JP2007316041A - 液面位置検出装置 - Google Patents

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幸彦 坂田
Seiji Nagatomo
聖二 長友
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Abstract

【課題】安価でデータの信頼性が高く、高精度の測定が可能な液面位置検出装置を提供する。
【解決手段】光源、透明管の直径に近い幅を持つ平行光生成レンズ、前記透明管、液面と垂直となる方向に配置する一次元CCDセンサ、演算回路を備え、前記平行光生成レンズを通過した前記光源の平行光が、前記透明管の前記液面下部の液体層を通過し、集光する光強度と、前記透明管の前記液面上部の空気層を通過し、集光しない光強度を、前記一次元CCDセンサを用いて撮像し、前記光強度の境界を前記液面の位置として検出することを特長とする。
【選択図】図3

Description

本発明は、おもに、U字に設置された管に透明な液体を満たし、その管の一方を不動点となる箇所に、他方を測定物に取り付け、測定物と液面との相対位置を検出する液面位置検出装置に関する。
おもに都市部の地下構造物を築造する場合、既存の構造物(ビル、高速道路などの橋脚、地下鉄など)に影響を与えないように工事を進めなければならない。そこで、その影響を監視する測定器として液面位置検出装置がある。
液面位置検出装置は、U字に設置された管に透明な液体(おもに水)を満たし、その管の一方を基準点となる箇所に、他方を測定物に取り付け、数ヶ月から数年の間、測定物と液面との相対位置の検出を行っている。
従来の液面位置検出には、前記測定物の液面にフロートを浮かべて、前記フロートの位置を検出する方法(フロート式)がある。
一方、他分野に目を向けると、液体位置を確認するために、透明なガラス管に光を当て、液体と気体の境をCCDカメラで撮像して、液面位置を検出する方法がある。(例えば、特許文献1を参照)
また、光源と光検出部を透明なガラス管の中心軸からずらして、透明管内の液体層と気体層の屈折率の違いを利用して液面を利用する方法がある。(例えば、特許文献2を参照)
特開平9−318418号広報(第5頁、図1)
特開2004−144502号広報(第8頁、図2)
しかしながら、前記従来のフロート式液面位置検出装置では、前記フロートが管の壁面に接触し、誤差になることがあるので、非接触で液面位置を検出する必要がある。
一方、非接触で液面位置を検出する従来の技術では、二次元CCD(電荷結合素子)カメラを使用する場合、液面位置を検出するためのシステムを構築すると、従来のフロート式液面位置検出装置に比べると高価になってしまう。また、入力光の幅を狭くし、CCDセンサと光源をオフセットさせて液面位置を検出する場合、半年から数年間、液面位置を連続して測定を行うと、透明管内にゴミや水垢等が付着してしまうことがあり、光路を妨げ、液面位置の検出に影響を及ぼすという問題点がある。
本発明の課題は、測定物と液面との相対位置を検出する装置において、安価でデータの信頼性が高く、高精度の測定が可能な液面位置検出装置を提供することである。
本発明によれば、光を透過する透明管の内側にある液体の液面位置を検出する液面位置検出装置において、光源、前記透明管の直径に近い幅を持つ平行光生成レンズ、前記透明管、前記液面と垂直となる方向に配置する一次元CCDセンサ、演算回路を備え、前記平行光生成レンズを通過した前記光源の平行光が、前記透明管の前記液面下部の液体層を通過し、集光する光強度と、前記透明管の前記液面上部の空気層を通過し、集光しない光強度を、前記一次元CCDセンサを用いて撮像し、前記光強度の境界を前記液面の位置として検出することを特長とする液面位置検出装置が得られる。
さらに、本発明による液面位置検出装置においては、請求項1に記載の液面位置検出装置において、前記透明管と前記一次元CCDセンサの間に、前記液面と平行に光が拡散する拡散板を備えることを特徴とする。
さらに、本発明による液面位置検出装置においては請求項1または請求項2に記載の液面位置検出装置において、前記平行光生成レンズと前記透明管の間に、前記液面と垂直方向の平行光中心部をある幅で遮蔽する遮蔽板を備えることを特徴とする。
