JP2007319949A - Machining method and finishing machine - Google Patents

Machining method and finishing machine Download PDF

Info

Publication number
JP2007319949A
JP2007319949A JP2006150450A JP2006150450A JP2007319949A JP 2007319949 A JP2007319949 A JP 2007319949A JP 2006150450 A JP2006150450 A JP 2006150450A JP 2006150450 A JP2006150450 A JP 2006150450A JP 2007319949 A JP2007319949 A JP 2007319949A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
work
jack
support pins
processing machine
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2006150450A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4851848B2 (en
Inventor
Masao Yamaguchi
政男 山口
Takeshi Itatsu
武志 板津
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nagase Integrex Co Ltd
Original Assignee
Nagase Integrex Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nagase Integrex Co Ltd filed Critical Nagase Integrex Co Ltd
Priority to JP2006150450A priority Critical patent/JP4851848B2/en
Publication of JP2007319949A publication Critical patent/JP2007319949A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4851848B2 publication Critical patent/JP4851848B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Jigs For Machine Tools (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a machining method, improving the machining accuracy of a work and improving the efficiency of machining operation. <P>SOLUTION: Works W are placed at spaces in three portions on the top face of a table 12 by support pins 13. A jack 31 is placed on the top face of the table 12 corresponding to a part of the work W that is bent downward by its dead load, and bending of the work W is corrected by raising the lower surface of the work W using the jack 31. After that, the surface to be ground of the work is ground using a rotary grinding wheel. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、例えばワークの表面に研削等の各種の加工を行う加工方法及び加工機に関する。   The present invention relates to a processing method and a processing machine for performing various processing such as grinding on the surface of a workpiece, for example.

例えば、研削盤においては、平面研削されるワークＷは、図１２に示すように、一般にその表裏両面にそれぞれ反りがあるので、ワークＷの下面をテーブル１２の上面に直接支持して回転砥石によりワークＷの上面を研削すると、回転砥石による押付け力によりワークＷが下方に変形した状態で加工され、加工後にワークが復元されると、ワークの研削面の平坦度が低下するという問題がある。このため、図１３に示すように、テーブル１２の上面に三箇所（二箇所のみ図示）に支持ピン１３を三角形の頂点に位置するように配置して、各支持ピン１３によりワークＷを支持する方法が採られている。   For example, in a grinding machine, the workpiece W to be surface-ground is generally warped on both the front and back surfaces, as shown in FIG. 12, so the lower surface of the workpiece W is directly supported on the upper surface of the table 12 by a rotating grindstone. When the upper surface of the workpiece W is ground, the workpiece W is processed in a state of being deformed downward by the pressing force of the rotating grindstone, and when the workpiece is restored after the processing, there is a problem that the flatness of the ground surface of the workpiece is lowered. For this reason, as shown in FIG. 13, support pins 13 are arranged on the top surface of the table 12 at three locations (only two locations are shown) so as to be positioned at the apexes of the triangles, and the workpieces W are supported by the support pins 13. The method is taken.

上記の方法によれば、ワークＷを安定して支持することができるが、ワークＷが三箇所の支持点の位置により、ワークＷがその自重により二点鎖線で示すように下方に撓む。このため、撓んだままワークＷを加工すると、支持ピン１３からワークＷを外した場合に自重による撓みが解消されて結果的に研削面が反ることになり研削面の平坦度が低下するという問題があった。   According to said method, although the workpiece | work W can be supported stably, the workpiece | work W bends downward as shown with a dashed-two dotted line with the dead weight by the position of the support point of three places. For this reason, when the workpiece W is processed while being bent, when the workpiece W is removed from the support pins 13, the bending due to its own weight is eliminated, resulting in warping of the ground surface and lowering of the flatness of the ground surface. There was a problem.

この問題を解消するため、従来、特許文献１に開示された平面研削方法が提案されている。この方法は、ベースプレート（テーブル）の上面に三箇所に支持ピンを立設するとともに、ベースプレートの上面に接着材料としての未硬化の石膏を塗布し、この石膏により前記各支持ピンを全て覆い隠す。その後、前記支持ピン上にワークの下面を支持するとともに、硬化された石膏によりワークの下面を支持する。これによりワークの研削前にワークが自重により撓むのが防止され、ワークの上面の平面研削の平坦度を向上することができる。
特開２００５−２６２３２７号公報 In order to solve this problem, a surface grinding method disclosed in Patent Document 1 has been proposed. In this method, support pins are erected at three locations on the upper surface of a base plate (table), and uncured gypsum as an adhesive material is applied to the upper surface of the base plate, and all the support pins are covered with this gypsum. Then, while supporting the lower surface of a workpiece | work on the said support pin, the lower surface of a workpiece | work is supported by the hardened gypsum. This prevents the workpiece from being bent by its own weight before the workpiece is ground, and improves the flatness of the surface grinding of the upper surface of the workpiece.
JP 2005-262327 A

ところが、上記従来の平面研削方法は、ベースプレートの上面に石膏を塗布しなければならないので、塗布作業と、石膏の除去作業とが必要となり、研削作業の能率を向上することができないという問題があった。   However, since the above conventional surface grinding method requires gypsum to be applied to the upper surface of the base plate, application work and gypsum removal work are required, and the efficiency of the grinding work cannot be improved. It was.

本発明は、上記従来の問題点を解消して、ワークの研削等の加工精度を向上することができるとともに、加工作業の能率を向上することができる加工方法及び加工機を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a processing method and a processing machine capable of solving the above-described conventional problems, improving the processing accuracy of workpiece grinding and the like, and improving the efficiency of processing operations. .

上記問題点を解決するために、請求項１に記載の発明は、三箇所以上の位置に配設された支持ピン上にワークを載置し、ワークがその自重により下方に撓んだ部位をジャッキにより持ち上げ、この状態でワーク載置用治具によりワークの下面を支持し、その後に、工具によりワークの上面を加工することを要旨とする。   In order to solve the above-mentioned problems, the invention described in claim 1 is characterized in that a workpiece is placed on support pins disposed at three or more positions, and a portion where the workpiece is bent downward by its own weight is provided. The gist is to lift by a jack, support the lower surface of the workpiece with a workpiece mounting jig in this state, and then machine the upper surface of the workpiece with a tool.

