JP2007290246A - インクジェット記録ヘッド及び、インクジェット記録ヘッドの機能回復方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 複数の記録素子基板を千鳥状に並べ、各記録素子基板に対応したフィルターを設けた構成の長尺インクジェットヘッドにおいて、フィルターと各記録素子基板の間の流路に滞留する泡の除去を容易にする記録ヘッドの機能回復方法及びその構造を提供すると共に、印字の信頼性の高いインクジェット記録ヘッドおよびその機能回復方法を提供する。
【解決手段】 液体を吐出するための複数のノズルと吐出エネルギーを発生する記録素子を複数配列した記録素子基板と、記録素子基板を支持するためのプレートとを有し、記録素子基板がノズル配列方向に複数個配置され、個々の記録素子基板に対応したフィルターが設けられているインクジェット記録ヘッドとし、個々の記録素子基板を部分的に機能回復する手段、及び、フィルターを傾斜させて取り付ける手段と、フィルターと記録素子基板の間の流路に細い流路を設ける構成とする。
【選択図】 図１１

Description

本発明は、インク等の液体を吐出して記録動作を行うインクジェット記録装置、および記録装置に用いられるインクジェット記録ヘッドに関する。

本発明は、一般的なプリント装置のほか、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリント部を有するワードプロセッサ等の装置、あるいは、これらの装置を複合した多機能記録装置等に適用することができる。特に、高速かつ高画質な印字を行う記録装置に好適に適用される。

従来、インクジェット記録装置は、ランニングコストが安く、装置の小型化も可能であり、さらに、複数色のインクを用いてカラー画像記録に対応することも容易であることから、コンピュータ関係の出力機器等に幅広く利用され、商品化されている。

一方、記録ヘッドの吐出口からインクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子としては、ピエゾ素子などの電気機械変換体を用いたもの、レーザーなどの電磁波を照射して発熱させ、この発熱による作用でインク滴を吐出させるもの、あるいは、発熱抵抗体を有する電気熱変換素子によって液体を加熱させるもの等がある。

その中でも熱エネルギーを利用してインク滴を吐出させる方式のインクジェット記録方式のヘッドは、吐出口を高密度に配列することができるため、高解像度の記録が可能である。その中でも電気熱変換素子をエネルギー発生素子として用いた記録ヘッドは、小型化も用意であり、かつ最近の半導体分野における技術の進歩と信頼性の向上が著しいＩＣ技術やマイクロ加工技術の長所を十二分に活用でき、高密度実装化が容易で製造コストも安価なことから有利である。

また、最近では、より高詳細の印字を行うために、インクを吐出するためのノズルを、フォトリソ技術を用いて高精度に作成する方法等も利用されてきている。

近年では、より高速に高詳細の画像の記録を実現するため、より印字幅が長い記録ヘッドの実現も望まれている。具体的には、ヘッドの長さが４インチ〜１２インチなどの長さのものも要求されてきている。

このようなヘッドの長尺化により、ノズル数が増大しヘッドのゴミによる吐出不良の発生が大きな問題となる。そこで、従来インク供給入口に１〜２ヶ所設けられていたフィルターを各記録素子基板に対応してそれぞれ１ヶ所設ける構成が取られる。ゴミの発生源としては各部品からのゴミ、工程中に混入するゴミなどがあるが、この構成により各部品から発生するゴミはフィルターから記録素子基板の間の流路の面積が極めて小さい領域に限定されることになり、また工程内のゴミに関しても工程初期にフィルターを取り付けることができ、ゴミによる不良率が大幅に低減できる。

又、別の従来例としては、特許文献１及び特許文献２をあげることが出来る。
特開平２-０００５２５号公報 特開平０６-１９１０２０号公報

このような構成において、インクを流路内に充填する際に個々のフィルターと記録素子基板の間の泡を除去することが困難であり、印字信頼性を低下する原因となっていた。

長い構成の記録ヘッドにおいては、キャップ領域増大によるキャップの密着性、ノズル全域での均一な吸引回復性などの点で従来短いヘッドで行われていたような吸引による機能回復は困難である。

