャックを配置しているため、ステージの駆動により静電チャックに吸着されるウエハ等の基板が移動するおそれがあり、吸着力の強いジョンソン・ラーベック力型の静電チャックが使用されている。
特開2006−13256号公報
しかしながら、ジョンソン・ラーベック力型の静電チャックを使用する場合には、電圧の印加を無くした後、所定時間に亘り帯電が残るため、静電チャックに吸着されるウエハ等の基板の離脱に比較的長い時間が必要になるという問題があった。
本発明は、かかる従来の問題を解決するためになされたもので、静電チャックに吸着される基板の離脱時間を従来より大幅に低減することができる静電チャック装置、およびこの静電チャック装置を備えた露光装置を提供することを目的とする。
本発明は、かかる従来の問題を解決するためになされたもので、静電チャックに吸着される基板の離脱時間を従来より大幅に低減することができる静電チャック装置、およびこの静電チャック装置を備えた露光装置を提供することを目的とする。
第1の発明の静電チャック装置は、チャック本体に基板を吸着する吸着面を備えた静電チャックと、前記静電チャックの前記吸着面に水蒸気を供給するための水蒸気供給手段とを有することを特徴とする。
第2の発明の静電チャック装置は、第1の発明の静電チャック装置において、前記水蒸気供給手段により前記吸着面に供給された水蒸気を排出するための水蒸気排出手段を有することを特徴とする。
第2の発明の静電チャック装置は、第1の発明の静電チャック装置において、前記水蒸気供給手段により前記吸着面に供給された水蒸気を排出するための水蒸気排出手段を有することを特徴とする。
第3の発明の静電チャック装置は、第1または第2の発明の静電チャック装置において、前記チャック本体には、前記吸着面の間に凹部が形成され、前記凹部には、前記水蒸気供給手段の水蒸気導入穴が開口されていることを特徴とする。
第4の発明の静電チャック装置は、第3の発明の静電チャック装置において、前記凹部には、前記水蒸気排出手段の水蒸気排出穴が開口されていることを特徴とする。
第4の発明の静電チャック装置は、第3の発明の静電チャック装置において、前記凹部には、前記水蒸気排出手段の水蒸気排出穴が開口されていることを特徴とする。
第5の発明の静電チャック装置は、第3または第4の発明の静電チャック装置において、前記水蒸気供給手段は、前記水蒸気導入穴に所定圧力の水蒸気を供給する圧力制御手段を有することを特徴とする。
第6の発明の静電チャック装置は、第3ないし第5のいずれか1の発明の静電チャック装置において、前記水蒸気供給手段は、前記水蒸気導入穴への水蒸気の供給と停止を制御する供給制御手段を有することを特徴とする。
第6の発明の静電チャック装置は、第3ないし第5のいずれか1の発明の静電チャック装置において、前記水蒸気供給手段は、前記水蒸気導入穴への水蒸気の供給と停止を制御する供給制御手段を有することを特徴とする。
第7の発明の静電チャック装置は、第4ないし第6のいずれか1の発明の静電チャック装置において、前記水蒸気排出手段は、前記凹部内の水蒸気を前記水蒸気排出穴を介して吸引する吸引手段を有することを特徴とする。
第8の発明の静電チャック装置は、第1ないし第7のいずれか1の発明の静電チャック装置において、前記凹部に不活性ガスを供給し前記基板を冷却する冷却手段を有することを特徴とする。
第8の発明の静電チャック装置は、第1ないし第7のいずれか1の発明の静電チャック装置において、前記凹部に不活性ガスを供給し前記基板を冷却する冷却手段を有することを特徴とする。
第9の発明の露光装置は、第1ないし第8のいずれか1の発明の静電チャック装置を有することを特徴とする。
本発明の静電チャック装置では、静電チャックに吸着される基板の離脱時間を従来より大幅に低減することができる。
本発明の露光装置では、本発明の静電チャック装置を用いているため、スループットを向上することができる。
本発明の露光装置では、本発明の静電チャック装置を用いているため、スループットを向上することができる。
以下、本発明の実施形態を図面を用いて詳細に説明する。
(第1の実施形態)
図1および図2は本発明の静電チャック装置の第1の実施形態を示している。
この静電チャック装置は、静電チャック11、水蒸気供給手段13、水蒸気排出手段15を有している。
(第1の実施形態)
図1および図2は本発明の静電チャック装置の第1の実施形態を示している。
この静電チャック装置は、静電チャック11、水蒸気供給手段13、水蒸気排出手段15を有している。
