JP2007296734A - Flexible metal clad laminate excellent in dimensional stability and its manufacturing method - Google Patents

Flexible metal clad laminate excellent in dimensional stability and its manufacturing method Download PDF

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Tomohiro Yamaoka
友洋 山岡
Hiroyuki Tsuji
宏之 辻
Naoki Hase
直樹 長谷
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress a dimensional change when a flexible metal-clad laminate with the dimensional change suppressed during the processing of a printed wiring board, especially even when it is a half mill article, is manufactured by a lamination method and to eliminate a defective appearance such as wrinkles and defective appearance after metal etching. <P>SOLUTION: A film-shaped joining member 5-15 μm in total thickness in which an adhesive layer containing a thermoplastic polyimide is formed on one side or both sides of a polyimide film, when metal foil and an adhesive joining member are laminated by a heat roll lamination device having at least a pair of metal rolls, the tension of a film-shaped lamination member is made 0.1-1 N/cm. Before the metal foil and the adhesive joining member are laminated, an arrow-shaped shaft having at least one rotor is brought into contact to each other. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、寸法安定性に優れるフレキシブル金属張積層板およびその製造方法に関するものであって、特に、ポリイミドフィルムの片面または両面に、熱可塑性ポリイミドを含有する接着層が形成されたフィルム状接合部材と、金属箔とを貼り合わせて得られる寸法安定性に優れるフレキシブル金属張積層板およびその製造方法に関するものである。   The present invention relates to a flexible metal-clad laminate having excellent dimensional stability and a method for producing the same, and in particular, a film-like joining member in which an adhesive layer containing a thermoplastic polyimide is formed on one or both sides of a polyimide film. The present invention relates to a flexible metal-clad laminate having excellent dimensional stability obtained by bonding a metal foil and a method for producing the same.

近年、エレクトロニクス製品の軽量化、小型化、高密度化にともない、各種プリント基板の需要が伸びているが、中でも、フレキシブル積層板(フレキシブルプリント配線板、以下「FPC」ともいう)の需要が特に伸びている。FPCは、絶縁性フィルム上に金属箔からなる回路が形成された構造を有している。   In recent years, the demand for various printed circuit boards has increased with the reduction in weight, size, and density of electronic products. In particular, the demand for flexible laminated boards (hereinafter referred to as “FPC”) is particularly high. It is growing. The FPC has a structure in which a circuit made of a metal foil is formed on an insulating film.

上記FPCは、一般に、各種絶縁材料により形成され、柔軟性を有する絶縁性フィルムを基板とし、この基板の表面に、各種接着材料を介して金属箔を加熱・圧着することにより貼りあわせる方法により製造される。上記絶縁性フィルムとしては、ポリイミドフィルム等が好ましく用いられている。   The FPC is generally made of various insulating materials, and is manufactured by a method in which a flexible insulating film is used as a substrate, and a metal foil is bonded to the surface of the substrate by heating and pressure bonding through various adhesive materials. Is done. A polyimide film or the like is preferably used as the insulating film.

上記接着材料としては、エポキシ系、アクリル系等の熱硬化性接着剤が一般的に用いられている。このような熱硬化性接着剤を用いたFPCは、基板/接着材料/金属箔の三層構造を有しているので、「三層FPC」ともいう。   As the adhesive material, epoxy-based, acrylic-based thermosetting adhesives are generally used. An FPC using such a thermosetting adhesive has a three-layer structure of substrate / adhesive material / metal foil, and is also referred to as “three-layer FPC”.

上記熱硬化性接着剤は、比較的低温での接着が可能であるという利点がある。しかし、今後、FPCに対して、耐熱性、屈曲性、および電気的信頼性といった各種特性に対する要求が厳しくなるに従い、熱硬化性接着剤を用いた三層FPCでは対応が困難になると考えられる。   The thermosetting adhesive has an advantage that it can be bonded at a relatively low temperature. However, as the requirements for various characteristics such as heat resistance, flexibility, and electrical reliability become stricter for FPC in the future, it is considered that the three-layer FPC using a thermosetting adhesive becomes difficult to cope with.

そこで、近年、絶縁性フィルムに直接金属層を設けたり、接着層に熱可塑性ポリイミドを使用したりしたFPCが提案されている。このようなFPCは、絶縁性の基板に直接金属層を形成している状態にあるため、二層FPCとも呼ばれる。この二層FPCは、三層FPCより優れた特性を有し、上記各種特性に対する要求にも十分対応可能であることから、今後需要が伸びていくことが期待される。   Therefore, in recent years, FPCs in which a metal layer is directly provided on an insulating film or a thermoplastic polyimide is used for an adhesive layer have been proposed. Such an FPC is also called a two-layer FPC because a metal layer is directly formed on an insulating substrate. This two-layer FPC has characteristics superior to those of the three-layer FPC and can sufficiently meet the demands for the various characteristics described above, so that demand is expected to increase in the future.

二層FPCに用いるフレキシブル金属張積層板の作製方法としては、例えば、(1)金属箔上に、ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸を流延、または塗布した後、イミド化するキャスト法、(2)スパッタ、またはメッキにより、ポリイミドフィルム上に、直接金属層を設けるメタライジング法、および(3)熱可塑性ポリイミドを介してポリイミドフィルムと金属箔とを貼り合わせるラミネート法が挙げられる。   As a method for producing a flexible metal-clad laminate for use in a two-layer FPC, for example, (1) a casting method in which polyamic acid, which is a polyimide precursor, is cast or applied onto a metal foil and then imidized; 2) A metallizing method in which a metal layer is directly formed on a polyimide film by sputtering or plating, and (3) a laminating method in which a polyimide film and a metal foil are bonded via a thermoplastic polyimide.

この中で、ラミネート法は、対応できる金属箔の厚み範囲がキャスト法よりも広く、装置コストがメタライジング法よりも低いという点で優れている。ラミネートを行う装置としては、ロール状の材料を繰り出しながら連続的にラミネートする熱ロールラミネート装置,またはダブルベルトプレス装置等が用いられている。上記の内、生産性の点から見れば、熱ロールラミネート装置を用いた熱ラミネート法を、より好ましく用いることができる。   Among these, the lamination method is superior in that the thickness range of the metal foil that can be handled is wider than that of the casting method and the apparatus cost is lower than that of the metalizing method. As a laminating apparatus, a hot roll laminating apparatus or a double belt press apparatus that continuously laminates a roll-shaped material is used. Among the above, from the viewpoint of productivity, a thermal laminating method using a hot roll laminating apparatus can be more preferably used.

従来の三層FPCをラミネート法で作製する際、接着層に熱硬化性樹脂を用いていたため、ラミネート温度は200℃未満で行うことが可能であった(特許文献1を参照)。これに対し、二層FPCでは、熱可塑性ポリイミドを接着層として用いるため、熱融着性を発現させるために200℃以上、場合によっては400℃近くの高温を加える必要がある。そのため、ラミネートされて得られたフレキシブル金属張積層板に残留歪みが発生し、エッチングして配線を形成する際、ならびに部品を実装するために半田リフローを行う際に寸法変化となって現れる。   When a conventional three-layer FPC was produced by a laminating method, a thermosetting resin was used for the adhesive layer, so that the laminating temperature could be less than 200 ° C. (see Patent Document 1). On the other hand, in the two-layer FPC, since thermoplastic polyimide is used as the adhesive layer, it is necessary to apply a high temperature of 200 ° C. or higher, and in some cases, close to 400 ° C., in order to exhibit heat-fusibility. Therefore, residual distortion occurs in the flexible metal-clad laminate obtained by laminating, and it appears as a dimensional change when wiring is formed by etching and when solder reflow is performed to mount components.

特にラミネート法の一例として、ポリイミドフィルム上に、熱可塑性ポリイミドを含有する接着層を設ける際に、熱可塑性ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸を流延、または塗布した後に、連続的に加熱してイミド化を行い、金属箔を貼り合わせる方法があるが、この場合連続的に加熱加圧を行うため、材料は張力がかけられた状態で、加熱環境下に置かれることが多い。そのため、MD方向とTD方向とで異なる熱応力が発生する。具体的には、張力のかかるMD方向には引っ張られる力が働き、逆にTD方向には縮む力が働く。その結果、フレキシブル積層板から金属箔をエッチングする際と、半田リフローを通して加熱する際とに、この歪みが解放され、MD方向には収縮し、逆にTD方向には膨張してしまう。この寸法変化は、特に接着フィルムの厚みが薄くなるほど顕著になる。   In particular, as an example of a laminating method, when an adhesive layer containing a thermoplastic polyimide is provided on a polyimide film, the polyamide acid which is a precursor of the thermoplastic polyimide is cast or applied, and then continuously heated. There is a method in which imidization is performed and a metal foil is bonded, but in this case, since heating and pressurization are continuously performed, the material is often placed in a heating environment under tension. Therefore, different thermal stresses are generated in the MD direction and the TD direction. Specifically, a pulling force acts in the MD direction where tension is applied, and conversely, a shrinking force acts in the TD direction. As a result, when the metal foil is etched from the flexible laminate and when heated through solder reflow, this distortion is released and contracts in the MD direction and conversely expands in the TD direction. This dimensional change becomes more remarkable as the thickness of the adhesive film is reduced.

ところで、近年、電子機器の小型化、軽量化を達成するために、基板に設けられる配線は微細化が進んでおり、実装する部品も、小型化、および高密度化されたものが搭載される。そこで、FPCについても、FPCの特長である折り畳み性や耐屈曲性を向上させるために、より厚みが薄い絶縁層を有するフレキシブル金属張積層板の要求が高まっている。   By the way, in recent years, in order to achieve miniaturization and weight reduction of electronic devices, wiring provided on a substrate has been miniaturized, and components to be mounted are mounted with miniaturized and high-density components. . Therefore, for FPC, in order to improve the foldability and bending resistance, which are features of FPC, there is an increasing demand for a flexible metal-clad laminate having a thinner insulating layer.

しかし、上述したように、熱ラミネート法は、寸法変化の影響を受けやすいため、フレキシブル金属張積層板を熱ラミネート法により製造すると、寸法変化が大きい。すなわち、微細な配線を形成した後のフレキシブル金属張積層板の寸法変化が大きく、設計段階での部品搭載位置からずれて、部品と基板とが良好に接続されなくなるという問題が生じる。   However, as described above, since the thermal laminating method is easily affected by dimensional changes, the dimensional change is large when a flexible metal-clad laminate is manufactured by the thermal laminating method. That is, there is a problem that the dimensional change of the flexible metal-clad laminate after forming the fine wiring is large, and the component and the board are not well connected due to deviation from the component mounting position at the design stage.

そこで、ラミネート時に保護フィルムを用いたり、ラミネートに供する前に接着フィルムを予備乾燥する方法によって、寸法変化を抑える試みがなされている(特許文献2または3を参照)。   Therefore, attempts have been made to suppress dimensional changes by using a protective film during laminating or by pre-drying the adhesive film before being used for laminating (see Patent Document 2 or 3).

具体的には、上記特許文献2においては、金属箔と耐熱性接着フィルムとを、少なくとも1対のプレスロールの間に保護フィルムを配置し加圧加熱成形する工程と、得られた積層体と該保護フィルムとを軽く密着させながら冷却する工程と、該積層体から該保護フィルムを剥離する工程とを包含する方法を用いて、FPCを作製することにより、寸法変化率を小さくしている。   Specifically, in Patent Document 2, a step of placing a protective film between at least one pair of press rolls and pressurizing and heating the metal foil and the heat-resistant adhesive film, and the obtained laminate The dimensional change rate is reduced by producing an FPC using a method including a step of cooling while lightly adhering to the protective film and a step of peeling the protective film from the laminate.

また、上記特許文献3では、FPCの製造過程において、ラミネート前に接着フィルム中の水分を除去する目的で、予め接着フィルムを乾燥し、その状態で熱ラミネートすることによって、積層板表面に凸凹模様が発生しないようにしている。
特開平9−199830号公報(平成9(1997)年7月31日公開) 特開2002−326308号公報(平成14(2002)年11月12日公開) 特開2002−326280号公報(平成14(2002)年11月12日公開)
Moreover, in the said patent document 3, in the manufacture process of FPC, in order to remove the water | moisture content in an adhesive film before a lamination, an adhesive film is dried beforehand, and it heat-laminates in that state, and is uneven pattern on the surface of a laminated board. It is trying not to occur.
Japanese Patent Laid-Open No. 9-199830 (published July 31, 1997) JP 2002-326308 A (published on November 12, 2002) JP 2002-326280 A (published on November 12, 2002)

現在の二層FPCに使用される絶縁層の厚みは、25μm(1ミル)が主流であるが、基板実装スペースの更なる削減、スプリングバック等の課題から、絶縁層の厚みを12〜15μmにした、いわゆる「ハーフミル」の要求も出始めている。   The thickness of the insulating layer used in the current two-layer FPC is mainly 25 μm (1 mil), but the thickness of the insulating layer is reduced to 12 to 15 μm due to further reduction of the board mounting space and problems such as springback. The so-called “half-mill” demand has begun to appear.

