JP2007283513A - 微細金型コア部材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】連通する通気孔を有する相対密度が20〜80%であり、孔径が5〜1000nmである多孔質体と、該多孔質体表面に緻密材を有し、該緻密材に所望の形状が付与されており、且つ、該形状の表面の一部が該多孔質体を含むことを特徴とする、微細形状を有する成形品を作製するための樹脂成形用金型入れ子部材、成形品の成形方法及びその成形品。
【効果】従来技術の問題点である成形中のガス(残存空気等)の巻き込み、離型時の成形品の形状変化、剥離等を解消して、より短時間で正確に転写でき、離型が容易で成形品の形状が保持できる、微細構造物作製用金型入れ子部材を提供できる。
【選択図】図1
Description
(1)サブミクロン・ミクロンオーダーの微細形状を有する成形品を作製するための樹脂成形用金型入れ子部材であって、連通孔を有する多孔質体と、該多孔質体上面に緻密材を有し、所望のキャビティ形状が該緻密材と該多孔質体により構成されていることを特徴とする樹脂成形用金型入れ子部材。
(2)前記多孔質体が、相対密度が20〜80%であり、キャビティに面して配置されている多孔質体の孔径が、5〜1000nmである、前記(1)記載の樹脂成形用金型入れ子部材。
(3)孔径が、多孔質体により形成されるキャビティ形状の最小寸法に対して、1/3以下である、前記(2)記載の樹脂成形用金型入れ子部材。
(4)前記多孔質体が、多層であって、各層の孔径は、キャビティ面に近い層の孔径の2〜10倍である、前記(2)記載の樹脂成形用金型入れ子部材。
(5)多孔質体が、導電性の基板上、又は導電面が形成された基板から樹脂製多孔質体を介して、めっき法により形成されている、前記(1)記載の樹脂成形用金型入れ子部材。
(6)緻密材が、多孔質体上部に形成され、更に、緻密材がキャビティ形状に加工され、且つ、多孔質体が、キャビティ形成面の一部を構成するように加工されている、前記(1)記載の樹脂成形用金型入れ子部材。
(7)多孔質体が、導電性の緻密材、又は導電面が形成された緻密材から樹脂製多孔質体を介して、めっき法により形成されている、前記(1)記載の樹脂成形用金型入れ子部材。
(8)前記樹脂製多孔質体の材質が、セルロース混合エステル、セルロースアセテート、PTFE、ポリエステル、又はPMMAである、前記(7)記載の樹脂成形用金型入れ子部材。
(9)多孔質体が、多相合金から選択腐食法により形成されている、前記(1)記載の樹脂成形用金型入れ子部材。
(10)前記(1)から(9)のいずれかに記載の樹脂成形用金型入れ子部材を用いてサブミクロン・ミクロンオーダーの微細形状を有する成形品を成形する方法であって、成形品離型時に、多孔質体を介して成形品に向けて、大気開放、又は加圧することを特徴とする樹脂成形用金型入れ子部材を用いた成形品の成形方法。
(11)前記(10)記載の成形方法を用いて成形された成形品であって、成形される成形品のアスペクト比が、0.5〜50であることを特徴とする成形品。
(12)サブミクロン・ミクロンオーダーの微細形状を有する成形品を作製するための樹脂成形用金型入れ子部材の製造方法であって、連通孔を有する多孔質体上に緻密材を形成し、更に、緻密材をキャビティ形状に加工し、多孔質体がキャビティ形成面の一部を構成するように加工することを特徴とする樹脂成形用金型入れ子部材の製造方法。
本発明は、サブミクロン・ミクロンオーダーの微細形状を有する成形品を作製するための樹脂成形用金型入れ子部材であって、連通孔を有する多孔質体と、該多孔質体上面に緻密材を有し、所望のキャビティ形状が該緻密材と該多孔質体により構成されていることを特徴とするものである。本発明では、前記多孔質体が、相対密度が20〜80%であり、キャビティに面して配置されている多孔質体の孔径が、5〜1000nmであること、孔径が、多孔質体により形成されるキャビティ形状の最小寸法に対して、1/3以下であること、前記多孔質体が、多層である場合、各層の孔径は、キャビティ面に近い層の孔径の2〜10倍であること、を好ましい実施の態様としている。
(1)サブミクロン・ミクロンオーダーの形状を有する成形品を高精度に作製することが可能な樹脂成形用金型入れ子部材を提供できる。
(2)この金型入れ子部材を利用することにより、より正確に転写できる、前記効果がより短時間で実現できる、離型時の成形品の形状の保持、破損の防止が実現できる、等の利点が得られる。
(3)微細形状を有する成形品を作製するための新しい樹脂成形用金型入れ子部材を構築し、提供することができる。
(4)より短時間で、より正確な成形品を得ることができることから、より低コストで高付加価値を有する製品を提供することが可能である。
12 緻密体
13 キャビティ
Claims (12)
- サブミクロン・ミクロンオーダーの微細形状を有する成形品を作製するための樹脂成形用金型入れ子部材であって、連通孔を有する多孔質体と、該多孔質体上面に緻密材を有し、所望のキャビティ形状が該緻密材と該多孔質体により構成されていることを特徴とする樹脂成形用金型入れ子部材。
- 前記多孔質体が、相対密度が20〜80%であり、キャビティに面して配置されている多孔質体の孔径が、5〜1000nmである、請求項1記載の樹脂成形用金型入れ子部材。
- 孔径が、多孔質体により形成されるキャビティ形状の最小寸法に対して、1/3以下である、請求項2記載の樹脂成形用金型入れ子部材。
- 前記多孔質体が、多層であって、各層の孔径は、キャビティ面に近い層の孔径の2〜10倍である、請求項2記載の樹脂成形用金型入れ子部材。
- 多孔質体が、導電性の基板上、又は導電面が形成された基板から樹脂製多孔質体を介して、めっき法により形成されている、請求項1記載の樹脂成形用金型入れ子部材。
- 緻密材が、多孔質体上部に形成され、更に、緻密材がキャビティ形状に加工され、且つ、多孔質体が、キャビティ形成面の一部を構成するように加工されている、請求項1記載の樹脂成形用金型入れ子部材。
- 多孔質体が、導電性の緻密材、又は導電面が形成された緻密材から樹脂製多孔質体を介して、めっき法により形成されている、請求項1記載の樹脂成形用金型入れ子部材。
- 前記樹脂製多孔質体の材質が、セルロース混合エステル、セルロースアセテート、PTFE、ポリエステル、又はPMMAである、請求項7記載の樹脂成形用金型入れ子部材。
- 多孔質体が、多相合金から選択腐食法により形成されている、請求項1記載の樹脂成形用金型入れ子部材。
- 請求項1から9のいずれかに記載の樹脂成形用金型入れ子部材を用いてサブミクロン・ミクロンオーダーの微細形状を有する成形品を成形する方法であって、成形品離型時に、多孔質体を介して成形品に向けて、大気開放、又は加圧することを特徴とする樹脂成形用金型入れ子部材を用いた成形品の成形方法。
- 請求項10記載の成形方法を用いて成形された成形品であって、成形される成形品のアスペクト比が、0.5〜50であることを特徴とする成形品。
- サブミクロン・ミクロンオーダーの微細形状を有する成形品を作製するための樹脂成形用金型入れ子部材の製造方法であって、連通孔を有する多孔質体上に緻密材を形成し、更に、緻密材をキャビティ形状に加工し、多孔質体がキャビティ形成面の一部を構成するように加工することを特徴とする樹脂成形用金型入れ子部材の製造方法。
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