静電チャック11は、ジョンソン・ラーベック力型の静電チャックであり、チャック本体17内には、一対の内部電極19A,19Bが配置されている。内部電極19Aに給電端子21Aを介して電源27Aから正の電圧を印加し、内部電極19Bに給電端子21Bを介して電源27Bから負の電圧を印加することによりウエハからなる基板23が吸着される。この電圧の印加は制御手段25により電源27A,27Bのスイッチ29A,29Bをオンにすることにより行われる。また、スイッチ29A,29Bはオフにすると共に接地される。
チャック本体17の上面には、図2に示すように、基板23を吸着する矩形状の吸着面17aと円環状の吸着面17bが形成されている。矩形状の吸着面17aの間には直線状に凹部17cが形成されている。円環状の吸着面17bはチャック本体17の外周に形成され、その吸着面17bと矩形状の吸着面17aとの間に凹部17dが形成されている。
水蒸気供給手段13は、図1に示すように、水蒸気導入穴17e、電磁開閉弁31、圧力制御弁33、水蒸気発生部35を有している。水蒸気導入穴17eは、チャック本体17を上下方向に貫通して形成されている。そして、チャック本体17の中心の凹部17cおよび、矩形状の吸着面17aと円環状の吸着面17bとの間の凹部17dに開口されている。
水蒸気供給手段13は、図1に示すように、水蒸気導入穴17e、電磁開閉弁31、圧力制御弁33、水蒸気発生部35を有している。水蒸気導入穴17eは、チャック本体17を上下方向に貫通して形成されている。そして、チャック本体17の中心の凹部17cおよび、矩形状の吸着面17aと円環状の吸着面17bとの間の凹部17dに開口されている。
水蒸気導入穴17eには、水蒸気供給管路37が接続されている。水蒸気供給管路37には、電磁開閉弁31、圧力制御弁33、水蒸気発生部35が配置されている。水蒸気発生部35は、水蒸気を発生させる。水蒸気発生部35は、例えば、純水を溜めるタンク(不図示)を有しており、タンクから蒸発した水蒸気が使用される。なお、超音波装置等を用いて水蒸気を発生させても良いし、水滴を発生させて水蒸気の発生を促進させても良い。圧力制御弁33は、水蒸気発生部35で発生した水蒸気の圧力を予め定められた所定の圧力に制御する。電磁開閉弁31は、水蒸気導入穴17eへの水蒸気の供給と停止を制御する。
水蒸気排出手段15は、水蒸気排出穴17f、電磁開閉弁39、吸引ポンプ41を有している。水蒸気排出穴17fは、チャック本体17を上下方向に貫通して形成されている。そして、チャック本体17の中心の近傍の凹部17c、および、矩形状の吸着面17aと円環状の吸着面17bとの間の凹部17dに開口されている。
水蒸気排出穴17fには、水蒸気排出管路43が接続されている。水蒸気排出管路43には、電磁開閉弁39、吸引ポンプ41が配置されている。電磁開閉弁39は、水蒸気排出穴17fからの水蒸気の排出と停止を制御する。吸引ポンプ41は、例えば真空ポンプからなり水蒸気排出穴17fから水蒸気を吸引する。
水蒸気排出穴17fには、水蒸気排出管路43が接続されている。水蒸気排出管路43には、電磁開閉弁39、吸引ポンプ41が配置されている。電磁開閉弁39は、水蒸気排出穴17fからの水蒸気の排出と停止を制御する。吸引ポンプ41は、例えば真空ポンプからなり水蒸気排出穴17fから水蒸気を吸引する。
上述した静電チャック装置では、チャック本体17の吸着面17a,17bに基板23を載置した状態で、制御手段25によりスイッチ29A,29Bをオンにして内部電極19A,19Bに電圧を印加することによりウエハ等の基板23が吸着面17a,17bに吸着される。
そして、チャック本体17の吸着面17a,17bからの基板23の離脱が以下述べるようにして行われる。
そして、チャック本体17の吸着面17a,17bからの基板23の離脱が以下述べるようにして行われる。
先ず、制御手段25によりスイッチ29A,29Bをオフにすることにより、内部電極19A,19Bへの電圧の印加を解除する。
次に、スイッチ29A,29Bのオフと略同時に、制御手段25により水蒸気供給手段13の電磁開閉弁31を予め定められた所定時間だけ開にする。電磁開閉弁31を開にすると、水蒸気発生部35からの水蒸気が、圧力制御弁33、電磁開閉弁31、水蒸気供給管路37、水蒸気導入穴17eを通り、チャック本体17の凹部17c,17dに迅速に導かれる。そして、図3に示すように、水蒸気Sがチャック本体17の凹部17c,17dに所定の圧力で充満し、吸着面17a,17bの近傍に接触する。この接触により、吸着面17a,17bおよび吸着面17a,17bの近傍の基板23に帯電した電荷が逃げ易くなり、帯電した電荷が迅速に消滅する。これにより基板23に対する吸着力が無くなり基板23を容易に離脱することが可能になる。
