JP2007287844A - Method for manufacturing component incorporating substrate, and its manufacturing device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電子部品を基板中に埋め込んでなる部品内蔵基板の製造方法および部品内蔵基板の製造装置に関するものである。 The present invention relates to a method for manufacturing a component-embedded substrate in which an electronic component is embedded in a substrate, and a device for manufacturing the component-embedded substrate.
近年のエレクトロニクス機器の小型化・薄型化、高機能化に伴って、プリント基板に実装される電子部品の高密度実装化、および、電子部品が実装された回路基板の高機能化への要求が益々強くなっている。このような状況の中、電子部品を基板中に埋め込んだ部品内蔵基板が開発されている(例えば、特許文献1)。 With recent downsizing, thinning and higher functionality of electronic equipment, there is a demand for higher density mounting of electronic components mounted on printed circuit boards and higher functionality of circuit boards mounted with electronic components. It is getting stronger and stronger. Under such circumstances, a component-embedded substrate in which an electronic component is embedded in the substrate has been developed (for example, Patent Document 1).
部品内蔵基板では、通常、プリント基板の表面に実装している能動部品(例えば、半導体素子)や受動部品(例えば、コンデンサ)を基板の中に埋め込んでいるので、基板の面積を削減することができる。また、表面実装の場合と比較して、電子部品を配置する自由度が高くなるため、電子部品間の配線の最適化によって高周波特性の改善なども見込むことができる。 In a component-embedded board, active parts (for example, semiconductor elements) and passive parts (for example, capacitors) mounted on the surface of a printed circuit board are usually embedded in the board, so that the area of the board can be reduced. it can. In addition, since the degree of freedom in arranging electronic components is higher than in the case of surface mounting, improvement in high frequency characteristics can be expected by optimizing the wiring between the electronic components.
今日、既にセラミック基板の分野では、電子部品を内蔵したLTCC(low temperature co-fired ceramics)基板が実用化されているものの、これは重く割れやすいため大型の基板に適用することが難しく、しかも、高温処理が必要なのでLSIのような半導体素子を内蔵できないなど制約が大きい。最近注目されているのは、樹脂を用いたプリント基板に部品を内蔵した部品内蔵基板であり、これは、LTCC基板とは異なり、基板の大きさに対する制約が少なく、LSIの内蔵も可能であるという利点も有している。 Today, in the field of ceramic substrates, LTCC (low temperature co-fired ceramics) substrates with built-in electronic components have been put into practical use, but this is difficult to apply to large substrates because it is heavy and fragile, Since high temperature processing is required, there are significant restrictions such as the inability to incorporate semiconductor elements such as LSI. Recently, a component-embedded substrate in which components are embedded in a printed circuit board using resin, unlike an LTCC substrate, there are few restrictions on the size of the substrate, and an LSI can be incorporated. It also has the advantage.
次に、図6を参照しながら、特許文献1に開示された部品内蔵基板(回路部品内蔵モジュール)について説明する。図6において、101,107,108は絶縁シート、102,111,112はビアホール導体、103は空隙部、104,109,110は配線回路層、105は回路部品である。
Next, a component built-in substrate (circuit component built-in module) disclosed in
図6に示した回路部品内蔵モジュールは、先ず図6(a)に示すように、熱硬化性樹脂を含む軟質(Bステージ状態)の第1の絶縁シート101を作製する。また、この絶縁シート101には、所望により厚み方向に貫通するスルーホールを形成し、そのスルーホール内に金属粉末を含む導体ペーストをスクリーン印刷や吸引処理をしながら充填して、ビアホール導体102を形成する。また、この絶縁シート101の所定箇所に電子部品を内蔵するための空隙部103を形成する。次に、図6(b1)〜(b4)に示すように、絶縁シート101の表面に、予め回路部品105が実装された配線回路層104を、絶縁シート101の空隙部103に回路部品105が実装収納されるように位置決めして、積層して圧着する。さらに、この絶縁シート101の上下面に軟化状態(Bステージ状態)の第2および第3のビアホール導体111,112を形成した絶縁シート107、108を積層圧着して、図6(c)に示すように、絶縁基板内に回路部品105を内蔵した多層配線基板を作製する。各絶縁層に対するビアホールおよび空隙の形成は、各絶縁層に対してドリル、パンチング、サンドブラスト、あるいは炭酸ガスレーザ、YAGレーザ、およびエキシマレーザー等の照射による加工により行われる。
しかしながら、従来の部品内蔵基板の製造方法では、ビアホールおよび空隙の形成に際しては、各層毎に孔開け加工を行う必要があり、生産性が極めて低いという課題を有する。特に、サンドブラスト以外の工法では、1穴毎に孔開け加工行うので、より顕著となる。 However, in the conventional method for manufacturing a component-embedded substrate, when forming a via hole and a gap, it is necessary to perform drilling for each layer, and there is a problem that productivity is extremely low. In particular, a method other than sandblasting is more noticeable because the holes are drilled for each hole.
