JP2007285775A - Adapter and electronic component testing device provided with the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、半導体集積回路素子等の各種電子部品(以下、代表的にICデバイスと称する。)をパフォーマンスボードに電気的に接触させてICデバイスをテストするために用いられる電子部品試験装置に、別のパフォーマンスボードを適合させるためのアダプタ及びそれを備えた電子部品試験装置に関する。 The present invention provides an electronic component test apparatus used for testing an IC device by electrically contacting various electronic components such as semiconductor integrated circuit elements (hereinafter, typically referred to as IC devices) with a performance board. The present invention relates to an adapter for adapting another performance board and an electronic component test apparatus including the adapter.
図10Aは旧式のパフォーマンスボード及び旧式のテストヘッドを示す断面図、図10Bは旧式のパフォーマンスボードを示す平面図、図11Aは新式のパフォーマンスボード及び新式のテストヘッドを示す断面図、図11Bは新式のパフォーマンスボードを示す平面図である。 10A is a cross-sectional view showing an old style performance board and an old style test head, FIG. 10B is a plan view showing an old style performance board, FIG. 11A is a cross section showing a new style performance board and a new style test head, and FIG. It is a top view which shows a performance board.
ICデバイス等の電子部品の製造過程においては、パッケージングされた状態でのICデバイスの性能や機能を試験するために電子部品試験装置1’、1”が用いられている。
In the process of manufacturing an electronic component such as an IC device, electronic
ICデバイスのテストは、パフォーマンスボード30’、30上に設けられたソケット32のコンタクトピンに、ICデバイスの入出力端子を手動或いはハンドラ等を用いて接触させた状態で、テストヘッド20’、20を介してテスタ10からICデバイスに試験信号を入出力することにより行われる。ICデバイスの外形形状や入出力端子の配置は当該ICデバイスの品種に応じて異なるため、試験対象であるICデバイスが品種交換されると、テストヘッド20’、20に装着されていたパフォーマンスボード30’、30も、品種交換後のICデバイスに適合した他のパフォーマンスボードに交換される。
The test of the IC device is performed in a state where the input / output terminal of the IC device is brought into contact with the contact pin of the
図10A〜図11Bに示すように、旧式のパフォーマンスボード30’は、新式のパフォーマンスボード30と比較して、ボード本体31の外形形状がひとまわり大きくなっている。また、旧式のパフォーマンスボード30’は、新式のパフォーマンスボードと比較して、テストヘッド20’の上面の端子21aに対向するように、その裏面に設けられた端子形成部33もひとまわり大きくなっている。なお、新式/旧式のパフォーマンスボード30、30’の外形の大小関係は多様である。すなわち、新式のパフォーマンスボード30の方が旧式のパフォーマンスボード30’よりも外形が大きくなっていたり、或いは、旧式のパフォーマンスボード30’の外形と新式のパフォーマンスボード30の外形が同一の場合もある。
As shown in FIGS. 10A to 11B, the old-
また、旧式のテストヘッド20’には、略中央部分に固定孔26が形成されていると共に、ガイドピン23が上方に向かって突出するように形成されており、パフォーマンスボード30’の周縁を押さえるための押さえカバー24がヒンジ25を介して回動可能に設けられている。旧式のパフォーマンスボード30’には、略中央部分にネジ孔36が形成されていると共に、2箇所の角部にガイド孔35が形成されている。そして、ガイドピン23がガイド孔35に挿入されることによりパフォーマンスボード30’がテストヘッド20’に対して位置決めされ、次いで、ネジ孔36を介して固定孔26にボルト40が締結され、押さえカバー24によりパフォーマンスボード30’が押さえられることにより、パフォーマンスボード30’がテストヘッド20’に固定されるようになっている。
In addition, the
これに対し、新式のテストヘッド20には、環状に配置された多数の端子21aと、その外周に上方に突出するように設けられた係合爪21bと、を有するフロッグリング21が設けられており、新式のパフォーマンスボード30には、当該係合爪21aが貫通するための貫通孔34が形成されている。そして、パフォーマンスボード30の貫通孔34を貫通した係合爪21aに押さえリング50が取り付けられ、その締め付け力により、パフォーマンスボード30がテストヘッド20に固定されるようになっている。
On the other hand, the
また、新式のパフォーマンスボード30は、旧式のパフォーマンスボード30’とチャンネル数が異なる場合がある。通常は、新式のパフォーマンスボード30の方が旧式のパフォーマンスボード30’に比べて多チャンネル化されている。新式のパフォーマンスボード30に接続されているテストヘッド20は、試験パターンを発生したり、電源を供給するが、旧式のテストヘッド20’よりも高性能化されている。
Also, the new