請求項２に記載の発明は、ワークを支持するテーブルと、前記ワークの上面を加工する工具と、上記テーブルの上面に載置され、かつワークを三箇所以上において支持する複数の支持ピンと、前記テーブルの上面に支持され、かつ前記ワークの下面を持ち上げるジャッキと、前記テーブルの上面とワークの下面との間に介装され、持ち上げられたワークの下面を支持するワーク載置用治具とを備えたことを要旨とする。   The invention according to claim 2 is a table for supporting a workpiece, a tool for machining the upper surface of the workpiece, a plurality of support pins placed on the upper surface of the table and supporting the workpiece at three or more locations, A jack supported on the upper surface of the table and lifting the lower surface of the workpiece; and a workpiece mounting jig interposed between the upper surface of the table and the lower surface of the workpiece and supporting the lower surface of the lifted workpiece. The summary is provided.

請求項３に記載の発明は、請求項２において、ワークの上面の位置を測定する測定器を有することを要旨とする。
請求項４に記載の発明は、請求項２又は３において、前記ジャッキは遠隔操作用のロッドにより遠隔操作可能に構成されていることを要旨とする。 The gist of the invention described in claim 3 is that, in claim 2, it has a measuring instrument for measuring the position of the upper surface of the workpiece.
The gist of a fourth aspect of the present invention is that, in the second or third aspect, the jack is configured to be remotely controlled by a remote control rod.

請求項５に記載の発明は、請求項２〜４のいずれか一項において、前記ワーク載置用治具は、ケースに形成されたピン収容室に対し、複数のワーク支持ピンを上向きに、かつ水平方向に複数本並列に収容するとともに、前記各ワーク支持ピンをそれぞれ上方に付勢する付勢部材と、前記ケースに設けられ、かつ前記各ワーク支持ピンを所定の高さにロックするロック手段とにより構成されていることを要旨とする。   The invention according to claim 5 is the workpiece mounting jig according to any one of claims 2 to 4, wherein the workpiece mounting jig has a plurality of workpiece support pins facing upward with respect to the pin housing chamber formed in the case. And a plurality of urging members that are housed in parallel in the horizontal direction and that urge the work support pins upward, and a lock that is provided in the case and locks the work support pins at a predetermined height. The gist of the invention is that it is constituted by means.

請求項６に記載の発明は、請求項５において、前記ロック手段は前記ケースのネジ孔に螺合され、前記ワーク支持ピンの外周面を押圧するようにしたロック用ボルトであって、該ボルトの基端部にはカプラーを介して遠隔操作用のロッドが接続されるように構成されていることを要旨とする。   The invention according to claim 6 is the locking bolt according to claim 5, wherein the locking means is screwed into the screw hole of the case and presses the outer peripheral surface of the work support pin. The gist of the present invention is that a base rod for remote operation is connected to the base end portion via a coupler.

（作用）
請求項１〜５に記載の発明は、テーブルの上面に配設された三つ以上の支持ピンに支持されたワークの自重による下方への撓みがジャッキにより修正され、ワーク載置用治具により撓みの修正されたワークの下面が支持される。このため、工具によるワークの加工精度を向上することができるとともに、加工作業の能率を向上することができる。 (Function)
In the inventions according to claims 1 to 5, the downward deflection due to the weight of the work supported by the three or more support pins arranged on the upper surface of the table is corrected by the jack, and the work placing jig is used. The lower surface of the workpiece whose deflection is corrected is supported. For this reason, while being able to improve the process precision of the workpiece | work with a tool, the efficiency of a process operation can be improved.

請求項３に記載の発明は、前記ジャッキによるワークの撓みを修正する際に、ワークの上方への移動量が測定器により測定されるので、ワークの撓みが修正されたか否かを容易に判断することができる。   In the invention according to claim 3, since the amount of upward movement of the workpiece is measured by the measuring instrument when correcting the deflection of the workpiece by the jack, it is easily determined whether or not the deflection of the workpiece has been corrected. can do.

請求項４に記載の発明は、前記ジャッキが遠隔操作用のロッドにより遠隔操作されるので、大型のワークの下面の中央部寄りに設置されたジャッキの操作を容易に行うことができる。   In the invention according to claim 4, since the jack is remotely operated by a remote control rod, the jack installed near the center of the lower surface of the large workpiece can be easily operated.

請求項５に記載の発明は、前記ワーク載置用治具により撓みの修正されたワークの下面を所定の位置に容易に支持することができる。
請求項６に記載の発明は、前記ロック用のボルトを遠隔操作用のロッドにより回動操作することができるので、ワーク載置用治具を大型のワークの下面の中央部寄りに設置した状態で、前記ロック用ボルトを容易に回動操作することができる。 According to the fifth aspect of the present invention, the lower surface of the work whose deflection is corrected by the work placing jig can be easily supported at a predetermined position.
In the invention according to claim 6, since the locking bolt can be rotated by a remote control rod, the workpiece mounting jig is installed near the center of the lower surface of the large workpiece. Thus, the locking bolt can be easily rotated.

本発明によれば、例えば研削等の加工精度を向上することができるとともに、加工作業の能率を向上することができる。   According to the present invention, for example, it is possible to improve processing accuracy such as grinding, and it is possible to improve the efficiency of processing work.

以下に、この発明を研削方法及び研削盤に具体化した一実施形態を、図１〜図１０に基づいて説明する。
最初に、研削盤について説明する。 An embodiment in which the present invention is embodied in a grinding method and a grinding machine will be described below with reference to FIGS.
First, the grinding machine will be described.

研削盤の右側面を表す図７に示すように、ベース１１上にはテーブル１２が左右（紙面直交）方向Ｘへ移動可能に支持され、その上面には平面視で、三角形の頂点に位置する三つの支持ピン１３によりワークＷが支持される。ベース１１には左右移動用モータ１４が配設され、このモータ１４の回転により図示しないボールネジ等を介してテーブル１２が左右方向Ｘへ往復移動されるようになっている。   As shown in FIG. 7 representing the right side surface of the grinding machine, a table 12 is supported on the base 11 so as to be movable in the left-right (paper surface orthogonal) direction X, and its upper surface is located at the apex of the triangle in plan view. The work W is supported by the three support pins 13. The base 11 is provided with a left / right movement motor 14, and the table 12 is reciprocated in the left / right direction X via a ball screw or the like (not shown) by the rotation of the motor 14.