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、生産性に優れた部品内蔵基板の製造方法およびその製造装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of such a point, and a main object thereof is to provide a method for manufacturing a component-embedded substrate and a manufacturing apparatus therefor, which are excellent in productivity.
本発明の第1の部品内蔵基板の製造方法は、成型可能な絶縁性を有する樹脂を金型内に充填する工程と、前記金型内に充填して成型した樹脂を前記金型から取り出す工程と、前記金型から取り出した前記樹脂の上下少なくとも一方の面にフィルムを貼り付ける工程と、前記樹脂中に形成した所定の貫通孔に対応する位置において前記フィルムに孔開け加工を施す工程と、前記所定の貫通孔内に導電性材料を充填する工程と、前記フィルムを剥離する工程と、前記フィルムを剥離した樹脂の外層面に予め電子部品を実装した回路基板を該電子部品が前記樹脂中に形成した所定の空隙に収納されるように位置決めして重ね合わせる工程と、前記樹脂を硬化して前記回路基板と接着する工程とを含むものである。 The method for manufacturing a first component-embedded substrate of the present invention includes a step of filling a mold with a resin having insulating properties that can be molded, and a step of taking out the molded resin filled in the mold from the mold A step of attaching a film to at least one upper and lower surfaces of the resin taken out from the mold, and a step of punching the film at a position corresponding to a predetermined through hole formed in the resin; A step of filling the predetermined through-hole with a conductive material; a step of peeling the film; and a circuit board in which an electronic component is previously mounted on the outer surface of the resin from which the film has been peeled. A step of positioning and overlapping so as to be accommodated in a predetermined gap formed in the step, and a step of curing the resin and bonding it to the circuit board.
なお、成型可能な絶縁性を有する樹脂を金型内に充填する工程と、前記金型内に充填して成型した樹脂を前記金型から取り出す工程との間に、前記樹脂の硬度を増大させる工程をさらに含むものであってもよい。 In addition, the hardness of the resin is increased between the step of filling the mold with a resin having an insulating property and the step of taking out the resin filled in the mold and molded from the mold. It may further include a process.
また、成型可能な絶縁性を有する樹脂は、複数枚の樹脂を重ね合わせてなるものであってもよい。 In addition, the moldable insulating resin may be a laminate of a plurality of resins.
本発明の第1の部品内蔵基板の製造方法によると、基板となる樹脂を金型内に充填して成型することによって、樹脂中にビアホールとなる貫通孔ならびに電子部品を収納するための空隙を一括して形成でき、生産性に優れる。 According to the first method of manufacturing a component-embedded substrate of the present invention, by filling a resin to be a substrate into a mold and molding the resin, there are through holes to be via holes and voids for accommodating electronic components in the resin. It can be formed in a lump and has excellent productivity.
本発明の第2の部品内蔵基板の製造方法は、成型可能な絶縁性を有する第1の樹脂上に成型可能な絶縁性を有する第2の樹脂を重ねて金型内に充填する工程と、前記金型内に充填して成型した前記第1および第2の樹脂を前記金型から取り出す工程と、前記第1および第2の樹脂中に形成した所定の貫通孔内に導電性材料を充填する工程と、前記第1の樹脂を剥離する工程と、前記第2の樹脂の外層面に予め電子部品を実装した回路基板を該電子部品が前記第2の樹脂中に形成した所定の空隙に収納されるように位置決めして重ね合わせる工程と、前記第2の樹脂を硬化して前記回路基板と接着する工程とを含むものである。 The second component-embedded substrate manufacturing method of the present invention includes a step of stacking a moldable insulating second resin on a moldable insulating first resin and filling the mold in a mold. A step of taking out the first and second resins filled and molded in the mold from the mold, and filling a predetermined through hole formed in the first and second resins with a conductive material A step of peeling the first resin, and a circuit board having electronic components mounted in advance on the outer layer surface of the second resin in a predetermined gap formed in the second resin by the electronic components. It includes a step of positioning and stacking so as to be accommodated, and a step of curing the second resin and bonding it to the circuit board.