しかしながら、ハーフミル品は、接着フィルムの厚みが薄くなるため、ラミネート時の熱応力の影響をさらに受けやすく、特許文献2、および特許文献3の技術では、十分な寸法変化の改善が不充分な場合がある。したがって、ハーフミル品において高い寸法精度が求められるときにも、適用できるさらなる寸法変化抑制技術の開発が求められている。   However, since the thickness of the adhesive film is thin, the half mill product is more susceptible to thermal stress during lamination, and the techniques of Patent Document 2 and Patent Document 3 are insufficient in improving the dimensional change sufficiently. There is. Therefore, even when high dimensional accuracy is required in a half mill product, development of a further dimensional change suppression technology that can be applied is required.

本発明者は、既に、熱ロールラミネート法でフィルム状と銅箔を積層する場合、厚みが薄い接着フィルムを用いた場合であっても寸法変化を良好に抑制しうる技術を見出している。特願2000−237200では、熱ロールラミネート時のフィルム状接合部材にかかる張力を低くすることによって、寸法変化を抑制している。本発明者らはさらに、得られる金属張積層板の外観、金属張積層板の内部に発生するボイド(金属エッチング後の外観)を効果的に抑制しうる方法を見出した。   The present inventor has already found a technique capable of satisfactorily suppressing a dimensional change even when a thin adhesive film is used when a film and a copper foil are laminated by a hot roll laminating method. In Japanese Patent Application No. 2000-237200, the dimensional change is suppressed by lowering the tension applied to the film-like joining member during hot roll lamination. Further, the present inventors have found a method capable of effectively suppressing the appearance of the obtained metal-clad laminate and the voids (appearance after metal etching) generated inside the metal-clad laminate.

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであって、その目的は、プリント配線板加工時に寸法変化の発生が抑制されたフレキシブル金属張積層板、特に、ハーフミル品であっても、ラミネート法で作製した際に寸法変化の発生が抑制され、かつ、シワなどの外観不良がなく、金属エッチング後の外観不良のないフレキシブル金属張積層板、およびその製造方法を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above problems, and the purpose thereof is a flexible metal-clad laminate in which the occurrence of dimensional changes is suppressed during printed wiring board processing, particularly a half-mill product, An object of the present invention is to provide a flexible metal-clad laminate in which the occurrence of dimensional change is suppressed when produced by a laminating method, and there are no appearance defects such as wrinkles and no appearance defects after metal etching, and a method for producing the same.

本発明者らは、上記課題に鑑み鋭意検討した結果、以下の新規な製造方法により上記課題を解決しうることを見出した。すなわち(a)(1)一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置を用いて、金属箔と、ポリイミドフィルムの片面または両面に、熱可塑性ポリイミドを含有する接着層が形成された総厚5〜15μmのフィルム状接合部材とを、当該フィルム状接合部材にかかる張力を0.01〜1N/cmの範囲内として、熱ラミネートして貼り合わせる工程と、
(2)上記工程(1)に先立ち、上記フィルム状接合部材に1以上の回転体を有した弓状軸を接触させる工程とを含むことを特徴とするフレキシブル金属張積層板の製造方法。
(b)前記(a)工程において、保護フィルムを用い、当該保護フィルムにかかる張力を600〜2000N/mの範囲内として、熱ラミネートすることを特徴とする請求項1に記載のフレキシブル金属張積層板の製造方法。
(c)上記保護フィルムを熱ラミネートに供する前に、熱ロールに上記保護フィルムを接触させることにより、熱ラミネート時における上記保護フィルムの表面温度を、熱ロールの表面温度−10℃〜熱ロールの表面温度の範囲内として、熱ラミネートする工程を含むことを特徴とする請求項1または2に記載のフレキシブル金属張積層板の製造方法。
(d)熱ラミネート時の加熱温度が、300℃〜500℃であることを特徴とする(a)〜(c)のいずれか1項に記載のフレキシブル金属張積層板の製造方法。
に関する。
As a result of intensive studies in view of the above problems, the present inventors have found that the above problems can be solved by the following novel manufacturing method. That is, (a) (1) Using a hot roll laminating apparatus having a pair of metal rolls, a metal foil and a total thickness of 5 to 5 are formed with an adhesive layer containing thermoplastic polyimide on one or both sides of a polyimide film. A step of laminating and bonding a film-like joining member of 15 μm with a tension applied to the film-like joining member in a range of 0.01 to 1 N / cm;
(2) A method for producing a flexible metal-clad laminate comprising the step of bringing an arcuate shaft having one or more rotating bodies into contact with the film-like joining member prior to the step (1).
(B) The flexible metal-clad laminate according to claim 1, wherein in the step (a), a protective film is used and thermal lamination is performed with a tension applied to the protective film in a range of 600 to 2000 N / m. A manufacturing method of a board.
(C) Before subjecting the protective film to thermal lamination, the surface temperature of the protective film during thermal lamination is brought into contact with the thermal roll by bringing the thermal film into contact with the thermal roll. The method for producing a flexible metal-clad laminate according to claim 1 or 2, further comprising a step of heat laminating within the range of the surface temperature.
(D) The method for producing a flexible metal-clad laminate according to any one of (a) to (c), wherein the heating temperature during heat lamination is 300 ° C to 500 ° C.
About.

本発明にかかるフレキシブル金属張積層板は、以上のように、その製造工程において、熱ラミネート時のフィルム状接合部材にかかる張力が低張力(0.01〜1N/m)に規定され、熱ラミネートに先立って、フィルム状接合部材に多数回転体を有した弓状軸を押しあてることを特徴としている。それゆえ、フィルム状接合部材の厚みが薄くても(具体的には5〜15μm)、寸法安定性、特にラミネート法における寸法安定性が優れ、かつ金属張積層板の外観に優れるという効果を奏する。さらに、本発明にかかるフレキシブル金属張積層板は、その製造工程において、熱ラミネート前に、張力カットが行われるので、シワ等外観上の不具合の発生を抑制することができる。それゆえ、寸法安定性、特にラミネート法における寸法安定性が優れるという効果を奏する。   As described above, in the flexible metal-clad laminate according to the present invention, in the manufacturing process, the tension applied to the film-like joining member at the time of thermal lamination is regulated to low tension (0.01 to 1 N / m), and thermal lamination is performed. Prior to this, an arcuate shaft having a large number of rotating bodies is pressed against the film-like joining member. Therefore, even if the thickness of the film-like joining member is thin (specifically 5 to 15 μm), the dimensional stability, particularly the dimensional stability in the laminating method is excellent, and the appearance of the metal-clad laminate is excellent. . Further, the flexible metal-clad laminate according to the present invention is capable of suppressing the occurrence of defects in appearance such as wrinkles because the tension is cut before thermal lamination in the production process. Therefore, there is an effect that the dimensional stability, particularly the dimensional stability in the laminating method is excellent.

本発明の実施の形態について説明すると以下の通りであるが、本発明はこれに限定されるものではない。   An embodiment of the present invention will be described as follows, but the present invention is not limited to this.

<I.フィルム状接合部材>
本発明にかかるフィルム状接合部材は、ポリイミドフィルムをコアフィルムとし、ポリイミドフィルムの片面、または両面に、熱可塑性ポリイミドを含有する接着層を形成して得られるものである。上記フィルム状接合部材の総厚は、5〜15μmであることが好ましい。本発明では、フィルム状接合部材の厚みが薄い場合に、顕著な効果を発現する。
<I. Film-like joining member>
The film-like joining member according to the present invention is obtained by using a polyimide film as a core film and forming an adhesive layer containing thermoplastic polyimide on one side or both sides of the polyimide film. The total thickness of the film-like joining member is preferably 5 to 15 μm. In this invention, when the thickness of a film-like joining member is thin, a remarkable effect is expressed.

<I−1.ポリイミドフィルム>
本発明にかかるフィルム状接合部材において、コアフィルムとして用いるポリイミドフィルムは、ポリアミド酸を前駆体として用いて製造される。ポリアミド酸の製造方法としては、公知のあらゆる方法を用いることができる。例えば、実質的等モル量の芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンとを、有機極性溶媒中に溶解させて得られたポリアミド酸有機極性溶媒溶液(以下、「ポリアミド酸溶液」ともいう)を、制御された温度条件下で、上記酸二無水物とジアミンとの重合が完了するまで攪拌することによって製造することができる。このようにして製造されるポリアミド酸溶液のポリアミド酸濃度は、通常、5〜35重量%、好ましくは10〜30重量%の範囲で得られる。この範囲の濃度である場合には、本発明に好適な分子量と溶液粘度とが得られる。
<I-1. Polyimide film>
In the film-like joining member according to the present invention, the polyimide film used as the core film is manufactured using polyamic acid as a precursor. Any known method can be used as a method for producing the polyamic acid. For example, a polyamic acid organic polar solvent solution (hereinafter also referred to as “polyamic acid solution”) obtained by dissolving a substantially equimolar amount of an aromatic dianhydride and an aromatic diamine in an organic polar solvent. It can be produced by stirring under controlled temperature conditions until polymerization of the acid dianhydride and diamine is completed. The polyamic acid concentration of the polyamic acid solution thus produced is usually 5 to 35% by weight, preferably 10 to 30% by weight. When the concentration is within this range, a molecular weight and a solution viscosity suitable for the present invention can be obtained.

ポリアミド酸の重合方法としては、あらゆる公知の方法、およびそれらを組み合わせた方法を用いることができる。ポリアミド酸の重合における重合方法の特徴は、そのモノマーの添加順序にある。つまり、このモノマーの添加順序を制御することにより、得られるポリイミドの諸物性を制御することができる。したがって、本発明では、ポリアミド酸の重合方法において、いかなるモノマーの添加方法を用いてもよい。   As the polymerization method of the polyamic acid, any known method and a combination thereof can be used. The characteristic of the polymerization method in the polymerization of polyamic acid is the order of addition of the monomers. That is, various physical properties of the obtained polyimide can be controlled by controlling the order of addition of the monomers. Therefore, in the present invention, any monomer addition method may be used in the polyamic acid polymerization method.

上述のように、ポリアミド酸の重合方法は、特に限定されるものではないが、代表的な重合方法としては、次のような方法が挙げられる。
(1)芳香族ジアミンを有機極性溶媒中に溶解し、これと実質的に等モルの芳香族テトラカルボン酸二無水物と反応させて重合する方法。
(2)芳香族テトラカルボン酸二無水物と、これに対し過小モル量の芳香族ジアミン化合物とを有機極性溶媒中で反応させ、両末端に酸無水物基を有するプレポリマーを得る。続いて、全工程を通して、芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミン化合物とが実質的に等モルとなるように、芳香族ジアミン化合物を用いて重合させる方法。
(3)芳香族テトラカルボン酸二無水物と、これに対し過剰モル量の芳香族ジアミン化合物とを有機極性溶媒中で反応させ、両末端にアミノ基を有するプレポリマーを得る。続いて、ここに芳香族ジアミン化合物を追加添加後、全工程を通して、芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミン化合物とが実質的に等モルとなるように、芳香族テトラカルボン酸二無水物を用いて重合する方法。
(4)芳香族テトラカルボン酸二無水物を有機極性溶媒中に溶解および/または分散させた後、実質的に等モルとなるように芳香族ジアミン化合物を用いて重合させる方法。
(5)実質的に等モルの芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンとの混合物を有機極性溶媒中で反応させて重合する方法。
As described above, the polyamic acid polymerization method is not particularly limited, but typical polymerization methods include the following methods.
(1) A method in which an aromatic diamine is dissolved in an organic polar solvent and reacted with a substantially equimolar amount of an aromatic tetracarboxylic dianhydride for polymerization.
(2) An aromatic tetracarboxylic dianhydride is reacted with a small molar amount of an aromatic diamine compound in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having acid anhydride groups at both ends. Subsequently, a method of polymerizing using an aromatic diamine compound so that the aromatic tetracarboxylic dianhydride and the aromatic diamine compound are substantially equimolar throughout all the steps.
(3) An aromatic tetracarboxylic dianhydride is reacted with an excess molar amount of an aromatic diamine compound in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having amino groups at both ends. Subsequently, the aromatic tetracarboxylic dianhydride is added so that the aromatic tetracarboxylic dianhydride and the aromatic diamine compound are substantially equimolar throughout the entire process after the addition of the aromatic diamine compound. A method of polymerizing using a product.
(4) A method in which an aromatic tetracarboxylic dianhydride is dissolved and / or dispersed in an organic polar solvent and then polymerized using an aromatic diamine compound so as to be substantially equimolar.
(5) A method of polymerizing by reacting a substantially equimolar mixture of an aromatic tetracarboxylic dianhydride and an aromatic diamine in an organic polar solvent.

