JP2007316182A - 着色感光性樹脂組成物、カラーフィルタ、イメージセンサおよびカメラシステム - Google Patents
着色感光性樹脂組成物、カラーフィルタ、イメージセンサおよびカメラシステム Download PDFInfo
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Abstract
【課題】露光における感度が高い、新たな着色感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】染料、光酸発生剤、硬化剤およびアルカリ可溶性樹脂を含む着色感光性樹脂組成物であって、該アルカリ可溶性樹脂が、部分的にアルキルエーテル化されたビニルフェノールを構成単位として有するポリビニルフェノール樹脂を含むことを特徴とする着色感光性樹脂組成物。
【選択図】なし
【解決手段】染料、光酸発生剤、硬化剤およびアルカリ可溶性樹脂を含む着色感光性樹脂組成物であって、該アルカリ可溶性樹脂が、部分的にアルキルエーテル化されたビニルフェノールを構成単位として有するポリビニルフェノール樹脂を含むことを特徴とする着色感光性樹脂組成物。
【選択図】なし
Description
本発明は、着色感光性樹脂組成物、カラーフィルタ、イメージセンサおよびカメラシステムに関する。
デジタルカメラやデジタルビデオなどに用いられるイメージセンサは、カラーフィルタを有する。
そして、カラーフィルタの製造方法には、フォトレジストに代表される感光性樹脂組成物に顔料や染料などの色素を含有させた着色感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィー法により製造する方法が開発されてきた。(例えば、特許文献1〜3など参照。)
前記の製造方法によれば、顔料や染料などの色素によって光の三原色(赤色、緑色、青色)にそれぞれ着色された画素の集合体であるカラーフィルタが形成される。
着色感光性樹脂組成物においては、色素、酸発生剤、アルカリ可溶性樹脂を含有するものが知られており、該アルカリ可溶性樹脂としてはノボラック樹脂、ビニルフェノール樹脂などが知られている(特許文献4)。
そして、カラーフィルタの製造方法には、フォトレジストに代表される感光性樹脂組成物に顔料や染料などの色素を含有させた着色感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィー法により製造する方法が開発されてきた。(例えば、特許文献1〜3など参照。)
前記の製造方法によれば、顔料や染料などの色素によって光の三原色(赤色、緑色、青色)にそれぞれ着色された画素の集合体であるカラーフィルタが形成される。
着色感光性樹脂組成物においては、色素、酸発生剤、アルカリ可溶性樹脂を含有するものが知られており、該アルカリ可溶性樹脂としてはノボラック樹脂、ビニルフェノール樹脂などが知られている(特許文献4)。
しかしながら、アルカリ可溶性樹脂としてビニルフェノール樹脂のみを含む着色感光性樹脂組成物を用いてカラーフィルタの画素パターンを形成すると、その露光における感度が低いことを本発明者は見出した。
そこで、本発明の目的は露光における感度が高い、新たな着色感光性樹脂組成物を提供することにある。
そこで、本発明の目的は露光における感度が高い、新たな着色感光性樹脂組成物を提供することにある。
本発明者らは、前記課題を解決するべく、鋭意検討の結果、特定の樹脂を含有することで、露光における着色感光性樹脂組成物の感度が高くなることを見出した。
すなわち本発明は、染料、光酸発生剤、硬化剤および部分的にアルキルエーテル化されたポリビニルフェノールを構成単位として有するアルカリ可溶性樹脂を含有する着色感光性樹脂組成物を提供する。
すなわち本発明は、染料、光酸発生剤、硬化剤および部分的にアルキルエーテル化されたポリビニルフェノールを構成単位として有するアルカリ可溶性樹脂を含有する着色感光性樹脂組成物を提供する。
また、本発明は、前記の着色感光性樹脂組成物を用いて作成されるカラーフィルタ、前記のカラーフィルタを具備するイメージセンサおよび前記のイメージセンサを具備するカメラシステムを提供する。
本発明の着色感光性樹脂組成物によれば、パターン形成時の露光感度が高いため、すなわち露光するときの露光量が少なくてすむため、効率よくカラーフィルタを生産できる。
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の着色感光性樹脂組成物は染料を含む。前記の染料は、感光性樹脂組成物を構成する溶剤に充分な溶解性を持ち、さらにパターン形成時の現像工程で現像液に対して充分な溶解度を持ち、そしてカラーフィルタパターンを形成できる染料である。
このような染料としては、各種の油溶性染料、直接染料、酸性染料などの中から選ぶことができる。
前記の染料としては、
C.I.ソルベントイエロー4、同14、同15、同24、同82、同88、同94、同98、同162;
C.I.ソルベントレッド45、同49;
C.I.ソルベントオレンジ2、同7、同11、同15、同26、同56;
C.I.ソルベントブルー35、同37、同59、同67;
C.I.アシッドイエロー17、同29、同40、同76;
C.I.アシッドレッド91、同92、同97、同114、同138、同151;
C.I.アシッドオレンジ51、同63;
C.I.アシッドブルー80、同83、同90;
C.I.アシッドグリーン9、同16、同25、同27などが挙げられ、好ましくは、
C.I.ソルベントイエロー82、同162;
C.I.ソルベントレッド45、同49;
C.I.ソルベントオレンジ56;
C.I.ソルベントブルー67;
C.I.アシッドブルー90;
C.I.アシッドグリーン9、同16が挙げられる。
このような染料としては、各種の油溶性染料、直接染料、酸性染料などの中から選ぶことができる。
前記の染料としては、
C.I.ソルベントイエロー4、同14、同15、同24、同82、同88、同94、同98、同162;
C.I.ソルベントレッド45、同49;
C.I.ソルベントオレンジ2、同7、同11、同15、同26、同56;
C.I.ソルベントブルー35、同37、同59、同67;
C.I.アシッドイエロー17、同29、同40、同76;
C.I.アシッドレッド91、同92、同97、同114、同138、同151;
C.I.アシッドオレンジ51、同63;
C.I.アシッドブルー80、同83、同90;
C.I.アシッドグリーン9、同16、同25、同27などが挙げられ、好ましくは、
C.I.ソルベントイエロー82、同162;
C.I.ソルベントレッド45、同49;
C.I.ソルベントオレンジ56;
C.I.ソルベントブルー67;
C.I.アシッドブルー90;
C.I.アシッドグリーン9、同16が挙げられる。
また、本発明の着色感光性樹脂組成物の染料には、式(i)〜(vii)で表される酸性染料のアミン塩、および式(viii)〜(ix)で表される酸性染料のスルホンアミド化合物も使用できる。
D−(SO3 −)m(CnH2n+1N+H3)m (i)
D−(SO3 −)m{(CnH2n+1)2N+H2}m (ii)
D−(SO3 −)m{(CnH2n+1)3N+H}m (iii)
D−(SO3 −)m{(CnH2n+1)4N+}m (iv)
D−(SO3 −)m(CeH2e+1OCfH2fN+H3)m (v)
D−(SO3 −)m{(CnH2n+1)(PhCH2)2N+H}m (vi)
D−(SO3 −)m{(CnH2n+1)Py+}m (vii)
D−[{SO2NH(CnH2n+1)}p][(SO3L)q] (viii)
D−[{SO2NH(CeH2e+1OCfH2f)}p][(SO3L)q](ix)
D−(SO3 −)m{(CnH2n+1)2N+H2}m (ii)
D−(SO3 −)m{(CnH2n+1)3N+H}m (iii)
D−(SO3 −)m{(CnH2n+1)4N+}m (iv)
D−(SO3 −)m(CeH2e+1OCfH2fN+H3)m (v)
D−(SO3 −)m{(CnH2n+1)(PhCH2)2N+H}m (vi)
D−(SO3 −)m{(CnH2n+1)Py+}m (vii)
D−[{SO2NH(CnH2n+1)}p][(SO3L)q] (viii)
D−[{SO2NH(CeH2e+1OCfH2f)}p][(SO3L)q](ix)
[式(i)〜(ix)中、Dは、色素母体を表す。
mは、1以上20以下の整数を表す。
nは、1以上20以下の整数を表す。
eおよびfは、それぞれ独立に、1以上10以下の整数を表す。
Phは、フェニル基を表す。
Pyは、窒素原子でCnH2n+1につながるピリジン環残基またはメチルピリジン環残基を表す。
pは、1以上8以下の整数を表す。
qは、0以上8以下の整数を表す。
Lは、水素原子または一価の陽イオンを表す。]
mは、1以上20以下の整数を表す。
nは、1以上20以下の整数を表す。
eおよびfは、それぞれ独立に、1以上10以下の整数を表す。
Phは、フェニル基を表す。
Pyは、窒素原子でCnH2n+1につながるピリジン環残基またはメチルピリジン環残基を表す。
pは、1以上8以下の整数を表す。
qは、0以上8以下の整数を表す。
Lは、水素原子または一価の陽イオンを表す。]
色素母体Dとして、具体的には、アゾ染料母体、キサンテン染料母体、アントラキノン染料母体、トリフェニルメタン染料母体、メチン染料母体、シアニン染料母体およびフタロシアニン染料母体などが挙げられる。
mは、好ましくは1以上10以下の整数、より好ましくは1以上8以下の整数を表す。
nは、好ましくは1以上10以下の整数、より好ましくは1以上8以下の整数を表す。
eおよびfは、それぞれ独立に、好ましくは1以上8以下の整数、より好ましくは1以上6以下の整数を表す。
Pyは、好ましくはメチルピリジン環残基を表す。
pは、好ましくは1以上6以下の整数、より好ましくは1以上5以下の整数を表す。
qは、好ましくは0以上6以下の整数、より好ましくは0以上5以下の整数を表す。
Lで表される一価の陽イオンとしては、例えば、ナトリウム原子、カリウム原子、(C2H5)3HN+などの4級アンモニウムイオンなどが挙げられる。
mは、好ましくは1以上10以下の整数、より好ましくは1以上8以下の整数を表す。
nは、好ましくは1以上10以下の整数、より好ましくは1以上8以下の整数を表す。
eおよびfは、それぞれ独立に、好ましくは1以上8以下の整数、より好ましくは1以上6以下の整数を表す。
Pyは、好ましくはメチルピリジン環残基を表す。
pは、好ましくは1以上6以下の整数、より好ましくは1以上5以下の整数を表す。
qは、好ましくは0以上6以下の整数、より好ましくは0以上5以下の整数を表す。
Lで表される一価の陽イオンとしては、例えば、ナトリウム原子、カリウム原子、(C2H5)3HN+などの4級アンモニウムイオンなどが挙げられる。
また、染料として、式(21)〜式(33)で表される染料を使用することができる。
本願発明中の着色感光性樹脂組成物で用いる染料の組合せ例として、赤のカラーフィルタを形成するためには、例えば、好ましくは式(13)で表される染料、式(24)で表される染料および式(25)で表される染料の組合せが選択できる。
青のカラーフィルタを形成するためには、例えば、好ましくは式(25)で表される染料、C.I.アシッドブルー90およびC.I.ソルベントブルー67の組合せが選択できる。
緑のカラーフィルタを形成するためには、例えば、好ましくはC.I.ソルベントブルー67、C.I.アシッドグリーン9、C.I.アシッドグリーン16、C.I.ソルベントイエロー82およびC.I.ソルベントイエロー162の組合せが選択できる。
黄色のカラーフィルタを形成するために例えば、好ましくはC.I.ソルベントイエロー82およびC.I.ソルベントイエロー162の組合せが選択できる。
イエロー赤、緑、青および黄の染料の組合せは上記の組合せに限られるものではなく、目的としたカラーフィルタの分光スペクトルに合わせて適宜で各染料を組合せることができる。
青のカラーフィルタを形成するためには、例えば、好ましくは式(25)で表される染料、C.I.アシッドブルー90およびC.I.ソルベントブルー67の組合せが選択できる。
緑のカラーフィルタを形成するためには、例えば、好ましくはC.I.ソルベントブルー67、C.I.アシッドグリーン9、C.I.アシッドグリーン16、C.I.ソルベントイエロー82およびC.I.ソルベントイエロー162の組合せが選択できる。
黄色のカラーフィルタを形成するために例えば、好ましくはC.I.ソルベントイエロー82およびC.I.ソルベントイエロー162の組合せが選択できる。
イエロー赤、緑、青および黄の染料の組合せは上記の組合せに限られるものではなく、目的としたカラーフィルタの分光スペクトルに合わせて適宜で各染料を組合せることができる。
染料の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは20〜80質量%であり、より好ましくは25〜75質量%、とりわけ好ましくは25〜60質量%である。ここで、固形分とは、組成物から溶剤を除いた分をいう。
