JP2007307687A - ワーク切断方法およびワイヤソー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一方側のワイヤ繰出し・巻取り装置10Aから繰り出されたワイヤWがガイドローラ24A,24B等に巻回されて他方側のワイヤ繰出し・巻取り装置10Aに巻き取られるワイヤソーを用いワーク28を切断する方法であって、一方側のワイヤ繰出し・巻取り装置10AからワイヤWを繰出し、かつこのワイヤWを他方側のワイヤ繰出し・巻取り装置10Bにより巻取ることによりワイヤWを一方向に一定速度で駆動し、この一方向駆動状態でワーク28の切断を進める本工程に加え、この本工程の途中に実行される工程であって、ワイヤ同士が引っ付くリンキング現象の解消を促すための振動をワイヤWに付与すべくワイヤWの駆動状態を前記一方向駆動状態とは異なる状態に一時的に切り替えるリンキング解消用工程を有する。
【選択図】図1
Description
10A,10B ワイヤ繰出し・巻取り装置
11A,11B ボビン駆動モータ
24A,24B,26A,26B ガイドローラ
25 駆動モータ
28 ワーク
30 ワーク送り装置
34 ワーク送りモータ
36A,36B スラリー供給装置
Claims (9)
- ワイヤ繰出し装置から繰り出された切断用ワイヤが複数のガイドローラの周囲に巻回されてワイヤ巻取り装置に巻き取られることにより前記ガイドローラ間に複数本のワイヤが並ぶワイヤ群が形成されたワイヤソーを用いてワークを切断する方法であって、
前記ワイヤ繰出し装置から前記ワイヤを繰出し、かつ、このワイヤを前記ワイヤ巻取り装置により巻取ることにより前記ワイヤを一方向に一定速度で駆動し、この一方向駆動状態のワイヤに対してワイヤ軸方向と直交する方向にワークを相対的に切断送りすることによりワークの切断を進める本工程に加え、この本工程の前又は途中に実行される工程であって、前記ワイヤ群においてワイヤ同士が引っ付くリンキング現象の解消を促すための振動を前記ワイヤに付与すべく前記ワイヤの駆動状態を前記一方向駆動状態とは異なる状態に一時的に切り替えるリンキング解消用工程を有することを特徴とするワイヤソーによるワーク切断方法。 - 請求項1に記載のワーク切断方法において、
前記リンキング解消用工程では、前記ワイヤの駆動状態を、前記一方向駆動状態と、前記ワイヤ巻取り装置により巻き取られた前記ワイヤを逆に当該ワイヤ巻取り装置から繰出してこのワイヤを前記ワイヤ繰出し装置により巻取る逆方向駆動状態とに交互に切り替えることにより前記ワイヤを進退駆動させることを特徴とするワイヤソーによるワーク切断方法。 - 請求項1に記載のワーク切断方法において、
前記リンキング解消用工程では、前記一方向駆動状態におけるワイヤ駆動方向を維持したままその駆動速度を一時的に低下させ、又は駆動を停止させることを特徴とするワイヤソーによるワーク切断方法。 - 請求項1乃至3の何れかに記載のワーク切断方法において、
前記ワイヤに対してワークの切り込みを開始する位置から所定期間だけ前記リンキング解消用工程を実行し、その後に本工程を開始することを特徴とするワイヤソーによるワーク切断方法。 - 請求項1乃至3の何れかに記載のワーク切断方法において、
前記本工程中に、前記ワイヤ群に対するワークの切断送り位置を検知する工程を含み、その検知される送り位置が特定の送り位置に到達したときに前記本工程を中断して前記リンキング解消用工程を実行することを特徴とするワイヤソーによるワーク切断方法。 - 請求項1乃至3の何れかに記載のワーク切断方法において、
前記本工程中に、前記リンキング解消用工程を複数回、間欠的に実行することを特徴とするワイヤソーによるワーク切断方法。 - 複数のガイドローラと、切断用ワイヤを前記ガイドローラに繰出すワイヤ繰出し装置と、前記ワイヤを前記ガイドローラから巻取るワイヤ巻取り装置とを備え、前記ワイヤ繰出し装置から繰り出された前記ワイヤが前記ガイドローラの周囲に巻回されてワイヤ巻取り装置に巻き取られることによりガイドローラ間に複数本のワイヤが並ぶワイヤ群が形成され、かつ前記各作動により前記ワイヤ群が軸方向に駆動され、このワイヤ駆動状態で前記ワイヤ群に対してワークを切断送りすることにより前記ワークを切断するワイヤソーにおいて、
前記ワイヤ群に対してその軸方向と直交する方向に前記ワークを相対的に切断送りする切断送り手段と、
この切断送り手段によるワークの送り位置であって予め設定された特定の送り位置を記憶する記憶手段と、
