JP2007288022A - Multilayer printed wiring board and its manufacturing method - Google Patents

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JP2007288022A JP2006115232A JP2006115232A JP2007288022A JP 2007288022 A JP2007288022 A JP 2007288022A JP 2006115232 A JP2006115232 A JP 2006115232A JP 2006115232 A JP2006115232 A JP 2006115232A JP 2007288022 A JP2007288022 A JP 2007288022A
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宜久 森田
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  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a multilayer printed wiring board where an insulating material is covered in a gap and surrounding of a thick circuit pattern in a state of high quality and can inhibit a peeling defect. <P>SOLUTION: The multilayer printed wiring board manufacturing method, in which a thick circuit pattern 5 is located in an inside layer portion of a printed wiring board, includes a process which sticks a multilayer printed wiring board, that is composed of one interlayer insulator where an insulator 2 between the thick circuit pattern 5 and a conductor layer of an upper layer is formed by uniting a resin located in the gap and surface of the thick circuit pattern 5, and a copper foil thicker than upper/lower surface with an insulating as a center in advance, a process which forms a circuit of a thick copper foil to form a circuit pattern, a process which applies a resin on a gap and surface of the circuit pattern, a process which keeps the resin covered in the gap and surface of the circuit pattern in a semi-harden state, and laminates a sheet-like resin and a copper foil on the resin in order, and unites the laminated layers by heating, and process which locates a connection via on the circuit pattern to connect with a conductor of the upper layer. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、放熱用途に使用される厚肉導体を有する多層プリント配線板及びその製造方法に関し、特に、厚さのある導体を使用した場合においても、当該導体部位に絶縁材が良好に被覆され、かつ導体に接続するビアが安定した状態で設けられている多層プリント配線板及びその製造方法に関するものである。   The present invention relates to a multilayer printed wiring board having a thick conductor used for heat dissipation and a method for manufacturing the same, and in particular, even when a thick conductor is used, the conductor is well coated with an insulating material. In addition, the present invention relates to a multilayer printed wiring board in which vias connected to conductors are provided in a stable state and a method for manufacturing the same.

近年、LED(発光ダイオード)やパワートランジスタなどに代表される電子部品は、その利便性の点から多く使用されるに至っている。しかしながら、前記LEDなどに代表される電子部品は発熱するために、電子機器内で当該電子部品が正常に機能するためには、発生した熱源を適切な媒体により放熱処理を施すことが必要とされる。   In recent years, electronic parts typified by LEDs (light emitting diodes) and power transistors have been frequently used from the viewpoint of convenience. However, since electronic components represented by the LED or the like generate heat, in order for the electronic components to function properly in the electronic device, it is necessary to dissipate the generated heat source with an appropriate medium. The

従来における電子機器は、発熱部品の周辺に放熱用のフィンやファン及びペルチェ素子またはそれらを組み合わせてヒートシンクを構成させ放熱問題の解決を図っていたが、その一方で、プリント配線板に搭載される前記発熱部品を、当該プリント配線板によって放熱させることができる、いわゆる放熱機能を有するプリント配線板に関する技術開発がなされている。   Conventional electronic devices have been designed to solve heat dissipation problems by forming a heat sink by combining heat dissipation fins, fans, and Peltier elements or a combination of them in the vicinity of the heat generating components. Technical development has been made on a printed wiring board having a so-called heat dissipation function, in which the heat-generating component can be radiated by the printed wiring board.

これまでの放熱機能を有するプリント配線板としては、図5(a)に示される積層配置図により製造されていた。すなわち、高い熱伝導性を有し、放熱部もしくは伝熱部となる回路パターン71を有するベース基板70の上方より、絶縁樹脂72と銅箔73とを積み重ね、積層により圧着し、前記回路パターン71をプリント配線板の内部に導入する構造のプリント配線板であった。   Conventional printed wiring boards having a heat dissipation function have been manufactured according to the layout diagram shown in FIG. That is, the insulating resin 72 and the copper foil 73 are stacked from above the base substrate 70 having the circuit pattern 71 having a high thermal conductivity and serving as a heat radiating portion or a heat transfer portion, and the circuit pattern 71 is pressure-bonded by lamination. It was a printed wiring board of the structure which introduce | transduces into the inside of a printed wiring board.

しかしながら、前記回路パターン71は、放熱もしくは伝熱の機能を実現するために、例えば105μm程度の厚肉な導体が必要であり、その導体を使用した場合、図5(b)に示されるように、絶縁樹脂72と銅箔73とを積み重ねた場合に、回路パターン71の周辺に空隙75が残存することがある。   However, the circuit pattern 71 requires a thick conductor of, for example, about 105 μm in order to realize the function of heat dissipation or heat transfer, and when that conductor is used, as shown in FIG. When the insulating resin 72 and the copper foil 73 are stacked, the gap 75 may remain around the circuit pattern 71.

前記空隙75の箇所においては、電気ショート不具合などを生じやすく、プリント配線板の品質を低下させることとなるため問題とされていた。   The location of the gap 75 has been regarded as a problem because it tends to cause an electrical short circuit failure and deteriorates the quality of the printed wiring board.

前記空隙75が残存する不具合は、導体回路の厚みが20〜40μm程度の一般的なプリント配線板においては、導体の間隙部となる容積が小さいために絶縁樹脂にて充分に埋設できるために生じにくい。しかし、前記放熱を目的とした厚肉な回路パターンを使用した場合には、絶縁樹脂72の樹脂成分が導体間隙部74を埋設できないため、一般のプリント配線板よりも空隙75が生じやすい。したがって、この不具合は厚肉導体回路を有する放熱型プリント配線板の独特な問題である。   The defect in which the gap 75 remains is caused in a general printed wiring board having a conductor circuit thickness of about 20 to 40 μm because the volume serving as a gap portion of the conductor is small and can be sufficiently embedded with an insulating resin. Hateful. However, when a thick circuit pattern for heat dissipation is used, the resin component of the insulating resin 72 cannot embed the conductor gap 74, and therefore, the gap 75 is more likely to be generated than a general printed wiring board. Therefore, this defect is a unique problem of the heat-radiation type printed wiring board having a thick conductor circuit.

加えて、図5(b)に示されるように、絶縁樹脂72の樹脂成分が厚肉導体の導体間隙部74に収まるため、プリント配線板の表面部においては平坦性が損なわれる問題を生じていた。さらに、絶縁樹脂72のみによる積層の場合、層間の膜厚コントロールが困難となり、層間の厚みにばらつきを生じ、電子部品の表面部への実装の際には実装安定性に欠けるために問題を生じるものであった。   In addition, as shown in FIG. 5B, since the resin component of the insulating resin 72 is accommodated in the conductor gap portion 74 of the thick conductor, there is a problem that flatness is impaired on the surface portion of the printed wiring board. It was. Further, in the case of stacking only with the insulating resin 72, it becomes difficult to control the film thickness between the layers, the thickness between the layers varies, and there is a problem because the mounting stability is insufficient when mounting on the surface portion of the electronic component. It was a thing.