なお、成型可能な絶縁性を有する第1の樹脂上に成型可能な絶縁性を有する第2の樹脂を重ねて金型内に充填する工程が、成型可能な絶縁性を有する第1の樹脂を金型内に充填する工程と、前記第1の樹脂の硬度を増大させる工程と、成型可能な絶縁性を有する第2の樹脂を金型内に充填して前記第1の樹脂上に重ねる工程とからなるものであってもよい。 The step of stacking the moldable insulating second resin on the moldable insulating first resin and filling the mold with the moldable insulating first resin has the moldable insulating first resin. A step of filling the mold, a step of increasing the hardness of the first resin, and a step of filling the mold with a second resin having a moldable insulating property and overlaying the mold on the first resin It may consist of:
また、成型可能な絶縁性を有する第1の樹脂上に成型可能な絶縁性を有する第2の樹脂を重ねて金型内に充填する工程と、前記金型内に充填して成型した前記第1および第2の樹脂を前記金型から取り出す工程との間に、前記第2の樹脂の硬度を増大させる工程をさらに含むものであってもよい。 Also, a step of filling a mold with a second resin having a moldable insulating property on the moldable first resin, filling the mold with the mold, and molding the mold filled with the mold. A step of increasing the hardness of the second resin may be further included between the step of taking out the first resin and the second resin from the mold.
また、成型可能な絶縁性を有する第2の樹脂は、複数枚の樹脂を重ね合わせてなるものであってもよい。 Further, the second resin having insulating properties that can be molded may be a laminate of a plurality of resins.
本発明の第2の部品内蔵基板の製造方法によると、基板となる第2の樹脂を金型内に充填して成型することによって、第1および第2の樹脂中にビアホールとなる貫通孔ならびに電子部品を収納するための空隙を一括して形成でき、生産性に優れる。 According to the second method of manufacturing a component-embedded substrate of the present invention, by filling the mold with the second resin to be the substrate and molding it, the through holes to be via holes in the first and second resins, and Gaps for storing electronic components can be formed in a batch, and productivity is excellent.
本発明の第3の部品内蔵基板の製造方法は、フィルム上に成型可能な絶縁性を有する樹脂を積層してなる積層体の前記樹脂の表面より金型をプレスする工程と、前記積層体中にプレス形成された所定の貫通孔内に前記フィルム面から導電性材料を充填する工程と、前記フィルムを剥離する工程と、前記フィルムを剥離した樹脂の外層面に予め電子部品を実装した回路基板を該電子部品が前記樹脂中にプレス形成した所定の空隙に収納されるように位置決めして重ね合わせる工程と、前記樹脂を硬化して前記回路基板と接着する工程とを含むものである。 The third component-embedded substrate manufacturing method of the present invention includes a step of pressing a mold from the surface of the resin of a laminate formed by laminating an insulating resin moldable on a film, A circuit board in which electronic parts are mounted in advance on the outer layer surface of the resin from which the film is peeled off, a step of filling the conductive material from the film surface into the predetermined through-hole press formed on the film, a step of peeling the film, The electronic component includes a step of positioning and overlapping so that the electronic component is accommodated in a predetermined gap formed by pressing in the resin, and a step of curing the resin and bonding the resin to the circuit board.
なお、積層体の樹脂の表面より金型をプレスする工程にて、前記積層体を加熱してもよい。 In addition, you may heat the said laminated body in the process of pressing a metal mold | die from the surface of the resin of a laminated body.
また、成型可能な絶縁性を有する樹脂は、複数枚の樹脂を重ね合わせてなるものであってもよい。 In addition, the moldable insulating resin may be a laminate of a plurality of resins.
本発明の第3の部品内蔵基板の製造方法によると、基板となる樹脂の表面より金型をプレスすることによって、樹脂中にビアホールとなる貫通孔ならびに電子部品を収納するための空隙を一括して形成でき、生産性に優れる。 According to the third method of manufacturing a component-embedded substrate of the present invention, by pressing a mold from the surface of the resin serving as the substrate, a through hole serving as a via hole and a gap for accommodating electronic components are collectively contained in the resin. And can be formed with excellent productivity.
