JP2007319966A - 回転装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回転移動可能な回転体(回転ステージ1)の径方向側に固定された接続部13と、該回転体の回転軸から偏位した位置に固定設置された固定部3を備え、固定部3に回転体回転軸方向に沿った回転軸を有する第1の中空回転ジョイント5を取り付け、接続部13に回転体回転軸方向に沿った回転軸を有する第3の中空回転ジョイント12を取り付ける。第1の中空回転ジョイント5と第3の中空回転ジョイント12の間に、回転体回転軸方向に沿った回転軸を有し回転体の面方向に沿って移動可能な第2の中空回転ジョイント7、8と、回転体の面方向に沿って配置され、中空回転ジョイントの回転部に接続された2以上の配管6、11を介設する。
【選択図】図1
Description
このため上記配管などは、回転に際し絡まったり他の部材と干渉することがないように配設することが必要になる。従来は、試料台の下部に、中心から離れて円弧状ガイドを設け、このガイド内にケーブルサポートを折り返した状態で収納し、このケーブルサポート内に配管や配線などを通したものが提案されている(例えば特許文献1参照)。
試料台(回転ステージ)30の下方に試料台30の回転機構や配線等などを収納したセンターユニット31が設置されており、該センターユニット31の外周側に円弧状のガイド溝32を設け、該ガイド溝32内にケーブルサポート33を折り返した状態で収納する。ケーブルサポート33の一端はセンターユニット31近傍の固定側に固定し、他端は試料台30の回転側に固定する。ケーブルサポート33内には、配管34などを挿通させ、上記固定側および回転側の所定位置に配設する。
上記装置の動作を説明する。試料台30が回転すると、ケーブルサポート33は前記ガイド溝32内で折り返りし部分が移動することで前記回転に追随する。これによりケーブルサポート33内にある配管34等が絡むことなく試料台30の回転に従って移動することができる。
1.ケーブルサポートを収納した機構が回転体の下部の広い空間を占有し、装置のメンテナンスを行いにくい。
2.ケーブルサポート等の機構の質量が嵩み、装置全体の質量が大きくなる。
3.ケーブルサポート等の機構のメンテナンスを行いにくい。
4.ケーブルサポートが回転動作によって経時的に破損しやすい。
上記配管および中空回転ジョイントは、質量が嵩むことなく構成することができ、装置全体の質量の増加を極力抑えることができる。また、簡易な構成であることから、他の回転装置部位のメンテナンスの支障になることも殆どない。
なお、第1、第3の中空回転ジョイントに連結される配管において、一部に回転体回転軸方向で位置を変えるように伸張する部分を有することも可能である。
配管および中空回転ジョイントは、回転体の下方位置においても簡略な構成からなるため、メンテナンスは容易である。
回転装置は、ワークを設置する回転体である回転ステージ1を有しており、該回転ステージ1の中心下方に固定ユニット2が設置されている。該固定ユニット2には、ガラスを押し上げるプッシング機構の配線や、スリップリング等(図示しない)が配置されている。なお、スリップリングは機構上ステージ回転軸中心に設置される。
回転ステージ1が所定の回転方向位置にある状態では、前記した配管6、11および軸方向連結配管10は、所定の位置にあり、接続部13と固定部3とがこれら配管によって接続されている。回転ステージ1に図示しないワークが設置されると、図示しない吸引装置によって固定ユニット2を介して固定部3から吸引がなされる。すると、図示しないワーク吸着部から真空引きがなされ、排気は給排気ブロック14から接続部13へと吸引され、さら、第3の中空回転ジョイント12、配管11、第2の中空回転ジョイント8、軸方向連結配管10、第2の中空回転ジョイント7、配管6、第1の中空回転ジョイント5へと吸引されて、前記吸引装置へと排気される。これによりワークが確実に吸着される。ワークの吸着を解除する場合は、上記吸引を停止し、必要に応じて固定部3へと圧縮空気を送気する。圧縮空気は、第1の中空回転ジョイント5を通って、さらに配管6、第2の中空回転ジョイント7、軸方向連結配管10、第2の中空回転ジョイント8、配管11、第3の中空回転ジョイント12を通って、接続部13、吸排気ブロック14へと送られて、ワークの離脱を容易にする。また、ワークを押し上げるプッシング機構が具備する場合には、該機構を作動させてワークを離脱させる。この際には、定位置にある配管等とは干渉することなく円滑に作業がなされる。
なお、上記実施形態では、軸方向連結配管を有する形態について説明したが、軸方向での位置調整を要しない場合には、軸方向連結配管を省略することも可能である。また、上記実施形態では、軸方向で位置が異なる複数の第2の中空回転ジョイントを有するものについて説明をしたが、回転ステージ面方向で位置が異なる複数の第2の中空回転ジョイントを有するものであってもよい。
以上、本発明について上記実施形態に基づいて説明を行ったが、本発明は上記説明の内容に限定をされるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない範囲で適宜の変更が可能である。
2 固定ユニット
3 固定部
5 第1の中空回転ジョイント
5a 固定部
5b 回転部
6 配管
7 第2の中空回転ジョイント
7a 回転部
7b 回転部
8 第2の中空回転ジョイント
8a 回転部
8b 回転部
10 軸方向連結配管
11 配管
12 第3の中空回転ジョイント
12a 固定部
12b 回転部
13 接続部
Claims (6)
- 回転移動可能な回転体の径方向側に固定された接続部と、該回転体の回転軸から偏位した位置に固定設置された固定部とを備え、該固定部に前記回転体回転軸方向に略沿った回転軸を有する第1の中空回転ジョイントが取り付けられ、前記接続部に前記回転体回転軸方向に略沿った回転軸を有する第3の中空回転ジョイントが取り付けられ、前記第1の中空回転ジョイントと前記第3の中空回転ジョイントとの間に、前記回転体回転軸方向に略沿った回転軸を有し回転体の略面方向に沿って移動可能な1以上の第2の中空回転ジョイントと、前記回転体の略面方向に沿って配置され、両端が前記中空回転ジョイントの回転部に接続された2以上の配管とが介設されていることを特徴とする回転装置。
- 前記第1の中空回転ジョイントと前記第3の中空回転ジョイントの間に、前記回転体回転軸方向で位置を異にする2つの前記第2の中空回転ジョイントを備え、該第2の中空回転ジョイントの回転部に、前記回転体回転軸方向で両端位置が変わるように伸張する軸方向連結配管がそれぞれ連結されていることを特徴とする請求項1記載の回転装置。
- 前記配管は、流体が移送されるものであることを特徴とする請求項1記載の回転装置。
- 前記流体は、前記接続部から前記固定部へと真空引きされる空気または前記固定部から接続部へと送られる圧縮空気であることを特徴とする請求項2記載の回転装置。
- 前記固定部および接続部ならびに各中空回転ジョイントおよび配管は、前記回転体の下方に配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の回転装置。
- 前記固定部および前記配管と干渉しない回転体回転中心位置に、電気配線系統が納められていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の回転装置。
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2006
- 2006-05-31 JP JP2006151974A patent/JP4421579B2/ja active Active
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