染料の含有量が前記の範囲にあると、カラーフィルタの色濃度が高く、パターニング時における現像液への溶解コントラストが大きくなるため好ましい。
染料の含有量が前記の範囲にあると、カラーフィルタの色濃度が高く、パターニング時における現像液への溶解コントラストが大きくなるため好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物は光酸発生剤を含む。前記の光酸発生剤としては、例えば、ヨードニウム塩化合物、スルホニウム塩化合物、有機ハロゲン化合物(ハロアルキル−s−トリアジン化合物など)、スルホン酸エステル化合物、ジスルホン化合物、ジアゾメタンスルホニル化合物、N−スルホニルオキシイミド化合物、オキシム系化合物などが用いられうる。これらに包含される化合物をそれぞれ単独で、または必要により2種以上混合して使用することができる。より具体的には、光酸発生剤として、以下のような化合物を例示することができる。
ヨードニウム塩化合物
ジフェニルヨードニウム トリフルオロメタンスルホネート、4−メトキシフェニルフェニルヨードニウム ヘキサフルオロアンチモネート、4−メトキシフェニルフェニルヨードニウム トリフルオロメタンスルホネート、ビス(4−tert−ブチルフェニル)ヨードニウム テトラフルオロボレート、ビス(4−tert−ブチルフェニル)ヨードニウム ヘキサフルオロホスフェート、ビス(4−tert−ブチルフェニル)ヨードニウム ヘキサフルオロアンチモネート、ビス(4−tert−ブチルフェニル)ヨードニウム トリフルオロメタンスルホネート、ビス(4−tert−ブチルフェニル)ヨードニウム 10−カンファースルホネート、ビス(4−tert−ブチルフェニル)ヨードニウム p−トルエンスルホネートなど。
ジフェニルヨードニウム トリフルオロメタンスルホネート、4−メトキシフェニルフェニルヨードニウム ヘキサフルオロアンチモネート、4−メトキシフェニルフェニルヨードニウム トリフルオロメタンスルホネート、ビス(4−tert−ブチルフェニル)ヨードニウム テトラフルオロボレート、ビス(4−tert−ブチルフェニル)ヨードニウム ヘキサフルオロホスフェート、ビス(4−tert−ブチルフェニル)ヨードニウム ヘキサフルオロアンチモネート、ビス(4−tert−ブチルフェニル)ヨードニウム トリフルオロメタンスルホネート、ビス(4−tert−ブチルフェニル)ヨードニウム 10−カンファースルホネート、ビス(4−tert−ブチルフェニル)ヨードニウム p−トルエンスルホネートなど。
スルホニウム塩化合物
トリフェニルスルホニウム ヘキサフルオロホスフェート、トリフェニルスルホニウム ヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウム トリフルオロメタンスルホネート、4−メトキシフェニルジフェニルスルホニウム ヘキサフルオロアンチモネート、4−メトキシフェニルジフェニルスルホニウム トリフルオロメタンスルホネート、4−メチルフェニルジフェニルスルホニウム メタンスルホネート、p−トリルジフェニルスルホニウム トリフルオロメタンスルホネート、2,4,6−トリメチルフェニルジフェニルスルホニウム トリフルオロメタンスルホネート、4−tert−ブチルフェニルジフェニルスルホニウム トリフルオロメタンスルホネート、4−フェニルチオフェニルジフェニルスルホニウム ヘキサフルオロホスフェート、4−フェニルチオフェニルジフェニルスルホニウム ヘキサフルオロアンチモネート、1−(2−ナフトイルメチル)チオラニウム ヘキサフルオロアンチモネート、1−(2−ナフトイルメチル)チオラニウム トリフルオロメタンスルホネート、4−ヒドロキシ−1−ナフチルジメチルスルホニウム ヘキサフルオロアンチモネート、4−ヒドロキシ−1−ナフチルジメチルスルホニウム トリフルオロメタンスルホネートなど。
トリフェニルスルホニウム ヘキサフルオロホスフェート、トリフェニルスルホニウム ヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウム トリフルオロメタンスルホネート、4−メトキシフェニルジフェニルスルホニウム ヘキサフルオロアンチモネート、4−メトキシフェニルジフェニルスルホニウム トリフルオロメタンスルホネート、4−メチルフェニルジフェニルスルホニウム メタンスルホネート、p−トリルジフェニルスルホニウム トリフルオロメタンスルホネート、2,4,6−トリメチルフェニルジフェニルスルホニウム トリフルオロメタンスルホネート、4−tert−ブチルフェニルジフェニルスルホニウム トリフルオロメタンスルホネート、4−フェニルチオフェニルジフェニルスルホニウム ヘキサフルオロホスフェート、4−フェニルチオフェニルジフェニルスルホニウム ヘキサフルオロアンチモネート、1−(2−ナフトイルメチル)チオラニウム ヘキサフルオロアンチモネート、1−(2−ナフトイルメチル)チオラニウム トリフルオロメタンスルホネート、4−ヒドロキシ−1−ナフチルジメチルスルホニウム ヘキサフルオロアンチモネート、4−ヒドロキシ−1−ナフチルジメチルスルホニウム トリフルオロメタンスルホネートなど。
有機ハロゲン化合物
2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(4−クロロフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(4−メトキシ−1−ナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(ベンゾ[d][1,3]ジオキソラン−5−イル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(4−メトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(3,4,5−トリメトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(3,4−ジメトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(2,4−ジメトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(2−メトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(4−ブトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(4−ペンチルオキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジンなど。
2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(4−クロロフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(4−メトキシ−1−ナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(ベンゾ[d][1,3]ジオキソラン−5−イル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(4−メトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(3,4,5−トリメトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(3,4−ジメトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(2,4−ジメトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(2−メトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(4−ブトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(4−ペンチルオキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジンなど。
スルホン酸エステル化合物
1−ベンゾイル−1−フェニルメチル p−トルエンスルホネート、2−ベンゾイル−2−ヒドロキシ−2−フェニルエチル p−トルエンスルホネート、1,2,3−ベンゼントリイル トリスメタンスルホネート、2,6−ジニトロベンジル p−トルエンスルホネート、2−ニトロベンジル p−トルエンスルホネート、4−ニトロベンジル p−トルエンスルホネートなど。
1−ベンゾイル−1−フェニルメチル p−トルエンスルホネート、2−ベンゾイル−2−ヒドロキシ−2−フェニルエチル p−トルエンスルホネート、1,2,3−ベンゼントリイル トリスメタンスルホネート、2,6−ジニトロベンジル p−トルエンスルホネート、2−ニトロベンジル p−トルエンスルホネート、4−ニトロベンジル p−トルエンスルホネートなど。
ジスルホン化合物
ジフェニルジスルホン、ジ−p−トリル ジスルホンなど。
ジフェニルジスルホン、ジ−p−トリル ジスルホンなど。
ジアゾメタンスルホニル化合物
ビス(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(4−クロロフェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(p−トリルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(4−tert−ブチルフェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(2,4−キシリルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(シクロヘキシルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(tert−ブチルスルホニル)ジアゾメタン、(ベンゾイル)(フェニルスルホニル)ジアゾメタンなど。
ビス(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(4−クロロフェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(p−トリルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(4−tert−ブチルフェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(2,4−キシリルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(シクロヘキシルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(tert−ブチルスルホニル)ジアゾメタン、(ベンゾイル)(フェニルスルホニル)ジアゾメタンなど。
N−スルホニルオキシイミド化合物
N−(エチルスルホニルオキシ)スクシンイミド、N−(イソプロピルスルホニルオキシ)スクシンイミド、N−(ブチルスルホニルオキシ)スクシンイミド、N−(10−カンファースルホニルオキシ)スクシンイミド、N−(フェニルスルホニルオキシ)スクシンイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)スクシンイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)フタルイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)−5−ノルボルネン−2,3−ジカルボキシイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)ナフタルイミド、N−(10−カンファースルホニルオキシ)ナフタルイミドなど。
N−(エチルスルホニルオキシ)スクシンイミド、N−(イソプロピルスルホニルオキシ)スクシンイミド、N−(ブチルスルホニルオキシ)スクシンイミド、N−(10−カンファースルホニルオキシ)スクシンイミド、N−(フェニルスルホニルオキシ)スクシンイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)スクシンイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)フタルイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)−5−ノルボルネン−2,3−ジカルボキシイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)ナフタルイミド、N−(10−カンファースルホニルオキシ)ナフタルイミドなど。
オキシム系化合物