以上のように、新旧のパフォーマンスボード30、30’では大きさや端子配列やチャンネル数が異なっており、旧式のパフォーマンスボード30’と新式のテストヘッド20とでは取付方法に互換性がない。そのため、旧式のパフォーマンスボード30’で対応していたICデバイスを試験するために、新式のテストヘッド20に装着可能なパフォーマンスボードを新規に製作したり、旧式のテストヘッド20’やテスタを維持管理したりしておく必要がある。
As described above, the old and
新規にパフォーマンスボードを製作するにはコストを要するという問題がある。また、旧式のテストヘッド20’やテスタを残しておくには、そのためのスペースが必要となったり、メンテナンスが負担になるという問題がある。 There is a problem that it takes cost to manufacture a new performance board. In addition, in order to leave the old-style test head 20 'and the tester, there is a problem that a space for the test head 20' and a tester are required and maintenance is a burden.
本発明は、既存のテストヘッドを残さずに既存のパフォーマンスボードを有効に活用するアダプタ及びそれを備えた電子部品試験装置を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide an adapter that effectively utilizes an existing performance board without leaving an existing test head, and an electronic component testing apparatus including the adapter.
上記目的を達成するために、本発明によれば、第1のパフォーマンスボードに被試験電子部品を電気的に接触させて前記被試験電子部品の試験を行う電子部品試験装置に、前記第1のパフォーマンスボードに代えて第2のパフォーマンスボードを適合させるためのアダプタであって、前記電子部品試験装置に電気的に接続可能な第1の接続手段と、前記第2のパフォーマンスボードに電気的に接続可能な第2の接続手段と、前記第1の接続手段と前記第2の接続手段とを電気的に接続する第3の接続手段と、を備えたアダプタが提供される(請求項1参照)。 In order to achieve the above object, according to the present invention, an electronic component test apparatus for testing an electronic device under test by bringing the electronic device under test into electrical contact with a first performance board is provided in the first performance board. An adapter for adapting a second performance board in place of the performance board, the first connection means electrically connectable to the electronic component test apparatus, and the electrical connection to the second performance board An adapter is provided comprising possible second connection means and third connection means for electrically connecting the first connection means and the second connection means (see claim 1). .
本発明では、第1のパフォーマンスボードに適合した電子部品試験装置に第1の接続手段を電気的に接続すると共に、当該電子部品試験装置に適合していない第2のパフォーマンスボードに第2の接続手段を電気的に接続し、さらに、これら第1及び第2の接続手段を第3の接続手段により電気的に接続する。これにより、第2のパフォーマンスボードを電子部品試験装置に適合させることができ、既存のテストヘッドを残さずに既存のパフォーマンスボードを有効に活用することが可能となる。 In the present invention, the first connection means is electrically connected to the electronic component testing apparatus adapted to the first performance board, and the second connection is made to the second performance board not adapted to the electronic component testing apparatus. The means are electrically connected, and the first and second connection means are electrically connected by the third connection means. As a result, the second performance board can be adapted to the electronic component testing apparatus, and the existing performance board can be effectively used without leaving the existing test head.
上記発明においては特に限定されないが、前記第2のパフォーマンスボードは、外形が前記第1のパフォーマンスボードと異なることが好ましい(請求項2参照)。 Although not particularly limited in the above invention, the second performance board preferably has an outer shape different from that of the first performance board (see claim 2).