なお、これら方法を単独で用いてもよいし、部分的に組み合わせて用いてもよい。   Note that these methods may be used alone or in combination.

また、ポリアミド酸を重合するために用いられる、上記有機極性溶媒は、ポリアミド酸を溶解する溶媒であれば特に限定されるものではなく、どのような溶媒でも用いることができる。例えば、アミド系溶媒、すなわちN,N−ジメチルフォルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドンなどであり、N,N−ジメチルフォルムアミド、およびN,N−ジメチルアセトアミドを特に好ましく用いることができる。   The organic polar solvent used for polymerizing the polyamic acid is not particularly limited as long as it dissolves the polyamic acid, and any solvent can be used. For example, amide solvents such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone and the like, and N, N-dimethylformamide and N, N-dimethylacetamide are particularly preferred. It can be preferably used.

ここで、本発明にかかるポリアミド酸を含有する有機極性溶媒溶液(ポリアミド酸溶液)、すなわち、ポリイミド前駆体に用いられる構成成分について説明する。   Here, the component used for the organic polar solvent solution (polyamic acid solution) containing the polyamic acid concerning this invention, ie, a polyimide precursor, is demonstrated.

本発明にかかるポリアミド酸溶液の酸二無水物成分として用いることができるテトラカルボン酸二無水物は、特に限定されるものではない。例えば、ピロメリット酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシフタル酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、オキシジフタル酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、p−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、エチレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、およびビスフェノールAビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、並びにそれらの類似物が挙げられる。これら化合物は、単独で、または、任意の割合で混合した混合物として、好ましく用いることができる。   The tetracarboxylic dianhydride that can be used as the acid dianhydride component of the polyamic acid solution according to the present invention is not particularly limited. For example, pyromellitic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 1,2,5,6 -Naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,2 ', 3,3'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 4,4'- Oxyphthalic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) ) Propane dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 1,1-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, bis (2,3- Dicarboxyphenyl) Tan dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, oxydiphthalic dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, p-phenylenebis (trimellitic acid mono Ester acid anhydride), ethylene bis (trimellitic acid monoester acid anhydride), and bisphenol A bis (trimellitic acid monoester acid anhydride), and the like. These compounds can be preferably used alone or as a mixture mixed at an arbitrary ratio.

これらテトラカルボン酸二無水物の中でも、特に、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシフタル酸二無水物、および3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物から、少なくとも1種以上を選択して用いることが好ましい。   Among these tetracarboxylic dianhydrides, pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 4,4′-oxyphthalic dianhydride, and 3 , 3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride is preferably selected and used.

本発明にかかるポリアミド酸溶液のジアミン成分として用いることができるジアミンは、特に限定されるものではない。例えば、4,4’−ジアミノジフェニルプロパン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、ベンジジン、3,3’−ジクロロベンジジン、3,3‘−ジメチルベンジジン、2,2’−ジメチルベンジジン、3,3’−ジメトキシベンジジン、2,2’−ジメトキシベンジジン、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−オキシジアニリン、3,3’−オキシジアニリン、3,4’−オキシジアニリン、1,5−ジアミノナフタレン、4,4’−ジアミノジフェニルジエチルシラン、4,4’−ジアミノジフェニルシラン、4,4’−ジアミ
ノジフェニルエチルホスフィンオキシド、4,4’−ジアミノジフェニルN−メチルアミン、4,4’−ジアミノジフェニル N−フェニルアミン、1,4−ジアミノベンゼン(p−フェニレンジアミン)、1,3−ジアミノベンゼン、1,2−ジアミノベンゼン、ビス{4−(4−アミノフェノキシ)フェニル}スルホン、ビス{4−(3−アミノフェノキシ)フェニル}スルホン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、4,4'−ジアミノベンゾフェノン、および2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、並びにそれらの類似物などが挙げられる。
The diamine that can be used as the diamine component of the polyamic acid solution according to the present invention is not particularly limited. For example, 4,4'-diaminodiphenylpropane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, benzidine, 3,3'-dichlorobenzidine, 3,3'-dimethylbenzidine, 2,2'-dimethylbenzidine, 3,3'- Dimethoxybenzidine, 2,2′-dimethoxybenzidine, 4,4′-diaminodiphenylsulfide, 3,3′-diaminodiphenylsulfone, 4,4′-diaminodiphenylsulfone, 4,4′-oxydianiline, 3,3 '-Oxydianiline, 3,4'-oxydianiline, 1,5-diaminonaphthalene, 4,4'-diaminodiphenyldiethylsilane, 4,4'-diaminodiphenylsilane, 4,4'-diaminodiphenylethylphosphine Oxide, 4,4′-diaminodiphenyl N-methylamine, 4,4′-diaminodiphenyl N-sulfate Phenylamine, 1,4-diaminobenzene (p-phenylenediamine), 1,3-diaminobenzene, 1,2-diaminobenzene, bis {4- (4-aminophenoxy) phenyl} sulfone, bis {4- (3- Aminophenoxy) phenyl} sulfone, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 4,4′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1, 3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 3,3′-diaminobenzophenone, 4,4′- Diaminobenzophenone, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, and the like Can be mentioned.

本発明にかかるポリイミドフィルムは、所望の特性を有するフィルムとなるように、適宜、芳香族テトラカルボン酸二無水物および芳香族ジアミンの種類、および配合比を決定して用いることにより、得ることができる。   The polyimide film according to the present invention can be obtained by appropriately determining the type of aromatic tetracarboxylic dianhydride and aromatic diamine, and the blending ratio so as to obtain a film having desired characteristics. it can.

また、本発明にかかるポリイミドフィルムには、摺動性、熱伝導性等のフィルムの諸特性を改善する目的で、フィラーを添加することができる。本発明に用いられるフィラーは、特に限定されるものでないが、例えば、シリカ、酸化チタン、アルミナ、窒化珪素、窒化ホウ素、リン酸水素カルシウム、リン酸カルシウム、および雲母などを好適に用いることができる。   Moreover, a filler can be added to the polyimide film concerning this invention in order to improve the various characteristics of films, such as slidability and heat conductivity. The filler used in the present invention is not particularly limited, and for example, silica, titanium oxide, alumina, silicon nitride, boron nitride, calcium hydrogen phosphate, calcium phosphate, mica, and the like can be suitably used.

本発明において用いるフィラーの粒子径は、改質すべきフィルム特性と添加するフィラーの種類とによって決定されるため、特に限定されるものではないが、平均粒径は、0.05〜100μmであることが好ましく、0.1〜75μmであることがより好ましく、0.1〜50μmであることがさらに好ましく、0.1〜25μmであることが特に好ましい。粒子径が、上記範囲内にあれば、大きな改質効果が得られ、かつ、フィルムが表面性を大きく損なったり、フィルムの機械的特性が大きく低下したりすることがない。また、フィラーの添加部数についても、改質すべきフィルム特性、およびフィラー粒子径などにより決定されるため、特に限定されるものではない。すなわち、フィラーによる改質効果が現れ、かつ、フィルムの機械的特性が損なわれない範囲であればよい。具体的には、ポリイミド100重量部に対して、0.01〜100重量部であることが好ましく、0.01〜90重量部であることがより好ましく、0.02〜80重量部であることがさらに好ましい。   Since the particle diameter of the filler used in the present invention is determined by the film characteristics to be modified and the kind of filler to be added, it is not particularly limited, but the average particle diameter is 0.05 to 100 μm. Is more preferable, 0.1 to 75 μm is more preferable, 0.1 to 50 μm is further preferable, and 0.1 to 25 μm is particularly preferable. If the particle diameter is within the above range, a large modification effect can be obtained, and the film does not significantly impair the surface property, and the mechanical properties of the film are not greatly deteriorated. Also, the number of added parts of the filler is not particularly limited because it is determined by the film characteristics to be modified, the filler particle diameter, and the like. That is, it is sufficient that the modification effect by the filler appears and the mechanical properties of the film are not impaired. Specifically, it is preferably 0.01 to 100 parts by weight, more preferably 0.01 to 90 parts by weight, and 0.02 to 80 parts by weight with respect to 100 parts by weight of polyimide. Is more preferable.

フィラーの添加は、特に限定されるものではないが、具体的には、以下のような方法が挙げられる。
(A)重合前または途中に重合反応液に添加する方法。
(B)重合完了後、3本ロールなどを用いてフィラーを混錬する方法。
(C)フィラーを含む分散液を用意し、これをポリアミド酸溶液に混合する方法。
The addition of the filler is not particularly limited, and specific examples include the following methods.
(A) A method of adding to the polymerization reaction solution before or during the polymerization.
(B) A method in which the filler is kneaded using three rolls after completion of the polymerization.
(C) A method of preparing a dispersion containing a filler and mixing it with a polyamic acid solution.

これら方法の中でも、(C)フィラーを含む分散液をポリアミド酸溶液に混合する方法が好ましく、特に、製膜直前にフィラーを含む分散液をポリアミド酸溶液に混合する方法が好ましい。この方法を採用すれば、フィルムを形成する直前にフィラーを混合することができるため、フィルムの製造ラインのフィラーによる汚染を最小限にすることができる。   Among these methods, (C) a method of mixing a dispersion containing a filler with a polyamic acid solution is preferable, and a method of mixing a dispersion containing a filler with a polyamic acid solution immediately before film formation is particularly preferable. By adopting this method, the filler can be mixed immediately before forming the film, so that contamination by the filler in the film production line can be minimized.

上記のフィラーを含む分散液を用意する場合、分散液の溶媒には、ポリアミド酸の重合溶媒と同じ溶媒を用いることが好ましい。また、フィラーを良好に分散させ、また分散状態を安定化させるために、分散剤、増粘剤等をフィルム物性に影響を及ぼさない範囲内で用いることもできる。   When preparing a dispersion containing the above filler, it is preferable to use the same solvent as the polyamic acid polymerization solvent as the solvent for the dispersion. Moreover, in order to disperse | distribute a filler favorably and stabilize a dispersion state, a dispersing agent, a thickener, etc. can also be used in the range which does not affect a film physical property.

<I−2.ポリイミドフィルムの製造方法>
上述のポリアミド酸溶液からポリイミドフィルムを製造する方法については、特に限定されるものではなく、従来公知の方法を用いることができる。具体的には、熱イミド化法および化学イミド化法が代表例として挙げられるが、どちらの方法を用いてフィルムを製造してもよい。特に、化学イミド化法を用いるほうが、本発明に好適に用いられる諸特性を有したポリイミドフィルムを得やすい傾向にある。
<I-2. Manufacturing method of polyimide film>
It does not specifically limit about the method of manufacturing a polyimide film from the above-mentioned polyamic-acid solution, A conventionally well-known method can be used. Specifically, a thermal imidization method and a chemical imidization method are given as representative examples, but either method may be used to produce a film. In particular, the use of the chemical imidation method tends to provide a polyimide film having various properties that are preferably used in the present invention.

また、本発明にかかるポリイミドフィルムの製造方法の構成は、特に限定されるものではないが、以下の4つの工程を含むことが好ましい。
(a)有機溶剤中で、芳香族ジアミンと芳香族テトラカルボン酸二無水物とを反応させてポリアミド酸溶液を得る工程。
(b)上記ポリアミド酸溶液を含む製膜ドープを、支持体上に流延する工程。
(c)上記製膜ドープを支持体上で加熱した後、支持体からゲルフィルムを引き剥がす工程。
(d)上記ゲルフィルムをさらに加熱して、残ったアミック酸をイミド化し、かつ乾燥させる工程。
Moreover, although the structure of the manufacturing method of the polyimide film concerning this invention is not specifically limited, It is preferable that the following four processes are included.
(A) A step of reacting an aromatic diamine and an aromatic tetracarboxylic dianhydride in an organic solvent to obtain a polyamic acid solution.
(B) A step of casting a film-forming dope containing the polyamic acid solution on a support.
(C) A step of peeling the gel film from the support after heating the film-forming dope on the support.
(D) A step of further heating the gel film to imidize and dry the remaining amic acid.

上記工程(b)における製膜ドープに、無水酢酸等の酸無水物に代表される脱水剤と、イソキノリン、β−ピコリン、ピリジン等の第三級アミン類等に代表されるイミド化触媒を含む硬化剤を加えてもよい。   The film-forming dope in the step (b) includes a dehydrating agent typified by an acid anhydride such as acetic anhydride, and an imidization catalyst typified by a tertiary amine such as isoquinoline, β-picoline, pyridine and the like. A curing agent may be added.