α−(4−トルエンスルホニルオキシイミノ)ベンジルシアニド、α−(4−トルエンスルホニルオキシイミノ)−4−メトキシベンジルシアニド、α−(カンファースルホニルオキシイミノ)−4−メトキシベンジルシアニド、α−トリフルオロメタンスルホニルオキシイミノ−4−メトキシベンジルシアニド、α−(1−n−ヘキシルスルホニルオキシイミノ−4−メトキシベンジルシアニド、α−ナフタレンスルホニルオキシイミノ−4−メトキシベンジルシアニド、α−(4−トルエンスルホニルオキシイミノ)−4−N−ジエチルアニリルシアニド、α−(4−トルエンスルホニルオキシイミノ)−3,4−ジメトキシベンジルシアニド、α−(4−トルエンスルホニルオキシイミノ)−4−チエニルシアニド、(5−トシルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−(2−メチルフェニル)アセトニトリル、(5−カンファースルフォニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−(2−メチルフェニル)アセトニトリル、(5−n−プロピルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−(2−メチルフェニル)アセトニトリル、(5−n−オクチルオキシイミノ−5−カンファースルフォニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−(2−メチルフェニル)アセトニトリルなどが挙げられる。
α−(4−トルエンスルホニルオキシイミノ)ベンジルシアニド、α−(4−トルエンスルホニルオキシイミノ)−4−メトキシベンジルシアニド、α−(カンファースルホニルオキシイミノ)−4−メトキシベンジルシアニド、α−トリフルオロメタンスルホニルオキシイミノ−4−メトキシベンジルシアニド、α−(1−n−ヘキシルスルホニルオキシイミノ−4−メトキシベンジルシアニド、α−ナフタレンスルホニルオキシイミノ−4−メトキシベンジルシアニド、α−(4−トルエンスルホニルオキシイミノ)−4−N−ジエチルアニリルシアニド、α−(4−トルエンスルホニルオキシイミノ)−3,4−ジメトキシベンジルシアニド、α−(4−トルエンスルホニルオキシイミノ)−4−チエニルシアニド、(5−トシルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−(2−メチルフェニル)アセトニトリル、(5−カンファースルフォニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−(2−メチルフェニル)アセトニトリル、(5−n−プロピルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−(2−メチルフェニル)アセトニトリル、(5−n−オクチルオキシイミノ−5−カンファースルフォニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−(2−メチルフェニル)アセトニトリルなどが挙げられる。
中でも、i線やg線を露光光源とする場合には、光酸発生剤としてオキシム化合物を使用すると、揮発成分を発生することなく露光できるので好ましい。中でも、α−(4−トルエンスルホニルオキシイミノ)−4−メトキシベンジルシアニド、α−(カンファースルホニルオキシイミノ)−4−メトキシベンジルシアニド、α−(4−トルエンスルホニルオキシイミノ)−4−チエニルシアニド、(5−カンファースルフォニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−(2−メチルフェニル)アセトニトリル、(5−n−プロピルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−(2−メチルフェニル)アセトニトリル、を用いると、着色感光性樹脂組成物の感度が高くなり好ましい。
前記の光酸発生剤は、単独でも、2種以上を組合せても使用できる。
前記の光酸発生剤は、単独でも、2種以上を組合せても使用できる。
光酸発生剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは0.001〜20質量%であり、より好ましくは0.5〜10質量%であり、とりわけ好ましくは2〜8質量%である。光酸発生剤の含有量が前記の範囲にあると、フォトリソグラフィー法でパターンを形成する際の投影露光時間が短くなりまた、現像時の露光部と未露光部との溶解コントラストが大きくなり好ましい。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、硬化剤を含有する。硬化剤は、加熱により硬化する化合物が用いられる。前記の硬化剤としては、式(I)で表される化合物が例示される。
[式(I)中、R1〜R6は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜10の直鎖状アルキル基または炭素数3〜10の分岐状アルキル基を表す。ただし、R1〜R6のうち、少なくとも2個は水素原子ではない。]
炭素数1〜10の直鎖状アルキル基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、n−ノニル基、n−デシルが挙げられ、好ましくはメチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基が挙げられる。
炭素数3〜10の分岐状アルキル基としては、イソプロピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、下記の基などが挙げられ、好ましくはイソプロピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基が挙げられる。
炭素数3〜10の分岐状アルキル基としては、イソプロピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、下記の基などが挙げられ、好ましくはイソプロピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基が挙げられる。
式(I)で表される化合物としては、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサエトキシメチルメラミンなどが挙げられ、好ましくはヘキサメトキシメチルメラミンが挙げられる。
硬化剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは10〜40質量%であり、より好ましくは20〜30質量%である。硬化剤の含有量が前記の範囲にあると、フォトリソグラフィー法でパターンを形成する際の投影露光時間が短くなるため好ましく、また現像後のパターンの形状がカラーフィルタとして好ましい矩形となりやすく、該パターンを加熱して硬化させた後のパターンの機械的強度が充分であり、また現像工程で画素の膜減りが発生しないので画像の色ムラが生じ難いため好ましい。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂として、部分的にアルキルエーテル化されたビニルフェノールを構成単位として有するポリビニルフェノール樹脂を含有する。
前記の部分的にアルキルエーテル化されたビニルフェノールを構成単位として有するポリビニルフェノール樹脂として、例えば、その重合成分として、p−ビニルフェノールを有し、該フェノールの水酸基の水素原子を、アルキル基で置換した共重合体が用いられる。前記の共重合体は、これを含む着色感光性樹脂組成物を用いてカラーフィルタを形成する際に、フォトリソグラフィー法でパターンを形成する際の投影露光時間が短くなり、また形状も改良されるため好ましい。
水酸基の水素原子を置換するアルキル基としては、炭素数1〜6の直鎖状アルキル基、炭素数3〜6の分岐状アルキル基、炭素数4〜6の環状アルキル基が挙げられる。
前記の炭素数1〜6の直鎖状アルキル基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基が挙げられる。
炭素数3〜6の分岐状アルキル基としては、イソプロピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、1−メチルペンチル基、2−メチルペンチル基、3−メチルペンチル基、4−メチルペンチル基、1,1,−ジメチル−n−ブチル基、1,2,−ジメチル−n−ブチル基、1,3,−ジメチル−n−ブチル基、1,4,−ジメチル−n−ブチル基、2,2,−ジメチル−n−ブチル基、2,3,−ジメチル−n−ブチル基、2,4,−ジメチル−n−ブチル基、3,3,−ジメチル−n−ブチル基、3,4,−ジメチル−n−ブチル基、4,4,−ジメチル−n−ブチル基などが挙げられる。
炭素数4〜6の環状アルキル基としては、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基などが挙げられる。
中でも、好ましいアルキル基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基が挙げられる。
前記の部分的にアルキルエーテル化されたビニルフェノールを構成単位として有するポリビニルフェノール樹脂として、例えば、その重合成分として、p−ビニルフェノールを有し、該フェノールの水酸基の水素原子を、アルキル基で置換した共重合体が用いられる。前記の共重合体は、これを含む着色感光性樹脂組成物を用いてカラーフィルタを形成する際に、フォトリソグラフィー法でパターンを形成する際の投影露光時間が短くなり、また形状も改良されるため好ましい。
水酸基の水素原子を置換するアルキル基としては、炭素数1〜6の直鎖状アルキル基、炭素数3〜6の分岐状アルキル基、炭素数4〜6の環状アルキル基が挙げられる。
前記の炭素数1〜6の直鎖状アルキル基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基が挙げられる。
炭素数3〜6の分岐状アルキル基としては、イソプロピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、1−メチルペンチル基、2−メチルペンチル基、3−メチルペンチル基、4−メチルペンチル基、1,1,−ジメチル−n−ブチル基、1,2,−ジメチル−n−ブチル基、1,3,−ジメチル−n−ブチル基、1,4,−ジメチル−n−ブチル基、2,2,−ジメチル−n−ブチル基、2,3,−ジメチル−n−ブチル基、2,4,−ジメチル−n−ブチル基、3,3,−ジメチル−n−ブチル基、3,4,−ジメチル−n−ブチル基、4,4,−ジメチル−n−ブチル基などが挙げられる。
炭素数4〜6の環状アルキル基としては、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基などが挙げられる。
中でも、好ましいアルキル基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基が挙げられる。
ビニルフェノールの水酸基のアルキルエーテル化率は、元の水酸基のモル数に対して、好ましくは5〜50モル%、より好ましくは5〜40モル%、とりわけ好ましくは15〜40モル%である。ビニルフェノールの水酸基のアルキルエーテル化率が前記の範囲にあると、露光における感度が高くなり、またアルカリ現像液への溶解性が不良とならない傾向があり、好ましい。ビニルフェノールの水酸基のアルキルエーテル化率は、1H−NMRを用いて、常法に従い測定することができる。
前記のアルキルエーテル化される前のポリビニルフェノール樹脂のポリスチレン換算重量平均分子量は、好ましくは1,000〜20,000であり、より好ましくは2,000〜10,000であり、とりわけ好ましくは2,000〜6,000である。
部分的にアルキルエーテル化されたビニルフェノールを構成単位として有するポリビニルフェノール樹脂の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは5〜60質量%であり、より好ましくは5〜50質量%である。該ポリビニルフェノール樹脂の含有量が前記の範囲にあると、露光における感度が高くなる傾向があり、好ましい。
また、アルカリ可溶性樹脂として、前記のポリビニルフェノール樹脂に加えて、本発明の効果を損なわない範囲であれば、ノボラック樹脂を含んでもよい。
ノボラック樹脂としてはパラクレゾールノボラック樹脂、メタクレゾールノボラック樹脂、パラクレゾールとメタクレゾールとのノボラック樹脂、式(2)で表される繰り返し構造を有するノボラック樹脂などが挙げられる。
ノボラック樹脂としてはパラクレゾールノボラック樹脂、メタクレゾールノボラック樹脂、パラクレゾールとメタクレゾールとのノボラック樹脂、式(2)で表される繰り返し構造を有するノボラック樹脂などが挙げられる。
前記のノボラック樹脂のポリスチレン換算重量平均分子量は、好ましくは3,000〜20,000であり、より好ましくは5,500〜18,000、とりわけ好ましくは10,000〜15,000である。
