JP2007320074A - 微細金型の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】マイクロレンズアレイなどの微細構造体を高精度・高速に、製造することができる微細金型の製造方法を提供する。
【解決手段】次の各工程からなる微細金型の製造方法、(A)チタンまたはクロム含有金属板に、樹脂を塗布する工程、(B)レーザにより、樹脂を穴あけ加工する工程、(C)ニッケルめっきまたはニッケル−リンめっきし、金型用金属層を形成する工程、(D)めっきにより形成された金型用金属層を金属板から剥離する工程、および(E)金型用金属層の裏面を補強する工程。
【選択図】図1
Description
本発明は、マイクロレンズなどの微小構造体を作製するための微細金型(マイクロ金型)の製造方法に関するものである。
近年、テクノロジーの発展に伴い、各種機器に使用する、微細構造体の需要が増加している。例えば、マイクロレンズは、コンパクトディスク等の光ピックアップの集光手段等の各種の光学装置に用いられている。このマイクロレンズは、1次元または2次元に等間隔に配置したレンズアレイとして用いられる場合も多い。
マイクロレンズ等の微細構造体は、従来、モールド用金型を彫刻し、そこに樹脂やガラスを流し込んで成形加工する機械加工法やイオンビーム加工法等により作製されてきた。しかし、従来は、微細な三次元自由曲面を有する金型を機械工加工で高精度に作ることは困難で、多くの時間が必要とされてきた。また、シリコンにフォトリソグラフィーによるエッチングで整形して型にしたり、直接部品として加工する方法もあるが、これらの方法でも、作製には多くの時間がかかり、またコストも高いものとなってしまっていた。
伊藤寛明、他、「マイクロ光学レンズ成形用金型の集束イオンビーム加工」、精密工学会誌、Vol.70、No.12、pp.1549-1553,2004年
マイクロレンズ等の微細構造体は、従来、モールド用金型を彫刻し、そこに樹脂やガラスを流し込んで成形加工する機械加工法やイオンビーム加工法等により作製されてきた。しかし、従来は、微細な三次元自由曲面を有する金型を機械工加工で高精度に作ることは困難で、多くの時間が必要とされてきた。また、シリコンにフォトリソグラフィーによるエッチングで整形して型にしたり、直接部品として加工する方法もあるが、これらの方法でも、作製には多くの時間がかかり、またコストも高いものとなってしまっていた。
伊藤寛明、他、「マイクロ光学レンズ成形用金型の集束イオンビーム加工」、精密工学会誌、Vol.70、No.12、pp.1549-1553,2004年
本発明は、マイクロレンズアレイなどの微細構造体を高精度・高速に、製造することができる微細金型およびその製造方法を提供することを目的とする。
本発明は、
(1)次の各工程からなる微細金型の製造方法、
(A)チタンまたはクロム含有金属板に、樹脂を塗布する工程、
(B)レーザにより、樹脂を穴あけ加工する工程、
(C)ニッケルめっきまたはニッケル−リンめっきし、金型用金属層を形成する工程、
(D)めっきにより形成された金型用金属層を金属板から剥離する工程、
(E)金型用金属層の裏面を補強する工程、
(2)前記(C)工程が、無電解ニッケルめっきまたは無電解ニッケル−リンめっきした後、さらに電解めっきし、金型用金属層を形成する工程であることを特徴とする(1)項記載の微細金型の製造方法、
(3)前記(A)工程において、樹脂が塗布される金属面をあらかじめ研磨することを特徴とする(1)または(2)項記載の微細金型の製造方法、
(4)前記(B)工程において、金属を露出させることを特徴とする(1)〜(3)のいずれか1項に記載の微細金型の製造方法、
(5)前記(B)工程において、金属面は加工しないことを特徴とする(1)〜(4)のいずれか1項に記載の微細金型の製造方法、
(6)前記(B)工程において、樹脂が異なる種類の樹脂を多層化させたものだり、レーザ除去率の差で三次元加工することを特徴とする(1)〜(5)のいずれか1項に記載の微細金型の製造方法、
(7)(1)〜(6)のいずれか1項に記載の製造方法により製造された微細金型。
(8)金型用金属層表面に5〜50μmの曲率半径の曲面を有することを特徴とする(7)項記載の微細金型、
(9)前記曲面を2個以上有することを特徴とする(8)項記載の微細金型、および
(10)マイクロレンズアレイ、DNAアレイ、または光配線ガイドウェイの金型であることを特徴とする(7)項記載の微細金型
を提供するものである。
(1)次の各工程からなる微細金型の製造方法、
(A)チタンまたはクロム含有金属板に、樹脂を塗布する工程、
(B)レーザにより、樹脂を穴あけ加工する工程、
(C)ニッケルめっきまたはニッケル−リンめっきし、金型用金属層を形成する工程、
(D)めっきにより形成された金型用金属層を金属板から剥離する工程、
(E)金型用金属層の裏面を補強する工程、
(2)前記(C)工程が、無電解ニッケルめっきまたは無電解ニッケル−リンめっきした後、さらに電解めっきし、金型用金属層を形成する工程であることを特徴とする(1)項記載の微細金型の製造方法、
