JP2007281084A - 回路パターン検査装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回路パターン検査装置では、同一の回路パターンを有する複数のチップ領域(ダイ)を有する半導体ウエハを検査するとき、チップ領域毎の検出用画像をモニタに表示し、チップ領域毎の検出用画像から、回路パターンの欠陥を検査する。また、チップ領域毎の検出用画像から所定の画像領域を切り出し、切り出した画像を用いて自動焦点補正を行う。
【選択図】図5
Description
Claims (20)
- 同一の回路パターンを有する複数の領域を有する検査対象の試料に荷電粒子線を照射する荷電粒子線照射部と、上記試料から発生する二次信号を検出する二次信号検出部と、該二次信号検出部によって生成された上記領域毎の検査用画像を用いて上記回路パターンの欠陥を検出する欠陥検出部と、上記領域毎の検出用画像をリアルタイムにて表示するモニタと、を有することを特徴とする回路パターン検査装置。
- 請求項1の回路パターン検査装置において、上記モニタは、上記欠陥検出部によって欠陥が検出された検査結果画像と上記検査用画像を同時に表示することを特徴とする回路パターン検査装置。
- 請求項1の回路パターン検査装置において、上記モニタは、時系列的に生成された複数の上記検査用画像を並べて同時に表示することを特徴とする回路パターン検査装置。
- 請求項1の回路パターン検査装置において、上記検査用画像を用いて、焦点深さの変動を検出することを特徴とする回路パターン検査装置。
- 請求項1の回路パターン検査装置において、上記検査用画像を用いて、画像のS/N及びコントラストを検出することを特徴とする回路パターン検査装置。
- 請求項1の回路パターン検査装置において、焦点ずれを自動的に補正する自動焦点補正部を設け、該自動焦点補正部は、上記二次信号検出部によってリアルタイムにて生成される上記領域毎の検出用画像を用いて自動焦点補正を行うことを特徴とする回路パターン検査装置。
- 請求項6の回路パターン検査装置において、上記自動焦点補正部は、上記領域毎の検査用画像より同一の画像領域を切り取って得られた切り取り画像から焦点ずれの大きさを算出し、該焦点ずれの大きさに基づいて、焦点深さを制御する電流を補正することを特徴とする回路パターン検査装置。
- 請求項7の回路パターン検査装置において、上記自動焦点補正部は、上記焦点ずれが閾値を超えた場合に、警告を発生し上記モニタに警告発生前後の焦点ずれの変動状態を表示することを特徴とする回路パターン検査装置。
- 荷電粒子線を発生させる荷電粒子線源と、該荷電粒子線を収束させる収束レンズと、上記荷電粒子線を偏向走査させる偏向走査器と、上記荷電粒子線を同一の回路パターンを有する複数のチップ領域を有する半導体ウエハ上に収束させる対物レンズと、上記半導体ウエハから発生する二次信号を検出する二次信号検出部と、上記二次信号検出部によって生成された上記チップ領域毎の検査用画像より上記回路パターンの欠陥を検出する欠陥検出部と、上記チップ領域毎の検査用画像を表示するモニタと、上記二次信号検出部からの上記チップ領域毎の検査用画像を用いて自動焦点補正を行う自動焦点補正部と、を有する回路パターン検査装置。
- 請求項9の回路パターン検査装置において、上記自動焦点補正部は、上記チップ領域毎の検査用画像から同一の画像領域を切り取って得られた切り取り画像を用いて自動焦点補正を行うことを特徴とする回路パターン検査装置。
- 請求項10の回路パターン検査装置において、上記自動焦点補正部は、上記切り取り画像より焦点ずれの大きさを算出し、該焦点ずれの大きさに基づいて、焦点深さを制御する電流を補正することを特徴とする回路パターン検査装置。
- 請求項11の回路パターン検査装置において、上記自動焦点補正部は、上記焦点ずれの大きさとして、上記切り取り画像の焦点評価値を算出することを特徴とする回路パターン検査装置。
- 請求項12の回路パターン検査装置において、上記自動焦点補正装置は、上記切り取り画像をフィルタ処理し、該フィルタ処理後の画像からエッジ強調画像を生成し、該エッジ強調画像の分散値を求め、該分散値を上記焦点評価値とすることを特徴とする回路パターン検査装置。
- 請求項9の回路パターン検査装置において、上記自動焦点補正部は、上記焦点ずれが閾値を超えた場合に、警告を発生し上記モニタに警告発生前後の焦点ずれの変動状態を表示することを特徴とする回路パターン検査装置。
- 同一の回路パターンを有する複数のチップ領域を有する半導体ウエハを配置することと、上記半導体ウエハに荷電粒子線を照射することと、上記荷電粒子線を上記半導体ウエハ上で収束させることと、上記半導体ウエハから発生する二次信号を検出することと、上記二次信号から上記チップ領域毎の検査用画像を生成することと、上記チップ領域毎の検査用画像より上記回路パターンの欠陥を検出することと、上記チップ領域毎の検査用画像より自動焦点補正を行うことと、を有する回路パターン検査方法。
- 請求項15の回路パターン検査方法において、上記自動焦点補正は、上記チップ領域毎の検査用画像より同一の画像領域を切り取ることと、該切り取り画像より焦点ずれの大きさを算出することと、該焦点ずれの大きさに基づいて焦点深さを制御する電流を補正することと、を含むことを特徴とする回路パターン検査方法。
- 請求項16の回路パターン検査方法において、上記切り取り画像は、所定のチップ領域内にて任意の位置を設定し、該設定した位置を囲む領域を設定して切り出すことを特徴とする回路パターン検査装置。
- 請求項16の回路パターン検査方法において、上記自動焦点補正は、上記焦点ずれの大きさを焦点評価値として算出し、該焦点評価値は、上記切り取り画像をフィルタ処理することと、該フィルタ処理後の画像からエッジ強調画像を生成することと、該エッジ強調画像の分散値を求めることと、該分散値を焦点評価値とすることと、を含むことを特徴とする回路パターン検査方法。
- 請求項16の回路パターン検査方法において、上記自動焦点補正は、上記焦点ずれの大きさが閾値を超えた場合に、警告を発生し警告発生前後の焦点ずれの変動状態をモニタに表示することを特徴とする回路パターン検査方法。
- 請求項15の回路パターン検査方法において、上記回路パターンの欠陥の検出によって欠陥が検出された検査結果画像と上記検査用画像を同時にモニタに表示することを特徴とする回路パターン検査方法。
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