JP2007285775A - Adapter and electronic component testing device provided with the same - Google Patents

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剛裕 井畑
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an adapter, without leaving existing test head but effectively utilizing existing performance board. <P>SOLUTION: The adaptor for adapting the conventional performance board 30' to the test head 20A for testing the IC device, by bringing the IC device into electrical contact with the new performance board, in place of new performance board, comprises a first connection board 110 capable of electrically connecting with the test head 20A, a second connection board 120 capable of electrically connecting with the conventional performance board 30', and a third connection board 130 for electrically connecting the first connection board 110 and the second connection board 120. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体集積回路素子等の各種電子部品(以下、代表的にICデバイスと称する。)をパフォーマンスボードに電気的に接触させてICデバイスをテストするために用いられる電子部品試験装置に、別のパフォーマンスボードを適合させるためのアダプタ及びそれを備えた電子部品試験装置に関する。   The present invention provides an electronic component test apparatus used for testing an IC device by electrically contacting various electronic components such as semiconductor integrated circuit elements (hereinafter, typically referred to as IC devices) with a performance board. The present invention relates to an adapter for adapting another performance board and an electronic component test apparatus including the adapter.

図10Aは旧式のパフォーマンスボード及び旧式のテストヘッドを示す断面図、図10Bは旧式のパフォーマンスボードを示す平面図、図11Aは新式のパフォーマンスボード及び新式のテストヘッドを示す断面図、図11Bは新式のパフォーマンスボードを示す平面図である。   10A is a cross-sectional view showing an old style performance board and an old style test head, FIG. 10B is a plan view showing an old style performance board, FIG. 11A is a cross section showing a new style performance board and a new style test head, and FIG. It is a top view which shows a performance board.

ICデバイス等の電子部品の製造過程においては、パッケージングされた状態でのICデバイスの性能や機能を試験するために電子部品試験装置1’、1”が用いられている。   In the process of manufacturing an electronic component such as an IC device, electronic component testing apparatuses 1 'and 1 "are used to test the performance and function of the IC device in a packaged state.

ICデバイスのテストは、パフォーマンスボード30’、30上に設けられたソケット32のコンタクトピンに、ICデバイスの入出力端子を手動或いはハンドラ等を用いて接触させた状態で、テストヘッド20’、20を介してテスタ10からICデバイスに試験信号を入出力することにより行われる。ICデバイスの外形形状や入出力端子の配置は当該ICデバイスの品種に応じて異なるため、試験対象であるICデバイスが品種交換されると、テストヘッド20’、20に装着されていたパフォーマンスボード30’、30も、品種交換後のICデバイスに適合した他のパフォーマンスボードに交換される。   The test of the IC device is performed in a state where the input / output terminal of the IC device is brought into contact with the contact pin of the socket 32 provided on the performance board 30 ′, 30 manually or using a handler or the like. The tester 10 inputs and outputs test signals to the IC device via Since the external shape of the IC device and the arrangement of the input / output terminals differ depending on the type of the IC device, the performance board 30 mounted on the test heads 20 ′ and 20 when the type of the IC device to be tested is replaced. ', 30 is also replaced with another performance board that is compatible with the IC device after the product replacement.

図10A〜図11Bに示すように、旧式のパフォーマンスボード30’は、新式のパフォーマンスボード30と比較して、ボード本体31の外形形状がひとまわり大きくなっている。また、旧式のパフォーマンスボード30’は、新式のパフォーマンスボードと比較して、テストヘッド20’の上面の端子21aに対向するように、その裏面に設けられた端子形成部33もひとまわり大きくなっている。なお、新式/旧式のパフォーマンスボード30、30’の外形の大小関係は多様である。すなわち、新式のパフォーマンスボード30の方が旧式のパフォーマンスボード30’よりも外形が大きくなっていたり、或いは、旧式のパフォーマンスボード30’の外形と新式のパフォーマンスボード30の外形が同一の場合もある。   As shown in FIGS. 10A to 11B, the old-type performance board 30 ′ has an outer shape of the board body 31 that is slightly larger than the new-type performance board 30. In addition, the old performance board 30 ′ has a larger terminal forming portion 33 provided on the back surface thereof so as to face the terminal 21a on the upper surface of the test head 20 ′ than the new performance board. Yes. It should be noted that the size relationship between the external shapes of the new / old performance boards 30 and 30 'varies. That is, the new performance board 30 may have a larger outer shape than the old performance board 30 ′, or the old performance board 30 ′ may have the same outer shape as the new performance board 30 ′.

また、旧式のテストヘッド20’には、略中央部分に固定孔26が形成されていると共に、ガイドピン23が上方に向かって突出するように形成されており、パフォーマンスボード30’の周縁を押さえるための押さえカバー24がヒンジ25を介して回動可能に設けられている。旧式のパフォーマンスボード30’には、略中央部分にネジ孔36が形成されていると共に、2箇所の角部にガイド孔35が形成されている。そして、ガイドピン23がガイド孔35に挿入されることによりパフォーマンスボード30’がテストヘッド20’に対して位置決めされ、次いで、ネジ孔36を介して固定孔26にボルト40が締結され、押さえカバー24によりパフォーマンスボード30’が押さえられることにより、パフォーマンスボード30’がテストヘッド20’に固定されるようになっている。   In addition, the old test head 20 ′ has a fixing hole 26 formed at a substantially central portion, and a guide pin 23 is formed so as to protrude upward, and presses the periphery of the performance board 30 ′. A pressing cover 24 is provided through a hinge 25 so as to be rotatable. The old performance board 30 ′ has a screw hole 36 at a substantially central portion and guide holes 35 at two corners. Then, the performance pins 30 'are positioned with respect to the test head 20' by inserting the guide pins 23 into the guide holes 35, and then the bolts 40 are fastened to the fixing holes 26 through the screw holes 36, and the press cover When the performance board 30 'is pressed by 24, the performance board 30' is fixed to the test head 20 '.

これに対し、新式のテストヘッド20には、環状に配置された多数の端子21aと、その外周に上方に突出するように設けられた係合爪21bと、を有するフロッグリング21が設けられており、新式のパフォーマンスボード30には、当該係合爪21aが貫通するための貫通孔34が形成されている。そして、パフォーマンスボード30の貫通孔34を貫通した係合爪21aに押さえリング50が取り付けられ、その締め付け力により、パフォーマンスボード30がテストヘッド20に固定されるようになっている。   On the other hand, the new test head 20 is provided with a frog ring 21 having a large number of terminals 21a arranged in an annular shape and engaging claws 21b provided so as to protrude upward on the outer periphery thereof. The new performance board 30 has a through hole 34 through which the engaging claw 21a passes. Then, a holding ring 50 is attached to the engaging claw 21a penetrating the through hole 34 of the performance board 30, and the performance board 30 is fixed to the test head 20 by its tightening force.