アルカリ可溶性樹脂の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは5〜60質量%であり、より好ましくは5〜50質量%である。アルカリ可溶性樹脂の含有量が前記の範囲にあると、現像液に対する溶解度が充分であって、また現像工程での膜減りを生じにくく、フォトリソグラフィー法でパターンを形成する際の露光時間が短くなり好ましい。
本発明の着色感光性樹脂組成物は溶剤を含む。溶剤は、感光性樹脂組成物中に含まれる染料、光酸開始剤、硬化剤およびアルカリ可溶性樹脂の溶解度、中でも染料の溶解度によって、適宜選択される。
前記の溶剤としては、メチルセルソルブ、エチルセルソルブ、メチルセルソルブアセテート、エチルセルソルブアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、N−メチルピロリドン、γ−ブチロラクトン、ジメチルスルホキシド、N,N−ジメチルホルムアミド、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン、シクロヘキサノン、酢酸エチル、酢酸n−ブチル、ピルビン酸エチル、乳酸エチル、乳酸n−ブチルなどなどが挙げられ、好ましくはγ−ブチロラクトン、N,N−ジメチルホルムアミド、シクロヘキサノン、ピルビン酸エチル、乳酸エチル、乳酸n−ブチルが挙げられる。前記の溶剤は、単独でも、混合して用いられてもよい。
溶剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物に対して質量分率で、好ましくは65〜88質量%、より好ましくは71〜85質量%である。
溶剤の含有量が、前記の範囲にあると、基板上に感光性樹脂組成物を用いて薄膜を形成する際の塗布ムラが小さくできる傾向があり、好ましい。
溶剤の含有量が、前記の範囲にあると、基板上に感光性樹脂組成物を用いて薄膜を形成する際の塗布ムラが小さくできる傾向があり、好ましい。
また、本発明の着色感光性樹脂組成物には、塩基性化合物を添加してもよい。該塩基性化合物としては、アミン類などの塩基性含窒素有機化合物などが挙げられる。
該塩基性化合物が添加されることにより、露光後の引き置き特性、すなわち、すなわち、露光後に基板を放置することに起因する光酸発生剤の失活によりパターン寸法が変化しにくいという性質を良好にできるので、好ましい。
該塩基性化合物の具体例としては、4−ニトロアニリン、エチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、4,4’−ジアミノ−1,2−ジフェニルエタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジメチルジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジエチルジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’,5,5’−テトラエチル−ジフェニルメタン、8−キノリノール、ベンズイミダゾール、2−ヒドロキシベンズイミダゾール、2−ヒドロキシキナゾリン、4−メトキシベンジリデン−4’−n−ブチルアニリン、サリチル酸アミド、サリチルアニリド、1,8−ビス(N,N−ジメチルアミノ)ナフタレン、1,2−ジアジン(ピリダジン)、ピペリジン、p−アミノ−安息香酸、N−アセチルエチレンジアミン、2−メチル−6−ニトロアニリン、5−アミノ−2−メチルフェノール、4−n−ブトキシアニリン、3−エトキシ−n−プロピルアミン、4−メチルシクロヘキシルアミン、4−tert−ブチルシクロヘキシルアミン、や、式(III)〜式(V)で表される化合物が挙げられる。
該塩基性化合物が添加されることにより、露光後の引き置き特性、すなわち、すなわち、露光後に基板を放置することに起因する光酸発生剤の失活によりパターン寸法が変化しにくいという性質を良好にできるので、好ましい。
該塩基性化合物の具体例としては、4−ニトロアニリン、エチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、4,4’−ジアミノ−1,2−ジフェニルエタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジメチルジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジエチルジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’,5,5’−テトラエチル−ジフェニルメタン、8−キノリノール、ベンズイミダゾール、2−ヒドロキシベンズイミダゾール、2−ヒドロキシキナゾリン、4−メトキシベンジリデン−4’−n−ブチルアニリン、サリチル酸アミド、サリチルアニリド、1,8−ビス(N,N−ジメチルアミノ)ナフタレン、1,2−ジアジン(ピリダジン)、ピペリジン、p−アミノ−安息香酸、N−アセチルエチレンジアミン、2−メチル−6−ニトロアニリン、5−アミノ−2−メチルフェノール、4−n−ブトキシアニリン、3−エトキシ−n−プロピルアミン、4−メチルシクロヘキシルアミン、4−tert−ブチルシクロヘキシルアミン、や、式(III)〜式(V)で表される化合物が挙げられる。
[式(III)〜式(V)中、R14〜R16は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜6の直鎖状アルキル基、炭素数3〜6の分岐状アルキル基、炭素数5〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜12のアリール基または炭素数1〜6のアルコキシ基を表す。前記の炭素数1〜6の直鎖状アルキル基、炭素数3〜6の分岐状アルキル基、炭素数5〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜12のアリール基および炭素数1〜6のアルコキシ基は、それぞれ独立に、水酸基、アミノ基、または炭素数1〜6のアルコキシ基で置換されていてもよい。また、該アミノ基は、さらに、炭素数1〜4のアルキル基で置換されていてもよい。
R12、R13、R17およびR18は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜6の直鎖状アルキル基、炭素数3〜6の分岐状アルキル基、炭素数5〜10のシクロアルキル基または炭素数6〜12のアリール基を表す。該直鎖状アルキル基、該分岐状アルキル基、該シクロアルキル基、該アリール基は、それぞれ独立に、水酸基、アミノ基、または炭素数1〜6のアルコキシ基で置換されていてもよい。該アミノ基は、炭素数1〜4の直鎖状または分岐状アルキル基で置換されていてもよい。
Aは、単結合、炭素数1〜6のアルキレン基、カルボニル基、イミノ基、スルフィド基、アミノ基、またはジスルフィド基を表す。]
R12、R13、R17およびR18は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜6の直鎖状アルキル基、炭素数3〜6の分岐状アルキル基、炭素数5〜10のシクロアルキル基または炭素数6〜12のアリール基を表す。該直鎖状アルキル基、該分岐状アルキル基、該シクロアルキル基、該アリール基は、それぞれ独立に、水酸基、アミノ基、または炭素数1〜6のアルコキシ基で置換されていてもよい。該アミノ基は、炭素数1〜4の直鎖状または分岐状アルキル基で置換されていてもよい。
Aは、単結合、炭素数1〜6のアルキレン基、カルボニル基、イミノ基、スルフィド基、アミノ基、またはジスルフィド基を表す。]
前記の炭素数1〜6の直鎖状アルキル基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基が挙げられ、好ましくはメチル基、エチル基、n−プロピル基が挙げられる。
前記の炭素数3〜6の分岐状アルキル基としては、イソプロピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基が挙げられ、好ましくはイソプロピル基、tert−ブチル基が挙げられる。
前記の炭素数5〜10のシクロアルキル基としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基が挙げられ、好ましくはシクロペンチル基、シクロヘキシル基が挙げられる。
前記の炭素数6〜12のアリール基としては、フェニル基、ナフチル基が挙げられる。
前記の炭素数3〜6の分岐状アルキル基としては、イソプロピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基が挙げられ、好ましくはイソプロピル基、tert−ブチル基が挙げられる。
前記の炭素数5〜10のシクロアルキル基としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基が挙げられ、好ましくはシクロペンチル基、シクロヘキシル基が挙げられる。
前記の炭素数6〜12のアリール基としては、フェニル基、ナフチル基が挙げられる。
前記の式(III)で表される塩基性化合物としては、具体的には、イミダゾール、ピリジン、4−メチルピリジン、4−メチルイミダゾール、2−ジメチルアミノピリジン、2−メチルアミノピリジン、1,6−ジメチルピリジンなどが挙げられる。
前記の式(IV)で表される塩基性化合物としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトライソプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、テトラ−n−ヘキシルアンモニウムヒドロキシド、テトラ−n−オクチルアンモニウムヒドロキシド、フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、3−(トリフルオロメチル)フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、コリンなどが挙げられる。
前記の式(V)で表される塩基性化合物としては、ビピリジン、2,2’−ジピリジルアミン、ジ−2−ピリジルケトン、1,2−ジ(2−ピリジル)エタン、1,2−ジ(4−ピリジル)エタン、1,3−ジ(4−ピリジル)プロパン、1,2−ビス(2−ピリジル)エチレン、1,2−ビス(4−ピリジル)エチレン、1,2−ビス(4−ピリジルオキシ)エタン、4,4’−ジピリジルスルフィド、4,4’−ジピリジルジスルフィド、1,2−ビス(4−ピリジル)エチレン、2,2’−ジピコリルアミン、3,3’−ジピコリルアミンなどが挙げられる。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、本発明の効果を損なわない程度に、さらにエポキシ樹脂やオキセタン化合物などを含んでもよい。
前記のエポキシ樹脂としては、具体的には、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾール・ノボラック型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂、臭素化エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂などのグリシジルエーテル類;
3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、1−エポキシエチル−3,4−エポキシシクロヘキサンなどの脂環式エポキシ樹脂;
フタル酸ジグリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸グリシジルエステルなどのグリシジルエステル類;
テトラグリシジルジアミノジフェニルメタンなどのグリシジルアミン類;
トリグリシジルイソシアヌレートなどの複素環式エポキシ樹脂などが挙げられる。
前記のエポキシ樹脂としては、具体的には、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾール・ノボラック型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂、臭素化エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂などのグリシジルエーテル類;
3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、1−エポキシエチル−3,4−エポキシシクロヘキサンなどの脂環式エポキシ樹脂;
フタル酸ジグリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸グリシジルエステルなどのグリシジルエステル類;
テトラグリシジルジアミノジフェニルメタンなどのグリシジルアミン類;
トリグリシジルイソシアヌレートなどの複素環式エポキシ樹脂などが挙げられる。