従来このような構成では、供給系全体を減圧し、その後インクを供給することによりインクを充填していた。しかし、長いヘッドにおいての同様の方法での機能回復は前記のようにキャップの密着性等に困難な点があり回復の信頼性が著しく低下する問題点があった。

また、キャッピングの密着をあげようとするとキャッピング圧が大きくなり、ヘッドへの負荷が増大することになる。このことは、ヘッド構造上の負担が多くなり、コスト・信頼性等に対して不利である。

そこで本発明は、上記従来技術の有する問題点に鑑み、信頼性が高くキャッピング負荷の少ないインクジェット記録ヘッドの機能回復方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため本発明のインクジェット記録ヘッドの機能回復方法は、液体を吐出するための複数のノズルと吐出エネルギーを発生する記録素子を複数配列した記録素子基板がノズル配列方向に複数個配置され、各記録素子基板に対応してフィルターが設けられているインクジェット記録ヘッドの機能回復方法において、一連の機能回復動作の中で各記録素子基板の一部を吸引する機能回復方法を行うことを特徴とする。

上記本発明のインクジェット記録ヘッドの機能回復方法は、記録素子基板をノズル配列方向に複数個配置し、長い印字幅を達成して高速な印字が行えるインクジェット記録ヘッドの機能回復方法であって、各記録素子基板に設けられたノズルの一部より吸引回復を行うことで記録素子基板とフィルターの間の気泡を軽減し、印字に影響しない適度な気泡の除去を行うことが出きる。これにより、ヘッド全域における高度のキャップの密着性が不要となり、より信頼性の高い機能回復が可能となる。

また、本発明のインクジェット記録ヘッドにおいて、ヘッドを傾斜させて機能回復するフィルターを記録素子基板配列面に対し傾斜させて設ける、フィルターと記録素子基板の間の流路に細い流路を設けるなどの構造的な特徴をもたせることによりより効果的な上記機能回復を行うことができる。

以上説明したように本発明では、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板をノズル列方向に複数個配置し、個々の記録素子基板に対応したフィルターが設けられた長尺ヘッドにおいて、個々の記録素子基板を部分的に機能回復することによりフィルターと記録素子基板の間に滞留する泡を除去することができ、印字の信頼性を向上することができる。

また、ヘッドを傾けた状態で機能回復する、フィルターを傾斜させて取り付ける、フィルターと記録素子基板の間の流路に細い流路を設けるなどにより、より効率的な泡の除去を可能とし、更なる印字信頼性の向上が可能となる。

次に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。

（第１の実施形態）
図１から図１０は、本発明が実施もしくは適用される好適な記録ヘッド、駆動回路、インクジェット記録装置のそれぞれ及びそれぞれの関係を説明するための説明図である。以下、これらの図面を参照して各部構成の説明しながら、全体を説明することにする。

（１）記録ヘッドの説明
図１に示すように記録ヘッドＨ１０００は、電気信号に応じて膜沸騰をインクに対して生じせしめるための熱エネルギーを生じせしめるための熱エネルギーを生成する電気熱変換体を用いて記録を行うバブルジェット（登録商標）方式のサイドシュータ型とされる記録ヘッドである。

そして、記録ヘッドＨ１０００は、図２の分解斜視図に示すように、記録素子ユニットＨ１００１とインク供給ユニットＨ１００２のインク供給部材Ｈ１５００から構成される。さらに、図３の分解斜視図に示すように、記録素子ユニットＨ１００１は、記録素子基板Ｈ１１００、第１のプレートＨ１２００、電気配線基板Ｈ１３００、第２のプレートＨ１４００、フィルター部材Ｈ１６００で構成されている。