さらに、本発明による液面位置検出装置においては請求項1または請求項2または請求項3に記載の液面位置検出装置において、前記一次元CCDセンサまたは前記拡散板と前記透明管の間に、前記液面と垂直方向に集光する集光レンズを備えることを特徴とする。
本発明による液面位置検出装置においては、光源、平行光生成レンズ、透明管、一次元CCDセンサを備え、前記透明管に入射する前記透明管の直径に近い幅を持つ平行光が、前記透明管内の液体層を光が通過する場合は、レンズ効果により、ある位置に集光し、前記透明管内の気体層を通過する場合は、前記平行光がそのまま通過する。前記集光位置に、液面位置と垂直になるように、数マイクロメータから数十マイクロメータの角型受光素子が密に一列に並んだ一次元CCDセンサを配置し、前記一次元CCDセンサ用いて液体層および気体層を撮像することで、光強度の境界を液面位置として高精度に検出することができる。
また、液面と同じ方向にのみ光が拡散する拡散板を、前記透明管と前記一次元CCDセンサの間に配置することで、集光途中の光を、測定に影響がない前記液面に平行な方向に拡散させ、集光してきた前記透明管の直径に近い幅分の前記平行光を、一次元CCDセンサの数マイクロメータから十数マイクロメータの角型受光素子に、確実に当てることができる。
さらに、前記平行光生成レンズと前記透明管の間に、液面と垂直方向の平行光中心部のある幅を遮蔽する遮蔽板を配置することで、前記透明管内の空気層を通過した光が、前記一次元CCDセンサの前記受光素子に直接当たらず、S/N比を向上させることができる。
加えて、前記一次元CCDセンサまたは前記拡散板と前記透明管の間に、前記液面と垂直方向に集光する集光レンズを配置することで、測定範囲を自由に設定することができる。
以上のように、本発明による液面位置検出装置においては、安価でデータの信頼性が高く、高精度の測定が可能な液面位置の検出が可能である。
以下、本発明による液面位置検出装置の一実施形態について図面を参照して説明する。図1および図2は液面位置検出装置4の計測システムの一構成図である。図1はU字に設置された管に透明な液体(おもに水を使用)を満たし、その管の一方を不動点となる箇所に、他方を測定物に取り付け、測定物と液面との相対位置を測定する場合の構成を示したものである。基準物1に取り付けられた基準タンク3と、測定物2に取り付けられた1台または複数台の液面位置検出装置4が、液体で満たされたホース5と接続されている。前記構成で、測定物に変動(一般的には沈下)があった場合に、測定物2と液面6の相対的な変動を検出することができる。
図2は流量を測定する堰において、液面位置の変化より流量測定する場合の構成である。流量を測定する堰7(おもに、三角堰などがある)に、ホース5で接続された液面位置検出装置4の液面6の変動を検出することで、測定対象物の流量9を測定することができる。
次に、図3及び図4を参照して本発明に係る液面位置検出装置4の一実施形態を説明する。図3は本発明による液面位置検出装置4の構成図である。液面位置検出装置4は、光源11、平行光生成レンズ12、前記測定物2に取り付けられたU字管の片方に接続する透明管13、液面6と垂直方向になるよう配置された一次元CCDセンサ14、演算回路15、振動吸収用補助タンク16で構成されている。光源11、平行光生成レンズ12、透明管13、一次元CCDセンサ14は、図4に示すように前記順で一直線上に配置されている。
図5に示すように、光源11の光21が、透明管13の直径に近い幅を持つ平行光生成レンズ12を通過して、平行光22が生成される。ここで、光源11には例えば指向性をもたない発光ダイオードやレーザ光源を、平行光生成レンズ12には例えばシリンドリカルレンズやリニアフレネルレンズを用いる。
透明管13に入射した光は、透明管13内が液体層の場合はレンズ効果により集光23し、また、透明管13内が空気層の場合は図6に示すように集光せずに平行光22のままである。ここで透明管13には例えばガラス管やアクリル管を用いる。
平行光22および集光23を、集光23位置に配置された一次元CCDセンサ14で液体層から撮像することで、演算回路15で設定した閾値を超える一次元CCDセンサ14の受光素子17の位置を、液面6の位置として検出することができる。
平行光22と集光23を一次元CCDセンサ14で撮像した場合の一例を図7に示す。波形31は集光23の強度で、波形32は平行光21の強度である。図7中の閾値33を越える一次元CCDセンサ14の受光素子17の位置34を液面としている。