また、新式のパフォーマンスボード30は、旧式のパフォーマンスボード30’とチャンネル数が異なる場合がある。通常は、新式のパフォーマンスボード30の方が旧式のパフォーマンスボード30’に比べて多チャンネル化されている。新式のパフォーマンスボード30に接続されているテストヘッド20は、試験パターンを発生したり、電源を供給するが、旧式のテストヘッド20’よりも高性能化されている。   Also, the new style performance board 30 may have a different number of channels than the old style performance board 30 '. Normally, the new performance board 30 has more channels than the old performance board 30 '. The test head 20 connected to the new performance board 30 generates a test pattern and supplies power, but has a higher performance than the old test head 20 '.

以上のように、新旧のパフォーマンスボード30、30’では大きさや端子配列やチャンネル数が異なっており、旧式のパフォーマンスボード30’と新式のテストヘッド20とでは取付方法に互換性がない。そのため、旧式のパフォーマンスボード30’で対応していたICデバイスを試験するために、新式のテストヘッド20に装着可能なパフォーマンスボードを新規に製作したり、旧式のテストヘッド20’やテスタを維持管理したりしておく必要がある。   As described above, the old and new performance boards 30 and 30 ′ are different in size, terminal arrangement, and number of channels, and the old performance board 30 ′ and the new test head 20 are not compatible in the mounting method. Therefore, in order to test IC devices that were supported by the old style performance board 30 ', a new performance board that can be mounted on the new style test head 20 is manufactured, and the old style test head 20' and tester are maintained and managed. It is necessary to do.

新規にパフォーマンスボードを製作するにはコストを要するという問題がある。また、旧式のテストヘッド20’やテスタを残しておくには、そのためのスペースが必要となったり、メンテナンスが負担になるという問題がある。   There is a problem that it takes cost to manufacture a new performance board. In addition, in order to leave the old-style test head 20 'and the tester, there is a problem that a space for the test head 20' and a tester are required and maintenance is a burden.

本発明は、既存のテストヘッドを残さずに既存のパフォーマンスボードを有効に活用するアダプタ及びそれを備えた電子部品試験装置を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide an adapter that effectively utilizes an existing performance board without leaving an existing test head, and an electronic component testing apparatus including the adapter.

上記目的を達成するために、本発明によれば、第1のパフォーマンスボードに被試験電子部品を電気的に接触させて前記被試験電子部品の試験を行う電子部品試験装置に、前記第1のパフォーマンスボードに代えて第2のパフォーマンスボードを適合させるためのアダプタであって、前記電子部品試験装置に電気的に接続可能な第1の接続手段と、前記第2のパフォーマンスボードに電気的に接続可能な第2の接続手段と、前記第1の接続手段と前記第2の接続手段とを電気的に接続する第3の接続手段と、を備えたアダプタが提供される(請求項1参照)。   In order to achieve the above object, according to the present invention, an electronic component test apparatus for testing an electronic device under test by bringing the electronic device under test into electrical contact with a first performance board is provided in the first performance board. An adapter for adapting a second performance board in place of the performance board, the first connection means electrically connectable to the electronic component test apparatus, and the electrical connection to the second performance board An adapter is provided comprising possible second connection means and third connection means for electrically connecting the first connection means and the second connection means (see claim 1). .

本発明では、第1のパフォーマンスボードに適合した電子部品試験装置に第1の接続手段を電気的に接続すると共に、当該電子部品試験装置に適合していない第2のパフォーマンスボードに第2の接続手段を電気的に接続し、さらに、これら第1及び第2の接続手段を第3の接続手段により電気的に接続する。これにより、第2のパフォーマンスボードを電子部品試験装置に適合させることができ、既存のテストヘッドを残さずに既存のパフォーマンスボードを有効に活用することが可能となる。   In the present invention, the first connection means is electrically connected to the electronic component testing apparatus adapted to the first performance board, and the second connection is made to the second performance board not adapted to the electronic component testing apparatus. The means are electrically connected, and the first and second connection means are electrically connected by the third connection means. As a result, the second performance board can be adapted to the electronic component testing apparatus, and the existing performance board can be effectively used without leaving the existing test head.

上記発明においては特に限定されないが、前記第2のパフォーマンスボードは、外形が前記第1のパフォーマンスボードと異なることが好ましい(請求項2参照)。   Although not particularly limited in the above invention, the second performance board preferably has an outer shape different from that of the first performance board (see claim 2).

上記発明においては特に限定されないが、前記第2のパフォーマンスボードは、前記電子部品試験装置に電気的に接続するための端子の配列が前記第1のパフォーマンスボードと異なることが好ましい(請求項3参照)。   Although not particularly limited in the above invention, the second performance board is preferably different from the first performance board in the arrangement of terminals for electrical connection to the electronic component test apparatus (see claim 3). ).

上記発明においては特に限定されないが、前記第2のパフォーマンスボードは、前記電子部品試験装置への固定方法が前記第1のパフォーマンスボードと異なることが好ましい(請求項4参照)。   Although not particularly limited in the above invention, it is preferable that the second performance board is different from the first performance board in a fixing method to the electronic component test apparatus (see claim 4).

上記発明においては特に限定されないが、前記第1のパフォーマンスボードを前記電子部品試験装置に装着するための第1の固定手段を備え、前記第1の固定手段は、前記第1の接続手段を前記電子部品試験装置に固定することが好ましい(請求項5参照)。   Although not particularly limited in the above invention, the first performance board includes first fixing means for mounting the first performance board on the electronic component testing apparatus, and the first fixing means includes the first connection means. It is preferable to fix to an electronic component testing apparatus (refer to claim 5).

上記発明においては特に限定されないが、前記第2のパフォーマンスボードを前記電子部品試験装置に装着するための第2の固定手段を備え、前記第2の固定手段は、前記第2のパフォーマンスボードを前記第2の接続手段に固定することが好ましい(請求項6参照)。   Although not particularly limited in the above invention, the second performance board includes a second fixing means for mounting the second performance board on the electronic component testing apparatus, and the second fixing means includes the second performance board. It is preferable to fix to the 2nd connection means (refer Claim 6).