また、図5(c)に示されるように、電子部品より生じる熱の放熱経路として、接続ビア77を表面の銅箔73と回路パターン71との間に設けられるが、前記絶縁樹脂72の樹脂成分が厚肉導体の間隙部に収まるため、接続ビア77の深さ寸法にばらつきが生じるために、接続ビア77の形成が困難であった。   Further, as shown in FIG. 5C, a connection via 77 is provided between the copper foil 73 on the surface and the circuit pattern 71 as a heat dissipation path for heat generated from the electronic component. Since the component fits in the gap portion of the thick conductor and the depth dimension of the connection via 77 varies, it is difficult to form the connection via 77.

一方、導体間隙部74を埋設するための手段として、相応の厚みのある絶縁樹脂72を使用する方法がある。一例としては、導体回路71に105μmの厚みの部材を使用した際に、対応する絶縁樹脂72に150μm程度の部材を使用することが行なわれる(図面説明なし)。   On the other hand, as a means for embedding the conductor gap 74, there is a method of using an insulating resin 72 having a corresponding thickness. As an example, when a member having a thickness of 105 μm is used for the conductor circuit 71, a member having a thickness of about 150 μm is used for the corresponding insulating resin 72 (not illustrated).

しかしながら、その場合には厚さのある絶縁樹脂72を使用するために、接続ビア77が設けられる回路パターン71と上層の銅箔73との間の樹脂の厚みも厚くなるため、深さのある接続ビア77を形成することが必要となり、この手段においては接続ビア77を形成することが困難であった。   However, in this case, since a thick insulating resin 72 is used, the thickness of the resin between the circuit pattern 71 provided with the connection via 77 and the upper copper foil 73 is increased, so that there is a depth. It is necessary to form the connection via 77, and it is difficult to form the connection via 77 by this means.

このような背景に対して、図6に示されるような、導体回路の間隙部を樹脂により埋設し、かつ樹脂硬化後に研磨により平坦化するプリント配線板の製造方法に関する技術が報告されている。(例えば、特許文献1、特許文献2参照)。   Against such a background, there has been reported a technique relating to a method for manufacturing a printed wiring board, as shown in FIG. 6, in which a gap portion of a conductor circuit is embedded with a resin and flattened by polishing after the resin is cured. (For example, refer to Patent Document 1 and Patent Document 2).

すなわち、この製造方法は、図6(a)に示されるように、基材80の表面に導電層を形成してなる配線基板の導電層の不要部分を除去することにより回路パターン81を形成する回路パターン形成工程と、その後に、図6(b)に示されるように、前記配線基板表面に樹脂82を付着させて前記回路パターン81を埋め込む導体埋め込み工程と、前記樹脂82の硬化後にこれを研磨して前記回路パターン81を露出させる研磨工程とを実行するプリント配線板の製造方法である。   That is, in this manufacturing method, as shown in FIG. 6A, the circuit pattern 81 is formed by removing unnecessary portions of the conductive layer of the wiring board formed by forming the conductive layer on the surface of the base material 80. As shown in FIG. 6B, a circuit pattern forming step, and a conductor embedding step for embedding the circuit pattern 81 by attaching a resin 82 to the surface of the wiring board, and after curing the resin 82, A printed wiring board manufacturing method that performs a polishing step of polishing and exposing the circuit pattern 81.

当該プリント配線板の製造方法に関する技術によれば、次工程として図6(c)に示されるように、回路パターン81の上方より絶縁材83と銅箔84を積み重ね、積層プレスにより圧着することで、(i)回路パターン81の間隙部を空隙が無い状態で埋設し、(ii)プリント配線板の表面を平坦性良く形成することができ、それにより(iii)回路パターン81の上方に接続ビアを安定性良く形成することができる。   According to the technique relating to the method for manufacturing the printed wiring board, as shown in FIG. 6C, the insulating material 83 and the copper foil 84 are stacked from the upper side of the circuit pattern 81 as shown in FIG. (I) The gap portion of the circuit pattern 81 can be embedded without any gap, and (ii) the surface of the printed wiring board can be formed with good flatness, whereby (iii) the connection via is formed above the circuit pattern 81. Can be formed with good stability.

しかしながら前記プリント配線板の製造方法に関する技術を、厚肉導体回路に使用した場合、次のような問題を生じていた。   However, when the technique related to the method for manufacturing a printed wiring board is used for a thick conductor circuit, the following problems have occurred.

第1の問題としては、回路パターン81の厚みが20〜40μm程度の一般的なプリント配線板においては、回路パターン81の間隙部となる容積が小さいために、樹脂82にて容易に当該間隙部を埋設することでき、加えて樹脂82の硬化後には研磨にて平坦化することができる。しかしながら、前記放熱を目的とした厚肉な導体回路を使用した場合には、回路パターン81の厚みが100μm以上あり、前記回路パターン81の間隙部となる容積が大きくために、前記間隙部のいわゆる凹部構造を樹脂82にて埋設することが技術的に難しくなるといった問題を生じていた。   The first problem is that a general printed wiring board having a circuit pattern 81 having a thickness of about 20 to 40 μm has a small volume as a gap portion of the circuit pattern 81, so that the gap portion is easily formed by the resin 82. In addition, after the resin 82 is cured, it can be flattened by polishing. However, when a thick conductor circuit for heat dissipation is used, the thickness of the circuit pattern 81 is 100 μm or more, and the volume of the gap of the circuit pattern 81 is large. There has been a problem that it is technically difficult to bury the concave structure with the resin 82.

第2の問題としては、回路パターン81の間隙部となる箇所に樹脂82を埋設した後に当該樹脂を硬化し、次いで図6(c)に示されるように、絶縁材83を積み重ねるために、硬化後の樹脂82と絶縁材83とでは密着性が悪い。そのため、図6(c)に示される積層終了後のプリント配線板を、例えば吸湿条件下で加熱を行なうと、前記樹脂82と絶縁材83との間でデラミネーションや剥離する問題を生じていた。   The second problem is that after the resin 82 is embedded in the gap portion of the circuit pattern 81, the resin is cured, and then, as shown in FIG. The later resin 82 and insulating material 83 have poor adhesion. Therefore, when the printed wiring board after the lamination shown in FIG. 6C is heated, for example, under moisture absorption conditions, there has been a problem of delamination or peeling between the resin 82 and the insulating material 83. .

また、前記第2の問題を解決するために、硬化後の樹脂82の表面を研磨により粗化処理し、その後絶縁材83を積み重ねることで、硬化後の樹脂82と絶縁材83との密着性を向上させることが行なわれる。しかしながらこの工法は、樹脂82と絶縁材83との密着性は向上するが、回路パターン81の表面と絶縁材83との密着性は必ずしも向上するものではない。特に前記放熱を目的とした厚肉な導体回路を使用した場合には、回路パターン81の表面の面積についても、一般の回路パターンより大きな面積となるため、回路パターン81の表面と絶縁材83との密着性が低下する問題を生じていた。   Further, in order to solve the second problem, the surface of the cured resin 82 is roughened by polishing, and then the insulating material 83 is stacked, so that the adhesiveness between the cured resin 82 and the insulating material 83 is increased. Is performed. However, this method improves the adhesion between the resin 82 and the insulating material 83, but does not necessarily improve the adhesion between the surface of the circuit pattern 81 and the insulating material 83. In particular, when a thick conductor circuit for heat dissipation is used, the area of the surface of the circuit pattern 81 is larger than that of a general circuit pattern. There was a problem that the adhesiveness of the resin deteriorated.