前記のエポキシ樹脂の市販品としては、エピコート801(ビスフェノールF型エポキシ化合物、エポキシ当量は205〜225)、802(ビスフェノールF型エポキシ化合物、エポキシ当量は190〜205)、807(ビスフェノールF型エポキシ化合物、エポキシ当量は160〜175)、815(ビスフェノールF型エポキシ化合物、エポキシ当量は181〜191)、827(ビスフェノールA型エポキシ化合物、エポキシ当量は180〜190)、828(ビスフェノールA型エポキシ化合物、エポキシ当量は184〜194)、152(フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量は172〜178g)、154(フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量は176〜180)、180S65(オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量は205〜220)(いずれも、ジャパンエポキシレジン(株)製)、ESCN195XL(オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量は195〜200)(住友化学(株)製)、EP4100(ビスフェノールA型エポキシ化合物、エポキシ当量は180〜200)、4340(ビスフェノールA型エポキシ化合物、エポキシ当量は205〜230)(いずれも、旭電化工業(株)製)などが挙げられる。
前記のオキセタン化合物としては、例えば、カーボネートビスオキセタン、キシリレンビスオキセタン、アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセタン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタンなどが挙げられる。
前記のエポキシ樹脂やオキセタン化合物を用いる場合、その使用量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは0.01〜10質量%、より好ましくは0.1〜5質量%である。エポキシ樹脂やオキセタン化合物の使用量が前記の範囲にあると、耐溶剤性を高める傾向があり好ましい。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、本発明の効果を損なわない程度に、さらに紫外線吸収剤を含んでもよい。
前記の紫外線吸収剤としては、アデカスタブLA−32、アデカスタブLA−36、アデカスタブLA−36RG、アデカスタブ1413、アデカスタブLA−51、アデカスタブLA−52、アデカスタブLA−57、アデカスタブLA−62、アデカスタブLA−67、アデカスタブLA−63P、アデカスタブLA−68LD、アデカスタブLA−77Y、アデカスタブLA−77G、アデカスタブLA−82、アデカスタブLA−87、アデカスタブLA−501、アデカスタブLA−502XP、アデカスタブLA−503、アデカスタブLA−601、アデカスタブLA−602、アデカスタブLA−603、アデカスタブLA−801(いずれも、旭電化工業(株)製)、Sumisorb 200、Sumisorb 320、Sumisorb 300、Sumisorb 350、Sumisorb 340(いずれも、住友化学(株)製)、 TINUVIN P、TINUVIN 326、TINUVIN 327、TINUVIN 328、TINUVIN 234(いずれも、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ(株)製)などが挙げられる。
紫外線吸収剤を用いる場合、その使用量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは0.001〜10質量%、より好ましくは0.01〜1質量%である。紫外線吸収剤の使用量が前記の範囲にあると、耐光性が向上する傾向があり好ましい。
前記の紫外線吸収剤としては、アデカスタブLA−32、アデカスタブLA−36、アデカスタブLA−36RG、アデカスタブ1413、アデカスタブLA−51、アデカスタブLA−52、アデカスタブLA−57、アデカスタブLA−62、アデカスタブLA−67、アデカスタブLA−63P、アデカスタブLA−68LD、アデカスタブLA−77Y、アデカスタブLA−77G、アデカスタブLA−82、アデカスタブLA−87、アデカスタブLA−501、アデカスタブLA−502XP、アデカスタブLA−503、アデカスタブLA−601、アデカスタブLA−602、アデカスタブLA−603、アデカスタブLA−801(いずれも、旭電化工業(株)製)、Sumisorb 200、Sumisorb 320、Sumisorb 300、Sumisorb 350、Sumisorb 340(いずれも、住友化学(株)製)、 TINUVIN P、TINUVIN 326、TINUVIN 327、TINUVIN 328、TINUVIN 234(いずれも、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ(株)製)などが挙げられる。
紫外線吸収剤を用いる場合、その使用量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは0.001〜10質量%、より好ましくは0.01〜1質量%である。紫外線吸収剤の使用量が前記の範囲にあると、耐光性が向上する傾向があり好ましい。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、本発明の効果を損なわない程度に、さらに酸化防止剤を含んでもよい。
前記の酸化防止剤としては、アデカスタブPEP−4C、アデカスタブPEP−8、アデカスタブPEP−8W、アデカスタブPEP−11C、アデカスタブPEP−24G、アデカスタブPEP−36、アデカスタブPEP−36Z、アデカスタブHP−10、アデカスタブ2112、アデカスタブ2112RG、アデカスタブ260、アデカスタブ522A、アデカスタブ329K、アデカスタブ1178、アデカスタブ1500、アデカスタブC、アデカスタブ135A、アデカスタブ3010、アデカスタブTPP、アデカスタブAO−20、アデカスタブAO−30、アデカスタブAO−40、アデカスタブAO−50、アデカスタブAO−50RG、アデカスタブAO−50F、アデカスタブAO−60、アデカスタブAO−60G、アデカスタブAO−60P、アデカスタブAO−70、アデカスタブAO−80、アデカスタブAO−330、アデカスタブA−611、アデカスタブA−611RG、アデカスタブA−612、アデカスタブA−612RG、アデカスタブA−613、アデカスタブA−613RG、アデカスタブAO−51、アデカスタブAO−15、アデカスタブAO−18、アデカスタブ328、アデカスタブAO−37、アデカスタブAO−23、アデカスタブAO−412S、アデカスタブAO−503A(いずれも、旭電化工業(株)製)、Sumilizer GM、Sumilizer GS、Sumilizer BBM−S、Sumilizer WX−R、Sumilizer WX−RA、Sumilizer WX−RC、Sumilizer NW、Sumilizer GA−80、Sumilizer GP、Sumilizer TPL−R、Sumilizer TPM、Sumilizer TPS、Sumilizer TP−D、Sumilizer MB、Sumilizer 9A(いずれも、住友化学(株)製)、Irganox 1076、Irganox 1010、Irganox 3114、Irganox 245(いずれも、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ(株)製)などが挙げられる。
酸化防止剤を用いる場合、その使用量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは0.001〜10質量%、より好ましくは0.01〜1質量%である。酸化防止剤の使用量が前記の範囲にあると、耐光性や耐熱性が向上する傾向があり好ましい。
前記の酸化防止剤としては、アデカスタブPEP−4C、アデカスタブPEP−8、アデカスタブPEP−8W、アデカスタブPEP−11C、アデカスタブPEP−24G、アデカスタブPEP−36、アデカスタブPEP−36Z、アデカスタブHP−10、アデカスタブ2112、アデカスタブ2112RG、アデカスタブ260、アデカスタブ522A、アデカスタブ329K、アデカスタブ1178、アデカスタブ1500、アデカスタブC、アデカスタブ135A、アデカスタブ3010、アデカスタブTPP、アデカスタブAO−20、アデカスタブAO−30、アデカスタブAO−40、アデカスタブAO−50、アデカスタブAO−50RG、アデカスタブAO−50F、アデカスタブAO−60、アデカスタブAO−60G、アデカスタブAO−60P、アデカスタブAO−70、アデカスタブAO−80、アデカスタブAO−330、アデカスタブA−611、アデカスタブA−611RG、アデカスタブA−612、アデカスタブA−612RG、アデカスタブA−613、アデカスタブA−613RG、アデカスタブAO−51、アデカスタブAO−15、アデカスタブAO−18、アデカスタブ328、アデカスタブAO−37、アデカスタブAO−23、アデカスタブAO−412S、アデカスタブAO−503A(いずれも、旭電化工業(株)製)、Sumilizer GM、Sumilizer GS、Sumilizer BBM−S、Sumilizer WX−R、Sumilizer WX−RA、Sumilizer WX−RC、Sumilizer NW、Sumilizer GA−80、Sumilizer GP、Sumilizer TPL−R、Sumilizer TPM、Sumilizer TPS、Sumilizer TP−D、Sumilizer MB、Sumilizer 9A(いずれも、住友化学(株)製)、Irganox 1076、Irganox 1010、Irganox 3114、Irganox 245(いずれも、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ(株)製)などが挙げられる。
酸化防止剤を用いる場合、その使用量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは0.001〜10質量%、より好ましくは0.01〜1質量%である。酸化防止剤の使用量が前記の範囲にあると、耐光性や耐熱性が向上する傾向があり好ましい。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、本発明の効果を損なわない程度に、さらにキレート剤を含んでもよい。
前記のキレート剤としては、アデカスタブCDA−1、CDA−1M、CDA−6、ZS−27、ZS−90、ZS−91(いずれも、旭電化工業(株)製)、キレストMZ−2、キレストMZ−4A(いずれも、キレスト(株)製)、1,10−フェナントロリン、1,2−フェニレンジアミン、1,7−フェナントロリン、トリピリジン、2,2’−ビピリジン、2,3,7,8,12,13,17,18−オクタエチル−21H,23H−ポルフィリン、ネオクプロイン、3,5,6,8−テトラメチル−1,10−フェナントロリン、4,4’−ジメチル−2,2’−ビキノリン、4,4’−ジフェニル−2,2’−ビキノリン、4,7−ジメチル−1,10−フェナントロリン、p−フェナントロリン、5−メチル−1,10−フェナントロリンが挙げられる。
キレート剤を用いる場合、その使用量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは0.001〜10質量%、より好ましくは0.01〜5質量%である。キレート剤の使用量が前記の範囲にあると、耐熱性が向上する傾向があり好ましい。
前記のキレート剤としては、アデカスタブCDA−1、CDA−1M、CDA−6、ZS−27、ZS−90、ZS−91(いずれも、旭電化工業(株)製)、キレストMZ−2、キレストMZ−4A(いずれも、キレスト(株)製)、1,10−フェナントロリン、1,2−フェニレンジアミン、1,7−フェナントロリン、トリピリジン、2,2’−ビピリジン、2,3,7,8,12,13,17,18−オクタエチル−21H,23H−ポルフィリン、ネオクプロイン、3,5,6,8−テトラメチル−1,10−フェナントロリン、4,4’−ジメチル−2,2’−ビキノリン、4,4’−ジフェニル−2,2’−ビキノリン、4,7−ジメチル−1,10−フェナントロリン、p−フェナントロリン、5−メチル−1,10−フェナントロリンが挙げられる。
キレート剤を用いる場合、その使用量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは0.001〜10質量%、より好ましくは0.01〜5質量%である。キレート剤の使用量が前記の範囲にあると、耐熱性が向上する傾向があり好ましい。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、溶剤中において、前記の各成分を混合することにより、調製することができる。調製された着色感光性樹脂組成物は、例えば、ポアサイズ0.1μmのフィルタでろ過されるにより、粒径がフィルタのポアサイズより大きい不純物を除去することができて、塗布の際に基板上に均一に塗布することができる。