本発明の第4の部品内蔵基板の製造方法は、フィルム上に成型可能な絶縁性を有する樹脂を積層した積層体を所定の速度で送り出して表面に凸部を有する所定の速度で回転している回転体に供給する工程と、前記積層体の樹脂の表面より前記回転体にてプレスする工程と、前記積層体を所定の長さに裁断する工程と、前記裁断した積層体中にプレス形成された所定の貫通孔内に前記フィルム面から導電性材料を充填する工程と、前記フィルムを剥離する工程と、前記フィルムを剥離した樹脂の外層面に予め電子部品を実装した回路基板を該電子部品が前記樹脂中にプレス形成した所定の空隙に収納されるように位置決めして重ね合わせる工程と、前記樹脂を硬化して前記回路基板と接着する工程とを含むものである。 According to the fourth method of manufacturing a component-embedded substrate of the present invention, a laminate in which an insulating resin that can be molded on a film is laminated at a predetermined speed and rotated at a predetermined speed having a convex portion on the surface. Supplying to the rotating body, pressing with the rotating body from the resin surface of the laminated body, cutting the laminated body into a predetermined length, and press forming in the cut laminated body Filling a predetermined through-hole with a conductive material from the film surface, peeling the film, and mounting a circuit board on which an electronic component is previously mounted on the outer layer surface of the resin from which the film has been peeled off The method includes a step of positioning and stacking the parts so as to be accommodated in a predetermined gap formed by pressing in the resin, and a step of curing the resin and bonding the resin to the circuit board.
なお、積層体の樹脂の表面より回転体にてプレスする工程にて、前記積層体を加熱してもよい。 In addition, you may heat the said laminated body in the process pressed with the rotary body from the surface of resin of a laminated body.
また、成型可能な絶縁性を有する樹脂は、複数枚の樹脂を重ね合わせてなるものであってもよい。 In addition, the moldable insulating resin may be a laminate of a plurality of resins.
本発明の部品内蔵基板の製造装は、表面に凸部を有した回転体を所定の速度で回転する機構と、フィルム上に成型可能な絶縁性を有する樹脂を積層した積層体を所定の速度で送り出して前記回転体に供給する機構とを備えたものである。 The manufacturing apparatus for a component-embedded substrate of the present invention has a mechanism in which a rotating body having a convex portion on the surface is rotated at a predetermined speed and a laminated body in which an insulating resin that can be molded on a film is laminated at a predetermined speed. And a mechanism for supplying the rotating body to the rotating body.
本発明の第4の部品内蔵基板の製造方法によると、基板となる樹脂の表面より凸部を有した回転体にてプレスすることによって、樹脂中にビアホールとなる貫通孔ならびに電子部品を収納するための空隙を一括して形成でき、生産性に優れる。 According to the fourth method for manufacturing a substrate with built-in components of the present invention, the through-hole serving as a via hole and the electronic component are accommodated in the resin by pressing with a rotating body having a convex portion from the surface of the resin serving as the substrate. Therefore, the voids can be formed all at once, and the productivity is excellent.
本発明によれば、ビアホールのための貫通孔および部品収納のための空隙の形成において、一括して孔開け加工が施されるので、優れた生産性にて部品内蔵基板を製造することができる。 According to the present invention, in the formation of the through hole for the via hole and the gap for storing the component, the boring process is performed collectively, so that the component built-in substrate can be manufactured with excellent productivity. .
(第1の実施の形態)
本発明の第1の実施の形態について図面をもとに説明する。図1は、本実施の形態の部品内蔵基板を製造する方法を説明するための工程図である。
(First embodiment)
A first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a process diagram for explaining a method of manufacturing a component-embedded substrate according to the present embodiment.