前記テーブル１２と対応するように、ベース１１上にはコラム１５がテーブル１２と接近離間する前後方向Ｙへ移動可能に支持されている。ベース１１には前後移動用モータ１６が配設され、このモータ１６の回転により、図示しないボールネジ等を介してコラム１５が前後方向Ｙへ移動されるようになっている。   Corresponding to the table 12, a column 15 is supported on the base 11 so as to be movable in the front-rear direction Y that approaches and separates from the table 12. A forward / backward movement motor 16 is disposed on the base 11, and the column 15 is moved in the front / rear direction Y via a ball screw or the like (not shown) as the motor 16 rotates.

前記コラム１５には主軸ヘッド１７がワークＷの上面側の被研削面Ｗａと接近離間する上下方向Ｚへ移動可能に支持され、その主軸１８の先端には工具としての回転砥石１９が取り付けられている。コラム１５上には上下移動用モータ２０が配設され、このモータ２０の回転により、図示しないボールネジ等を介して主軸ヘッド１７が上下方向Ｚへ移動されるようになっている。主軸ヘッド１７には回転用モータ２１が装着され、このモータ２１により主軸１８を介して回転砥石１９が回転されるようになっている。   A spindle head 17 is supported on the column 15 so as to be movable in a vertical direction Z that approaches and separates from the surface Wa to be ground on the upper surface side of the workpiece W, and a rotating grindstone 19 as a tool is attached to the tip of the spindle 18. Yes. A vertical movement motor 20 is disposed on the column 15, and the spindle head 17 is moved in the vertical direction Z via a ball screw or the like (not shown) as the motor 20 rotates. A rotation motor 21 is mounted on the spindle head 17, and the rotating grindstone 19 is rotated by the motor 21 via the spindle 18.

そして、ワークＷの研削動作時には、上下移動用モータ２０により回転砥石１９が平面研削を行う高さに移動されるとともに、該回転砥石１９が回転用モータ２１により回転され、ワークＷが左右移動用モータ１４により左右方向Ｘに往復移動され、前後移動用モータ１６により回転砥石１９が前後方向Ｙに移動される。この移動により、ワークＷの被研削面Ｗａに平面仕上げ研削が施されるようになっている。   When the workpiece W is ground, the rotary grindstone 19 is moved to a height at which surface grinding is performed by the vertical movement motor 20, and the rotary grindstone 19 is rotated by the rotation motor 21, so that the workpiece W is moved left and right. The motor 14 is reciprocated in the left-right direction X, and the rotary grindstone 19 is moved in the front-rear direction Y by the front-rear movement motor 16. With this movement, the surface to be ground Wa of the workpiece W is subjected to surface finish grinding.

前記主軸ヘッド１７の先端部には回転砥石１９を覆うカバー２２が取り付けられ、このカバー２２にはブラケット２３を介して前記ワークＷの被研削面Ｗａに接触して該被研削面Ｗａの上下方向の変位量を測定するためのマイクロゲージ２４が取り外し可能に装着されている。   A cover 22 that covers the rotating grindstone 19 is attached to the tip portion of the spindle head 17, and the cover 22 contacts the surface to be ground Wa of the workpiece W via the bracket 23, and the vertical direction of the surface to be ground Wa. A micro gauge 24 for measuring the amount of displacement is detachably mounted.

図１及び図２に示すように、前記テーブル１２の上面には、前記支持ピン１３が例えば二等辺三角形の各頂点に位置するように三箇所に配置されている。ワークＷはその自重により図１の二点鎖線で示すように撓むことになる。この撓みを解消するために用いられるジャッキ３１を図８に基づいて説明する。   As shown in FIGS. 1 and 2, on the upper surface of the table 12, the support pins 13 are arranged at three locations so as to be located at the vertices of an isosceles triangle, for example. The workpiece W bends as shown by a two-dot chain line in FIG. A jack 31 used to eliminate this bending will be described with reference to FIG.

前記テーブル１２の上面に支持される金属製のブロックよりなるジャッキ本体３２に上下方向に形成された収容穴３２ａには、円柱状の昇降ロッド３３が収容され、該昇降ロッド３３の上端部には、ワークＷの下面に接触される球面部３４が形成され、下端部には円錐状の傾斜カム面３３ａが形成されている。前記ジャッキ本体３２にはネジ孔３２ｂが水平方向に形成され、このネジ孔３２ｂには昇降用ボルト３５が螺合されている。この昇降用ボルト３５の基端部には回動操作つまみ３５ａが一体に形成され、先端部には前記昇降ロッド３３の傾斜カム面３３ａに接触される半球状の駆動カム部３５ｂが形成されている。そして、前記昇降用ボルト３５の操作つまみ３５ａを回動することにより前記昇降ロッド３３の傾斜カム面３３ａを水平方向に押動し、昇降ロッド３３を上方に移動し、前記ワークＷの下面（被研削面Ｗｂ）を球面部３４を介して上方に持ち上げて、ワークＷの撓みを修正することができるようにしている。   A cylindrical elevating rod 33 is accommodated in a receiving hole 32a formed in a vertical direction in a jack body 32 made of a metal block supported on the upper surface of the table 12. A spherical portion 34 that is in contact with the lower surface of the workpiece W is formed, and a conical inclined cam surface 33a is formed at the lower end portion. A screw hole 32b is formed in the jack body 32 in the horizontal direction, and a lifting bolt 35 is screwed into the screw hole 32b. A rotating operation knob 35a is integrally formed at the base end portion of the lifting bolt 35, and a hemispherical drive cam portion 35b that is in contact with the inclined cam surface 33a of the lifting rod 33 is formed at the distal end portion. Yes. Then, by rotating the operation knob 35a of the lifting bolt 35, the inclined cam surface 33a of the lifting rod 33 is pushed in the horizontal direction, the lifting rod 33 is moved upward, and the lower surface of the workpiece W (covered) The grinding surface Wb) is lifted upward via the spherical surface portion 34 so that the bending of the workpiece W can be corrected.

