JP2007310893A - 生産システム及び生産方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】製品を実際に製造する実工場14と、この実工場14と実質的に同じ機能をコンピュータ内に構築した仮想工場13とを用い、仮想工場13でシミュレーションすることにより実工場14における効率的な運用を可能にするための生産方法であって、実工場14における各種の情報を仮想工場13に転送し、転送された情報を基に仮想工場13で最適なロットの進め方を計算し、この計算の結果に基づく作業指示のデータを実工場14に転送し、転送された作業指示のデータに基づいて実工場14で生産を行う。
【選択図】図1
Description
ある装置においてロットを処理する際には幾つかの選択肢が発生することがある。例えば、複数のロットを同時に処理できるバッチ装置において、1ロットが待ちロットとしてある場合に、そのロットを直ぐに処理すべきか、或いは他のロットが来るまで待つべきかの選択を行う必要がある。また、ある装置で優先度の低いロットが待ちロットとしてあり、且つ優先度の高いロットがある時間の後に来ると予想される場合に、その優先度の低いロットを先に処理すべきか、或いは待って優先度の高いロットを先に処理すべきかの選択を行う必要がある。また、それ以外に連続工程(例えば、前処理→酸化(又はCVD)→後処理,24時間以内)が導入されている場合に、どのようなタイミングで処理を開始すべきかが問題となる。
図1は、本発明の第1実施形態に係る半導体生産システムの例を示すブロック図である。
本実施形態は第1実施形態の変形例に係わる。
本実施形態は第1実施形態の変形例に係わる。
Claims (16)
- 第1コンピュータを備えており製品を実際に製造する実生産ラインと、
前記第1コンピュータとネットワーク経由でデータ転送を行う第2コンピュータと
を具備し、
前記実生産ラインは、
前記第1コンピュータに記憶されているロットの進捗状況を表すロット進捗状況情報と、装置の状況を表す装置状況情報とを、前記ネットワーク経由で、前記第2コンピュータへ転送し、
前記第2コンピュータから、前記ネットワーク経由で、前記第2コンピュータによる計算の結果に基づく作業指示データを受信し、
前記第2コンピュータは、
工程と装置と処理時間の関係を表す製品のレシピ情報を格納し、
前記実生産ラインから、前記ネットワーク経由で、前記ロット進捗状況情報及び前記装置状況情報を受信する手段と、
前記ロット進捗状況情報、前記装置状況情報、前記製品のレシピ情報に基づいて、ある時間の範囲内でのロット進捗予測シミュレーションを行い、前記ロット進捗予測シミュレーションによるロット進捗が選択肢を持つ場合に、ロット進捗の抽出条件を表す判定条件情報に基づいて、前記抽出条件を満たすロット進捗を選択し、全体の電力設定値を超えない電力条件を表す電力条件情報と、装置の時間と電力との関係を表す装置の電力情報とに基づいて、前記ロット進捗予測シミュレーションによるロット進捗が前記電力条件を満たさない場合に、装置による工程開始時間をずらして前記電力条件を満たすロット進捗を算出し、シミュレーション結果を導出する手段と、
前記シミュレーション結果を前記作業指示データとして前記実生産ラインに転送する手段と
を具備する
ことを特徴とする生産システム。 - 第1コンピュータを備えており製品を実際に製造する実生産ラインと、
前記第1コンピュータとネットワーク経由でデータ転送を行う第2コンピュータと
を具備し、
前記実生産ラインは、
前記第1コンピュータに記憶されているロットの進捗状況を表すロット進捗状況情報と、装置の状況を表す装置状況情報とを、前記ネットワーク経由で、前記第2コンピュータへ転送し、
前記第2コンピュータから、前記ネットワーク経由で、前記第2コンピュータによる計算の結果に基づく作業指示データを受信し、
前記第2コンピュータは、
工程と装置と処理時間の関係を表す製品のレシピ情報を格納し、
前記実生産ラインから、前記ネットワーク経由で、前記ロット進捗状況情報及び前記装置状況情報を受信する手段と、
前記ロット進捗状況情報、前記装置状況情報、前記製品のレシピ情報に基づいて、ある時間の範囲内でのロット進捗予測シミュレーションを行い、前記ロット進捗予測シミュレーションによるロット進捗が選択肢を持つ場合に、ロット進捗の抽出条件を表す判定条件情報に基づいて、前記抽出条件を満たすロット進捗を選択し、全体の用力設定値を超えない用力条件を表す用力条件情報と、装置の時間と用力との関係を表す装置の用力情報とに基づいて、前記ロット進捗予測シミュレーションによるロット進捗が前記用力条件を満たさない場合に、装置による工程開始時間をずらして前記用力条件を満たすロット進捗を算出し、シミュレーション結果を導出する手段と、
前記シミュレーション結果を前記作業指示データとして前記実生産ラインに転送する手段と
を具備する
ことを特徴とする生産システム。 - 前記用力は、超純水、冷却水、半導体材料ガス、半導体製造用ガス、半導体製造用液体、半導体製造用固体であることを特徴とする請求項2に記載の生産システム。
- 前記第2コンピュータは、
さらに、全体の電力設定値を超えない電力条件を表す電力条件情報と、装置の時間と電力との関係を表す装置の電力情報とに基づいて、前記ロット進捗予測シミュレーションによるロット進捗が前記電力条件を満たさない場合に、装置による工程開始時間をずらして前記電力条件を満たすロット進捗を算出する
ことを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の生産システム。 - 前記第2コンピュータでの前記ロット進捗状況情報及び前記装置状況情報の受信、前記第2コンピュータにおける前記シミュレーション結果の計算、前記第2コンピュータから前記実生産ラインへの前記作業指示データの転送を、リアルタイムで繰り返し行うことを特徴とする請求項1乃至請求項4に記載の生産システム。
