JP2007304311A - Optical module and its manufacturing method - Google Patents

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Kimio Nagasaka
公夫 長坂
Teruyasu Hama
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical module that facilitates adjustment of a relative position between a package housing an optical element and a connector, and also to provide a manufacturing method of the same. <P>SOLUTION: The optical module 100 includes the optical element 30, the package 11 housing the optical element, and the connector 50 for optically connecting the optical element and an optical fiber. The connector is provided with a first recess which holds the optical fiber formed on a first face 61, a projection which is formed on a second face 60 on the opposite side from the first face, and a second recess 59 which is formed on the second face and opened to the side. The package is arranged in a position opposing the side face of the projection and opposing the bottom face of the second recess. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、光モジュールおよびその製造方法に関する。   The present invention relates to an optical module and a method for manufacturing the same.

発光素子や受光素子のような光素子は、ほこりや湿気等の外部環境によってダメージを受けることにより、性能が劣化することがある。このような性能劣化を防止するために、パッケージ内に光素子を密閉封止する方法が開発されている。たとえば、特許文献１は、基板上の光子装置を覆うように接着剤層と金属層とを形成する密閉封止方法を開示している。   An optical element such as a light emitting element or a light receiving element may be deteriorated in performance by being damaged by an external environment such as dust or moisture. In order to prevent such performance deterioration, a method for hermetically sealing an optical element in a package has been developed. For example, Patent Document 1 discloses a hermetic sealing method in which an adhesive layer and a metal layer are formed so as to cover a photon device on a substrate.

一方、光素子と光ファイバ等の他のデバイスと光結合する際、良好な結合効率を得るためには、光軸方向における光素子と他のデバイスとの相対的な位置を精密に調整しなければならず、そのためには、光素子を収納するパッケージと、他のデバイスを支持するコネクタとの相対的な位置を適切なものにする必要がある。
特表２００２−５３４８１３号公報 On the other hand, when optically coupling an optical element with another device such as an optical fiber, in order to obtain good coupling efficiency, the relative position between the optical element and the other device in the optical axis direction must be precisely adjusted. For this purpose, it is necessary to make the relative positions of the package housing the optical element and the connector supporting other devices appropriate.
Japanese translation of PCT publication No. 2002-534813

本発明の目的は、光素子を収納するパッケージとコネクタとの相対的な位置を容易に調整することのできる光モジュールおよびその製造方法を提供することにある。   An object of the present invention is to provide an optical module capable of easily adjusting the relative position between a package housing an optical element and a connector, and a method for manufacturing the same.

本発明にかかる光モジュールは、
光を発光または受光する光素子と、
前記光素子を収納するパッケージと、
前記光素子と光ファイバとを光学的に接続するためのコネクタと、
を含み、
前記コネクタは、第１の面に形成された光ファイバを支持するための第１の凹部と、前記第１の面の反対側の第２の面に形成された凸部と、前記第２の面に形成され、かつ側方に開口している第２の凹部とを有し、
前記パッケージは、前記凸部の側面に対向し、かつ第２の凹部の底面に対向する位置に配置されている。 The optical module according to the present invention is
An optical element that emits or receives light; and
A package for housing the optical element;
A connector for optically connecting the optical element and the optical fiber;
Including
The connector includes a first recess for supporting an optical fiber formed on a first surface, a protrusion formed on a second surface opposite to the first surface, and the second A second recess formed in the surface and open to the side,
The package is disposed at a position facing the side surface of the convex portion and facing the bottom surface of the second concave portion.

本発明にかかる光モジュールにおいて、
前記コネクタは、複数の前記凸部を互いに対向する位置に有し、
前記パッケージは、前記複数の凸部の間に配置されていることができる。 In the optical module according to the present invention,
The connector has a plurality of the convex portions at positions facing each other,
The package may be disposed between the plurality of convex portions.

本発明にかかる光モジュールにおいて、
前記コネクタは、複数の前記第２の凹部を互いに対向する位置に有することができる。 In the optical module according to the present invention,
The connector may have a plurality of the second recesses at positions facing each other.

本発明にかかる光モジュールにおいて、
前記コネクタは、Ｎ個の前記凸部およびＮ個の前記第２の凹部を有し、
前記Ｎ個の前記凸部およびＮ個の前記第２の凹部は、前記コネクタの外周に沿って交互に配置されていることができる。 In the optical module according to the present invention,
The connector has N convex portions and N second concave portions,
The N convex portions and the N second concave portions may be alternately arranged along the outer periphery of the connector.

本発明にかかる光モジュールにおいて、
前記コネクタは、対向するように設けられた２つの前記凸部、および対向するように設けられた２つの前記第２の凹部を有し、
前記２つの凸部を結ぶ仮想の線分は、前記２つの第２の凹部を結ぶ仮想の線分と前記コネクタの内側で交わり、
前記パッケージは、前記２つの凸部の間に配置されていることができる。 In the optical module according to the present invention,
The connector has two convex portions provided to face each other and two second concave portions provided to face each other.
A virtual line segment connecting the two convex portions intersects with a virtual line segment connecting the two second concave portions inside the connector,
The package may be disposed between the two convex portions.

本発明にかかる光モジュールにおいて、
前記パッケージは、光軸と垂直な上面または下面が矩形状であり、
前記コネクタは、対向するように設けられた２つの前記凸部、および対向するように設けられた２つの前記第２の凹部を有し、
前記２つの凸部は、前記パッケージの一対の辺の側方に設けられ、
前記２つの第２の凹部は、他の一対の辺の側方に開口していることができる。 In the optical module according to the present invention,
The package has a rectangular upper or lower surface perpendicular to the optical axis,
The connector has two convex portions provided to face each other and two second concave portions provided to face each other.
The two convex portions are provided on the sides of a pair of sides of the package,
The two second recesses can be opened to the sides of the other pair of sides.

本発明にかかる光モジュールにおいて、
前記コネクタは、前記光素子が発光または受光する光を透過する材料からなり、前記光を集光するためのレンズを有することができる。 In the optical module according to the present invention,
The connector may be made of a material that transmits light emitted or received by the optical element, and may have a lens for collecting the light.

本発明にかかる光モジュールの製造方法は、
（ａ）光を発光または受光する光素子を収納するパッケージと、第１の面に形成された光ファイバを支持するための第１の凹部、前記第１の面の反対側の第２の面に形成された凸部、および前記第２の面に形成されかつ側方に開口している第２の凹部を有するコネクタとを準備する工程と、
（ｂ）保持部材によって前記パッケージを挟む工程と、
（ｃ）前記保持部材を前記第２の凹部によって避けるようにして、前記凸部の側面に対向し、かつ第２の凹部の底面に対向する位置に前記パッケージを配置する工程と、
を含む。 An optical module manufacturing method according to the present invention includes:
(A) a package containing an optical element that emits or receives light, a first recess for supporting an optical fiber formed on the first surface, and a second surface opposite to the first surface And a step of preparing a connector having a convex portion formed on the second surface and a second concave portion formed on the second surface and opened laterally;
(B) sandwiching the package with a holding member;
(C) disposing the package at a position facing the side surface of the convex portion and facing the bottom surface of the second concave portion so as to avoid the holding member by the second concave portion;
including.

