JP2007294852A5 - - Google Patents
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Claims (7)
- 被吸着物を吸着する吸着面を有するとともに被吸着物の表面凹凸に追随して変形する誘電層、誘電層の変形を可能にする弾性層、及び誘電層の吸着面と弾性層との間に位置する、吸着に必要な静電荷を発生させるための電極を含むことを特徴とする静電チャック。
- 誘電層が有機樹脂材料製である、請求項１記載の静電チャック。
- 有機樹脂材料の比誘電率が２以上である、請求項２記載の静電チャック。
- 有機樹脂材料がポリエステルである、請求項３記載の静電チャック。
- 弾性層の材料がシリコーンゴム、天然ゴム、合成ゴム、又はウレタンである、請求項１から４までのいずれか１つに記載の静電チャック。
- 弾性層材料のショアーＡ硬度が５５以上である、請求項５記載の静電チャック。
- 弾性層の比抵抗が１０13Ω・ｃｍ以下である、請求項１から６までのいずれか１つに記載の静電チャック。
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