第3の問題としては、樹脂82の硬化と、硬化後の研磨工程が必須の工程として入る点である。これによりプリント配線板の製造工程の数が増加し、また工程管理に労力を必要とするものであった。
特開平9−321412号公報 特開平10−65340号公報
The third problem is that the curing of the resin 82 and the polishing process after curing are included as essential processes. As a result, the number of manufacturing processes of the printed wiring board is increased, and labor is required for process management.
Japanese Patent Laid-Open No. 9-321412 JP-A-10-65340

このような背景に基づき本発明が解決しようとする課題は、特に厚肉な回路パターンを有する多層プリント配線板において、当該厚肉回路パターンの間隙や周辺に絶縁材が高品質な状態で被覆され、剥離不具合を抑制することができるプリント配線板及びその製造方法を提供することである。   The problem to be solved by the present invention based on such a background is that, particularly in a multilayer printed wiring board having a thick circuit pattern, the gap or the periphery of the thick circuit pattern is coated with a high quality state. An object of the present invention is to provide a printed wiring board and a method for manufacturing the same, which can suppress a peeling defect.

本発明者は上記課題を解決するために種々検討を重ねた。その結果、厚肉な回路パターンの間隙や周辺に絶縁材を塗布し、当該絶縁材を半硬化な状態で保持、次いで、前記絶縁材の上方よりシート状の樹脂と銅箔とを積層して多層プリント配線板を得れば、極めて良い結果が得られることを見出して発明を完成するに至った。   The inventor has made various studies in order to solve the above problems. As a result, an insulating material is applied to the gap or the periphery of the thick circuit pattern, the insulating material is held in a semi-cured state, and then a sheet-like resin and a copper foil are laminated from above the insulating material. The inventors have found that if a multilayer printed wiring board is obtained, extremely good results can be obtained, and the present invention has been completed.

すなわち、本発明は、厚肉な回路パターンがプリント配線板の内層部に配置された多層プリント配線板において、当該厚肉な回路パターンと上層の導体層との間の絶縁体が、当該厚肉な回路パターンの間隙及び表面に設けられた樹脂と、上層の導体層の下に設けられた樹脂との一体化により形成された1つの層間絶縁体から成ることを特徴とする多層プリント配線板により課題を解決したものである。   That is, according to the present invention, in a multilayer printed wiring board in which a thick circuit pattern is disposed in an inner layer portion of the printed wiring board, an insulator between the thick circuit pattern and an upper conductor layer is A multilayer printed wiring board comprising a single interlayer insulator formed by integrating a resin provided on the gap and surface of a simple circuit pattern and a resin provided below the upper conductor layer It solves the problem.

また、本発明は、前記厚肉な回路パターンと上層の導体層との層間部に接続ビアが設けられていることを特徴とする多層プリント配線板により上記課題を解決したものである。   Further, the present invention solves the above problems by a multilayer printed wiring board, wherein a connection via is provided in an interlayer portion between the thick circuit pattern and the upper conductor layer.

また、本発明は、前記厚肉な回路パターンの厚さが100〜1000μmであることを特徴とする多層プリント配線板により上記課題を解決したものである。   Moreover, this invention solves the said subject with the multilayer printed wiring board characterized by the thickness of the said thick circuit pattern being 100-1000 micrometers.

また、本発明は、前記上層の導体層の下に設けられた樹脂の内部にガラスクロスが含浸されていることを特徴とする多層プリント配線板により上記課題を解決したものである。   In addition, the present invention solves the above problems by a multilayer printed wiring board characterized in that a glass cloth is impregnated inside a resin provided under the upper conductor layer.

また、本発明は、あらかじめ絶縁材を中心として上下面より厚肉な銅箔を張り合せる工程と、厚肉な銅箔を回路形成して回路パターンする工程と、回路パターンの間隙及び表面に樹脂を塗布する工程と、回路パターンの間隙及び表面に被覆した樹脂を半硬化な状態で保持し、当該樹脂の上よりシート状の樹脂と銅箔を順に積み重ね、積層加熱により一体化形成する工程と、前記回路パターンの上に接続ビアを設けて上層の導体と接続する工程とを有することを特徴とする多層プリント配線板の製造方法により上記課題を解決したものである。   The present invention also includes a step of pasting thick copper foils from the upper and lower surfaces around an insulating material in advance, a step of forming a circuit by forming a thick copper foil circuit, and a resin in gaps and surfaces of the circuit patterns. And a step of holding the resin coated on the gap and the surface of the circuit pattern in a semi-cured state, sequentially stacking sheet-like resin and copper foil on the resin, and integrally forming by laminating heating, And a step of providing a connection via on the circuit pattern to connect to an upper conductor. The method for manufacturing a multilayer printed wiring board solves the above problem.

また、本発明は、前記回路パターンの間隙及び表面に樹脂を塗布する工程は、スクリーン印刷工法又はロールコート工法を使用した塗布方法であって、減圧で塗布した後に大気圧に戻すことによる差圧を利用した塗布方法であることを特徴とする多層プリント配線板の製造方法により上記課題を解決したものである。   Further, in the present invention, the step of applying the resin to the gap and the surface of the circuit pattern is a coating method using a screen printing method or a roll coating method, and is applied by reducing pressure and then returning to atmospheric pressure. The above-mentioned problems are solved by a method for producing a multilayer printed wiring board, which is a coating method using

また、本発明は、前記回路パターンの間隙及び表面に樹脂を塗布する工程は、スクリーン印刷工法又はロールコート工法を使用した塗布方法であって、大気圧で行なうことを特徴とする多層プリント配線板の製造方法により上記課題を解決したものである。   In the multilayer printed wiring board according to the present invention, the step of applying the resin to the gap and the surface of the circuit pattern is a coating method using a screen printing method or a roll coating method, and is performed at atmospheric pressure. The above-mentioned problem is solved by this manufacturing method.

本発明の多層プリント配線板は、厚肉回路パターンの間隙や周辺に絶縁材が高品質な状態で被覆されているので、剥離不具合を抑制することができる。また、本発明の多層プリント配線板の製造方法によれば、特に厚肉な回路パターンを有するプリント配線板において、厚肉回路パターンの間隙や周辺に絶縁材を高品質な状態で被覆し、かつ剥離不具合を抑制することができ、加えて従来の製造工程内の研磨工程を省略できる。   In the multilayer printed wiring board of the present invention, since the insulating material is coated in a high quality state around the gap and the periphery of the thick circuit pattern, it is possible to suppress the peeling defect. Further, according to the method for producing a multilayer printed wiring board of the present invention, in a printed wiring board having a particularly thick circuit pattern, the gap or the periphery of the thick circuit pattern is coated with a high quality state, and A peeling defect can be suppressed, and in addition, a polishing step in a conventional manufacturing process can be omitted.