- 前記抽出条件は、他のロット進捗よりも、工期が短いこと、ある期間の生産量が多いこと、優先度の高い生産量であることのうちのいずれかを表すことを特徴とする請求項1乃至請求項5に記載の生産システム。
- 前記抽出条件は、受注された製品に対して付けられた優先順位に基づき、優先順位の高い製品ほど製造工期が短くなることを表すことを特徴とする請求項1乃至請求項5に記載の生産システム。
- 前記実生産ラインは、前記半導体の生産ラインであることを特徴とする請求項1乃至請求項7に記載の生産システム。
- 第1コンピュータを備えており製品を実際に製造する実生産ラインと、前記第1コンピュータとネットワーク経由でデータ転送を行う第2コンピュータとを具備する生産システムを用いる生産方法において、
前記実生産ラインが、前記第1コンピュータに記憶されているロットの進捗状況を表すロット進捗状況情報と、装置の状況を表す装置状況情報とを、前記ネットワーク経由で、前記第2コンピュータへ転送し、
前記第2コンピュータが、前記実生産ラインから、前記ネットワーク経由で、前記ロット進捗状況情報及び前記装置状況情報を受信し、
前記第2コンピュータが、前記ロット進捗状況情報、前記装置状況情報、格納されている工程と装置と処理時間の関係を表す製品のレシピ情報に基づいて、ある時間の範囲内でのロット進捗予測シミュレーションを行い、前記ロット進捗予測シミュレーションによるロット進捗が選択肢を持つ場合に、ロット進捗の抽出条件を表す判定条件情報に基づいて、前記抽出条件を満たすロット進捗を選択し、全体の電力設定値を超えない電力条件を表す電力条件情報と、装置の時間と電力との関係を表す装置の電力情報とに基づいて、前記ロット進捗予測シミュレーションによるロット進捗が前記電力条件を満たさない場合に、装置による工程開始時間をずらして前記電力条件を満たすロット進捗を算出し、シミュレーション結果を導出し、
前記第2コンピュータが、前記ネットワーク経由で、前記シミュレーション結果を前記作業指示データとして前記実生産ラインに転送し、
前記実生産ラインが、前記第2コンピュータから、前記ネットワーク経由で、前記第2コンピュータによる計算の結果に基づく作業指示データを受信する
ことを特徴とする生産方法。 - 第1コンピュータを備えており製品を実際に製造する実生産ラインと、前記第1コンピュータとネットワーク経由でデータ転送を行う第2コンピュータとを具備する生産システムを用いる生産方法において、
前記実生産ラインが、前記第1コンピュータに記憶されているロットの進捗状況を表すロット進捗状況情報と、装置の状況を表す装置状況情報とを、前記ネットワーク経由で、前記第2コンピュータへ転送し、
前記第2コンピュータが、前記実生産ラインから、前記ネットワーク経由で、前記ロット進捗状況情報及び前記装置状況情報を受信し、
前記第2コンピュータが、前記ロット進捗状況情報、前記装置状況情報、格納されている工程と装置と処理時間の関係を表す製品のレシピ情報に基づいて、ある時間の範囲内でのロット進捗予測シミュレーションを行い、前記ロット進捗予測シミュレーションによるロット進捗が選択肢を持つ場合に、ロット進捗の抽出条件を表す判定条件情報に基づいて、前記抽出条件を満たすロット進捗を選択し、全体の用力設定値を超えない用力条件を表す用力条件情報と、装置の時間と用力との関係を表す装置の用力情報とに基づいて、前記ロット進捗予測シミュレーションによるロット進捗が前記用力条件を満たさない場合に、装置による工程開始時間をずらして前記用力条件を満たすロット進捗を算出し、シミュレーション結果を導出し、
前記第2コンピュータが、前記ネットワーク経由で、前記シミュレーション結果を前記作業指示データとして前記実生産ラインに転送し、
前記実生産ラインが、前記第2コンピュータから、前記ネットワーク経由で、前記第2コンピュータによる計算の結果に基づく作業指示データを受信する
ことを特徴とする生産方法。 - 前記用力は、超純水、冷却水、半導体材料ガス、半導体製造用ガス、半導体製造用液体、半導体製造用固体であることを特徴とする請求項10に記載の生産方法。
- 前記第2コンピュータは、
さらに、全体の電力設定値を超えない電力条件を表す電力条件情報と、装置の時間と電力との関係を表す装置の電力情報とに基づいて、前記ロット進捗予測シミュレーションによるロット進捗が前記電力条件を満たさない場合に、装置による工程開始時間をずらして前記電力条件を満たすロット進捗を算出する
ことを特徴とする請求項10又は請求項11に記載の生産方法。 - 前記第2コンピュータでの前記ロット進捗状況情報及び前記装置状況情報の受信、前記第2コンピュータにおける前記シミュレーション結果の計算、前記第2コンピュータから前記実生産ラインへの前記作業指示データの転送を、リアルタイムで繰り返し行うことを特徴とする請求項9乃至請求項12に記載の生産方法。
- 前記抽出条件は、他のロット進捗よりも、工期が短いこと、ある期間の生産量が多いこと、優先度の高い生産量であることのうちのいずれかを表すことを特徴とする請求項9乃至請求項13に記載の生産方法。
- 前記抽出条件は、受注された製品に対して付けられた優先順位に基づき、優先順位の高い製品ほど製造工期が短くなることを表すことを特徴とする請求項9乃至請求項14に記載の生産方法。
- 前記実生産ラインは、前記半導体の生産ラインであることを特徴とする請求項9乃至請求項15に記載の生産方法。
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