図1によれば、先ず、図1(a)に示すように、未硬化の液状のエポキシ系熱硬化型樹脂1Aを金型2中に注入した後、80℃30分程度の加熱処理を施して軟質(Bステージ)化し、樹脂1Aの硬度を増大させる。次に、図1(b)に示すように、金型2に応じた部品収納のための空隙3やビアホール形成用の貫通孔4が形成されている軟質化した熱硬化型樹脂1Bを金型2より取り出す。次に、図1(c)に示すように、軟質化した樹脂1Bの両面にPET材の樹脂フィルム5を貼り付ける。次に、図1(d)に示すように、ビアホール形成用の貫通孔4の両端部の樹脂フィルム5を、レーザ照射により開口して開口部14を形成する。次に、図1(e)に示すように、樹脂フィルム5の開口部14より、エポキシ系樹脂に導電性金属粉、例えばCu粉を添加した導電性樹脂ペースト6を、スクリーン印刷や吸引処理をしながら充填する。次に、図1(f)に示すように、樹脂フィルム5を剥離する。最後に、図1(g)に示すように、樹脂1Bの両外層面に、回路基板7,8の表面にそれぞれ電子部品9,10を実装した実装体を、電子部品9,10が空隙3内に収納されるように位置を合わせて重ねた後、加熱プレス処理(200℃、3MPa、2時間)を施して一体化すると同時に、ビアホール6を介した回路基板7と回路基板10間の接続を行う。
According to FIG. 1, first, as shown in FIG. 1 (a), after injecting an uncured liquid
なお、本実施の形態では1個の金型から取り出した1種類の樹脂で部品内蔵基板を作製したが、2種類の樹脂を重ねて作製することも可能である。以下、2種類の樹脂を重ねて部品内蔵基板を製造する方法を、図2の工程図を用いて説明する。 In the present embodiment, the component-embedded substrate is manufactured with one type of resin taken out from one mold, but it is also possible to stack two types of resins. Hereinafter, a method of manufacturing a component-embedded substrate by stacking two types of resins will be described with reference to the process diagram of FIG.
図2によれば、先ず、図2(a)に示すように、未硬化の液状のエポキシ系熱硬化型樹脂1Aをそれぞれ金型2,12中に注入した後、80℃30分程度の加熱処理を施して軟質(Bステージ)化し、樹脂1Aの硬度を増大させる。次に、図2(b)に示すように、金型2,12に応じた部品収納のための空隙3やビアホール形成用の貫通孔4が形成されている軟質化した各熱硬化型樹脂1Bを金型2,12より取り出す。次に、図2(c)に示すように、軟質化した各樹脂1Bの両面に、PET材の樹脂フィルム5を貼り付ける。次に、図2(d)に示すように、各樹脂1B中に形成したビアホール形成用の貫通孔4の両端部の樹脂フィルム5を、レーザ照射により開口して開口部14を形成する。次に、図2(e)に示すように、樹脂フィルム5の開口部14より、エポキシ系樹脂に導電性金属粉、例えばCu粉を添加した導電性樹脂ペースト6を、スクリーン印刷や吸引処理をしながら充填する。次に、図2(f)に示すように、樹脂フィルム5を剥離する。最後に、図1(g)に示すように、各樹脂1B同士を所定の位置が重なるように重ね合わせ、さらに回路基板7,8の表面にそれぞれ電子部品9,10を実装した実装体を、樹脂1B同士を積層した両外層面に、電子部品9,10が空隙3内に収納されるように位置を合わせて重ねた後、加熱プレス処理(200℃、3MPa、2時間)を施して一体化すると同時に、ビアホール6を介した回路基板7と回路基板10間の接続を行う。
According to FIG. 2, first, as shown in FIG. 2 (a), uncured liquid epoxy
なお、上記で説明した2種類の樹脂に留まらず、3種類以上の樹脂を重ねて部品内蔵基板を製造することも可能である。 In addition to the two types of resins described above, it is possible to manufacture a component-embedded board by stacking three or more types of resins.