（１−１）記録素子ユニット
図４（ａ）は、記録素子基板Ｈ１１００の構成を説明する図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）に示すＡ−Ａ断面図である。記録素子基板Ｈ１１００は、例えば、厚さ０．５〜１ｍｍのＳｉ基板Ｈ１１０８で薄膜が形成されている。また、インク流路として長溝状の貫通口からなるインク供給口Ｈ１１０１が形成され、インク供給口Ｈ１１０１の両側に電気熱変換素子Ｈ１１０２がそれぞれ１列ずつ千鳥状に配列されており、前記電気熱変換素子Ｈ１１０２、及び、Aｌ等の電気配線が成膜技術により形成されている。また、該電気配線に電力を供給するために電極Ｈ１１０３が設けられている。前記インク供給口Ｈ１１０１は、前記Ｓｉ基板Ｈ１１０８の結晶方位を利用して、異方性エッチングを行う。ウエハー面に＜１００＞、厚さ方向に＜１１１＞の結晶方位を持つ場合、アルカリ系（ＫＯＨ、ＴＭＡＨ、ヒトラジン等）の異方性エッチングにより、約５４．７度の角度でエッチングが進行する。この方法を用いて、所望の深さにエッチングする。また、前記Ｓｉ基板Ｈ１１０８上には、ノズルプレートＨ１１１０が具備され、電気熱変換素子Ｈ１１０２に対応したインク流路Ｈ１１０４、ノズルＨ１１０５、発泡室Ｈ１１０７がフォトリソ技術により形成されている。また、前記ノズルＨ１１０５は前記電気熱変換素子Ｈ１１０２に対向するように設けられており、インク供給口Ｈ１１０１から供給されたインクを電気熱変換素子Ｈ１１０２により気泡を発生させてインクを吐出させるものである。

第１のプレートＨ１２００は、例えば、厚さ０．５〜１０ｍｍのアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）材料で形成されている。なお、第１のプレートの素材は、アルミナに限られることなく、記録素子基板Ｈ１１００の材料の線膨張率と同等の線膨張率を有し、かつ、記録素子基板Ｈ１１００材料の熱伝導率と同等もしくは同等以上の熱伝導率を有する材料で作られてもよい。第１のプレートＨ１２００の素材は、例えば、シリコン（Ｓｉ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、ジルコニア、窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）、炭化珪素（ＳｉＣ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）のうちいずれであってもよい。第１のプレートＨ１２００には、記録素子基板Ｈ１１００にインクを供給するためのインク供給口Ｈ１２０１が形成されており、記録素子基板Ｈ１１００のインク供給口Ｈ１１０１が第１のプレートＨ１２００のインク供給口Ｈ１２０１に対応し、かつ、記録素子基板Ｈ１１００は第１のプレートＨ１２００に対して位置精度良く接着固定される。その接着剤は、例えば、粘度が低く、接触面に形成される接着層が薄く、かつ、硬化後、比較的高い硬度を有し、かつ、耐インク性のあるものが望ましい。例えば、エポキシ樹脂を主成分とした熱硬化接着剤、もしくは紫外線硬化併用型の熱硬化接着剤であり、接着層の厚みは５０μｍ以下が望ましい。また、第１のプレートＨ１２００は、位置決め基準となるＸ方向基準Ｈ１２０４、Ｙ方向基準Ｈ１２０５、Ｚ方向基準Ｈ１２０６を有している。

記録素子基板Ｈ１１００は、図１に示すように第１のプレート上Ｈ１２００に千鳥状に配置され、同一色による幅広の記録を可能としている。例えば、ノズル群の長さが１インチ＋αの４つの記録素子基板Ｈ１１００ａ、Ｈ１１００ｂ、Ｈ１１００ｃ、Ｈ１１００ｄを千鳥状に配置し、４インチ幅の記録を可能にしている。

