JP2007302740A - Highly adhesive liquid crystal polymer molded product and method for producing the same - Google Patents

Highly adhesive liquid crystal polymer molded product and method for producing the same Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide liquid crystal polymer molded products increased in not only initial adhesiveness but also long term adhesiveness and excellent in long term reliability, to provide a method for producing the molded products, to provide a liquid crystal polymer laminate containing the liquid crystal polymer molded products, and to provide a liquid crystal polymer circuit board. <P>SOLUTION: The highly adhesive liquid crystal polymer products have, in the results of X-ray photoelectron spectrometry, ≥21% sum of peak intensities of [-C-O-bond] and [-COO-bond] and ≤1.5 peak intensity ratio of [-C-O-bond]/[-COO-bond], in C(Is) peak intensity. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、接着性に優れる液晶ポリマー成形体とその製造方法に関するものである。   The present invention relates to a liquid crystal polymer molded article excellent in adhesiveness and a method for producing the same.

近年、比較的新しい樹脂材料として、液晶ポリマーが注目されている。液晶ポリマーは耐薬品性等に優れるだけでなく、吸湿性が低く誘電特性に優れるため、特に電子回路基板の絶縁体材料としての利用が期待されている。   In recent years, liquid crystal polymers have attracted attention as relatively new resin materials. The liquid crystal polymer is not only excellent in chemical resistance and the like, but also has low hygroscopicity and excellent dielectric properties, so that it is expected to be used particularly as an insulator material for electronic circuit boards.

しかし、液晶ポリマーには接着性が低いという不利点がある。例えば、液晶ポリマーを電子回路基板材料として利用する場合には、液晶ポリマーフィルム上に回路を形成した後に回路面をカバーフィルムで保護したり、ガラスクロスにエポキシ樹脂を含浸させた材料(以下、「ガラス/エポキシ材」という)や他の回路基板を積層することがある。また、フレキシブル回路基板などの補強板や、回路面のカバーフィルムとして、液晶ポリマーフィルムを他の回路基板へ接着する場合がある。しかし液晶ポリマーは、特に電子回路基板で用いられるエポキシ樹脂などの接着剤に対する接着性が十分でない。そこで、液晶ポリマーの接着性を改良するための技術が考案されている。   However, liquid crystal polymers have the disadvantage of low adhesion. For example, when a liquid crystal polymer is used as an electronic circuit board material, a circuit is formed on a liquid crystal polymer film and then the circuit surface is protected with a cover film, or a glass cloth impregnated with an epoxy resin (hereinafter referred to as “ Sometimes referred to as “glass / epoxy material”) and other circuit boards. In some cases, a liquid crystal polymer film is bonded to another circuit board as a reinforcing plate such as a flexible circuit board or a cover film for a circuit surface. However, the liquid crystal polymer has insufficient adhesion to an adhesive such as an epoxy resin used in an electronic circuit board. Therefore, a technique for improving the adhesion of the liquid crystal polymer has been devised.

例えば、従来、高分子フィルムの表面特性を改良して接着性を高めるための方法としてはクロム酸混液処理やコロナ放電処理等が知られているが、化学的な安定度の高い液晶ポリマーに対しては高い改質効果が得られない。   For example, chromic acid mixed solution treatment or corona discharge treatment has been conventionally known as a method for improving the surface properties of polymer films to enhance adhesion, but for liquid crystal polymers with high chemical stability, Therefore, a high reforming effect cannot be obtained.

そこで、液晶ポリマーフィルムの表面特性を改良する方法として、特許文献1には、フィルムの表面に接着促進コーティングを行う方法が、特許文献2と3には波長184.9nmの紫外線を照射する方法が、特許文献4には気体状の酸素原子含有化合物の存在下で気体放電プラズマ処理を施す方法が提案されている。   Therefore, as a method for improving the surface characteristics of the liquid crystal polymer film, Patent Document 1 discloses a method of performing adhesion promoting coating on the film surface, and Patent Documents 2 and 3 include a method of irradiating ultraviolet light having a wavelength of 184.9 nm. Patent Document 4 proposes a method of performing a gas discharge plasma treatment in the presence of a gaseous oxygen atom-containing compound.

しかし、特許文献1に記載の方法では、アクリル、ポリエステル、ポリイミド、ポリウレタン、ポリアミドなどのコーティング材料自体が、基材となる液晶ポリマーより耐熱性や吸水性などの面で劣っている。その結果、得られる製品の特性がコーティング材料のために低減され、液晶ポリマーの特性を生かすことができない。また、コーティングを行う工程が複雑なため、加工コストが上昇するといった問題が発生する。   However, in the method described in Patent Document 1, the coating material itself such as acrylic, polyester, polyimide, polyurethane, and polyamide is inferior in terms of heat resistance and water absorption, etc., to the liquid crystal polymer that is the base material. As a result, the properties of the resulting product are reduced due to the coating material, and the properties of the liquid crystal polymer cannot be utilized. Further, since the coating process is complicated, there arises a problem that the processing cost increases.

特許文献2と3に記載されている紫外線照射による方法では、フィルムを溶融させて接着した場合における銅箔等との接着性は向上するものの、エポキシ樹脂等の回路基板用接着剤や、ガラス/エポキシ材との接着強度はあまり向上しない。   In the methods by ultraviolet irradiation described in Patent Documents 2 and 3, although adhesion to a copper foil or the like is improved when the film is melted and bonded, an adhesive for circuit boards such as epoxy resin, glass / Adhesive strength with epoxy material does not improve much.

特許文献4には表面における酸素原子のモル比が内部の1.2倍になるように、気体状の酸素原子含有化合物の存在下で気体放電プラズマ処理を施す方法が提案されている。この技術は、液晶ポリマーに酸素原子含有化合物の存在下でプラズマ照射処理をすることにより、接着剤等との親和性を向上させるものである。当該処理によって、表面部における酸素原子対炭素原子のモル比が、内部の当該モル比の1.2倍以上になるとされている。この事実からすれば、必ずしも明らかではないが、プラズマ処理により液晶ポリマー分子が切断され、生じたラジカル部位に水酸基が導入されることによって、表面における反応性が上がるものと考えられる。
特開平10−316777号公報(特許請求の範囲) 特開平1−216824号公報(特許請求の範囲) 特開平1−236246号公報(特許請求の範囲) 特開2000−49002号公報(特許請求の範囲、実施例、表6と7)
Patent Document 4 proposes a method in which a gas discharge plasma treatment is performed in the presence of a gaseous oxygen atom-containing compound so that the molar ratio of oxygen atoms on the surface is 1.2 times the internal ratio. This technique improves the affinity with an adhesive or the like by subjecting a liquid crystal polymer to plasma irradiation treatment in the presence of an oxygen atom-containing compound. By this treatment, the molar ratio of oxygen atoms to carbon atoms in the surface portion is said to be 1.2 times or more of the internal molar ratio. From this fact, it is not necessarily clear, but it is considered that the liquid crystal polymer molecules are cleaved by plasma treatment and hydroxyl groups are introduced into the generated radical sites, thereby increasing the reactivity on the surface.
JP-A-10-316777 (Claims) JP-A-1-216824 (Claims) JP-A-1-236246 (Claims) JP 2000-49002 (Claims, Examples, Tables 6 and 7)

上述した様に、比較的接着性に劣る液晶ポリマーの接着性を高めるべく、表面改質処理を行なう技術は種々知られていた。特に特許文献4では、液晶ポリマーフィルムの表面をプラズマ処理することによって、接着剤やメッキ銅層に対する接着強度が向上した実験データが開示されている。しかし、かかるプラズマ処理技術によっても、問題があることが分かった。即ち、特許文献4に記載されている実施例の結果によれば、確かに接着強度は向上している。ところが、初期の接着強度が高い場合であっても、その接着性が継続せず、接着耐久性に劣る場合がある。かかる耐久性の問題は、特に液晶ポリマーを電子回路基板の絶縁体材料として用いた場合に電子機器の耐久性にも当然に影響を及ぼす。   As described above, various techniques for performing a surface modification treatment in order to improve the adhesion of a liquid crystal polymer having relatively poor adhesion have been known. In particular, Patent Document 4 discloses experimental data in which the adhesive strength to an adhesive or a plated copper layer is improved by plasma-treating the surface of a liquid crystal polymer film. However, it has been found that such a plasma processing technique has a problem. That is, according to the result of the Example described in Patent Document 4, the adhesive strength is certainly improved. However, even if the initial adhesive strength is high, the adhesiveness may not continue and the adhesive durability may be poor. Such a durability problem naturally affects the durability of the electronic device, particularly when the liquid crystal polymer is used as an insulator material for the electronic circuit board.