上記発明においては特に限定されないが、試験時に前記被試験電子部品に与える負荷を切り替えるための切替手段を備えていることが好ましい(請求項7参照)。   Although not particularly limited in the above invention, it is preferable that a switching means for switching a load applied to the electronic device under test during a test is provided (see claim 7).

上記発明においては特に限定されないが、前記第3の接続手段は、前記第2のパフォーマンスボードに設けられたソケットの数に応じて、前記第1の接続手段と前記第2の接続手段との間に電気的な接続を選択するための選択手段を有することが好ましい(請求項8参照)。   Although not particularly limited in the above invention, the third connection means is provided between the first connection means and the second connection means according to the number of sockets provided in the second performance board. It is preferable to have a selection means for selecting an electrical connection.

上記目的を達成するために、本発明によれば、被試験電子部品に電気的に接触して前記被試験電子部品の電気的特性の試験を行うための電子部品試験装置であって、前記第2のパフォーマンスボードと、上記何れかのアダプタと、を備えた電子部品試験装置が提供される(請求項9参照)。   In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided an electronic component testing apparatus for testing electrical characteristics of an electronic device under test by making electrical contact with the electronic device under test. There is provided an electronic component test apparatus including two performance boards and any one of the adapters (see claim 9).

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

<第1実施形態>
図1は本発明の第1実施形態に係るアダプタを示す断面図、図2は本発明の第1実施形態に係るアダプタを示す分解斜視図、図3は図2のIII方向に沿った矢視図(平面図)、図4は図2のIV部の拡大断面図、図5はICデバイスに与える負荷を切り替えるためのリレーを含んだアダプタの回路図、図6は本発明の第1実施形態に係るアダプタに用いられる押さえリングの他の例を示す平面図である。
<First Embodiment>
FIG. 1 is a sectional view showing an adapter according to the first embodiment of the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view showing the adapter according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an arrow view along the III direction of FIG. 4 (plan view), FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of the IV part of FIG. 2, FIG. 5 is a circuit diagram of an adapter including a relay for switching a load applied to the IC device, and FIG. 6 is a first embodiment of the present invention. It is a top view which shows the other example of the pressing ring used for the adapter which concerns on.

本発明の第1実施形態に係る電子部品試験装置1Aは、試験対象であるICデバイスが電気的に接続されるパフォーマンスボード30’と、このパフォーマンスボード30’を新式のテストヘッド20Aに電気的に接続可能なように適合させるアダプタ100Aと、ケーブルを介してテスタ10に電気的に接続されているテストヘッド20Aと、パフォーマンスボード30’、アダプタ100A及びテストヘッド20Aを介してICデバイスに対して試験信号を入出力するテスタ10と、から構成されている。   The electronic component testing apparatus 1A according to the first embodiment of the present invention is configured such that a performance board 30 ′ to which an IC device to be tested is electrically connected and the performance board 30 ′ to a new test head 20A are electrically connected. Test for an IC device through the adapter 100A adapted to be connectable, the test head 20A electrically connected to the tester 10 via a cable, and the performance board 30 ′, the adapter 100A and the test head 20A And a tester 10 for inputting and outputting signals.

本実施形態におけるパフォーマンスボード30’は、多数のコンタクトピンを有する2つのソケット32をその上面の略中央部分に有している。また、このパフォーマンスボード30’の下面には、環状の端子形成部33が形成されている。この端子形成部33は、アダプタ100Aの第2の接続ボード120の上面に環状に設けられた多数のポゴピン122に対向している。さらに、本実施形態におけるパフォーマンスボード30’は、図10A及び図10Bを参照して説明した旧式のパフォーマンスボードであり、略中央部分にネジ孔36が形成されていると共に、2箇所の角部にガイド孔35が形成されている。   The performance board 30 ′ in the present embodiment has two sockets 32 having a large number of contact pins at a substantially central portion on the upper surface thereof. An annular terminal forming portion 33 is formed on the lower surface of the performance board 30 '. The terminal forming portion 33 faces a large number of pogo pins 122 provided in an annular shape on the upper surface of the second connection board 120 of the adapter 100A. Furthermore, the performance board 30 ′ in the present embodiment is an old-style performance board described with reference to FIGS. 10A and 10B, and has a screw hole 36 formed in a substantially central portion and two corners. A guide hole 35 is formed.

これに対し、本実施形態におけるテストヘッド20Aは、図11Aを参照して説明した新式のテストヘッド20Aであり、環状に配置された多数の端子21aと、その外周に上方に突出するように設けられた係合爪21bと、を有するフロッグリング21を上部に有している。特に図示しないが、テストヘッド20Aの内部には、フロッグリング21に電気的に接続された複数のピンエレクトロニクスカードが設けられており、各ピンエレクトロニクスカードはケーブルを介してテスタ10に電気的に接続されている。   On the other hand, the test head 20A in the present embodiment is the new test head 20A described with reference to FIG. 11A, and is provided so as to project a large number of annularly arranged terminals 21a and the outer periphery thereof. And a frog ring 21 having an engaging claw 21b. Although not particularly illustrated, a plurality of pin electronics cards electrically connected to the frog ring 21 are provided inside the test head 20A, and each pin electronics card is electrically connected to the tester 10 via a cable. Has been.

本実施形態に係るアダプタ100Aは、旧式のパフォーマンスボード30’を新式のテストヘッド20Aに適合させるために機械的/電気的な接続条件を変換する変換用のアダプタである。このアダプタ100Aは、図1〜図3に示すように、新式のテストヘッド20Aに電気的に接続可能な第1の接続ボード110と、旧式のパフォーマンスボード30’に電気的に接続可能な第2の接続ボード120と、第1の接続ボード110と第2の接続ボード120とを電気的に接続する第3の接続ボード130Aと、第1〜第3の接続ボード110〜130Aを支持する支持部材140と、から構成されている。   The adapter 100A according to the present embodiment is a conversion adapter that converts mechanical / electrical connection conditions in order to adapt the old performance board 30 'to the new test head 20A. As shown in FIGS. 1 to 3, the adapter 100A includes a first connection board 110 that can be electrically connected to the new test head 20A and a second connection board that can be electrically connected to the old performance board 30 ′. Connection board 120, third connection board 130A for electrically connecting first connection board 110 and second connection board 120, and support members for supporting first to third connection boards 110-130A 140.