上記発明においては特に限定されないが、前記第2のパフォーマンスボードは、前記電子部品試験装置に電気的に接続するための端子の配列が前記第1のパフォーマンスボードと異なることが好ましい(請求項3参照)。 Although not particularly limited in the above invention, the second performance board is preferably different from the first performance board in the arrangement of terminals for electrical connection to the electronic component test apparatus (see claim 3). ).
上記発明においては特に限定されないが、前記第2のパフォーマンスボードは、前記電子部品試験装置への固定方法が前記第1のパフォーマンスボードと異なることが好ましい(請求項4参照)。 Although not particularly limited in the above invention, it is preferable that the second performance board is different from the first performance board in a fixing method to the electronic component test apparatus (see claim 4).
上記発明においては特に限定されないが、前記第1のパフォーマンスボードを前記電子部品試験装置に装着するための第1の固定手段を備え、前記第1の固定手段は、前記第1の接続手段を前記電子部品試験装置に固定することが好ましい(請求項5参照)。 Although not particularly limited in the above invention, the first performance board includes first fixing means for mounting the first performance board on the electronic component testing apparatus, and the first fixing means includes the first connection means. It is preferable to fix to an electronic component testing apparatus (refer to claim 5).
上記発明においては特に限定されないが、前記第2のパフォーマンスボードを前記電子部品試験装置に装着するための第2の固定手段を備え、前記第2の固定手段は、前記第2のパフォーマンスボードを前記第2の接続手段に固定することが好ましい(請求項6参照)。 Although not particularly limited in the above invention, the second performance board includes a second fixing means for mounting the second performance board on the electronic component testing apparatus, and the second fixing means includes the second performance board. It is preferable to fix to the 2nd connection means (refer Claim 6).
上記発明においては特に限定されないが、試験時に前記被試験電子部品に与える負荷を切り替えるための切替手段を備えていることが好ましい(請求項7参照)。 Although not particularly limited in the above invention, it is preferable that a switching means for switching a load applied to the electronic device under test during a test is provided (see claim 7).
上記発明においては特に限定されないが、前記第3の接続手段は、前記第2のパフォーマンスボードに設けられたソケットの数に応じて、前記第1の接続手段と前記第2の接続手段との間に電気的な接続を選択するための選択手段を有することが好ましい(請求項8参照)。 Although not particularly limited in the above invention, the third connection means is provided between the first connection means and the second connection means according to the number of sockets provided in the second performance board. It is preferable to have a selection means for selecting an electrical connection.
上記目的を達成するために、本発明によれば、被試験電子部品に電気的に接触して前記被試験電子部品の電気的特性の試験を行うための電子部品試験装置であって、前記第2のパフォーマンスボードと、上記何れかのアダプタと、を備えた電子部品試験装置が提供される(請求項9参照)。 In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided an electronic component testing apparatus for testing electrical characteristics of an electronic device under test by making electrical contact with the electronic device under test. There is provided an electronic component test apparatus including two performance boards and any one of the adapters (see claim 9).
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
<第1実施形態>
図1は本発明の第1実施形態に係るアダプタを示す断面図、図2は本発明の第1実施形態に係るアダプタを示す分解斜視図、図3は図2のIII方向に沿った矢視図(平面図)、図4は図2のIV部の拡大断面図、図5はICデバイスに与える負荷を切り替えるためのリレーを含んだアダプタの回路図、図6は本発明の第1実施形態に係るアダプタに用いられる押さえリングの他の例を示す平面図である。
<First Embodiment>
FIG. 1 is a sectional view showing an adapter according to the first embodiment of the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view showing the adapter according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an arrow view along the III direction of FIG. 4 (plan view), FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of the IV part of FIG. 2, FIG. 5 is a circuit diagram of an adapter including a relay for switching a load applied to the IC device, and FIG. 6 is a first embodiment of the present invention. It is a top view which shows the other example of the pressing ring used for the adapter which concerns on.