また、液面位置検出装置4において、一次元CCDセンサ14の受光素子17は数マイクロメータから数十マイクロメータ角の大きさなので、集光23を受光素子17に当てる調整が容易でなく、また、周辺温度の変化が大きい場合、一次元CCDセンサ14の取り付け部(図示せず)の伸縮で集光23が一次元CCDセンサ14から外れ、測定エラーを起こすことがある。そこで、図8に示すように、透明管13と一次元CCDセンサ14の間に液面6と平行に光が拡散する拡散板18を配置することで、図9に示すように、入射してきた集光23を拡散板18で、透明管13の直径方向にのみ拡散させ、例えば数ミリの幅をもった集光23から、光の密度は小さくなるが、確実に受光素子17に当てる拡散光24を作成することができる。なお、集光23の強度を大きくするには、光源11の出力を大きくすればよい。また、集光23の拡散は液面6に対して平行方向にのみ広がるので、測定精度には影響しない。ここで、拡散板18には例えばレンチキュラレンズ(図9で図示)や一方向に研磨したガラス板やアクリル板が用いられる。
また、液面位置検出装置4において、透明管13が空気層の場合、平行光22の一部が、一次元CCDセンサ14に当り、S/N比が悪くなることがある。そこで、図10に示すように、平行光生成レンズ12と透明管14の間に、前記液面6と垂直方向の平行光中心部を数ミリ程度の幅を持つ遮蔽板19を配置することで、図11に示すように、一次元CCDセンサ14に当たらない遮蔽光25を作成することができる。なお、遮蔽板19の幅は一次元CCDセンサ14の受光素子17に対していは十分に大きく、また、平行光22の幅より十分小さいので、S/N比を向上させることができる。ここで、遮蔽板19には例えば数mmの幅をもつ金属板または樹脂板が用いられる。
また、液面位置検出装置4において、測定範囲が長くなった場合、一次元CCDセンサ14の長さを合わせることが困難な場合がある。そこで、図12に示すように、一次元CCDセンサ14または拡散板18と透明管13の間に、液面6と垂直方向に集光する集光レンズ20を配置することで、測定範囲を自由に設定することができる。ここで、集光レンズ20には例えばシリンドリカルレンズやレンチキュラレンズが用いられる。
本発明による液面位置検出装置の一実施形態を示した図である。 本発明による液面位置検出装置の一実施形態を示した図である。 図1または図2に示された液面位置検出装置の構成について説明するための図である。 図3に示された液面位置検出装置の配置順を説明するための図である。 図3において、液面位置検出装置透明管内の液面下の液体層を通過する光路を説明するための図である。 図3において、液面位置検出装置透明管内が液面上の気体層を通過する光路を説明するための図である。 図5、図6で得られた一次元CCDセンサの出力例を説明するための図である。 図4に示された液面位置検出装置に、拡散板を追加する場合の配置例を説明するための図である。 図8において、拡散板の効果を説明するための図である。 図8に示された液面位置検出装置に、遮蔽板を追加する場合の配置例を説明するための図である。 図10において、液面位置検出装置透明管内が液面上の気体層を通過する光を説明するための図である。 図10に示されたに液面位置検出装置に、集光レンズを追加する場合の配置例を説明するための図である。
符号の説明
1 基準点
2 測定物
3 基準タンク
4 液面位置検出装置
5 ホース
6 液面
7 堰
8 矢印方向から見た断面図
9 堰を流れる流量
11 光源
12 平行光生成レンズ
13 透明管
14 一次元CCDセンサ
15 演算回路
16 振動吸収用補助タンク
17 一次元CCDセンサ14の受光素子
18 拡散板
19 遮蔽板
20 集光レンズ
21 光源11より発せられた光
22 平行光生成レンズ12で生成された平行な光(平行光)
23 平行光23が透明管13の液面下の液体層を通過して集った光(集光)
24 拡散板18で拡散された光(拡散光)
25 遮蔽板19で遮蔽された光(遮蔽光)
31 集光23を一次元CCDセンサ14で撮像したときの波形
32 平行光22を一次元CCDセンサ14で撮像したときの波形
33 演算回路で設定した閾値
34 一次元CCDセンサ14の受光素子18の位置