第1の接続ボード110は、図2及び図4に示すように、多数の端子から構成される端子形成部112を有するボード本体111を備えている。端子形成部112は、ボード本体121の下面に環状に形成されている。この端子形成部112は、テストヘッド20Aのフロッグリング21に設けられた多数の端子21aに対向している。また、ボード本体111には、フロッグリング21の外周部分に設けられた係合爪21bを挿入可能な貫通孔113が形成されている。図4に示すように、ボード本体121の上面には、第3の接続ボード130Aのケーブル132の端部が半田付けにより接合されている。   As shown in FIG. 2 and FIG. 4, the first connection board 110 includes a board body 111 having a terminal forming portion 112 composed of a large number of terminals. The terminal forming portion 112 is formed in an annular shape on the lower surface of the board main body 121. The terminal forming portion 112 faces a large number of terminals 21a provided on the frog ring 21 of the test head 20A. Further, the board body 111 is formed with a through hole 113 into which an engaging claw 21 b provided on the outer peripheral portion of the frog ring 21 can be inserted. As shown in FIG. 4, the end portion of the cable 132 of the third connection board 130A is joined to the upper surface of the board main body 121 by soldering.

この第1の接続ボード110をテストヘッド20Aに固定する場合には、図2に示すように、ボード本体111に形成された各挿入孔113に、フロッグリング21の係合爪21bをそれぞれ挿入した後に、各係合爪21bを押さえリング50に挿入して係合させる。この締め付け力により、第1の接続ボード110がフロッグリング21に固定されて、第1の接続ボード120の端子形成部112に、フロッグリング21内に設けられた端子21aが電気的に接続される。   When the first connection board 110 is fixed to the test head 20A, the engaging claws 21b of the frog ring 21 are respectively inserted into the insertion holes 113 formed in the board body 111 as shown in FIG. Later, each engaging claw 21b is inserted into the holding ring 50 and engaged. With this tightening force, the first connection board 110 is fixed to the frog ring 21, and the terminal 21 a provided in the frog ring 21 is electrically connected to the terminal forming portion 112 of the first connection board 120. .

さらに、本実施形態における第1の接続ボード110は、図5に示すように、テスタ10からICデバイスに試験信号を入出力するためのドライバ・コンパレータ(D/C)に加えて、当該ICデバイスに与える負荷(Load)をオン/オフするためのリレー114を備えている。   Further, as shown in FIG. 5, the first connection board 110 in the present embodiment includes the IC device in addition to a driver / comparator (D / C) for inputting / outputting a test signal from the tester 10 to the IC device. Is provided with a relay 114 for turning on / off a load applied to the.

一般的に、旧式のテストヘッド20’では、試験対象であるICデバイスに与える負荷を切り替えるためのリレーが当該テストヘッド20’内に設けられている。これに対し、新式のテストヘッド20Aでは、当該テストヘッド20A内にはリレーが設けられておらず、新式のパフォーマンスボード30側にリレーが設けられており、テストヘッド20A側は、そのリレーを切り替えるための信号を発するのみである。   Generally, in the old test head 20 ', a relay for switching a load applied to an IC device to be tested is provided in the test head 20'. On the other hand, in the new test head 20A, no relay is provided in the test head 20A, a relay is provided on the new performance board 30 side, and the test head 20A side switches the relay. It only issues a signal for.

本実施形態では、新式のテストヘッド20Aから発せられる信号により、第1の接続ボード120内に設けられたリレー114を切り替えることにより、被試験ICデバイスに付与する負荷のオン/オフを行うことが可能となっている。   In the present embodiment, the load applied to the IC device under test can be turned on / off by switching the relay 114 provided in the first connection board 120 by a signal emitted from the new test head 20A. It is possible.

第2の接続ボード120は、図3に示すように、多数のポゴピン122を有するボード本体121を備えている。ボード本体121に設けられた多数のポゴピン122は、旧式のパフォーマンスボード30’の下面に形成された端子形成部33に対向するように環状に配置されている。図4に示すように、各ポゴピン122は、その中部122bがボード本体121に埋め込まれている。これに対し、各ポゴピン122の上部122a及び下部122cはボード本体121から突出しており、突出方向に沿って伸縮可能となっている。   As shown in FIG. 3, the second connection board 120 includes a board body 121 having a large number of pogo pins 122. A large number of pogo pins 122 provided on the board body 121 are arranged in an annular shape so as to face the terminal forming portion 33 formed on the lower surface of the old-style performance board 30 ′. As shown in FIG. 4, each pogo pin 122 has a middle portion 122 b embedded in the board body 121. On the other hand, the upper part 122a and the lower part 122c of each pogo pin 122 protrude from the board body 121 and can be expanded and contracted along the protruding direction.

また、第2の接続ボード120のボード本体121の略中央部分には固定孔126が形成されていると共に、旧式のパフォーマンスボード30’の2箇所の角部に形成されたガイド孔35に対向するように、上方に向かって突出しているガイドピン123がボード本体121の2箇所の角部に形成されている。   In addition, a fixing hole 126 is formed at a substantially central portion of the board main body 121 of the second connection board 120, and faces the guide holes 35 formed at two corners of the old-style performance board 30 ′. As described above, the guide pins 123 projecting upward are formed at two corners of the board main body 121.

本実施形態に係るアダプタ100Aは、ハンドラを用いて高温又は低温の熱ストレスを印加した状態下で試験を行う場合もある。そのため、ボード本体121は、例えばガラスエポキシ樹脂等の絶縁性及び耐熱性に優れた材料で構成されている。   The adapter 100 </ b> A according to the present embodiment may be tested under a state in which high temperature or low temperature heat stress is applied using a handler. Therefore, the board main body 121 is made of a material excellent in insulation and heat resistance such as glass epoxy resin.

さらに、第2の接続ボード120には、パフォーマンスボード30’の周縁を押さえるための押さえレバー124がヒンジ125により回動可能に設けられている。なお、パフォーマンスボード30’を第2の接続ボード120に容易且つ確実に固定するために、押さえレバー123の代わりにトグルクランプ等も用いても良い。   Further, a pressing lever 124 for pressing the periphery of the performance board 30 ′ is provided on the second connection board 120 so as to be rotatable by a hinge 125. In order to easily and reliably fix the performance board 30 ′ to the second connection board 120, a toggle clamp or the like may be used instead of the pressing lever 123.