以下、化学イミド法を用いる場合を例にとって、本発明にかかるポリイミドフィルムの製造工程(上記工程(b)〜(d))について説明する。ただし、本発明は以下の例により限定されるものではない。また、製膜条件や加熱条件は、ポリアミド酸の種類、およびフィルムの厚さ等により、適宜変更すべきものであり、以下の例に限定されるものではない。なお、上記工程(a)については、<I−1.ポリイミドフィルム>の項で、詳細に述べたので、ここでは省略する。   Hereinafter, taking the case of using the chemical imide method as an example, the production steps of the polyimide film according to the present invention (the above steps (b) to (d)) will be described. However, the present invention is not limited to the following examples. The film forming conditions and heating conditions should be appropriately changed depending on the type of polyamic acid, the thickness of the film, and the like, and are not limited to the following examples. In addition, about the said process (a), <I-1. Since it was described in detail in the section “Polyimide film>, it is omitted here.

上記工程(b)および(c)では、脱水剤およびイミド化触媒を、低温で、上記工程(a)で調製したポリアミド酸溶液中に混合し、製膜ドープを得る。引き続いて、この製膜ドープをガラス板、アルミ箔、エンドレスステンレスベルト、またはステンレスドラムなどの支持体上に、フィルム状にキャストする。その後、支持体上で、80℃〜200℃、好ましくは100℃〜180℃の温度領域で加熱する。その結果、脱水剤およびイミド化触媒が活性化され、部分的に硬化および/または乾燥が起こる。その後、支持体から剥離してポリアミド酸フィルム(以下、「ゲルフィルム」ともいう)を得る。   In the steps (b) and (c), the dehydrating agent and the imidization catalyst are mixed at a low temperature into the polyamic acid solution prepared in the step (a) to obtain a film forming dope. Subsequently, the film-forming dope is cast into a film on a support such as a glass plate, an aluminum foil, an endless stainless steel belt, or a stainless steel drum. Then, it heats on a support body at a temperature range of 80 to 200 ° C., preferably 100 to 180 ° C. As a result, the dehydrating agent and imidization catalyst are activated and partial curing and / or drying occurs. Then, it peels from a support body and a polyamic-acid film (henceforth a "gel film") is obtained.

上記ゲルフィルムは、ポリアミド酸からポリイミドへの硬化の中間段階にあり、自己支持性を有し、上記ゲルフィルムの揮発分含量は、5〜500重量%の範囲内であることが好ましく、5〜200重量%の範囲内であることがより好ましく、5〜150重量%の範囲内であることがさらに好ましい。揮発分含量が、この範囲内にあるゲルフィルムを用いることにより、焼成時(上記工程(d))において起こる、フィルム破断、乾燥ムラによるフィルムの色調ムラ、および特性ばらつき等の不具合を回避することができる。   The gel film is in an intermediate stage of curing from polyamic acid to polyimide, has a self-supporting property, and the volatile content of the gel film is preferably in the range of 5 to 500% by weight, More preferably within the range of 200% by weight, even more preferably within the range of 5 to 150% by weight. By using a gel film with a volatile content within this range, problems such as film breakage, film color unevenness due to uneven drying, and characteristic variations that occur during firing (step (d) above) are avoided. Can do.

なお、ゲルフィルムの揮発分含量は、下記式(1)
(A−B)×100/B・・・・(1)
(式中、Aは、ゲルフィルムの重量を、Bは、ゲルフィルムを450℃で20分間加熱した後の重量を表す。)
を用いて算出することができる。
The volatile content of the gel film is expressed by the following formula (1)
(AB) × 100 / B (1)
(In the formula, A represents the weight of the gel film, and B represents the weight after heating the gel film at 450 ° C. for 20 minutes.)
Can be used to calculate.

上記脱水剤の添加量は、ポリアミド酸中のアミド酸ユニット1モルに対して、0.5〜5モルの範囲内であることが好ましく、1.0〜4モルの範囲内であることがより好ましい。また、イミド化触媒の添加量は、ポリアミド酸中のアミド酸ユニット1モルに対して、0.05〜3モルの範囲内であることが好ましく、0.2〜2モルの範囲内であることがより好ましい。   The addition amount of the dehydrating agent is preferably in the range of 0.5 to 5 mol, more preferably in the range of 1.0 to 4 mol, with respect to 1 mol of the amic acid unit in the polyamic acid. preferable. Moreover, it is preferable that the addition amount of an imidation catalyst exists in the range of 0.05-3 mol with respect to 1 mol of amic acid units in a polyamic acid, and exists in the range of 0.2-2 mol. Is more preferable.

上記脱水剤およびイミド化触媒の添加量を上記範囲内とすることにより、完全に化学的イミド化が起こり、焼成途中で破断したり、機械的強度が低下したりすることがない。さらに、イミド化の進行が早くなりすぎて、フィルム状にキャストすることが困難となることもない。   By making the addition amount of the dehydrating agent and the imidization catalyst within the above range, chemical imidization completely occurs, and there is no breakage during the firing or mechanical strength is not lowered. Furthermore, the progress of imidization does not become too fast and it becomes difficult to cast into a film.

上記工程(d)において、上記ゲルフィルムの端部を固定して硬化時の収縮を回避して乾燥し、水、残留溶媒、残存転化剤およびイミド化触媒を除去し、そして残ったアミド酸を完全にイミド化することにより、ポリイミドフィルムが得られる。   In the step (d), the end of the gel film is fixed to avoid shrinkage during curing, and water, residual solvent, residual conversion agent and imidation catalyst are removed, and the remaining amic acid is removed. A polyimide film is obtained by complete imidization.

このとき、ポリイミドフィルムは、最高焼成温度が400〜650℃の温度で、5〜400秒間となるように加熱することが好ましい。最高焼成温度が「この温度より高い」および/または「時間が長い」と、フィルムの熱劣化が起こるという問題が生じることがある。逆に、「この温度より低い」および/または「時間が短い」と、所定の効果が発現しないことがある。   At this time, it is preferable to heat the polyimide film so that the maximum baking temperature is 400 to 650 ° C. for 5 to 400 seconds. If the maximum firing temperature is “above this temperature” and / or “long time”, the problem of thermal degradation of the film may occur. Conversely, if “below this temperature” and / or “short time”, the predetermined effect may not be exhibited.

また、フィルムの分子構造及び特性によっては、この熱処理の際に、上記の加熱時の寸法変化を調節することも可能である。   Further, depending on the molecular structure and characteristics of the film, the dimensional change during heating can be adjusted during the heat treatment.

ポリイミドフィルムの諸特性は、用いるモノマーの種類、重合時のモノマーの添加順序、および選択するイミド化方法等により、適宜制御することができる。   Various characteristics of the polyimide film can be appropriately controlled depending on the type of monomer used, the order of addition of the monomers during polymerization, the imidization method selected, and the like.

<I−3.接着層およびこれに用いられる熱可塑性ポリイミド>
本発明にかかるフィルム状接合部材に用いられる接着層の構成は、特に限定されるものではなく、アクリル系、エポキシ系、変性エポキシ系、フェノール系、ポリアミドイミド系、およびポリイミド系といったいかなるものを含有してもよい。特に、耐熱性、絶縁信頼性、ラミネート加工性、半田耐熱性および電気的信頼性の面から、熱可塑性ポリイミドを主成分とする接着層を用いることが好ましい。
<I-3. Adhesive layer and thermoplastic polyimide used in it>
The structure of the adhesive layer used for the film-like joining member according to the present invention is not particularly limited, and includes any one of acrylic, epoxy, modified epoxy, phenol, polyamideimide, and polyimide. May be. In particular, from the viewpoints of heat resistance, insulation reliability, laminate processability, solder heat resistance, and electrical reliability, it is preferable to use an adhesive layer mainly composed of thermoplastic polyimide.

なお、本明細書において、「熱可塑性ポリイミド」とは、ガラス転移温度を有し、かつ、圧縮モード(プローブ径3mmφ、荷重5g)の熱機械分析測定(TMA)において、10〜400℃(昇温速度:10℃/min)の温度範囲で永久圧縮変形を起こすものをいう。   In this specification, “thermoplastic polyimide” has a glass transition temperature and is 10 to 400 ° C. (increase) in thermomechanical analysis (TMA) in compression mode (probe diameter 3 mmφ, load 5 g). (Temperature rate: 10 ° C./min) means that permanent compression deformation occurs in the temperature range.

上記接着層に含有される熱可塑性ポリイミドとしては、熱可塑性ポリイミド、熱可塑性ポリアミドイミド、熱可塑性ポリエーテルイミド、および熱可塑性ポリエステルイミド等を好適に用いることができる。   As the thermoplastic polyimide contained in the adhesive layer, thermoplastic polyimide, thermoplastic polyamideimide, thermoplastic polyetherimide, thermoplastic polyesterimide, and the like can be suitably used.

また、既存の装置でラミネートが可能であり、かつ得られる金属張積層板の耐熱性を損なわないという点から考えると、本発明にかかる熱可塑性ポリイミドは、150〜300℃の範囲にガラス転移温度(以下、「Tg」ともいう)を有していることが好ましい。なお、Tgは、動的粘弾性測定装置(DMA)により測定した貯蔵弾性率の変曲点の値により求めることができる。   In view of the fact that lamination with an existing apparatus is possible and the heat resistance of the resulting metal-clad laminate is not impaired, the thermoplastic polyimide according to the present invention has a glass transition temperature in the range of 150 to 300 ° C. (Hereinafter also referred to as “Tg”). In addition, Tg can be calculated | required from the value of the inflexion point of the storage elastic modulus measured with the dynamic viscoelasticity measuring apparatus (DMA).

本発明に用いられる熱可塑性ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸については、特に限定されるわけではなく、あらゆるポリアミド酸を用いることができる。また、ポリアミド酸溶液の製造に関しても、上記<I−1.ポリイミドフィルム>の項で述べたポリアミド酸溶液の製造方法等を全く同様に用いることができる。   The polyamic acid that is a precursor of the thermoplastic polyimide used in the present invention is not particularly limited, and any polyamic acid can be used. Further, regarding the production of the polyamic acid solution, the above <I-1. The production method of the polyamic acid solution described in the section “Polyimide film> can be used in exactly the same manner.

さらに、上記ポリアミド酸の諸特性は、使用する原料を種々組み合わせることにより、調節することができる。一般に、剛構造を有するジアミン使用比率が大きくなると、「ガラス転移温度高くなる」および/または「熱時の貯蔵弾性率が大きくなる」ため、接着性・加工性が低くなる。したがって、剛構造を有するジアミン比率は、40mol%以下であることが好ましく、30mol%以下であることがより好ましく、20mol%以下であることが特に好ましい。   Furthermore, various characteristics of the polyamic acid can be adjusted by various combinations of raw materials used. In general, when the ratio of the diamine having a rigid structure is increased, “the glass transition temperature is increased” and / or “the storage elastic modulus is increased during heating”, and therefore the adhesiveness and workability are decreased. Therefore, the ratio of the diamine having a rigid structure is preferably 40 mol% or less, more preferably 30 mol% or less, and particularly preferably 20 mol% or less.

なお、本明細書において、「剛構造を有するジアミン」とは、2つのNH2基の間に、主鎖に屈曲性のない剛直な構造を有するジアミンをいう。   In the present specification, the “diamine having a rigid structure” refers to a diamine having a rigid structure having no flexibility in the main chain between two NH 2 groups.

また、上記接着層には、必要に応じて無機あるいは有機物のフィラーを添加してもよく、当該フィラーの添加方法も上述の方法を全く同様に用いることができる。   In addition, an inorganic or organic filler may be added to the adhesive layer as necessary, and the above-described method can be used in the same manner as the method for adding the filler.

<II.フレキシブル金属張積層板>
本発明にかかるフレキシブル金属張積層板は、上記フィルム状接合部材と金属箔とを貼り合わせることにより得られる。
<II. Flexible metal-clad laminate>
The flexible metal-clad laminate according to the present invention is obtained by laminating the film-like joining member and the metal foil.

本発明にかかるフレキシブル金属張積層板においては、金属箔除去後に250℃、30分間の加熱を行う前後の寸法変化率が、MD方向、およびTD方向共に、−0.10〜+0.10%の範囲にあることが非常に好ましい。加熱前後の寸法変化率は、エッチング工程後のフレキシブル金属張積層板における所定の寸法および加熱工程後の所定の寸法差分と、上記エッチング工程後の所定の寸法との比で表される。   In the flexible metal-clad laminate according to the present invention, the dimensional change rate before and after heating for 30 minutes at 250 ° C. after removing the metal foil is −0.10 to + 0.10% in both the MD direction and the TD direction. It is highly preferred that it is in the range. The dimensional change rate before and after heating is represented by a ratio between a predetermined dimension in the flexible metal-clad laminate after the etching process and a predetermined dimension difference after the heating process and a predetermined dimension after the etching process.