そこで本発明が解決すべき課題は、初期接着性のみならず長期にわたる接着性も向上されており、長期信頼性に優れた液晶ポリマー成形体とその製造方法、並びにフィルム状の当該液晶ポリマー成形体を含む液晶ポリマー積層体および液晶ポリマー回路基板を提供することにある。   Therefore, the problem to be solved by the present invention is that not only the initial adhesiveness but also the long-term adhesiveness is improved, and the liquid crystal polymer molded body excellent in long-term reliability, its production method, and the film-like liquid crystal polymer molded body It is providing the liquid crystal polymer laminated body containing this, and a liquid crystal polymer circuit board.

本発明者らは、上記課題を解決すべく、特に液晶ポリマー成形体の被接着部位をプラズマ照射して長期信頼性を向上させる条件につき鋭意研究を進めた。その結果、プラズマ処理において出力を高め過ぎると、初期における接着性は向上するものの、それが継続せずかえって耐久性が劣ることになるため、出力を適度に調節してプラズマ処理すべきであることを見出した。また、かかる耐久性の向上は、特定の官能基の比率を規定することにより達成できることを見出して、本発明を完成した。   In order to solve the above-mentioned problems, the inventors of the present invention have intensively studied on the conditions for improving the long-term reliability by irradiating plasma on the adherend portion of the liquid crystal polymer molded body. As a result, if the output is increased too much in the plasma treatment, the initial adhesion will be improved, but it will not continue and the durability will be inferior, so the plasma treatment should be performed with the output adjusted appropriately. I found. Further, the inventors have found that such an improvement in durability can be achieved by defining a specific functional group ratio, and thus completed the present invention.

本発明の高接着性液晶ポリマー成形体は、その被接着部位の表面部のX線光電子分光分析結果において、C(Is)ピーク強度に占める[−C−O−結合]と[−COO−結合]とのピーク強度の和が21%以上で、かつピーク強度の比[−C−O−結合]/[−COO−結合]が1.5以下であることを特徴とする。   The highly adhesive liquid crystal polymer molded product of the present invention has [-CO-bond] and [-COO-bond] occupying the C (Is) peak intensity in the X-ray photoelectron spectroscopic analysis result of the surface portion of the adherend site. ] And the peak intensity ratio [—C—O— bond] / [— COO— bond] is 1.5 or less.

上記高接着性液晶ポリマー成形体の形状としては、フィルムが好適である。本発明に係るフィルム状の高接着性液晶ポリマー成形体は、液晶ポリマー自体が誘電特性に優れ吸湿性が低いといった特性を有し、また、他の接着剤や他の材料に対する接着性が向上していることから、電子回路基板の絶縁体、フレキシブル回路基板の補強板、回路面のカバーフィルム等として特に有用である。   A film is suitable as the shape of the highly adhesive liquid crystal polymer molded body. The film-like high-adhesive liquid crystal polymer molded product according to the present invention has characteristics that the liquid crystal polymer itself has excellent dielectric properties and low hygroscopicity, and has improved adhesion to other adhesives and other materials. Therefore, it is particularly useful as an insulator for electronic circuit boards, a reinforcing plate for flexible circuit boards, a cover film for circuit surfaces, and the like.

本発明に係るフィルム状の高接着性液晶ポリマー成形体としては、金属層が積層されており且つ非積層面の被接着部位の接着性が高められているものや、回路が形成されており且つ回路以外における被接着部位の接着性が高められているものを例示することができる。これらは、長期信頼性の高い電子回路基板材料として有用である。   As the film-like high-adhesive liquid crystal polymer molded body according to the present invention, a metal layer is laminated and the adhesion of a non-laminate surface to be adhered is increased, a circuit is formed, and An example in which the adherence of the adherend other than the circuit is enhanced can be exemplified. These are useful as electronic circuit board materials with high long-term reliability.

本発明に係る高接着性液晶ポリマー成形体の製造方法は、
上記高接着性液晶ポリマー成形体を製造する方法であって、
酸化性気体雰囲気中、出力:0.6W/cm2以下で且つ圧力:0.1Torr以上の条件で液晶ポリマー成形体の少なくとも被接着部位にプラズマ照射して表面処理する工程を含むことを特徴とする。
The method for producing a highly adhesive liquid crystal polymer molded product according to the present invention is as follows.
A method for producing the highly adhesive liquid crystal polymer molded body,
Characterized in that it includes a step of performing surface treatment by irradiating at least an adherend part of the liquid crystal polymer molded body with plasma under conditions of an output of 0.6 W / cm 2 or less and a pressure of 0.1 Torr or more in an oxidizing gas atmosphere. To do.

上記製造方法においては、リアクティブイオンエッチングモードでプラズマ照射することが好ましい。プラズマ処理ではダイレクトプラズマモードが一般的であるが、リアクティブイオンエッチングモードによれば、ポリマー成形体をより適度に表面改質することができ、接着面における耐久性をより一層向上させることができる。   In the above manufacturing method, it is preferable to perform plasma irradiation in a reactive ion etching mode. Direct plasma mode is common in plasma treatment, but according to reactive ion etching mode, the polymer molded body can be surface-modified more appropriately, and durability on the adhesion surface can be further improved. .

本発明の高接着性液晶ポリマー成形体は、被接着部位における初期接着性のみならず、長期にわたる接着性にも優れ、長期信頼性が高い。よって、本発明の高接着性液晶ポリマー成形体は、その上に金属層や回路を形成して積層板とするなど、例えば耐久性に優れた電子回路基板の絶縁体材料として極めて有用である。また、本発明方法は、本発明の高接着性液晶ポリマー成形体を製造できるものとして産業上極めて有用である。   The highly adhesive liquid crystal polymer molded product of the present invention is excellent not only in the initial adhesiveness at the adherend site but also in the long-term adhesiveness and high in long-term reliability. Therefore, the highly adhesive liquid crystal polymer molded body of the present invention is extremely useful as an insulator material for an electronic circuit board having excellent durability, for example, by forming a metal layer or a circuit thereon to form a laminate. Moreover, the method of the present invention is extremely useful industrially as being capable of producing the highly adhesive liquid crystal polymer molded body of the present invention.

本発明の高接着性液晶ポリマー成形体は、
その被接着部位の表面部のX線光電子分光分析結果において、C(Is)ピーク強度に占める[−C−O−結合]と[−COO−結合]とのピーク強度の和が21%以上で、かつピーク強度の比[−C−O−結合]/[−COO−結合]が1.5以下であることを特徴とする。
The highly adhesive liquid crystal polymer molded product of the present invention is
In the result of X-ray photoelectron spectroscopy analysis of the surface portion of the adherend site, the sum of the peak intensities of [—C—O— bond] and [—COO— bond] in the C (Is) peak intensity is 21% or more. The ratio of peak intensity [—C—O— bond] / [— COO— bond] is 1.5 or less.