この第2の接続ボード120にパフォーマンスボード30’を装着する場合には、この第2の接続ボード120のガイドピン123をパフォーマンスボード30’のガイド孔35に挿入することにより、第2の接続ボード120に対してパフォーマンスボード30’が位置決めされ、次いで、ネジ孔36を介して固定孔126にボルト40が締結され、押さえレバー124によりパフォーマンスボード30’を押さえることにより、パフォーマンスボード30’が第2の接続ボード120に固定されるようになっている。   When the performance board 30 ′ is mounted on the second connection board 120, the second connection board 120 is inserted by inserting the guide pins 123 of the second connection board 120 into the guide holes 35 of the performance board 30 ′. The performance board 30 ′ is positioned with respect to 120, and then the bolt 40 is fastened to the fixing hole 126 through the screw hole 36, and the performance board 30 ′ is secondly pressed by pressing the performance board 30 ′ with the holding lever 124. The connection board 120 is fixed.

第3の接続ボード130Aは、上下面にそれぞれ端子が形成されたボード本体131と、一端がボード本体131の下面に形成された各端子に接合されたケーブル132と、から構成されている。ケーブル132の他端は、第1の接続ボード120の上面に接合されている。ケーブル132の端部を端子に接合する手法としては、例えば半田付け等を挙げることができる。   The third connection board 130 </ b> A includes a board body 131 having terminals formed on the upper and lower surfaces, and a cable 132 having one end joined to each terminal formed on the lower surface of the board body 131. The other end of the cable 132 is joined to the upper surface of the first connection board 120. As a method for joining the end portion of the cable 132 to the terminal, for example, soldering or the like can be cited.

ボード本体131の上面には、多数の端子131aが環状に設けられている。これら多数の端子131aは、第2の接続ボード120に設けられた多数のポゴピン122に対向している。ボード本体131の下面にも端子が設けられており、この端子は上面の端子131aに導通している。   On the upper surface of the board body 131, a large number of terminals 131a are provided in an annular shape. The large number of terminals 131 a are opposed to the large number of pogo pins 122 provided on the second connection board 120. A terminal is also provided on the lower surface of the board body 131, and this terminal is electrically connected to the terminal 131a on the upper surface.

第3の接続ボード130のボード本体131は、図4に示すように、ボルト133により第2の接続ボード120の下側に固定されている。このボルト133により固定された状態で、各ポゴピン122の下部122cが縮んで適切な押付力で端子131aに電気的に接触している。   The board main body 131 of the third connection board 130 is fixed to the lower side of the second connection board 120 with bolts 133 as shown in FIG. In a state of being fixed by the bolt 133, the lower portion 122c of each pogo pin 122 is contracted and is in electrical contact with the terminal 131a with an appropriate pressing force.

支持部材140は、図1及び図2に示すように、テストヘッド20Aの上面に接触して第2の接続ボード120を支持する脚部141と、その脚部141に固定された環状部142と、環状部142を介して第1の接続ボード110を脚部141に連結している第1の連結部143と、第1の接続ボード110と第2の接続ボード120を連結している第2の連結部144と、から構成されている。環状部142の内孔には第2の接続ボード120から第1の接続ボード110に向かって伸びているケーブル132が通っている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the support member 140 includes a leg portion 141 that contacts the upper surface of the test head 20 </ b> A and supports the second connection board 120, and an annular portion 142 that is fixed to the leg portion 141. The first connecting part 143 connecting the first connecting board 110 to the leg part 141 via the annular part 142, and the second connecting the first connecting board 110 and the second connecting board 120. , And a connecting portion 144. A cable 132 extending from the second connection board 120 toward the first connection board 110 passes through the inner hole of the annular portion 142.

本実施形態では、図2に示すように、ケーブル132及び第2の連結部144が押さえリング50の内側に位置するように、支持部材140に押さえリング50が予め組み込まれているが、本発明においては特にこれに限定されず、例えば図6に示すように、押さえリング50’を2つに分割し、それらの間をヒンジ51により開閉可能としても良い。これにより、第1の接続ボード110をフロッグリング21に固定する直前に、押さえリング50’を支持部材140に組み込むことが可能となる。   In this embodiment, as shown in FIG. 2, the holding ring 50 is incorporated in the support member 140 in advance so that the cable 132 and the second connecting portion 144 are positioned inside the holding ring 50. However, the present invention is not particularly limited thereto, and for example, as shown in FIG. 6, the pressing ring 50 ′ may be divided into two parts and the hinge 51 may be able to open and close between them. This makes it possible to incorporate the holding ring 50 ′ into the support member 140 immediately before fixing the first connection board 110 to the frog ring 21.

以上のような構成のアダプタ100Aを用いて、新式のテストヘッド20Aに旧式のパフォーマンスボード30’を装着する場合には、先ず、第1の接続ボード110の挿入孔113にフロッグリング21の係合爪21bを挿入し、次いで各係合爪21bを押さえリング50に挿入して係合させる。この締め付け力により、第1の接続ボード110がフロッグリング21に固定されて、第1の接続ボード110の端子形成部112にフロッグリング21の端子21aが電気的に接続する。   When the old performance board 30 ′ is mounted on the new test head 20A using the adapter 100A configured as described above, first, the frog ring 21 is engaged with the insertion hole 113 of the first connection board 110. The claw 21b is inserted, and then each engaging claw 21b is inserted into the holding ring 50 and engaged. With this tightening force, the first connection board 110 is fixed to the frog ring 21, and the terminal 21 a of the frog ring 21 is electrically connected to the terminal forming portion 112 of the first connection board 110.

次に、第2の接続ボード120の上面にパフォーマンスボード30’を載置し、ガイドピン123をガイド孔35に挿入してパフォーマンスボード30’を第2の接続ボード120に対して位置決めする。次いで、ネジ孔32を介して固定孔126にボルト40を螺合させると共に、押さえレバー124によりパフォーマンスボード30’を押さえることにより、パフォーマンスボード30’が接続ボード120に固定される。この固定により、第2の接続ボード120の各ポゴピン122が、パフォーマンスボード30’の下面の端子形成部33に電気的に接続する。   Next, the performance board 30 ′ is placed on the upper surface of the second connection board 120, and the guide pins 123 are inserted into the guide holes 35 to position the performance board 30 ′ with respect to the second connection board 120. Next, the bolt 40 is screwed into the fixing hole 126 through the screw hole 32 and the performance board 30 ′ is pressed by the pressing lever 124, whereby the performance board 30 ′ is fixed to the connection board 120. By this fixing, each pogo pin 122 of the second connection board 120 is electrically connected to the terminal forming portion 33 on the lower surface of the performance board 30 '.