本発明の第1実施形態に係る電子部品試験装置1Aは、試験対象であるICデバイスが電気的に接続されるパフォーマンスボード30’と、このパフォーマンスボード30’を新式のテストヘッド20Aに電気的に接続可能なように適合させるアダプタ100Aと、ケーブルを介してテスタ10に電気的に接続されているテストヘッド20Aと、パフォーマンスボード30’、アダプタ100A及びテストヘッド20Aを介してICデバイスに対して試験信号を入出力するテスタ10と、から構成されている。
The electronic
本実施形態におけるパフォーマンスボード30’は、多数のコンタクトピンを有する2つのソケット32をその上面の略中央部分に有している。また、このパフォーマンスボード30’の下面には、環状の端子形成部33が形成されている。この端子形成部33は、アダプタ100Aの第2の接続ボード120の上面に環状に設けられた多数のポゴピン122に対向している。さらに、本実施形態におけるパフォーマンスボード30’は、図10A及び図10Bを参照して説明した旧式のパフォーマンスボードであり、略中央部分にネジ孔36が形成されていると共に、2箇所の角部にガイド孔35が形成されている。
The
これに対し、本実施形態におけるテストヘッド20Aは、図11Aを参照して説明した新式のテストヘッド20Aであり、環状に配置された多数の端子21aと、その外周に上方に突出するように設けられた係合爪21bと、を有するフロッグリング21を上部に有している。特に図示しないが、テストヘッド20Aの内部には、フロッグリング21に電気的に接続された複数のピンエレクトロニクスカードが設けられており、各ピンエレクトロニクスカードはケーブルを介してテスタ10に電気的に接続されている。
On the other hand, the test head 20A in the present embodiment is the
本実施形態に係るアダプタ100Aは、旧式のパフォーマンスボード30’を新式のテストヘッド20Aに適合させるために機械的/電気的な接続条件を変換する変換用のアダプタである。このアダプタ100Aは、図1〜図3に示すように、新式のテストヘッド20Aに電気的に接続可能な第1の接続ボード110と、旧式のパフォーマンスボード30’に電気的に接続可能な第2の接続ボード120と、第1の接続ボード110と第2の接続ボード120とを電気的に接続する第3の接続ボード130Aと、第1〜第3の接続ボード110〜130Aを支持する支持部材140と、から構成されている。
The
第1の接続ボード110は、図2及び図4に示すように、多数の端子から構成される端子形成部112を有するボード本体111を備えている。端子形成部112は、ボード本体121の下面に環状に形成されている。この端子形成部112は、テストヘッド20Aのフロッグリング21に設けられた多数の端子21aに対向している。また、ボード本体111には、フロッグリング21の外周部分に設けられた係合爪21bを挿入可能な貫通孔113が形成されている。図4に示すように、ボード本体121の上面には、第3の接続ボード130Aのケーブル132の端部が半田付けにより接合されている。
As shown in FIG. 2 and FIG. 4, the
この第1の接続ボード110をテストヘッド20Aに固定する場合には、図2に示すように、ボード本体111に形成された各挿入孔113に、フロッグリング21の係合爪21bをそれぞれ挿入した後に、各係合爪21bを押さえリング50に挿入して係合させる。この締め付け力により、第1の接続ボード110がフロッグリング21に固定されて、第1の接続ボード120の端子形成部112に、フロッグリング21内に設けられた端子21aが電気的に接続される。
When the
さらに、本実施形態における第1の接続ボード110は、図5に示すように、テスタ10からICデバイスに試験信号を入出力するためのドライバ・コンパレータ(D/C)に加えて、当該ICデバイスに与える負荷(Load)をオン/オフするためのリレー114を備えている。
Further, as shown in FIG. 5, the
一般的に、旧式のテストヘッド20’では、試験対象であるICデバイスに与える負荷を切り替えるためのリレーが当該テストヘッド20’内に設けられている。これに対し、新式のテストヘッド20Aでは、当該テストヘッド20A内にはリレーが設けられておらず、新式のパフォーマンスボード30側にリレーが設けられており、テストヘッド20A側は、そのリレーを切り替えるための信号を発するのみである。
Generally, in the old test head 20 ', a relay for switching a load applied to an IC device to be tested is provided in the test head 20'. On the other hand, in the
本実施形態では、新式のテストヘッド20Aから発せられる信号により、第1の接続ボード120内に設けられたリレー114を切り替えることにより、被試験ICデバイスに付与する負荷のオン/オフを行うことが可能となっている。
In the present embodiment, the load applied to the IC device under test can be turned on / off by switching the