本発明の高接着性液晶ポリマー成形体は、液晶ポリマーからなる。液晶ポリマーは、耐熱性などに優れる熱可塑性樹脂である上に、誘電特性にも優れることから、電子回路基板の絶縁体材料として特に有用である。液晶ポリマーの種類は特に制限されないが、例えば、溶融状態で液晶性を示すサーモトロピック液晶ポリマーを例示することができる。本発明ではサーモトロピック液晶ポリマーが好適であり、より具体的には、サーモトロピック液晶ポリエステルやサーモトロピック液晶ポリエステルアミドが好ましい。   The highly adhesive liquid crystal polymer molding of the present invention comprises a liquid crystal polymer. The liquid crystal polymer is particularly useful as an insulator material for an electronic circuit board because it is a thermoplastic resin having excellent heat resistance and also has excellent dielectric properties. The type of the liquid crystal polymer is not particularly limited, and examples thereof include a thermotropic liquid crystal polymer that exhibits liquid crystallinity in a molten state. In the present invention, a thermotropic liquid crystal polymer is preferable, and more specifically, a thermotropic liquid crystal polyester or a thermotropic liquid crystal polyester amide is preferable.

サーモトロピック液晶ポリエステル(以下、単に「液晶ポリエステル」という)とは、例えば、芳香族ジカルボン酸と芳香族ジオールや芳香族ヒドロキシカルボン酸などのモノマーを主体として合成される芳香族ポリエステルであって、溶融時に液晶性を示すものである。その代表的なものとしては、パラヒドロキシ安息香酸(PHB)と、テレフタル酸と、4,4’−ビフェノールから合成されるI型[下式(1)]、PHBと2,6−ヒドロキシナフトエ酸から合成されるII型[下式(2)]、PHBと、テレフタル酸と、エチレングリコールから合成されるIII型[下式(3)]が挙げられる。   Thermotropic liquid crystal polyester (hereinafter simply referred to as “liquid crystal polyester”) is, for example, an aromatic polyester synthesized mainly from aromatic dicarboxylic acid and monomers such as aromatic diol and aromatic hydroxycarboxylic acid. Sometimes it exhibits liquid crystallinity. Typical examples thereof include type I [Formula (1)] synthesized from parahydroxybenzoic acid (PHB), terephthalic acid, and 4,4′-biphenol, PHB and 2,6-hydroxynaphthoic acid. Type II [Formula (2)] synthesized from the above, Type III [Formula (3)] synthesized from PHB, terephthalic acid, and ethylene glycol.

Figure 2007302740
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本発明に係る液晶ポリマーとしては、液晶性(特にサーモトロピック液晶性)を示し且つ本発明の目的を達成し得るものであれば、例えば、上記(1)〜(3)式に示すユニットを主体(例えば、液晶ポリマーの全構成ユニット中、50モル%以上)とし、他のユニットも有する共重合タイプのポリマーであってもよい。他のユニットとしては、例えば、エーテル結合を有するユニット、イミド結合を有するユニット、アミド結合を有するユニットなどが挙げられる。   Examples of the liquid crystal polymer according to the present invention include units represented by the above formulas (1) to (3), as long as they exhibit liquid crystallinity (particularly thermotropic liquid crystallinity) and can achieve the object of the present invention. It may be a copolymer type polymer (for example, 50 mol% or more in all constituent units of the liquid crystal polymer) and also having other units. Examples of the other unit include a unit having an ether bond, a unit having an imide bond, and a unit having an amide bond.

また、液晶ポリエステルアミドとしては、他のユニットとしてアミド結合を有する上記液晶ポリエステルが該当し、例えば、下式(4)の構造を有するものが挙げられる。例えば、式(4)中、sのユニット、tのユニットおよびuのユニットのモル比が、70/15/15のものが知られている。   Moreover, as liquid crystal polyester amide, the said liquid crystal polyester which has an amide bond as another unit corresponds, for example, what has a structure of the following Formula (4) is mentioned. For example, in the formula (4), the molar ratio of the unit of s, the unit of t, and the unit of u is 70/15/15.

Figure 2007302740
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本発明で用いる液晶ポリマーは、誘電特性などの特性を過剰に貶めない範囲で液晶ポリマー以外のポリマーを含んでもよい。当該ポリマーは、液晶ポリマーと単に混合されているのみであっても、化学結合していてもよい。この様なアロイ用ポリマーとしては、例えば、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルホン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリアリレートなどが挙げられるが、これらに限定される訳ではない。液晶ポリマーと上記アロイ用ポリマーの混合割合は特に制限されないが、例えば、質量比で50:50〜95:5であることが好ましく、70:30〜90:10であることがより好ましい。液晶ポリマーを含むポリマーアロイも、液晶ポリマーによる優れた特性を保有し得る。   The liquid crystal polymer used in the present invention may contain a polymer other than the liquid crystal polymer as long as characteristics such as dielectric properties are not excessively given up. The polymer may be simply mixed with a liquid crystal polymer or may be chemically bonded. Examples of such an alloy polymer include, but are not limited to, polyetheretherketone, polyethersulfone, polyimide, polyetherimide, polyamide, polyamideimide, polyarylate, and the like. The mixing ratio of the liquid crystal polymer and the alloy polymer is not particularly limited. For example, the mass ratio is preferably 50:50 to 95: 5, and more preferably 70:30 to 90:10. A polymer alloy containing a liquid crystal polymer can also have excellent properties due to the liquid crystal polymer.

本発明の液晶ポリマーとしては、その融点が280〜360℃程度のものが好適である。280℃程度以上であれば、半田リフローの熱にも十分に耐えることができ、また、360℃以下であれば、押出成形も十分に可能である。   The liquid crystal polymer of the present invention preferably has a melting point of about 280 to 360 ° C. If it is about 280 ° C. or higher, it can sufficiently withstand the heat of solder reflow, and if it is 360 ° C. or lower, extrusion molding is also possible.

本発明の成形体がフィルムやシートである場合、その分子配向は2軸配向が好ましく、そのMD/TDの強度比が1/3〜3/1の間にあるものが好ましく、1/2〜2/1の間にあるものがより好ましい。強度比が当該範囲であれば、その線膨張係数(CTE)の異方性も適度であり、加工性や信頼性も十分確保することができる。また、その厚さは10〜750μm、好ましくは25〜500μmである。   When the molded body of the present invention is a film or sheet, the molecular orientation is preferably biaxial orientation, and the MD / TD strength ratio is preferably between 1/3 and 3/1, Those between 2/1 are more preferred. When the intensity ratio is in the range, the anisotropy of the linear expansion coefficient (CTE) is also appropriate, and the workability and reliability can be sufficiently secured. Moreover, the thickness is 10-750 micrometers, Preferably it is 25-500 micrometers.

本発明の液晶ポリマー成形体の形状は特に制限されず、例えば、フィルム、シート、繊維、不織布などの形状をとることができる。これらの中では、フィルムが好適である。その表面に金属層や回路を形成し、それぞれ液晶ポリマー積層体や液晶ポリマー回路基板として利用できるからである。   The shape of the liquid crystal polymer molded body of the present invention is not particularly limited, and can be, for example, a film, a sheet, a fiber, a nonwoven fabric, or the like. Among these, a film is preferable. This is because a metal layer or a circuit is formed on the surface and can be used as a liquid crystal polymer laminate or a liquid crystal polymer circuit board, respectively.

本発明の液晶ポリマー成形体は、その被接着部位の表面部のX線光電子分光分析結果において、C(Is)ピーク強度に占める[−C−O−結合]と[−COO−結合]とのピーク強度の和が21%以上で、かつピーク強度の比[−C−O−結合]/[−COO−結合]が1.5以下であることを特徴とする。   The liquid crystal polymer molded product of the present invention has [-C—O— bond] and [—COO— bond] in the C (Is) peak intensity in the X-ray photoelectron spectroscopic analysis result of the surface portion of the adherend site. The sum of peak intensities is 21% or more, and the ratio of peak intensities [—C—O—bond] / [— COO—bond] is 1.5 or less.