本実施の形態によれば、ビアホール6を形成する貫通孔4や電子部品9,10を収納する空隙3を一括して形成できるので、極めて生産性の高い部品内蔵基板を製造する方法を提供できる。
According to the present embodiment, the through
また、図1(f)および図2(f)に示す工程において、フィルム付着面を研削加工することにより、樹脂1Bの厚み精度が向上すると共に、樹脂1Bの新生面が表層に現れることにより積層プレス後の接着力が向上する。
Further, in the steps shown in FIGS. 1 (f) and 2 (f), the thickness accuracy of the
なお、液状の樹脂1Aを金型2,12内に注入した後に加熱処理を施し軟質化を行ったが、予め軟質化した樹脂を金型2,12内に充填してもよい。その際は、加熱処理時間の短縮または削減することができる。
The
また、成型可能な絶縁性を有する樹脂としてエポキシ系の熱硬化型樹脂1Aを用いたが、他の材料系の熱硬化型樹脂材料や紫外線硬化型樹脂材料および熱可塑型樹脂材料などの他の硬化性を有する樹脂材料を用いてもよい。
In addition, the epoxy
また、ビアホール6を形成する導電性材料として、導電性ペースト材料以外にメッキ製法などによる金属バルクなどを用いてもよい。
Further, as the conductive material for forming the via
さらに、樹脂フィルム材料やその開口方法については、同様な効果が得られる場合には特にこれを規定しない。また、樹脂1Bの両面に樹脂フィルム5を貼り付けたが、樹脂1Bの方面のみに樹脂フィルム5を貼り付けるものであってもよい。
Further, the resin film material and the opening method thereof are not particularly defined when similar effects can be obtained. Moreover, although the
(第2の実施の形態)
本発明の第2の実施の形態について図面をもとに説明する。図3は、本実施の形態の部品内蔵基板を製造する方法を説明するための工程図である。
(Second Embodiment)
A second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 3 is a process diagram for explaining a method of manufacturing the component-embedded substrate of the present embodiment.
図3によれば、先ず、図3(a)に示すように、第1の樹脂となる未硬化の液状のエポキシ系熱硬化型樹脂15Aをそれぞれ金型2,12中に注入した後、150℃30分程度の加熱処理を施し樹脂15Aの硬度を増大させて樹脂フィルム15Bを形成する。次に、図3(b)に示すように、金型2,12に、第2の樹脂となる液状のエポキシ系硬化樹脂1Aを充填して、80℃30分程度の加熱処理を施して軟質(Bステージ)化し、樹脂1Aの硬度を増大させる。次に、図3(c)に示すように、空隙3やビアホール形成用の貫通孔4が形成されている軟質化した熱硬化型樹脂1Bを、それぞれ金型2,12より取り出す。次に、図3(d)に示すように、軟質化した各樹脂1Bに形成された貫通孔4に樹脂フィルム15B面より、エポキシ樹脂に導電性金属粉、例えばCu粉を添加した導電性樹脂ペースト6を、スクリーン印刷や吸引処理をしながら充填する。次に、図3(e)に示すように、各樹脂フィルム15Bを剥離した後、各樹脂1B同士を所定の位置が重なるように重ね合わせる。最後に、図3(f)に示すように、回路基板7,8の表面にそれぞれ電子部品9,10を実装した実装体を、樹脂1B同士を積層した両外層面に、電子部品9,10が空隙3内に収納されるように位置を合わせて重ねた後、加熱プレス処理(200℃、3MPa、2時間)を施して一体化すると同時に、ビアホール6を介した回路基板7と回路基板10間の接続を行う。
According to FIG. 3, first, as shown in FIG. 3A, an uncured liquid epoxy thermosetting resin 15 </ b> A that becomes the first resin is injected into the
本実施の形態によれば、第1の実施の形態の効果に加え、樹脂フィルムを開口する工程が不要となるので、さらに生産性が高く、微細なビア接続が行える部品内蔵基板を製造することができる。 According to the present embodiment, in addition to the effects of the first embodiment, a process for opening a resin film is not required, and therefore, it is possible to manufacture a component-embedded substrate that is more productive and can perform fine via connection. Can do.
また、図3(e)に示す工程において、フィルム付着面を研削加工することにより、樹脂1Bの厚み精度が向上すると共に、樹脂1Bの新生面が表層に現れることにより積層プレス後の接着力が向上する。
Further, in the step shown in FIG. 3 (e), by grinding the film adhesion surface, the thickness accuracy of the
なお、液状の樹脂1Aを金型2,12内に注入した後に加熱処理を施し軟質化を行ったが、予め軟質化した樹脂を金型2,12内に充填してもよい。その際は、加熱処理時間の短縮または削減することができる。
The
また、金型2,12内に充填する2種類の成型可能な絶縁性を有する第1,2の樹脂としてエポキシ系の熱硬化型樹脂1A,15Aを用いたが、いずれの樹脂も他の材料系の熱硬化型樹脂材料や紫外線硬化型樹脂材料および熱可塑型樹脂材料などの他の硬化性を有する樹脂材料を用いてもよい。
In addition, the epoxy-
また、ビアホール6を形成する導電性材料として、導電性ペースト材料以外にメッキ製法などによる金属バルクなどを用いてもよい。
Further, as the conductive material for forming the via
さらに、2種類の樹脂1A,15Aを積層する製造方法を説明したが、1種類のみの場合や、3種類以上の樹脂を積層しての製造方法も可能である。
Furthermore, although the manufacturing method which laminates |
(第3の実施の形態)
本発明の第3の実施の形態について図面をもとに説明する。図4は、本実施の形態の部品内蔵基板を製造する方法を説明するための工程図である。
(Third embodiment)
A third embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 4 is a process diagram for explaining a method of manufacturing the component-embedded substrate according to the present embodiment.