また、各記録素子基板の吐出口群の端部は、千鳥状に隣接する記録素子基板のノズル群の端部と、記録方向に対して、重複する領域（Ｌ）を設け、各記録素子基板による印刷に隙間が生じることを防止している。例えば、ノズル群Ｈ１１０６ａとノズル群Ｈ１１０６ｂに重複領域Ｈ１１０９ａ、Ｈ１１０９ｂを設けている。

電気配線基板Ｈ１３００は、記録素子基板Ｈ１１００に対してインクを吐出するための電気信号を印加するものであり、記録素子基板Ｈ１１００を組み込むための開口部を有しており、裏面には第２のプレートＨ１４００が接着固定される。また、電気配線基板Ｈ１３００は、記録素子基板Ｈ１１００の電極Ｈ１１０３に対応する電極端子Ｈ１３０２と、この配線端部に位置し記録装置本体からの電気信号を受け取るための外部信号入力端子Ｈ１３０１を有している。電気配線基板Ｈ１３００と記録素子基板Ｈ１１００は、電気的に接続されており、接続方法は、例えば、記録素子基板Ｈ１１００の電極Ｈ１１０３と電気配線基板Ｈ１３００の電極端子Ｈ１３０２を金ワイヤーＨ１３０３（不図示）を用いたワイヤーボンディング技術によりにより電気的に接続される。電気配線基板Ｈ１３００の素材としては、例えば、配線が二層構造のフレキシブル配線基板が使用され、表層はポリイミドフィルムで覆われている。

第２のプレートＨ１４００は、例えば、厚さ０．５〜１ｍｍのＳＵＳ板で形成されている。なお、第２のプレートの素材は、ＳＵＳに限られることなく、耐インク性を有し、良好な平面性を有する材料で作られてもよい。そして、第２のプレートＨ１４００は、第１のプレートＨ１２００に接着固定された記録素子基板Ｈ１１００および該記録素子基板を取り込む開口部を有し、第１のプレートに接着固定される。

第２のプレートの開口部Ｈ１４０２と記録素子基板Ｈ１１００の側面によって形成される溝部には、第１の封止剤Ｈ１３０４が充填され、前記電気配線基板Ｈ１３００の電気実装部を封止している。また、記録素子基板の電極Ｈ１１０３は、第２の封止剤Ｈ１３０５で封止し、電気接続部分をインクによる腐食や外的衝撃から保護している。

また、第１のプレートＨ１１００の裏面側インク供給口Ｈ１２０１には、インク中に混入された異物を取り除くためのフィルター部材Ｈ１６００が接着固定される。

（１−２）インク供給ユニット
インク供給部材Ｈ１５００は、例えば、樹脂成形により形成され、共通液室Ｈ１５０１と、Ｚ方向基準面Ｈ１５０２を具備している。そして、Ｚ基準面Ｈ１５０２は、記録素子ユニットを位置決め固定するとともに、記録ヘッドＨ１０００のＺ基準となっている。

（１−３）記録素子ユニットとインク供給ユニットの結合
先述の図２に示した通り、記録ヘッドＨ１０００は、記録素子ユニットＨ１００１をインク供給部材Ｈ１５００に結合することにより完成する。

結合は以下のように行われる。

インク供給部材Ｈ１５００の開口部と記録素子ユニットＨ１００１を第３の封止剤Ｈ１５０３により封止し、共通液室Ｈ１５０１を密閉する。そして、インク供給部材のＺ基準Ｈ１５０２に記録素子ユニットＨ１００１のＺ基準Ｈ１５０２を、例えば、ビスＨ１９００等により位置決め固定する。第３の封止剤Ｈ１５０３は、耐インク性があり、かつ、常温で硬化し、かつ、異種材料間の線膨張差に耐えられる柔軟性のある封止剤が望ましい。