次に、スイッチ29A,29Bのオフと略同時に、制御手段25により水蒸気供給手段13の電磁開閉弁31を予め定められた所定時間だけ開にする。電磁開閉弁31を開にすると、水蒸気発生部35からの水蒸気が、圧力制御弁33、電磁開閉弁31、水蒸気供給管路37、水蒸気導入穴17eを通り、チャック本体17の凹部17c,17dに迅速に導かれる。そして、図3に示すように、水蒸気Sがチャック本体17の凹部17c,17dに所定の圧力で充満し、吸着面17a,17bの近傍に接触する。この接触により、吸着面17a,17bおよび吸着面17a,17bの近傍の基板23に帯電した電荷が逃げ易くなり、帯電した電荷が迅速に消滅する。これにより基板23に対する吸着力が無くなり基板23を容易に離脱することが可能になる。
次に、基板23を吸着面17a,17bから離脱する前に制御手段25により水蒸気排出手段15の電磁開閉弁39を開にする。また、電磁開閉弁39の開と同時、あるいは、所定時間前に制御手段25により水蒸気排出手段15の電磁開閉弁31を閉にする。水蒸気排出手段15の電磁開閉弁39を開にすると、凹部17c,17d内の水蒸気が、電磁開閉弁39を通り、吸引ポンプ41に迅速に吸引される。これにより、凹部17c,17d内の水蒸気が内部雰囲気に漏洩することが防止される。そして、電磁開閉弁39を閉にした後、吸着面17a,17bから基板23が離脱される。
上述した静電チャック装置では、水蒸気供給手段13により、静電チャック11の吸着面17a,17bに隣接する凹部17c,17dに水蒸気を供給するようにしたので、静電チャック11に吸着される基板23の離脱時間を従来より大幅に低減することができる。また、水蒸気供給手段13により吸着面17a,17bに隣接する凹部17c,17dに供給された水蒸気を、水蒸気排出手段15により排出するようにしたので、チャック本体17の凹部17c,17d内に供給された水蒸気が内部雰囲気に漏洩することを防止することができる。
そして、圧力制御弁33により、基板23に大きな力が作用しない所定圧力の水蒸気を供給するようにしたので、水蒸気の供給により基板23に大きな力が作用し、基板23が吸着面17a,17bから飛び出し破損するおそれを有効に防止することができる。なお、静電チャック11に吸着された基板23に設けられたマーク(不図示)に光線をあて、基板23の変形により反射した光線の位置変化、あるいは、マークの結像位置の変化を観測し、基板23に異常な変形が生じないように水蒸気の供給を制御するようにしても良い。
(第2の実施形態)
図4および図5は本発明の静電チャック装置の第2の実施形態を模式的に示している。
(第2の実施形態)
図4および図5は本発明の静電チャック装置の第2の実施形態を模式的に示している。
なお、この実施形態において第1の実施形態と同一の要素には、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
図4において、符号17aは矩形状の吸着面を、符号17bは円環状の吸着面を示している。また、符号17eは水蒸気導入穴を、符号17fは水蒸気排出穴を示している。水蒸気導入穴17eには、図5に示すように、水蒸気供給管路37が接続されている。また、水蒸気排出穴17fには、水蒸気排出管路43が接続されている。
図4において、符号17aは矩形状の吸着面を、符号17bは円環状の吸着面を示している。また、符号17eは水蒸気導入穴を、符号17fは水蒸気排出穴を示している。水蒸気導入穴17eには、図5に示すように、水蒸気供給管路37が接続されている。また、水蒸気排出穴17fには、水蒸気排出管路43が接続されている。
そして、この実施形態では、チャック本体17には、ヘリウムガス導入穴17hおよびヘリウムガス排出穴17iが形成されている。ヘリウムガス導入穴17hおよびヘリウムガス排出穴17iは、図5に示すように、チャック本体17を上下方向に貫通して形成されている。そして、チャック本体17の凹部17c,17dに開口されている。
ヘリウムガス導入穴17hには、凹部17c,17dにヘリウムガスを導入するためのヘリウムガス供給管路45が接続されている。ヘリウムガス供給管路45には、電磁開閉弁47およびヘリウムガス供給装置49が配置されている。ヘリウムガス排出穴17iには、凹部17c,17dに供給されたヘリウムガスを排出するためのヘリウムガス排出管路51が接続されている。ヘリウムガス排出管路51には、電磁開閉弁53および吸引ポンプ55が配置されている。