以下本発明の実施の形態を、図面と共に説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

始めに、図1(a)に示されるように、熱硬化性タイプの絶縁材2を用意し、当該絶縁材2を中心にして、その上下両方の面側より、銅箔1を積み重ねるように配置した後に積層プレスにより一体化し、両面銅張り積層板構造となるプリント配線板の主骨格を作製する。ここで使用する絶縁材2はプリント配線板に強度を持たせるためにガラスクロスや無機フィラーなどの補強材が含有する材料を使用しても良い。   First, as shown in FIG. 1A, a thermosetting type insulating material 2 is prepared, and the copper foil 1 is stacked from both the upper and lower surfaces with the insulating material 2 as the center. After placement, they are integrated by a laminating press to produce a main skeleton of a printed wiring board having a double-sided copper-clad laminate structure. As the insulating material 2 used here, a material containing a reinforcing material such as a glass cloth or an inorganic filler may be used in order to give the printed wiring board strength.

本発明における多層プリント配線板は放熱用途に使用されるため、前記銅箔1は厚肉な材料を使用する。銅箔1の厚さの選定としては、放熱する部品類などが基準となる場合が多いが、100μmよりも薄い銅箔1を使用した場合には放熱用途に適さないことがあり、加えて1000μm(1mm)よりも厚い銅箔1を使用した場合には回路形成時にエッチング液が充分に銅箔をエッチングできないため、当該銅箔の回路形成が困難となる。したがって、本発明に使用する銅箔としては、放熱用途に使用することができて、厚肉導体回路を形成することができる銅箔厚さとして、100μmから1000μmの厚みの銅箔1を使用するのが好ましく、例えば厚さ105μmの銅箔1が好適に使用される。   Since the multilayer printed wiring board in the present invention is used for heat dissipation, the copper foil 1 uses a thick material. The selection of the thickness of the copper foil 1 is often based on parts that radiate heat, etc., but when the copper foil 1 thinner than 100 μm is used, it may not be suitable for heat dissipation, and in addition, 1000 μm When the copper foil 1 thicker than (1 mm) is used, the circuit formation of the copper foil becomes difficult because the etching solution cannot sufficiently etch the copper foil at the time of circuit formation. Therefore, as the copper foil used in the present invention, the copper foil 1 having a thickness of 100 μm to 1000 μm is used as a copper foil thickness that can be used for heat dissipation and can form a thick conductor circuit. For example, a copper foil 1 having a thickness of 105 μm is preferably used.

因に、厚さ105μmの銅箔1を使用した場合、当該銅箔を支えて固定するために充分な厚さを有する絶縁材2が必要となる。その一例としては、厚さ1200μm(1.2mm)の絶縁材2が好適なものとして挙げられる。   For example, when the copper foil 1 having a thickness of 105 μm is used, the insulating material 2 having a sufficient thickness for supporting and fixing the copper foil is required. As an example, an insulating material 2 having a thickness of 1200 μm (1.2 mm) is preferable.

図1(b)に示される状態図は、前記図1(a)に示される銅箔1と絶縁材2からなるプリント配線板の主骨格より、片側の銅箔1と絶縁材2を抽出して示したものである。   In the state diagram shown in FIG. 1B, the copper foil 1 and the insulating material 2 on one side are extracted from the main skeleton of the printed wiring board composed of the copper foil 1 and the insulating material 2 shown in FIG. It is shown.

次いで、図1(b)に示される銅箔1を回路形成するために、回路形成用のレジスト3を銅箔1の表面に付着させ、レジスト3を露光、現像、剥離の順に行ない、図1(b)に示されるように、銅箔1の表面にレジスト3の一部が残存する構造体を形成する。   Next, in order to form the circuit of the copper foil 1 shown in FIG. 1B, a resist 3 for circuit formation is attached to the surface of the copper foil 1, and the resist 3 is exposed, developed, and peeled in this order. As shown in (b), a structure in which a part of the resist 3 remains on the surface of the copper foil 1 is formed.

ここで使用するレジスト3は、厚肉な銅箔1をエッチングすることを考慮し、エッチング液に対して耐久性を持たせるために厚さのある材料を使用するのが好ましく、例えば、40μmのフィルム材料が好適に使用される。   In consideration of etching the thick copper foil 1, the resist 3 used here is preferably made of a thick material in order to have durability against the etching solution. Film materials are preferably used.

次いで、サブトラクティブ方式による回路形成方法にて、回路形成エッチング工程でレジスト3の開口部分の銅箔1を溶融し、回路形成終了後には、図1(c)に示される回路パターン5を有する構造体を得る。ここでの回路形成においては、厚さのある銅箔1をエッチングするために、水平式の回路形成ラインであればコンベアスピードを遅くすることが必要である。例えば、従来の一般的な導体パターンを形成する際のコンベアスピードと比較して、2分の1から3分の1程度のスピードで回路形成することにより、銅箔1より回路パターン5を形成することができる。   Next, in the circuit formation method by the subtractive method, the copper foil 1 in the opening portion of the resist 3 is melted in the circuit formation etching process, and after the circuit formation is completed, the structure having the circuit pattern 5 shown in FIG. Get the body. In the circuit formation here, in order to etch the thick copper foil 1, it is necessary to slow down the conveyor speed in the case of a horizontal circuit formation line. For example, the circuit pattern 5 is formed from the copper foil 1 by forming a circuit at a speed of about one-half to one-third compared with the conveyor speed when forming a conventional general conductor pattern. be able to.

次いで、図1(c)に示される回路形成後の回路パターン5を有する構造体を使用し、当該回路パターン5の間隙及び回路パターン5の周辺に樹脂7を被覆させ、図2(a)に示される構造体を得る。   Next, the structure having the circuit pattern 5 after the circuit formation shown in FIG. 1C is used, and the resin 7 is covered around the gap of the circuit pattern 5 and the periphery of the circuit pattern 5, as shown in FIG. Obtain the structure shown.

ここで樹脂7としては、例えばエポキシ系熱硬化性樹脂もしくはフェノール系熱硬化性樹脂をベース樹脂にした絶縁樹脂が好適に使用される。これは、樹脂7の熱膨張係数などの熱的特性を、絶縁材2及び後述する樹脂8に近似させるためである。また、加工性や埋設後の品質を向上させるために、前記樹脂7には無機もしくは金属フィラーを含有させても良い。これは無機もしくは金属フィラー材料を含有させることにより、硬化物の熱膨張係数が低下するためである。   Here, as the resin 7, for example, an insulating resin having an epoxy-based thermosetting resin or a phenol-based thermosetting resin as a base resin is preferably used. This is because the thermal characteristics such as the thermal expansion coefficient of the resin 7 are approximated to the insulating material 2 and the resin 8 described later. Moreover, in order to improve workability and the quality after embedding, the resin 7 may contain an inorganic or metal filler. This is because the thermal expansion coefficient of the cured product is reduced by containing an inorganic or metal filler material.

樹脂7に使用する材料は、一般に市場にて販売されている、例えば太陽インキ株式会社製の内層回路埋設用絶縁樹脂などが好適に使用できる。   The material used for the resin 7 can be suitably used, for example, an insulating resin embedded in an inner layer circuit manufactured by Taiyo Ink Co., Ltd., which is generally sold in the market.

また、塗布方法は、スクリーン印刷工法やロールコート工法を使用した方法により回路パターン5の間隙及び回路パターン5の表面や周辺に樹脂7を被覆させ、図2(a)に示される構造体を得ることができるが、回路パターン5は厚さのある導体であるために、特に回路パターン5の間隙部に樹脂7を塗布するためには、次のような製造方法にて行なうことが良い。   Further, the coating method is a method using a screen printing method or a roll coating method, and the resin 7 is coated on the gap of the circuit pattern 5 and on the surface or the periphery of the circuit pattern 5 to obtain the structure shown in FIG. However, since the circuit pattern 5 is a thick conductor, in particular, in order to apply the resin 7 to the gap portion of the circuit pattern 5, the following manufacturing method is preferable.