本発明にかかる光モジュールの製造方法において、
前記工程（ｂ）において、前記保持部材は、前記パッケージを光軸方向に挟むことができる。 In the method for manufacturing an optical module according to the present invention,
In the step (b), the holding member can sandwich the package in the optical axis direction.

本発明にかかる光モジュールの製造方法において、
前記光素子は、発光素子であり、
前記パッケージの外側には、前記光素子と電気的に接続された配線が形成されており、
前記保持部材は、前記配線を介して前記光素子に電流を供給する電流供給部を有し、
前記工程（ｂ）では、前記保持部材によって、前記電流供給部と前記配線とを接触させながら前記パッケージを挟み、
前記工程（ｃ）の前に、前記コネクタに光ファイバを支持させる工程と、
前記工程（ｂ）と（ｃ）の間に、前記パッケージと前記コネクタとの相対的位置を変えながら、前記電流供給部によって電流を供給することにより前記光素子に発光させ、前記光ファイバが受光した光の光量を検出し、検出した光量に基づいて、前記コネクタを前記パッケージに固定するための固定位置を決定する工程と、
をさらに含み、
前記工程（ｃ）では、前記固定位置に前記パッケージを配置し、前記パッケージと前記コネクタとを固定することができる。 In the method for manufacturing an optical module according to the present invention,
The optical element is a light emitting element;
A wiring electrically connected to the optical element is formed outside the package,
The holding member has a current supply unit that supplies current to the optical element through the wiring,
In the step (b), the holding member sandwiches the package while contacting the current supply unit and the wiring,
Before the step (c), supporting the optical fiber to the connector;
During the steps (b) and (c), while changing the relative position of the package and the connector, the optical element is caused to emit light by supplying current by the current supply unit, and the optical fiber receives light. Detecting a light amount of the light, and determining a fixing position for fixing the connector to the package based on the detected light amount;
Further including
In the step (c), the package can be disposed at the fixing position, and the package and the connector can be fixed.

本発明にかかる光モジュールの製造方法において、
前記光素子は受光素子であり、
前記パッケージの外側には、前記光素子と電気的に接続された配線が形成されており、
前記保持部材は、前記配線を介して前記光素子からの出力を得るための光量取得部を有し、
前記工程（ｂ）では、前記保持部材によって、前記光量取得部と前記配線とを接触させながら前記パッケージを挟み、
前記工程（ｃ）の前に、前記コネクタに光ファイバを支持させる工程と、
前記工程（ｂ）と（ｃ）の間に、前記パッケージと前記コネクタとの相対的位置を変えながら、前記光ファイバに発光させ、前記光素子が受光した光の光量を前記光量取得部を介して検出し、検出した光量に基づいて、前記コネクタを前記パッケージに固定するための固定位置を決定する工程と、
をさらに含み、
前記工程（ｃ）では、前記固定位置に前記パッケージを配置し、前記パッケージと前記コネクタとを固定することができる。 In the method for manufacturing an optical module according to the present invention,
The optical element is a light receiving element;
A wiring electrically connected to the optical element is formed outside the package,
The holding member has a light amount acquisition unit for obtaining an output from the optical element through the wiring,
In the step (b), the holding member sandwiches the package while bringing the light quantity acquisition unit and the wiring into contact with each other,
Before the step (c), supporting the optical fiber to the connector;
During the steps (b) and (c), the optical fiber is caused to emit light while changing the relative position between the package and the connector, and the amount of light received by the optical element is passed through the light amount acquisition unit. And detecting a fixed position for fixing the connector to the package based on the detected light amount;
Further including
In the step (c), the package can be disposed at the fixing position, and the package and the connector can be fixed.

本発明にかかる光モジュールの製造方法において、
前記コネクタは、複数の前記凸部を互いに対向する位置に有し、
前記パッケージは、前記複数の凸部の間に配置されていることができる。 In the method for manufacturing an optical module according to the present invention,
The connector has a plurality of the convex portions at positions facing each other,
The package may be disposed between the plurality of convex portions.

本発明にかかる光モジュールの製造方法において、
前記コネクタは、複数の前記第２の凹部を互いに対向する位置に有することができる。 In the method for manufacturing an optical module according to the present invention,
The connector may have a plurality of the second recesses at positions facing each other.

本発明にかかる光モジュールの製造方法において、
前記コネクタは、前記光素子が発光または受光する光を透過する材料からなり、前記光を集光するためのレンズを有することができる。 In the method for manufacturing an optical module according to the present invention,
The connector may be made of a material that transmits light emitted or received by the optical element, and may have a lens for collecting the light.

以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

１．光モジュール
まず、本実施の形態にかかる光モジュール１００の構造を説明する。図１は、本実施の形態にかかる光モジュール１００を模式的に示す断面図である。 1. Optical Module First, the structure of the optical module 100 according to the present embodiment will be described. FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing an optical module 100 according to the present embodiment.

光モジュール１００は、光素子３０と、パッケージ１１と、コネクタの一例としてのレンズ付きコネクタ５０と、を含む。パッケージ１１は、筐体１０と、シール部材２０と、蓋部材４０と、を有する。筐体１０は、ベース部１２と、ベース部１２上に設けられた枠部１４とを有する。ベース部１２および枠部１４は、たとえばセラミックスからなる。またパッケージ１１は、第１の配線１６および第２の配線１８をさらに含む。第１の配線１６および第２の配線１８は、ベース部１２の上面から穴を介して下面にかけて形成される。このように、光素子３０と電気的に接続された第１の配線１６および第２の配線１８がパッケージ１１の外側に形成されることにより、外部との電気的接続を容易にすることができる。   The optical module 100 includes an optical element 30, a package 11, and a connector 50 with a lens as an example of a connector. The package 11 includes a housing 10, a seal member 20, and a lid member 40. The housing 10 includes a base portion 12 and a frame portion 14 provided on the base portion 12. Base portion 12 and frame portion 14 are made of ceramics, for example. The package 11 further includes a first wiring 16 and a second wiring 18. The first wiring 16 and the second wiring 18 are formed from the upper surface of the base portion 12 to the lower surface through holes. As described above, the first wiring 16 and the second wiring 18 that are electrically connected to the optical element 30 are formed outside the package 11, thereby facilitating electrical connection with the outside. .