寸法変化率を上記範囲内とすると、フレキシブル金属張積層板において、部品実装時の不良率が低くすることができる。   When the dimensional change rate is within the above range, the defective rate at the time of component mounting can be reduced in the flexible metal-clad laminate.

上記寸法変化率の測定方法は、特に限定されるものではなく、フレキシブル金属張積層板において、加熱工程の前後に生じる寸法の増減を測定できる方法であれば、従来公知のどのような方法でも用いることができる。   The method for measuring the rate of dimensional change is not particularly limited, and any conventionally known method can be used as long as it is a method capable of measuring the increase / decrease in dimensions occurring before and after the heating step in the flexible metal-clad laminate. be able to.

ここで、寸法変化率の測定は、MD方向、およびTD方向の双方について測定することが好ましい。連続的にイミド化、並びにラミネートする場合、MD方向およびTD方向では、張力のかかり方が異なるため、熱膨張・収縮の度合いに差が現れ、寸法変化率も異なる。   Here, it is preferable to measure the dimensional change rate in both the MD direction and the TD direction. In the case of continuous imidization and lamination, since the tension is different in the MD direction and the TD direction, a difference appears in the degree of thermal expansion / contraction and the dimensional change rate also differs.

したがって、寸法変化率の小さい材料では、MD方向およびTD方向の双方ともに、寸法変化率が小さいことが要求される。本発明においては、フレキシブル金属張積層板の金属箔除去後に、250℃、30分間の加熱を行う前後の寸法変化率が、MD方向、およびTD方向共に、−0.10〜+0.10%の範囲にあることが非常に好ましい。   Therefore, a material having a small dimensional change rate is required to have a small dimensional change rate in both the MD direction and the TD direction. In the present invention, after removing the metal foil from the flexible metal-clad laminate, the dimensional change rate before and after heating at 250 ° C. for 30 minutes is −0.10 to + 0.10% in both the MD direction and the TD direction. It is highly preferred that it is in the range.

なお、寸法変化率を測定する際の加熱工程では、250℃で30分間加熱がなされればよく、その他の具体的な条件は特に限定されない。   In addition, in the heating process at the time of measuring the dimensional change rate, it is sufficient that heating is performed at 250 ° C. for 30 minutes, and other specific conditions are not particularly limited.

本発明において使用する金属箔としては特に限定されるものではないが、電子機器・電気機器用途に本発明のフレキシブル金属張積層板を用いる場合には、例えば、銅もしくは銅合金、ステンレス鋼もしくはその合金、ニッケルもしくはニッケル合金(42合金も含む)、またはアルミニウムもしくはアルミニウム合金からなる箔を挙げることができる。   The metal foil used in the present invention is not particularly limited, but when the flexible metal-clad laminate of the present invention is used for electronic equipment / electric equipment, for example, copper or copper alloy, stainless steel or its Mention may be made of alloys, nickel or nickel alloys (including 42 alloys), or foils made of aluminum or aluminum alloys.

一般的なフレキシブル金属張積層板では、圧延銅箔、または電解銅箔といった銅箔が多用されるが、これら銅箔は、本発明においても好ましく用いることができる。なお、これらの金属箔の表面には、防錆層、耐熱層または接着層が塗布されていてもよい。   In a general flexible metal-clad laminate, copper foil such as rolled copper foil or electrolytic copper foil is frequently used, but these copper foils can also be preferably used in the present invention. In addition, the antirust layer, the heat-resistant layer, or the contact bonding layer may be apply | coated to the surface of these metal foil.

本発明において、上記金属箔の厚みについては特に限定されるものではなく、その用途に応じて、十分な機能が発揮できる厚みであればよい。しかし、金属箔の厚みが薄すぎると、異方導電性フィルム等を用いた種々の基板等への実装時に接続不良または接続信頼性の低下をきたしやすくなる傾向がある。逆に、金属箔の厚みが厚すぎると、微細配線を形成させることが難しくなる傾向にある。したがって、上記金属箔の厚みは、一般的には、1〜35μmであることが好ましく、2〜25μmであることがより好ましく、3〜18μmであることが特に好ましい。   In the present invention, the thickness of the metal foil is not particularly limited, and may be any thickness as long as a sufficient function can be exhibited depending on the application. However, when the thickness of the metal foil is too thin, there is a tendency that connection failure or connection reliability is liable to be lowered during mounting on various substrates using an anisotropic conductive film or the like. On the contrary, if the thickness of the metal foil is too thick, it tends to be difficult to form fine wiring. Therefore, in general, the thickness of the metal foil is preferably 1 to 35 μm, more preferably 2 to 25 μm, and particularly preferably 3 to 18 μm.

また、厚めの金属箔を用いてラミネートした後、エッチング等の公知の方法により、金属箔の厚みを薄くして用いることもできる。   Moreover, after laminating using a thick metal foil, the thickness of the metal foil can be reduced by a known method such as etching.

<IV.フレキシブル金属張積層板の製造方法>
ポリイミドを含有するフレキシブル金属張積層板において、ポリイミドフィルムと金属箔とを貼り合せる方法としては、例えば、(i)上記ポリイミドフィルムの少なくとも片面に接着層を形成した後、金属箔と貼り合わせる方法、(ii)接着層をシート状に成形し、これを上記ポリイミドフィルムに貼り合わせた後、金属箔と貼り合わせる方法、または(iii)接着層をシート状に成形し、金属箔とポリイミドフィルムの間に挟んで貼り合わせる方法等を好適に用いることができる。
<IV. Manufacturing method of flexible metal-clad laminate>
In a flexible metal-clad laminate containing polyimide, as a method of bonding a polyimide film and a metal foil, for example, (i) after forming an adhesive layer on at least one side of the polyimide film, a method of bonding to the metal foil, (Ii) A method in which an adhesive layer is formed into a sheet shape and bonded to the polyimide film, and then bonded to a metal foil; or (iii) an adhesive layer is formed into a sheet shape and the metal foil is bonded to the polyimide film. For example, a method of laminating and attaching to each other can be suitably used.

このうち、上記(i)の方法では、接着層に熱可塑性ポリイミドが含有される場合、該熱可塑性ポリイミドは有機溶媒への溶解性が低い場合がある。その結果、ポリイミドフィルム上に上記接着層を設けることが困難となることがある。したがって、上記問題を回避するために、熱可塑性ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸を含有する溶液を調製して、これをポリイミドフィルムに塗布し、次いでイミド化することがより好ましい。この時のイミド化方法としては、熱イミド化法または化学イミド化法のいずれを用いてもよい。しかし、化学イミド化法を用いる場合、接着層を熱劣化させずに脱水剤等を除去するための加熱条件を設定しなくてはならない場合がある。したがって、この場合、熱イミド化法によりイミド化するほうがより好ましい。   Among these, in the method (i), when the adhesive layer contains a thermoplastic polyimide, the thermoplastic polyimide may have low solubility in an organic solvent. As a result, it may be difficult to provide the adhesive layer on the polyimide film. Therefore, in order to avoid the above problem, it is more preferable to prepare a solution containing polyamic acid which is a precursor of thermoplastic polyimide, apply it to a polyimide film, and then imidize it. As the imidization method at this time, either a thermal imidization method or a chemical imidization method may be used. However, when the chemical imidization method is used, it may be necessary to set heating conditions for removing the dehydrating agent and the like without thermally deteriorating the adhesive layer. Therefore, in this case, it is more preferable to imidize by a thermal imidization method.

熱イミド化時の温度が高いほど、イミド化速度が速い、すなわち、イミド化が起こりやすい。しかし、イミド化温度が高すぎると、熱可塑性ポリイミドが熱分解を起こす可能性がある。一方、熱イミド化時の温度が低すぎると、イミド化が進みにくく、イミド化工程に要する時間が長くなる。   The higher the temperature at the time of thermal imidation, the faster the imidization rate, that is, imidization is likely to occur. However, if the imidization temperature is too high, the thermoplastic polyimide may undergo thermal decomposition. On the other hand, if the temperature at the time of thermal imidization is too low, imidization is difficult to proceed, and the time required for the imidization step becomes long.

したがって、生産性の面から、熱イミド化時の温度は、熱可塑性ポリイミドのガラス転移温度〜ガラス転移温度+200℃の範囲内に設定することが好ましく、ガラス転移温度+50℃〜ガラス転移温度+150℃の範囲内に設定することがより好ましい。   Therefore, from the viewpoint of productivity, the temperature at the time of thermal imidization is preferably set within the range of glass transition temperature to glass transition temperature + 200 ° C. of the thermoplastic polyimide, glass transition temperature + 50 ° C. to glass transition temperature + 150 ° C. It is more preferable to set within the range.

また、イミド化時間に関しては、一義的に限定されるものではなく、実質的にイミド化および乾燥が完結するに十分な時間を取ればよい。一般的には、1〜600秒間程度の範囲で適宜設定される。   Further, the imidization time is not uniquely limited, and it is sufficient to take a sufficient time for the imidization and drying to be substantially completed. Generally, it is appropriately set within a range of about 1 to 600 seconds.

また、接着層の熔融流動性を改善する目的で、意図的に「イミド化率を低くする」および/または「溶媒を残留させる」こともできる。   Further, for the purpose of improving the melt fluidity of the adhesive layer, it is possible to intentionally “lower the imidization rate” and / or “remain the solvent”.

また、接着層ならびにポリイミドフィルムの厚み構成については、用途に応じた総厚みになるように適宜調整すればよい。また、必要に応じて、接着層を設ける前にコロナ処理、プラズマ処理、カップリング処理等の各種表面処理をポリイミドフィルム表面に施してもよい。   Moreover, what is necessary is just to adjust suitably about the thickness structure of a contact bonding layer and a polyimide film so that it may become the total thickness according to a use. Moreover, you may perform various surface treatments, such as a corona treatment, a plasma treatment, a coupling process, on the polyimide film surface before providing an adhesive layer as needed.

本発明にかかるフレキシブル金属張積層板において、上述の接着層を介する金属箔とポリイミドフィルムとの貼り合わせには、上記(i)または(ii)の方法、特に(ii)の方法を用いることが好ましい。具体的には、一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置による連続処理を用いたラミネート法を用いることができる。一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置を用いる場合、高温でラミネートされる。また、熱ロールラミネート装置が備える加熱ロールと被積層材料が線接触するため、被積層材料には局所的に圧力がかかる。特に、フィルム状接合部材の厚みが薄い場合には、ラミネート時に被積層材料に対し均一に圧力をかけることが困難である。本発明によれば、熱ロールラミネート装置を用いてフレキシブル金属張積層板を製造する場合に発生する寸法変化を効果的に抑制することができる。   In the flexible metal-clad laminate according to the present invention, the method (i) or (ii), particularly the method (ii), may be used for bonding the metal foil and the polyimide film through the adhesive layer. preferable. Specifically, a laminating method using a continuous process using a hot roll laminator having a pair of metal rolls can be used. When a hot roll laminating apparatus having a pair of metal rolls is used, lamination is performed at a high temperature. Moreover, since the heating roll with which a hot roll laminating apparatus is equipped and a laminated material are line-contacted, a pressure is applied locally to a laminated material. In particular, when the thickness of the film-like joining member is thin, it is difficult to uniformly apply pressure to the material to be laminated at the time of lamination. ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the dimensional change which generate | occur | produces when manufacturing a flexible metal-clad laminated board using a hot roll laminating apparatus can be suppressed effectively.

より具体的にいえば、本発明にかかるフレキシブル金属張積層板の製造方法は、(1)一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置を用いて、金属箔と、ポリイミドフィルムの片面または両面に、熱可塑性ポリイミドを含有する接着層が形成された総厚5〜15μmのフィルム状接合部材とを、熱ラミネートして貼り合わせる工程と、(2)上記工程(1)に先立ち、上記フィルム状接合部材に多数回転体を有した弓状軸を押しあてる工程とを含むことが好ましい。   More specifically, the method for producing a flexible metal-clad laminate according to the present invention includes (1) using a hot roll laminator having a pair of metal rolls on one or both sides of a metal foil and a polyimide film. A step of thermally laminating and bonding a film-like joining member having a total thickness of 5 to 15 μm on which an adhesive layer containing thermoplastic polyimide is formed, and (2) prior to the step (1), the film-like joining. And pressing the arcuate shaft having a large number of rotating bodies against the member.