第1の接続ボード110と第2の接続ボード120は第3の接続ボード130により電気的に接続されているので、以上のようにパフォーマンスボード30’と第1の接続ボード110が電気的に接続されると共に第2の接続ボード120とテストヘッド20Aとが電気的に接続されることにより、旧式のパフォーマンスボード30’が新式のテストヘッド20Aに電気的に接続される。   Since the first connection board 110 and the second connection board 120 are electrically connected by the third connection board 130, the performance board 30 ′ and the first connection board 110 are electrically connected as described above. At the same time, the second connection board 120 and the test head 20A are electrically connected to each other, whereby the old performance board 30 ′ is electrically connected to the new test head 20A.

ICデバイスの電気的特性の試験の際、手動或いはハンドラにより被試験ICデバイスがパフォーマンスボード30’のソケット32に押し付けられて、ICデバイスの入出力端子とソケット32のコンタクトピンとが電気的に接触すると、テスタ10からの試験信号が、テストヘッド20A、アダプタ100A及びパフォーマンスボード30’を介して、被試験ICデバイスに入出力される。   When testing the electrical characteristics of the IC device, when the IC device under test is pressed against the socket 32 of the performance board 30 ′ manually or by a handler, the input / output terminals of the IC device and the contact pins of the socket 32 are in electrical contact. The test signal from the tester 10 is input to and output from the IC device under test via the test head 20A, the adapter 100A, and the performance board 30 ′.

<第2実施形態>
図7は本発明の第2実施形態に係るアダプタを示す分解断面図、図8は本発明の第2実施形態に係るアダプタを同時測定数1のパフォーマンスボードに使用する場合を示す分解断面図、図9は本発明の第2実施形態に係るアダプタを同時測定数2のパフォーマンスボードに使用する場合を示す分解断面図である。
Second Embodiment
FIG. 7 is an exploded cross-sectional view showing an adapter according to the second embodiment of the present invention, FIG. 8 is an exploded cross-sectional view showing a case where the adapter according to the second embodiment of the present invention is used for a performance board having 1 simultaneous measurement, FIG. 9 is an exploded cross-sectional view showing a case where the adapter according to the second embodiment of the present invention is used for a performance board having two simultaneous measurements.

本発明の第2実施形態に係るアダプタ100Bは、第3の接続ボード130Bの構造が異なること以外は、第1実施形態に係るアダプタ100Aと同一の構成を有している。以下に、第2実施形態に係るアダプタ100Bに関して、第1実施形態に係るアダプタ100Aとの相違点のみについて説明する。   The adapter 100B according to the second embodiment of the present invention has the same configuration as the adapter 100A according to the first embodiment, except that the structure of the third connection board 130B is different. Only the differences between the adapter 100B according to the second embodiment and the adapter 100A according to the first embodiment will be described below.

第1実施形態では、旧式のパフォーマンスボード30’と新式のテストヘッド20Aのチャンネル数(例えば48ch)及び同時測定数(同時に試験を実行するICデバイスの数。例えば同時測定数2つ)が一致している場合について説明したが、これらが一致しない場合もある。本実施形態では、チャンネル数が256chのテストヘッド20Bにより、同時測定数が互いに異なる48chのパフォーマンスボード30A、30Bに対応可能なアダプタ100Bについて説明する。   In the first embodiment, the number of channels (for example, 48ch) and the number of simultaneous measurements (the number of IC devices that simultaneously execute tests, for example, two simultaneous measurements) of the old-style performance board 30 ′ and the new-type test head 20A match. However, there are cases where these do not match. In the present embodiment, an adapter 100B that is compatible with 48ch performance boards 30A and 30B having different simultaneous measurement numbers by using a test head 20B with 256 channels will be described.

通常、チャンネル数が48chのテストヘッドで、同時測定数を1つ確保する場合には、一つの被試験ICデバイスに対して1〜48ch(すなわち全てのチャンネル)が割り当てられる。   Normally, when a test head with 48 channels and a single simultaneous measurement number are secured, 1 to 48 channels (that is, all channels) are assigned to one IC device under test.

また、チャンネル数が48chのテストヘッドで同時測定数を2つ確保する場合には、一つ目の被試験ICデバイスに対して1〜24chが割り当てられ、二つ目の被試験ICデバイスに対して25〜48chが割り当てられる。   Also, when two simultaneous measurements are secured with a test head having 48 channels, 1 to 24 channels are assigned to the first IC device to be tested, and the second IC device to be tested. 25 to 48 channels are assigned.

これに対し、チャンネル数が256chのテストヘッドで、同時測定数を1つ確保する場合には、一つの被試験ICデバイスに対して1〜256chが割り当てられるが、同時測定数を2つ確保する場合には、一つ目の被試験ICデバイスに1〜128chが割り当てられ、二つ目の被試験ICデバイスに129〜256chが割り当てられる。   In contrast, when a test head with 256 channels is used to secure one simultaneous measurement, 1 to 256 channels are allocated to one IC device under test, but two simultaneous measurements are ensured. In this case, 1 to 128 ch are assigned to the first IC device under test, and 129 to 256 ch are assigned to the second IC device under test.

従って、チャンネル数48chであり同時測定数が1つのパフォーマンスボード30Aを、256chのテストヘッド20Bに装着する場合には、パフォーマンスボード30A側の1〜48chを、テストヘッド20Bの1〜48chに接続すれば良い。   Therefore, when the performance board 30A with 48 channels and one simultaneous measurement number is mounted on the test head 20B having 256 channels, the 1 to 48 channels on the performance board 30A side are connected to the 1 to 48 channels of the test head 20B. It ’s fine.

しかしながら、チャンネル数48chであり同時測定数が2つのパフォーマンスボード30Bを、256chのテストヘッド20Bに装着する場合には、パフォーマンスボード30B側の1〜24chを、テストヘッド20B側の1〜24chに接続すると共に、パフォーマンスボード30B側の25〜48chを、テストヘッド20B側の129〜152chに接続する必要がある。   However, when the performance board 30B with 48 channels and two simultaneous measurements is mounted on the 256ch test head 20B, the 1-24ch on the performance board 30B side is connected to the 1-24ch on the test head 20B side. In addition, it is necessary to connect the channels 25 to 48 on the performance board 30B side to the channels 129 to 152 on the test head 20B side.

本実施形態では、図7に示すように、第3の接続ボード130Bのボード本体131から第1の接続ボード110に向かって導出しているケーブル132に第1〜第5のコネクタ133a〜133eが設けられている。   In the present embodiment, as shown in FIG. 7, the first to fifth connectors 133a to 133e are connected to the cable 132 led out from the board body 131 of the third connection board 130B toward the first connection board 110. Is provided.