シール部材２０は、枠部１４の上面に形成され、たとえば矩形の枠形状を有する。シール部材２０は、蓋部材４０と、筐体１０とを接合する。シール部材２０と蓋部材４０と筐体１０とによって、光素子３０を気密封止することができる。   The seal member 20 is formed on the upper surface of the frame portion 14 and has, for example, a rectangular frame shape. The seal member 20 joins the lid member 40 and the housing 10 together. The optical element 30 can be hermetically sealed by the seal member 20, the lid member 40, and the housing 10.

光素子３０は、発光素子または受光素子であることができ、筐体１０の内側、即ちベース部１２の上面であって、枠部１４の内側に設けられている。光素子３０は、基板３２と、基板３２上に設けられた光学的部分３４とを含む。光学的部分３４は、光を発光または受光する部分である。発光素子の光学的部分３４は、たとえば面発光型半導体レーザの共振器部分であることができる。受光素子の光学的部分３４は、たとえば光吸収領域であることができる。光素子３０は、光素子３０を駆動するための第１電極３７および第２電極３５をさらに有する。第１電極３７は、基板３２の第２の配線１８側の面に形成され、第２の配線１８と電気的に接続されている。第２電極３５は、基板３２上に形成されている。ワイヤ３６は、第２電極３５と第１の配線１６とを電気的に接続する。なお、第１電極３７は、基板３２の上面に形成されていてもよい。   The optical element 30 can be a light emitting element or a light receiving element, and is provided inside the casing 10, that is, on the upper surface of the base portion 12 and inside the frame portion 14. The optical element 30 includes a substrate 32 and an optical portion 34 provided on the substrate 32. The optical portion 34 is a portion that emits or receives light. The optical portion 34 of the light emitting element can be, for example, a resonator portion of a surface emitting semiconductor laser. The optical portion 34 of the light receiving element can be, for example, a light absorbing region. The optical element 30 further includes a first electrode 37 and a second electrode 35 for driving the optical element 30. The first electrode 37 is formed on the surface of the substrate 32 on the second wiring 18 side and is electrically connected to the second wiring 18. The second electrode 35 is formed on the substrate 32. The wire 36 electrically connects the second electrode 35 and the first wiring 16. The first electrode 37 may be formed on the upper surface of the substrate 32.

蓋部材４０は、筐体１０の枠部１４で囲まれた開口部を覆うように、かつ枠部１４の外側の端部の一部または全部（他の一部）の上方を覆わないように、シール部材２０上に設けられる。蓋部材４０は、光素子３０が発光または受光する光を透過する透明基板からなることができ、たとえばガラス基板からなることができる。   The lid member 40 covers the opening part surrounded by the frame part 14 of the housing 10 and does not cover part or all (other parts) of the outer end part of the frame part 14. , Provided on the seal member 20. The lid member 40 can be made of a transparent substrate that transmits light emitted or received by the optical element 30, and can be made of, for example, a glass substrate.

レンズ付きコネクタ５０の形状について、図１、図２および図３を用いて説明する。図２は、光モジュール１００を示す断面図であり、図３は、レンズ付きコネクタ５０を下方からみたときの模式図である。図１は、図３におけるＡ−Ａ断面を示し、図２は、図３におけるＢ−Ｂ断面を示す。図３では、蓋部材４０の輪郭を破線で示し、レンズ付きコネクタ５０を下方からみた形状を実線で示す。図１および図２におけるＣ−Ｃ断面を第２の面６０とし、Ｄ−Ｄ断面を第１の面６１とする。第１の面６１は、レンズ付きコネクタ５０の上面であることができる。第２の面６０は、レンズ付きコネクタ５０の下面を含み、たとえば光軸方向に垂直であることができる。   The shape of the connector 50 with a lens is demonstrated using FIG.1, FIG.2 and FIG.3. 2 is a cross-sectional view showing the optical module 100, and FIG. 3 is a schematic view of the lens-equipped connector 50 as viewed from below. 1 shows an AA section in FIG. 3, and FIG. 2 shows a BB section in FIG. In FIG. 3, the outline of the lid member 40 is indicated by a broken line, and the shape of the lens-attached connector 50 viewed from below is indicated by a solid line. The cross section CC in FIGS. 1 and 2 is a second surface 60, and the DD cross section is a first surface 61. The first surface 61 can be the upper surface of the lens-equipped connector 50. The second surface 60 includes the lower surface of the lens-equipped connector 50 and can be, for example, perpendicular to the optical axis direction.

レンズ付きコネクタ５０は、スリーブ（第１の凹部）５２と、凸部５７と、レンズ部５４と、第２の凹部５９と、第３の凹部５６と、を有し、たとえば樹脂を用いて一体型に成形されている。   The lens-equipped connector 50 includes a sleeve (first concave portion) 52, a convex portion 57, a lens portion 54, a second concave portion 59, and a third concave portion 56. It is molded into a body shape.

スリーブ５２は、第１の面６１に形成され、光ファイバを支持する。スリーブ５２は、たとえば光軸方向に沿って形成されることができ、フェルールが挿入されることにより、光ファイバを支持することができる。   The sleeve 52 is formed on the first surface 61 and supports the optical fiber. The sleeve 52 can be formed, for example, along the optical axis direction, and can support the optical fiber by inserting a ferrule.

凸部５７は、第２の面６０に形成され、筐体１０の側面の一部を覆うことができる。言い換えれば、凸部５７は、その側面が筐体１０の側面に対向するように形成される。凸部５７と筐体１０との間に接着剤２８が設けられることにより、レンズ付きコネクタ５０を筐体１０に固定することができる。またレンズ付きコネクタ５０は、複数の凸部５７を有することができる。本実施の形態にかかるレンズ付きコネクタ５０は、２箇所に凸部５７を有し、これらの凸部５７は、筐体１０を挟んで対向する位置に設けられ、それぞれの凸部５７の側面において筐体１０が接着剤２８によって固定されることができる。このようにレンズ付きコネクタ５０が複数の凸部５７を有することにより、筐体１０と接着するための位置を複数にすることができる。したがってレンズ付きコネクタ５０は、安定的に筐体１０を保持することができる。   The convex portion 57 is formed on the second surface 60 and can cover a part of the side surface of the housing 10. In other words, the convex portion 57 is formed so that the side surface thereof faces the side surface of the housing 10. By providing the adhesive 28 between the convex portion 57 and the housing 10, the lens-attached connector 50 can be fixed to the housing 10. The lens connector 50 can have a plurality of convex portions 57. The lens-equipped connector 50 according to the present embodiment has convex portions 57 at two locations, and these convex portions 57 are provided at positions facing each other with the housing 10 interposed therebetween, and on the side surfaces of the respective convex portions 57. The housing 10 can be fixed by the adhesive 28. Thus, when the connector 50 with a lens has the some convex part 57, the position for adhere | attaching with the housing | casing 10 can be made into multiple. Therefore, the connector 50 with a lens can hold | maintain the housing | casing 10 stably.