第2の接続ボード120は、図3に示すように、多数のポゴピン122を有するボード本体121を備えている。ボード本体121に設けられた多数のポゴピン122は、旧式のパフォーマンスボード30’の下面に形成された端子形成部33に対向するように環状に配置されている。図4に示すように、各ポゴピン122は、その中部122bがボード本体121に埋め込まれている。これに対し、各ポゴピン122の上部122a及び下部122cはボード本体121から突出しており、突出方向に沿って伸縮可能となっている。
As shown in FIG. 3, the
また、第2の接続ボード120のボード本体121の略中央部分には固定孔126が形成されていると共に、旧式のパフォーマンスボード30’の2箇所の角部に形成されたガイド孔35に対向するように、上方に向かって突出しているガイドピン123がボード本体121の2箇所の角部に形成されている。
In addition, a fixing
本実施形態に係るアダプタ100Aは、ハンドラを用いて高温又は低温の熱ストレスを印加した状態下で試験を行う場合もある。そのため、ボード本体121は、例えばガラスエポキシ樹脂等の絶縁性及び耐熱性に優れた材料で構成されている。
The adapter 100 </ b> A according to the present embodiment may be tested under a state in which high temperature or low temperature heat stress is applied using a handler. Therefore, the board
さらに、第2の接続ボード120には、パフォーマンスボード30’の周縁を押さえるための押さえレバー124がヒンジ125により回動可能に設けられている。なお、パフォーマンスボード30’を第2の接続ボード120に容易且つ確実に固定するために、押さえレバー123の代わりにトグルクランプ等も用いても良い。
Further, a
この第2の接続ボード120にパフォーマンスボード30’を装着する場合には、この第2の接続ボード120のガイドピン123をパフォーマンスボード30’のガイド孔35に挿入することにより、第2の接続ボード120に対してパフォーマンスボード30’が位置決めされ、次いで、ネジ孔36を介して固定孔126にボルト40が締結され、押さえレバー124によりパフォーマンスボード30’を押さえることにより、パフォーマンスボード30’が第2の接続ボード120に固定されるようになっている。
When the
第3の接続ボード130Aは、上下面にそれぞれ端子が形成されたボード本体131と、一端がボード本体131の下面に形成された各端子に接合されたケーブル132と、から構成されている。ケーブル132の他端は、第1の接続ボード120の上面に接合されている。ケーブル132の端部を端子に接合する手法としては、例えば半田付け等を挙げることができる。
The third connection board 130 </ b> A includes a
ボード本体131の上面には、多数の端子131aが環状に設けられている。これら多数の端子131aは、第2の接続ボード120に設けられた多数のポゴピン122に対向している。ボード本体131の下面にも端子が設けられており、この端子は上面の端子131aに導通している。
On the upper surface of the
第3の接続ボード130のボード本体131は、図4に示すように、ボルト133により第2の接続ボード120の下側に固定されている。このボルト133により固定された状態で、各ポゴピン122の下部122cが縮んで適切な押付力で端子131aに電気的に接触している。
The board
支持部材140は、図1及び図2に示すように、テストヘッド20Aの上面に接触して第2の接続ボード120を支持する脚部141と、その脚部141に固定された環状部142と、環状部142を介して第1の接続ボード110を脚部141に連結している第1の連結部143と、第1の接続ボード110と第2の接続ボード120を連結している第2の連結部144と、から構成されている。環状部142の内孔には第2の接続ボード120から第1の接続ボード110に向かって伸びているケーブル132が通っている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
本実施形態では、図2に示すように、ケーブル132及び第2の連結部144が押さえリング50の内側に位置するように、支持部材140に押さえリング50が予め組み込まれているが、本発明においては特にこれに限定されず、例えば図6に示すように、押さえリング50’を2つに分割し、それらの間をヒンジ51により開閉可能としても良い。これにより、第1の接続ボード110をフロッグリング21に固定する直前に、押さえリング50’を支持部材140に組み込むことが可能となる。
In this embodiment, as shown in FIG. 2, the holding
以上のような構成のアダプタ100Aを用いて、新式のテストヘッド20Aに旧式のパフォーマンスボード30’を装着する場合には、先ず、第1の接続ボード110の挿入孔113にフロッグリング21の係合爪21bを挿入し、次いで各係合爪21bを押さえリング50に挿入して係合させる。この締め付け力により、第1の接続ボード110がフロッグリング21に固定されて、第1の接続ボード110の端子形成部112にフロッグリング21の端子21aが電気的に接続する。