次に、前記ジャッキ３１によってワークＷの撓みが修正された後にワークＷの下面（被研削面Ｗｂ）を支持して、ワークＷの研削作業時にワークＷが回転砥石１９の押圧力によって下方に撓むのを阻止するためのワーク載置用治具４１を図９及び図１０に基づいて説明する。   Next, after the deflection of the workpiece W is corrected by the jack 31, the lower surface (surface Wb to be ground) of the workpiece W is supported, and the workpiece W is bent downward by the pressing force of the rotating grindstone 19 during the grinding operation of the workpiece W. The workpiece mounting jig 41 for preventing the peeling will be described with reference to FIGS.

図９及び図１０に示すように、金属製の台座４２の上面には、ピン収容室４３を形成する金属製の二つのブロック４４，４５よりなるハウジング４６が図示しないボルトにより固定されるとともに、前記ピン収容室４３には複数（この実施形態では５）本のワーク支持ピン４７が上方を指向するように、かつ同一垂直面内において並列に収容されている。前記ワーク支持ピン４７は大径部４７ａと、この大径部４７ａの上端面に一体形成された小径部４７ｂとにより構成されている。前記ハウジング４６の上端面には図示しないボルトにより金属製の蓋板４８が固定され、該蓋板４８に形成された孔４８ａから前記小径部４７ｂが上方に突出されるようになっている。前記台座４２の上面とワーク支持ピン４７の下面との間には、コイル状の圧縮ばね４９が介装され、常には前記ワーク支持ピン４７を上方に付勢し、大径部４７ａの上端面が図１０に示す前記蓋板４８の下面に向かって付勢されるようにしている。   As shown in FIGS. 9 and 10, on the upper surface of the metal pedestal 42, a housing 46 composed of two metal blocks 44 and 45 forming the pin accommodating chamber 43 is fixed by bolts (not shown), A plurality (5 in this embodiment) of work support pins 47 are accommodated in parallel in the same vertical plane in the pin accommodating chamber 43 so as to be directed upward. The work support pin 47 includes a large-diameter portion 47a and a small-diameter portion 47b integrally formed on the upper end surface of the large-diameter portion 47a. A metal lid plate 48 is fixed to the upper end surface of the housing 46 by a bolt (not shown), and the small diameter portion 47b protrudes upward from a hole 48a formed in the lid plate 48. A coiled compression spring 49 is interposed between the upper surface of the pedestal 42 and the lower surface of the work support pin 47. The work support pin 47 is always urged upward, and the upper end surface of the large-diameter portion 47a. Is biased toward the lower surface of the lid plate 48 shown in FIG.

前記ブロック４４に水平方向に形成されたネジ孔４４ａには、複数の前記ワーク支持ピン４７のうちピン収容室４３の右端部に位置する一本のワーク支持ピン４７の大径部４７ａの外周面に押圧されるロック手段としての操作つまみ５０ａを有するロック用ボルト５０が螺合されている。   In the screw hole 44a formed in the block 44 in the horizontal direction, the outer peripheral surface of the large-diameter portion 47a of one work support pin 47 located at the right end of the pin housing chamber 43 among the plurality of work support pins 47. A locking bolt 50 having an operation knob 50a as a locking means to be pressed is screwed.

従って、図９に示すように前記各ワーク支持ピン４７の小径部４７ｂの上端面がワークＷの下面（被研削面Ｗｂ）に接触された状態で、前記操作つまみ５０ａが回動されてボルト５０が螺入方向に回動されると、前記各ワーク支持ピン４７の大径部４７ａが順次左方向に押圧されて、最左側に位置するワーク支持ピン４７の大径部４７ａがピン収容室４３の最左側面４３ａに押し付けられ、結果的に各ワーク支持ピン４７は前記最左側面４３ａとボルト５０の先端面との間でクランプされ、ワークＷの下方への移動が阻止される。なお、前記ロック用ボルト５０を解除方向に回転すれば、各ワーク支持ピン４７は圧縮ばね４９の不勢力に抗して下方に移動可能となる。   Accordingly, as shown in FIG. 9, the operation knob 50a is rotated and the bolt 50 is rotated with the upper end surface of the small-diameter portion 47b of each workpiece support pin 47 in contact with the lower surface of the workpiece W (surface to be ground Wb). Is rotated in the screwing direction, the large-diameter portions 47a of the respective work support pins 47 are sequentially pressed leftward, and the large-diameter portion 47a of the work support pin 47 located on the leftmost side is pressed. As a result, each workpiece support pin 47 is clamped between the leftmost surface 43a and the front end surface of the bolt 50, and the workpiece W is prevented from moving downward. If the locking bolt 50 is rotated in the release direction, each work support pin 47 can move downward against the inelastic force of the compression spring 49.

次に、前記のように構成された研削盤及びジャッキ３１、ワーク載置用治具４１を用いてワークＷの被研削面Ｗａの平面研削を行う動作について説明する。
最初に、図１及び図２に示すように、テーブル１２の上面に三つの支持ピン１３を二等辺三角形等の三角形の各頂点に位置するように載置した後、各支持ピン１３の頂部に未加工のワークＷを水平に支持する。この状態では、ワークＷが自重により二点鎖線で示すように撓むことになる。 Next, the operation of performing the surface grinding of the surface to be ground Wa of the workpiece W using the grinding machine and jack 31 configured as described above and the workpiece mounting jig 41 will be described.
First, as shown in FIGS. 1 and 2, after three support pins 13 are placed on the top surface of the table 12 so as to be positioned at the vertices of a triangle such as an isosceles triangle, the top of each support pin 13 is placed. The unprocessed workpiece W is supported horizontally. In this state, the workpiece W bends as shown by a two-dot chain line due to its own weight.