レンズ部５４は、光素子３０の上方に設けられ、光学的部分３４が発光した光または外部からの光を集光する。本実施の形態において、レンズ部５４は、スリーブ５２と蓋部材４０との間に形成され、たとえば第２の面６０と平行に設けられることができる。なお、レンズ付きコネクタ５０の第２の面６０は、蓋部材４０の上面と接触してもよいし、接触しなくてもよい。   The lens unit 54 is provided above the optical element 30 and condenses light emitted from the optical part 34 or light from the outside. In the present embodiment, the lens portion 54 is formed between the sleeve 52 and the lid member 40, and can be provided, for example, in parallel with the second surface 60. In addition, the 2nd surface 60 of the connector 50 with a lens may contact the upper surface of the cover member 40, and does not need to contact.

第２の凹部５９は、図２に示すように、第２の面６０に形成され、かつ側方に開口している。具体的に第２の凹部５９は、凸部５７と接着された筐体１０の一対の側面とは異なる一対の側面側に開口している。レンズ付きコネクタ５０は、複数の第２の凹部５９を対向する位置に有することができる。複数の第２の凹部５９は、図３に示すように、レンズ部５４を挟むようにして形成されている。   As shown in FIG. 2, the second recess 59 is formed in the second surface 60 and is open to the side. Specifically, the second recess 59 opens on a pair of side surfaces different from the pair of side surfaces of the housing 10 bonded to the projection 57. The lens-equipped connector 50 can have a plurality of second recesses 59 at opposing positions. As shown in FIG. 3, the plurality of second concave portions 59 are formed so as to sandwich the lens portion 54.

また、本実施の形態にかかるレンズ付きコネクタ５０のように、２つの第２の凹部５９と２つの凸部５７とを有する場合には、２つの第２の凹部５９を結ぶ仮想の線分（たとえば図３におけるＢ−Ｂ線に沿った線分；Ｙ軸方向）と、２つの凸部５７を結ぶ仮想の線分（たとえば図３におけるＡ−Ａ線に沿った線分；Ｘ軸方向）は、レンズ付きコネクタ５０の内側で交わる。即ち、レンズ付きコネクタ５０の外周に沿って第２の凹部５９と凸部５７とが互いに重ならずに、交互に配置されている。同様に、レンズ付きコネクタ５０が３つ以上の第２の凹部５９と３つ以上の凸部５７とを同数有する場合においても、レンズ付きコネクタ５０の外周に沿って第２の凹部５９と凸部５７は、互いに重ならずに交互に配置されることができる。   Further, in the case of having two second concave portions 59 and two convex portions 57 as in the lens-equipped connector 50 according to the present embodiment, an imaginary line segment connecting the two second concave portions 59 ( For example, a line segment along the line BB in FIG. 3; the Y-axis direction) and a virtual line segment connecting the two convex portions 57 (for example, a line segment along the line AA in FIG. 3; the X-axis direction). Intersect inside the connector 50 with lens. That is, the second concave portions 59 and the convex portions 57 are alternately arranged along the outer periphery of the lens-attached connector 50 without overlapping each other. Similarly, even when the connector 50 with a lens has the same number of three or more second recesses 59 and three or more protrusions 57, the second recesses 59 and the protrusions along the outer periphery of the connector 50 with a lens. 57 can be arranged alternately without overlapping each other.

このように、レンズ付きコネクタ５０が第２の凹部５９を有することにより、レンズ付きコネクタ５０に筐体１０を固定するときや、第１の配線１６または第２の配線１８と外部の配線とを接続するとき等に、筐体１０および蓋部材４０を保持するための保持部材を用いることができる。即ち、保持部材は、筐体１０および蓋部材４０を保持するときに、第２の凹部５９の中に入り込むことによって、レンズ付きコネクタ５０を避けることができる。   Thus, when the connector 50 with a lens has the 2nd recessed part 59, when fixing the housing | casing 10 to the connector 50 with a lens, the 1st wiring 16 or the 2nd wiring 18, and external wiring are connected. When connecting, a holding member for holding the housing 10 and the lid member 40 can be used. That is, the holding member can avoid the lens-attached connector 50 by entering the second recess 59 when holding the casing 10 and the lid member 40.

第３の凹部５６は、レンズ付きコネクタ５０の側面に形成されている。レンズ付きコネクタ５０の側面とは、第１の面６１と第２の面６０の間の側面をいう。第３の凹部５６は、図１に示すように、光軸に対して対称の位置に設けられることが好ましい。これにより、保持部材がレンズ付きコネクタ５０を第３の凹部５６で挟み込むことができる。なお、本実施の形態においてレンズ付きコネクタ５０は、第１の面６１と第２の面６０の間に形成されているが、これに限定されず、たとえば凸部５７の側面に形成されていてもよい。   The third recess 56 is formed on the side surface of the lens-attached connector 50. The side surface of the lens-equipped connector 50 refers to the side surface between the first surface 61 and the second surface 60. As shown in FIG. 1, the third recess 56 is preferably provided at a symmetrical position with respect to the optical axis. Accordingly, the holding member can sandwich the lens-attached connector 50 between the third recesses 56. In addition, in this Embodiment, although the connector 50 with a lens is formed between the 1st surface 61 and the 2nd surface 60, it is not limited to this, For example, it is formed in the side surface of the convex part 57. Also good.

なお、レンズ付きコネクタ５０を蓋部材４０および筐体１０に固定するために接着剤２８を用いることができる。接着剤２８は、図１に示すように、レンズ付きコネクタ５０と蓋部材４０の周囲に設けられる。また接着剤２８は、さらに蓋部材４０の上面等に設けられてもよい。   Note that an adhesive 28 can be used to fix the connector 50 with a lens to the lid member 40 and the housing 10. As shown in FIG. 1, the adhesive 28 is provided around the connector 50 with the lens and the lid member 40. Further, the adhesive 28 may be further provided on the upper surface of the lid member 40 or the like.

２．光モジュールの製造方法
まず、本実施の形態にかかる光モジュールの製造方法を説明する。図４〜図８は、光モジュールの製造方法を示す断面図であり、それぞれ図２の断面図に対応する。 2. First, a method for manufacturing an optical module according to this embodiment will be described. 4 to 8 are cross-sectional views showing a method for manufacturing an optical module, and each correspond to the cross-sectional view of FIG.