本発明の着色感光性樹脂組成物を用いることにより、0.5〜2.0μmの膜厚で、縦および横の長さがそれぞれ独立に2〜20μm程度の画素からなるカラーフィルタを得ることができる。
カラーフィルタを得るには、通常の感光性樹脂組成物と同様にフォトリソグラフィー法により操作すればよく、例えば、支持体上に本発明の感光性樹脂組成物からなる被膜を設け、前記の被膜を露光した後、現像して画素を形成すればよい。支持体としては、例えば、イメージセンサ(固体撮像素子ともいう。)が形成されたシリコンウエハ、透明なガラス板、石英板などが挙げられる。
カラーフィルタを得るには、通常の感光性樹脂組成物と同様にフォトリソグラフィー法により操作すればよく、例えば、支持体上に本発明の感光性樹脂組成物からなる被膜を設け、前記の被膜を露光した後、現像して画素を形成すればよい。支持体としては、例えば、イメージセンサ(固体撮像素子ともいう。)が形成されたシリコンウエハ、透明なガラス板、石英板などが挙げられる。
支持体上に被膜を設けるには、例えば、本発明の着色感光性樹脂組成物をスピンコート法、ロールコート法、バーコート法、ダイコート法、ディップ法、流延塗布法、ロール塗布法、スリット&スピンコート法、スリットコート法などの塗布方法で支持体の上に塗布し、次いで溶剤などの揮発成分を加熱などにより除去させればよい。このようにして、支持体の上に感光性樹脂組成物の固形分からなる被膜が形成される。塗布後、溶剤などの揮発成分を加熱して除去するときの温度としては、70〜120℃が好ましい。
次いで、この被膜を露光する。露光には目的とするパターンに応じたパターンからなるマスクパターンが用いられ、前記のマスクパターンを介して光線を照射すればよい。露光に用いられる光線としては、例えば、g線、i線などを用いることができ、g線ステッパー、i線ステッパーなどの露光機を用いて露光すればよい。照射領域における光線の照射量は、感光剤の種類や含有量、硬化剤の種類や含有量、アルカリ可溶性樹脂のポリスチレン換算重量平均分子量、単量体比、含有量、などによって適宜選択される。また、こうして露光された被膜は、加熱されてもよい。加熱することで、硬化剤が硬化して、被膜の機械的強度が向上する傾向があり、好ましい。加熱する場合の加熱温度は、好ましくは80〜150℃である。
露光後、得られた被膜を現像する。現像は、通常の感光性樹脂組成物を用いた場合と同様に、被膜が設けられた支持体を現像液に接触させればよい。現像液としては、通常の感光性樹脂組成物を用いてパターンを形成する場合と同様の現像液を用いることができる。現像液を振り切り、次いで水洗して現像液を除去することにより、目的とする画素が形成されたカラーフィルタを得ることができる。また、現像液を振り切り、次いでリンス液でリンスをし、水洗する場合もある。このリンスにより、現像時に支持体上に残った着色感光性樹脂組成物に由来する残渣を取り除くことができる。
次いで、現像後の該被膜には、紫外線が照射されてもよい。紫外線が照射されることにより、被膜中に残存する感光剤が分解されて、感光剤による可視域の吸収がなくなる傾向があり、好ましい。さらに、水洗後、加熱により、形成された画素の機械的強度を向上することができる。加熱温度は、好ましくは160〜220℃である。加熱温度が前記の範囲にあると、硬化剤により硬化が十分に進み、一方、染料が分解することがなく、好ましい。
こうして、目的とする形状で画素が形成されるが、このカラーフィルタの画素形成工程を異なる色ごとに繰り返すことで、例えば、赤色の画素、緑色の画素および青色の画素といった3色の画素が同一の支持体上に形成される。なお、各色の画素の形成順序については、任意に変更することができる。
イメージセンサとしては、CCDやCMOSなどが挙げられる。
前記のイメージセンサを組み込むことにより、カメラシステムを製造することができる。
上記において、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
以下、実施例によって本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。
合成例1
ポリ(p−ヒドロキシスチレン)〔VP−2500;日本曹達(株)製、カタログ値;重量平均分子量4,000〕21.0部およびアセトン84部を、還流管を備えた反応容器に仕込み、攪拌して溶解させた。そこに無水炭酸カリウム16.0部およびヨウ化エチル11.3部を仕込み、還流状態になるまで昇温した。引き続き還流状態を16時間維持した。次にメチルイソブチルケトン42部を加えて有機層を2質量%の蓚酸水溶液58.2部を加えて洗浄し、その後メチルイソブチルケトン42部を加えた後イオン交換水42部で洗浄した。イオン交換水での洗浄後の有機層を46.9部まで濃縮した後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート141部を加えて、さらに75部まで濃縮した。この濃縮液の固形分は、加熱重量減少法により測定したところ、32.6質量%であった。また、1H−NMR測定から、得られた樹脂では、ポリ(p−ヒドロキシスチレン)の水酸基のうち40.5%がエチルエーテル化されていた。この樹脂を樹脂Aとする。
ポリ(p−ヒドロキシスチレン)〔VP−2500;日本曹達(株)製、カタログ値;重量平均分子量4,000〕21.0部およびアセトン84部を、還流管を備えた反応容器に仕込み、攪拌して溶解させた。そこに無水炭酸カリウム16.0部およびヨウ化エチル11.3部を仕込み、還流状態になるまで昇温した。引き続き還流状態を16時間維持した。次にメチルイソブチルケトン42部を加えて有機層を2質量%の蓚酸水溶液58.2部を加えて洗浄し、その後メチルイソブチルケトン42部を加えた後イオン交換水42部で洗浄した。イオン交換水での洗浄後の有機層を46.9部まで濃縮した後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート141部を加えて、さらに75部まで濃縮した。この濃縮液の固形分は、加熱重量減少法により測定したところ、32.6質量%であった。また、1H−NMR測定から、得られた樹脂では、ポリ(p−ヒドロキシスチレン)の水酸基のうち40.5%がエチルエーテル化されていた。この樹脂を樹脂Aとする。
合成例2
ポリ(p−ヒドロキシスチレン)〔マルカリンカーM;丸善石油化学(株)製、カタログ値;重量平均分子量4,100〕36.0部およびアセトン144部を反応容器に仕込み、攪拌して溶解させた。そこに無水炭酸カリウム20.7部およびヨウ化エチル9.35部を仕込み、還流状態になるまで昇温した。引き続き還流状態を15時間維持した。次にメチルイソブチルケトン72部を加えて有機層を2質量%蓚酸水溶液92.8部で洗浄し、その後メチルイソブチルケトン96部を加え、イオン交換水64.7部で洗浄した。洗浄後の有機層を78.3部まで濃縮し、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート187.9部を加えて、さらに117.4部まで濃縮した。この濃縮液の固形分は、29.2質量%であった。また、1H−NMR測定から、反応後の樹脂では、ポリ(p−ヒドロキシスチレン)の水酸基のうち19.6%がエチルエーテル化されていた。この樹脂を樹脂Bとする。
ポリ(p−ヒドロキシスチレン)〔マルカリンカーM;丸善石油化学(株)製、カタログ値;重量平均分子量4,100〕36.0部およびアセトン144部を反応容器に仕込み、攪拌して溶解させた。そこに無水炭酸カリウム20.7部およびヨウ化エチル9.35部を仕込み、還流状態になるまで昇温した。引き続き還流状態を15時間維持した。次にメチルイソブチルケトン72部を加えて有機層を2質量%蓚酸水溶液92.8部で洗浄し、その後メチルイソブチルケトン96部を加え、イオン交換水64.7部で洗浄した。洗浄後の有機層を78.3部まで濃縮し、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート187.9部を加えて、さらに117.4部まで濃縮した。この濃縮液の固形分は、29.2質量%であった。また、1H−NMR測定から、反応後の樹脂では、ポリ(p−ヒドロキシスチレン)の水酸基のうち19.6%がエチルエーテル化されていた。この樹脂を樹脂Bとする。
合成例3
式(70)で表される化合物〔PIPE−CD;三井化学(株)製〕50.8部、メチルイソブチルケトン50.8部gおよびシュウ酸9.5部の混合物を攪拌しながら80℃で攪拌しながら1時間かけてホルマリン(ホルムアルデヒドを質量分率で37%含有する)13.8部を滴下して加えた。
式(70)で表される化合物〔PIPE−CD;三井化学(株)製〕50.8部、メチルイソブチルケトン50.8部gおよびシュウ酸9.5部の混合物を攪拌しながら80℃で攪拌しながら1時間かけてホルマリン(ホルムアルデヒドを質量分率で37%含有する)13.8部を滴下して加えた。
滴下終了後、91℃に昇温し、同温度で10時間反応させた。反応後の反応混合物にイオン交換水125部、メチルイソブチルケトン76部を加えて水洗し、更にメチルイソブチルケトン51部、イオン交換水125部を加えて洗浄し、その後蒸留により脱水して、ノボラック樹脂のメチルイソブチルケトン溶液145.5部を得た。得られたメチルイソブチルケトン溶液にメチルイソブチルケトン133部、n−ヘプタン363部を加えて分別し、樹脂層(液体)として樹脂Cを取り出した。この樹脂Cに乳酸エチル145.8部を加えて、樹脂Cの乳酸エチル溶液(樹脂Cの含有量は質量分率で36%)を得た。この樹脂Cの平均分子量(GPC、ポリスチレン換算)は13,500であった。
上記のバインダーポリマーのポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)の測定については、GPC法を用いて、以下の条件で行った。
装置;HLC-8120GPC(東ソー(株)製)
カラム;TSK−GELG4000HXL+TSK−GELG2000HXL(直列接続)
カラム温度;40℃
溶媒;THF
流速;1.0mL/min
注入量;50μL
検出器;RI
測定試料濃度;0.6質量%(溶媒;THF)
校正用標準物質;TSK STANDARD POLYSTYRENE F−40、F−4、F−1、A−2500、A−500(東ソー(株)製)
装置;HLC-8120GPC(東ソー(株)製)
カラム;TSK−GELG4000HXL+TSK−GELG2000HXL(直列接続)
カラム温度;40℃
溶媒;THF
流速;1.0mL/min
注入量;50μL
検出器;RI
測定試料濃度;0.6質量%(溶媒;THF)
校正用標準物質;TSK STANDARD POLYSTYRENE F−40、F−4、F−1、A−2500、A−500(東ソー(株)製)
実施例1
C.I.アシッドグリーン16染料を2.25質量部、C.I.ソルベントイエロー162染料を17.78質量部、C.I.ソルベントブルー67染料を15.09質量部、
光酸発生剤としてα−〔(4−トルエンスルホニルオキシイミノ)−4−メトキシフェニル〕アセトニトリルを4.58質量部、樹脂Aを固形分として16.92質量部、樹脂Bを固形分として16.92質量部、樹脂Cを固形分として11.28質量部、2−アミノ−2−メチル−1−プロパノールを0.23質量部、1,10−フェナントロリンを1.00質量部、硬化剤としてヘキサメトキシメチルメラミンを14.52質量部、溶剤として乳酸エチル194質量部、N,N−ジメチルホルムアミド93質量部、プロピレングリコールモノメチルエ−テルアセテート23質量部を混合した後、孔径0.1μmのメンブランフィルターでろ過して緑色の着色感光性樹脂組成物1を得た。
C.I.アシッドグリーン16染料を2.25質量部、C.I.ソルベントイエロー162染料を17.78質量部、C.I.ソルベントブルー67染料を15.09質量部、
光酸発生剤としてα−〔(4−トルエンスルホニルオキシイミノ)−4−メトキシフェニル〕アセトニトリルを4.58質量部、樹脂Aを固形分として16.92質量部、樹脂Bを固形分として16.92質量部、樹脂Cを固形分として11.28質量部、2−アミノ−2−メチル−1−プロパノールを0.23質量部、1,10−フェナントロリンを1.00質量部、硬化剤としてヘキサメトキシメチルメラミンを14.52質量部、溶剤として乳酸エチル194質量部、N,N−ジメチルホルムアミド93質量部、プロピレングリコールモノメチルエ−テルアセテート23質量部を混合した後、孔径0.1μmのメンブランフィルターでろ過して緑色の着色感光性樹脂組成物1を得た。
次にシリコンウエハ上にポリグリシジルメタクリレート樹脂を主成分とした平坦化膜形成材(溶剤溶液)をスピンコートし、100℃で1分間加熱して揮発成分を除去して0.96μmの膜厚の平坦化膜を形成した。次いで、このウェハを230℃で15分間加熱して前記の平坦化膜を硬化させ支持体を形成した。
着色感光性樹脂組成物1をこの支持体(平坦化膜付きシリコンウエハ)上にスピンコート法で塗布し、100℃で1分間加熱して揮発成分を除去して膜厚1.15μmの被膜を形成した。次いでi線ステッパー[Nikon NSR−2005i9C;(株)ニコン製]を用いて2.0μmのマスクパターンを介して露光量を、400〜12,000(mJ/cm2)に、段階的に変化させてモザイク状のパターンを露光した。