ヘリウムガス導入穴17hには、凹部17c,17dにヘリウムガスを導入するためのヘリウムガス供給管路45が接続されている。ヘリウムガス供給管路45には、電磁開閉弁47およびヘリウムガス供給装置49が配置されている。ヘリウムガス排出穴17iには、凹部17c,17dに供給されたヘリウムガスを排出するためのヘリウムガス排出管路51が接続されている。ヘリウムガス排出管路51には、電磁開閉弁53および吸引ポンプ55が配置されている。
この実施形態では、ウエハからなる基板23の露光時に、露光光の照射による基板23の熱変形を防止するために、チャック本体17の凹部17c,17d内にヘリウムガスが導入され基板23の冷却が行われる。
より具体的には、露光の開始と略同時に、ヘリウムガス供給管路45の電磁開閉弁47およびヘリウムガス排出管路51の電磁開閉弁53を開にすることにより、ヘリウムガス供給装置49からのヘリウムガスがヘリウムガス導入穴17hを通り凹部17c,17d内に導入され基板23の冷却が行われる。また、熱交換したヘリウムガスは、ヘリウムガス排出穴17iを通り吸引ポンプ55により吸引される。そして、基板23の露光の終了と略同時に、ヘリウムガス供給管路45の電磁開閉弁47を閉じ、この後ヘリウムガス排出管路の電磁開閉弁53を閉じることにより、凹部17c,17d内のヘリウムガスが吸引ポンプ55により排出される。そして、ヘリウムガスの排出と略同時に、水蒸気供給手段13による水蒸気の供給が行われ凹部17c,17d内に水蒸気が供給される。
より具体的には、露光の開始と略同時に、ヘリウムガス供給管路45の電磁開閉弁47およびヘリウムガス排出管路51の電磁開閉弁53を開にすることにより、ヘリウムガス供給装置49からのヘリウムガスがヘリウムガス導入穴17hを通り凹部17c,17d内に導入され基板23の冷却が行われる。また、熱交換したヘリウムガスは、ヘリウムガス排出穴17iを通り吸引ポンプ55により吸引される。そして、基板23の露光の終了と略同時に、ヘリウムガス供給管路45の電磁開閉弁47を閉じ、この後ヘリウムガス排出管路の電磁開閉弁53を閉じることにより、凹部17c,17d内のヘリウムガスが吸引ポンプ55により排出される。そして、ヘリウムガスの排出と略同時に、水蒸気供給手段13による水蒸気の供給が行われ凹部17c,17d内に水蒸気が供給される。
この実施形態においても第1の実施形態と略同様の効果を得ることができる。そして、この実施形態では、基板23の露光時に、チャック本体17の凹部17c,17dにヘリウムガスを供給するようにしたので、露光光の照射による基板23の熱変形を有効に防止することができる。なお、この実施形態では、凹部17c,17dにヘリウムガスを供給した例について説明したが、窒素等の不活性ガスを供給するようにしても良い。
(露光装置の実施形態)
図6は、上述した静電チャック装置が配置されるEUV露光装置を模式化して示している。なお、この実施形態において第1の実施形態と同一の部材には、同一の符号を付している。この実施形態では、露光の照明光としてEUV光が用いられる。EUV光は0.1〜400nmの間の波長を持つもので、この実施形態では特に1〜50nm程度の波長が好ましい。投影系は像光学系システム101を用いたもので、ウエハ23A上にレチクル103によるパターンの縮小像を形成するものである。
(露光装置の実施形態)
図6は、上述した静電チャック装置が配置されるEUV露光装置を模式化して示している。なお、この実施形態において第1の実施形態と同一の部材には、同一の符号を付している。この実施形態では、露光の照明光としてEUV光が用いられる。EUV光は0.1〜400nmの間の波長を持つもので、この実施形態では特に1〜50nm程度の波長が好ましい。投影系は像光学系システム101を用いたもので、ウエハ23A上にレチクル103によるパターンの縮小像を形成するものである。
ウエハ23A上に照射されるパターンは、レチクルステージ102の下側に静電チャック装置104を介して配置されている反射型のレチクル103により決められる。この反射型のレチクル103は、真空ロボットによって搬入および搬出される(真空ロボットの図示は省略する)。また、ウエハ23Aはウエハステージ105のテーブル119上に静電チャック11を介して配置されている。典型的には、露光はステップ・スキャンによりなされる。
露光時の照明光として使用するEUV光は大気に対する透過性が低いので、EUV光が通過する光経路は、適当な真空ポンプ107を用いて真空に保たれた真空チャンバ106に囲まれている。またEUV光はレーザプラズマX線源によって生成される。レーザプラズマX線源はレーザ源108(励起光源として作用)とキセノンガス供給装置109からなっている。レーザプラズマX線源は真空チャンバ110によって取り囲まれている。レーザプラズマX線源によって生成されたEUV光は真空チャンバ110の窓111を通過する。