（１）まず、図４に示すように、筐体１０を準備する。筐体１０の材質は、特に限定されないが、たとえば金属やセラミックスからなることができる。筐体１０は、たとえばベース部１２を構成する板部材および枠部１４を構成する枠部材は、たとえばアルミナを含む未焼結セラミックスであるグリーンシートの単層または積層からなることができる。枠部１４を構成する枠部材は、グリーンシートに穴が形成されたものである。グリーンシートは、打ち抜き型やパンチングマシーン等により所望の形状に加工することができる。ベース部１２および枠部１４において用いるグリーンシートの数量を調整することにより、筐体１０のサイズを調整することができる。また各グリーンシートの表面には、印刷等により配線が形成されていてもよい。ベース部１２を構成する板部材と枠部１４を構成する枠部材とを積層し、焼結して一体化することにより、筐体１０を形成することができる。なお、筐体１０と後述するシール部材２０が密着しやすいように、筐体１０の枠部１４の上面の表面処理を行ってもよい。   (1) First, as shown in FIG. 4, the housing 10 is prepared. Although the material of the housing | casing 10 is not specifically limited, For example, it can consist of a metal and ceramics. For example, the casing 10 may be formed of a single layer or a laminate of green sheets made of unsintered ceramics including alumina, for example, the plate member constituting the base portion 12 and the frame member constituting the frame portion 14. The frame member constituting the frame portion 14 is formed by forming a hole in a green sheet. The green sheet can be processed into a desired shape by a punching die or a punching machine. By adjusting the number of green sheets used in the base portion 12 and the frame portion 14, the size of the housing 10 can be adjusted. Moreover, wiring may be formed on the surface of each green sheet by printing or the like. The housing 10 can be formed by laminating the plate member constituting the base portion 12 and the frame member constituting the frame portion 14 and sintering and integrating them. In addition, you may perform the surface treatment of the upper surface of the frame part 14 of the housing | casing 10 so that the housing | casing 10 and the sealing member 20 mentioned later may adhere | attach easily.

第１の配線１６および第２の配線１８は、ベース部１２を構成する板部材に穴を形成した後に、導電性材料を用いて形成される。   The first wiring 16 and the second wiring 18 are formed using a conductive material after forming holes in the plate member constituting the base portion 12.

（２）次に、図５に示すように、枠部１４の上面にシール部材２０ａを設ける。シール部材２０ａは、後述する蓋部材４０と、筐体１０とを接合するために設けられる。シール部材２０ａは、筐体１０と蓋部材４０とを接合する材質であれば特に限定されないが、熱可塑性の絶縁性材料または金属材料からなることができ、たとえば低融点ガラスのプリフォームからなることができる。   (2) Next, as shown in FIG. 5, a seal member 20 a is provided on the upper surface of the frame portion 14. The seal member 20 a is provided to join the lid member 40 described later and the housing 10. The seal member 20a is not particularly limited as long as it is a material that joins the housing 10 and the lid member 40, but can be made of a thermoplastic insulating material or a metal material, for example, a preform of a low melting point glass. Can do.

（３）次に、図６に示すように、光素子３０と筐体１０とを接合する。具体的には光素子３０を第２の配線１８上に接合する。まず、接合部材を塗布し、光素子３０を接合部材の上面に配置して、適切な荷重を下方にかけながらダイボンディングを行う。接合部材としては、たとえば銀ペーストを用いることができる。   (3) Next, as shown in FIG. 6, the optical element 30 and the housing 10 are joined. Specifically, the optical element 30 is bonded onto the second wiring 18. First, a bonding member is applied, the optical element 30 is disposed on the upper surface of the bonding member, and die bonding is performed while applying an appropriate load downward. As the joining member, for example, a silver paste can be used.

接合部材としての銀ペーストが硬化した後に、図１に示すように、公知の方法を用いてワイヤ３６のワイヤボンディングを行う。ワイヤ３６は、基板３２上に形成された第２電極３５と第１の配線１６とを電気的に接続する。   After the silver paste as the bonding member is cured, as shown in FIG. 1, wire bonding of the wire 36 is performed using a known method. The wire 36 electrically connects the second electrode 35 formed on the substrate 32 and the first wiring 16.

（４）次に、図７に示すように、蓋部材４０と筐体１０とをシール部材２０により接合する。具体的には蓋部材４０をシール部材２０ａの上に配置し、蓋部材４０を筐体１０方向に押圧しながら、シール部材２０ａを加熱する。たとえば、シール部材２０ａに上方からレーザ光を照射することにより加熱することができる。加熱と押圧によりシール部材２０ａは変形する。蓋部材４０としてガラス基板を用いる場合に、シール部材２０ａとして低融点ガラスを適用することにより、シール部材２０と蓋部材４０との密着性を向上させることができる。これにより、蓋部材４０と筐体１０とをシール部材２０により接合することができる。   (4) Next, as shown in FIG. 7, the lid member 40 and the housing 10 are joined by the seal member 20. Specifically, the lid member 40 is disposed on the seal member 20a, and the seal member 20a is heated while pressing the lid member 40 toward the housing 10. For example, the sealing member 20a can be heated by irradiating a laser beam from above. The seal member 20a is deformed by heating and pressing. When a glass substrate is used as the lid member 40, the adhesion between the seal member 20 and the lid member 40 can be improved by applying low melting point glass as the seal member 20a. Thereby, the lid member 40 and the housing 10 can be joined by the seal member 20.

（５）次に、上述したように光素子３０を収納したパッケージ１１に、レンズ付きコネクタ５０を装着する。   (5) Next, the lens-attached connector 50 is attached to the package 11 containing the optical element 30 as described above.

まず、上述したレンズ付きコネクタ５０を準備し、第１の保持部材１０２によってパッケージ１１を挟む。ここで第１の保持部材１０２は、図８に示すようにパッケージ１１を光軸方向に挟んでもよいし、筐体１０を光軸と垂直方向に挟んでもよい。   First, the lens-equipped connector 50 described above is prepared, and the package 11 is sandwiched between the first holding members 102. Here, the first holding member 102 may sandwich the package 11 in the optical axis direction as shown in FIG. 8, or may sandwich the housing 10 in the direction perpendicular to the optical axis.

第１の保持部材１０２には、光素子３０に電流を供給するための電流供給部１０６が設けられている。電流供給部１０６は、図８に示すように、たとえばスプリングプローブであることができ、プローブ１０８およびソケット１０９を有する。スプリングプローブは、ソケット１０９にスプリングを内蔵し、このスプリングによってプローブ１０８がソケット１０９の外部にでている長さを変えることができる。この電流供給部１０６は、ワイヤ等により外部と接続されることができる。第１の保持部材１０２は、プローブ１０８が第２の配線１８に接触するように、パッケージ１１を挟む。これにより、電流供給部１０６は、光素子３０に電流を供給することができる。また第１の保持部材１０２は、ここでは図示してないが、第１の配線１６とプローブを接触させるスプリングプローブをさらに有する。   The first holding member 102 is provided with a current supply unit 106 for supplying a current to the optical element 30. As shown in FIG. 8, the current supply unit 106 can be a spring probe, for example, and has a probe 108 and a socket 109. The spring probe incorporates a spring in the socket 109, and the length of the probe 108 protruding outside the socket 109 can be changed by this spring. The current supply unit 106 can be connected to the outside by a wire or the like. The first holding member 102 sandwiches the package 11 so that the probe 108 contacts the second wiring 18. As a result, the current supply unit 106 can supply current to the optical element 30. The first holding member 102 further includes a spring probe that contacts the first wiring 16 and the probe, although not shown here.