前記樹脂7を塗布するための1つ目の手段としては、スクリーン印刷方法を使用して、図1(c)に示される回路パターン5の表面より樹脂7を全面に塗布する方法が挙げられる。塗布の際の印刷版の仕様としては、例えばテトロン材質で線形100μm、紗厚170μm、乳剤厚み20μmの仕様もしくはステンレス材質で線形100μm、紗厚205μm、乳剤厚み20μmの仕様が好適に使用できる。   As a first means for applying the resin 7, there is a method of applying the resin 7 over the entire surface from the surface of the circuit pattern 5 shown in FIG. 1C by using a screen printing method. As the specifications of the printing plate at the time of coating, for example, a specification of 100 μm linear for Tetron material, 170 μm thick at emulsion thickness 20 μm, or a specification of 100 μm linear for stainless steel material, 205 μm thick, and 20 μm emulsion thickness can be preferably used.

また、塗布の際の印刷条件としては、オフコンタクト値を20mmとして、スキージ速度4〜6m/min、基板と印刷版とのギャップ値を1.5mmとすることが好適である。 Moreover, as printing conditions at the time of application, it is preferable that the off-contact value is 20 mm, the squeegee speed is 4 to 6 m / min, and the gap value between the substrate and the printing plate is 1.5 mm.

次いで、塗布後の樹脂7に段階的に熱を加え、樹脂7自身の粘度を低下させ、樹脂7の内に残存する空隙やボイドを緩やかに樹脂7の外部に放出する。   Next, heat is applied stepwise to the resin 7 after application to reduce the viscosity of the resin 7 itself, and voids and voids remaining in the resin 7 are gradually released to the outside of the resin 7.

前記段階的に熱を加える方法としては、例えばスクリーン印刷方法を使用してプリント配線板の表面からなる片面に樹脂7を塗布した後に、25℃で10分間、50℃で15分間、80℃で30分間の加熱を行ない、次いで、プリント配線板の温度を室温状態にまで戻し、その後に、プリント配線板の裏面からなるもう一方の片面に樹脂7を塗布した後に、25℃で10分間、50℃で15分間、110℃で20分間の加熱を行なう方法が挙げられる。   As the method of applying heat stepwise, for example, a screen printing method is used to apply resin 7 on one side of the surface of the printed wiring board, and then at 25 ° C. for 10 minutes, 50 ° C. for 15 minutes, and 80 ° C. Heating was performed for 30 minutes, and then the temperature of the printed wiring board was returned to room temperature. After that, the resin 7 was applied to the other side consisting of the back surface of the printed wiring board, and then the resin wiring was applied at 25 ° C. for 10 minutes. A method of heating at 110 ° C. for 15 minutes and at 110 ° C. for 20 minutes can be mentioned.

上記のような加熱を行なった後の図2(a)に示される状態においては、回路パターン5の間隙及び周辺に樹脂7が空隙やボイドが残存することなく形成することができる。   In the state shown in FIG. 2A after heating as described above, the resin 7 can be formed in the gap and the periphery of the circuit pattern 5 without leaving any voids or voids.

また、加熱後の樹脂7の状態としては、前記温度条件では完全な本硬化していないため、いわゆるBステージ状態の半硬化状態となっている。   Further, the state of the resin 7 after heating is a so-called B-stage semi-cured state because it is not completely cured under the temperature condition.

前記樹脂7を塗布するための2つ目の手段としては、減圧と大気圧との差圧を利用した印刷方法を使用する方法が挙げられる。   A second means for applying the resin 7 includes a method using a printing method using a pressure difference between a reduced pressure and an atmospheric pressure.

具体的な手段としては、始めに、印刷装置のステージ上に剥離性のフィルムを敷き、そのフィルム上に樹脂7を広げた状態で、減圧用のチャンバーを被せることにより密閉状態にして、例えばチャンパー内を20torr以下になるまで減圧させる。このときの減圧に要する時間としては約1分である。この準備により、減圧状態にしたチャンパー内では、樹脂7内に含まれている気泡が抜ける。   As a specific means, first, a peelable film is laid on the stage of the printing apparatus, and the resin 7 is spread on the film. The inside is depressurized until it becomes 20 torr or less. The time required for decompression at this time is about 1 minute. By this preparation, bubbles contained in the resin 7 are released in the reduced-pressure champ.

次いで、回路パターン5の間隙部及び周辺に樹脂7を塗布するためのロールに樹脂7をなじませた後に、樹脂7の塗布印刷を開始する。   Next, after applying the resin 7 to a roll for applying the resin 7 to and around the gap portion of the circuit pattern 5, the application printing of the resin 7 is started.

ここでの樹脂7の塗布印刷手段は、印刷版を使用しない方法にて行なう。始めに、印刷ステージ上にプリント配線板をセットし、樹脂7をプリント配線板の脇部箇所に保持し、減圧用のチャンバーを被せることにより密閉状態にして、チャンパー内を20torr以下の減圧状態、さらに好ましくは1torr以下の減圧状態になるまで減圧させる。   The resin 7 is applied and printed by a method that does not use a printing plate. First, the printed wiring board is set on the printing stage, the resin 7 is held at a side portion of the printed wiring board, and the chamber is sealed by covering with a decompression chamber. More preferably, the pressure is reduced until the pressure is reduced to 1 torr or less.

前記減圧状態後に樹脂7を印刷用のスキージにてプリント配線板上に塗布する。ここでの塗布方法は、印刷用のスキージがプリント配線板上を1往復する印刷方法で行なうのが好ましい。すなわち、往路のスキージ動作においては樹脂7の必要量をプリント配線板上に広げることを目的とし、他方、復路のスキージ動作においては樹脂7を平坦化することを目的として行なう。   After the reduced pressure state, the resin 7 is applied onto the printed wiring board with a printing squeegee. The coating method here is preferably performed by a printing method in which a printing squeegee is reciprocated once on a printed wiring board. That is, the purpose is to spread the required amount of the resin 7 on the printed wiring board in the forward squeegee operation, while the purpose is to flatten the resin 7 in the return squeegee operation.

また、上記目的を最適化するために、往路のスキージはロール状のものを使用し、復路のスキージは平板状のものを使用すると良い。さらに、ここでのロール移動速度は20〜30mm/sとして、ロール自身の回転速度は60〜70mm/sで行なうのが好ましい。   In order to optimize the above object, it is preferable to use a roll squeegee and a flat squeegee for the return path. Further, the roll moving speed here is preferably 20 to 30 mm / s, and the rotation speed of the roll itself is preferably 60 to 70 mm / s.

次いで、印刷終了後には印刷環境内を大気圧に戻すことで圧力差を得て、当該圧力差を利用して、厚さのある回路パターン5の間隙部にも空隙やボイドを生じることのない状態で樹脂7を塗布する。   Next, after the printing is completed, a pressure difference is obtained by returning the inside of the printing environment to the atmospheric pressure, and no gap or void is generated in the gap portion of the thick circuit pattern 5 by using the pressure difference. Resin 7 is applied in the state.