放物面ミラー113は、キセノンガス放出部の近傍に配置されている。放物面ミラー113はプラズマによって生成されたEUV光を集光する。放物面ミラー113は集光光学系を構成し、ノズル112からのキセノンガスが放出される位置の近傍に焦点位置がくるように配置されている。EUV光は放物面ミラー113の多層膜で反射し、真空チャンバ110の窓111を通じて集光ミラー114へと達する。集光ミラー114は反射型のレチクル103へとEUV光を集光、反射させる。EUV光は集光ミラー114で反射され、レチクル103の所定の部分を照明する。すなわち、放物面ミラー113と集光ミラー114はこの装置の照明システムを構成する。
レチクル103は、EUV光を反射する多層膜とパターンを形成するための吸収体パターン層を持っている。レチクル103でEUV光が反射されることによりEUV光は「パターン化」される。パターン化されたEUV光は像光学システム101を通じてウエハ23Aに達する。
この実施形態の像光学システム101は、凹面第1ミラー115a、凸面第2ミラー115b、凸面第3ミラー115c、凹面第4ミラー115dの4つの反射ミラーからなっている。各ミラー115a〜115dにはEUV光を反射する多層膜が備えられている。
この実施形態の像光学システム101は、凹面第1ミラー115a、凸面第2ミラー115b、凸面第3ミラー115c、凹面第4ミラー115dの4つの反射ミラーからなっている。各ミラー115a〜115dにはEUV光を反射する多層膜が備えられている。
レチクル103により反射されたEUV光は第1ミラー115aから第4ミラー115dまで順次反射されて、レチクル103パターンの縮小(例えば、1/4、1/5、1/6)された像を形成する。像光学系システム101は、像の側(ウエハ23Aの側)でテレセントリックになるようになっている。
レチクル103は可動のレチクルステージ102によって少なくともX−Y平面内で支持されている。ウエハ23Aは、好ましくはX,Y,Z方向に可動なウエハステージ105によって支持されている。ウエハ23A上のダイを露光するときには、EUV光が照明システムによりレチクル103の所定の領域に照射され、レチクル103とウエハ23Aは像光学系システム101に対して像光学システム101の縮小率に従った所定の速度で動く。このようにして、レチクルパターンはウエハ23A上の所定の露光範囲(ダイに対して)に露光される。
レチクル103は可動のレチクルステージ102によって少なくともX−Y平面内で支持されている。ウエハ23Aは、好ましくはX,Y,Z方向に可動なウエハステージ105によって支持されている。ウエハ23A上のダイを露光するときには、EUV光が照明システムによりレチクル103の所定の領域に照射され、レチクル103とウエハ23Aは像光学系システム101に対して像光学システム101の縮小率に従った所定の速度で動く。このようにして、レチクルパターンはウエハ23A上の所定の露光範囲(ダイに対して)に露光される。
露光の際には、ウエハ23A上のレジストから生じるガスが像光学システム101のミラー115a〜115dに影響を与えないように、ウエハ23Aはパーティション116の後ろに配置されることが望ましい。パーティション116は開口116aを持っており、それを通じてEUV光がミラー115dからウエハ23Aへと照射される。パーティション116内の空間は真空ポンプ117により真空排気されている。このように、レジストに照射することにより生じるガス状のゴミがミラー115a〜115dあるいはレチクル103に付着するのを防ぐ。それゆえ、これらの光学性能の悪化を防いでいる。
この実施形態の露光装置では、上述した第1の実施形態の静電チャック装置を用いているため、静電チャック11からのウエハ23Aの離脱を迅速に行うことが可能になりスループットを向上することができる。また、上述した第2の実施形態の静電チャック装置を用いることにより、ウエハ23Aの局所的な熱的変形を低減することが可能になり露光精度を向上することができる。
(実施形態の補足事項)
以上、本発明を上述した実施形態によって説明してきたが、本発明の技術的範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下のような形態でも良い。
(実施形態の補足事項)
以上、本発明を上述した実施形態によって説明してきたが、本発明の技術的範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下のような形態でも良い。