またパッケージ１１を挟むときに、第１の保持部材１０２において蓋部材４０の上に突き出る部分の光軸方向における厚みは、第２の凹部５９の深さより薄いことが好ましい。また、第１の保持部材１０２において蓋部材４０の上に突き出る部分の平面形状は、図３に示す第２の凹部５９より小さい形状であることが好ましい。   In addition, when the package 11 is sandwiched, the thickness of the portion of the first holding member 102 protruding above the lid member 40 in the optical axis direction is preferably thinner than the depth of the second recess 59. Moreover, it is preferable that the planar shape of the part which protrudes on the cover member 40 in the 1st holding member 102 is a shape smaller than the 2nd recessed part 59 shown in FIG.

また、第２の保持部材１２０によってレンズ付きコネクタ５０を挟む。このとき、レンズ付きコネクタ５０は、フェルール１２２を介して光ファイバ１２４を支持している状態とする。レンズ付きコネクタ５０は、上述したように第３の凹部５６を有するため、第２の保持部材１２０は、この第３の凹部５６にフックをひっかけるようにしてレンズ付きコネクタ５０を保持することができる。ここで光ファイバ１２４は、フェルール１２２とは反対側の端部で光量を検出する光量検出装置と接続されていている。   Further, the connector 50 with the lens is sandwiched between the second holding members 120. At this time, the lens-attached connector 50 is in a state of supporting the optical fiber 124 via the ferrule 122. Since the lens-equipped connector 50 has the third recess 56 as described above, the second holding member 120 can hold the lens-attached connector 50 by hooking the third recess 56. . Here, the optical fiber 124 is connected to a light amount detection device that detects the light amount at the end opposite to the ferrule 122.

次いで、パッケージ１１とレンズ付きコネクタ５０との相対的位置を変えながら、光素子３０に電流を供給して発光させる。ここでは、第１の保持部材１０２および第２の保持部材１２０の少なくとも一方を駆動することにより、パッケージ１１とレンズ付きコネクタ５０との相対的位置を変える。このとき、第１の保持部材１０２は、第２の凹部５９を避けるようにして駆動することができる。レンズ付きコネクタ５０が第２の凹部５９を有することにより、第１の保持部材１０２は、図８に示すように、蓋部材４０の上面を覆っている状態であってもレンズ付きコネクタ５０と接触しないように駆動することができる。   Next, a current is supplied to the optical element 30 to emit light while changing the relative position between the package 11 and the connector with lens 50. Here, by driving at least one of the first holding member 102 and the second holding member 120, the relative position between the package 11 and the lens-attached connector 50 is changed. At this time, the first holding member 102 can be driven so as to avoid the second recess 59. Since the connector 50 with a lens has the 2nd recessed part 59, the 1st holding member 102 contacts the connector 50 with a lens, even if it is the state which has covered the upper surface of the cover member 40, as shown in FIG. It can be driven so as not to.

光ファイバ１２４は、光素子３０が発光した光を、レンズ部５４を介して受光し、上述した光量検出装置に送る。光量検出装置は、光ファイバ１２４が受光した光の光量を検出し、検出した光量に基づいてレンズ付きコネクタ５０をパッケージ１１に固定するための固定位置を決定する。具体的に光量検出装置は、光量が最大になる位置を固定位置として決定する。   The optical fiber 124 receives the light emitted from the optical element 30 via the lens unit 54 and sends the light to the above-described light amount detection device. The light amount detection device detects the light amount of light received by the optical fiber 124 and determines a fixing position for fixing the lens-equipped connector 50 to the package 11 based on the detected light amount. Specifically, the light quantity detection device determines the position where the light quantity is maximum as the fixed position.

第１の保持部材１０２および第２の保持部材１２０は、決定された固定位置にレンズ付きコネクタ５０をパッケージ１１に対して配置するように駆動する。このとき第１の保持部材１０２は、第２の凹部５９を避けるようにしてパッケージ１１を配置することができる。   The 1st holding member 102 and the 2nd holding member 120 drive so that the connector 50 with a lens may be arrange | positioned with respect to the package 11 in the determined fixed position. At this time, the first holding member 102 can arrange the package 11 so as to avoid the second recess 59.

なお、第１の保持部材１０２および第２の保持部材１２０は、光軸方向をｚ軸方向とした場合に、ｘ軸方向、ｙ軸方向、およびｚ軸方向の全ての方向に駆動することが可能である。したがって、本実施の形態にかかる光モジュール１００の製造方法においては、ｘ軸方向、ｙ軸方向、およびｚ軸方向の全ての方向において、レンズ付きコネクタ５０またはパッケージ１１を移動させて、光量を検出することができる。   Note that the first holding member 102 and the second holding member 120 can be driven in all directions of the x-axis direction, the y-axis direction, and the z-axis direction when the optical axis direction is the z-axis direction. Is possible. Therefore, in the method of manufacturing the optical module 100 according to the present embodiment, the lens connector 50 or the package 11 is moved in all the x-axis direction, y-axis direction, and z-axis direction to detect the light amount. can do.

次いで、固定位置に保持しながらレンズ付きコネクタ５０とパッケージ１１との間に接着剤２８を塗布して硬化させることにより、レンズ付きコネクタ５０をパッケージ１１に装着する。   Next, the lens connector 50 is attached to the package 11 by applying and curing the adhesive 28 between the lens connector 50 and the package 11 while being held in a fixed position.

以上の工程により光モジュール１００を製造することができる。   The optical module 100 can be manufactured through the above steps.

本実施の形態にかかる光モジュール１００の製造方法では、光素子３０を収納するパッケージを第１の保持部材１０２によって挟んでいる。これにより、下方に突出したリード線をパッケージが有さない場合であっても、パッケージ１１を容易に保持することができる。   In the method for manufacturing the optical module 100 according to the present embodiment, a package for storing the optical element 30 is sandwiched between the first holding members 102. Thereby, even if the package does not have a lead wire protruding downward, the package 11 can be easily held.

本実施の形態にかかる光モジュール１００の製造方法では、第１の保持部材１０２および第２の保持部材１２０を用いてレンズ付きコネクタ５０をパッケージ１１に対して適切な位置に固定することができる。これにより、図１に示すように、レンズ部５４と光素子３０との距離を長さａに精密に調整することができる。このように、光素子３０とレンズ部５４との距離を精密に調整することにより、光の経路の制御性を高めることができる。よって、光素子３０と光ファイバ等の外部のデバイスとの光結合効率を向上させることができる。   In the method of manufacturing the optical module 100 according to the present embodiment, the lens-equipped connector 50 can be fixed to the package 11 at an appropriate position using the first holding member 102 and the second holding member 120. Thereby, as shown in FIG. 1, the distance between the lens portion 54 and the optical element 30 can be precisely adjusted to the length a. Thus, the controllability of the light path can be improved by precisely adjusting the distance between the optical element 30 and the lens unit 54. Therefore, the optical coupling efficiency between the optical element 30 and an external device such as an optical fiber can be improved.