When the
次に、第2の接続ボード120の上面にパフォーマンスボード30’を載置し、ガイドピン123をガイド孔35に挿入してパフォーマンスボード30’を第2の接続ボード120に対して位置決めする。次いで、ネジ孔32を介して固定孔126にボルト40を螺合させると共に、押さえレバー124によりパフォーマンスボード30’を押さえることにより、パフォーマンスボード30’が接続ボード120に固定される。この固定により、第2の接続ボード120の各ポゴピン122が、パフォーマンスボード30’の下面の端子形成部33に電気的に接続する。
Next, the
第1の接続ボード110と第2の接続ボード120は第3の接続ボード130により電気的に接続されているので、以上のようにパフォーマンスボード30’と第1の接続ボード110が電気的に接続されると共に第2の接続ボード120とテストヘッド20Aとが電気的に接続されることにより、旧式のパフォーマンスボード30’が新式のテストヘッド20Aに電気的に接続される。
Since the
ICデバイスの電気的特性の試験の際、手動或いはハンドラにより被試験ICデバイスがパフォーマンスボード30’のソケット32に押し付けられて、ICデバイスの入出力端子とソケット32のコンタクトピンとが電気的に接触すると、テスタ10からの試験信号が、テストヘッド20A、アダプタ100A及びパフォーマンスボード30’を介して、被試験ICデバイスに入出力される。
When testing the electrical characteristics of the IC device, when the IC device under test is pressed against the
<第2実施形態>
図7は本発明の第2実施形態に係るアダプタを示す分解断面図、図8は本発明の第2実施形態に係るアダプタを同時測定数1のパフォーマンスボードに使用する場合を示す分解断面図、図9は本発明の第2実施形態に係るアダプタを同時測定数2のパフォーマンスボードに使用する場合を示す分解断面図である。
Second Embodiment
FIG. 7 is an exploded cross-sectional view showing an adapter according to the second embodiment of the present invention, FIG. 8 is an exploded cross-sectional view showing a case where the adapter according to the second embodiment of the present invention is used for a performance board having 1 simultaneous measurement, FIG. 9 is an exploded cross-sectional view showing a case where the adapter according to the second embodiment of the present invention is used for a performance board having two simultaneous measurements.
本発明の第2実施形態に係るアダプタ100Bは、第3の接続ボード130Bの構造が異なること以外は、第1実施形態に係るアダプタ100Aと同一の構成を有している。以下に、第2実施形態に係るアダプタ100Bに関して、第1実施形態に係るアダプタ100Aとの相違点のみについて説明する。
The
第1実施形態では、旧式のパフォーマンスボード30’と新式のテストヘッド20Aのチャンネル数(例えば48ch)及び同時測定数(同時に試験を実行するICデバイスの数。例えば同時測定数2つ)が一致している場合について説明したが、これらが一致しない場合もある。本実施形態では、チャンネル数が256chのテストヘッド20Bにより、同時測定数が互いに異なる48chのパフォーマンスボード30A、30Bに対応可能なアダプタ100Bについて説明する。
In the first embodiment, the number of channels (for example, 48ch) and the number of simultaneous measurements (the number of IC devices that simultaneously execute tests, for example, two simultaneous measurements) of the old-
通常、チャンネル数が48chのテストヘッドで、同時測定数を1つ確保する場合には、一つの被試験ICデバイスに対して1〜48ch(すなわち全てのチャンネル)が割り当てられる。 Normally, when a test head with 48 channels and a single simultaneous measurement number are secured, 1 to 48 channels (that is, all channels) are assigned to one IC device under test.