X線光電子分光分析は、試料表面にX線を照射することにより原子の内殻電子を励起し、それにより放出された光電子の運動エネルギーを検出することによって、試料表面に存在する元素の同定や化学結合状態の分析を行なうものである。このX線光電子分光分析におけるC(Is)は、試料表面に存在する炭素原子由来の光電子により得られるピークである。このピークの中には、さらにその炭素原子の結合状態に依存する様々なピークが含まれており、その各ピークの位置は結合状態により決まる。例えば、各結合状態のピーク位置としては、[−CH−結合]:285eV、[−C−O−結合]:286.6eV、[−C−N−結合]:285.7eV、[−C=O結合]:287.7eV、[−COO−結合]:289.4eV、[−OCOO−結合]:290eV、[π−π*サテライトピーク]:291.9eVとなり、装置に取り付けられている波形分離機構により、それぞれのピークに分離することができる。 In X-ray photoelectron spectroscopy, the inner surface electrons of an atom are excited by irradiating the sample surface with X-rays, and the kinetic energy of the photoelectrons emitted thereby is detected. The chemical bond state is analyzed. C (Is) in this X-ray photoelectron spectroscopic analysis is a peak obtained by photoelectrons derived from carbon atoms present on the sample surface. This peak further includes various peaks depending on the bonding state of the carbon atom, and the position of each peak is determined by the bonding state. For example, the peak position of each bonding state includes [—CH— bond]: 285 eV, [—C—O— bond]: 286.6 eV, [—C—N— bond]: 285.7 eV, [—C = O bond]: 287.7 eV, [—COO—bond]: 289.4 eV, [—OCOO—bond]: 290 eV, [π-π * satellite peak]: 291.9 eV, and waveform separation attached to the apparatus The mechanism can separate each peak.

本発明では、液晶ポリマー成形体において、将来、接着部位となるべき表面についてX線光電子分光分析してC(Is)ピークのデータを得、C(Is)ピーク強度に占める[−C−O−結合]と[−COO−結合]のピーク強度の割合を求める。   In the present invention, in the liquid crystal polymer molded body, X-ray photoelectron spectroscopic analysis is performed on the surface to be an adhesion site in the future to obtain C (Is) peak data, which occupies the C (Is) peak intensity [-C-O- The ratio of the peak intensity of [bond] and [—COO-bond] is obtained.

これら[−C−O−結合]と[−COO−結合]とのピーク強度は、接着性に深く関係するものとして本発明者らが見出したものである。即ち、酸化性気体雰囲気中で液晶ポリマーの表面へプラズマを照射して処理すると、一般的にはエステル結合が開裂し、生じたラジカル部位へは水酸基が導入されると考えられる。この水酸基は反応性に富み接着性に寄与するため、表面における[−C−O−結合]の割合が高ければ接着性は向上する。ところが、本発明者らが見出した知見によれば、過剰に強い条件や低圧力下でプラズマ照射すると、初期接着性は向上し得るものの長期にわたる接着性が低下し、製品の長期信頼性が損なわれてしまう。その原因は必ずしも明らかではないが、過剰に強い条件や低圧力によるプラズマ照射では、エステル基の開裂などにより生じたカルボキシル基が二酸化炭素として脱離してしまうことが一因であると考えられる。従って本発明者らは、特に長期にわたる接着性の維持、即ち長期信頼性のためには、水酸基よりもカルボキシル基の発生を促進し、その割合を保ちつつ反応性基を増加させるのがよいことを見出した。その点をさらに考慮して、本発明では特に重要な指標として、C(Is)ピーク強度に占める[−C−O−結合]と[−COO−結合]とのピーク強度の和が21%以上であることと、ピーク強度の比[−C−O−結合]/[−COO−結合]が1.5以下であることを規定した。   The peak intensity of these [—C—O— bonds] and [—COO— bonds] has been found by the present inventors as being deeply related to adhesiveness. That is, when the surface of the liquid crystal polymer is irradiated with plasma in an oxidizing gas atmosphere, the ester bond is generally cleaved and a hydroxyl group is introduced into the generated radical site. Since this hydroxyl group is rich in reactivity and contributes to adhesiveness, the adhesiveness is improved if the ratio of [—C—O— bond] on the surface is high. However, according to the knowledge found by the present inventors, when plasma irradiation is performed under excessively strong conditions or low pressure, the initial adhesiveness can be improved, but the long-term adhesiveness is lowered, and the long-term reliability of the product is impaired. It will be. The cause is not necessarily clear, but it is considered that the plasma irradiation under excessively strong conditions or low pressure causes a carboxyl group generated by cleavage of the ester group to be eliminated as carbon dioxide. Therefore, the present inventors should promote the generation of carboxyl groups rather than hydroxyl groups and increase the number of reactive groups while maintaining the ratio, particularly for maintaining adhesion over a long period of time, that is, for long-term reliability. I found. Considering this point further, as a particularly important index in the present invention, the sum of the peak intensity of [—C—O— bond] and [—COO— bond] in the C (Is) peak intensity is 21% or more. And that the ratio of peak intensity [—C—O— bond] / [— COO— bond] is 1.5 or less.

より具体的には、X線光電子分光分析装置によっては、測定と同時に各ピークの面積も得られる。本発明では、C(Is)、[−C−O−結合]、および[−COO−結合]のピーク強度として、その面積を採用すればよい。   More specifically, depending on the X-ray photoelectron spectrometer, the area of each peak can be obtained simultaneously with the measurement. In the present invention, the area may be adopted as the peak intensity of C (Is), [—C—O— bond], and [—COO— bond].

本発明の規定のうち、C(Is)ピーク強度に占める[−C−O−結合]と[−COO−結合]とのピーク強度の和が21%以上であれば、液晶ポリマー成形体の被接着部位の表面において液晶ポリマー分子の切断が適度に進行し、当該表面の反応性が上がり、結果として主に初期の接着性を向上させることができる。また、ピーク強度の比:[−C−O−結合]/[−COO−結合]が1.5以下であれば、長期にわたって接着性を維持することができ、製品の長期信頼性を高められる。   Among the provisions of the present invention, if the sum of the peak intensities of [—C—O— bond] and [—COO— bond] occupying the C (Is) peak intensity is 21% or more, the liquid crystal polymer molded article is covered. The cutting of the liquid crystal polymer molecules appropriately proceeds on the surface of the adhesion site, and the reactivity of the surface is increased. As a result, the initial adhesion can be mainly improved. Further, if the ratio of peak intensity: [—C—O—bond] / [— COO—bond] is 1.5 or less, the adhesiveness can be maintained over a long period of time, and the long-term reliability of the product can be improved. .

本発明において、長期にわたる接着性の維持、即ち長期信頼性とは、例えば本発明の成形体が電子機器用回路基板等の材料として使用された場合、長期間使用されても強度劣化が少なく、寿命が長いことをいう。例えば、接着に関する長期信頼性は、長期信頼性試験であるPCT(プレッシャークッカーテスト)後の接着強度保持率により確認することができる。ここでのPCTとは、例えば121℃、100%RH、2気圧の条件下に試料を放置後、接着強度の劣化を確認する加速試験である。例えば、PCT後、初期からの接着強度保持率が50%になる時間を比較することで、実際に使用される常態下での長期信頼性を比較できる。   In the present invention, maintenance of adhesion over a long period of time, that is, long-term reliability is, for example, when the molded body of the present invention is used as a material for a circuit board for electronic equipment, etc. It means a long life. For example, long-term reliability related to adhesion can be confirmed by adhesion strength retention after PCT (pressure cooker test), which is a long-term reliability test. The PCT here is an accelerated test for confirming the deterioration of the adhesive strength after leaving the sample under the conditions of 121 ° C., 100% RH, and 2 atm, for example. For example, after PCT, the long-term reliability under normal conditions that are actually used can be compared by comparing the time when the adhesive strength retention rate from the initial stage becomes 50%.