第1及び第2のコネクタ133a、133bは、第3の接続ボード130のボード本体131から導出しているケーブル142の端部に設けられている。第1のコネクタ133aには、パフォーマンスボード30A、30B側の1〜24chに電気的に接続されるケーブル142が取り付けられている。これに対し、第2のコネクタ133bには、パフォーマンスボード30A、30B側の25〜48chに電気的に接続されるケーブル142が取り付けられている。   The first and second connectors 133a and 133b are provided at the ends of the cable 142 led out from the board body 131 of the third connection board 130. A cable 142 that is electrically connected to 1 to 24ch on the performance board 30A, 30B side is attached to the first connector 133a. On the other hand, a cable 142 that is electrically connected to 25-48ch on the performance board 30A, 30B side is attached to the second connector 133b.

第3〜第5のコネクタ133c〜133eは、第1の接続ボード110のボード本体110に接続されたケーブル142の端部に設けられている。第3のコネクタ133cには、テストヘッド20B側の1〜24chに電気的に接続されるケーブル142が取り付けられている。また、第4のコネクタ133dには、テストヘッド20B側の25〜48chに電気的に接続されるケーブル142が取り付けられている。さらに、第5のコネクタ133eには、テストヘッド20B側の129〜152chに電気的に接続されるケーブル142が取り付けられている。   The third to fifth connectors 133c to 133e are provided at the ends of the cable 142 connected to the board body 110 of the first connection board 110. A cable 142 that is electrically connected to 1 to 24 ch on the test head 20B side is attached to the third connector 133c. Further, a cable 142 that is electrically connected to 25 to 48 ch on the test head 20B side is attached to the fourth connector 133d. Further, a cable 142 that is electrically connected to the 129 to 152ch on the test head 20B side is attached to the fifth connector 133e.

本実施形態に係るアダプタ100Bにより、同時測定数が1つの旧式のパフォーマンスボード30Aを、256chの新式のテストヘッド20Bに装着する場合には、図8に示すように、第1のコネクタ133aを第3のコネクタ133cに接続すると共に、第2のコネクタ133bを第4のコネクタ133dに接続する。これにより、アダプタ100Bを介して、パフォーマンスボード30A側の1〜48chが、テストヘッド20B側の1〜48chが電気的に接続されるので、256chのテストヘッド20Bを用いて同時測定数1のパフォーマンスボード30Aにより被試験ICデバイスの試験を行うことが可能となる。   When the old performance board 30A with one simultaneous measurement is mounted on the new test head 20B with 256 channels by the adapter 100B according to the present embodiment, the first connector 133a is connected to the first connector 133a as shown in FIG. 3 connector 133c and the second connector 133b is connected to the fourth connector 133d. As a result, 1 to 48 ch on the performance board 30A side and 1 to 48 ch on the test head 20B side are electrically connected via the adapter 100B, so the performance of simultaneous measurement 1 using the test head 20B of 256 ch. The board 30A can be used to test the IC device under test.

これに対し、本実施形態に係るアダプタ100Bにより、同時測定数が2つの旧式のパフォーマンスボード30Bを、256chの新式のテストヘッド20Bに装着する場合には、図9に示すように、第1のコネクタ133aを第3のコネクタ133cに接続すると共に、第2のコネクタ133bを第5のコネクタ133eに接続する。これにより、アダプタ100Bを介して、パフォーマンスボード30B側の1〜24chが、テストヘッド20B側の1〜24chに電気的に接続されると共に、パフォーマンスボード30B側の25〜48chが、テストヘッド20B側の129〜152chに電気的に接続されるので、256chのテストヘッド20Bを用いて同時測定数2のパフォーマンスボード30Bにより被試験ICデバイスの試験を行うことが可能となる。   On the other hand, when the old performance board 30B having two simultaneous measurements is mounted on the 256ch new test head 20B by the adapter 100B according to the present embodiment, as shown in FIG. The connector 133a is connected to the third connector 133c, and the second connector 133b is connected to the fifth connector 133e. Thus, the performance board 30B side 1 to 24ch is electrically connected to the test head 20B side 1 to 24ch via the adapter 100B, and the performance board 30B side 25 to 48ch is connected to the test head 20B side. Therefore, the IC device under test can be tested by the performance board 30B having two simultaneous measurements using the test head 20B having 256 channels.

なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。   The embodiment described above is described in order to facilitate understanding of the present invention, and is not described in order to limit the present invention. Therefore, each element disclosed in the above embodiment is intended to include all design changes and equivalents belonging to the technical scope of the present invention.

例えば、上述実施形態では、新式のパフォーマンスボードとは外形が相違する旧式のパフォーマンスボードを新式のテストヘッドに適合させるためのアダプタ(第1実施形態)や、チャンネルの割り当てに対応して変更可能なコネクタ133a〜133eを備えるアダプタ(第2実施形態)を説明したが、本発明においては特にこれに限定されず、旧式のパフォーマンスボードと新式のテストヘッドとの機械的な接続条件や電気的な接続条件(端子の配置位置または端子の配列条件)が異なる場合において、旧式のパフォーマンスボードを新式のテストヘッドに適合させるように変換用アダプタを構成しても良い。   For example, in the above-described embodiment, an adapter (first embodiment) for adapting an old-style performance board having an outer shape different from that of a new-style performance board to a new-style test head, or changeable according to channel assignment can be made. Although the adapter (second embodiment) including the connectors 133a to 133e has been described, the present invention is not particularly limited to this, and mechanical connection conditions and electrical connection between the old performance board and the new test head are not limited thereto. If the conditions (terminal arrangement position or terminal arrangement condition) are different, the conversion adapter may be configured so that the old performance board is adapted to the new test head.