前記切断送り手段による送り位置を検出する送り位置検出手段と、
前記ワイヤ群を駆動すべく前記繰り出し装置およびワイヤ巻取り装置の作動を制御する駆動制御手段と、を備え、
前記駆動制御手段は、前記送り位置検出手段によるワークの送り位置の検出に応じて、前記特定の送り位置以外の送り位置では、ワイヤの駆動状態を、前記ワイヤ繰出し装置から前記ワイヤを繰出しながらこのワイヤを前記ワイヤ巻取り装置により巻取ることにより前記ワイヤを一方向に一定速度で駆動する一方向駆動状態とするとともに、前記特定の送り位置では、ワイヤの駆動状態を、当該送り位置以外の駆動状態と異なる所定の駆動状態であって、前記ワイヤ群においてワイヤ同士が引っ付くリンキング現象の解消を促すための振動を前記ワイヤに付与する駆動状態とすべく前記ワイヤ繰り出し装置およびワイヤ巻き取り装置の作動を制御する
ことを特徴とするワイヤソー。 - 請求項7に記載のワイヤソーにおいて、
前記特定の送り位置では、前記駆動制御手段は、前記ワイヤの駆動状態を、前記一方向駆動状態と、前記ワイヤ巻取り装置により巻き取られた前記ワイヤを逆に当該ワイヤ巻取り装置から繰出してこのワイヤを前記ワイヤ繰出し装置により巻取る逆方向駆動状態とに交互に切り替えることにより前記ワイヤを進退駆動させる
ことを特徴とするワイヤソー。 - 請求項7に記載のワイヤソーにおいて、
前記特定の送り位置では、前記駆動制御手段は、前記一方向駆動状態におけるワイヤ駆動方向を維持したままその駆動速度を一時的に低下させ、又は駆動を停止させる
ことを特徴とするワイヤソー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006141882A JP4892278B2 (ja) | 2006-05-22 | 2006-05-22 | ワーク切断方法およびワイヤソー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006141882A JP4892278B2 (ja) | 2006-05-22 | 2006-05-22 | ワーク切断方法およびワイヤソー |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007307687A true JP2007307687A (ja) | 2007-11-29 |
JP4892278B2 JP4892278B2 (ja) | 2012-03-07 |
Family
ID=38840988
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006141882A Expired - Fee Related JP4892278B2 (ja) | 2006-05-22 | 2006-05-22 | ワーク切断方法およびワイヤソー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4892278B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010260130A (ja) * | 2009-05-07 | 2010-11-18 | Murata Mfg Co Ltd | ワイヤ鋸装置およびワイヤ鋸装置でワークを切削する方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102773929B (zh) * | 2012-07-13 | 2014-07-23 | 乐山新天源太阳能科技有限公司 | 一种切割准单晶用籽晶的方法及其装置 |
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JP2005186222A (ja) * | 2003-12-25 | 2005-07-14 | Nippei Toyama Corp | ワイヤソーにおける切断方法 |
-
2006
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Publication number | Publication date |
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JP4892278B2 (ja) | 2012-03-07 |
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