前記ワークＷの撓み量のうち三つの支持ピン１３の内側における最大撓み量δｍａｘ及びその最大撓み位置Ｐｍａｘは、ワークＷの材質、幅寸法、長さ寸法、厚さ寸法及び前記支持ピン１３によるワークＷの支持点の三つの位置Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３によって、予め有限要素法（ＦＥＭ Ｆｉｎｉｔｅ Ｅｌｅｍｅｎｔ Ｍｅｔｈｏｄ）により複数種のワーク毎に算定されている。このため、これから研削しようとするワークＷに関する前述した各種のデータを図示しない操作盤のキーを操作して指定することにより最大撓み量δｍａｘ及びその最大撓み位置Ｐｍａｘが表示装置に表示される。この表示装置に表示された最大撓み位置Ｐｍａｘに基づいて、図２に示された実際のワークＷの最大撓み位置Ｐｍａｘを例えばマーカで設定する。そして、図３に示すように前記位置Ｐｍａｘと対応するように前記テーブル１２の上面にジャッキ３１を載置し、その球面部３４の上端面をワークＷの下面に接触する。又、図７に示す主軸ヘッド１７を前後方向Ｙ及び上下方向Ｚに移動し、さらにテーブル１２を左右方向Ｘに移動して、前記マイクロゲージ２４の接触子２４ａを前記最大撓み位置Ｐｍａｘと対応するワークＷの上面（被研削面Ｗａ）に接触させる。   Among the deflection amounts of the workpiece W, the maximum deflection amount δmax inside the three support pins 13 and the maximum deflection position Pmax are the material, width dimension, length dimension, thickness dimension of the workpiece W and the workpiece by the support pins 13. Based on the three positions P1, P2, and P3 of the support point of W, the calculation is performed in advance for each of a plurality of types of workpieces by a finite element method (FEM Fine Element Method). For this reason, the maximum deflection amount δmax and the maximum deflection position Pmax are displayed on the display device by specifying the above-described various data related to the workpiece W to be ground by operating the keys on the operation panel (not shown). Based on the maximum deflection position Pmax displayed on the display device, the maximum deflection position Pmax of the actual workpiece W shown in FIG. 2 is set with a marker, for example. As shown in FIG. 3, the jack 31 is placed on the upper surface of the table 12 so as to correspond to the position Pmax, and the upper end surface of the spherical surface portion 34 is in contact with the lower surface of the workpiece W. Further, the spindle head 17 shown in FIG. 7 is moved in the front-rear direction Y and the vertical direction Z, and the table 12 is further moved in the left-right direction X, so that the contact 24a of the microgauge 24 corresponds to the maximum deflection position Pmax. The workpiece W is brought into contact with the upper surface (surface to be ground Wa).

次に、前記ジャッキ３１の昇降用ボルト３５の操作つまみ３５ａを回動操作して球面部３４を上昇させることにより、ワークＷの下面（被研削面Ｗｂ）を持ち上げる。このとき、前記マイクロゲージ２４によってワークＷの持ち上げ量が測定され、この測定された持ち上げ量が前記表示装置に具体的な数値として表示される。そして、図４に示すようにワークＷが前記最大撓み量δｍａｘと同じ量だけ持ち上げられて撓みが解消されたことが表示装置により確認されたとき、ジャッキ３１による持ち上げ動作を停止する。   Next, the operation knob 35a of the lifting bolt 35 of the jack 31 is rotated to raise the spherical surface portion 34, thereby lifting the lower surface (surface Wb to be ground) of the workpiece W. At this time, the lift amount of the workpiece W is measured by the micro gauge 24, and the measured lift amount is displayed as a specific numerical value on the display device. As shown in FIG. 4, when the display device confirms that the workpiece W is lifted by the same amount as the maximum deflection amount δmax and the deflection is eliminated, the lifting operation by the jack 31 is stopped.

その後、図５に示すように、主軸ヘッド１７に装着されたブラケット２３からマイクロゲージ２４を取り外すとともに、前記テーブル１２の上面とワークＷの間に複数の前記ワーク載置用治具４１を介在する。このとき、前記各ワーク支持ピン４７の各小径部４７ｂはワークＷの下面（被研削面Ｗｂ）によって下方に押し込まれた状態となる。この状態で前記ロック用ボルト５０の操作つまみ５０ａをロック方向に回動して、各ワーク支持ピン４７を所定高さにロックし、各ワーク支持ピン４７によってワークＷの被研削面Ｗｂを支持する。   After that, as shown in FIG. 5, the micro gauge 24 is removed from the bracket 23 attached to the spindle head 17, and a plurality of workpiece placement jigs 41 are interposed between the upper surface of the table 12 and the workpiece W. . At this time, each small-diameter portion 47b of each workpiece support pin 47 is pushed downward by the lower surface of the workpiece W (surface to be ground Wb). In this state, the operation knob 50a of the locking bolt 50 is rotated in the locking direction to lock the workpiece support pins 47 at a predetermined height, and the workpiece support pins 47 support the surface to be ground Wb of the workpiece W. .

次に、図６に示すように前記テーブル１２からジャッキ３１を取り外した後、あるいはジャッキ３１を取り外さないで、図７に示す前記モータ１６及び上下移動用モータ２０を作動して、回転砥石１９を初期位置に移動し、前記左右移動用モータ１４を作動してテーブル１２を図６において左右方向Ｘに移動するとともに、回転用モータ２１により回転砥石１９を回転してワークＷの上面側の被研削面Ｗａの研削を行う。   Next, after removing the jack 31 from the table 12 as shown in FIG. 6 or without removing the jack 31, the motor 16 and the vertical movement motor 20 shown in FIG. It moves to the initial position, operates the left / right movement motor 14 to move the table 12 in the left / right direction X in FIG. 6, and rotates the rotating grindstone 19 by the rotation motor 21 to grind the upper surface side of the workpiece W. The surface Wa is ground.

ワークＷの上面（被研削面Ｗａ）の平面研削が終了した後、ワークＷが反転されて下面（被研削面Ｗｂ）の平面研削が前述した被研削面Ｗａの平面研削と同様に行われる。
上記実施形態の研削方法及び研削盤によれば、以下のような効果を得ることができる。 After the surface grinding of the upper surface (surface to be ground Wa) of the workpiece W is completed, the workpiece W is inverted and the surface grinding of the lower surface (surface to be ground Wb) is performed in the same manner as the surface grinding of the surface to be ground Wa described above.
According to the grinding method and the grinding machine of the above embodiment, the following effects can be obtained.