上記工程(1)において、熱ラミネート時(熱ラミネートする工程)の被積層材料の加熱方式は、特に限定されるものではない。例えば、熱循環方式、熱風加熱方式、誘導加熱方式等、所定の温度で加熱しうる従来公知の方式を採用した加熱手段を用いることができる。同様に、上記の熱ラミネート時における被積層材料の加圧方式も、特に限定されるものではない。例えば、油圧方式、空気圧方式、ギャップ間圧力方式等、所定の圧力を加えることができる従来公知の方式を採用した加圧手段を用いることができる。   In the step (1), the heating method of the material to be laminated at the time of heat lamination (step of heat lamination) is not particularly limited. For example, it is possible to use a heating means employing a conventionally known method that can heat at a predetermined temperature, such as a heat circulation method, a hot air heating method, an induction heating method, or the like. Similarly, the method for pressurizing the material to be laminated at the time of thermal lamination is not particularly limited. For example, it is possible to use a pressurizing means that employs a conventionally known method that can apply a predetermined pressure, such as a hydraulic method, a pneumatic method, or a gap pressure method.

熱ラミネート時における加熱温度(以下、「ラミネート温度」ともいう)は、フィルム状接合部材のガラス転移温度(Tg)+50℃以上の温度であることが好ましく、フィルム状接合部材のTg+100℃以上がより好ましい。Tg+50℃以上の温度であれば、フィルム状接合部材と金属箔とを良好に熱ラミネートすることができる。またTg+100℃以上であれば、ラミネート速度を上昇させて、フレキシブル金属張積層板の生産性をより向上させることができる。一般には、上記ラミネート温度は300℃〜500℃であることが好ましい。ラミネート温度が300℃以上である場合、本発明の効果が特に顕著に現れ、寸法安定性に優れたフレキシブル金属張積層板を製造することが可能となる。また、500℃以下であれば、材料の劣化を防ぐことができる。   The heating temperature at the time of thermal lamination (hereinafter also referred to as “laminating temperature”) is preferably a glass transition temperature (Tg) of the film-like joining member + 50 ° C. or more, and more preferably Tg + 100 ° C. or more of the film-like joining member. preferable. If it is Tg + 50 degreeC or more temperature, a film-like joining member and metal foil can be heat-laminated favorably. Moreover, if it is Tg + 100 degreeC or more, the lamination speed can be raised and the productivity of a flexible metal-clad laminated board can be improved more. In general, the laminating temperature is preferably 300 ° C to 500 ° C. When the laminating temperature is 300 ° C. or higher, the effect of the present invention appears particularly remarkably, and a flexible metal-clad laminate having excellent dimensional stability can be produced. Moreover, if it is 500 degrees C or less, deterioration of a material can be prevented.

また、熱ラミネート時におけるラミネート速度は、0.5〜10m/分であることが好ましく、1.0〜10m/分であることがより好ましい。0.5m/分以上であれば、十分な熱ラミネートが可能になり、さらに、1.0m/分以上であれば、生産性をより一層向上することができる。   The laminating speed during thermal lamination is preferably 0.5 to 10 m / min, more preferably 1.0 to 10 m / min. If it is 0.5 m / min or more, sufficient thermal lamination is possible, and if it is 1.0 m / min or more, productivity can be further improved.

さらに、熱ラミネート時における圧力、すなわちラミネート圧力は、高ければ高いほどラミネート温度を低く、かつラミネート速度を速くすることができる利点がある。しかし、一般に、ラミネート圧力が高すぎると、得られる積層板の寸法変化が悪化する傾向がある。逆に、ラミネート圧力が低すぎると、得られる積層板の金属箔の接着強度が低くなる。そのため、ラミネート圧力は、49〜490N/cm2(5〜50kgf/cm2)の範囲内であることが好ましく、98〜294N/cm2(10〜30kgf/cm2)の範囲内であることがより好ましい。この範囲内であれば、ラミネート温度、ラミネート速度、およびラミネート圧力の3条件を良好なものにすることができ、生産性をより一層向上することができる。   Furthermore, the higher the pressure at the time of thermal lamination, that is, the lamination pressure, there is an advantage that the lamination temperature can be lowered and the lamination speed can be increased. However, generally, when the laminating pressure is too high, the dimensional change of the obtained laminate tends to deteriorate. On the other hand, when the lamination pressure is too low, the adhesive strength of the metal foil of the resulting laminate is reduced. Therefore, the laminating pressure is preferably in the range of 49 to 490 N / cm 2 (5 to 50 kgf / cm 2), and more preferably in the range of 98 to 294 N / cm 2 (10 to 30 kgf / cm 2). Within this range, the three conditions of laminating temperature, laminating speed, and laminating pressure can be improved, and productivity can be further improved.

本発明では、熱ラミネート時にフィルム状接合部材にかかる張力を特定の範囲にすることが好ましく、これによって、得られるフレキシブル金属張積層板の寸法変化、特に金属箔除去後に加熱した場合の寸法変化を抑制することが可能となる。具体的には、0.01〜1N/cmの範囲内であり、0.1〜1N/cmの範囲が好ましく、0.3〜1N/cmの範囲内であることがさらに好ましい。フィルムの搬送性を確保するためには、熱ラミネート時にフィルム状接合部材にかかる張力を小さくすることは困難であり、この方法は通常採用する手段ではないが、本発明者らは、敢えてフィルム状接合部材にかかる張力を小さくすることによって、寸法変化を抑制しうることを見出した。なお、フィルム状接合部材にかかる張力とは、ラミネートロールに入る直前のフィルム状接合部材にかかる張力のことをいい、テンションピックアップロールにより検知することができる。   In the present invention, it is preferable that the tension applied to the film-like joining member at the time of heat laminating is in a specific range, thereby changing the dimensional change of the obtained flexible metal-clad laminate, particularly when heated after removing the metal foil. It becomes possible to suppress. Specifically, it is in the range of 0.01 to 1 N / cm, preferably in the range of 0.1 to 1 N / cm, and more preferably in the range of 0.3 to 1 N / cm. In order to ensure the transportability of the film, it is difficult to reduce the tension applied to the film-like joining member during thermal lamination, and this method is not a means usually employed. It has been found that dimensional changes can be suppressed by reducing the tension applied to the joining member. In addition, the tension | tensile_strength concerning a film-like joining member means the tension | tensile_strength concerning a film-like joining member just before entering a laminate roll, and can be detected with a tension pick-up roll.

本発明においては、熱ラミネートする工程(上記工程(1))の前に、フィルム状接合部材に対して、1以上の回転体を有した弓状軸を接触させる工程と(上記工程(2))が含まれることが好ましい。   In the present invention, before the step of heat laminating (the above step (1)), the step of bringing the arcuate shaft having one or more rotating bodies into contact with the film-like joining member (the above step (2)) ) Is preferably included.

本発明者らは、1以上の回転体を有した弓状軸をフィルム状結合部材に接触させる工程を熱ラミネートする工程に先立って行うことにより、搬送性を確保し、寸法変化が抑制されるだけでなく、外観にも優れた金属張積層板が得られることを見出した。1以上の回転体を有した弓状軸の設置場所は装置的に可能な限り熱ラミネートロールに近い距離に設置することが好ましく、熱ラミネートロール直前1.5m以内に設置することが好ましく、更に好ましくは1.0m以内に設置するのが良い。最も好ましくは熱ラミネート直前0.5m以内に設置するのが良い。弓状棒をフィルム状結合部材に押しあてることが好ましく、弓状棒の押しあてる圧力は0.1g〜50g/cmであることが好ましい。押しあてる圧力が大きすぎると、局所的にフィルムに張力がかかってしまい寸法変化率が悪くなることがある。 The present inventors secure transportability and suppress dimensional change by performing the step of bringing the arcuate shaft having one or more rotating bodies into contact with the film-like coupling member prior to the heat laminating step. In addition, the present inventors have found that a metal-clad laminate having an excellent appearance can be obtained. It is preferable to install the arcuate shaft having one or more rotating bodies as close as possible to the thermal laminating roll as much as possible in terms of apparatus, and preferably within 1.5 m immediately before the thermal laminating roll, It is preferable to install within 1.0 m. Most preferably, it should be installed within 0.5 m immediately before thermal lamination. Preferably pressing the arcuate rod into a film coupling member, it is preferable pressure is pressed against the arcuate rod is 0.1g~50g / cm 2. If the pressure applied is too large, the film is locally tensioned and the dimensional change rate may deteriorate.

多数回転体を有した弓状軸はフィルム上部または下部から弧を垂直に押しあてる方法と水平におしあてる方法がある。フィルム上部または下部より垂直に押しあてる方法では外観的に優れた金属張積層板を得ることができるが、フィルム中央部と端部にあたる弓状棒の圧力の違いから寸法変化率のばらつきが生じる場合がある。従って、弓状棒を水平に押しあてる方法が好ましい。弓状棒の形状は、使用する接合部材により変化させてもよいが、緩やかなカーブを有する弓状棒が好ましい。   An arcuate shaft having a large number of rotating bodies is divided into a method in which an arc is vertically pressed from the top or bottom of the film and a method in which the arc is horizontally aligned. A metal-clad laminate with excellent appearance can be obtained by pressing the film vertically from the top or bottom of the film, but when the dimensional change rate varies due to the difference in pressure between the arcuate bars at the center and end of the film. There is. Therefore, a method of pressing the arcuate bar horizontally is preferable. The shape of the arcuate bar may be changed depending on the joining member to be used, but an arcuate bar having a gentle curve is preferable.

この回転体の形状・サイズ・材質などは、熱ラミネートされる接合部材により最適な形態をとることができる。形状はフィルム表面にキズをつけない程度の摩擦性を有しており、エッジを持たないものが好ましい。また、たるみや波打ち等を解消するために、回転体とフィルム接地部位は平らであることが望ましい。回転体サイズはたるみや波打ち等を解消できる最小サイズであることが望ましく、回転体同士の間隔が小さい方が好ましい。材質は前記述と同様にフィルム表面にキズをつけない程度の摩擦性を有しており、かつ最適な弾性率・硬度を有しているものが好ましい。その材質は使用する接合部材により選定することができる。また、この回転体は全回転体が、接合部材の流れ方向に対して平行に並んでいる形態(図2)より、接合部材の中心より外側へ回転体がハの字に開く形態(図3)である方がより効果的である。   The shape, size, material, and the like of the rotating body can take an optimum form depending on the joining member to be thermally laminated. The shape is such that it has a frictional property that does not damage the film surface and does not have an edge. Further, in order to eliminate sagging and undulations, it is desirable that the rotating body and the film ground contact portion be flat. The size of the rotating body is desirably the minimum size that can eliminate sagging, undulations, and the like, and it is preferable that the interval between the rotating bodies is small. As in the previous description, the material preferably has a frictional property that does not damage the film surface and has an optimal elastic modulus and hardness. The material can be selected according to the joining member used. In addition, this rotating body has a configuration in which all rotating bodies are arranged in parallel with the flow direction of the joining member (FIG. 2), and the rotating body opens in a U shape outward from the center of the joining member (FIG. 3). ) Is more effective.

さらに、本発明において、熱ラミネートを実施する手段の具体的な構成は特に限定されるものではないが、得られる積層板の外観を良好なものとするために、加圧面と金属箔との間に保護フィルムを配置することが好ましい。   Further, in the present invention, the specific configuration of the means for carrying out the thermal lamination is not particularly limited, but in order to improve the appearance of the resulting laminate, the space between the pressing surface and the metal foil is not limited. It is preferable to arrange a protective film.

上記保護フィルムとしては、熱ラミネート時の加熱温度に耐えうるものであればよく、例えば、非熱可塑性ポリイミドフィルム等の耐熱性プラスチック、銅箔、アルミニウム箔、およびSUS箔等の金属箔等が挙げられる。中でも、耐熱性、再使用性等のバランスが優れる点から、非熱可塑性ポリイミドフィルムを好適に用いることができる。   The protective film may be any film that can withstand the heating temperature during thermal lamination, and examples thereof include heat-resistant plastics such as non-thermoplastic polyimide films, copper foils, aluminum foils, and metal foils such as SUS foils. It is done. Among these, a non-thermoplastic polyimide film can be suitably used from the viewpoint of excellent balance between heat resistance and reusability.

また、保護フィルムの厚みが薄いと、ラミネート時の緩衝および保護の役目を十分に果たさなくなる。したがって、保護フィルムとして、非熱可塑性ポリイミドフィルムを用いる場合、その厚みは、75μm以上であることが好ましい。   Moreover, when the thickness of the protective film is thin, the role of buffering and protection during lamination cannot be sufficiently achieved. Therefore, when a non-thermoplastic polyimide film is used as the protective film, the thickness is preferably 75 μm or more.

また、上記保護フィルムは、必ずしも1層である必要はなく、異なる特性を有する2層以上の多層構造でもよい。   The protective film is not necessarily a single layer, and may have a multilayer structure of two or more layers having different characteristics.