また、記録素子ユニットＨ１００１の外部信号入力端子Ｈ１３０１部分は、例えば、インク供給部材Ｈ１５０１の裏面に、位置決め固定される。

（２）駆動回路の説明
本願の記録ヘッドＨ１０００は図１に示されるように４つの記録素子基板Ｈ１１００がチッププレートＨ１２００の上に精度良く配列され、さらに４つの記録素子基板Ｈ１１００が電気配線基板Ｈ１３００で配線されている。図８はこの４つの記録素子基板間の信号配線を示す回路図である。図中Ｈ１１００ａ〜Ｈ１１００ｄがそれぞれ４つの記録素子基板に相当し、各記録素子基板は図６および図７に示す奇数、偶数２つのノズル列の駆動回路から成り立っている。ＨＥＡＴＯ、ＥおよびＩＤＡＴＡＯ、Ｅは素子毎に奇偶別々に取り出されており、記録素子基板毎にＨＥＡＴ１〜８およびＩＤＡＴＡ１〜８の信号名で示されている。それ以外の信号は記録素子基板間で共通に配線されている。ＬＴＣＬＫ、ＤＣＬＫ、ＨＥＡＴ１〜８、ＩＤＡＴＡ１〜８は外部信号入力端子Ｈ１３０１に接続され、電源系であるＶＨ、ＧＮＤＨ、ＶＤＤ、ＧＮＤは電源端子Ｈ１３０２に接続されている。

図４は記録素子基板Ｈ１１００の構成を示す図で、インク供給口Ｈ１１０１を挟んで両側に奇数、偶数２つのノズル列がノズルピッチの半分ずらして配置されている。これら２つの駆動回路は記録素子基板上に半導体プロセスにより形成され、ＨＥＡＴＯ、ＥおよびＩＤＡＴＡＯ、Ｅの信号はそれぞれの駆動回路で独立に配線されているが、それ以外の信号（ＤＣＬＫ、ＬＴＣＬＫ）と電源（ＶＤＤ、ＧＮＤ、ＶＨ、ＨＧＮＤ）は記録素子基板内においても共通配線となっている。奇数および偶数ノズル列には共に６４０ノズルが６００ｄｐｉピッチで配列されており、前述のようにハーフピッチ分ずれているため、記録素子基板としては１２００ｄｐｉ、１２８０ノズルを構成することになる。各ノズル列の駆動回路は全く同じであるため、図６により駆動回路の概要を説明する。６４０の各ノズルにはそれぞれ吐出ヒータＨ１１０２−１〜１２７９が設けられ、各吐出ヒータを駆動することによりノズル内のインクを発泡させ、インク滴を吐出する。吐出ヒータは２０個づつ、３２の駆動ブロックに分割されており、時分割で駆動される。駆動ブロックはＢＥ０〜３１の信号により選択され、駆動ブロック内に属する２０個の吐出ヒータはトランジスタＥ１００６−１〜２０のＯＮ／ＯＦＦにより吐出するか否かが決定させる。