また、チャンネル数が48chのテストヘッドで同時測定数を2つ確保する場合には、一つ目の被試験ICデバイスに対して1〜24chが割り当てられ、二つ目の被試験ICデバイスに対して25〜48chが割り当てられる。 Also, when two simultaneous measurements are secured with a test head having 48 channels, 1 to 24 channels are assigned to the first IC device to be tested, and the second IC device to be tested. 25 to 48 channels are assigned.
これに対し、チャンネル数が256chのテストヘッドで、同時測定数を1つ確保する場合には、一つの被試験ICデバイスに対して1〜256chが割り当てられるが、同時測定数を2つ確保する場合には、一つ目の被試験ICデバイスに1〜128chが割り当てられ、二つ目の被試験ICデバイスに129〜256chが割り当てられる。 In contrast, when a test head with 256 channels is used to secure one simultaneous measurement, 1 to 256 channels are allocated to one IC device under test, but two simultaneous measurements are ensured. In this case, 1 to 128 ch are assigned to the first IC device under test, and 129 to 256 ch are assigned to the second IC device under test.
従って、チャンネル数48chであり同時測定数が1つのパフォーマンスボード30Aを、256chのテストヘッド20Bに装着する場合には、パフォーマンスボード30A側の1〜48chを、テストヘッド20Bの1〜48chに接続すれば良い。
Therefore, when the
しかしながら、チャンネル数48chであり同時測定数が2つのパフォーマンスボード30Bを、256chのテストヘッド20Bに装着する場合には、パフォーマンスボード30B側の1〜24chを、テストヘッド20B側の1〜24chに接続すると共に、パフォーマンスボード30B側の25〜48chを、テストヘッド20B側の129〜152chに接続する必要がある。
However, when the
本実施形態では、図7に示すように、第3の接続ボード130Bのボード本体131から第1の接続ボード110に向かって導出しているケーブル132に第1〜第5のコネクタ133a〜133eが設けられている。
In the present embodiment, as shown in FIG. 7, the first to
第1及び第2のコネクタ133a、133bは、第3の接続ボード130のボード本体131から導出しているケーブル142の端部に設けられている。第1のコネクタ133aには、パフォーマンスボード30A、30B側の1〜24chに電気的に接続されるケーブル142が取り付けられている。これに対し、第2のコネクタ133bには、パフォーマンスボード30A、30B側の25〜48chに電気的に接続されるケーブル142が取り付けられている。
The first and
第3〜第5のコネクタ133c〜133eは、第1の接続ボード110のボード本体110に接続されたケーブル142の端部に設けられている。第3のコネクタ133cには、テストヘッド20B側の1〜24chに電気的に接続されるケーブル142が取り付けられている。また、第4のコネクタ133dには、テストヘッド20B側の25〜48chに電気的に接続されるケーブル142が取り付けられている。さらに、第5のコネクタ133eには、テストヘッド20B側の129〜152chに電気的に接続されるケーブル142が取り付けられている。
The third to
本実施形態に係るアダプタ100Bにより、同時測定数が1つの旧式のパフォーマンスボード30Aを、256chの新式のテストヘッド20Bに装着する場合には、図8に示すように、第1のコネクタ133aを第3のコネクタ133cに接続すると共に、第2のコネクタ133bを第4のコネクタ133dに接続する。これにより、アダプタ100Bを介して、パフォーマンスボード30A側の1〜48chが、テストヘッド20B側の1〜48chが電気的に接続されるので、256chのテストヘッド20Bを用いて同時測定数1のパフォーマンスボード30Aにより被試験ICデバイスの試験を行うことが可能となる。
When the
これに対し、本実施形態に係るアダプタ100Bにより、同時測定数が2つの旧式のパフォーマンスボード30Bを、256chの新式のテストヘッド20Bに装着する場合には、図9に示すように、第1のコネクタ133aを第3のコネクタ133cに接続すると共に、第2のコネクタ133bを第5のコネクタ133eに接続する。これにより、アダプタ100Bを介して、パフォーマンスボード30B側の1〜24chが、テストヘッド20B側の1〜24chに電気的に接続されると共に、パフォーマンスボード30B側の25〜48chが、テストヘッド20B側の129〜152chに電気的に接続されるので、256chのテストヘッド20Bを用いて同時測定数2のパフォーマンスボード30Bにより被試験ICデバイスの試験を行うことが可能となる。
On the other hand, when the
なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。 The embodiment described above is described in order to facilitate understanding of the present invention, and is not described in order to limit the present invention. Therefore, each element disclosed in the above embodiment is intended to include all design changes and equivalents belonging to the technical scope of the present invention.