また、接着層に熱可塑性ポリイミドが含有されるため、ラミネート温度が非常に高温となる。そのため、保護フィルムをそのままラミネートに用いると、急激な熱膨張により、得られるフレキシブル金属張積層板の外観や寸法安定性を悪化させる可能性がある。したがって、ラミネート前に、保護フィルムに予備加熱を施すことが好ましい。   Further, since the adhesive layer contains thermoplastic polyimide, the lamination temperature becomes very high. Therefore, if the protective film is used as it is for the laminate, the appearance and dimensional stability of the resulting flexible metal-clad laminate may be deteriorated due to rapid thermal expansion. Therefore, it is preferable to preheat the protective film before lamination.

予備加熱の手段としては、保護フィルムを熱ロールに抱かせるなどして接触させる方法が挙げられる。いずれの方法を採るとしても、ラミネート時に保護フィルムの表面温度が、「熱ロールの表面温度−10℃〜熱ロールの表面温度」の範囲内となるようにすることが好ましい。ここでいう「保護フィルムの表面温度」とは、ラミネート時に金属箔と接する側の面の温度のことをいう。   Examples of the preheating means include a method in which the protective film is brought into contact with a heat roll. Whichever method is employed, it is preferable that the surface temperature of the protective film is within the range of “the surface temperature of the hot roll−10 ° C. to the surface temperature of the hot roll” during lamination. Here, the “surface temperature of the protective film” refers to the temperature of the surface in contact with the metal foil during lamination.

保護フィルムの表面温度を、上記範囲内とすることにより、ラミネート時には保護フィルムの熱膨張が終了しているため、フレキシブル金属張積層板の外観や寸法変化に影響を与えることが抑制される。保護フィルムの表面温度が上記範囲から外れた場合、保護フィルムの熱膨張が終了しないままラミネートが行われるため、ラミネート時に急激な熱膨張が起こり、得られる積層板の外観や寸法変化が悪化する可能性がある。   By setting the surface temperature of the protective film within the above range, since the thermal expansion of the protective film is completed at the time of lamination, it is possible to suppress the appearance and dimensional change of the flexible metal-clad laminate. If the surface temperature of the protective film deviates from the above range, lamination is performed without completing the thermal expansion of the protective film, so rapid thermal expansion occurs during lamination, and the appearance and dimensional changes of the resulting laminate may deteriorate. There is sex.

保護フィルムを熱ロールに抱かせる距離ならびに時間については特に限定されず、保護フィルムの厚み、熱ロールの径、ラミネート速度などから適宜調整すればよい。保護フィルムおよび熱ロールの表面温度については、接触式温度計や熱電対等、公知の方法により測定が可能である。   The distance and time for holding the protective film on the hot roll are not particularly limited, and may be appropriately adjusted from the thickness of the protective film, the diameter of the hot roll, the lamination speed, and the like. About the surface temperature of a protective film and a heat roll, it can measure by well-known methods, such as a contact-type thermometer and a thermocouple.

また、熱ラミネート時に、上記保護フィルムにかかる張力は、600〜2000N/mの範囲内であることが好ましい。上記構成とすることにより、フィルム切れすることなく、保護フィルムのたるみやシワ等の発生を抑えることができる。それゆえ、外観が良好な金属張積層板が得られるという効果を奏する。   Moreover, it is preferable that the tension | tensile_strength concerning the said protective film in the range of 600-2000 N / m at the time of a thermal lamination. By setting it as the said structure, generation | occurrence | production of the sagging of a protective film, wrinkles, etc. can be suppressed, without cut | disconnecting a film. Therefore, there is an effect that a metal-clad laminate having a good appearance can be obtained.

<V.フレキシブル金属張積層板の製造装置>
本発明にかかるフレキシブル金属張積層板を得るためには、一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置、またはダブルベルトプレス(DBP)による連続処理を用いることができる。中でも、装置構成が単純であり、保守コストの面で有利であるという点から、一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置を用いることが好ましい。上記の熱ロールラミネート装置では、連続的に被積層材料を加熱しながら圧着することができる。
<V. Manufacturing equipment for flexible metal-clad laminates>
In order to obtain the flexible metal-clad laminate according to the present invention, a hot roll laminating apparatus having a pair of metal rolls or a continuous treatment by a double belt press (DBP) can be used. Especially, it is preferable to use the hot roll laminating apparatus which has a pair or more metal roll from the point that an apparatus structure is simple and it is advantageous at the surface of a maintenance cost. In the above-mentioned hot roll laminating apparatus, the material to be laminated can be pressure-bonded while being continuously heated.

ここでいう「一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置」とは、材料を加熱加圧するための金属ロールを有している装置であればよく、その具体的な装置構成は特に限定されるものではない。   The “heat roll laminating apparatus having a pair of metal rolls” herein may be an apparatus having a metal roll for heating and pressurizing a material, and the specific apparatus configuration is particularly limited. It is not a thing.

さらに、上記の熱ラミネート装置には、熱ラミネート手段の前段に、被積層材料を繰り出す被積層材料繰出手段を設けてもよい。また、熱ラミネート手段の後段に、被積層材料を巻き取る被積層材料巻取手段を設けてもよい。これらの手段を設けることで、上記の熱ラミネート装置の生産性をより一層向上させることができる。   Furthermore, the above-mentioned heat laminating apparatus may be provided with a material to be laminated material feeding means for feeding the material to be laminated before the heat laminating means. Further, a layered material winding unit for winding the layered material may be provided after the thermal laminating unit. By providing these means, the productivity of the thermal laminating apparatus can be further improved.

上記被積層材料繰出手段および被積層材料巻取手段の具体的な構成は、特に限定されるものではなく、例えば、フィルム状接合部材や金属箔、あるいは得られる積層板を巻き取ることのできる公知のロール状巻取機等を挙げることができる。   The specific configurations of the laminated material feeding means and the laminated material winding means are not particularly limited. For example, a film-like joining member, a metal foil, or a known laminated plate can be taken up. And a roll winder.

さらに、保護フィルムを巻き取ったり繰り出したりする保護フィルム巻取手段や保護フィルム繰出手段を設けることがより好ましい。これら保護フィルム巻取手段・保護フィルム繰出手段を備えていれば、熱ラミネート工程で、一度使用された保護フィルムを巻き取って繰り出し側に再度設置することで、保護フィルムを再使用することができる。   Furthermore, it is more preferable to provide a protective film winding means or a protective film feeding means for winding or feeding the protective film. If these protective film winding means and protective film feeding means are provided, the protective film can be reused by winding the protective film once used in the heat laminating step and installing it again on the feeding side. .

また、保護フィルムを巻き取る際に、保護フィルムの両端部を揃えるために、端部位置検出手段および巻取位置修正手段を設けてもよい。これによって、精度よく保護フィルムの端部を揃えて巻き取ることができるので、再使用の効率を高めることができる。上記の保護フィルム巻取手段、保護フィルム繰出手段、端部位置検出手段、および巻取位置修正手段の具体的な構成は特に限定されるものではなく、従来公知の各種装置を用いることができる。   Moreover, when winding up a protective film, in order to align the both ends of a protective film, you may provide an edge part position detection means and a winding position correction means. Thereby, since the edge part of a protective film can be aligned and wound accurately, the efficiency of reuse can be improved. Specific configurations of the protective film winding means, the protective film feeding means, the end position detecting means, and the winding position correcting means are not particularly limited, and various conventionally known devices can be used.

なお、本発明は、以上説示した各構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。   Note that the present invention is not limited to the configurations described above, and various modifications are possible within the scope of the claims, and technical means disclosed in different embodiments are appropriately combined. Embodiments obtained in this manner are also included in the technical scope of the present invention.

以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。当業者は、本発明の範囲を逸脱することなく、種々の変更、修正、および改変を行うことができる。なお、合成例、実施例、比較例、および参考例における熱可塑性ポリイミドのガラス転移温度、フィルム状接合部材の加熱時の寸法変化率、フレキシブル金属張積層板の寸法変化率、金属箔引き剥し強度の評価法は次の通りである。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention concretely, this invention is not limited only to these Examples. Those skilled in the art can make various changes, modifications, and alterations without departing from the scope of the present invention. In addition, the glass transition temperature of the thermoplastic polyimide in the synthesis examples, examples, comparative examples, and reference examples, the dimensional change rate during heating of the film-like joining member, the dimensional change rate of the flexible metal-clad laminate, and the metal foil peel strength The evaluation method is as follows.

〔熱可塑性ポリイミドのガラス転移温度〕
ガラス転移温度は、セイコーインスツルメンツ社製 DMS200により、昇温速度3℃/分にて、室温から400℃までの温度範囲で測定し、貯蔵弾性率の変曲点をガラス転移温度とした。
[Glass transition temperature of thermoplastic polyimide]
The glass transition temperature was measured with a DMS200 manufactured by Seiko Instruments Inc. at a temperature rising rate of 3 ° C./min in a temperature range from room temperature to 400 ° C., and the inflection point of the storage elastic modulus was taken as the glass transition temperature.

〔フレキシブル金属張積層板の寸法変化率〕
JIS C6481に基づいて、フレキシブル金属張積層板に、エッチング工程を実施
して、フレキシブル金属張積層板から金属箔を除去した後、4つの穴を形成し、20℃、60%RHの恒温室に24時間放置した後に各穴のそれぞれの距離を測定した。この距離をD1とした。
[Dimensional change rate of flexible metal-clad laminate]
Based on JIS C6481, an etching process is carried out on a flexible metal-clad laminate, and after removing the metal foil from the flexible metal-clad laminate, four holes are formed, and a constant temperature room at 20 ° C. and 60% RH is formed. After being left for 24 hours, the distance of each hole was measured. This distance was set to D1.

その後、250℃で30分加熱した後、20℃、60%RHの恒温室に24時間放置した。その後、上記4つの穴について、それぞれの距離を測定した。加熱後における各穴の距離の測定値をD2として、次式により加熱前後の寸法変化率を求めた。   Then, after heating at 250 ° C. for 30 minutes, it was left in a constant temperature room at 20 ° C. and 60% RH for 24 hours. Then, each distance was measured about the said four holes. The measured value of the distance of each hole after heating was set to D2, and the dimensional change rate before and after heating was calculated by the following formula.

寸法変化率(%)={(D2−D1)/D1}×100
なお、上記寸法変化率は、MD方向及びTD方向の双方について測定した。
Dimensional change rate (%) = {(D2-D1) / D1} × 100
In addition, the said dimensional change rate was measured about both MD direction and TD direction.

〔金属箔の引き剥がし強度:接着強度〕
JIS C6471の「6.5 引きはがし強さ」に従って、サンプルを作製し、5mm幅の金属箔部分を、180度の剥離角度、50mm/分の条件で剥離し、その荷重を測定した。
[Stripping strength of metal foil: Adhesive strength]
A sample was prepared according to “6.5 Peel Strength” of JIS C6471, and a 5 mm wide metal foil part was peeled off at a peeling angle of 180 degrees and 50 mm / min, and the load was measured.

〔フレキシブル金属張積層板の外観〕
ラミネート後のフレキシブル金属張積層板の外観及び銅箔除去後のシワ等外観不具合の発生を目視で確認した。また、詳細確認必要な場合は当業者の判断で光学顕微鏡での確認を行った。
[Appearance of flexible metal-clad laminate]
The appearance of the flexible metal-clad laminate after lamination and the appearance defects such as wrinkles after removing the copper foil were visually confirmed. Further, when detailed confirmation is necessary, confirmation by an optical microscope was performed at the judgment of a person skilled in the art.

〔保護材料にかかる張力の測定〕
ラミネートロールの手前にテンションピックアップロールを設け、張力を検出し、これをラミネート時にかかる張力とした。
[Measurement of tension applied to protective material]
A tension pick-up roll was provided in front of the laminate roll, and the tension was detected. This was used as the tension applied during lamination.

〔合成例1;ポリイミドフィルムの合成〕
ピロメリット酸二無水物/p−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)/4,4’−ジアミノジフェニルエーテル/パラフェニレンジアミンを、それぞれモル比1/1/1/1の比率で、N,N’−ジメチルアセトアミド溶媒下、固形分が18重量%になるように重合した。
[Synthesis Example 1; Synthesis of polyimide film]
Pyromellitic dianhydride / p-phenylenebis (trimellitic acid monoester acid anhydride) / 4,4′-diaminodiphenyl ether / paraphenylenediamine in a molar ratio of 1/1/1/1 respectively. , N′-dimethylacetamide was polymerized in a solvent so that the solid content was 18% by weight.

この重合溶液を約0℃に冷却した上で、約0℃に冷却したポリアミド酸溶液のアミド酸1モルに対して2.1モル%の無水酢酸及び1.1モル%のイソキノリンを添加し、充分に攪拌した後、約5℃に保ったダイより押し出して、エンドレスベルト上に流延塗布した。エンドレスベルト上で、140℃以下で加熱することでゲル残輝54%のゲルフィルムを得た。   The polymerization solution was cooled to about 0 ° C., and 2.1 mol% acetic anhydride and 1.1 mol% isoquinoline were added to 1 mol of amic acid in the polyamic acid solution cooled to about 0 ° C. After sufficiently stirring, the mixture was extruded from a die maintained at about 5 ° C. and cast onto an endless belt. A gel film having a gel afterglow of 54% was obtained by heating at 140 ° C. or lower on an endless belt.