３．変形例
本実施の形態にかかる光モジュールの製造方法では、光素子３０が発光素子である場合を説明したが、これにかえて受光素子であってもよい。この場合、第１の保持部材１０２は、電流供給部にかえて光量取得部を有することができる。光量取得部は、光量検出装置と接続され、光素子３０から出力を得て、光量検出装置に送ることができる。光量取得部は、たとえばスプリングプローブからなることができる。 3. Although the case where the optical element 30 is a light emitting element was demonstrated in the manufacturing method of the optical module concerning this Embodiment, it may replace with this and may be a light receiving element. In this case, the first holding member 102 can include a light amount acquisition unit instead of the current supply unit. The light quantity acquisition unit is connected to the light quantity detection device, can obtain an output from the optical element 30, and can send it to the light quantity detection device. The light quantity acquisition unit can be composed of, for example, a spring probe.

本実施の形態にかかる光モジュールの製造方法において光ファイバ１２４は、光量検出装置と接続されていているが、これにかえて、光源と接続されていることができる。光ファイバ１２４から光が出射されて、光素子３０は、当該光を受光し、光量取得部に送る。   In the method for manufacturing an optical module according to the present embodiment, the optical fiber 124 is connected to the light amount detection device, but instead, it can be connected to a light source. Light is emitted from the optical fiber 124, and the optical element 30 receives the light and sends it to the light quantity acquisition unit.

光量検出装置の動作および固定位置の決定方法、およびその他の構成については、上述した例と同様であるので説明を省略する。   Since the operation of the light quantity detection device, the method for determining the fixed position, and other configurations are the same as in the above-described example, description thereof will be omitted.

本発明の説明は以上であるが、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではない。例えば、本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び結果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。   Although the description of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, the present invention includes configurations that are substantially the same as the configurations described in the embodiments (for example, configurations that have the same functions, methods, and results, or configurations that have the same purposes and results). In addition, the invention includes a configuration in which a non-essential part of the configuration described in the embodiment is replaced. In addition, the present invention includes a configuration that exhibits the same operational effects as the configuration described in the embodiment or a configuration that can achieve the same object. Further, the invention includes a configuration in which a known technique is added to the configuration described in the embodiment.

本実施の形態にかかる光モジュールを模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows typically the optical module concerning this Embodiment. 本実施の形態にかかる光モジュールを模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows typically the optical module concerning this Embodiment. レンズ付きコネクタ５０を下方からみたときの模式図。The schematic diagram when the connector 50 with a lens is seen from the downward direction. 本実施の形態にかかる光モジュールの製造方法を模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows typically the manufacturing method of the optical module concerning this Embodiment. 本実施の形態にかかる光モジュールの製造方法を模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows typically the manufacturing method of the optical module concerning this Embodiment. 本実施の形態にかかる光モジュールの製造方法を模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows typically the manufacturing method of the optical module concerning this Embodiment. 本実施の形態にかかる光モジュールの製造方法を模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows typically the manufacturing method of the optical module concerning this Embodiment. 本実施の形態にかかる光モジュールの製造方法を模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows typically the manufacturing method of the optical module concerning this Embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

１０ 筐体、１１ パッケージ、１２ ベース部、１４ 枠部、１６ 第１の配線、１８ 第２の配線、２０、２０ａ シール部材、２８ 接着材、３０ 光素子、３２ 基板、３４ 光学的部分、３６ ワイヤ、４０ 蓋部材、５０ レンズ付きコネクタ、５２ レンズ部、５４ スリーブ（第１の凹部）、５６ 第３の凹部、５７ 凸部、５９ 第２の凹部、６０ 第２の面、６１ 第１の面、１００ 光モジュール、１０２ 第１の保持部材、１０６ 電流供給部、１０８ プローブ、１０９ ソケット DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Case, 11 Package, 12 Base part, 14 Frame part, 16 1st wiring, 18 2nd wiring, 20, 20a Seal member, 28 Adhesive material, 30 Optical element, 32 Substrate, 34 Optical part, 36 Wire, 40 Lid member, 50 Connector with lens, 52 Lens portion, 54 Sleeve (first concave portion), 56 Third concave portion, 57 Convex portion, 59 Second concave portion, 60 Second surface, 61 First Surface, 100 optical module, 102 first holding member, 106 current supply unit, 108 probe, 109 socket

Claims (14)