Claims (4)

  1. 光を透過する透明管の内側にある液体の液面位置を検出する液面位置検出装置において、光源、前記透明管の直径に近い幅を持つ平行光生成レンズ、前記透明管、前記液面と垂直となる方向に配置する一次元CCDセンサ、演算回路を備え、前記平行光生成レンズを通過した前記光源の平行光が、前記透明管の前記液面下部の液体層を通過し、集光する光強度と、前記透明管の前記液面上部の空気層を通過し、集光しない光強度を、前記一次元CCDセンサを用いて撮像し、前記光強度の境界を前記液面の位置として検出することを特長とする液面位置検出装置。
  2. 請求項1に記載の液面位置検出装置において、前記透明管と前記一次元CCDセンサの間に、前記液面と平行に光が拡散する拡散板を備えることを特徴とする液面位置検出装置。
  3. 請求項1または請求項2に記載の液面位置検出装置において、前記平行光生成レンズと前記透明管の間に、前記液面と垂直方向の平行光中心部をある幅で遮蔽する遮蔽仮を備えることを特徴とする液面位置検出装置。
  4. 請求項1または請求項2または請求項3に記載の液面位置検出装置において、前記一次元CCDセンサまたは前記拡散板と前記透明管の間に、前記液面と垂直方向に集光する集光レンズを備えることを特徴とする液面位置検出装置。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101788286A (zh) * 2010-03-22 2010-07-28 西安交通大学 一种测量建筑物垂直位移的装置及方法
CN101788269A (zh) * 2010-03-22 2010-07-28 西安交通大学 一种自带基准的位移测量装置及测量方法
EP2535699A1 (en) * 2011-06-13 2012-12-19 Azbil Corporation Fluid sensor
CN102853879A (zh) * 2011-06-13 2013-01-02 阿自倍尔株式会社 液体传感器
JP2020020761A (ja) * 2018-08-03 2020-02-06 株式会社ライトショー・テクノロジー 光学式液位測定装置
US11980636B2 (en) 2020-11-18 2024-05-14 Jazz Pharmaceuticals Ireland Limited Treatment of hematological disorders

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5654429A (en) * 1979-10-11 1981-05-14 Canon Inc Measuring device of dynamic characteristic of diaphragm mechanism of interchangeable lens
JPS6291818A (ja) * 1985-10-18 1987-04-27 Sumitomo Electric Ind Ltd 定量ポンプ
JPH07120292A (ja) * 1993-10-21 1995-05-12 Hitachi Ltd 液面検知装置
JPH10253425A (ja) * 1997-03-12 1998-09-25 Toa Medical Electronics Co Ltd チューブ用液体センサー
JP2002005726A (ja) * 2000-06-22 2002-01-09 Sunx Ltd 液体検出装置
JP2004144502A (ja) * 2002-10-22 2004-05-20 Nippon Gijutsu Center:Kk 液面位置検出装置
JP2005203760A (ja) * 2003-12-18 2005-07-28 Nikon Corp 照明光学装置、露光装置、および露光方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5654429A (en) * 1979-10-11 1981-05-14 Canon Inc Measuring device of dynamic characteristic of diaphragm mechanism of interchangeable lens
JPS6291818A (ja) * 1985-10-18 1987-04-27 Sumitomo Electric Ind Ltd 定量ポンプ
JPH07120292A (ja) * 1993-10-21 1995-05-12 Hitachi Ltd 液面検知装置
JPH10253425A (ja) * 1997-03-12 1998-09-25 Toa Medical Electronics Co Ltd チューブ用液体センサー
JP2002005726A (ja) * 2000-06-22 2002-01-09 Sunx Ltd 液体検出装置
JP2004144502A (ja) * 2002-10-22 2004-05-20 Nippon Gijutsu Center:Kk 液面位置検出装置
JP2005203760A (ja) * 2003-12-18 2005-07-28 Nikon Corp 照明光学装置、露光装置、および露光方法

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101788286A (zh) * 2010-03-22 2010-07-28 西安交通大学 一种测量建筑物垂直位移的装置及方法
CN101788269A (zh) * 2010-03-22 2010-07-28 西安交通大学 一种自带基准的位移测量装置及测量方法
CN101788269B (zh) * 2010-03-22 2012-03-28 西安交通大学 一种自带基准的位移测量装置及测量方法
EP2535699A1 (en) * 2011-06-13 2012-12-19 Azbil Corporation Fluid sensor
CN102853879A (zh) * 2011-06-13 2013-01-02 阿自倍尔株式会社 液体传感器
JP2020020761A (ja) * 2018-08-03 2020-02-06 株式会社ライトショー・テクノロジー 光学式液位測定装置
US11980636B2 (en) 2020-11-18 2024-05-14 Jazz Pharmaceuticals Ireland Limited Treatment of hematological disorders

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