(3)前記(A)工程において、樹脂が塗布される金属面をあらかじめ研磨することを特徴とする(1)または(2)項記載の微細金型の製造方法、
(4)前記(B)工程において、金属を露出させることを特徴とする(1)〜(3)のいずれか1項に記載の微細金型の製造方法、
(5)前記(B)工程において、金属面は加工しないことを特徴とする(1)〜(4)のいずれか1項に記載の微細金型の製造方法、
(6)前記(B)工程において、樹脂が異なる種類の樹脂を多層化させたものだり、レーザ除去率の差で三次元加工することを特徴とする(1)〜(5)のいずれか1項に記載の微細金型の製造方法、
(7)(1)〜(6)のいずれか1項に記載の製造方法により製造された微細金型。
(8)金型用金属層表面に5〜50μmの曲率半径の曲面を有することを特徴とする(7)項記載の微細金型、
(9)前記曲面を2個以上有することを特徴とする(8)項記載の微細金型、および
(10)マイクロレンズアレイ、DNAアレイ、または光配線ガイドウェイの金型であることを特徴とする(7)項記載の微細金型
を提供するものである。
本発明により、三次元微細構造を有するマイクロ金型を高精度・高速で加工、作製することができる。また、本発明の金型は、曲率半径のばらつきを著しく小さくした、多くの微細な曲率半径の曲面を有するものとすることができる。
本発明の好ましい実施態様を図面を参照して説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
図1は、本発明の製造方法の一例を説明する断面図である。ここではレンズアレイ用の金型を製造する。
まず、図1(A)に示すように、金属基板1の表面に樹脂2をラミネートする。
金属基板1は、チタンまたはクロム含有金属板であって、鏡面研磨した金属板が好ましい。チタン含有金属板としては、例えば、通常のチタン合金板を用いることができる。またクロム含有金属板としては、通常のクロム鋼板を用いることができる。また、鉄、銅等の金属板に、チタンまたはクロムを蒸着したものであっても良い。
図1は、本発明の製造方法の一例を説明する断面図である。ここではレンズアレイ用の金型を製造する。
まず、図1(A)に示すように、金属基板1の表面に樹脂2をラミネートする。
金属基板1は、チタンまたはクロム含有金属板であって、鏡面研磨した金属板が好ましい。チタン含有金属板としては、例えば、通常のチタン合金板を用いることができる。またクロム含有金属板としては、通常のクロム鋼板を用いることができる。また、鉄、銅等の金属板に、チタンまたはクロムを蒸着したものであっても良い。
ラミネートされる樹脂2としては、塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリイミドなどの樹脂を用いることができ、ポリイミドが好ましい。本発明においては、金属基板1に均一な厚みでラミネートすることが好ましい。また、ラミネートに代えて、スピンコート、またはディッピングにより樹脂2を塗布しても良い。ラミネート、スピンコート、およびディッピングの各方法は特に限定されるものではなく、通常用いられている方法をそのまま用いることができる。
樹脂2の厚さは、0.1〜1000μmが好ましく、1〜50μmがさらに好ましい。
樹脂2の厚さは、0.1〜1000μmが好ましく、1〜50μmがさらに好ましい。
次に、図1(B)に示すように、波面制御レーザ3により、樹脂2に穴あけする。このとき、レーザの波長やパワー密度を適宜決定することにより、金属板1は、樹脂よりも光吸収率を低くすることができ、融点も高いため加工されない。
また、形成される穴の樹脂の傾斜角度は30°〜60°が好ましい。樹脂の傾斜角度をこの範囲のものとするためには、ビームの強度分布を制御(波面制御レーザと呼ぶ)すればよい。また、樹脂2が除かれ金属基板1上に形成される窓の大きさは、窓が円形の場合、直径が1〜30μmが好ましい。
用いられるレーザとしては、YAGレーザ、エキシマレーザなどが好ましい。このうち、YAGレーザとしては、波長は266〜532nmが好ましく、パルスエネルギーは0.1〜100mJが好ましく、パルス幅は1〜100nsecが好ましく、繰り返し数は10Hz〜100kHzが好ましい。
本実施態様では、例えばマルチアレイレンズを作製するためにはレーザの繰り返し数を一定にして1パルス毎に穴をあけて行く。このときガルパノミラーで高速にX−Yにビームをスキャンするか、ビームは静止させX−Yステージを高速で動作することにより、樹脂2に一定間隔で同じ大きさの穴をあけている。
また、形成される穴の樹脂の傾斜角度は30°〜60°が好ましい。樹脂の傾斜角度をこの範囲のものとするためには、ビームの強度分布を制御(波面制御レーザと呼ぶ)すればよい。また、樹脂2が除かれ金属基板1上に形成される窓の大きさは、窓が円形の場合、直径が1〜30μmが好ましい。
用いられるレーザとしては、YAGレーザ、エキシマレーザなどが好ましい。このうち、YAGレーザとしては、波長は266〜532nmが好ましく、パルスエネルギーは0.1〜100mJが好ましく、パルス幅は1〜100nsecが好ましく、繰り返し数は10Hz〜100kHzが好ましい。