（１）上記実施形態では、三つの支持ピン１３により支持されたワークＷの自重による撓みをジャッキ３１により修正するとともに、ワーク載置用治具４１によりワークＷの下面（被研削面Ｗｂ）を支持した状態で、回転砥石１９によりワークＷの被研削面Ｗａの平面研削を行うようにした。このため、平面研削された研削面の平坦度を向上することができるとともに、従来の石膏を用いる方法と比較して、研削作業の能率を向上することができる。   (1) In the above embodiment, the deflection due to the weight of the work W supported by the three support pins 13 is corrected by the jack 31, and the lower surface (surface to be ground Wb) of the work W is fixed by the work placing jig 41. In the supported state, the ground surface Wa of the workpiece W was subjected to surface grinding with the rotary grindstone 19. For this reason, the flatness of the ground surface subjected to surface grinding can be improved, and the efficiency of the grinding operation can be improved as compared with the conventional method using gypsum.

（２）上記実施形態では、ワークＷの最大撓み量δｍａｘ及び最大撓み位置Ｐｍａｘを予め有限要素法により求めるようにしたので、テーブル１２の上面に撓み量測定用のマイクロゲージ（図示略）等を載置して撓み量を実際に測定する必要がなく、この点からも研削作業の能率を向上することができる。   (2) In the above embodiment, since the maximum deflection amount δmax and the maximum deflection position Pmax of the workpiece W are obtained in advance by the finite element method, a microgauge (not shown) for measuring the deflection amount is provided on the upper surface of the table 12. It is not necessary to actually measure the amount of bending by placing the substrate, and the efficiency of the grinding work can be improved from this point.

（３）上記実施形態では、前記主軸ヘッド１７側に設けられたマイクロゲージ２４によりワークＷの上方への変位量を測定するようにした。このため、ジャッキ３１によりワークＷの自重による撓みが解消されたか否かを容易に判断することができる。   (3) In the above embodiment, the amount of upward displacement of the workpiece W is measured by the micro gauge 24 provided on the spindle head 17 side. For this reason, it can be easily determined whether or not the deflection due to the weight of the workpiece W has been eliminated by the jack 31.

（４）上記実施形態では、テーブル１２の上面にワーク載置用治具４１を載置し、その複数のワーク支持ピン４７によりワークＷの下面を支持するようにした。このため、回転砥石１９によるワークＷの研削作業時にワークＷに作用する下方への押圧力をワーク載置用治具４１により分担することができ、ワークＷの回転砥石１９による撓みを抑制してワークの研削面の平坦度を向上することができる。   (4) In the above embodiment, the workpiece placing jig 41 is placed on the upper surface of the table 12, and the lower surface of the workpiece W is supported by the plurality of workpiece support pins 47. For this reason, the downward pressing force acting on the workpiece W during the grinding operation of the workpiece W by the rotating grindstone 19 can be shared by the workpiece mounting jig 41, and the bending of the workpiece W by the rotating grindstone 19 is suppressed. The flatness of the ground surface of the workpiece can be improved.

（５）上記実施形態では、ワーク載置用治具４１に上下方向にそれぞれ移動可能な複数のワーク支持ピン４７を用いたので、ワークＷの凹凸を有する被研削面Ｗｂに倣うようにして各ワーク支持ピン４７の小径部４７ｂの上端を接触することができ、ワークＷを広い領域において安定して支持することができる。   (5) In the above embodiment, since a plurality of workpiece support pins 47 that can be moved in the vertical direction are used for the workpiece placement jig 41, each workpiece is set so as to follow the surface to be ground Wb having irregularities of the workpiece W. The upper end of the small diameter portion 47b of the work support pin 47 can be contacted, and the work W can be stably supported in a wide area.

なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・図１１に示すように、前記ジャッキ３１の昇降用ボルト３５の操作つまみ３５ａを省略して、昇降用ボルト３５の基端部にカプラー６１を介して遠隔操作用の操作ロッド６２の先端部を取り外し可能に連結するようにしてもよい。前記カプラー６１は前記昇降用ボルト３５の基端部に連結された例えば六角穴６３ａを有する部材６３と、前記操作ロッド６２の先端部に連結され、かつ前記六角穴６３ａに係合される角柱部６４ａを有する部材６４とにより構成されている。又、前記操作ロッド６２の基端部には操作つまみ６２ａが設けられている。 In addition, you may change the said embodiment as follows.
As shown in FIG. 11, the operation knob 35 a of the lifting bolt 35 of the jack 31 is omitted, and the distal end portion of the operating rod 62 for remote operation is connected to the proximal end portion of the lifting bolt 35 via the coupler 61. You may make it connect so that removal is possible. The coupler 61 includes, for example, a member 63 having a hexagonal hole 63a connected to a base end portion of the elevating bolt 35, and a prism portion connected to the distal end portion of the operation rod 62 and engaged with the hexagonal hole 63a. And a member 64 having 64a. An operation knob 62 a is provided at the base end of the operation rod 62.

この場合には、大型のワークＷの下面の中央部寄りにジャッキ３１を配置した状態で、昇降用ボルト３５を容易に回動することができ、ジャッキ３１による撓み修正動作を容易に行うことができる。   In this case, the lifting bolt 35 can be easily rotated in a state where the jack 31 is disposed near the center of the lower surface of the large workpiece W, and the deflection correcting operation by the jack 31 can be easily performed. it can.

・図示しないが、ワーク載置用治具４１のロック用ボルト５０の操作つまみ５０ａに代えて、ボルト５０の基端部に図１１に示すカプラー６１を介して遠隔操作用の操作ロッド６２の先端部を取り外し可能に連結するようにしてもよい。   Although not shown, instead of the operation knob 50a of the locking bolt 50 of the workpiece mounting jig 41, the distal end of the operation rod 62 for remote operation is connected to the base end portion of the bolt 50 via the coupler 61 shown in FIG. You may make it connect a part so that removal is possible.