上記印刷方法を使用してプリント配線板の表面からなる片面に樹脂7を塗布した後には、樹脂7の加熱乾燥を行なう。加熱乾燥の条件としては例えば、まず80℃で30分間の加熱を行ない、次いで、プリント配線板の温度を室温状態にまで戻し、その後に、プリント配線板の裏面からなるもう一方の片面に樹脂7を塗布した後に、110℃で20分間の加熱を行なう方法が挙げられる。   After the resin 7 is applied to one side composed of the surface of the printed wiring board using the printing method, the resin 7 is heated and dried. For example, the heating and drying conditions are as follows. First, heating is performed at 80 ° C. for 30 minutes, then the temperature of the printed wiring board is returned to room temperature, and then resin 7 is formed on the other side of the printed wiring board. And a method of heating at 110 ° C. for 20 minutes after coating.

本発明の回路パターン5は放熱性を目的としているため厚さのある導体を使用する。そして、厚さのある導体を使用した場合、回路パターンの間隙部は従来の技術において示した通り、空隙やボイドを生じることが問題であった。   Since the circuit pattern 5 of the present invention aims at heat dissipation, a thick conductor is used. When a thick conductor is used, a gap or void is generated in the gap portion of the circuit pattern as shown in the prior art.

しかしながら、上記のような段階的に熱を加える方法もしくは減圧と大気圧との差圧を利用した方法を使用した場合では、厚さのある導体を使用した場合であっても空隙やボイドを生じることのない樹脂を塗布することができる。   However, when using the method of applying heat stepwise as described above or the method using the differential pressure between reduced pressure and atmospheric pressure, voids and voids are produced even when a thick conductor is used. It is possible to apply a resin that does not occur.

上記のような態様で行なわれる樹脂7の塗布終了後には図2(a)に示される構造体を得る。ここで、塗布終了後の樹脂7の状態としてはBステージ状態の半硬化状態となっている。つまり、塗布終了後には樹脂の加熱硬化工程を行なうことなく、加えて樹脂の研磨工程を行なうことなく、次の製造工程を行なうことができる。   After the application of the resin 7 performed in the above manner, the structure shown in FIG. 2A is obtained. Here, the state of the resin 7 after the application is finished is a semi-cured state in a B stage state. That is, after the application is completed, the next manufacturing process can be performed without performing the resin heat curing process and without performing the resin polishing process.

次工程としては、図2(a)に示される構造体の上方より樹脂8と銅箔9とを図2(b)に示されるように積層配置し、積層プレスを行なうことで、図2(a)に示される回路パターン5の間隙及び周辺に設けられた樹脂7と樹脂8とを一体化し、図2(c)に示される構造体を得る。   As the next step, the resin 8 and the copper foil 9 are laminated and arranged as shown in FIG. 2B from above the structure shown in FIG. The resin 7 and the resin 8 provided in the gap and the periphery of the circuit pattern 5 shown in a) are integrated to obtain the structure shown in FIG.

図2(c)に示される構造体の中で、点線にて示される箇所は、樹脂7と樹脂8との界面を示す説明図面である。一方、前記積層プレスの後においては、樹脂7と樹脂8は一体化するために、当該界面部で樹脂同士が混じりあうことにより、明確な界面箇所は見られなくなる。   In the structure shown in FIG. 2C, a portion indicated by a dotted line is an explanatory drawing showing an interface between the resin 7 and the resin 8. On the other hand, since the resin 7 and the resin 8 are integrated after the laminating press, the resin is mixed at the interface portion, so that a clear interface portion is not seen.

ここで、樹脂8は樹脂7と同様の樹脂成分であることが良い。これは、積層プレスを行なうことで、樹脂7と樹脂8とが一体化し、1つの安定した特性を有する層間絶縁体10を形成するためである。また、同様の樹脂成分とすることで、樹脂7と樹脂8とが互いに熱により溶融した際に、相溶しやすくなり、加熱硬化後の硬化物としても特性にばらつきが生じなくなるためである。   Here, the resin 8 is preferably a resin component similar to the resin 7. This is because by performing the lamination press, the resin 7 and the resin 8 are integrated to form an interlayer insulator 10 having one stable characteristic. In addition, by using the same resin component, when the resin 7 and the resin 8 are melted by heat, they are easily compatible with each other, and there is no variation in characteristics even as a cured product after heat curing.

また、プリント配線板に剛性を持たすために樹脂8内にガラスクロスなどの材料を含浸させても良い。   Further, in order to give the printed wiring board rigidity, the resin 8 may be impregnated with a material such as glass cloth.

上記のような態様で行なわれる図2(c)に示される構造体を得る。これは次のような特徴により従来の問題点を解決することができる。   The structure shown in FIG. 2 (c) performed in the above manner is obtained. This can solve the conventional problems due to the following features.

1つ目の特徴としては、図2(a)に示されるように回路パターン5の間隙部及び表面を樹脂7にて埋設し、次いで図2(b)に示されるように樹脂7の上方より樹脂8を使用して積層によりプレスする点である。   The first feature is that the gap and the surface of the circuit pattern 5 are embedded with a resin 7 as shown in FIG. 2A, and then from above the resin 7 as shown in FIG. 2B. The point is that the resin 8 is used for lamination.

前述のようなスクリーン印刷工法、もしくはロールコート工法のようなプリント基板上に必要量の樹脂を塗布後、スキージ動作で樹脂7を平坦化する方法では、樹脂7及び樹脂8は共に積層前ではBステージの半硬化状態のため、積層時の加熱により流動性を示す。これにより、回路パターン5の上に塗布された樹脂7は数μm程度の厚みで薄いことに加えて、流動すると同時に樹脂8と混合されるような状態で均一になることから、パターン上の膜厚コントロールに影響を与えない。また、積層時の物理的なプレスの圧力が作用して、樹脂7と樹脂8からなる層間絶縁部は平坦となり、図5に示される従来の製造方法と比較して、プリント配線板の表面平坦化に寄与することができる。さらに、層間絶縁部の膜厚コントロール化を容易に行なうことが可能となる。   In the method of flattening the resin 7 by a squeegee operation after applying a necessary amount of resin on the printed circuit board such as the screen printing method or the roll coating method as described above, the resin 7 and the resin 8 are both B before lamination. Due to the semi-cured state of the stage, fluidity is exhibited by heating during lamination. As a result, the resin 7 applied on the circuit pattern 5 is thin with a thickness of about several μm, and in addition to flowing, it becomes uniform in a state of being mixed with the resin 8 at the same time. Does not affect thickness control. In addition, due to the physical pressing pressure at the time of lamination, the interlayer insulating portion made of the resin 7 and the resin 8 becomes flat, and the surface of the printed wiring board is flat compared with the conventional manufacturing method shown in FIG. It can contribute to the conversion. Furthermore, it becomes possible to easily control the film thickness of the interlayer insulating portion.

また、図5に示される従来の絶縁樹脂72からなるプリプレグなどの単一な樹脂の積層の場合は、図2に示される本発明の製造方法により得られる構造体と比較して、回路パターン上の樹脂の厚みおいて、ばらつきに差が生じない層間形状を形成することができる。   In addition, in the case of the lamination of a single resin such as a prepreg made of the conventional insulating resin 72 shown in FIG. 5, compared with the structure obtained by the manufacturing method of the present invention shown in FIG. It is possible to form an interlayer shape with no difference in variation in the thickness of the resin.