着色感光性樹脂組成物1をこの支持体(平坦化膜付きシリコンウエハ)上にスピンコート法で塗布し、100℃で1分間加熱して揮発成分を除去して膜厚1.15μmの被膜を形成した。次いでi線ステッパー[Nikon NSR−2005i9C;(株)ニコン製]を用いて2.0μmのマスクパターンを介して露光量を、400〜12,000(mJ/cm2)に、段階的に変化させてモザイク状のパターンを露光した。
次いで得られた露光後の被膜を、100℃で1分間加熱した後、現像液[3質量%のテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液]に60秒間浸漬して現像した。
現像後、水洗し、100℃で1分間加熱して、線幅2.0μmのモザイク状のパターンで形成された緑色の画素を有するカラーフィルタ1を得た。
2.0μmのパターンを得るための露光量を表1に示す。
現像後、水洗し、100℃で1分間加熱して、線幅2.0μmのモザイク状のパターンで形成された緑色の画素を有するカラーフィルタ1を得た。
2.0μmのパターンを得るための露光量を表1に示す。
比較例1
C.I.アシッドグリーン16染料を2.25質量部、C.I.ソルベントイエロー162染料を17.78質量部、C.I.ソルベントブルー67染料を15.09質量部、
光酸発生剤としてα−〔(4−トルエンスルホニルオキシイミノ)−4−メトキシフェニル〕アセトニトリルを4.58質量部、樹脂Aを固形分として16.92質量部、樹脂Bを固形分として16.92質量部、樹脂Cを固形分として11.28質量部、2−アミノ−2−メチル−1−プロパノールを0.23質量部、1,10−フェナントロリンを1.00質量部、硬化剤としてヘキサメトキシメチルメラミンを14.52質量部、溶剤として乳酸エチル194質量部、N,N−ジメチルホルムアミド93質量部、プロピレングリコールモノメチルエ−テルアセテート23質量部を混合した後、孔径0.1μmのメンブランフィルターでろ過して緑色の着色感光性樹脂組成物1を得た。
C.I.アシッドグリーン16染料を2.25質量部、C.I.ソルベントイエロー162染料を17.78質量部、C.I.ソルベントブルー67染料を15.09質量部、
光酸発生剤としてα−〔(4−トルエンスルホニルオキシイミノ)−4−メトキシフェニル〕アセトニトリルを4.58質量部、樹脂Aを固形分として16.92質量部、樹脂Bを固形分として16.92質量部、樹脂Cを固形分として11.28質量部、2−アミノ−2−メチル−1−プロパノールを0.23質量部、1,10−フェナントロリンを1.00質量部、硬化剤としてヘキサメトキシメチルメラミンを14.52質量部、溶剤として乳酸エチル194質量部、N,N−ジメチルホルムアミド93質量部、プロピレングリコールモノメチルエ−テルアセテート23質量部を混合した後、孔径0.1μmのメンブランフィルターでろ過して緑色の着色感光性樹脂組成物1を得た。
実施例1において、樹脂Aおよび樹脂Bの全量を、ポリ(p−ヒドロキシスチレン)(ポリスチレン換算重量平均分子量2,500)に代える以外は、実施例1と同様にして着色感光性樹脂組成物2を得た。
次にシリコンウエハ上にポリグリシジルメタクリレート樹脂を主成分とした平坦化膜形成材(溶剤溶液)をスピンコートし、100℃で1分間加熱して揮発成分を除去して0.96μmの膜厚の平坦化膜を形成した。次いで、このシリコンウエハを230℃で15分間加熱して前記の平坦化膜を硬化させ支持体を形成した。
着色感光性樹脂組成物2をこの支持体(平坦化膜付きシリコンウエハ)上にスピンコート法で塗布し、100℃で1分間加熱して揮発成分を除去して膜厚1.15μmの被膜を形成した。次いでi線ステッパー[Nikon NSR−2005i9C;(株)ニコン製]を用いて2.0μmのマスクパターンを介して露光量を、400〜12,000(mJ/cm2)に、段階的に変化させてモザイク状のパターンを露光した。
次にシリコンウエハ上にポリグリシジルメタクリレート樹脂を主成分とした平坦化膜形成材(溶剤溶液)をスピンコートし、100℃で1分間加熱して揮発成分を除去して0.96μmの膜厚の平坦化膜を形成した。次いで、このシリコンウエハを230℃で15分間加熱して前記の平坦化膜を硬化させ支持体を形成した。
着色感光性樹脂組成物2をこの支持体(平坦化膜付きシリコンウエハ)上にスピンコート法で塗布し、100℃で1分間加熱して揮発成分を除去して膜厚1.15μmの被膜を形成した。次いでi線ステッパー[Nikon NSR−2005i9C;(株)ニコン製]を用いて2.0μmのマスクパターンを介して露光量を、400〜12,000(mJ/cm2)に、段階的に変化させてモザイク状のパターンを露光した。
次いで得られた露光後の被膜を、100℃で1分間加熱した後、現像液[3質量%のテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液]に60秒間浸漬して現像した。
現像後、水洗し、乾燥後、100℃で1分間加熱して、線幅2.0μmのモザイク状のパターンで形成された緑色の画素を有するカラーフィルタ1を得た。結果を表1に示す。2.0μmのパターンを得るための露光量を表1に示す。
現像後、水洗し、乾燥後、100℃で1分間加熱して、線幅2.0μmのモザイク状のパターンで形成された緑色の画素を有するカラーフィルタ1を得た。結果を表1に示す。2.0μmのパターンを得るための露光量を表1に示す。
実施例2
C.I.アシッドグリーン16染料を2.53質量部、C.I.ソルベントイエロー162染料を17.78質量部、C.I.ソルベントブルー67染料を15.09質量部、C.I.ソルベントイエロー88を10.41質量部、光酸発生剤としてα−〔(4−トルエンスルホニルオキシイミノ)−4−メトキシフェニル〕アセトニトリルを4.58質量部、樹脂Aを固形分として16.97質量部、樹脂Bを固形分として16.97質量部、2−アミノ−2−メチル−1−プロパノールを0.23質量部、1,10−フェナントロリンを1.00質量部、硬化剤としてヘキサメトキシメチルメラミンを14.52質量部、溶剤として、N,N−ジメチルホルムアミド93質量部、プロピレングリコールモノメチルエ−テルアセテート217質量部を混合した後、孔径0.1μmのメンブランフィルターでろ過して着色感光性樹脂組成物3を得た。
C.I.アシッドグリーン16染料を2.53質量部、C.I.ソルベントイエロー162染料を17.78質量部、C.I.ソルベントブルー67染料を15.09質量部、C.I.ソルベントイエロー88を10.41質量部、光酸発生剤としてα−〔(4−トルエンスルホニルオキシイミノ)−4−メトキシフェニル〕アセトニトリルを4.58質量部、樹脂Aを固形分として16.97質量部、樹脂Bを固形分として16.97質量部、2−アミノ−2−メチル−1−プロパノールを0.23質量部、1,10−フェナントロリンを1.00質量部、硬化剤としてヘキサメトキシメチルメラミンを14.52質量部、溶剤として、N,N−ジメチルホルムアミド93質量部、プロピレングリコールモノメチルエ−テルアセテート217質量部を混合した後、孔径0.1μmのメンブランフィルターでろ過して着色感光性樹脂組成物3を得た。
次にシリコンウエハ上にポリグリシジルメタクリレート樹脂を主成分とした平坦化膜形成材(溶剤溶液)をスピンコートし、100℃で1分間加熱して揮発成分を除去して0.96μmの膜厚の平坦化膜を形成した。次いで、このウェハを230℃で15分間加熱して前記の平坦化膜を硬化させ支持体を形成した。
着色感光性樹脂組成物3をこの支持体(平坦化膜付きシリコンウエハ)上にスピンコート法で塗布し、100℃で1分間加熱して揮発成分を除去して膜厚1.15μmの被膜を形成した。次いでi線ステッパー[Nikon NSR−2005i9C;(株)ニコン製]を用いて2.0μmのマスクパターンを介して露光量を、400〜12,000(mJ/cm2)に、段階的に変化させてモザイク状のパターンを露光した。
着色感光性樹脂組成物3をこの支持体(平坦化膜付きシリコンウエハ)上にスピンコート法で塗布し、100℃で1分間加熱して揮発成分を除去して膜厚1.15μmの被膜を形成した。次いでi線ステッパー[Nikon NSR−2005i9C;(株)ニコン製]を用いて2.0μmのマスクパターンを介して露光量を、400〜12,000(mJ/cm2)に、段階的に変化させてモザイク状のパターンを露光した。
次いで得られた露光後の被膜を、100℃で1分間加熱した後、現像液[3質量%のテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液]に60秒間浸漬して現像した。
現像後、水洗し、乾燥後、100℃で1分間加熱して、線幅2.0μmのモザイク状のパターンで形成された緑色の画素を有するカラーフィルタ1を得た。
2.0μmのパターンを得るための露光量を表1に示す。
現像後、水洗し、乾燥後、100℃で1分間加熱して、線幅2.0μmのモザイク状のパターンで形成された緑色の画素を有するカラーフィルタ1を得た。
2.0μmのパターンを得るための露光量を表1に示す。
実施例2
本発明は、CCDイメージセンサにおけるカラーフィルタアレイ10(図1)を形成する技術に関するものである。カラーフィルタアレイの作成方法につき図2〜図7を用い説明する。
シリコン基板1のP型不純物領域の表面の一部にPやAs等のN型不純物をイオン注入した後、熱処理を行うことにより、フォトダイオード2を形成する。また、当該表面であって前記一部とは異なる領域にフォトダイオード2よりN型不純物濃度の高い不純物拡散層からなる垂直電荷転送部3を形成する。この垂直電荷転送部3はPやAs等のN型不純物をイオン注入した後、熱処理を行うことにより形成され、フォトダイオード2が入射光を受けることにより発生した電荷を転送する縦方向のBurried Channel層(CCD)の役割を果たす。
本実施例では、シリコン基板1のP方不純物領域をP型不純物層、フォトダイオード2および垂直電荷転送部3をN型不純物層としているが、シリコン基板1の不純物領域をN型不純物層、フォトダイオード2および垂直電荷転送部3をP型不純物層として実施することもできる。
シリコン基板1、フォトダイオード2および垂直電荷転送部3上には、SiO2またはSiO2/SiN/SiO2等の絶縁膜を介してポリSi、タングステン、タングステンシリサイド、Al、Cu等からなる垂直電荷転送電極4が形成される。垂直電荷転送電極4はフォトダイオード2に発生した電荷を垂直電荷転送部3に転送するための転送ゲートとしての役割、および、垂直電荷転送部3に転送された電荷をチップの縦方向に転送するための転送電極としての役割を果たす。
垂直電荷転送電極4の上方および側面には、SiO2、SiN等の絶縁膜5を介して遮光層6が形成される。遮光膜6はタングステン、タングステンシリサイド、または、Al、Cu等の金属からなり、入射光が垂直電荷転送電極4や垂直電荷転送部3に入り込むのを防ぐ役割を果たす。また、遮光膜6の側面のうち、フォトダイオード2の上方には遮光膜6に張り出し部を設け、入射光が垂直電荷転送部3に漏れこむのを防ぐこともできる。
遮光膜6の上方にはBPSG膜7、P−SiN膜8が形成されている。BPSG膜7とP−SiN膜8の界面がフォトダイオード2の上方で下に湾曲する形状になるように形成されており、入射光を効率よくフォトダイオード2に導くための層内レンズの役割を果たす。
P−SiN膜8表面または画素領域以外の凹凸部を平坦化する目的で平坦化膜層9が形成される(図2)。
次に、この基板上に、本願発明の着色感光性樹脂組成物のうち緑色画素パターンを形成するための着色感光性樹脂組成物が塗布され(10G)(図2)、フォトマスク13を介してパターンの投影露光が行われる(図3)。引き続いて塗布された着色感光性樹脂組成物の露光により現像液に対して不溶化するようになった露光領域14以外の、現像液に対して可溶である未露光領域15を現像液で溶解しパターンを形成する。その後、加熱硬化が行われ、所望の緑色画素パターン10Gが形成される(図4)。
次いで、赤色画素パターン10Rおよび青色画素パターン10Bについてこの工程が繰り返され、3色の画素パターンがイメージセンサ形成基板の同一平面上に形成される(図5)。
さらに、カラーフィルタアレイの凹凸を平坦化する目的で平坦化膜11を形成し(図6)、次いでイメージセンサのフォトダイオード2に入射する光を効率良く集光させるためのマイクロレンズレンズ12が形成されて(図7)、CCDイメージセンサおよびカメラシステムが形成される。
本発明は、CCDイメージセンサにおけるカラーフィルタアレイ10(図1)を形成する技術に関するものである。カラーフィルタアレイの作成方法につき図2〜図7を用い説明する。
シリコン基板1のP型不純物領域の表面の一部にPやAs等のN型不純物をイオン注入した後、熱処理を行うことにより、フォトダイオード2を形成する。また、当該表面であって前記一部とは異なる領域にフォトダイオード2よりN型不純物濃度の高い不純物拡散層からなる垂直電荷転送部3を形成する。この垂直電荷転送部3はPやAs等のN型不純物をイオン注入した後、熱処理を行うことにより形成され、フォトダイオード2が入射光を受けることにより発生した電荷を転送する縦方向のBurried Channel層(CCD)の役割を果たす。