この場合にも、大型のワークＷの下面の中央部寄りにワーク載置用治具４１を配置した状態で、ロック用ボルト５０を容易に回動することができ、ワーク載置用治具４１によるワークＷの支持動作を容易に行うことができる。   Also in this case, the lock bolt 50 can be easily rotated in a state where the workpiece placement jig 41 is arranged near the center of the lower surface of the large workpiece W, and the workpiece placement jig 41 can be rotated. Thus, the supporting operation of the workpiece W can be easily performed.

・前記マイクロゲージ２４を省略してもよい。この場合には、ジャッキ３１として、ワークＷの持ち上げ量を測定する機能を有するものを使用する。
・前記ワーク載置用治具４１のワーク支持ピン４７を例えば平面視蜂の巣状に配列してもよい。 -The micro gauge 24 may be omitted. In this case, a jack 31 having a function of measuring the lifting amount of the work W is used.
The workpiece support pins 47 of the workpiece mounting jig 41 may be arranged in a honeycomb shape in a plan view, for example.

・前記ジャッキ３１にワーク載置用治具４１の機能を兼用させてもよい。この場合には、複数のジャッキ３１を用いてワークＷを安定して支持することが望ましい。
・前記支持ピン１３をテーブル１２の上面に四箇所以上に配置してもよい。 The jack 31 may also function as the workpiece placing jig 41. In this case, it is desirable to stably support the workpiece W using a plurality of jacks 31.
The support pins 13 may be arranged on the upper surface of the table 12 at four or more locations.

・この発明を、研削盤以外の例えば、フライス盤、研磨装置、へール加工機あるいはミーリング加工機等の各種の加工機に具体化してもよい。   -You may embody this invention in various processing machines other than a grinding machine, such as a milling machine, a grinding | polishing apparatus, a hail processing machine, or a milling machine.

この発明を研削盤に具体化した平面研削方法を説明するためのテーブルとワークの正面図。The front view of the table and workpiece | work for demonstrating the surface grinding method which actualized this invention to the grinding machine. 同じくテーブルとワークの平面図。Similarly, the top view of a table and a workpiece | work. 同じくテーブルとワークの正面図。The front view of a table and a work similarly. 同じくテーブルとワークの正面図。The front view of a table and a work similarly. 同じくテーブルとワークの正面図。The front view of a table and a work similarly. 同じくテーブルとワークの正面図。The front view of a table and a work similarly. 研削盤の右側面図。The right view of a grinding machine. ジャッキの縦断面図。The longitudinal cross-sectional view of a jack. ワーク載置用治具の縦断面図。The longitudinal cross-sectional view of the jig | tool for workpiece mounting. 図９の１−１線断面図。FIG. 10 is a sectional view taken along line 1-1 of FIG. 9. この発明の別の実施形態を示すジャッキの断面図。Sectional drawing of the jack which shows another embodiment of this invention. 背景技術を説明するためのテーブルとワークの正面図。The front view of the table and workpiece | work for demonstrating background art. 同じくテーブルとワークの正面図。The front view of a table and a work similarly.

符号の説明Explanation of symbols

Ｗ…ワーク、Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３…位置、δｍａｘ…最大撓み量、Ｐｍａｘ…最大撓み位置、１２…テーブル、１３…支持ピン、１９…工具としての回転砥石、３１…ジャッキ、４４ａ…ネジ孔、４１…ワーク載置用治具、４３…ピン収容室、４７…ワーク支持ピン、５０…ロック用ボルト、６１…カプラー。   W: Workpiece, P1, P2, P3: Position, δmax: Maximum deflection amount, Pmax: Maximum deflection position, 12 ... Table, 13 ... Support pin, 19 ... Rotary grindstone as tool, 31 ... Jack, 44a ... Screw hole, 41 ... Jig for placing work, 43 ... Pin housing chamber, 47 ... Work support pin, 50 ... Lock bolt, 61 ... Coupler.

Claims (6)

三箇所以上の位置に配設された支持ピン上にワークを載置し、ワークがその自重により下方に撓んだ部位をジャッキにより持ち上げ、この状態でワーク載置用治具によりワークの下面を支持し、その後に、工具によりワークの上面を加工することを特徴とする加工方法。 Place the work on the support pins arranged at three or more positions, lift the part where the work bends downward due to its own weight with a jack, and in this state use the work placing jig to lower the lower surface of the work A processing method comprising: supporting and then processing an upper surface of a workpiece with a tool. ワークを支持するテーブルと、
前記ワークの上面を加工する工具と、
上記テーブルの上面に載置され、かつワークを三箇所以上において支持する複数の支持ピンと、
前記テーブルの上面に支持され、かつ前記ワークの下面を持ち上げるジャッキと、
前記テーブルの上面とワークの下面との間に介装され、持ち上げられたワークの下面を支持するワーク載置用治具と
を備えたことを特徴とする加工機。 A table that supports the workpiece;
A tool for machining the upper surface of the workpiece;
A plurality of support pins placed on the upper surface of the table and supporting the workpiece at three or more locations;
A jack supported on the upper surface of the table and lifting the lower surface of the workpiece;
A processing machine comprising: a workpiece mounting jig interposed between an upper surface of the table and a lower surface of the workpiece and supporting the lower surface of the lifted workpiece. 請求項２において、ワークの上面の位置を測定する測定器を有することを特徴とする加工機。 The processing machine according to claim 2, further comprising a measuring device that measures the position of the upper surface of the workpiece. 請求項２又は３において、前記ジャッキは遠隔操作用のロッドにより遠隔操作可能に構成されていることを特徴とする加工機。 4. The processing machine according to claim 2, wherein the jack is configured to be remotely operated by a remote operation rod. 請求項２〜４のいずれか一項において、前記ワーク載置用治具は、ケースに形成されたピン収容室に対し、複数のワーク支持ピンを上向きに、かつ水平方向に複数本並列に収容するとともに、前記各ワーク支持ピンをそれぞれ上方に付勢する付勢部材と、前記ケースに設けられ、かつ前記各ワーク支持ピンを所定の高さにロックするロック手段とにより構成されていることを特徴とする加工機。 5. The workpiece mounting jig according to claim 2, wherein the workpiece placement jig accommodates a plurality of workpiece support pins in parallel and in a horizontal direction with respect to a pin accommodation chamber formed in the case. And a biasing member that biases each workpiece support pin upward, and a locking means that is provided on the case and locks each workpiece support pin at a predetermined height. Processing machine that features. 請求項５において、前記ロック手段は前記ケースのネジ孔に螺合され、前記ワーク支持ピンの外周面を押圧するようにしたロック用ボルトであって、該ボルトの基端部にはカプラーを介して遠隔操作用のロッドが接続されるように構成されていることを特徴とする加工機。 6. The locking bolt according to claim 5, wherein the locking means is a locking bolt that is screwed into a screw hole of the case and presses an outer peripheral surface of the work support pin, and a base end portion of the bolt is interposed with a coupler. And a processing machine characterized in that a rod for remote control is connected.
JP2006150450A 2006-05-30 2006-05-30 Processing method Active JP4851848B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006150450A JP4851848B2 (en) 2006-05-30 2006-05-30 Processing method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006150450A JP4851848B2 (en) 2006-05-30 2006-05-30 Processing method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007319949A true JP2007319949A (en) 2007-12-13
JP4851848B2 JP4851848B2 (en) 2012-01-11