この自己支持性を有したグリーンシート(ゲルフィルム)を引き剥がし、続いてシートの両端を連続的にシートを搬送するピンシートに固定し、加熱炉に搬送し、200℃、1分、300℃,1分、400℃、1分、500℃、2分加熱し、ピンからフィルムを引き剥がし、巻取って1.2m幅のポリイミドフィルム(厚み10μm)を得た。   The self-supporting green sheet (gel film) is peeled off, and then both ends of the sheet are fixed to a pin sheet that continuously conveys the sheet, and conveyed to a heating furnace at 200 ° C. for 1 minute, 300 ° C. , 1 minute, 400 ° C., 1 minute, 500 ° C., 2 minutes, the film was peeled off from the pin, and wound to obtain a 1.2 m-wide polyimide film (thickness 10 μm).

〔合成例2;熱可塑性ポリイミド前駆体の合成〕
容量2000mlのガラス製フラスコにDMFを780g、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン(以下、「BAPP」ともいう)を115.6g加え、窒素雰囲気下で攪拌しながら、3,3’4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(以下、「BPDA」ともいう)を78.7g徐々に添加した。続いて、エチレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)(以下、「TMEG」ともいう)を3.8g添加し、氷浴下で30分間撹拌した。2.0gのTMEGを20gのN,N−ジメチルフォルムアミド(以下、「DMF」ともいう)に溶解させた溶液を別途調製し、これを上記反応溶液に、粘度に注意しながら徐々に添加、撹拌を行った。粘度が3000poise(300Pa・s)に達したところで添加、撹拌をやめ、ポリアミド酸溶液を得た。
[Synthesis Example 2; Synthesis of thermoplastic polyimide precursor]
780 g of DMF and 115.6 g of 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane (hereinafter also referred to as “BAPP”) were added to a glass flask having a volume of 2000 ml, and the mixture was stirred under a nitrogen atmosphere. 3,3′4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (hereinafter also referred to as “BPDA”) was gradually added. Subsequently, 3.8 g of ethylene bis (trimellitic acid monoester acid anhydride) (hereinafter also referred to as “TMEG”) was added and stirred for 30 minutes in an ice bath. A solution prepared by dissolving 2.0 g of TMEG in 20 g of N, N-dimethylformamide (hereinafter also referred to as “DMF”) was prepared separately, and this was gradually added to the above reaction solution while paying attention to viscosity. Stirring was performed. When the viscosity reached 3000 poise (300 Pa · s), the addition and stirring were stopped to obtain a polyamic acid solution.

このポリアミド酸溶液を25μmPETフィルム(セラピールHP,東洋メタライジング社製)上に、最終的な厚みが20μmとなるように流延し、120℃で5分間乾燥を行った。乾燥後の自己支持性フィルムをPETから剥離した後、金属製のピン枠に固定し、150℃で5分間、200℃で5分間、250℃で5分間、および350℃で5分間乾燥を行い、単層シートを得た。この熱可塑性ポリイミドのガラス転移温度は、240℃であった。   This polyamic acid solution was cast on a 25 μm PET film (Therapy HP, manufactured by Toyo Metallizing Co., Ltd.) so as to have a final thickness of 20 μm, and dried at 120 ° C. for 5 minutes. After the dried self-supporting film is peeled off from PET, it is fixed to a metal pin frame and dried at 150 ° C. for 5 minutes, 200 ° C. for 5 minutes, 250 ° C. for 5 minutes, and 350 ° C. for 5 minutes. A single layer sheet was obtained. The glass transition temperature of this thermoplastic polyimide was 240 ° C.

〔実施例1:フレキシブル金属張積層板の製造〕
合成例2で得られたポリアミド酸溶液を固形分濃度10重量%になるまでDMFで希釈した後、合成例1のポリイミドフィルム(厚み10μm)の両面に、熱可塑性ポリイミド層(接着層)の最終的な片面の厚みが2μmとなるようにポリアミド酸を塗布した後、140℃で1分間加熱を行った。続いて、雰囲気温度390℃の遠赤外線ヒーター炉の中を20秒間通して加熱イミド化を行って、耐熱性接着フィルム(フィルム状接合部材)を得た。得られた接着フィルム(フィルム状接合部材)の両側に18μm圧延銅箔(BHY−22B−T,ジャパンエナジー社製)を、さらに銅箔の両側にアピカル125NPI(株式会社カネカ製)を保護フィルムとして用いて、図2に示すように複数の回転体を有した弓状軸を圧力50g/cmで設置し、接着フィルム(フィルム状接合部材)の張力を0.1N/cmとし、保護フィルム張力300N/cm、ラミネート温度380℃、ラミネート圧力196N/cm2(20kgf/cm2)、ラミネート速度1.5m/分の条件で連続的に熱ラミネートを行い、フレキシブル金属張積層板を作製した。このフレキシブル金属張積層板の特性を表1に示す。
[Example 1: Production of flexible metal-clad laminate]
After diluting the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 2 with DMF until the solid content concentration becomes 10% by weight, the final thermoplastic polyimide layer (adhesive layer) is formed on both sides of the polyimide film (10 μm thickness) of Synthesis Example 1 After applying the polyamic acid so that the typical thickness of one side was 2 μm, heating was performed at 140 ° C. for 1 minute. Subsequently, heat imidization was performed by passing through a far infrared heater furnace having an atmospheric temperature of 390 ° C. for 20 seconds to obtain a heat-resistant adhesive film (film-like joining member). 18 μm rolled copper foil (BHY-22B-T, manufactured by Japan Energy Co., Ltd.) on both sides of the obtained adhesive film (film-like joining member), and Apical 125 NPI (manufactured by Kaneka Co., Ltd.) on both sides of the copper foil as protective films As shown in FIG. 2, an arcuate shaft having a plurality of rotating bodies is installed at a pressure of 50 g / cm 2 , the tension of the adhesive film (film-like joining member) is 0.1 N / cm, and the protective film tension Thermal lamination was performed continuously under the conditions of 300 N / cm, laminating temperature 380 ° C., laminating pressure 196 N / cm 2 (20 kgf / cm 2), laminating speed 1.5 m / min, and a flexible metal-clad laminate was produced. Table 1 shows the characteristics of the flexible metal-clad laminate.

〔実施例2:フレキシブル金属張積層板の製造〕
図3に示すように複数の回転体を有した弓状軸を圧力0.1g/cmで設置し、接着フィルム(フィルム状接合部材)の張力を0.02N/cmとした以外は実施例1と同様にしてフレキシブル金属張積層板を作製した。
[Example 2: Production of flexible metal-clad laminate]
3 except that an arcuate shaft having a plurality of rotating bodies was installed at a pressure of 0.1 g / cm 2 and the tension of the adhesive film (film-like joining member) was 0.02 N / cm as shown in FIG. In the same manner as in Example 1, a flexible metal-clad laminate was produced.

〔比較例1;フレキシブル金属張積層板の製造〕
多数回転体を有した弓状軸を設置せず、接着フィルム(フィルム状接合部材)の張力を0.4N/cmとした以外は実施例1と同様にしてフレキシブル金属張積層板を作製した
[Comparative Example 1: Production of flexible metal-clad laminate]
A flexible metal-clad laminate was produced in the same manner as in Example 1 except that the arcuate shaft having a large number of rotating bodies was not installed and the tension of the adhesive film (film-like joining member) was 0.4 N / cm.

Figure 2007296734
Figure 2007296734

ラミネート工程前に多数回転体を有した弓状軸を押しあてる工程を有し、フィルム状接合部材の張力を適正範囲内に制御した実施例1および2では、良好な寸法安定性が得られ、外観およびエッチング後の外観も良好であった。   In Examples 1 and 2, which had a step of pressing an arcuate shaft having a large number of rotating bodies before the laminating step, and the tension of the film-like joining member was controlled within an appropriate range, good dimensional stability was obtained, The appearance and the appearance after etching were also good.

なお本発明は、以上説示した各構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態や実施例にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態や実施例についても本発明の技術的範囲に含まれる。   Note that the present invention is not limited to the configurations described above, and various modifications are possible within the scope of the claims, and technical means disclosed in different embodiments and examples respectively. Embodiments and examples obtained by appropriately combining them are also included in the technical scope of the present invention.

以上のように、本発明のフレキシブル金属張積層板は、ハーフミル品のように、厚みが薄い場合であっても、寸法変化が効果的に抑制されている。それゆえ、折り畳み性、耐屈曲性及び微細な配線が要求されるFPC等にも好適に用いることが可能で、部品実装時の位置ずれ等の問題を改善できる。したがって、本発明は、ポリイミド性接着フィルム(フィルム状接合部材)からなる積層体に代表される各種樹脂成形品を製造する分野に利用することができるだけでなく、さらには、このような接着フィルムからなる積層体を用いた電子部品の製造に関わる分野にも広く応用することが可能である。   As described above, the flexible metal-clad laminate of the present invention effectively suppresses dimensional changes even when the thickness is thin, as in a half mill product. Therefore, it can be suitably used for an FPC or the like that requires foldability, bending resistance and fine wiring, and problems such as misalignment during component mounting can be improved. Therefore, the present invention can be used not only in the field of producing various resin molded products typified by a laminate composed of a polyimide adhesive film (film-like joining member), but also from such an adhesive film. The present invention can also be widely applied to fields related to the manufacture of electronic components using the laminated body.

複数の回転体を有した弓状軸を熱ラミネートロールよりも手前に設置した熱ロールラミネート装置の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the heat roll laminating apparatus which installed the arcuate axis | shaft which has a some rotary body before this heat laminating roll. フィルム状接合部材の進行方向と並行に並んだ回転体を複数有する弓状軸の一例を示す図The figure which shows an example of the arcuate axis | shaft which has two or more rotary bodies arranged in parallel with the advancing direction of a film-form joining member フィルム状接合部材の中央より外側に向いて並んだ回転体を複数有する弓状軸の一例を示す図The figure which shows an example of the arcuate axis | shaft which has two or more rotating bodies located in a line from the center of the film-shaped joining member.

Claims (4)

(1)一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置を用いて、金属箔と、ポリイミドフィルムの片面または両面に、熱可塑性ポリイミドを含有する接着層が形成された総厚5〜15μmのフィルム状接合部材とを、当該フィルム状接合部材にかかる張力を0.01〜1N/cmの範囲内として、熱ラミネートして貼り合わせる工程と、
(2)上記工程(1)に先立ち、上記フィルム状接合部材に、1以上の回転体を有した弓状軸を接触させる工程を含むことを特徴とするフレキシブル金属張積層板の製造方法。
(1) Using a hot roll laminator having a pair of metal rolls, a film having a total thickness of 5 to 15 μm in which an adhesive layer containing thermoplastic polyimide is formed on one side or both sides of a metal foil and a polyimide film. The bonding member and the step of heat laminating and bonding the tension applied to the film-shaped bonding member within the range of 0.01 to 1 N / cm,
(2) A method for producing a flexible metal-clad laminate comprising the step of bringing an arcuate shaft having one or more rotating bodies into contact with the film-like joining member prior to the step (1).
前記(1)工程において、保護フィルムを用い、当該保護フィルムにかかる張力を600〜2000N/mの範囲内として、熱ラミネートすることを特徴とする請求項1に記載のフレキシブル金属張積層板の製造方法。 2. The production of a flexible metal-clad laminate according to claim 1, wherein in the step (1), a protective film is used and heat-lamination is performed with a tension applied to the protective film in a range of 600 to 2000 N / m. Method. 上記保護フィルムを熱ラミネートに供する前に、熱ロールに上記保護フィルムを接触させることにより、熱ラミネート時における上記保護フィルムの表面温度を、熱ロールの表面温度−10℃〜熱ロールの表面温度の範囲内として、熱ラミネートする工程を含むことを特徴とする請求項1または2に記載のフレキシブル金属張積層板の製造方法。 Before the protective film is subjected to thermal lamination, the protective film is brought into contact with a thermal roll, so that the surface temperature of the protective film at the time of thermal lamination is the surface temperature of the thermal roll of −10 ° C. to the surface temperature of the thermal roll. The method for producing a flexible metal-clad laminate according to claim 1, further comprising a step of heat laminating within the range. 熱ラミネート時の加熱温度が、300℃〜500℃であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のフレキシブル金属張積層板の製造方法。 The method for producing a flexible metal-clad laminate according to any one of claims 1 to 3, wherein a heating temperature at the time of thermal lamination is 300 ° C to 500 ° C.
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