本実施例では、シリコン基板1のP方不純物領域をP型不純物層、フォトダイオード2および垂直電荷転送部3をN型不純物層としているが、シリコン基板1の不純物領域をN型不純物層、フォトダイオード2および垂直電荷転送部3をP型不純物層として実施することもできる。
シリコン基板1、フォトダイオード2および垂直電荷転送部3上には、SiO2またはSiO2/SiN/SiO2等の絶縁膜を介してポリSi、タングステン、タングステンシリサイド、Al、Cu等からなる垂直電荷転送電極4が形成される。垂直電荷転送電極4はフォトダイオード2に発生した電荷を垂直電荷転送部3に転送するための転送ゲートとしての役割、および、垂直電荷転送部3に転送された電荷をチップの縦方向に転送するための転送電極としての役割を果たす。
垂直電荷転送電極4の上方および側面には、SiO2、SiN等の絶縁膜5を介して遮光層6が形成される。遮光膜6はタングステン、タングステンシリサイド、または、Al、Cu等の金属からなり、入射光が垂直電荷転送電極4や垂直電荷転送部3に入り込むのを防ぐ役割を果たす。また、遮光膜6の側面のうち、フォトダイオード2の上方には遮光膜6に張り出し部を設け、入射光が垂直電荷転送部3に漏れこむのを防ぐこともできる。
遮光膜6の上方にはBPSG膜7、P−SiN膜8が形成されている。BPSG膜7とP−SiN膜8の界面がフォトダイオード2の上方で下に湾曲する形状になるように形成されており、入射光を効率よくフォトダイオード2に導くための層内レンズの役割を果たす。
P−SiN膜8表面または画素領域以外の凹凸部を平坦化する目的で平坦化膜層9が形成される(図2)。
次に、この基板上に、本願発明の着色感光性樹脂組成物のうち緑色画素パターンを形成するための着色感光性樹脂組成物が塗布され(10G)(図2)、フォトマスク13を介してパターンの投影露光が行われる(図3)。引き続いて塗布された着色感光性樹脂組成物の露光により現像液に対して不溶化するようになった露光領域14以外の、現像液に対して可溶である未露光領域15を現像液で溶解しパターンを形成する。その後、加熱硬化が行われ、所望の緑色画素パターン10Gが形成される(図4)。
次いで、赤色画素パターン10Rおよび青色画素パターン10Bについてこの工程が繰り返され、3色の画素パターンがイメージセンサ形成基板の同一平面上に形成される(図5)。
さらに、カラーフィルタアレイの凹凸を平坦化する目的で平坦化膜11を形成し(図6)、次いでイメージセンサのフォトダイオード2に入射する光を効率良く集光させるためのマイクロレンズレンズ12が形成されて(図7)、CCDイメージセンサおよびカメラシステムが形成される。
実施例3
本発明は、CMOSイメージセンサにおけるカラーフィルタアレイ40(図8)を形成する技術に関するものである。カラーフィルタアレイの作成方法は、上記実施例2における説明と同様である。
シリコン基板にPウエル31を形成し、当該Pウエルの表面の一部にPやAs等のN型不純物をイオン注入した後、熱処理を行うことにより、フォトダイオード32を形成する。また、シリコン基板のPウエル31の表面であって前記一部とは異なる領域にフォトダイオード32よりN型不純物濃度の高い不純物拡散層33を形成する。この不純物拡散層33はPやAs等のN型不純物をイオン注入した後、熱処理を行うことにより形成され、フォトダイオード32が入射光を受けることにより発生した電荷を転送する浮遊拡散層の役割を果たす。
本実施例では、ウエル31をP型不純物層、フォトダイオード32および不純物拡散層33をN型不純物層としているが、ウエル31をN型不純物層、フォトダイオード32および不純物拡散層33をP型不純物層として実施することもできる。
Pウエル31、フォトダイオード32および不純物拡散層33上には、SiO2またはSiO2/SiN/SiO2等の絶縁膜37が形成され、絶縁膜34上にはポリSi、タングステン、タングステンシリサイド、Al、Cu等からなる電極34が形成される。電極34はゲートMOSトランジスタのゲートの役割を果たし、本実施例では、フォトダイオード32に発生した電荷を不純物拡散層33に転送するための転送ゲートとしての役割を果たす。
電極34の上方には、SiO2、SiN等の絶縁膜37を介して配線層35が形成される。配線層35の上方にはBPSG膜36、P−SiN膜38が形成されている。BPSG膜36とP−SiN膜38の界面がフォトダイオード32の上方で下に湾曲する形状になるように形成されており、入射光を効率よくフォトダイオード32に導くための層内レンズの役割を果たす。
P−SiN膜38表面または画素領域以外の凹凸部を平坦化する目的で平坦化膜層39が形成される。
次に、この基板上に、本願発明の着色感光性樹脂組成物のうち緑色画素パターンを形成するための着色感光性樹脂組成物が塗布され(40G)、フォトマスクを介してパターンの投影露光が行われる。引き続いて塗布された着色感光性樹脂組成物の露光により現像液に対して不溶化するようになった露光領域以外の、現像液に対して可溶である未露光領域を現像液で溶解しパターンを形成する。その後、加熱硬化が行われ、所望の緑色画素パターン40Gが形成される。
次いで、赤色画素パターン40Rおよび青色画素パターン40Bについてこの工程が繰り返され、3色の画素パターンがイメージセンサ形成基板の同一平面上に形成される。
さらに、カラーフィルタアレイの凹凸を平坦化する目的で平坦化膜41を形成し、次いでイメージセンサのフォトダイオード32に入射する光を効率良く集光させるためのマイクロレンズレンズ42が形成されて、CMOSイメージセンサおよびカメラシステムが形成される。
本発明は、CMOSイメージセンサにおけるカラーフィルタアレイ40(図8)を形成する技術に関するものである。カラーフィルタアレイの作成方法は、上記実施例2における説明と同様である。
シリコン基板にPウエル31を形成し、当該Pウエルの表面の一部にPやAs等のN型不純物をイオン注入した後、熱処理を行うことにより、フォトダイオード32を形成する。また、シリコン基板のPウエル31の表面であって前記一部とは異なる領域にフォトダイオード32よりN型不純物濃度の高い不純物拡散層33を形成する。この不純物拡散層33はPやAs等のN型不純物をイオン注入した後、熱処理を行うことにより形成され、フォトダイオード32が入射光を受けることにより発生した電荷を転送する浮遊拡散層の役割を果たす。
本実施例では、ウエル31をP型不純物層、フォトダイオード32および不純物拡散層33をN型不純物層としているが、ウエル31をN型不純物層、フォトダイオード32および不純物拡散層33をP型不純物層として実施することもできる。
Pウエル31、フォトダイオード32および不純物拡散層33上には、SiO2またはSiO2/SiN/SiO2等の絶縁膜37が形成され、絶縁膜34上にはポリSi、タングステン、タングステンシリサイド、Al、Cu等からなる電極34が形成される。電極34はゲートMOSトランジスタのゲートの役割を果たし、本実施例では、フォトダイオード32に発生した電荷を不純物拡散層33に転送するための転送ゲートとしての役割を果たす。
電極34の上方には、SiO2、SiN等の絶縁膜37を介して配線層35が形成される。配線層35の上方にはBPSG膜36、P−SiN膜38が形成されている。BPSG膜36とP−SiN膜38の界面がフォトダイオード32の上方で下に湾曲する形状になるように形成されており、入射光を効率よくフォトダイオード32に導くための層内レンズの役割を果たす。
P−SiN膜38表面または画素領域以外の凹凸部を平坦化する目的で平坦化膜層39が形成される。
次に、この基板上に、本願発明の着色感光性樹脂組成物のうち緑色画素パターンを形成するための着色感光性樹脂組成物が塗布され(40G)、フォトマスクを介してパターンの投影露光が行われる。引き続いて塗布された着色感光性樹脂組成物の露光により現像液に対して不溶化するようになった露光領域以外の、現像液に対して可溶である未露光領域を現像液で溶解しパターンを形成する。その後、加熱硬化が行われ、所望の緑色画素パターン40Gが形成される。
次いで、赤色画素パターン40Rおよび青色画素パターン40Bについてこの工程が繰り返され、3色の画素パターンがイメージセンサ形成基板の同一平面上に形成される。
さらに、カラーフィルタアレイの凹凸を平坦化する目的で平坦化膜41を形成し、次いでイメージセンサのフォトダイオード32に入射する光を効率良く集光させるためのマイクロレンズレンズ42が形成されて、CMOSイメージセンサおよびカメラシステムが形成される。
実施例4
本発明のカメラシステムを図8に示す。カラーフィルタアレイの作成方法は、上記実施例2における説明と同様である。
入射光はレンズ51を介して、イメージセンサ52に入射される。イメージセンサ52の光入射面側にはオンチップレンズ12または42とカラーフィルタアレイ10または40が形成されている。イメージセンサ52から出力された信号は信号処理回路53で信号処理され、カメラ出力される。
イメージセンサ52はデバイス駆動回路55により駆動される。デバイス駆動回路55はモード設定部54により、静止画モード、動画モード等の設定を入力することが可能である。
本発明のカメラシステムを図8に示す。カラーフィルタアレイの作成方法は、上記実施例2における説明と同様である。
入射光はレンズ51を介して、イメージセンサ52に入射される。イメージセンサ52の光入射面側にはオンチップレンズ12または42とカラーフィルタアレイ10または40が形成されている。イメージセンサ52から出力された信号は信号処理回路53で信号処理され、カメラ出力される。
イメージセンサ52はデバイス駆動回路55により駆動される。デバイス駆動回路55はモード設定部54により、静止画モード、動画モード等の設定を入力することが可能である。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、CCDやCMOSなどのイメージセンサ用のカラーフィルタの形成に好適に用いられ、更にCCDやCMOSなどのイメージセンサを搭載したカメラシステムに好適に用いられる。
1;シリコン基板
2、32;フォトダイオード
3;垂直電荷転送部
4;垂直電荷転送電極
5、37;絶縁膜
6;遮光膜
7、36;BPSG膜
8、38;P−SiN膜
9、39;平坦化膜(1)
10、40;カラーフィルタアレイ
10G、40G;緑色画素パターン
10R、40R;赤色画素パターン
10B、40B;青色画素パターン
11、41;平坦化膜(2)
12、42;マイクロレンズアレイ
13;フォトマスク
14;露光領域
15;未露光領域
31;ウエル
33;不純物拡散層
34;電極
35;配線層
2、32;フォトダイオード
3;垂直電荷転送部
4;垂直電荷転送電極
5、37;絶縁膜
6;遮光膜
7、36;BPSG膜
8、38;P−SiN膜
9、39;平坦化膜(1)
10、40;カラーフィルタアレイ
10G、40G;緑色画素パターン
10R、40R;赤色画素パターン
10B、40B;青色画素パターン
11、41;平坦化膜(2)
12、42;マイクロレンズアレイ
13;フォトマスク
14;露光領域
15;未露光領域
31;ウエル
33;不純物拡散層
34;電極
35;配線層
Claims (7)
- 染料、光酸発生剤、硬化剤およびアルカリ可溶性樹脂を含む着色感光性樹脂組成物であって、該アルカリ可溶性樹脂が、部分的にアルキルエーテル化されたビニルフェノールを構成単位として有するポリビニルフェノール樹脂を含むことを特徴とする着色感光性樹脂組成物。
- ビニルフェノールの水酸基のアルキルエーテル化率が、元の水酸基のモル数に対して、5〜50モル%である請求項1に記載の着色感光性樹脂組成物。
- 部分的にアルキルエーテル化されたビニルフェノールを構成単位として有するポリビニルフェノール樹脂の含有量が、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、5〜60質量%である請求項1または2に記載の着色感光性樹脂組成物。
- 染料の含有量が、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、20.0〜65.0質量%である請求項1〜3のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物を用いてなるカラーフィルタ。
- 請求項5に記載のカラーフィルタを具備するイメージセンサ。
- 請求項6に記載のイメージセンサを具備するカメラシステム。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2006143559A JP2007316182A (ja) | 2006-05-24 | 2006-05-24 | 着色感光性樹脂組成物、カラーフィルタ、イメージセンサおよびカメラシステム |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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