JP2007315930A - 磁気式酸素測定方法および磁気式酸素計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定ガスに含まれる酸素量を測定する磁気式酸素測定方法において、補助ガス供給口より分岐する左右の補助ガス流路をバイパス流路で連結し、このバイパス流路に流れる補助ガスの流量を検出するとともに、補助ガス供給口から供給する補助ガスの流量を検出し、検出したバイパス流路の流量から測定ガス中の酸素の量を算出し、検出した補助ガス流路に供給する補助ガスの流量データを利用し、算出した酸素量の補正を行うことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
測定ガス中に酸素分子が含まれていない場合、測定側サンプル流路112aに磁界Mfが印加されても酸素分子は引き寄せられず、その部分の圧力は上昇しない。したがって、第1および第2の補助ガス流路115a、115bのそれぞれからサンプル流路112a、112bに補助ガスが流出する際の流体抵抗は同じになり、第1のサーミスタ118aを経由する補助ガスの流量と第2のサーミスタ118bを経由する補助ガスの流量も同じとなる。
この補助ガス流路の中央から補助ガスを供給するとともに、前記測定流路の左右どちらか一方の流路に磁界をかけることにより生じる、補助ガス供給口より分岐する左右の補助ガス流路の流量変化を検出することによって、測定ガスに含まれる酸素量を測定する磁気式酸素測定方法において、
前記補助ガス供給口より分岐する左右の補助ガス流路をバイパス流路で連結し、このバイパス流路に流れる補助ガスの流量を検出するとともに、前記補助ガス供給口から供給する補助ガスの流量を検出し、
検出したバイパス流路の流量から測定ガス中の酸素の量を算出し、
検出した補助ガス流路に供給する補助ガスの流量データを利用し、算出した酸素量の補正を行うことを特徴とする。
この補助ガス流路の中央から補助ガスを供給するとともに、前記測定流路の左右どちらか一方の流路に磁界をかけることにより生じる、補助ガス供給口より分岐する左右の補助ガス流路の流量変化を検出することによって、測定ガスに含まれる酸素量を測定する磁気式酸素計において、
前記補助ガス供給口より分岐する左右の補助ガス流路を連結するバイパス流路と、
前記バイパス流路に配置された第1の流量センサと、
前記補助ガス供給口に配置された第2の流量センサと、
前記第1の流量センサの出力から測定ガス中の酸素の量を算出するとともに、前記第2の流量センサの出力を利用して算出した酸素量の補正を行う検出部と、
を有することを特徴とする。
また、補助ガス供給口より分岐する左右の補助ガス流路を連結するバイパス流路を設け、このバイパス流路の流量から測定ガスの酸素量の測定を行うことによって、従来複数の流量センサを使う(図3の従来例では第1および第2の補助ガス流路の両方に流量計が設置されていた)ことによって生じていた、個々の流量計の出力変動のばらつきによる誤差をなくすことができ、酸素測定の精度向上を図ることができる。
補助ガス供給口17から供給された補助ガスは、補助ガス流路15aと15bの二方向に分流する。また、補助ガス流路15aの分岐点P1からは補助ガスの一部がバイパス流路19に流入し、同様に補助ガス流路15bの分岐点P2からも補助ガスの一部がバイパス流路19に流入する。
補助ガスはその後サンプル流路12a、12bとの接続部付近で測定ガスと合流し、測定ガスと共に測定ガス導出口14へ流れる。
流量センサ18aから測定ガスの酸素量に対応した信号が入力される(S1)。また、流量センサ18bからは供給される補助ガスの流量を示す信号が入力される(S2)。本来供給されるべき補助ガスの基準流量を検出回路20に記憶させておき(S3)、その基準流量と流量センサ18bで検出した補助ガス流量を比較し、実際に供給された補助ガスの変動量の演算を行う(S4)。S1の酸素信号に対し補助ガスの変動量に応じた補正を行い、補正後の信号を酸素量の測定結果として出力する(S5)。
12 サンプル流路
12a 測定側サンプル流路
12b 比較側サンプル流路
13 測定ガス導入口
14 測定ガス導出口
15a 第1の補助ガス流路
15b 第2の補助ガス流路
17 補助ガス供給口
18a 第1の流量センサ
18b 第2の流量センサ
19 バイパス流路
20 検出回路
Claims (9)
- 測定ガス用入口と出口とが設けられ、これらの入口と出口の間が左右対称に形成された測定流路と、この測定流路の左右の対向する位置に接続された補助ガス流路とを有し、
この補助ガス流路の中央から補助ガスを供給するとともに、前記測定流路の左右どちらか一方の流路に磁界をかけることにより生じる、補助ガス供給口より分岐する左右の補助ガス流路の流量変化を検出することによって、測定ガスに含まれる酸素量を測定する磁気式酸素測定方法において、
前記補助ガス供給口より分岐する左右の補助ガス流路をバイパス流路で連結し、このバイパス流路に流れる補助ガスの流量を検出するとともに、前記補助ガス供給口から供給する補助ガスの流量を検出し、
検出したバイパス流路の流量から測定ガス中の酸素の量を算出し、
検出した補助ガス流路に供給する補助ガスの流量データを利用し、算出した酸素量の補正を行うことを特徴とする磁気式酸素測定方法。 - 前記バイパス流路および補助ガス供給口の流量の検出に2線式熱型流量センサを用いることを特徴とする請求項1に記載の磁気式酸素測定方法。
- 前記バイパス流路に流れる補助ガスの流量を検出する動作は、前記バイパス流路を前記補助ガス供給口から等距離の位置に接続して行うことを特徴とする請求項1または2に記載の磁気式酸素測定方法。
- 前記バイパス流路に流れる補助ガスの流量の検出は、前記バイパス流路の中間点で行うことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の磁気式酸素測定方法。
- 測定ガス用入口と出口とが設けられ、これらの入口と出口の間が左右対称に形成された測定流路と、この測定流路の左右の対向する位置に接続された補助ガス流路とを有し、
この補助ガス流路の中央から補助ガスを供給するとともに、前記測定流路の左右どちらか一方の流路に磁界をかけることにより生じる、補助ガス供給口より分岐する左右の補助ガス流路の流量変化を検出することによって、測定ガスに含まれる酸素量を測定する磁気式酸素計において、
前記補助ガス供給口より分岐する左右の補助ガス流路を連結するバイパス流路と、
前記バイパス流路に配置された第1の流量センサと、
前記補助ガス供給口に配置された第2の流量センサと、
前記第1の流量センサの出力から測定ガス中の酸素の量を算出するとともに、前記第2の流量センサの出力を利用して算出した酸素量の補正を行う検出部と、
を有することを特徴とする磁気式酸素計。 - 前記第1および第2の流量センサは、2線式熱型流量センサであることを特徴とする請求項5に記載の磁気式酸素計。
- 前記バイパス流路は、前記補助ガス供給口から等距離の位置に接続されたことを特徴とする請求項5または6に記載の磁気式酸素計。
- 前記第1の流量センサは、前記バイパス流路の中間点に配置されたことを特徴とする請求項5乃至7のいずれかに記載の磁気式酸素計。
- 前記第1および第2の流量センサは同一基板上に形成されたことを特徴とする請求項5乃至8のいずれかに記載の磁気式酸素計。
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- 2006-05-26 JP JP2006146210A patent/JP4761204B2/ja active Active
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