図９の駆動タイミングチャートと図６により記録ヘッドＨ１０００の駆動について説明する。ＰＲＩＮＴ信号は１カラムの吐出を開始するタイミングを与えるパルス信号で、パルスの立ち上がりタイミングで駆動回路の動作が開始する。駆動回路が動作を開始すると最初にＬＴＣＬＫが生成され、それから数１００ｐｓ後に転送クロックＤＣＬＫが転送データ分、すなわち２５クロック出力される。ＩＤＡＴＡ１〜８の各信号にはＤＣＬＫに同期して転送データが出力され、２５ビットシフトレジスタＥ１００１にシリアル転送される。そして、シフトレジスタＥ１００１に格納されたデータは次の駆動ブロックの最初に出力されるＬＴＣＬＫのタイミングで２５ビットラッチＥ１００２に記憶される。そのため、最初の転送データにしたがって実際の駆動がなされるのはその次のブロックの転送が行われるタイミングである。ここで転送されるデータ内容は駆動されるブロックの番号ＢＥＮＢ０〜４が５ビット、続いてそのブロックで駆動される電気熱変換素子Ｈ１１０２の駆動データが２０ビットの合計２５ビットである。駆動ブロックＢＥＮＢ０〜４は５→３デコーダＥ１００３でＢＥ０〜３１にデコードされ、トランジスタＥ１００５−１〜３２のベース電極に接続される。よって、常に３２個のトランジスタＥ１００５−１〜３２の内、１個だけが駆動されることになり、指定ブロックに属する電気熱変換素子の一端にのみ駆動電源（ＶＨ）が供給されることになる。一方、電気熱変換素子Ｈ１１０２−１〜１２７９のもう一端はセグメント毎に３２個づつ並列接続されて、それぞれ２０個のトランジスタＥ１００６−１〜２０のコレクタ電極に接続されている。これらのトランジスタの駆動はベース電極に接続されているＡＮＤゲートＥ１００４−１〜２０出力により制御される。ＡＮＤゲートの一方の入力には２０ビットの駆動データ信号が接続され、もう一方には電気熱変換素子を実際に駆動するタイミングを与えるパルス信号ＨＥＡＴ１〜８が接続されている。よって、トランジスタＥ１００６−１〜２０は上記２信号のＡＮＤで制御されることになり、その結果２０ビットの駆動データによって指定されたセグメントに対してＨＥＡＴ１〜８のパルスタイミングで駆動されることになる。以上のようにして、ＰＲＩＮＴ信号が発効すると駆動回路が動作を開始し、最初に０ブロック目が駆動され順次１、２、…となって、最後に３１ブロック目は駆動が完了して、全記録素子基板の全ノズルの吐出が制御される。

（３）インクジェット記録装置の説明
本発明のインクジェット記録装置Ｍ４０００は、図５に示すように、例えば、写真画質の記録に対応して６色分の記録ヘッドが具備されている。記録ヘッドＨ１０００Bkは、ブラックインク用の記録ヘッドであり、記録ヘッドＨ１０００Cはシアンインク用、記録ヘッドＨ１０００Mマゼンタインク用、記録ヘッドＨ１０００Ｙはイエローインク用、記録ヘッドＨ１０００ＬＣはライトシアンインク用、記録ヘッドＨ１０００ＬＭはライトマゼンタインク用である。これらの記録ヘッドＨ１０００を、記録装置本体Ｍ４０００に載置されているキャリッジＭ４００１の位置決め手段及び電気的接点Ｍ４００２によって固定支持する。

そして、これらの記録ヘッドを、先述の駆動回路によって制御し、記録媒体に対して記録を行うものである。なお、図５の記録装置では、記録ヘッドが記録媒体幅分のノズルを有するフルラインタイプであり、記録ヘッドは固定で、記録媒体が矢印の方向に走査することで記録を行う方式である。

また、これに対して、図１０の記録装置では、記録ヘッドが主走査方向（キャリッジ移動方向）に往復移動しながら記録を行う、シリアル駆動方式の記録装置である。

次に、さらに詳しく第１の実施形態について説明する。

図１１は、本発明の記録ヘッドの部分的断面を模式的に示した図である。

以下に回復の概略について説明する。流路内の気泡排除の為、AからBにインクを流す。このときフィルターと記録素子基板の間の流路1には大きな気泡が滞留する。次に片方の供給を閉じ、他の一方から加圧する、あるいは両側から加圧することによりある程度の上記気泡はノズルより排出される。しかし、この圧力条件により泡は排除されず残留する場合が生じる。特に長尺になった場合にはより高い加圧条件が必要となり、泡が除去しにくい。次に記録素子基板の一部に吸引キャップを密着させ、ノズルより吸引する。吸引により泡は記録素子基板側に移動しノズルより吸引排除される。この場合、吸引キャップは記録素子基板基板上で密着していればよく、ノズル１００〜２００本程度の範囲であればよい。本実施例では内径約2ｍｍのキャップを用いた。このキャップによる回復では各記録素子基板全体を密着させなくてもよく、また、ヘッド全体を密着せずに行う為、ヘッドにかかる荷重は極めて少なくてすむ。全体を密着させようとすると４”の長さでは約1ｋｇ程度の荷重が必要なり、ヘッド構造上の負担も多くなるが、本実施例では約数十ｇ/１ヶ個所程度の荷重ですむことになる。

