JP2007324302A - 防塵機能を備えたロードポート装置及びミニエンバイロンメントシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ロードポート装置における室を形成し且つ開口部を確定する室壁の開口部内周面と、ドアの外周面と、にて形成されるスリットにおいて、所定の領域で該スリットにおける室側の開口部におけるスリット幅を、当該スリットの長さ(奥行き)方向における他の領域のスリット幅よりも大きくする。
【選択図】図3A
Description
Claims (6)
- 外部空間よりも高い圧力に維持される室と、
前記室と前記外部空間とを連通させる前記室を構成する室壁によって画定される開口部と、
前記開口部を略閉鎖する位置で停止可能な平板状のドアと、を有するロードポート装置であって、
前記ドアは前記開口部を略閉鎖する位置で停止した状態において前記ドアの平板外周面と前記室壁が前記開口部を画定する境界面である前記開口部の内周面との間において隙間を維持し、
前記隙間において、前記ドアの前記室側の面或いは前記室壁の室内面と同一の平面において開口する前記隙間の開口の面積は前記平面と平行な平面にて前記隙間を切断した際の前記隙間の断面積に対して大きいことを特徴とするロードポート装置。 - 外部空間よりも高い圧力に維持される室と、
前記室と前記外部空間とを連通させる前記室を構成する室壁によって画定される開口部と、
前記開口部を略閉鎖する位置で停止可能な直方平板状のドアと、を有する、半導体処理装置に付随するウエハ挿脱用のロードポート装置であって、
前記ドアは前記開口部を略閉鎖する位置で停止した状態において前記ドアの平板外周面と前記室壁が前記開口部を画定する境界面である前記開口部の内周面との間において隙間を維持し、
前記ドアの平板外周面と前記開口部における前記室壁の内周面との間であって、少なくとも前記ドアの直方平板形状の一辺では前記一辺に沿った所定の幅以上の領域において、前記隙間の前記室側に位置する開口のスリット幅が前記外のスリット幅よりも大きいことを特徴とするロードポート装置。 - 前記所定の幅は120mmであることを特徴とする請求項2に記載のロードポート装置。
- 前記所定の幅は前記ウエハの径の40%の幅であることを特徴とする請求項2に記載のロードポート装置。
- 前記室側の開口から前記外部空間側の開口への前記隙間のスリット幅の変化は連続的であることを特徴とする請求項2に記載のロードポート装置。
- 前記半導体処理装置と、
前記ウエハを収容し、一側面に蓋を用いて開閉可能な開口を有するポッドと、
請求項2乃至5に記載のロードポート装置であって、前記ポッドの開口が前記開口部に正対させて載置可能なドッキングプレートを有し、前記ドアが前記蓋を保持して前記ポッドの開口の開閉を行うドアシステムからなるロードポート装置と、を有することを特徴とするミニエンバイロンメントシステム。
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