ここで、樹脂7がCステージの本硬化状態であった場合には、積層の際に流動することがないため、上記に示される平坦化及び膜厚コントロール化は困難となる。すなわち、上記に示される平坦化及び膜厚コントロール化を容易に行なうためには樹脂7がBステージの半硬化状態であることが重要であり、これにより従来の問題である、平坦化と膜厚コントロール化の問題が解決でき、層間の接続ビアの形成が容易となる。   Here, when the resin 7 is in the C-cured main-cured state, the resin 7 does not flow at the time of lamination, so that the above-described planarization and film thickness control are difficult. That is, in order to easily perform the above-described planarization and film thickness control, it is important that the resin 7 is in a semi-cured state of the B stage. The control problem can be solved, and the formation of connection vias between layers is facilitated.

2つ目特徴として、塗布終了後の樹脂7の状態を、完全な本硬化することなく、Bステージ状態の半硬化状態とする点である。これにより、同様にBステージ状態の半硬化状態である樹脂8を樹脂7に被せて積層加熱することで、両者の樹脂が一体化し、樹脂の界面部分において、積層加熱により溶解した際に相溶しやすくなるため、デラミネーションや剥離を生じることがない。これにより、従来の問題である、樹脂間でのデラミネーションや剥離する問題を解決することができる。   A second feature is that the state of the resin 7 after the application is finished is set to a semi-cured state in a B stage state without complete main curing. In this way, the resin 8 that is also in the B-stage semi-cured state is placed on the resin 7 and laminated and heated, so that the two resins are integrated, and at the interface portion of the resin, they are compatible when dissolved by lamination heating. Therefore, delamination and peeling do not occur. Thereby, the conventional problems, such as delamination between the resins and the problem of peeling, can be solved.

また、樹脂7は回路パターン5の上にも被覆されているため、積層終了後の樹脂と回路パターン5との界面でも密着性は良好であり、デラミネーションや剥離する問題を生じることは無い。   Further, since the resin 7 is also coated on the circuit pattern 5, the adhesion is good even at the interface between the resin after the lamination and the circuit pattern 5, and there is no problem of delamination or peeling.

3つ目の特徴としては樹脂7を硬化させることがないために、製造方法として樹脂の加熱硬化工程及び樹脂の加熱後の研磨工程を省略することができる。これにより従来の問題である、製造方法の工程管理及びその労力の問題を解決することができる。   As the third feature, since the resin 7 is not cured, the resin heat curing step and the polishing step after the resin heating can be omitted as a manufacturing method. Thereby, the problem of process management of the manufacturing method and its labor which are the conventional problems can be solved.

4つ目の特徴としては、樹脂7をあらかじめ回路パターン5の全面に塗布して、次に樹脂8を積層プレスにより被せるために、回路パターン5の間隙部においては、前記2種類の樹脂により空隙やボイドを発生することなく、良好に、かつ簡単な方法にて間隙部を埋設することができるものである。これにより従来の問題である、放熱を目的とした厚肉な回路パターンを使用した場合、樹脂にて回路パターン5の間隙部を埋設することが困難である問題を解決することができる。   The fourth feature is that the resin 7 is applied to the entire surface of the circuit pattern 5 in advance, and then the resin 8 is covered with a lamination press. It is possible to embed the gap by a good and simple method without generating any voids. As a result, when a thick circuit pattern for heat dissipation, which is a conventional problem, is used, it is possible to solve the problem that it is difficult to embed the gap portion of the circuit pattern 5 with resin.

次工程としては、図2(c)に示される回路パターン5の上に接続ビア14を設け、図3(a)に示される構造体を得る。   As the next step, a connection via 14 is provided on the circuit pattern 5 shown in FIG. 2C to obtain the structure shown in FIG.

前記接続ビア14の形成方法としては、例えばレーザ加工による接続ビア14部の穴あけ、穴内の洗浄、銅めっき付着による接続ビア14の形成を順に行なう。   As a method for forming the connection via 14, for example, drilling of the connection via 14 portion by laser processing, cleaning in the hole, and formation of the connection via 14 by copper plating are sequentially performed.

レーザ加工による接続ビア14部の穴あけ形成の一例としては、1ショットあたりのエネルギー密度を0.7〜1.2J/cm2に設定して、50〜150ショットを施し、トップ径が100μmで、ボトム径が65〜85μmの接続ビア14を形成する方法が挙げられる。図3(a)に示される構造体においては、回路パターン5の上に接続ビア14を1つ設けた構造を示しているが、回路パターン5の上に設けられる接続ビア14の数は1つに限定されることは無く、複数の接続ビア14を設けても良い。 As an example of the formation of the connection via 14 part by laser processing, the energy density per shot is set to 0.7 to 1.2 J / cm 2 , 50 to 150 shots are performed, the top diameter is 100 μm, A method of forming the connection via 14 having a bottom diameter of 65 to 85 μm is mentioned. The structure shown in FIG. 3A shows a structure in which one connection via 14 is provided on the circuit pattern 5, but the number of connection vias 14 provided on the circuit pattern 5 is one. There is no limitation to this, and a plurality of connection vias 14 may be provided.

また、接続ビア14部の穴あけ形成後には、当該穴内の洗浄を行なう。この洗浄においては、有機性残渣を取り除くことを目的として、デスミア処理を行なうことが良い。   In addition, after the formation of the hole in the connection via 14 part, the inside of the hole is cleaned. In this cleaning, desmear treatment is preferably performed for the purpose of removing organic residues.

次いで、接続ビア14の穴あけ形成後に、無電解及び電解の銅めっき12を順に行ない、接続ビア14部穴内と表面に銅めっき12を付着させ、図3(a)に示される接続ビア14を形成した構造体を得る。   Next, after the formation of the connection via 14, electroless and electrolytic copper plating 12 is sequentially performed, and the copper plating 12 is adhered to the inside and the surface of the connection via 14 portion to form the connection via 14 shown in FIG. The obtained structure is obtained.

次いで、図3(a)に示される構造体の回路形成を行なう。ここでの回路形成方法としては、前記同様にサブトラクティブ方法により回路を形成することができ、ドライフィルムを張り付けた後に、所望の回路形成用のマスクを設置し、露光、現像、エッチング、ドライフィルム剥離の工程順により回路形成を行ない、図3(b)に示されるような回路形成後の接続ビア14を形成する。   Next, circuit formation of the structure shown in FIG. As a circuit formation method here, a circuit can be formed by a subtractive method in the same manner as described above, and after applying a dry film, a mask for forming a desired circuit is set, exposure, development, etching, dry film Circuit formation is performed in the order of the peeling process, and the connection via 14 after the circuit formation as shown in FIG. 3B is formed.

このような態様で製造される本発明の多層プリント配線板の全体図を図4に示した。   An overall view of the multilayer printed wiring board of the present invention manufactured in such a manner is shown in FIG.