実際に製品が使用される常態下では、2年以上の寿命があることが好ましい。ここで、使用温度が10℃上昇すると寿命が1/2になるといわれている。従って、上記条件によるPCT後において、接着強度保持率50%になる時間が18時間以上であれば、常温における製品寿命は2年以上に相当するということができ、長期信頼性は高いと判断できる。   Under normal conditions in which the product is actually used, it is preferable that the product has a lifetime of 2 years or longer. Here, it is said that when the operating temperature rises by 10 ° C., the lifetime is halved. Therefore, after the PCT under the above conditions, if the time for which the adhesive strength retention rate is 50% is 18 hours or more, it can be said that the product life at room temperature is equivalent to 2 years or more, and the long-term reliability is high. .

X線光電子分光分析の条件としては一般的なものを採用でき、特に制限はないが、例えば照射X線としてはAlKαを用いることができる。また、ピーク分離方法について、ピーク形状を決定する分布関数は、ガウス関数とローレンツ関数の混合にし、各ピークの半値幅を出来るだけ一定にすることが好ましい。 The conditions of X-ray photoelectron spectroscopy can be employed general ones, is not particularly limited, can be used AlK alpha as for example X-ray irradiation. Regarding the peak separation method, the distribution function for determining the peak shape is preferably a mixture of a Gaussian function and a Lorentz function, and the half-value width of each peak is preferably made as constant as possible.

なお、本発明の液晶ポリマー成形体において、X線光電子分光分析に関する上記規定は、少なくとも被接着部位で満たされている必要があるが、当然に被接着部位以外の部分でも上記規定が満たされていてもよい。   In the liquid crystal polymer molded body of the present invention, the above-mentioned provision concerning X-ray photoelectron spectroscopic analysis needs to be satisfied at least at the adherend site, but naturally the above-mentioned provision is also fulfilled at portions other than the adherend portion. May be.

本発明の高接着性液晶ポリマー成形体は、その被接着部位における表面部の接着性が高められているため、被接着部位へ他の物質または本発明の液晶ポリマー成形体を接着することができる。例えば、フィルム状の高接着性液晶ポリマー成形体へは、接着剤を介して或いは単に熱圧着するのみで、他のシートやフィルム、回路基板を積層することができる。   Since the highly adhesive liquid crystal polymer molded article of the present invention has enhanced adhesion of the surface portion at the adherend site, other substances or the liquid crystal polymer molded article of the present invention can be adhered to the adherend site. . For example, other sheets, films, and circuit boards can be laminated on the film-like highly adhesive liquid crystal polymer molded body through an adhesive or simply by thermocompression bonding.

本発明の高接着性液晶ポリマー成形体としては、単に液晶ポリマーのみからなる成形体の少なくとも被接着部位がプラズマ処理されており、所定のX線光電子分光分析結果を示すものであってもよいが、金属層や回路が積層或いは形成されているものであってもよい。   As the highly adhesive liquid crystal polymer molded article of the present invention, at least the adherend part of the molded article composed solely of the liquid crystal polymer is plasma-treated, and may exhibit a predetermined X-ray photoelectron spectroscopic analysis result. A metal layer or a circuit may be laminated or formed.

例えば、液晶ポリマーフィルムの片面に銅箔などの金属層が積層されており、他方の面がプラズマ処理されている高接着性液晶ポリマー積層体;液晶ポリマーフィルムの片面に回路が形成されており、他方の面がプラズマ処理されている高接着性液晶ポリマー回路基板;液晶ポリマーフィルムの少なくとも片面に回路が形成されており、少なくとも回路面における回路以外の部分がプラズマ処理されている高接着性液晶ポリマー回路基板などである。   For example, a highly adhesive liquid crystal polymer laminate in which a metal layer such as copper foil is laminated on one side of the liquid crystal polymer film and the other side is plasma-treated; a circuit is formed on one side of the liquid crystal polymer film, High adhesion liquid crystal polymer circuit board whose other surface is plasma-treated; high adhesion liquid crystal polymer in which a circuit is formed on at least one surface of a liquid crystal polymer film and at least a portion other than the circuit on the circuit surface is plasma-treated Circuit board and the like.

上記の積層体と回路基板は、特にエポキシ樹脂などに対する接着性が向上されているため、同様の回路基板材料や他の回路基板材料を積層する場合や、回路面をカバーフィルムで被覆する場合であっても、これらに対して初期接着性のみならず長期の接着性も示し、製品の長期信頼性を高めることができる。   Since the above laminate and circuit board have improved adhesion to epoxy resin, etc., when laminating similar circuit board materials and other circuit board materials, or when covering the circuit surface with a cover film Even if it exists, not only initial adhesiveness but long-term adhesiveness is shown with respect to these, and the long-term reliability of a product can be improved.

また、その形状がフィルムである本発明に係る高接着性液晶ポリマー成形体の被接着部位上へ、金属層を積層することにより液晶ポリマー積層体としてもよい。さらに、当該金属層をエッチングすることにより回路を形成したり、或いは回路を被接着部位へ直接接着する等により回路を形成して、液晶ポリマー回路基板とすることもできる。これら積層体や回路基板は、液晶ポリマーフィルムと金属層または回路との接着性が向上されていることから、信頼性が高いものである。これら積層体と回路は、上記の通り、さらに非積層面や回路面をプラズマ処理してもよい。   Moreover, it is good also as a liquid crystal polymer laminated body by laminating | stacking a metal layer on the to-be-adhered site | part of the highly adhesive liquid crystal polymer molded object which concerns on this invention whose shape is a film. Furthermore, a circuit can be formed by etching the metal layer, or a circuit can be formed by directly adhering the circuit to a part to be bonded, thereby forming a liquid crystal polymer circuit board. These laminates and circuit boards are highly reliable because the adhesion between the liquid crystal polymer film and the metal layer or circuit is improved. As described above, these laminated body and circuit may be further subjected to plasma treatment on the non-laminated surface or the circuit surface.

本発明の高接着性液晶ポリマーフィルムは、酸化性気体雰囲気中、出力:0.6W/cm2以下で且つ圧力:0.1Torr以上の条件で、液晶ポリマーフィルムの少なくとも被接着部位にプラズマを照射することにより製造することができる。 The high-adhesive liquid crystal polymer film of the present invention irradiates plasma to at least the adherend of the liquid crystal polymer film under an oxidizing gas atmosphere under conditions of output: 0.6 W / cm 2 or less and pressure: 0.1 Torr or more. Can be manufactured.

酸化性気体としては、酸素、酸素を含有する気体である空気、一酸化炭素、二酸化炭素などを使用することができる。   As the oxidizing gas, oxygen, air containing oxygen, carbon monoxide, carbon dioxide, or the like can be used.

プラズマ照射は、減圧した後に上記酸化性気体を導入した雰囲気中で、放電平行平板型の一対の電極間に直流から高周波(RF)までの周波数帯で容量結合方式により電力の供給を行なってプラズマ放電を発生させ、これを液晶ポリマー成形体表面に照射することにより実施する。   Plasma irradiation is performed by supplying power by a capacitive coupling method in a frequency band from direct current to high frequency (RF) between a pair of discharge parallel plate electrodes in an atmosphere in which the oxidizing gas is introduced after decompression. This is carried out by generating a discharge and irradiating the surface of the liquid crystal polymer molded body.