光を発光または受光する光素子と、
前記光素子を収納するパッケージと、
前記光素子と光ファイバとを光学的に接続するためのコネクタと、
を含み、
前記コネクタは、
第１の面と、
前記第１の面の反対側の第２の面と、
前記第１の面に形成された光ファイバを支持するための第１の凹部と、
前記第２の面に形成された凸部と、
前記第２の面に形成され、かつ側方に開口している第２の凹部と、
を有し、
前記パッケージは、前記凸部の側面に対向し、かつ第２の凹部の底面に対向する位置に配置されている、光モジュール。 An optical element that emits or receives light; and
A package for housing the optical element;
A connector for optically connecting the optical element and the optical fiber;
Including
The connector is
The first aspect;
A second surface opposite the first surface;
A first recess for supporting the optical fiber formed on the first surface;
A convex portion formed on the second surface;
A second recess formed in the second surface and opening laterally;
Have
The said module is an optical module arrange | positioned in the position which opposes the side surface of the said convex part, and opposes the bottom face of a 2nd recessed part. 請求項１において、
前記コネクタは、複数の前記凸部を互いに対向する位置に有し、
前記パッケージは、前記複数の凸部の間に配置されている、光モジュール。 In claim 1,
The connector has a plurality of the convex portions at positions facing each other,
The package is an optical module disposed between the plurality of convex portions. 請求項１または２において、
前記コネクタは、複数の前記第２の凹部を互いに対向する位置に有する、光モジュール。 In claim 1 or 2,
The connector is an optical module having a plurality of the second recesses at positions facing each other. 請求項１において、
前記コネクタは、Ｎ個の前記凸部およびＮ個の前記第２の凹部を有し、
前記Ｎ個の前記凸部およびＮ個の前記第２の凹部は、前記コネクタの外周に沿って交互に配置されている、光モジュール。 In claim 1,
The connector has N convex portions and N second concave portions,
The N number of the convex portions and the N number of the second concave portions are alternately arranged along the outer periphery of the connector. 請求項１において、
前記コネクタは、対向するように設けられた２つの前記凸部、および対向するように設けられた２つの前記第２の凹部を有し、
前記２つの凸部を結ぶ仮想の線分は、前記２つの第２の凹部を結ぶ仮想の線分と前記コネクタの内側で交わり、
前記パッケージは、前記２つの凸部の間に配置されている、光モジュール。 In claim 1,
The connector has two convex portions provided to face each other and two second concave portions provided to face each other.
A virtual line segment connecting the two convex portions intersects with a virtual line segment connecting the two second concave portions inside the connector,
The package is an optical module disposed between the two convex portions. 請求項１において、
前記パッケージは、光軸と垂直な上面または下面が矩形状であり、
前記コネクタは、対向するように設けられた２つの前記凸部、および対向するように設けられた２つの前記第２の凹部を有し、
前記２つの凸部は、前記パッケージの一対の辺の側方に設けられ、
前記２つの第２の凹部は、他の一対の辺の側方に開口している、光モジュール。 In claim 1,
The package has a rectangular upper or lower surface perpendicular to the optical axis,
The connector has two convex portions provided to face each other and two second concave portions provided to face each other.
The two convex portions are provided on the sides of a pair of sides of the package,
The two second recesses are optical modules that open to the sides of the other pair of sides. 請求項１ないし６のいずれかにおいて、
前記コネクタは、前記光素子が発光または受光する光を透過する材料からなり、前記光を集光するためのレンズを有する、光モジュール。 In any one of Claims 1 thru | or 6.
The connector is an optical module made of a material that transmits light emitted or received by the optical element and having a lens for collecting the light. （ａ）光を発光または受光する光素子を収納するパッケージと、第１の面に形成された光ファイバを支持するための第１の凹部、前記第１の面の反対側の第２の面に形成された凸部、および前記第２の面に形成されかつ側方に開口している第２の凹部を有するコネクタとを準備する工程と、
（ｂ）保持部材によって前記パッケージを挟む工程と、
（ｃ）前記保持部材を前記第２の凹部によって避けるようにして、前記凸部の側面に対向し、かつ第２の凹部の底面に対向する位置に前記パッケージを配置する工程と、
を含む、光モジュールの製造方法。 (A) a package containing an optical element that emits or receives light, a first recess for supporting an optical fiber formed on the first surface, and a second surface opposite to the first surface And a step of preparing a connector having a convex portion formed on the second surface and a second concave portion formed on the second surface and opened laterally;
(B) sandwiching the package with a holding member;
(C) disposing the package at a position facing the side surface of the convex portion and facing the bottom surface of the second concave portion so as to avoid the holding member by the second concave portion;
A method for manufacturing an optical module. 請求項８において、
前記工程（ｂ）において、前記保持部材は、前記パッケージを光軸方向に挟む、光モジュールの製造方法。 In claim 8,
In the step (b), the holding member sandwiches the package in the optical axis direction. 請求項８または９において、
前記光素子は、発光素子であり、
前記パッケージの外側には、前記光素子と電気的に接続された配線が形成されており、
前記保持部材は、前記配線を介して前記光素子に電流を供給する電流供給部を有し、
前記工程（ｂ）では、前記保持部材によって、前記電流供給部と前記配線とを接触させながら前記パッケージを挟み、
前記工程（ｃ）の前に、前記コネクタに光ファイバを支持させる工程と、
前記工程（ｂ）と（ｃ）の間に、前記パッケージと前記コネクタとの相対的位置を変えながら、前記電流供給部によって電流を供給することにより前記光素子に発光させ、前記光ファイバが受光した光の光量を検出し、検出した光量に基づいて、前記コネクタを前記パッケージに固定するための固定位置を決定する工程と、
をさらに含み、
前記工程（ｃ）では、前記固定位置に前記パッケージを配置し、前記パッケージと前記コネクタとを固定する、光モジュールの製造方法。 In claim 8 or 9,
The optical element is a light emitting element;
A wiring electrically connected to the optical element is formed outside the package,
The holding member has a current supply unit that supplies current to the optical element through the wiring,
In the step (b), the holding member sandwiches the package while contacting the current supply unit and the wiring,
Before the step (c), supporting the optical fiber to the connector;
During the steps (b) and (c), while changing the relative position of the package and the connector, the optical element is caused to emit light by supplying current by the current supply unit, and the optical fiber receives light. Detecting a light amount of the light, and determining a fixing position for fixing the connector to the package based on the detected light amount;
Further including
In the step (c), the package is disposed at the fixing position, and the package and the connector are fixed. 請求項８または９において、
前記光素子は受光素子であり、
前記パッケージの外側には、前記光素子と電気的に接続された配線が形成されており、
前記保持部材は、前記配線を介して前記光素子からの出力を得るための光量取得部を有し、
前記工程（ｂ）では、前記保持部材によって、前記光量取得部と前記配線とを接触させながら前記パッケージを挟み、
前記工程（ｃ）の前に、前記コネクタに光ファイバを支持させる工程と、
前記工程（ｂ）と（ｃ）の間に、前記パッケージと前記コネクタとの相対的位置を変えながら、前記光ファイバに発光させ、前記光素子が受光した光の光量を前記光量取得部を介して検出し、検出した光量に基づいて、前記コネクタを前記パッケージに固定するための固定位置を決定する工程と、
をさらに含み、
前記工程（ｃ）では、前記固定位置に前記パッケージを配置し、前記パッケージと前記コネクタとを固定する、光モジュールの製造方法。 In claim 8 or 9,
The optical element is a light receiving element;
A wiring electrically connected to the optical element is formed outside the package,
The holding member has a light amount acquisition unit for obtaining an output from the optical element through the wiring,
In the step (b), the holding member sandwiches the package while bringing the light quantity acquisition unit and the wiring into contact with each other,
Before the step (c), supporting the optical fiber to the connector;
During the steps (b) and (c), the optical fiber is caused to emit light while changing the relative position between the package and the connector, and the amount of light received by the optical element is passed through the light amount acquisition unit. And detecting a fixed position for fixing the connector to the package based on the detected light amount;
Further including
In the step (c), the package is disposed at the fixing position, and the package and the connector are fixed. 請求項８ないし１１のいずれかにおいて、
前記コネクタは、複数の前記凸部を互いに対向する位置に有し、
前記パッケージは、前記複数の凸部の間に配置されている、光モジュールの製造方法。 In any of claims 8 to 11,
The connector has a plurality of the convex portions at positions facing each other,
The method for manufacturing an optical module, wherein the package is disposed between the plurality of convex portions. 請求項８ないし１２のいずれかにおいて、
前記コネクタは、複数の前記第２の凹部を互いに対向する位置に有する、光モジュールの製造方法。 In any of claims 8 to 12,
The connector has a plurality of the second recesses at positions facing each other. 請求項８ないし１３のいずれかにおいて、
前記コネクタは、前記光素子が発光または受光する光を透過する材料からなり、前記光を集光するためのレンズを有する、光モジュールの製造方法。 In any of claims 8 to 13,
The connector is made of a material that transmits light emitted or received by the optical element, and includes a lens for collecting the light.
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