例えば、上述実施形態では、新式のパフォーマンスボードとは外形が相違する旧式のパフォーマンスボードを新式のテストヘッドに適合させるためのアダプタ(第1実施形態)や、チャンネルの割り当てに対応して変更可能なコネクタ133a〜133eを備えるアダプタ(第2実施形態)を説明したが、本発明においては特にこれに限定されず、旧式のパフォーマンスボードと新式のテストヘッドとの機械的な接続条件や電気的な接続条件(端子の配置位置または端子の配列条件)が異なる場合において、旧式のパフォーマンスボードを新式のテストヘッドに適合させるように変換用アダプタを構成しても良い。
For example, in the above-described embodiment, an adapter (first embodiment) for adapting an old-style performance board having an outer shape different from that of a new-style performance board to a new-style test head, or changeable according to channel assignment can be made. Although the adapter (second embodiment) including the
1A、1B、1’、1”…電子部品試験装置
20A、20B、20’…テストヘッド
21…フロッグリング
30、30’、30A、30B…パフォーマンスボード
32…ソケット
50、50’…押さえリング
100A、100B…アダプタ
110…第1の接続ボード
114…リレー
120…第2の接続ボード
122…ポゴピン
123…ガイドピン
124…押さえレバー
130A、130B…第3の接続ボード
133a、133b…第1、第2のコネクタ
133c〜133e…第3〜第5のコネクタ
140…支持部材
1A, 1B, 1 ', 1 "... Electronic
Claims (9)
前記電子部品試験装置に電気的に接続可能な第1の接続手段と、
前記第2のパフォーマンスボードに電気的に接続可能な第2の接続手段と、
前記第1の接続手段と前記第2の接続手段とを電気的に接続する第3の接続手段と、を備えたアダプタ。 In order to adapt the second performance board instead of the first performance board to an electronic component testing apparatus for testing the electronic device under test by bringing the electronic device under test into electrical contact with the first performance board Adapter,
First connection means electrically connectable to the electronic component testing device;
Second connection means electrically connectable to the second performance board;
An adapter comprising: third connection means for electrically connecting the first connection means and the second connection means.
前記第1の固定手段は、前記第1の接続手段を前記電子部品試験装置に固定する請求項1〜4の何れかに記載のアダプタ。 A first fixing means for mounting the first performance board on the electronic component testing apparatus;
The adapter according to any one of claims 1 to 4, wherein the first fixing means fixes the first connecting means to the electronic component testing apparatus.
前記第2の固定手段は、前記第2のパフォーマンスボードを前記第2の接続手段に固定する請求項1〜5の何れかに記載のアダプタ。 A second fixing means for mounting the second performance board on the electronic component testing device;
The adapter according to any one of claims 1 to 5, wherein the second fixing means fixes the second performance board to the second connection means.
前記第2のパフォーマンスボードと、
請求項1〜8の何れかに記載のアダプタと、を備えた電子部品試験装置。 An electronic component test apparatus for testing the electrical characteristics of the electronic device under test by making electrical contact with the electronic device under test,
The second performance board;
An electronic component testing apparatus comprising: the adapter according to claim 1.
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-
2006
- 2006-04-13 JP JP2006111274A patent/JP2007285775A/en not_active Withdrawn
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