プラズマ照射処理における出力は、0.6W/cm2以下が好ましく、0.3W/cm2以下がより好ましい。0.6W/cm2以下であれば、成形体表面の反応性、即ち接着性を向上させつつ、過剰な液晶ポリマー分子の切断等を伴わないため、長期にわたる接着性をも向上させることができる。具体的には、X線光電子分光分析において、[−C−O−結合]と[−COO−結合]とのピーク強度を高めつつ、ピーク強度の比[−C−O−結合]/[−COO−結合]を適度に抑制できる。一方、出力が0.05W/cm2以上であれば、成形体表面の反応性を十分に高めることができるため、好ましくは0.05W/cm2以上でプラズマ照射を行なう。 Output of plasma irradiation treatment is preferably 0.6 W / cm 2 or less, 0.3 W / cm 2 or less being more preferred. If it is 0.6 W / cm 2 or less, the reactivity of the molded body surface, that is, the adhesiveness is improved, and it does not involve excessive cutting of the liquid crystal polymer molecules, so that the adhesiveness over a long period can be improved. . Specifically, in the X-ray photoelectron spectroscopic analysis, the peak intensity ratio [—C—O— bond] / [−] is increased while increasing the peak intensity between [—C—O— bond] and [—COO— bond]. COO-bond] can be moderately suppressed. On the other hand, if the output is 0.05 W / cm 2 or more, the reactivity of the surface of the molded body can be sufficiently increased. Therefore, the plasma irradiation is preferably performed at 0.05 W / cm 2 or more.

装置内圧力は、0.1Torr以上(約13.3Pa以上)の範囲が好ましい。装置内圧力が0.1Torr以上であれば、プラズマ照射によるエステル基の開裂により生じたカルボキシル基の脱離反応を適度に抑制でき、結果として長期にわたる接着性を保持できるからである。一方、圧力が高過ぎるとプラズマ照射による表面改質効果が十分に得られず、十分な初期接着強度が得られないおそれがあるため、好適には5Torr以下(約667Pa以下)とする。   The pressure in the apparatus is preferably in the range of 0.1 Torr or more (about 13.3 Pa or more). This is because if the pressure in the apparatus is 0.1 Torr or more, the elimination reaction of the carboxyl group caused by the cleavage of the ester group by plasma irradiation can be moderately suppressed, and as a result, long-term adhesion can be maintained. On the other hand, if the pressure is too high, the surface modification effect by plasma irradiation cannot be sufficiently obtained, and sufficient initial adhesive strength may not be obtained. Therefore, the pressure is preferably 5 Torr or less (about 667 Pa or less).

プラズマ照射の処理モードには、ダイレクトプラズマ(DP)とリアクティブイオンエッチング(RIE)とがある。ダイレクトプラズマは、アース側にサンプルを設置する方式であり、ラジカルが試料全体へ満遍なく作用できるという利点があることから、一般的なプラズマ処理ではこちらが用いられる。リアクティブイオンエッチングは、ダイレクトプラズマとは逆にRF電極側に試料を設置する方式であり、イオンが加速されつつ試料に作用する。本発明では、初期の接着性のみならず長期の接着性をもより一層向上できたという実験的な観点から、リアクティブイオンエッチングモードをより好適に用いる。   The plasma irradiation processing mode includes direct plasma (DP) and reactive ion etching (RIE). Direct plasma is a system in which a sample is placed on the ground side, and this has the advantage that radicals can act on the entire sample evenly, so this is used in general plasma processing. Reactive ion etching is a method in which a sample is placed on the RF electrode side as opposed to direct plasma, and ions act on the sample while being accelerated. In the present invention, the reactive ion etching mode is more preferably used from the experimental viewpoint that not only the initial adhesiveness but also the long-term adhesiveness can be further improved.

プラズマ照射におけるその他の条件は、適宜調節すればよい。例えば、処理時間は、10〜600秒間程度が好ましい。10秒間以上であれば、十分に液晶ポリマー成形体の表面改質効果が得られる。一方、プラズマ照射による表面改質効果は、主に出力や圧力に依存し、経時的に効果が高くなるというものではないため、好適には600秒間以下とする。   Other conditions in the plasma irradiation may be adjusted as appropriate. For example, the processing time is preferably about 10 to 600 seconds. If it is 10 seconds or more, the surface modification effect of the liquid crystal polymer molded product can be sufficiently obtained. On the other hand, the surface modification effect by plasma irradiation mainly depends on the output and pressure and does not increase with time, so it is preferably 600 seconds or less.

その他、本発明では、バッチ式の平行平板電極に限らず、フィルムの巻だし、巻き取りが真空槽内部もしくは、外部に設置してあるプラズマ連続処理装置を使用することも可能であり、プラズマ装置の種類は特に限定されるものではない。   In addition, the present invention is not limited to batch-type parallel plate electrodes, and it is also possible to use a plasma continuous processing apparatus in which film winding and winding are installed inside or outside the vacuum chamber. The type of is not particularly limited.

また、本発明では、将来的にカバーフィルムやガラス/エポキシ材等、或いは金属層や回路を積層することを考慮して、直ぐに他物質を接着すべき被接着部位以外の部分にも、上記プラズマ照射処理を行なってもよいものとする。   Further, in the present invention, in consideration of the future lamination of a cover film, a glass / epoxy material, or a metal layer or a circuit, the plasma is also applied to a portion other than the adherend site to which another substance should be bonded immediately. An irradiation process may be performed.

本発明でプラズマ照射を行なうべき成形体の表面とは、フィルムの表面から約50〜100Åの深さまでを意味するものとする。   In the present invention, the surface of the molded body to be subjected to plasma irradiation means a depth of about 50 to 100 mm from the surface of the film.

本発明に係る高接着性液晶ポリマーフィルムの被接着部位、或いは単なる液晶ポリマーフィルムへは、金属層や回路等を形成することができる。なお、本発明では、単なる液晶ポリマーフィルムへ金属層や回路等を形成した場合、さらにプラズマ照射処理する。   A metal layer, a circuit, or the like can be formed on the adherend portion of the highly adhesive liquid crystal polymer film according to the present invention or a simple liquid crystal polymer film. In the present invention, when a metal layer, a circuit, or the like is formed on a simple liquid crystal polymer film, plasma irradiation treatment is further performed.

金属層や回路の形成は、以下の方法により製造することができる。   Formation of a metal layer and a circuit can be manufactured by the following method.

(1)熱融着法
この方法は、金属箔とフィルムとを熱融着することにより積層体を得る方法である。金属箔としては、各種の金属のもの、例えば、銅箔、アルミ箔、金箔等が挙げられる。その厚さは、通常0.01〜200μm、好ましくは0.1〜50μmである。
(1) Thermal fusion method This method is a method of obtaining a laminate by thermally fusing a metal foil and a film. Examples of the metal foil include various metals such as copper foil, aluminum foil, and gold foil. The thickness is usually 0.01 to 200 μm, preferably 0.1 to 50 μm.

熱融着は、一般的な熱プレスや加熱ロールプレス、ダブルベルトプレス等の方法により行うことができる。熱融着する際の加工条件は、金属薄の種類や厚み、液晶ポリマーフィルムの融点や厚み等の条件から適宜選択すればよいが、一般的に温度は180〜400℃、圧力は0.3〜10MPaの範囲である。   The heat fusion can be performed by a general method such as a hot press, a heated roll press, or a double belt press. The processing conditions at the time of heat-sealing may be appropriately selected from conditions such as the type and thickness of the metal thin film and the melting point and thickness of the liquid crystal polymer film. Generally, the temperature is 180 to 400 ° C., and the pressure is 0.3. It is in the range of -10 MPa.

(2)スパッタリング法または蒸着法
この方法は、電子回路基板や光学材料製造の分野では公知の方法であり、金属をフィルム上にスパッタリングまたは蒸着することにより積層体を得る方法である。スパッタリング用または蒸着用の金属としては、例えば、銅、アルミニウム、金、すず、クロム等が挙げられる。
(2) Sputtering method or vapor deposition method This method is a well-known method in the field of electronic circuit board and optical material production, and is a method of obtaining a laminated body by sputtering or vapor-depositing a metal on a film. Examples of the metal for sputtering or vapor deposition include copper, aluminum, gold, tin, and chromium.