図１６にはインク供給回復系の概略模式図をしめした。

Ｐ１は回復時のヘッドへのインク供給用ポンプ、Ｐ２はメインタンクよりサブタンクへインクを供給するポンプ、Ｐは吸引回復用の吸引ポンプである。バルブＶ１は回復時にインク液室を加圧・循環する切り替えのために設けられている。インクはサブタンクよりポンプ１で供給され、液室を流れてもう一方のインク供給口から排出され液室内の泡を除去しサブタンクに戻される。加圧回復時はバルブＶ１を閉じ、ポンプ１で加圧することによりノズル内の泡・及びフィルターと記録素子基板間の泡の一部が排除される。サブタンクのインク液面はヘッド吐出口面との水頭差をある範囲で保つようになっており、ヘッド吐出口面の負圧を適正な範囲で維持する。サブタンクのインクが不足した場合はメインタンクからポンプＰ２によりインクが送られる。

（第２の実施形態）
図１２には本発明第２の実施形態の記録ヘッド構成を示す。

第１の実施形態において回復時にヘッドを傾けて吸引回復する。傾けることにより、残留泡は流路端部に集まり、吸引はノズル列の端部から行う。泡が一ヶ所に集中するため、泡の除去性が向上する。ヘッドは回復時に傾けずとも、装置上で傾けた状態で設置され使用される構成でもかまわない。

（第３の実施形態）
記録素子基板に対してフィルターを傾けた状態で設けた。実施例２と同様、一方向に泡が溜まり除去しやすい。吸引はフィルターの傾斜の上部にあたるノズルから行う。

（第４の実施形態）
フィルターと記録素子基板の間の流路にもう一つの細い流路を設けた。この流路に対応するノズルより吸引をすることによりインク吸引の流速を上げることができ、フィルター近傍の泡をより効果的に除去することを可能にした。

（第５の実施形態）
実施例３、実施例４の構成を併せた形態でありより効果的になる。

本発明の記録ヘッドの外観斜視図 本発明の記録ヘッドの分解斜視図 記録素子ユニットの分解斜視図 記録素子基板を説明する図（ａ）斜視図、（ｂ）Ａ−Ａ断面図 インクジェット記録装置（フルライン方式）を説明する図 奇数のノズル列の駆動回路を説明する図 偶数のノズル列の駆動回路を説明する図 ４つの記録素子基板間の信号配線を説明する図 駆動タイミングチャート図 インクジェット記録装置（シリアル駆動方式）を説明する図 本発明の断面模式図 本発明第２の実施例断面模式図 本発明第3の実施例断面模式図 本発明第４の実施例断面模式図 本発明第５の実施例断面模式図 本発明のインク供給回復系の概略図