本実施態様では、例えばマルチアレイレンズを作製するためにはレーザの繰り返し数を一定にして1パルス毎に穴をあけて行く。このときガルパノミラーで高速にX−Yにビームをスキャンするか、ビームは静止させX−Yステージを高速で動作することにより、樹脂2に一定間隔で同じ大きさの穴をあけている。
次に、図1(C)に示すように、無電解ニッケルめっきまたは無電解ニッケル−リンめっきを行い、金型用金属層4を形成する。このときのめっき厚さは、1〜50μmが好ましい。また、無電解ニッケルめっきまたは無電解ニッケル−リンめっきの前処理、およびめっき条件は通常行なわれている処理、および条件により行なうことができる。
めっきは、金型用金属層4の表面をより平坦化させるとともに、および金属基板1部と樹脂2部とにおける適切な成長速度差を設けるために、無電解めっきを約0.1μmの厚さ行なった後に、電解(電気)ニッケルめっきをすることが好ましい。後に行なう電解ニッケルめっきのめっき厚さは、1〜50μmが好ましい。
これにより、図1(C)に示すように、金型用金属層4の表面に、曲面からなるレンズ型5が形成される。
これにより、図1(C)に示すように、金型用金属層4の表面に、曲面からなるレンズ型5が形成される。
次に、図1(D)に示すように、金型用金属層4を金属基板1から剥離する。剥離は、通常の樹脂エッチング溶液に入れ、樹脂2を溶かすことより行なうことができる。めっきにより形成された金型用金属層4は、チタンまたはクロム含有金属基板1が不活性で金属層4と結合していないため樹脂が2が溶けることで自動的に剥離させることができる。
次に、金型用金属層4の裏面(無電解めっき面)を補強材6により補強し、金型を完成させる。補強材としては鉄やクロムなどが挙げられる。補強材は、無電解めっき面に電鋳法で形成し、めっき部(金属層)4と一体化されることが好ましい。金型用金属層4の裏面には、電鋳法で鉄またはクロムまたはニッケルの電着体を形成すればよい。補強のための電着体の厚さは、0.5〜10mmが好ましい。また、補強材6としては、鉄やクロムに限定されるものではなく、例えば、ガラス繊維強化プラスチック、炭素繊維強化プラスチック、ポロン繊維強化プラスチック、炭化ケイ素繊維強化プラスチック、ケプラー(アラミッド)繊維強化プラスチック、アモルファス金属繊維強化プラスチックなどの繊維強化プラスチックを用いても良い。
本発明の製造方法により製造された金型には、表面に成型用樹脂の流し込み、常法により成型、離型することにより、目的とするレンズアレイを得ることができる。
本発明の方法により作製される金型では、金属基板1上に形成された金型用金属層2は、めっきで形成されることにより、表面が平滑になり、これを用いて形成されるレンズは、光が通る中心部分が平滑になる。また、レーザ加工により形成された樹脂2の傾斜と金属基板1の面の窓を適宜決定することにより、所望のレンズの曲率を得ることができる。
本発明の方法により作製される金型では、金属基板1上に形成された金型用金属層2は、めっきで形成されることにより、表面が平滑になり、これを用いて形成されるレンズは、光が通る中心部分が平滑になる。また、レーザ加工により形成された樹脂2の傾斜と金属基板1の面の窓を適宜決定することにより、所望のレンズの曲率を得ることができる。
本発明で作製された金型は、レンズ部分に相当する金型用金属層表面の曲率半径を5〜50μmとすることができる。これは、従来の方法で作製されたマイクロレンズの金型では、曲率半径が10〜100μmであるのに比べ、非常に小さな曲率半径とすることが可能となる。
さらに、本発明の金型では、マクロレンズを数万個〜数百万個配列しているマイクロレンズアレイでは、それぞれのレンズ部分の曲率半径のバラツキを好ましくは5%以下とするものである。これは、従来の金型に比べ、バラツキが非常に少なくすることができたものである。また、これら曲率半径のバラツキは、例えば、三次元表面構造解析顕微鏡により測定することができる。
さらに、本発明の金型では、マクロレンズを数万個〜数百万個配列しているマイクロレンズアレイでは、それぞれのレンズ部分の曲率半径のバラツキを好ましくは5%以下とするものである。これは、従来の金型に比べ、バラツキが非常に少なくすることができたものである。また、これら曲率半径のバラツキは、例えば、三次元表面構造解析顕微鏡により測定することができる。
また、本発明においては、上記のレンズアレイ以外に、それに限定されるものではないが、例えば、DNAアレイ、光配線ガイドウェイ、マイクロ流体デバイス、マイクロシリンジアレイなどを微細構造体の金型も同様にして作製することができる。本発明により、これら微細構造体の金型を効率的にかつ自由度も高く製造することができる。
以下に、本発明を実施例に基づきさらに詳細に説明するが本発明はこれに限定されるものではない。
実施例1
チタン板上に45μmのポリイミド樹脂をラミネートした。グリーンレーザ(波長532nm)で樹脂表面径40μm、金属面窓径20μm(側面角度約12°)の穴を樹脂にあけた。次いで、樹脂面を触媒処理(Pb/Au)した後、無電解ニッケルめっきを行った(ニッケル厚み約5μm)。次に樹脂エッチングよりチタン板からニッケル金属層(金型用金属層)を剥離し、金型用金属層裏面を電鋳法で補強し、ニッケル金型を作製した。この結果、底面では径20μmの領域で最大深さと最小深さとの差は2.5μmで曲率半径約35μmのニッケル金型を作製できた。