Family

ID=38853166

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006150450A Active JP4851848B2 (en) 2006-05-30 2006-05-30 Processing method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4851848B2 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011056611A (en) * 2009-09-09 2011-03-24 Kikukawa Tekkosho:Kk Workpiece holding device and table for processing distorted material using the same
JP2012081570A (en) * 2010-10-15 2012-04-26 Okamoto Machine Tool Works Ltd Positioning implement for long object to be measured
CN110000655A (en) * 2019-05-20 2019-07-12 苏州大学 A kind of valve pocket grinding device

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108127462A (en) * 2017-12-21 2018-06-08 合肥仨力机械制造有限公司 A kind of wheel hub end surface machining apparatus of automatic blanking

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0476341A (en) * 1990-07-17 1992-03-11 Toshiba Corp Air conditioner
JPH0740236A (en) * 1993-07-26 1995-02-10 Hitachi Ltd Flatening method for multilayer wiring substrate
JPH0985557A (en) * 1995-09-27 1997-03-31 Nagase Integrex:Kk Work placing table and work pressing jig used for it
JPH10118869A (en) * 1996-10-24 1998-05-12 Olympus Optical Co Ltd Large base board holding method and device
JPH11111819A (en) * 1997-09-30 1999-04-23 Asahi Kasei Micro Syst Co Ltd Wafer fixing method and light exposing device
JPH11348123A (en) * 1998-06-03 1999-12-21 Kubota Corp Resin pipe fusing jig
JP2005262327A (en) * 2004-03-16 2005-09-29 Toshiba Ceramics Co Ltd Surface grinding method
JP2005342806A (en) * 2004-05-31 2005-12-15 Toshiba Corp Positioning device, program scheme drawing preparation device and work machining facility

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0476341A (en) * 1990-07-17 1992-03-11 Toshiba Corp Air conditioner
JPH0740236A (en) * 1993-07-26 1995-02-10 Hitachi Ltd Flatening method for multilayer wiring substrate
JPH0985557A (en) * 1995-09-27 1997-03-31 Nagase Integrex:Kk Work placing table and work pressing jig used for it
JPH10118869A (en) * 1996-10-24 1998-05-12 Olympus Optical Co Ltd Large base board holding method and device
JPH11111819A (en) * 1997-09-30 1999-04-23 Asahi Kasei Micro Syst Co Ltd Wafer fixing method and light exposing device
JPH11348123A (en) * 1998-06-03 1999-12-21 Kubota Corp Resin pipe fusing jig
JP2005262327A (en) * 2004-03-16 2005-09-29 Toshiba Ceramics Co Ltd Surface grinding method
JP2005342806A (en) * 2004-05-31 2005-12-15 Toshiba Corp Positioning device, program scheme drawing preparation device and work machining facility

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011056611A (en) * 2009-09-09 2011-03-24 Kikukawa Tekkosho:Kk Workpiece holding device and table for processing distorted material using the same
JP2012081570A (en) * 2010-10-15 2012-04-26 Okamoto Machine Tool Works Ltd Positioning implement for long object to be measured
CN110000655A (en) * 2019-05-20 2019-07-12 苏州大学 A kind of valve pocket grinding device
CN110000655B (en) * 2019-05-20 2024-04-05 苏州大学 Valve pocket grinder

Also Published As

Publication number Publication date
JP4851848B2 (en) 2012-01-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2007175817A (en) Planarization processing apparatus and supporting method of plane stage processed with the same
JP5215866B2 (en) Device for determining measurable variables for a measurement object
CN204711610U (en) Engine cylinder cover bores and attacks heating wire hole machined fixture
JP5841846B2 (en) Grinding equipment
JP4851848B2 (en) Processing method
JP6000643B2 (en) Workpiece processing method, and optical element, mold, and semiconductor substrate processed by the processing method
JP2011136390A (en) Multifunctional machine inside measuring device in working machine
JP2016080501A (en) Method for measuring effective diameter of workpiece in-process constituting screw shaft, and measurement device
JP4722766B2 (en) Press-fit component mounting device
TWI574778B (en) Polishing machine
JP6552924B2 (en) Processing device
JP2015023113A (en) Flattening and grinding method of semiconductor substrate
JP6573702B1 (en) Machine tool and workpiece mounting table tilt adjustment method
JP5258854B2 (en) Support grid grinding apparatus and method for grinding nuclear fuel assembly
JP5547408B2 (en) Workpiece machining method
JPH0890408A (en) Grinding method
JP2013018106A (en) Machining device and machining method
JP2005335036A (en) Cylindrical grinding device and method for measuring outer diameter of workpiece
JP6090841B2 (en) Machine Tools
CN113146389B (en) Automatic grinding device and method for end faces of micro electrodes
JP5251429B2 (en) Grinder
JP2010221378A (en) Polishing device
JP2018108611A (en) Positioning method and positioning structure for machine tool
JP4994641B2 (en) Device for detecting change in relative angle between workpiece and grinding wheel in grinding machine
JPH048726B2 (en)

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090213

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110714

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110726

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110926

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20111018

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20111021

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4851848

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141028

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250