図4によれば、先ず、図4(a)に示すように、PET材からなる樹脂フィルム15B上に軟質(Bステージ)化処理を施したシート状のエポキシ系熱硬化型樹脂1Bを積層した積層体を、図4(b)に示すように、金型22,32でプレスする。プレスする際には積層体に150℃の温度を加えることで、シート状のエポキシ系熱硬化型樹脂フィルム1Bは低粘度化するので、成型性が向上する。次に、図4(c)に示すように、軟質化した各樹脂1Bに形成された貫通孔4にフィルム15B面より、エポキシ樹脂に導電性金属粉、例えばCu粉を添加した導電性樹脂ペースト6を、スクリーン印刷や吸引処理をしながら充填する。次に、図4(d)に示すように、樹脂フィルム15Bを剥離した後、各シート状の樹脂1B同士を所定の位置が重なるように重ね合わせる。最後に、図4(f)に示すように、回路基板7,8の表面にそれぞれ電子部品9,10を実装した実装体を、各樹脂1B同士を積層した両外層面に、電子部品9,10が空隙3内に収納されるように位置を合わせて重ねた後、加熱プレス処理(200℃、3MPa、2時間)を施して一体化すると同時に、ビアホール6を介した回路基板7と回路基板10間の接続を行う。
According to FIG. 4, first, as shown in FIG. 4A, a sheet-like epoxy
本発明によれば、第1,第2の実施の形態の効果に加え、樹脂フィルムの貼付工程がなくなり工程が簡素化されるので、さらに生産性の高い部品内蔵基板を製造できる。 According to the present invention, in addition to the effects of the first and second embodiments, the resin film sticking process is eliminated and the process is simplified, so that a component-embedded substrate with higher productivity can be manufactured.
また、図4(e)に示す工程において、フィルム付着面を研削加工することにより、樹脂の厚み精度が向上すると共に、樹脂の新生面が表層に現れることにより積層プレス後の接着力が向上する。 In the step shown in FIG. 4 (e), by grinding the film adhesion surface, the thickness accuracy of the resin is improved, and the new surface of the resin appears on the surface layer, thereby improving the adhesive force after the lamination press.
なお、シート状の成型可能な絶縁性を有する樹脂としてエポキシ系の熱硬化型樹脂1Bを用いたが、いずれの樹脂も他の材料系の熱硬化型樹脂材料や紫外線硬化型樹脂材料および熱可塑型樹脂材料などの他の樹脂材料を用いてもよい。
Note that the epoxy
また、ビアホール6を形成する導電性材料として、導電性ペースト材料以外にメッキ製法などによる金属バルクなどを用いてもよい。
Further, as the conductive material for forming the via
さらに、2種類の樹脂を積層する製造方法を説明したが、1種類のみの場合や、3種類以上の樹脂を積層しての製造方法も可能である。 Furthermore, although the manufacturing method which laminates | stacks two types of resin was demonstrated, the manufacturing method of laminating | stacking three or more types of resin is also possible when only one type is laminated | stacked.
(第4の実施の形態)
本発明の第4の実施の形態について図面をもとに説明する。図5は、本実施の形態の部品内蔵基板を製造する方法および装置を説明するための概略図である。
(Fourth embodiment)
A fourth embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 5 is a schematic diagram for explaining the method and apparatus for manufacturing the component-embedded substrate of the present embodiment.