チタン板上に45μmのポリイミド樹脂をラミネートした。グリーンレーザ(波長532nm)で樹脂表面径40μm、金属面窓径20μm(側面角度約12°)の穴を樹脂にあけた。次いで、樹脂面を触媒処理(Pb/Au)した後、無電解ニッケルめっきを行った(ニッケル厚み約5μm)。次に樹脂エッチングよりチタン板からニッケル金属層(金型用金属層)を剥離し、金型用金属層裏面を電鋳法で補強し、ニッケル金型を作製した。この結果、底面では径20μmの領域で最大深さと最小深さとの差は2.5μmで曲率半径約35μmのニッケル金型を作製できた。
1 金属基板
2 ラミネート樹脂
3 波面制御レーザ
4 金型用金属層
5 レンズ型
6 補強材
2 ラミネート樹脂
3 波面制御レーザ
4 金型用金属層
5 レンズ型
6 補強材
Claims (10)
- 次の各工程からなる微細金型の製造方法。
(A)チタンまたはクロム含有金属板に、樹脂を塗布する工程、
(B)レーザにより、樹脂を穴あけ加工する工程、
(C)ニッケルめっきまたはニッケル−リンめっきし、金型用金属層を形成する工程、
(D)めっきにより形成された金型用金属層を金属板から剥離する工程、
(E)金型用金属層の裏面を補強する工程。 - 前記(C)工程が、無電解ニッケルめっきまたは無電解ニッケル−リンめっきした後、さらに電解めっきし、金型用金属層を形成する工程であることを特徴とする請求項1記載の微細金型の製造方法。
- 前記(A)工程において、樹脂が塗布される金属面をあらかじめ研磨することを特徴とする請求項1または2記載の微細金型の製造方法。
- 前記(B)工程において、金属を露出させることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の微細金型の製造方法。
- 前記(B)工程において、金属面は加工しないことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の微細金型の製造方法。
- 前記(B)工程における樹脂が異なる種類の樹脂を多層化させたものであり、レーザ除去率の差で三次元加工することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の微細金型の製造方法。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載の製造方法により製造された微細金型。
- 金型用金属層表面に5〜50μmの曲率半径の曲面を有することを特徴とする請求項7記載の微細金型。
- 前記曲面を2個以上有することを特徴とする請求項8記載の微細金型。
- マイクロレンズアレイ、DNAアレイ、または光配線ガイドウェイの金型であることを特徴とする請求項7記載の微細金型。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006150088A JP2007320074A (ja) | 2006-05-30 | 2006-05-30 | 微細金型の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2006150088A JP2007320074A (ja) | 2006-05-30 | 2006-05-30 | 微細金型の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007320074A true JP2007320074A (ja) | 2007-12-13 |
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ID=38853281
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006150088A Withdrawn JP2007320074A (ja) | 2006-05-30 | 2006-05-30 | 微細金型の製造方法 |
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JP (1) | JP2007320074A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010058474A (ja) * | 2008-09-08 | 2010-03-18 | Sony Corp | 金型製造方法、機能性フィルムの製造方法及び機能性フィルム |
-
2006
- 2006-05-30 JP JP2006150088A patent/JP2007320074A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Effective date: 20090529 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
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