図1は、本発明の第1実施形態に係るアダプタを示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing an adapter according to the first embodiment of the present invention. 図2は、本発明の第1実施形態に係るアダプタを示す分解断面図である。FIG. 2 is an exploded cross-sectional view showing the adapter according to the first embodiment of the present invention. 図3は、図2のIII方向に沿った矢視図(平面図)である。FIG. 3 is an arrow view (plan view) along the direction III in FIG. 図4は、図2のIV部の拡大断面図である。FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of a portion IV in FIG. 図5は、ICデバイスに与える負荷を切り替えるためのリレーを含んだアダプタの回路図である。FIG. 5 is a circuit diagram of an adapter including a relay for switching a load applied to the IC device. 図6は、本発明の第1実施形態に係るアダプタに用いられる押さえリングの他の例を示す平面図である。FIG. 6 is a plan view showing another example of a pressing ring used in the adapter according to the first embodiment of the present invention. 図7は、本発明の第2実施形態に係るアダプタを示す分解断面図である。FIG. 7 is an exploded cross-sectional view showing an adapter according to the second embodiment of the present invention. 図8は、本発明の第2実施形態に係るアダプタを同時測定数1のパフォーマンスボードに使用する場合を示す分解断面図である。FIG. 8 is an exploded cross-sectional view showing a case where the adapter according to the second embodiment of the present invention is used for a performance board having 1 simultaneous measurement. 図9は、本発明の第2実施形態に係るアダプタを同時測定数2のパフォーマンスボードに使用する場合を示す分解断面図である。FIG. 9 is an exploded sectional view showing a case where the adapter according to the second embodiment of the present invention is used for a performance board having two simultaneous measurements. 図10Aは、旧式のパフォーマンスボード及び旧式のテストヘッドを示す分解断面図である。FIG. 10A is an exploded sectional view showing an old style performance board and an old style test head. 図10Bは、旧式のパフォーマンスボードを示す平面図である。FIG. 10B is a plan view showing an old-style performance board. 図11Aは、新式のパフォーマンスボード及び新式のテストヘッドを示す分解断面図である。FIG. 11A is an exploded sectional view showing a new performance board and a new test head. 図11Bは、新式のパフォーマンスボードを示す平面図である。FIG. 11B is a plan view showing a new type performance board.

符号の説明Explanation of symbols

1A、1B、1’、1”…電子部品試験装置
20A、20B、20’…テストヘッド
21…フロッグリング
30、30’、30A、30B…パフォーマンスボード
32…ソケット
50、50’…押さえリング
100A、100B…アダプタ
110…第1の接続ボード
114…リレー
120…第2の接続ボード
122…ポゴピン
123…ガイドピン
124…押さえレバー
130A、130B…第3の接続ボード
133a、133b…第1、第2のコネクタ
133c〜133e…第3〜第5のコネクタ
140…支持部材
1A, 1B, 1 ', 1 "... Electronic component test apparatus 20A, 20B, 20' ... Test head 21 ... Frog ring 30, 30 ', 30A, 30B ... Performance board 32 ... Socket 50, 50' ... Presser ring 100A, DESCRIPTION OF SYMBOLS 100B ... Adapter 110 ... 1st connection board 114 ... Relay 120 ... 2nd connection board 122 ... Pogo pin 123 ... Guide pin 124 ... Holding lever 130A, 130B ... 3rd connection board 133a, 133b ... 1st, 2nd Connectors 133c-133e ... 3rd-5th connector 140 ... Support member

Claims (9)

第1のパフォーマンスボードに被試験電子部品を電気的に接触させて前記被試験電子部品の試験を行う電子部品試験装置に、前記第1のパフォーマンスボードに代えて第2のパフォーマンスボードを適合させるためのアダプタであって、
前記電子部品試験装置に電気的に接続可能な第1の接続手段と、
前記第2のパフォーマンスボードに電気的に接続可能な第2の接続手段と、
前記第1の接続手段と前記第2の接続手段とを電気的に接続する第3の接続手段と、を備えたアダプタ。
In order to adapt the second performance board instead of the first performance board to an electronic component testing apparatus for testing the electronic device under test by bringing the electronic device under test into electrical contact with the first performance board Adapter,
First connection means electrically connectable to the electronic component testing device;
Second connection means electrically connectable to the second performance board;
An adapter comprising: third connection means for electrically connecting the first connection means and the second connection means.
前記第2のパフォーマンスボードは、外形が前記第1のパフォーマンスボードと異なる請求項1記載のアダプタ。   The adapter according to claim 1, wherein the second performance board has an outer shape different from that of the first performance board. 前記第2のパフォーマンスボードは、前記電子部品試験装置に電気的に接続するための端子の配列が前記第1のパフォーマンスボードと異なる請求項1記載のアダプタ。   2. The adapter according to claim 1, wherein the second performance board is different from the first performance board in an arrangement of terminals for electrically connecting to the electronic component test apparatus. 前記第2のパフォーマンスボードは、前記電子部品試験装置への固定方法が前記第1のパフォーマンスボードと異なる請求項1記載のアダプタ。   The adapter according to claim 1, wherein the second performance board is different from the first performance board in a fixing method to the electronic component test apparatus. 前記第1のパフォーマンスボードを前記電子部品試験装置に装着するための第1の固定手段を備え、
前記第1の固定手段は、前記第1の接続手段を前記電子部品試験装置に固定する請求項1〜4の何れかに記載のアダプタ。
A first fixing means for mounting the first performance board on the electronic component testing apparatus;
The adapter according to any one of claims 1 to 4, wherein the first fixing means fixes the first connecting means to the electronic component testing apparatus.
前記第2のパフォーマンスボードを前記電子部品試験装置に装着するための第2の固定手段を備え、
前記第2の固定手段は、前記第2のパフォーマンスボードを前記第2の接続手段に固定する請求項1〜5の何れかに記載のアダプタ。
A second fixing means for mounting the second performance board on the electronic component testing device;
The adapter according to any one of claims 1 to 5, wherein the second fixing means fixes the second performance board to the second connection means.
試験時に前記被試験電子部品に与える負荷を切り替えるための切替手段を備えている請求項1〜6の何れかに記載のアダプタ。   The adapter according to claim 1, further comprising switching means for switching a load applied to the electronic device under test during a test. 前記第3の接続手段は、前記第2のパフォーマンスボードに設けられたソケットの数に応じて、前記第1の接続手段と前記第2の接続手段との間に電気的な接続を選択するための選択手段を有する請求項1〜7の何れかに記載のアダプタ。   The third connection means selects an electrical connection between the first connection means and the second connection means in accordance with the number of sockets provided on the second performance board. The adapter according to any one of claims 1 to 7, further comprising: 被試験電子部品に電気的に接触して前記被試験電子部品の電気的特性の試験を行うための電子部品試験装置であって、
前記第2のパフォーマンスボードと、
請求項1〜8の何れかに記載のアダプタと、を備えた電子部品試験装置。
An electronic component test apparatus for testing the electrical characteristics of the electronic device under test by making electrical contact with the electronic device under test,
The second performance board;
An electronic component testing apparatus comprising: the adapter according to claim 1.
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