(3)無電解メッキ法
この方法は、プラスチックやセラミック等の非導電性材料を用いためっき製品の製造分野で公知の方法であり、金属イオンを含む溶液からフィルム上に金属を析出させることにより積層体を得る方法である。金属としては、銅、ニッケル、コバルト、金、すず、クロム等が挙げられる。
(3) Electroless plating method This method is a well-known method in the field of production of plated products using non-conductive materials such as plastics and ceramics, by depositing metal on a film from a solution containing metal ions. This is a method for obtaining a laminate. Examples of the metal include copper, nickel, cobalt, gold, tin, and chromium.

(4)接着剤を用いる方法
この方法は、フィルムと金属フィルムとを接着剤を用いて接着することにより積層体を得る方法である。接着剤としては、エポキシ系、アクリル系、シアネート系等の各種のものを用いることができる。前記フィルム/金属層積層体において、そのフィルムの厚さは10〜500μm、好ましくは25〜200μmである。金属層の厚さは0.01〜200μm、好ましくは0.1〜50μmである。
(4) Method using an adhesive This method is a method of obtaining a laminate by adhering a film and a metal film using an adhesive. Various adhesives such as epoxy, acrylic, and cyanate can be used as the adhesive. In the film / metal layer laminate, the thickness of the film is 10 to 500 μm, preferably 25 to 200 μm. The thickness of the metal layer is 0.01 to 200 μm, preferably 0.1 to 50 μm.

フィルム状の液晶ポリマー成形体を回路基板とする場合、上記液晶ポリマー積層体の金属層をエッチングして回路とすることができる。この場合、積層すべき金属としては、銅、アルミニウム、金、すず、クロム等が好ましく用いられる。フィルムの厚さは10〜200μm、好ましくは25〜125μmであり、金属層の厚さは3〜100μm、好ましくは5〜50μmである。   When a film-like liquid crystal polymer molded body is used as a circuit board, a circuit can be obtained by etching the metal layer of the liquid crystal polymer laminate. In this case, copper, aluminum, gold, tin, chromium or the like is preferably used as the metal to be laminated. The thickness of the film is 10 to 200 μm, preferably 25 to 125 μm, and the thickness of the metal layer is 3 to 100 μm, preferably 5 to 50 μm.

本発明に係る高接着性液晶ポリマーは、金属層、接着剤、エポキシ樹脂等を含浸させたガラスクロス、他の回路基板などに対する初期接着性のみならず、長期にわたる接着性、即ち長期信頼性に優れている。よって本発明は、結果として電子機器などの製品寿命を顕著に延長することができるものとして非常に利用価値が高い。   The highly adhesive liquid crystal polymer according to the present invention has not only initial adhesiveness to glass layers and other circuit boards impregnated with metal layers, adhesives, epoxy resins, etc., but also long-term adhesiveness, that is, long-term reliability. Are better. Therefore, as a result, the present invention has a very high utility value as a product that can significantly extend the product life of electronic devices and the like.

以下、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明はもとより下記実施例により制限を受けるものではなく、前・後記の趣旨に適合し得る範囲で適当に変更を加えて実施することも可能であり、それらはいずれも本発明の技術的範囲に含まれる。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited by the following examples, but may be appropriately modified within a range that can meet the purpose described above and below. It is also possible to implement, and they are all included in the technical scope of the present invention.

実施例1、2および比較例1〜3
液晶ポリマーフィルム(ジャパンゴアテックス社製、製品名「STABIAX ST175」、100mm×100mm×厚さ175μm)を、平行平板電極型のプラズマ装置1(電極形状:直径120mmの丸形、電極間距離:50mm、チャンバー容積:10.6L)の平行電極間に固定し、真空ポンプにて0.06Torr(約8.0Pa)以下まで減圧した。表1に示したガスを装置内に導入して、ガス流量を調節して、表1に示した圧力に設定した。次いで、電極間に13.56MHzの高周波電圧を印加して、処理モードRIEにてプラズマを発生させて、フィルム表面のプラズマ処理を行った。プラズマ処理の条件は、圧力0.15Torr(約20.0Pa)で、出力と処理時間は表1に示した。なお、未処理の液晶ポリマーフィルムを比較例1とし、また、表中の下線は本発明の規定範囲外であることを示す。
Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 3
A liquid crystal polymer film (Japan Gore-Tex, product name “STABIAX ST175”, 100 mm × 100 mm × thickness 175 μm) is applied to a parallel plate electrode type plasma apparatus 1 (electrode shape: round shape with a diameter of 120 mm, distance between electrodes: 50 mm) The chamber volume was fixed between 10.6 L), and the pressure was reduced to 0.06 Torr (about 8.0 Pa) or less with a vacuum pump. The gas shown in Table 1 was introduced into the apparatus, the gas flow rate was adjusted, and the pressure shown in Table 1 was set. Next, a high-frequency voltage of 13.56 MHz was applied between the electrodes, plasma was generated in the processing mode RIE, and the plasma treatment of the film surface was performed. The plasma treatment conditions were a pressure of 0.15 Torr (about 20.0 Pa), and the output and treatment time are shown in Table 1. In addition, an untreated liquid crystal polymer film is used as Comparative Example 1, and the underline in the table indicates that it is outside the specified range of the present invention.

実施例3〜5および比較例4〜6
液晶ポリマーフィルム(ジャパンゴアテックス社製、製品名「STABIAX ST175」、250mm×250mm×厚さ175μm)を、平行平板電極型のプラズマ装置(サムコ社製、プラズマドライクリーナー Model PX−1000、電極形状:幅350mm×長さ428mmの長方形、電極間距離:40mm、チャンバー容積:129L)の平行電極間に固定し、真空ポンプにて0.02Torr(約2.7Pa)以下まで減圧した。表1に示したガスを装置内に導入して、ガス流量を調節して表1に示した圧力に設定した。次いで、電極間に13.56MHzの高周波電圧を印加して、表1に示した処理モードにてプラズマを発生させて、フィルム表面のプラズマ処理を行った。プラズマ処理の条件は、出力0.3W/cm2で、処理時間60秒とした。
Examples 3-5 and Comparative Examples 4-6
A liquid crystal polymer film (Japan Gore-Tex, product name “STABIAX ST175”, 250 mm × 250 mm × thickness 175 μm) is a parallel plate electrode type plasma device (Samco, plasma dry cleaner Model PX-1000, electrode shape: The electrode was fixed between parallel electrodes having a width of 350 mm × length of 428 mm, a distance between electrodes: 40 mm, and a chamber volume: 129 L), and the pressure was reduced to 0.02 Torr (about 2.7 Pa) or less by a vacuum pump. The gas shown in Table 1 was introduced into the apparatus, the gas flow rate was adjusted, and the pressure shown in Table 1 was set. Next, a high frequency voltage of 13.56 MHz was applied between the electrodes, plasma was generated in the processing modes shown in Table 1, and plasma treatment of the film surface was performed. Conditions of the plasma treatment, an output 0.3 W / cm 2, and a processing time of 60 seconds.

Figure 2007302740
Figure 2007302740

試験例1 X線光電子分光分析
上記実施例および比較例で作製した各液晶ポリマーフィルムのプラズマ処理表面について、[−C−O−結合]と[−COO−結合]とのピーク強度の和と、ピーク強度の比:[−C−O−結合]/[−COO−結合]を、X線光電子分光分析計(日本電子社製、JPS−90MXS MICRO)を用いて求めた。即ち、各官能基に応じて観察されるC(Is)の各ピークのピーク面積の合計に対する[−C−O−結合]と[−COO−結合]のピーク面積の割合を算出し、上記和と比を求めた。また、照射X線としてはMgKαを用いた。結果を表2に示す。
Test Example 1 X-ray photoelectron spectroscopic analysis For the plasma-treated surface of each liquid crystal polymer film prepared in the above examples and comparative examples, the sum of peak intensities of [—C—O— bonds] and [—COO— bonds]; The ratio of peak intensity: [—C—O— bond] / [— COO— bond] was determined using an X-ray photoelectron spectrometer (JPS-90MXS MICRO, manufactured by JEOL Ltd.). That is, the ratio of the peak area of [—C—O— bond] and [—COO— bond] to the total peak area of each peak of C (Is) observed according to each functional group is calculated, and the above sum is calculated. And the ratio was calculated. Further, with MGK alpha as X-ray irradiation. The results are shown in Table 2.