符号の説明

Ｈ１０００ 記録ヘッド
Ｈ１００１ 記録素子ユニット
Ｈ１００２ インク供給ユニット
Ｈ１１００ 記録素子基板
Ｈ１１０１ インク供給口
Ｈ１１０２ 電気熱変換素子
Ｈ１１０３ 電極
Ｈ１１０４ インク流路
Ｈ１１０５ ノズル
Ｈ１１０６ ノズル群
Ｈ１１０７ 発泡室
Ｈ１１０８ Ｓｉ基板
Ｈ１１１０ ノズルプレート
Ｈ１２００ 第１のプレート
Ｈ１２０１ インク供給口
Ｈ１２０４ Ｘ方向基準
Ｈ１２０５ Ｙ方向基準
Ｈ１２０６ Ｚ方向基準
Ｈ１３００ 電気配線基板
Ｈ１３０１ 外部信号入力端子
Ｈ１３０２ 電極端子
Ｈ１３０３ 金ワイヤー（不図示）
Ｈ１３０４ 第１の封止剤
Ｈ１３０５ 第２の封止剤
Ｈ１４００ 第２のプレート
Ｈ１５００ インク供給部材
Ｈ１５０１ 液室（不図示）
Ｈ１５０２ Ｚ基準面
Ｈ１５０３ 第３の封止剤（不図示）
Ｈ１５０４ インク供給口（不図示）
Ｈ１８００ インクタンク
Ｈ１８０２ チューブ
Ｈ１９００ ビス
Ｍ４０００ インクジェット記録装置
Ｍ４００１ キャリッジ
Ｍ４００２ 電気的接点
Ｅ１００１ シフトレジスタ
Ｅ１００２ ２５ビットラッチ
Ｅ１００３ デコーダ
Ｅ１００４ ＡＮＤゲート
Ｅ１００５ トランジスタ
Ｅ１００６ トランジスタ
Ｋ１０００ 記録媒体
1 フィルター−記録素子基板間流路
2 吸引キャップ
3 泡抜き用流路

Claims (8)

1. 液体を吐出するための複数のノズルと吐出エネルギーを発生する記録素子を複数配列した記録素子基板がノズル配列方向に複数個配置されており、各記録素子基板に個別に設けられたインク供給流路の上流側に各記録素子基板に対応してフィルターが設けられているインクジェット記録ヘッドの機能回復方法において、機能回復方法の１つとしてそれぞれの記録素子基板にたいして記録素子基板に設けられたノズルの一部より吸引する方法を用いたことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの機能回復方法。
2. 液体を吐出するための複数のノズルと吐出エネルギーを発生する記録素子を複数配列した記録素子基板がノズル配列方向に複数個配置されており、各記録素子基板に個別に設けられたインク供給流路の上流側に各記録素子基板に対応してフィルターが設けられ、さらに上流において各フィルターにインクを供給する共通流路が設けられているインクジェット記録ヘッドの機能回復方法において、共通流路をインク循環する供給系を加圧しノズルよりインクを排出する、各記録素子基板に設けられたノズルの一部より吸引する方法を用いたことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの機能回復方法。
3. ヘッドが傾斜した状態で各記録素子基板の傾斜に対して上側より部分吸引することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドの機能回復方法。
4. 各記録素子基板に対応して設けられたフィルターが記録素子基板の配列されている面に対して傾斜して設けられており、傾斜の上側に対応するノズルより順に機能回復することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドの機能回復方法。
5. 各記録素子基板と各記録素子基板に対応したフィルターの間の流路に、フィルター近傍と記録素子基板をバイパスする細い流路を設け、前記流路に対応するノズルより順に機能回復することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドの機能回復方法。
6. 吐出に使用しない吸引回復用ノズルを設け、このノズルより部分吸引することを特徴とする請求項１〜請求項５に記載のインクジェット記録ヘッドの機能回復方法。
7. 液体を吐出するための複数のノズルと吐出エネルギーを発生する記録素子を複数配列した記録素子基板がノズル配列方向に複数個配置されており、各記録素子基板に個別に設けられたインク供給流路の上流側に各記録素子基板に対応してフィルターが設けられているインクジェット記録ヘッドにおいて、各記録素子基板に対応して設けられたフィルターが記録素子基板の配列されている面に対して傾斜して設けられていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
8. 液体を吐出するための複数のノズルと吐出エネルギーを発生する記録素子を複数配列した記録素子基板がノズル配列方向に複数個配置されており、各記録素子基板に個別に設けられたインク供給流路の上流側に各記録素子基板に対応してフィルターが設けられているインクジェット記録ヘッドにおいて、各記録素子基板と各記録素子基板に対応したフィルターの間の流路にフィルター近傍と記録素子基板をバイパスする細い流路を設けたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。

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