図4(a)では、スルーホール16を設けた構造体を示している。スルーホール16の形成方法においては、前記樹脂8と銅箔9を積層プレスにより一体化した後に、ドリルやルーターを使用して、スルーホールを形成する所望の位置に貫通穴を形成し、次いで、接続ビア14を設ける際に使用した銅めっき12を前記貫通穴の内部に銅めっきを付着させるような従来のプリント配線板の製造方法にて形成できる。   FIG. 4A shows a structure in which the through hole 16 is provided. In the formation method of the through hole 16, after integrating the resin 8 and the copper foil 9 by a laminating press, a through hole is formed at a desired position for forming the through hole using a drill or a router, The copper plating 12 used when the connection via 14 is provided can be formed by a conventional printed wiring board manufacturing method in which copper plating is adhered to the inside of the through hole.

また、図4(a)に示される接続ビア14の上には、はんだ材料などを介して、発熱するパワーICやパワートタンジスタなどの部品を搭載する。   Further, on the connection via 14 shown in FIG. 4A, components such as a power IC and a power transistor that generate heat are mounted via a solder material or the like.

前記部品が搭載された後の放熱型プリント配線板は、部品からの発熱を接続ビア14を介して、下層の回路パターン5に伝熱し、回路パターン5を引き回すことによりプリント配線板に接続される冷却匿体に放熱することができる。   The heat radiation type printed wiring board after the component is mounted is connected to the printed wiring board by transferring heat generated from the component to the lower circuit pattern 5 through the connection via 14 and drawing the circuit pattern 5. Heat can be radiated to the cooling concealment.

さらに、図4(b)に示される構造図においては、前記樹脂8を積層プレスにより一体化する際に、樹脂8にガラスクロス17を含浸させた場合により得られる構造体を示している。ガラスクロス17を含浸させることでプリント配線板の剛性が向上するために、本発明の多層プリント配線板としては図4(b)に示される構造が好適に使用される。   Further, in the structural diagram shown in FIG. 4B, a structure obtained by impregnating the resin 8 with the glass cloth 17 when the resin 8 is integrated by a lamination press is shown. Since the rigidity of the printed wiring board is improved by impregnating the glass cloth 17, the structure shown in FIG. 4B is suitably used as the multilayer printed wiring board of the present invention.

本発明の多層プリント配線板の製造例を示す概略断面工程説明図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 図1に続く本発明の多層プリント配線板の製造例を示す概略断面工程説明図。The schematic cross-sectional process explanatory drawing which shows the manufacture example of the multilayer printed wiring board of this invention following FIG. 図2に続く本発明の多層プリント配線板の製造例を示す概略断面工程説明図。FIG. 3 is a schematic cross-sectional process explanatory diagram illustrating a manufacturing example of the multilayer printed wiring board of the present invention following FIG. 2. 本発明の多層プリント配線板を示す概略断面説明図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic cross-sectional explanatory view showing a multilayer printed wiring board according to the present invention. 従来の多層プリント配線板の製造例を示す概略断面説明図。The schematic cross-section explanatory drawing which shows the manufacture example of the conventional multilayer printed wiring board. 他の従来の多層プリント配線板の製造例を示す概略断面説明図。Schematic cross-sectional explanatory drawing which shows the manufacture example of another conventional multilayer printed wiring board.

符号の説明Explanation of symbols

1:銅箔
2:絶縁材
3:レジスト
5:回路パターン
7:樹脂
8:樹脂
9:銅箔
10:層間絶縁体
12:銅めっき
14:接続ビア
16:スルーホール
17:ガラスクロス
1: Copper foil 2: Insulating material 3: Resist 5: Circuit pattern 7: Resin 8: Resin 9: Copper foil 10: Interlayer insulator 12: Copper plating 14: Connection via 16: Through hole 17: Glass cloth

Claims (7)

厚肉な回路パターンがプリント配線板の内層部に配置された多層プリント配線板において、当該厚肉な回路パターンと上層の導体層との間の絶縁体が、当該厚肉な回路パターンの間隙及び表面に設けられた樹脂と、上層の導体層の下に設けられた樹脂との一体化により形成された1つの層間絶縁体から成ることを特徴とする多層プリント配線板。   In the multilayer printed wiring board in which the thick circuit pattern is disposed in the inner layer portion of the printed wiring board, the insulator between the thick circuit pattern and the upper conductor layer has gaps between the thick circuit pattern and A multilayer printed wiring board comprising a single interlayer insulator formed by integrating a resin provided on a surface and a resin provided below an upper conductor layer. 前記厚肉な回路パターンと上層の導体層との層間部に接続ビアが設けられていることを特徴とする請求項1に記載の多層プリント配線板。   2. The multilayer printed wiring board according to claim 1, wherein a connection via is provided in an interlayer portion between the thick circuit pattern and the upper conductor layer. 前記厚肉な回路パターンの厚さが100〜1000μmであることを特徴とする請求項1又は2に記載の多層プリント配線板。   The multilayer printed wiring board according to claim 1, wherein the thick circuit pattern has a thickness of 100 to 1000 μm. 前記上層の導体層の下に設けられた樹脂の内部にガラスクロスが含浸されていることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の多層プリント配線板。   The multilayer printed wiring board according to any one of claims 1 to 3, wherein a glass cloth is impregnated in a resin provided under the upper conductor layer. あらかじめ絶縁材を中心として上下面より厚肉な銅箔を張り合せる工程と、厚肉な銅箔を回路形成して回路パターンする工程と、回路パターンの間隙及び表面に樹脂を塗布する工程と、回路パターンの間隙及び表面に被覆した樹脂を半硬化な状態で保持し、当該樹脂の上よりシート状の樹脂と銅箔を順に積み重ね、積層加熱により一体化形成する工程と、前記回路パターンの上に接続ビアを設けて上層の導体と接続する工程とを有することを特徴とする多層プリント配線板の製造方法。   A process of pasting thick copper foils from the upper and lower surfaces around the insulating material in advance, a process of forming a circuit by forming a circuit of the thick copper foil, a process of applying a resin to the gap and the surface of the circuit pattern, A step of holding the resin coated on the gap and the surface of the circuit pattern in a semi-cured state, stacking a sheet-like resin and a copper foil sequentially on the resin, and integrally forming by laminating heating, A method of manufacturing a multilayer printed wiring board, comprising the step of providing a connection via and connecting to an upper conductor. 前記回路パターンの間隙及び表面に樹脂を塗布する工程は、スクリーン印刷工法又はロールコート工法を使用した塗布方法であって、減圧で塗布した後に大気圧に戻すことによる差圧を利用した塗布方法であることを特徴とする請求項5に記載の多層プリント配線板の製造方法。   The step of applying the resin to the gap and the surface of the circuit pattern is a coating method using a screen printing method or a roll coating method, which is a coating method using a differential pressure by returning to atmospheric pressure after applying at a reduced pressure. The method for producing a multilayer printed wiring board according to claim 5, wherein: 前記回路パターンの間隙及び表面に樹脂を塗布する工程は、スクリーン印刷工法又はロールコート工法を使用した塗布方法であって、大気圧で行なうことを特徴とする請求項5に記載の多層プリント配線板の製造方法。   6. The multilayer printed wiring board according to claim 5, wherein the step of applying the resin to the gap and the surface of the circuit pattern is a coating method using a screen printing method or a roll coating method, and is performed at atmospheric pressure. Manufacturing method.
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