JP2007269906A5 - - Google Patents
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Claims (4)
- 溶解度パラメータが１７〜２０（Ｊ／ｃｍ３）１／２の範囲にあり、かつ比表面積が０．００５〜１ｍ２／ｇの範囲にある粒状重合体（Ｌ）。
- 重合体の構成単位としてラクトン骨格を有する構成単位（Ａ）を含有する請求項１に記載の粒状重合体（Ｌ）。
- 懸濁重合法により製造される請求項１に記載の粒状重合体（Ｌ）。
- 半導体製造工程で使用される重合体の精製用である請求項１に記載の粒状重合体（Ｌ）。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006095297A JP5285214B2 (ja) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | 粒状架橋重合体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006095297A JP5285214B2 (ja) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | 粒状架橋重合体 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2007269906A JP2007269906A (ja) | 2007-10-18 |
| JP2007269906A5 true JP2007269906A5 (ja) | 2009-04-16 |
| JP5285214B2 JP5285214B2 (ja) | 2013-09-11 |
Family
ID=38673036
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006095297A Active JP5285214B2 (ja) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | 粒状架橋重合体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5285214B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP5512091B2 (ja) * | 2008-03-13 | 2014-06-04 | ＡｚエレクトロニックマテリアルズＩｐ株式会社 | 高精細印刷用インキ組成物およびそれを用いた高精細パターンの形成方法 |
| JP6088813B2 (ja) * | 2012-12-14 | 2017-03-01 | 東京応化工業株式会社 | 粗樹脂の精製方法、レジスト用樹脂の製造方法、レジスト組成物の製造方法及びレジストパターン形成方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP4804730B2 (ja) * | 2004-07-26 | 2011-11-02 | ダイセル化学工業株式会社 | ２−オキサトリシクロ［４．２．１．０４，８］ノナン−３−オン環を有する繰り返し単位を含む高分子化合物、及びフォトレジスト用樹脂組成物 |
| JP5138234B2 (ja) * | 2006-03-30 | 2013-02-06 | 東京応化工業株式会社 | 半導体リソグラフィー用樹脂の製造方法 |
| JP2007269898A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 樹脂の精製方法 |
-
2006
- 2006-03-30 JP JP2006095297A patent/JP5285214B2/ja active Active