試験例2 接着強度の測定
上記実施例および比較例で作製した各液晶ポリマーフィルムのプラズマ処理面に、エポキシ系接着剤(ニッカン工業社製、NIKAFLEX SAF)を厚さ40μmで塗布し、次いで電解銅箔(古河サーキットフォイル社製、GTS−STD−35、厚さ35μm)を重ねた上で、160℃、4MPaの条件で40分間熱プレスし、これを評価用サンプルとした。次に、接着性の長期信頼性評価としてPCT(プレッシャークッカーテスト)を行なった。具体的には、評価用サンプルを121℃、100%RHの条件下で12時間または24時間保持し、その処理前後において評価用サンプルを幅5mm×長さ100mmに打抜き、銅箔/接着剤と各液晶ポリマーフィルムとの界面で剥離させ、引張試験機(東洋精機製、ストログラフE5D)のチャックに銅箔/接着剤とフィルムをそれぞれセットした後、50mm/分の速度で引き剥がす際の強度を求めた。また、PCT処理時間(0、12および24時間)と接着強度の関係から、接着強度が半減する時間を算出した。PCT前の接着強度、24時間のPCT後の接着強度、および接着強度が半減する時間を表2に示す。
Test Example 2 Measurement of Adhesive Strength An epoxy adhesive (NIKAFLEX SAF, manufactured by Nikkan Kogyo Co., Ltd.) was applied to the plasma-treated surface of each liquid crystal polymer film prepared in the above examples and comparative examples, and then electrolytic copper After the foil (Furukawa Circuit Foil, GTS-STD-35, thickness 35 μm) was stacked, it was hot-pressed at 160 ° C. and 4 MPa for 40 minutes to obtain a sample for evaluation. Next, PCT (pressure cooker test) was performed as a long-term reliability evaluation of adhesiveness. Specifically, the evaluation sample is held at 121 ° C. and 100% RH for 12 hours or 24 hours, and the evaluation sample is punched into a width of 5 mm × a length of 100 mm before and after the treatment, and a copper foil / adhesive After peeling at the interface with each liquid crystal polymer film, and setting the copper foil / adhesive and film on the chuck of a tensile tester (Toyo Seiki, Strograph E5D), the strength when peeling at a speed of 50 mm / min. Asked. Moreover, the time for the adhesive strength to be halved was calculated from the relationship between the PCT treatment time (0, 12 and 24 hours) and the adhesive strength. Table 2 shows the adhesive strength before PCT, the adhesive strength after 24 hours of PCT, and the time during which the adhesive strength is halved.

Figure 2007302740
Figure 2007302740

表2の結果の通り、液晶ポリマーフィルムの表面をX線光電子分光分析で測定した際において、C(Is)ピーク強度中の[−C−O−結合]と[−COO−結合]とのピーク強度の和が21%未満である場合(比較例1)、またはピーク強度の比:[−C−O−結合]/[−COO−結合]が1.5を超える場合(比較例2〜6)は、初期の接着強度が比較的高い場合であっても、過酷条件で保持した後における接着強度の低下が大きく、長期使用下における信頼性に欠けることが分かる。より具体的には、PCT後に接着強度保持率が50%になる時間が18時間未満であることから、実際に使用される常態下では、その寿命は2年に満たないと考えられる。   As shown in Table 2, when the surface of the liquid crystal polymer film was measured by X-ray photoelectron spectroscopy, the peaks of [—C—O— bond] and [—COO— bond] in the C (Is) peak intensity were measured. When the sum of the strengths is less than 21% (Comparative Example 1), or when the ratio of peak intensities: [—C—O—bond] / [— COO—bond] exceeds 1.5 (Comparative Examples 2 to 6) ) Shows that even when the initial adhesive strength is relatively high, the adhesive strength is greatly reduced after being held under severe conditions, and the reliability under long-term use is lacking. More specifically, since the time during which the adhesive strength retention rate is 50% after PCT is less than 18 hours, the lifetime is considered to be less than 2 years under normal conditions of actual use.

一方、上記ピーク強度の和が21%以上で、且つ上記ピーク強度の比1.5以下であり、酸化性雰囲気下でプラズマ処理を行なった場合、過酷条件で保持した後でも接着強度の低下が少なく、接着強度の半減時間が18時間を超えており、長期使用下における信頼性が高いことが実証された。   On the other hand, when the sum of the peak intensities is 21% or more and the ratio of the peak intensities is 1.5 or less and the plasma treatment is performed in an oxidizing atmosphere, the adhesive strength is reduced even after being held under severe conditions. Less, the half-time of the adhesive strength exceeds 18 hours, and it was demonstrated that the reliability under long-term use is high.

また、プラズマ処理を処理モード:RIEで行った場合、液晶ポリマーフィルム表面部の粗さが比較的大きく、初期接着強度に優れ、また、過酷条件で保持した後でも接着強度の低下がより一層少ないことが分かった。   In addition, when the plasma treatment is performed in the processing mode: RIE, the roughness of the surface portion of the liquid crystal polymer film is relatively large, the initial adhesive strength is excellent, and the decrease in the adhesive strength is further reduced even after being held under severe conditions. I understood that.

Claims (6)

接着性に優れる液晶ポリマー成形体であって、
その被接着部位の表面部のX線光電子分光分析結果において、C(Is)ピーク強度に占める[−C−O−結合]と[−COO−結合]とのピーク強度の和が21%以上で、かつピーク強度の比[−C−O−結合]/[−COO−結合]が1.5以下であることを特徴とする高接着性液晶ポリマー成形体。
A liquid crystal polymer molded article having excellent adhesiveness,
In the result of X-ray photoelectron spectroscopy analysis of the surface portion of the adherend site, the sum of the peak intensities of [—C—O— bond] and [—COO— bond] in the C (Is) peak intensity is 21% or more. And a ratio of peak intensity [—C—O— bonds] / [— COO— bonds] is 1.5 or less, a highly adhesive liquid crystal polymer molded article.
その形状がフィルムである請求項1に記載の高接着性液晶ポリマー成形体。   The highly adhesive liquid crystal polymer molded product according to claim 1, wherein the shape is a film. 金属層が積層されているものである請求項2に記載の高接着性液晶ポリマー成形体。   The highly adhesive liquid crystal polymer molded article according to claim 2, wherein the metal layer is laminated. 回路が形成されているものである請求項2に記載の高接着性液晶ポリマー成形体。   The highly adhesive liquid crystal polymer molded article according to claim 2, wherein a circuit is formed. 請求項1〜4の何れかに記載の高接着性液晶ポリマー成形体を製造する方法であって、
酸化性気体雰囲気中、出力:0.6W/cm2以下で且つ圧力:0.1Torr以上の条件で液晶ポリマー成形体の少なくとも被接着部位にプラズマ照射して表面処理する工程を含む高接着性液晶ポリマー成形体の製造方法。
A method for producing a highly adhesive liquid crystal polymer molded product according to any one of claims 1 to 4,
A highly adhesive liquid crystal comprising a step of subjecting a liquid crystal polymer molded body to a surface treatment by irradiating with plasma to at least an adherend part under conditions of an output of 0.6 W / cm 2 or less and a pressure of 0.1 Torr or more in an oxidizing gas atmosphere. A method for producing a polymer molded body.
リアクティブイオンエッチングモードでプラズマ照射する請求項5に記載の高接着性液晶ポリマー成形体の製造方法。   The method for producing a highly adhesive liquid crystal polymer molded product according to claim 5, wherein plasma irradiation is performed in a reactive ion etching mode.
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