図5に示すように、ロール41に巻き付けた、PET材からなる樹脂フィルム5上に軟質(Bステージ)化処理を施したシート状のエポキシ系熱硬化型樹脂1Bを積層した積層体となるシート40が、一定速度でフィードされるように、別のロール42で巻き取る。この一定速度でフィードされているシート40は、凸部45を設けたドラム状回転体44と加熱機構を有するステージ43間を潜り抜ける際に、ステージ43により低粘度化された状態で、ドラム状回転体44の凸部45により部品を収納するための空隙3とビアホール6を形成する貫通孔4が形成される。すなわち、凸部45は、樹脂1B中に空隙3をプレス形成するための凸部と、シート40を貫通して貫通孔4をプレス形成するための凸部とからなる。このプレス加工の際、シート40は回転ドラム44表面にて所定の膜厚に平坦化される。この後、シート40は所定の長さに裁断されてから、図4(c)以降と同様にして、貫通孔4にフィルム5面より、エポキシ樹脂に導電性金属粉、例えばCu粉を添加した導電性樹脂ペーストを、スクリーン印刷や吸引処理をしながら充填した後、樹脂フィルム5を剥離してから、各樹脂1B同士を所定の位置が重なるように重ね合わせた後、さらに回路基板7,8の表面にそれぞれ電子部品9,10を実装した実装体を、樹脂1B同士を積層した両外層面に、電子部品9,10が空隙3内に収納されるように位置を合わせて重ねた後、加熱プレス処理(200℃、3MPa、2時間)を施して一体化すると同時に、ビアホール6を介した回路基板7と回路基板10間の接続を行う。
As shown in FIG. 5, the sheet | seat used as the laminated body which laminated | stacked the sheet-like epoxy type
本実施の形態によれば、第1〜第3の実施の形態の効果に加え、シートの成型工程が連続化されるので、さらに生産性が高い部品内蔵基板を製造できる。 According to the present embodiment, in addition to the effects of the first to third embodiments, the sheet molding process is continued, so that a component-embedded substrate with higher productivity can be manufactured.
また、図4(e)に示す工程において、フィルム付着面を研削加工することにより、樹脂の厚み精度が向上すると共に、樹脂の新生面が表層に現れることにより積層プレス後の接着力が向上する。 In the step shown in FIG. 4 (e), by grinding the film adhesion surface, the thickness accuracy of the resin is improved, and the new surface of the resin appears on the surface layer, thereby improving the adhesive force after the lamination press.
なお、シート状の成型可能な絶縁性を有する樹脂としてエポキシ系の熱硬化型樹脂1Bを用いたが、いずれの樹脂も他の材料系の熱硬化型樹脂材料や紫外線硬化型樹脂材料および熱可塑型樹脂材料などの他の樹脂材料を用いてもよい。
Note that the epoxy
また、ビアホール6を形成する導電性材料として、導電性ペースト材料以外にメッキ製法などによる金属バルクなどを用いてもよい。
Further, as the conductive material for forming the via
さらに、2種類の樹脂を積層する製造方法を説明したが、1種類のみの場合や、3種類以上の樹脂を積層しての製造方法も可能である。 Furthermore, although the manufacturing method which laminates | stacks two types of resin was demonstrated, the manufacturing method of laminating | stacking three or more types of resin is also possible when only one type is laminated | stacked.
本発明は、生産性に優れ小型で高密度な部品内蔵基板を製造することができ、小型,軽量,薄型の電子機器などに利用可能である。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can produce a small, high-density component-embedded substrate with excellent productivity, and can be used for a small, light, and thin electronic device.
1A,1B 基板となる絶縁性を有する樹脂
2,12 金型
3 内蔵部品を収納するための空隙
4 ビアホール用の貫通孔
5,15A,15B 樹脂フィルム
6 ビアホール
7,8 回路基板
9,10 電子部品
22,32 プレス金型
40 シート(積層体)
41,42 ロール
43 加熱機構付きステージ
44 ドラム状回転体
45 凸部
1A, 1B Insulating resin to be used as
41, 42
Claims (11)
A mechanism for rotating a rotating body having a convex portion on the surface at a predetermined speed; and a mechanism for feeding a laminated body in which an insulating resin that can be molded on a film is laminated at a predetermined speed and supplying the laminated body to the rotating body. An apparatus for manufacturing a component-embedded board comprising
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---|---|---|---|
JP2006111975A JP2007287844A (en) | 2006-04-14 | 2006-04-14 | Method for manufacturing component incorporating substrate, and its manufacturing device |
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Cited By (1)
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-
2006
- 2006-04-14 JP JP2006111975A patent/JP2007287844A/en active Pending
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JP5574073B2 (en) * | 2012-06-14 | 2014-08-20 | 株式会社村田製作所 | High frequency module |
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