(1)上述した実施形態では、ジョンソン・ラーベック力型の静電チャックに本発明を適用した例について説明したが、必要に応じてクーロン力型の静電チャック等に広く適用することができる。
(2)上述した実施形態では、ウエハを保持する静電チャック装置に本発明を適用した例について説明したが、例えば、レチクル等の基板を保持する静電チャック装置に広く適用することができる。
(2)上述した実施形態では、ウエハを保持する静電チャック装置に本発明を適用した例について説明したが、例えば、レチクル等の基板を保持する静電チャック装置に広く適用することができる。
(3)上述した実施形態では、EUV露光装置に本発明の静電チャック装置を適用した例について説明したが、パターンを転写するエネルギ線は特に限定されず、光、紫外線、X線(軟X線等)、荷電粒子線(電子線、イオンビーム)等であっても良い。また、露光方式も限定されず、縮小投影露光、近接等倍転写、直描式等に広く適用できる。
(4)上述した実施形態では、水蒸気導入と排出とを時間的に切り分けたが導入と排出とを同時に行なう形態であっても良い。
(4)上述した実施形態では、水蒸気導入と排出とを時間的に切り分けたが導入と排出とを同時に行なう形態であっても良い。
11:静電チャック、13:水蒸気供給手段、15:水蒸気排出手段、17:チャック本体、17a,17b:吸着面、17c,17d:凹部、17e:水蒸気導入穴、17f:水蒸気排出穴、17h:ヘリウムガス導入穴、17i:ヘリウムガス排出穴、23:基板、31,39:電磁開閉弁、33:圧力制御弁。
Claims (9)
- チャック本体に基板を吸着する吸着面を備えた静電チャックと、
前記静電チャックの前記吸着面に水蒸気を供給するための水蒸気供給手段と、
を有することを特徴とする静電チャック装置。 - 請求項1記載の静電チャック装置において、
前記水蒸気供給手段により前記吸着面に供給された水蒸気を排出するための水蒸気排出手段を有することを特徴とする静電チャック装置。 - 請求項1または請求項2記載の静電チャック装置において、
前記チャック本体には、前記吸着面の間に凹部が形成され、
前記凹部には、前記水蒸気供給手段の水蒸気導入穴が開口されていることを特徴とする静電チャック装置。 - 請求項3記載の静電チャック装置において、
前記凹部には、前記水蒸気排出手段の水蒸気排出穴が開口されていることを特徴とする静電チャック装置。 - 請求項3または請求項4記載の静電チャック装置において、
前記水蒸気供給手段は、前記水蒸気導入穴に所定圧力の水蒸気を供給する圧力制御手段を有することを特徴とする静電チャック装置。 - 請求項3ないし請求項5のいずれか1項記載の静電チャック装置において、
前記水蒸気供給手段は、前記水蒸気導入穴への水蒸気の供給と停止を制御する供給制御手段を有することを特徴とする静電チャック装置。 - 請求項4ないし請求項6のいずれか1項記載の静電チャック装置において、
前記水蒸気排出手段は、前記凹部内の水蒸気を前記水蒸気排出穴を介して吸引する吸引手段を有することを特徴とする静電チャック装置。 - 請求項1ないし請求項7のいずれか1項記載の静電チャック装置において、
前記凹部に不活性ガスを供給し前記基板を冷却する冷却手段を有することを特徴とする静電チャック装置。 - 請求項1ないし請求項8のいずれか1項記載の静電チャック装置を有することを特徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006158460A JP2007329247A (ja) | 2006-06-07 | 2006-06-07 | 静電チャック装置および露光装置 |
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JP2006158460A JP2007329247A (ja) | 2006-06-07 | 2006-06-07 | 静電チャック装置および露光装置 |
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JP (1) | JP2007329247A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016062920A (ja) * | 2014-09-12 | 2016-04-25 | 株式会社東芝 | 静電チャック機構、基板処理方法及び半導体基板処理装置 |
-
2006
- 2006-06-07 JP JP2006158460A patent/JP2007329247A/ja not_active Withdrawn
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